5/24/2021

MỤC TIÊU MÔN HỌC

Surface Processing
Mục tiêu chung Mục tiêu cụ thể
(nắm được)
1. Nắm được những nội dung cơ bản các 1. Các khái niệm, thuật ngữ cơ bản

Operations
quá trình xử lý bề mặt chi tiết gia công 2. Các hệ thống.
2. Nắm được những kiến thức cơ bản về 3. An toàn trong sản xuất.
công nghệ, thiết bị xử lý chất lượng bề mặt 4. Hiệu quả kinh tế

( C Á C Q UÁ T R Ì NH X Ử LÝ B Ề M Ặ T)

P H ẦN G I Ớ I T H IỆ U
K H UẾ CH TÁ N VÀ C Ấ Y I O N
( D I F FUS ION A N D I O N I MP LA NTAT ION)
( 2 T I Ế T)

Khoa Cơ Khí – Đại học Bách Khoa Tp.HCM – GV. Trần Hải Nam - namth@hcmut.edu.vn 1 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 2

TÀI LIỆU NGHIÊN CỨU, THAM KHẢO TÀI LIỆU NGHIÊN CỨU, THAM KHẢO
Tài liệu chính thức Tài liệu tham khảo Các quá trình xử lý bề mặt gồm có 3 quá trình xử lý chính
[1]. Serope Kalpakjian, Manufacturing [1]. John A. Schey., Introduction to (1) làm sạch Làm sạch đề cập đến các quy trình làm sạch
engineering and technology, 7th edition, manifacturing processes., Third edition, New
công nghiệp loại bỏ đất và các chất gây ô nhiễm
Pearson Education, Inc, 2014 York-London., 2000. (2) xử lý bề mặt do xử lý trước đó hoặc môi trường nhà máy.
[2]. Frank J. Riley., Assembly automation., A (3) lắng đọng lớp phủ và màng mỏng
[2]. M. P. Groover, Fundamentals of modern Chúng bao gồm cả phương pháp làm sạch hóa
manufacturing, 2010 management handbook, second edition, học và cơ học.
Industrial press Inc. New York., 1996 Vật liệu phi kim loại
Tác dụng chính của lớp phủ kim loại là Xử lý bề mặt là các hoạt đôiđộng
khicơ
cũng được
học và vật lýphủ
làm thay đổi tính chất phần bề mặt theo một cách
(1) bảo vệ chống ăn mòn, nào đó.
(2) nâng cao hình thức sản phẩm (ví dụ: cung cấp màu sắc hoặc kết cấu cụ thể),
(3) tăng khả năng chống mài mòn và (hoặc) giảm maVí dụ
sát cải
củathiện bề mặt hoàn thiện đó bằng các
bề mặt,
(4) tăng tính dẫn điện, nguyên tử của vật liệu lạ để thay đổi tính chất
(5) tăng điện trở, hóa học và vật lý của nó.
(6) chuẩn bị bề mặt kim loại để xử lý tiếp theo, và
(7) cấu trúc lại các bề mặt bị mòn hoặc bị xói mòn trong quá trình làm việc

TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 3 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 4

 5/24/2021

TÀI LIỆU NGHIÊN CỨU, THAM KHẢO NỘI DUNG CHI TIẾT
Các quá trình xử lý bề mặt gồm có 3 quá trình xử lý chính 1. Quá trình làm sạch công nghiệp (Industrial Cleaning Processes)
(1) làm sạch
Trong mọi trường hợp, để đạt độ bám dính tốt 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
(2) xử lý bề mặt giữa lớp phủ và lớp nền thì bề mặt chất nền
3. Quá trình mạ điện liên quan (Plating and Related Processes)
(3) lắng đọng lớp phủ và màngphải
mỏngrất sạch.
4. Lớp phủ chuyển đổi (Conversion Coating)

ví dụ 5. Quá trình hóa hơi lắng đọng (Vapor Deposition Processes)

(1) các bộ phận bằng nhựa được phủ để tạo cho chúng có vẻ ngoài giống kim loại; 6. Lớp phủ hữu cơ (Organic Coatings)
(2) một lớp phủ bọc lên thấu kính thủy tinh quang học; và
(3) một số quá trình phủ và lắng đọng nhất định được sử dụng trong chế tạo chip bán dẫn và bảng
mạch in (PCB - printed circuit boards). 7. Lớp tráng men sứ và phủ gốm (Porcelain Enameling an Other Ceramic Coatings)

8. Quá trình sơn nhiệt và cơ khí (Thermal and Mechanical Coating Processes)

TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 5 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 6

Các quá trình xử lý bề mặt NỘI DUNG CHI TIẾT

2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)

Phần này thảo luận về hai quá trình xử lý bề mặt trong đó

(1) Bề mặt của chất nền được thấm (ngâm tẩm) bởi các ngoại nguyên tử
(2) Làm thay đổi tính chất hóa học và đặc tính của chất nền.

Hai quá trình thấm:

Diffusion (1) Thấm khuếch tán (Diffusion) Xem lại thấm nitơ, thấm carbon trong môn
(Thấm khuếch tán) Đặc tính cơ (2) Thấm (cấy) ion (Ion Implantation)
học KTCT 1

bản

TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 7 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 8

 5/24/2021

NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di
chuyển của các nguyên tử hoặc phân tử trong
NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di
chuyển của các nguyên tử hoặc phân tử trong
vật liệu hoặc qua ranh giới giữa hai vật liệu tiếp vật liệu hoặc qua ranh giới giữa hai vật liệu tiếp
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and
xúc Ion Implantation)
với nhau 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and
xúc Ion Implantation)
với nhau

THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion) THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion)

Sự khuếch tán liên quan đến sự thay đổi của các Các nguyên tử chuyển động tự do trong chất
lớp bề mặt của vật liệu nền bằng cách khuếch lỏng và chất khí, do khuấy động nhiệt cao.
tán các nguyên tử của vật liệu khác (thường là
một nguyên tố) vào bề mặt đó. Sự khuếch tán xảy ra khi hai kim loại đột nhiên
tiếp xúc mật thiết (intimate contact) với nhau.

Khuếch tán khối (mass Diffusion) Khuếch tán khối (mass Diffusion)
(1) Trong vật liệu, ngoài truyền nhiệt (heat transfer ) còn có truyền khối (mass transfer). (a) mô hình các nguyên tử khi cho hai khối rắn tiếp xúc
- Ban đầu, cả hai có cấu trúc nguyên tử riêng;
(2) Khuếch tán cũng xảy ra đối với chất lỏng và khí - Sau một thời gian có sự trao đổi các nguyên tử
xuyên qua ranh giới (interface) trong các mảnh
(3) Xảy ra trong kim loại nguyên chất, hợp kim và giữa ranh giới (common interface) 2 vật liệu. riêng biệt.
- Khi đủ thời gian, việc lắp ráp hai mảnh cuối
(4) Các nguyên tử trong vật liệu liên tục chuyển động do sự khuấy động nhiệt của chúng.
cùng sẽ cho kết quả một thành phần thống nhất
(5) Khắc phục các lỗ trống và các khiếm khuyết khác trong cấu trúc tinh thể (crystal structure) xuyên suốt (a uniform composition). (b) Phân bố nồng độ kim loại A theo hướng dc/dx

TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 9 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 10

NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di
chuyển của các nguyên tử hoặc phân tử trong
NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di chuyển của các
nguyên tử hoặc phân tử trong vật liệu hoặc qua ranh giới
vật liệu hoặc qua ranh giới giữa hai vật liệu tiếp giữa hai vật liệu tiếp xúc với nhau
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and
xúc Ion Implantation)
với nhau 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)

THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion) THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion)

- Nhiệt độ là một yếu tố quan trọng trong khuếch Một yếu tố khác là gradient nồng độ dc/dx, biểu dm = một lượng nhỏ vật liệu được chuyển,
tán. D = hệ số khuếch tán của kim loại, tăng nhanh theo nhiệt độ,
thị nồng độ của hai loại nguyên tử theo hướng dc/dx = gradient nồng độ,
- Ở nhiệt độ cao hơn, khuấy động nhiệt lớn hơn đề cập đến được xác định bởi x như hình (b) A = diện tích của ranh giới và
và các nguyên tử có thể di chuyển tự do hơn. dt = vi phân thời gian.

Khuếch tán khối (mass Diffusion)
(1) Khi bắt đầu khi hai mảnh A và B được ghép
lại với nhau, mỗi khối có thành phần riêng;
(2) Sau một thời gian, sự trao đổi nguyên tử đã
xảy ra;
(a) mô hình các nguyên tử khi cho hai khối rắn tiếp xúc
Khuếch tán khối (mass Diffusion)
Mặc dù các phương trình này khó sử dụng
trong tính toán vì vấn đề đánh giá D, nhưng
Độ dốc nồng độ ở hình (b) tương ứng với sự
chúng rất hữu ích trong việc hiểu sự khuếch
phân bố tức thời của các nguyên tử trong tổ hợp
tán(a)và
mô hình các nguyên tử khi cho hai khối rắn tiếp xúc
các biến mà D phụ thuộc
Mối quan hệ thường được sử dụng để mô tả
khuếch tán khối là định luật đầu tiên của Fick:

(3) Cuối cùng, điều kiện đồng đều của nồng độ 𝑑𝑐 𝑑𝑚 𝑑𝑐 Tốc độ khuếch tán khối
xảy ra. 𝑑𝑚 = −𝐷 × × 𝐴 × 𝑑𝑡 = −𝐷 × ×𝐴
𝑑𝑥 𝑑𝑡 𝑑𝑡
(b) Phân bố nồng độ kim loại A theo hướng dc/dx (b) Phân bố nồng độ kim loại A theo hướng dc/dx

TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 11 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 12


NỘI DUNG CHI TIẾT
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion)
Quá trình khuếch tán sẽ thấm các lớp bề mặt
của chất nền bởi phần tử lạ, nhưng bề mặt vẫn
còn chứa một tỷ lệ cao của vật liệu nền.
Khuếch tán khối (mass Diffusion)
Đường đặc trưng điển hình của phần tử khuếch
tán là một hàm của chiều sâu dưới bề mặt trong
khuếch tán với phần kim loại phủ.
Đặc điểm của bề mặt tẩm khuếch tán là phần tử
khuếch tán có tỷ lệ phần trăm tối đa ở bề mặt và
giảm nhanh với khoảng cách bên dưới bề mặt.
TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN
NỘI DUNG CHI TIẾT
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion)
Có các quá trình khuếch tán khác, trong đó khả
năng chống ăn mòn và/hoặc kháng oxy hóa ở
nhiệt độ cao là mục tiêu chính. Aluminizing, và
siliconizing là những ví dụ quan trọng.
Khuếch tán khối (mass Diffusion)
(1) khuếch tán gói (pack diffusion), trong đó các
bộ phận làm việc được đóng gói với bột Al và
nướng ở nhiệt độ cao để tạo ra lớp khuếch tán;
(2) một phương pháp bùn (slurry method), trong
đó các bộ phận làm việc được nhúng hoặc phun
bằng hỗn hợp bột Al và chất kết dính, sau đó sấy
khô và nướng.
TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN
5/24/2021
NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di chuyển của các
nguyên tử hoặc phân tử trong vật liệu hoặc qua ranh giới
giữa hai vật liệu tiếp xúc với nhau
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion)
Khuếch tán khối được sử dụng trong một số quy
trình.
Khuếch tán khối (mass Diffusion)
Đồ thị cho carbon khuếch tán vào sắt.
Một số phương pháp xử lý làm cứng bề mặt dựa
trên sự khuếch tán, bao gồm quá trình cacbon
hóa (thấm cacbon), thấm nitơ, crom và boron.
Trong số các quá trình hàn, hàn khuếch tán (a) mô hình các nguyên tử khi cho hai khối rắn tiếp xúc
được sử dụng để nối hai thành phần bằng cách
ép chúng lại với nhau và cho phép khuếch tán
xảy ra trên ranh giới để tạo liên kết vĩnh viễn.
Khuếch tán cũng được sử dụng trong sản xuất Trong xử lý chất bán dẫn, khuếch tán một phần tử tạp chất
điện tử, để thay đổi hóa học bề mặt của chip bán (an impurity element) vào bề mặt của chip silicon được sử
dẫn ở các vùng cục bộ vi mô, để tạo ra các chi dụng để thay(b)đổi Phân
cácbố tính
nồng độ kimđiện
chất loại A ở
theo
bềhướng
mặt dc/dx
để tạo ra các
13
tiết mạch. thiết bị như transitor và diode.
TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 14
Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di chuyển của các
nguyên tử hoặc phân tử trong vật liệu hoặc qua ranh giới
NỘI DUNG CHI TIẾT
giữa hai vật liệu tiếp xúc với nhau
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
Diffusion bonding at TWI
THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion)
Siliconizing xử lý thép, trong đó silicon được
khuếch tán vào bề mặt chi tiết để tạo ra một lớp
có khả năng chống ăn mòn và mài mòn tốt, và
chịu nhiệt vừa phải.
Việc xử lý được thực hiện bằng cách đun nóng
chi tiết trong bột cacbua silic (SiC) trong môi
trường có chứa hơi tetra-clorua silic (SiCl4).
(a) mô hình các nguyên tử khi cho hai khối rắn tiếp xúc
Silic hóa ít phổ biến hơn aluminizing.
(b) Phân bố nồng độ kim loại A theo hướng dc/dx
15 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 16
 5/24/2021

NỘI DUNG CHI TIẾT NỘI DUNG CHI TIẾT

2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation) 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
Build A Heat Sink With Diffusion Welding Sintering diffusion for silicon solar cells
THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion) THẤM KHUẾCH TÁN (Diffusion)

TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 17 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 18

Các quá trình xử lý bề mặt NỘI DUNG CHI TIẾT

2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)

THẤM (CẤY) ION (ion Implantation)

Trong khi sự khuếch tán liên quan đến sự thay đổi của
các lớp bề mặt của vật liệu nền bằng cách khuếch tán
các nguyên tử của vật liệu khác vào bề mặt đó.
Thì cấy ion là một phương pháp thay thế cho khuếch
tán khi phương pháp sau không khả thi vì nhiệt độ cao
cần thiết.
(1) Nhúng các nguyên tử của một (hoặc nhiều) ngoại
nguyên tố vào bề mặt chất nền bằng cách sử dụng
Đồ thị điển hình
Ion Implantation năng lượng cao của chùm hạt ion hóa.
(Thấm/Cấy ion) Đặc tính cơ (2) Kết quả là sự thay đổi tính chất hóa học và vật lý
cho boron được
cấy vào silicon.

bản của các lớp gần bề mặt chất nền.

(3) Sự thâm nhập của các nguyên tử tạo ra một lớp

thay đổi mỏng hơn nhiều so với khuếch tán.
TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 19 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 20
 5/24/2021

NỘI DUNG CHI TIẾT NỘI DUNG CHI TIẾT

2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation) 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)

THẤM (CẤY) ION (ion Implantation) THẤM (CẤY) ION (ion Implantation)

Các ứng dụng chính của cấy ion là

Ưu điểm của cấy ion bao gồm - sửa đổi bề mặt kim loại để cải thiện tính chất và
- chế tạo các thiết bị bán dẫn.
(1) quá trình xử lý ở nhiệt độ thấp,
(2) kiểm soát tốt và khả năng tái tạo độ sâu thâm nhập của tạp chất
(3) Các giới hạn độ hòa tan có thể được vượt quá mà không có sự kết tủa các nguyên tử dư
thừa.
(4) thay thế cho các quá trình phủ nhất định, mà không gặp vấn đề xử lý chất thải như trong
mạ điện và nhiều quy trình phủ khác,
(5) không gián đoạn giữa lớp phủ và chất nền.

TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 21 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 22

THẢO LUẬN THẢO LUẬN

1- Diffusion bonding at TWI 6 - UNSW Solar phosphorus (POCl) diffusion for silicon solar cells
https://www.youtube.com/watch?v=IQYZHGSf_8E https://www.youtube.com/watch?v=nQO6bSUMcLY
2 - How To Build A Heat Sink With Diffusion Welding Sintering 7 - P-N junction solar cells
https://www.youtube.com/watch?v=GXXCOEZuKnI https://www.youtube.com/watch?v=2AX0qvnjSnM
3 - DIFFUSION BONDING 8 - Plasma-immersion ion implantation - Video Learning - WizScience.com
https://www.youtube.com/watch?v=Z0hmfq30xWY https://www.youtube.com/watch?v=Dozb0DPYNDM
4 – Science of Innovation: Friction Stir Welding 9 – amadii/plasma : Ion Implantation
https://www.youtube.com/watch?v=EaguF5K9I-Q https://www.youtube.com/watch?v=UqO1nAd63iA
5 - Inertia Friction Welding Demonstration - Manufacturing Technology, Inc.
https://www.youtube.com/watch?v=-aEuAK8bsQg

TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 23 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 24

 5/24/2021

BÀI TẬP Thời gian bắt đầu: --/--/2020

Thời gian nộp: trước --/--/2020

1.
2.
3.

TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 25