L BÀI THẢO LUẬN MÔN:

ĐO LƯỜNG-CẢM BIẾN

DT2-K5

CẢM BIẾN ĐO ÁP SUẤT

Nội dung
I.Khái niệm về đo áp suất
1.Khái niệm về áp suất
2.Đơn vị đo áp suất
3.Phân loại áp suất,phương tiện đo áp suất
4.Các cách đo áp suất
II.Công tắc áp suất
Cấu tạo, đặc điểm,nguyên lý hoạt động
III.Một số loại cảm biến áp suất
1.Cảm biến áp suất màng sọc co giãn kim loại
Cấu tạo, nguyên lý, phân loại, đặc điểm ứng dụng
2.Cảm biến áp điện thạch anh
Hiệu ứng áp điện
Nguyên lý hoạt động, đặc điểm, ứng dụng
IV.Ứng dụng thực tế
1.Khái niệm về cảm biến đo áp suất:
Việc đo đạc áp suất của chất khí, chất lỏng là công việc bắt buộc
trong thiết kế máy móc cơ khí, các dây chuyền sản xuất sử dụng năng
lượng khí nén hay dầu thủy lực.
Trước đây người ta sử dụng các loại cảm biến bằng cơ học, hiện
nay người ta đã sử dụng và phát triển các loại cảm biến đo áp suất có
chất lượng tốt hơn với độ chính xác cao hơn và bền bỉ hơn cho các
công việc kiểm soát và điều khiển từ xa công việc tự động hóa toàn
bộ hệ thống dây chuyền sản xuất của nhà máy.
 Khác với các máy đo áp suất cơ học dùng lò xo và chỉ thị trực
tiếp qua một hệ thống truyền động cơ học, các loại cảm biến đo
áp suất bán dẫn đều có một phần tử bán dẫn gắn trên màng đàn
hồi để biến đổi áp suất thành đại lượng điện.
 Một số loại cảm biến áp suất:
 2. Đơn vị đo áp suất
 1. Định nghĩa:
Áp suất là lực tác dụng trên một đơn vị diện tích.
P=F/A
(P là áp suất; F: lực; A: diện tích tiếp xúc)
 2. Đơn vị đo: đơn vị đo áp suất là Pascal (Pa)

Pascal= Newton/m2
Trong thực tế người ta thường dùng bội số của đơn vị Pascal là
bar .
1 bar = 105 N/m2 = 105 Pa.
Ngoài ra 1atm  1 bar
1 bar=14,504psi
1 atm = 14,696 psi
3.Phân loại áp suất
II.Phân loại phương tiện đo áp suất:
1.Dựa theo dạng áp suất :
- Áp kế, áp – chân kế: đo áp suất dư.
- Khí áp kế (baromet): đo áp suất khí khí quyển.
- Chân không kế, áp kế hút: đo áp âm
- Áp kế hiệu số: đo áp suất hiệu
- Để đo áp suất tuyệt đối ta dùng áp kế và khí áp kế khi
áp suất tuyệt đối lớn hơn áp suất khí quyển. Hoặc
dùng áp kế và chân không kế khi áp suất tuyệt đối nhỏ
hơn áp suất khí quyển
2.Theo nguyên lý hoạt đông: Có 5 nhóm chính:
- Áp kế kiểu lò xo
- Áp kế pittong
- Áp kế kiểu chất lỏng
- Áp kế theo nguyên lý điện
- Áp kế liên hợp
+ Áp kế kiểu lò xo: Nguyên lý hoạt động của loại áp kế này là dựa
vào sự biến dạng đàn hồi của phần tử lò xo dưới tác dụng của áp
suất. Độ biến dạng thường được phóng đại nhờ cơ cấu truyền động
phóng đại và cũng có thể chuyển đổi thành tín hiệu truyền đi xa
+ Áp kế kiểu pittông: Loại áp kế này dựa vào nguyên lý tải trọng
trực tiếp: áp suất đo được so sánh với áp suất do trọng lượng của
pittông và quả cân tạo ra trên tiết diện của pittông đó.
+ Áp kế kiểu chất lỏng: Loại áp kế dựa vào nguyên lý hoạt động
thuỷ tĩnh: áp suất đo được so sánh với suất của cột chất lỏng có chiều
cao tương ứng. Ví dụ áp kế thuỷ ngân, áp kế chữ U, áp chân không,
áp kế bình hoặc áp kế bình với ống nghiêng có góc nghiêng cố định
hay thay đổi,…
+ Áp kế theo nguyên lý điện: Loại áp kế này dựa vào sự thay đổi tính
chất điện của các vật liệu dưới tác dụng của áp suất. Áp kế dựa vào
sự thay đổi điện trở gọi là áp kế điện trở hay theo tên của loại dây
dẫn. Ví dụ áp kế điện trở maganin. Áp kế dùng hiệu ứng áp điện gọi
là áp kế điện. Ví dụ muối sec-nhéc, tuamalin, thạch anh
+ Áp kế liên hợp: Ở áp kế liên hợp người ta sử dùng kết hợp các
nguyên lý khác nhau. Ví dụ: một áp kế vừa làm việc theo nguyên lý
cơ, vừa làm việc theo nguyên lý điện.
3.Theo cấp chính xác:
Tất cả các phương tiện đo áp suất dùng vào các mục đích khác nhau
đều được phân loại theo cấp chính xác. Đối với áp kế lò xo hay hiện
số, cấp chính xác được ký hiệu bằng một chữ số thập phân tương
ứng với độ lớn của giới hạn sai số cho phép biểu thị theo phần trăm
giá trị đo lớn nhất, ví dụ: áp kế lò xo cấp chính xác 2,5, phạm vi đo
100 bar thì sai số cho phép là 2,5 bar
Đối với áp kế pittông hoặc chất lỏng thì sai số này được tính theo
phần trăm giá trị tại điểm đo. Ví dụ: áp kế píttông 3DP 50, có phạm
vi đo (1-50) bar, cấp chính xác 0,1, sai số cho phép lớn nhất tại điểm
đo 15 bar sẽ là 0,015 bar và tại 50 bar là 0,05 bar.
Cấp chính xác của các phương tiện đo áp suất được qui định theo hai
dãy cấp chính xác sau:
0,0005; 0,005; 0,02; 0,05; 0,1; 0,16; 0,20; 0,25; 0,4; 0,5; 1; 1,6; 2,5; 4;
6; và 0,0005; 0,01; 0,02; 0,05; 0,1; 0,2; 0,6; 1; 1,6; 2; 2,5; 4; 6.
III. PHƯƠNG PHÁP ĐO ÁP SUẤT

PHƯƠNG PHÁP ĐO

Đo áp suất động:
Đo áp suất tĩnh: -Dựa theo nguyên
-Đo trực tiếp chất lưu
tắc chung là đo hiệu
thông qua 1 lỗ được
áp suất tổng và áp
khoan trên thành bình
suất tĩnh
-- Đo gián tiếp thông
-Có thể đo bằng cách
qua đo biến dạng của
đặt áp suất tổng lên
thành bình dưới tác
màng trước, đặt áp
động của áp suất
suất tĩnh lên màng
sau của màng đo.

www.themegallery.com Company Logo

Đo áp suất tĩnh:
Áp suất tĩnh tương ứng với áp suất gây nên khi chất lỏng
không chuyển động
- Đo áp suất chất lưu lấy qua một lỗ được khoan trên thành
bình nhờ cảm biến thích hợp.
- Đo trực tiếp biến dạng của thành bình do áp suất gây nên.
Đo áp suất động:
 áp suất động do chất lưu chuyển động gây nên và có giá
trị tỉ lệ với bình phương vận tốc chất lưu.

Hình : Đo áp suất động bằng ống Pitot

Có thể đo áp suất động bằng cách đặt áp suất tổng lên mặt
trước và áp suất tĩnh lên mặt sau của một màng đo (hình),
như vậy tín hiệu do cảm biến cung cấp chính là chênh lệch
giữa áp suất tổng và áp suất tĩnh.

Hình: Đo áp suất động bằng màng

1) Màng đo 2) Phần tử áp điện
 IV.Công tắc áp suất
4.1.Cấu tạo
Đầu
cấp Trục Vít
khí pittong chỉnh độ
vào căng lò
xo

pitto Công
Lò xo
ng tắc
đẩy
4.2 .Nguyên lý hoạt động
 Sức căng của lò xo quyết định giá trị áp suất mà công
tắc tác động. Khi cấp khí vào đầu vào cấp khí, nếu áp
suất khí nhỏ hơn sức căng của lò xo thì lò xo sẽ không
bị nén lúc đó pittong sẽ không bị đẩy, công tắc hành
trình không bị tác động. Nếu áp suất khí lớn hơn sức
căng của lò xo thì lò xo sẽ bị ép lại , pittong bị đẩy lùi
về phía sau làm cho công tắc hành trình tác động. Để
thay đổi giá trị áp suất khí cần tác động ta dùng vít
chỉnh độ căng của lò xo.
 Trong thực tế người ta hay dùng công tắc áp suất này
ở trong các máy nén khí công suất bé, nó dùng để cắt
nguồn máy nén khí khi áp suất đủ theo yêu cầu.
V.Một số loại cảm biến áp suất
1. Cảm biến áp suất màng sọc co giãn kim loại
2. Cảm biến áp suất áp điện thạch anh
a. Cấu tạo
 Vật liệu để làm màng sọc co giãn có thể là kim loại (trong thực
tế là hợp kim Cu-Ni) hay vật liệu bán dẫn-thường là silic. Dưới tác
dụng của áp suất màng sọc co giãn bị biến dạng. Sự thay đổi điện
trở của nó gồm hai thành phần: hình học và tính chất vật liệu.
Cảm biến áp suất với màng sọc kim loại phần lớn dựa vào sự
thay đổi hình học dẫn đến sự thay đổi điện trở.
3. Cảm biến áp suất màng sọc co giãn kim loại
3. Cảm biến áp suất màng sọc co giãn kim loại
3. Cảm biến áp suất màng sọc co giãn kim loại
c. Phân loại:
Cảm biến áp suất chia làm 3 loại tuỳ theo phương pháp chế tạo: +
+ Màng sọc co giãn lá kim loại.
+ màng sọc co giãn màng mỏng.
+ màng sọc co giãn màng dầy.
3. Cảm biến áp suất màng sọc co giãn kim loại
Màng sọc co giãn lá kim loại
 Thường là những đường dây điện bằng kim loại rất mịn nằm
trên một nề bằng chất dẻo. Người ta thực hiện bằng phương pháp
in lụa hoặc quang khắc. Vì sự thay đổi chiều dài thực tế rất bé,
cho nên đường dẫn điện này được chế tạo thành hình uốn khúc
để có chiều dài khá lớn trên một diện tích bé,
từ đó ta có sự thay
đổi điện trở đáng kể.
3. Cảm biến áp suất màng sọc co giãn kim loại
Màng sọc co giãn màng mỏng
 Được chế tạo theo phương pháp bốc hơi chân không hay công
nghệ phun bụi, với phương pháp này màng sọc sẽ cực mỏng do
đó độ nhạy của màng cao và ít bị ảnh hưởng của nhiệt độ.
Màng sọc co giãn màng dầy
 Được chế tạo trên nền gốm với kỹ thuật in lụa, loại màng dầy
có độ nhạy không cao và chịu nhiều ảnh hưởng của nhiễu, do đó
trong thực tế loại màng đầy ít được sử dụng.
Cảm biến áp suất áp điện thạch anh

Hiện tượng áp điện: Khi kéo dãn hoặc nén tinh thể điện
môi theo phương pháp đặc biệt thì trên các mặt giới hạn của tinh
thể xuất hiện các điện tích trái dấu.Hiện tượng đó được gọi là hiệu
ứng áp điện thuận. Và ngược lại, nếu ta áp lên 2 mặt tinh thể một
hiệu điện thế làm cho bề mặt tinh thể bị dãn hoặc nén thì đó là hiệu
ứng áp điện nghịch

áp điện thuận áp điện nghịch

 Cảm biến áp suất áp điện thạch anh
 Nguyên lý:
Cảm biến áp suất áp điện thạch anh(SiO2) làm việc dựa trên
hiệu ứng áp điện của vật liệu thạch anh

Dưới tác dụng của lực cơ học, tấm áp điện bị biến dạng, làm
xuất hiện trên hai bản cực các điện tích trái dấu. Hiệu điện thế
xuất hiện giữa hai bản cực (V) tỉ lệ với lực tác dụng (F).
 Tùy theo hướng tác dụng của lực đối với tinh thể thạch anh
mà ta có cảm biến áp điện thạch anh theo hiệu ứng chiều dài
hoặc hiệu ứng ngang.
 Hiệu ứng theo chiều dài:
Với hiệu ứng chiều dài số lượng điện tích phát sinh không
phụ thuộc vào kích thước hình học của tinh thể mà chỉ phụ
thuộc vào lực. Như thế để tăng số lượng điện tích, người
ta đặt nhiều phiến màng tinh thể thạch anh nối tiếp nhau
về lực và về mặt điện được nối song song với nhau.
 Hiệu ứng ngang

Hiệu ứng ngang số lượng điện tích phụ thuộc vào kích thước
hình học.

Cảm biến áp điện thạch anh ngày nay hầu hết là dựa vào hiệu
ứng ngang
Đặc điểm và ứng dụng.

Ta có thể coi tinh thể thạch anh như một tụ điện,

như chúng ta đã biết sau khi nạp điện thì tụ điện phóng
điện dần theo thời gian, thời gian phóng điện nhanh
hay chậm phụ thuộc vào điện trở phóng điện. Đối với
tinh thể thạch anh điện trở phóng điện là điện trở cách
điện. Như vậy khi sử dụng cảm biến áp suất tinh thể
thạch anh phải lưu ý là sau khi lực tác động nếu không
thực hiện ngay phép đo thì càng để lâu sai số của phép
đo càng lớn.
 Trong thực tế người ta cho phép cảm biến ápsuất tinh thể
thạch anh làm việc tới nhiệt độ 2400C. Vì nếu ta cho cảm biến làm
việc ở nhiệt độ cao thì tinh thể thạch anh sẽ bị mất đi hiệu ứng áp
điện.

Dưới áp suất tĩnh tinh thể thạch anh không xảy ra hiệu ứng áp
điện. Do đó để đo được áp suất cần phải biến áp suất thành lực
bằng một màng mỏng.

Các cảm biến đo áp suất tinh thể thạch anh thực tế dùng để đo
áp suất tới 250 bar.
Đơn vị tinh thể thạch anh cực kỳ ổn định cả về mặt hóa học và vật lý.
Nhờ có sự ổn định tần số đặc biệt , thạch anh được sử dụng trong các
thiết bị điện tử, truyền thông như điện thoại di động, các ứng dụng
không dây cũng như các thiết bị tiêu dùng như tivi, đầu video, máy
ảnh kỹ thuật số và máy tính, cung cấp chính xác tín hiệu có liên quan
để xử lý một lượng lớn thông tin nhanh chóng và đồng nhất. Hơn nữa,
thạch anh được sử dụng rộng rãi như là một nguồn nguyên liệu của
đồng hồ yêu cầu độ chính xác cao như đồng hồ đeo tay, đồng hồ bấm
giờ…
VI.Ứng dụng thực tế: