微細製造研究中心

負責教授： 周振嘉 教授

研究方向：
本研究中心為ㄧ萬等級無塵室，佔地約 150 平方公尺，位於工程一館 1E151 室，其中一千等
級之黃光區佔地約 15 平方公尺，內附抽氣罩、水槽等設施。
以微細製造、半導體製程、蝕刻、鍍膜領域相關的「基礎研究」、「光蝕刻技術與微米級精密
產品發展」為主，且容易與微電子製程搭配，適用研發機、電、化等性質之微型系統。
例如：金屬與氧化物薄膜製程、紫外光定位曝光與顯影、乾式與溼式蝕刻、陽極鍵合以及壓
力感測器、加速度計、氧化感測器、微 PUMP 等都已進行或正在進行之相關研究。

研究成果/設備舉例：

加速度計 Pattern 加速度計 Pattern 加速度質塊 晶片打線機

Ts attern r

陽極鍵合機 旋鍍機 磁控式濺鍍 高溫熱處理爐

機

熱蒸鍍 定位式紫外線曝光機 電漿蝕刻機 化學清洗槽

機

Tel: (02)2733-3141 ext. 7254

E-mail: ccchou@mail.ntust.edu.tw