사용 설명서 KO

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ASM 390 - ASM 392

리크 디텍터
목차

목차
1 본 설명서에 대하여 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.1 적용 범위. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.1.1 적용문서 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2 개념 정의. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.1 안전 지침 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.2 그림 기호 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.3 지침 / 약어 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.4 라벨 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2 안전 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.1 안전 조치. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.2 보호 장구. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.3 올바른 사용 방법 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.4 부적합한 사용 예시 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3 운반 및 보관. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.1 포장 풀기 / 재포장 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.2 운반 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.3 보관 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4 제품 설명 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.1 제품 식별 정보 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.1.1 납품 범위 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.1.2 변형 버전 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.2 연결 인터페이스 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5 셋업 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.1 측정 최적화를 위한 선제조건 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.2 작동조건 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.3 설치 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.4 퍼지 및 벤트 연결 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.4.1 연결 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.5 연결 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.6 첫 작동 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.6.1 제어판과 익숙해지기 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.6.2 디텍터와 익숙해지기 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.7 테스트 부품 , 설비 연결 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.8 스위치 연결 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.9 제어판 고정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.10 호스 홀더 고정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.11 보관 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6 운전 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.1 제어판 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.1.1 설명 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.1.2 명암 - 밝기 - 스크린 세이버 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
6.1.3 화면순서 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
6.1.4 < 표준 > 스크린 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.1.5 < 설정화면 > 스크린 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.1.6 < 그래프 > 화면 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.1.7 < 기본데이터 > 스크린 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.1.8 < 측정 > 창 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.1.9 기능키 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.2 사용 전제조건 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.3 디텍터 시작 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.3.1 켜기 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.3.2 테스트 시작 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
6.3.3 시동 시 자동으로 테스트 시작 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
6.4 작동 감시. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
6.5 차단기 멈춤 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

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 목차
6.6 제품 설정 보관과 다운. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
6.6.1 설정 저장 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
6.6.2 설정 저장 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
6.7 교정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.7.1 고진공 테스트 교정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.7.2 스니퍼 테스트 교정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
7 어드밴스드 설정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
7.1 < 그래프 > 화면 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
7.1.1 설명 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
7.1.2 설정화면 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
7.1.3 범위 설정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
7.1.4 그래프 삭제 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
7.1.5 기록 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
7.1.6 기록 저장 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.1.7 기록 시각화 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.2 설정화면 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
7.2.1 < 설정 > 메뉴의 다이어그램 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
7.3 He 값 메뉴. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
7.3.1 오디오 알람과 디지털 음성 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
7.3.2 오염 기능 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
7.3.3 고진공 합 / 불 기준값. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
7.3.4 스니퍼의 한계값 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
7.3.5 폐쇄 프로브의 최저기준값. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
7.3.6 추가 헬륨 Set Point . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
7.3.7 추가 압력 Set Point . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
7.4 메뉴 테스트 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
7.4.1 테스트 방법 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
7.4.2 보정 요소 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
7.4.3 테스트 모드 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
7.4.4 프로브 종류 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
7.4.5 싸이클 자동실행 종료 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
7.4.6 벤트 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
7.4.7 최종값 읽기 기능 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
7.4.8 헬륨값 영점 활성화 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
7.4.9 바이패스 설정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
7.4.10 재생 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
7.4.11 대량 누설 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
7.5 Spectro ( 스펙트로 ) 메뉴 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
7.5.1 사용기체 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
7.5.2 필라멘트 값 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
7.5.3 교정용 리크 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
7.6 유지 / 보수 메뉴. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
7.6.1 사용시간 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
7.6.2 카운터 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
7.6.3 디텍터 정보 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
7.6.4 펌프 정보 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
7.6.5 이벤트 기록 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
7.6.6 교정 기록 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
7.6.7 Burn-in. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
7.6.8 분석관과 고진공펌프의 유지 / 보수 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
7.6.9 최종 점검정보 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
7.7 주변 설정 메뉴 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
7.7.1 시간 - 날짜 - 단위 - 언어 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
7.7.2 기능키 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
7.7.3 화면순서 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
7.7.4 화면 설정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
7.7.5 권한 - 비밀번호 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
7.8 Advanced ( 어드밴스드 ) 메뉴. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
7.8.1 리크 탐지 메뉴. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
7.8.2 Leak Detection: Start Up Timer ( 리크 탐지 : 준비시간 ) . . . . . . . . 58
7.8.3 Leak Detection: Background suppression ( 리크 탐지 : 내부 펌핑 ) 58
7.8.4 Leak Detection: Crossover Pressures ( 리크 탐지 : 전환 압력 ) . . 58
7.8.5 Leak Detection: Calibration ( 리크 탐지 : 교정 ) . . . . . . . . . . . . . . 59
7.8.6 Leak Detection: Analyzer cell ( 리크 탐지 : 분석관 ) . . . . . . . . . . . 60
7.8.7 Leak Detection: Internal Pirani gauge calibration (리크 탐지:내부 Pira-
ni7.8.8
게이지Leak교정Detection:
) . . . . . .External Gauge ( 리크 탐지 : 외부 게이지 ) . . . . . 61
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60

7.8.9 Leak Detection: Purge Valve ( 리크 탐지 : 퍼지 밸브 ) . . . . . . . . . 61

7.8.10 Input/Output ( 입 / 출력 ) 메뉴 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

3
목차

(7.8.12
시리얼링크
7.8.11 Input/Output
#2) (입/출력): Serial Link 1 (시리얼링크 #1) 과 Serial Link 2
Input/Output: I/O Connector ( 입 / 출력 :I/O 커넥터 ). . . . . . . . . . . 62
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
7.8.13 SD Card (SD 카드 ) 메뉴 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
7.8.14 Service ( 서비스 ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
8 정비 / 교체 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
8.1 정비 주기 및 정비 담당 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
9 서비스 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
10 부속품 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
11 기술 제원 및 치수 도면 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
11.1 일반 사항. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
11.2 기술 제원. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
11.3 측정 단위. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
11.4 치수 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
12 부록 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
12.1 < 설정 > 메뉴의 다이어그램 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
UL 61010-1 인증 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
SEMI S2 인증 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
적합성 인증서 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80

4
 본 설명서에 대하여

1 본 설명서에 대하여
1.1 적용 범위
본 사용 설명서는 Pfeiffer Vacuum사의 고객용 문서입니다 본 사용 설명서는 해당 제품의
기능 설명 , 장치를 안전 게 사용 기 위해 필요한 가장 요한 정보를
.

전 합니다 설명 형식 적용 는 EU 니다 본 사용 설명서 제시 모
을 하며 하 하 중

데이터는 제품의 최 개 단계를 기준으로 합니다 본 사용 설명서는 고객 측 서

달 . 은 되 규칙을 따릅 . 에 된 든

제품 변 가 지 는 한 해당 제품 유 합니다
신 발 . 에

에 경을 하 않 에 효 .

최 버전의 사용 설명서는 pfeiffer-vacuum com 의 사이트를 해서 이용 수

니다
신 www. . 웹 통 도 할

있습 .

본 뉴얼 해당 모 퍼 스는 래 니다
매 델 레 런 아 같습 .

모델명 설명
CSGB01GxMM9x ASM 390
ESGB02GxMM9x ASM 392

1.1.1 적용문서
이 문서는 및/ 세서리의 의 사용과 제품의 유지 / 보수 유용 래와
니다
옵션 혹은 액 에 하며 아

같습 .

ASM 390-392 사용 설명서

유지 / 보수 설명서 ASM 390-392 모델명 126348M
사용 설명서 RS-232 모델명 122215*
I/O 15 pin 카드 설명서 모델명 121776*
I/O 37 pin (Wi-Fi + Ethernet + USB) 카드 설명서 모델명 123894*
ECB WiFi 외부 통신 박스 설명서 모델명 126169
표준 스니퍼 프로브 설명서 모델명 121780*
Smart 스니퍼 프로브 설명서 모델명 BG5268B
스프레이건 사용 설명서 모델명 121781*
RC10 원격 제어 설명서 모델명 124628
Bypass 사용 설명서 모델명 PL0004B
실린더 홀더 사용 설명서 ASM 390-392 모델명 126760
CE 적합성 선언 이 설명서와 함께 제공
SEMI 적합성 선언 이 설명서와 함께 제공
UL 61010-1 인증 이 설명서와 함께 제공
* www.pfeiffer-vacuum.com 의 웹사이트를 통해서도 이용할 수 있습니다 .

1.2 개념 정의

1.2.1 안전 지침
사용 설명서의 안전 지침 Pfeiffer Vacuum UL, CSA, A SI - , SE I S2, ISO 및
DI 인 준수 이 문서는 다음과 위 수준과 정보를 니다
N Z 535 M 3864

N 4844 증 규격 . 같은 험 나타냅 .

위험
직접적인 위험
사 는
망 또 중상을 초 래 수 는
할 있 직접 적인 위 험을 나타냅 니다 .

경고
있을 수 있는 위험
사 는
망 또 래 수 는위
중상을 초 할 있 험을 나타냅 니다 .

5
본 설명서에 대하여

주의
있을 수 있는 위험
가 운 해를 래 수 는 위
벼 상 초 할 있 험을 나타냅 니다 .

통지
금지 사항 또는 지침
행위 대한 요 는 시 는
에 청 또 무 하 경우 물 적 손상을 초 래 수 는 성 관한 정보
할 있 특 에

1.2.2 그림 기호
시 는 대한 사고를 래 수 는 위 원과 관 행동 는
활동 지
무 하 경우 중 초 할 있 험 련된 또

위험에 대한 고 경

시 는 대한 사고를 래 수 는 위 원 의 행동
는 활동 지
무 하 경우 중 초 할 있 험 을 취급할 때

또 금

1.2.3 지침 / 약어
또는 작업 지시 사항 : 이 장소에서 작업하세요

[XXXX] 지정된 버튼을 눌러야 합니다 XXXX 제어판의

예 : “ 표준 ” 화면으로 돌아오려면 제어판의 < 홈 > 버튼을 누르세요 .

I/O 입 / 출력

4He 4 가 헬륨
3He 3 가 헬륨

H2 수소

1.2.4 라벨
이 터는 제품
챕 에 있 는 모 라벨과 그 의 를 제공합니다
든 미 .

안전 라벨 : 포장은 공장 출하시 부터 개봉되지

asssurance qualié / quality control
않았음을 보장합니다 .

접촉할 경우 전기 충격 위험을 나타냅니다 :

전원 케이블이 접지되어 있지 않으며 제품을
사용하지 마세요 .
제품을 사용하기 전에 전원 공급을 차단하세요.

접촉할 경우 전기 충격 위험을 나타냅니다 :

커버 제거 및 제품 사용 전에 전원 공급을
차단하세요 .

디텍터의 배기구가 막히지 않아야 함을

나타냅니다 .

6
 본 설명서에 대하여
제품 접지점 위치를 파악하세요 .

고객의 요청에 따른 제품의 사용자 맞춤 라벨

PRODUIT PERSONNALISE
CUSTOMIZED PRODUCT

품질 : 이 제품은 공장 출하부터 품질 조절을

준수하였음을 인증합니다 .

제품에 Bluetooth, Wi-Fi 혹은 Ethernet 설치 및

HLD1302577 - RS232 MAC 주소 사용이 가능함을 나타냅니다 .
Bluetooth MAC address
XXXXXX / None
Network MAC address
xx:xx:xx:xx:xx:xx / None

서비스 센터에 국한되어 사용

Pu_GL : 1 Pu_N : 1
Mu_GL : 12856 Mu_N : 31

Mu_Cal : 1 Mu_LDS : 1800

제품에 설치된 펌웨어 버전을 나타냅니다 .

DD-MM-YY 4
1) 펨웨어 이름
Factory Firmware /Logiciel usine
2) 펌웨어 버젼
L0232 V3302 E17D 3) 펌웨어 Checksum
L0264 V3200 FD87E7D 4) 출하 날짜
L0285 V3200 8C9D
1 2 3

제품 식별 라벨 ( 참조 4.1).

98 avenue de brogny F-74000 ANNECY

3 Kg 4 V 5 Hz 6 W
P/N : 1 Ind. : 8 9
S/N : 7 2

라벨 위치 (1) / (2) / (3)

(1) (2) (3)

7
본 설명서에 대하여

8
 안전

2 안전
2.1 안전 조치
알림 의무
제품의 설치, 사용 유지를 모 담당자는 저 사용 설명서의 안전 수 읽고
준수해 합니다
혹은 맡은 든 먼 칙을

야 .

제품 , 펌프 전체 설치와 관 모 작 자가 보호 수 록 는
작동 는 소비자의 입니다
된 물질 혹은 련된 든 업 될 있도 하

것은 하 책임 .

액세서리의 설치 및 사용
제품 정한 세서리와 사용가능합니다 설치 , 사용 및 리퍼 세서리 관
내용 개별 설명서 기재 어 니다
은 특 액 . 액 에 련된

은 에 되 있습 .

순정 세서리 사용 수 니다
세서리 고 번호 : 액세서리 조
액 만 할 있습 .

액 참 참

경고
전력 설치 부적합 관련 위험
설치 작동의 안전 작동자의 입니다
후 은 책임 .

지 안전 기준 라 제품 설치 합니다
고객의 적 른 어 한 개조 변 불가합니다
역 에 따 을 .

정한 문제시 서비스 터 연 세요
목 에 따 떠 혹은 경도 .

특 센 에 락하 .

경고
접촉시 전기 충격 위험
제품 차단기 이와 이 설정 O, 일부 내부 부품 전 가 유지 고 니다
같 되 있을 경우 에 하 되 있습 .

어 서 지 전력 차단 수 록 항 전원이 보이고 가능 록
해 합니다
떤 상황에 든 을 할 있도 상 접근 하도

제품 작 이 시작 기 전 항 이 모 전력 공 이 차단 어 어 합니다
야 .

업 되 에 상케 블은 든 급 되 있 야 .

경고
감전 위험
전압 및 전류로 인해 감전 수 니다 본 제품 숙 자 및 가자 외 작동
불가능합니다
될 있습 . 련 허

로 차단기를 O 로 서 연 및 전기 로공 장치를 그세요

유지 / 보수 개시 및 / 커버 분리 전 전원 그가 음 인 세요
회 둔 상태에 절 회 급 잠 .

혹은 플러 뽑혀 있 을 확 하 .

경고
공정가스 관련 위험
리크 탐지 작 작 자와 기기가 어 한 위 치지 는 작 환 서
이 어 합니다 사용자 / 작 자는 기기 작동의 안전한 작 환 전적인
업은 업 떠 험도 미 않 업 경에

이 니다 그래서 디텍터 사용자는 래와 이 준수해 합니다 :

루 져야 . 혹은 업 업 경에

책임 있습 . 아 같 야

부품 기기를 소량이라 한 화 , 부식, 인화, 반 , 성, 성 , 비

기 테스트 면 안 니다 퍼지 시스 이용 이 한 위 석
혹은 도강 학 응 독 폭발 물질 응축

시키면 안 니다 : 이 한 사용 적 치 니다
증 물질을 하 됩 . 템을 하여 러 험 물질을 희

지 법 준수한 정한 안전 수 적용해 합니다 더 자세한 정보는 서비스

됩 러 은 절 않습 !

터 연 세요
역 령에 특 칙을 야 .

센 에 락하 .

9
안전

주의
손가락이 끼일 위험
저장 크 커버를 다
탱 가 이 일위 이 룰 때 손 락 끼 험 있습 니다 .

커버를 서 리 세요
커버를 커버 서 리 세요
열 때 양쪽에 손을 멀 하 .

닫을 때 앞에 손을 멀 하 .

주의
손가락이 끼일 위험
작 대의 커버를 다
업 가 이 일 위 이 니다 룰 때 손 락 끼 험 있습 .

커버를 다 는 서 리 세요 커버와 작 대를 고정 서
가 리 세요
룰때 양쪽에 손을 멀 하 . 업 닫을 때 걸쇠에

손 락을 멀 하 .

경고
추락 사고의 위험
운 건 는 정 라 숙 전문가 이 제품 포장 서 수
니다
무거 물 을 취급하 규 에 따 련된 만 을 에 꺼낼

있습 .

사로가 , 디텍터의 이 해당 는 공간이 는지 인 세요

사로 서 디텍터를 조종 고 제동 기 위해서 항 디텍터 이를 으세요
경 긴 경우 길 에 하 있 확 하 .

경 에 하 하 상 손잡 잡 .

전기 및 추적 가스와 관 해 리크 디텍터 재적인 위 이 수 니다 련 에 잠 험 있을 있습 .

안전수 (E C, 전기 주의 , 화 적 오염 ) 라 교 선별 인력 이 이
설명서 기술 설치 및 유지/보수가 가능합니다 리 서비스 는 적 한 교
● 칙 M 학 에 따 육 받은 된 만

제공 수 니다
에 된 .우 센타 절 육을

할 있습 .

●제품이 사용 지 폐쇄 지를 제 면 안 니다
되 않을 때 플랜 거하 됩 .

●사람의 체 어 부분 고진공 으면 안 니다
신 느 도 에 닿 됩 .

●지 안전 범 라 모 안전 및 위 예방 수 준수해 합니다
역 규 에 따 든 험 칙을 야 .

●모 예방조치가 시행 는지 정기적으로 인 세요
든 잘 되 확 하 .

●커버가 으면 제품 전원 수 니다
없 을 켤 없습 .

2.2 보호 장구
어 한 서 디텍터와 관 부품 다 개인보호장비를 용해 합니다
소비자는 작 자가 필요한 장비를 제공해 합니다 : 이 장비는 정기적으로 체크 어
떠 상황에 든 련 을 룰 때 착 야 .

공 자의 추 라 사용 어 합니다
업 야 되 야

하며 급 천에 따 되 야 .

경고
kg

낙하물에 의한 부상 위험
소모품 / 부 품 운반 제품 유지 / 보수 진 체 의해 부
입 위 이 니다
속 혹은 중 낙하물 혹은 미끄러 물 에 상을

을 험 있습 .

작 부품 항 으로 기세요
2 kg 이 부품 리프 장치를 이용 이동시키세요
은 도 상 두 손 옮 .

Directive E 의 안전화를 용 세요
0 상 은 팅 하여 .

N 347 에 거 강철토캡 착 하 .

경고
고온 표면에 따른 위험
제품 작 자의 안전 로 인한 위 이 수반 지 록 디자인 니다 지
작 환 고 으로 인해 사용자의 각별한 주의가 필요합니다 ( 표면 > 커버 내부
은 업 에 열 험 되 않도 되었습 . 하 만

부품 C)
업 경은 온

은 70° .

제품 사용 기 전 이 식 를 기다 합니다
Directive E 2 라 필요시 보호장 용 세요
을 하 에 열 은 상태 려야 .

N 4 0 에 따 갑을 착 하 .

10
 안전
2.3 올바른 사용 방법
통지
CE 적합성
제조사의 적합성 선언 운영자가 순정 제품 변 는 보조 장치를 설치 는
소 니다
은 을 경하거나 또 하

경우 멸됩 !

장치를 시스 장 한 이 운영자는 작동 개시 기 전 전체 시스 이 해당 EU
적합한지 점검 고 적 게 로 가해 의 가 니다
템에 착 후 을 하 에 템

규칙에 하 절하 새 평 야 할 무 있습 .

리크 디텍터는 펌프 가스 서 추적가스를 감지 는 설비 부품의 유출 감지

및 / 수량화 기 위한 입니다
● 된 에 하 혹은 을

혹은 하 것 .

●이 설명서 정 추적가스 사용 가능합니다

에 규 된 만 .

●제품 장 서 이용 수 니다
은 산업 현 에 될 있습 .

2.4 부적합한 사용 예시
부적합 게 사용 는 모 해 구권 및 품 보 구권이 소 니다
위 언 한 용 와 리 사용 는 는 모 부적합 게 사용한 으로 간주합니다
하 하 경우 든 손 배상 청 질 증 청 멸됩 .

:
에 급 도 달 하 경우 두 하 것 .

특히

● 한 화 , 부식 , 인화 , 반 , 성 , 성 체 펌핑
강 학 응 독 폭발 액

● 체 펌핑
액

● 수 기 펌핑
응축 증

● 지 고형입자 펌핑
먼 혹은

● 위 구 서 작동
폭발 험 역에

●수소 량 이 가스 분석
함 5% 상

● , 수 기 , 페인트 , 제 , 세제 린스의 오염이 적이 는 부품의 테스트

물 증 접착 혹은 나 흔 있

●본 설명서 언 지 부 품 는 부품 사용
에 급되 않은 속 또

●제조 체가 판 지 는 부 품이 교체품의 사용
업 매하 않 속 나 .

제품 사람 수 과 의자 , 판사다리 다른 유사 용 로 사용 위해
고안 이 니다
은 혹은 짐을 송 발 혹은 도 을

된 것 아닙 .

11
운반 및 보관

3 운반 및 보관
3.1 포장 풀기 / 재포장
시 제품 운 면서 지 록 해 합니다 제품이
운 자를 해 적 한 조치를 수 록 제조사 알 합니다 이 한
배달 에 을 송하 손상되 않도 야 . 손상됐을 경우에

리는 래와 이 제안합니다 :
송 통 절 취할 있도 에 려야 . 러 경우에

우 아 같

저 가 지 제품 록 원래 포장 그대로 제품 보관 시고 사용
장소 서 음 포장 개 로 유지 합니다
희 손상되 않은 을 받도 을 하 된던

에 처 을 봉하신 상태 하셔야 .

제품이 운 저장 포장 ( 재활용가능한 ) 보관
송되거나 합니다 될 때 물질 은 하셔야 .

제품 사용 지 을폐쇄 지 ( 인 ) 를 유지해 합니다

하 않을 때 플랜 흡 야 .

포장 풀기 상자를 제 세요 거하 .

이스와 포지를 제 세요
트 부 포지의 램프 (1) 가 니다 이 트 서 디텍터를
케 발 거하 .

제 는 데 사용 니다
– 팔레 에 착된 발 펼쳐집 . 것은 팔레 에

거하 됩 .

부 품이 어 는 자를 제 세요
속 들 있 상 거하 ( 참조 4.1.1).

디텍터의 바 는 브 이크를 풀어 으세요

뒷 퀴에 있 레 놓 .

운 트 서 디텍터를 제 세요 : 디텍터를 램프 밀어 고 (1), 이를 고

세요
송 팔레 에 거하 에 넣 손잡 잡

천천히 하 .

바 서 퀴에 보호 필 제 세요
노란색 름을 거하 .

제어판 서 보호 필 제 세요
에 름을 거하 .

재포장 수납 이 비어 는지 인 세요
함 있 확 하 ( 참조 5.11).

리크 디텍터 입구 ( 입 ) 와 연결 부 품이 기 춤 제작품이 장 ,
이 제 세요
에흡 흡 된 속 나 타맞 착된 경우

것들을 거하 .

크 오프 지를 입구 ( 입 ) 설치 세요
블랭 플랜 흡 흡 에 하 .

리크 디텍터 실린더 홀더 부 품이 장 , 이를 제 고 기 위치로

이를 다시 니다 ( )
에 속 착된 경우 거하 초

손잡 채웁 . 실린더 홀더 사용 설명서 참조

디텍터를 운 트위 니다: 디텍터를 포지 램프(1) 밀어 고, 이로

밀어서 디텍터의 전면 운 트의 고정 장치 (2) 고정시키세요
송 팔레 에 놓습 발 에 넣 손잡

을 송 팔레 에 .

디텍터의 바 는 브 이크를 세요
뒷 퀴에 있 레 거 .

이스와 포지를 장 세요
이스를 기 전 포지 램프 (1) 를 어 올리세요
케 발 착하 .

– 케 덮 에 발 들 .

자를 고 전체를 으세요
상 씌우 묶 .

디텍터를 서비스 터로 보 는 제공 부 품 디텍터와 보관 세요

부 품 제품과 반환 지 세요
센 낼 때 된 속 을 함께 하 ( 참조
4.1.1). 속 들은 함께 하 마 .

12
 운반 및 보관
3.2 운반
경고
틸팅의 위험
EEC 안전 수 의 적합성 ( 정 범위 1 ) 이 보장 지 , 제품 운반 , 설치 및 사용
기 어 위 대한 예방 조치가 해 합니다
칙 상 ± 0° 되 만 중

울 질 험에 취 져야 .

기 기가 ( 는 ) 이 인 사면 제품 지 시오: 게 문 사용자가
수 니다
울 3° 또 6% 상 경 에 을놓 마십 무 때 에

사용 이동 세요
끌려갈 있습 .

제품 고 단단한 바 해 위치해 합니다

휠을 하여 하 .

으로 밀 면 누 지 세요
은 평평하 닥 야 .

한 건 지 세요
옆 거나 옆 을 르 마 .

쪽에 물 을 두 마 .

경고
추락 사고의 위험
운 건 는 정 라 숙 전문가 이 제품 포장 서 수
니다
무거 물 을 취급하 규 에 따 련된 만 을 에 꺼낼

있습 .

사로가 , 디텍터의 이 해당 는 공간이 는지 인 세요

사로 서 디텍터를 조종 고 제동 기 위해서 항 디텍터 이를 으세요
경 긴 경우 길 에 하 있 확 하 .

경 에 하 하 상 손잡 잡 .

통지
디텍터 작업 / 관리
장치가 전 멈추기 전 제품 이동 유지 / 보수를 개시해서는 안 니다 차단기를
이 로 O 고 , 래와 이 해 합니다 :
완 히 혹은 됩 .

상태 두 아 같 야

전력 이 의 그를 합니다
제품 작동 및 / 커버 제 전 제어판 스크린이 전 지 기다리세요
케 블 플러 뽑아야 .

혹은 거 완 히 꺼질 때까 .

제품 사람 수 과 의자 , 판사다리 다른 유사 용 로 사용 위해
고안 이 니다
은 혹은 짐을 송 발 혹은 도 을

된 것 아닙 .

손잡이 는 작 대 전면 는 포 부분 사용 제품 이동시키세요
또 업 에 있 착 을 하여 을 .

범퍼 , 제어판 ( 는 암 ) 입구를 사용 제품 이동 지 세요
또 혹은 흡 하여 을 하 마 .

3.3 보관
통지
정보제공의 의무
당사는 제품의 결 관리를 주의 으 , 이와 관리를 위해 제품의 기 패키 안
보관 시 권장합니다
청 했 며 같은 존 징 에

하 길 .

새 상품 저장 디텍터를 보관해 는 :
새 야 하 경우

포장 로 보관 시고 ,
된 상태 하

폐쇄 지를 그대로 시고 ,
플랜 두

기술적 특성 명시 조건 라 고 건조한 환 서 보관 세요
에 된 온도 에 따 깨끗하 경에 하 ( 참조
11.2).

개 이 이 면 , , , 공기 염 의 요소가 일부 품 ( 성 합체 ,
활제 ) 를 시 수 니다 이 한 이 생기면 , 서비스 터 연 세요
3 월 상 되 온도 습도 중 도 등 푸 탄 중

윤 손상 킬 있습 . 러 상황 센 에 락하 .

장기 보관 저장 기간이 어지기 전 시스 종료를 추 :

길 에 템 천

폐쇄 지를 입구 설치해 합니다
플랜 흡 에 야 .

메뉴 안 서 [Test] ([ 테스트 ]), 인 세요 :

Hard vacuum ( 고진공 ) 테스트 방식 선 ,
에 확 하

공기 입 밸브는 Operator ( 사용자실행 )

– ‘ ’ ’ ’ 택

– 흡 ‘ ’ ’ ’

13
운반 및 보관
버 누 테스트를 시작 세요 : 디텍터가 데스트 모드 가장 감 게
반 가 지 기다리세요
튼을 르며 하 에 민 하

응 할 상태 될 때까 .

벤트가 인 세요
끝난 것을 확 하 .

버 테스트를 멈추세요
튼을 눌러 .

디텍터 멈춤 : 차단기 가 O 가 록 합니다 되도 .

제어판이 멈추 록 기다 니다도 립 .

전원 이 의 그를 니다
케 블 플러 뺍 .

이 방식으로 디텍터는 진공 이 , 다시 스위치가 켜 가스를 는 시간이

어 니다
런 상태 며 졌을 때 빼

줄 듭 .

14
 제품 설명

4 제품 설명
4.1 제품 식별 정보
연 및 제품 인 정보 : Pfeiffer Vacuum 제품 표기 라벨 고 세요
락 확 참 하 .

98 avenue de brogny F-74000 ANNECY

3 Kg 4 V 5 Hz 6 W
P/N : 1 Ind. : 8 9
S/N : 7 2

그림 1: 명판의 예

1 모델명
2 명칭
3 중량
4 공급 전압
5 공급 주파수
6 최대 소비 전력
7 시리얼 넘버
8 인덱스
9 제조날짜

4.1.1 납품 범위
● 리크 디텍터 1
● 문서화 1 ( CD- O , 사용 설명서 , 디텍터와 S-2 2 의 메모 )
R M R 3 코팅

● ( 프 스 / 일 ) 유 전압 이 1 과 /
랑 독 럽 전압 이 1케 블 혹은 미국 케 블

● 내부 교정용 리크의 교정성적서 1

● 보수키트 1
● 그라운드 시트 1( 수납 음) 함에 있

● 칸막 이용 치 1( 수납
파티션 배 음) 함에 있

● 품 관리 라벨 1
질

● 호스 홀더 1
● Smart 스니퍼 프로브 사용용 어 터 1 댑

● Sub-D 수 커넥터 커버 1 는 1( 라) 5 또 37 핀 옵션에 따

● Sub-D 수 커넥터 1 는 1( 라)
5 또 37 핀 옵션에 따

4.1.2 변형 버전
AS - 2 리크 디텍터는 이동식 고성능 건식 펌핑 디텍터입니다
M 390 39 .

이 제품 결 고 펌핑 가 필수적인 용 분 ( 반 체 , )를
위해 설계 니다
들은 매우 청 하 높은 속도 응 야 도 코팅 등

되었습 .

AS : 1 l / s 이 의 추적 가스 펌핑 로 , AS 른 답 시간
제공합니다
● M 390 0 상 속도 M 390 은 빠 응 을

AS 2: 2 개의 터보 분자 펌프가 장 AS 2 는 다로운 용 분 의 요구를

충족시키기 위해 시장 서 가장 른 추적 가스 펌핑 를 제공합니다
● M 39 착된 M 39 까 응 야

에 빠 속도 .

15
제품 설명
4.2 연결 인터페이스
7 11 7 1

2 3

12

6 5 2 4

10

그림 2: 인간 / 기계 인터페이스

전원공급 2 커넥터 RS-232 Sub-D 9pin

(SERIAL)

디렉터 입구 ( 흡입 ) 3 인터페이스 커넥터 - Sub-D 15 pin I/O 보드

V (1)
(INPUTS/OUTPUTS)

저진공 펌프의 배기구 (EXHAUST) 4 인터페이스 커넥터 - Sub-D 37 pin I/O 보드

(INPUTS/OUTPUTS)
(1)

스위치 / 차단기 5 USB 플러그 (USB)

벤트 6 Ethernet 플러그 (NETWORK)

(1)

배출구 7 호스 홀더 고정점

SD 카드 8 브레이크

표준 스니퍼 프로브 연결 (STANDARD 9 실린더 홀더 고정점 (2)

SNIFFER)
(2)

16
 제품 설명
그림 2: 인간 / 기계 인터페이스

Smart 스니퍼 프로브 연결 (SMART 10 전원 케이블 안전용 벨트

SNIFFER)
(2)

1 표준 원격 제어 커넥터 (2) 11 작업대

12 수납 함

(1) 악세서리 혹은 옵션 ( 사용자 부담 )

(2) 부속품 ( 사용자 부담 )

17
셋업

5 셋업
5.1 측정 최적화를 위한 선제조건
펌핑 와 측정 를 최적화 :
속도 속도

디텍터 입구 지 과 동일한 지 의 이프를 사용합니다 이프는 가능한 전

게 밀 어 합니다
● 름 름 파 . 파 완 히

빠르 봉 되 야 .

●압 공기 이프와
축 라스틱 호스를 사용 지 세요
파 같은 플 하 마 .

●연결 부품 / 설치가 추적가스를 과시키지 록 인해 합니다 통 않도 확 야 .

, 수 기, 페인트, 세제 린스의 오염이 전 는 결 고 건조한 적 한 부품/

설비로 테스트해 합니다
● 물 증 혹은 혀없 청 하 절

만 야 .

디텍터가 펌핑 로 연결 전체 라인이 전 밀 는지 테스트

해 고 이는 실한 연결 ( 펌프 , 이프 , 밸브 ) 위한 입니다
● 회 에 잘 되었을때 완 히 봉되

야하 확 파 등 을 것 .

5.2 작동조건
위험
폭발 위험
Hydrogen ( 수소 ) 와 추적가스 의한 누설감지를 위해 , 작 자는 수소화 소를
사용해 합니다 ( 혼합 , 2 와 H2 의 혼합 )
‘ ’ ’ ’ 같은 에 업 질

야만 95% N 5% .

통지
고형 물질에 의한 오염 위험
사용으로 세 이 생기면 디텍터 입구를 보호해 합니다
미 물질 야 .

입 필터를 설치 세요 ( 부속품 챕터 ).
흡 하 참조

통지
디텍터 환기
환기가 충분 지 으면 , 과 로 부품이
하 수 니다 :
않 열 손상될 있습

작 를 준수해 주세요
환기구를 지 세요
업 온도 .

리크 디텍터 주위 최소 1 cm 의 유 공간 보 세요
막 마 .

디텍터 밑 보관 지 세요
에 0 여 을 확 하 .

에 아무 것도 하 마 .

환 적 조건
경 ( 참조 11.2).

5.3 설치
리크 디텍터는 로 지지해서 휠 평평 한 수 면 설치 어 합니다
평 에 되 야 .

경고
디텍터의 고정
검출기는 사용 는 유지 / 보수 시 , 고정 어 합니다
또 되 야 .

바 브 이크를 어 리크 디텍터를 고정 세요
뒷 퀴에 레 걸 하 .

통지
사용기체 응축
바람이 는 공간 서 리크 탐지를 실행 시 권장합니다
통하 에 하 길 .

18
 셋업
5.4 퍼지 및 벤트 연결
디텍터 는 디텍터의 기능 최적화 는 자동 퍼지가 장 어 니다
에 을 하 착되 있습 .

시스 이 연결 어 지 으면 벤트와 퍼지가 주위 공기와 연결 니다 퍼지는 리크

디텍터 내부의 공기 흐 유지합니다
● 템 되 있 않 됩 .

름을 .

●벤트 ( 개방 는 폐쇄 ) 는 사용자가 설정한 값 라 다 니다

상태 또 에 따 릅 ( 참조 7.4.6).

퍼지 및 벤트의 커넥터 는 보호 필터가 장 어 니다 에 착되 있습 ( 참조 4.2).

퍼지 외 Pollution ( 최대He값') 기능 사용 는 이 좋 니다 (의 사항 님)
에도 ‘ ’ ’ 을 하 것 습 . 무 은아

( 참조 7.3.2).

주의
오염 위험
리크 디텍터를 추적 가스 농 가 환 서 사용 지 세요 사용자는 디텍터 사용
장소 환기가 는지 인해 합니다 제조 체는 제품의 추적 가스 오염 대해
도 높은 경에 하 마 .

지지 니다
에 잘 되 확 야 . 업 에

책임 않습 .

5.4.1 연결
디텍터를 보호 필터 대 , 소 라인 연결 수 니다 (고객 부담) 소를 사용 면
리크 디텍터의 내부펌핑
신 질 에 할 있습 . .질 하

경고
가압 회로
제품 안전 게 사용 기 위해 작 자는 래와 이 해 합니다 :
을 하 하 업 아 같 야

수동밸브를 제품으로 부터 m 떨어진 소 로 설치해서 소공 이 고정 게

수 니다
3 질 회 에 질 급 되 할

있습 .

유량 최적의 성능 보장 기 위해 소공 결 게 필터링 어 래와
사 이 포 어 합니다
을 하 질 급은 청 하 되 야하며 아 같은

양 함되 야 .

– 대 과압력 2 hPa
상 초 00

–유량 sccm( 압력 시 = 입구 서 대 1 bar)

5000 에 절 .

사용 압력 ● 대 ~ bar(= ~ psig)
상 0 0.3 0 4.5

● 대 1~1 bar(= 1 ~1 psig)

절 .3 4.5 9

퍼지 가스 압력이 너무 높으면 , 벤트 밸브가 닫힐 수 있습니다 .

과정 커넥터 서 필터를 제 세요 에 거하 . ( 참조 4.2).

커넥터 수소 이프를 연결합니다

에 파 ( 참조 4.2).

5.5 연결
경고
전자파 장애 위험
E C 의 정 라 제품 설치 해 E C 서 명시 는 제품의 성능이 올 수
니다
M 규 에 따 을 야 M 에 하 나

있습 .

장애가 생 지 는 환 의 인터페이스를 위해 보호 링크와 연결 합니다

발 하 않 경 된 을 .

19
셋업

경고
전력 설치 부적합 관련 위험
설치 작동의 안전 작동자의 입니다
후 은 책임 .

지 안전 기준 라 제품 설치 합니다
고객의 적 른 어 한 개조 변 불가합니다
역 에 따 을 .

정한 문제시 서비스 터 연 세요
목 에 따 떠 혹은 경도 .

특 센 에 락하 .

이 디텍터는 1 설비로 지 어 급 접 되 야만 합니다 .

5.6 첫 작동
커넥터의 전선 전원 이 사용 전기 네트워크를 커넥터 연결 세요
에 케 블을 하여 에 하 .

차단기를 I 에 위치시키세요 .

언어 , 단위 , 시간 , 날짜를 설정 세요 ( 작동자는 설정 변 수 니다
)
하 나중에 을 경할 있습

( 참조 7.7.1) .

디텍터가 Stand-by 모드가 지 기다리세요 될 때까 .

5.6.1 제어판과 익숙해지기

제어판의 설명 ( 참조 6.1.1).

번
여러 적용 스크린 익숙해지 록 합니다
눌러 에 도 .

번
여러 제안 기능 버 의 벨 2 가
눌러 지 합니다 된 튼 레 될 때까 .

각 단계 서 누 세요 에 기능 게 기 위해 제어판 기능키를 누 세요
르 혹은 하 하 르 .

5.6.2 디텍터와 익숙해지기

고진공 서 테스트를 수 고 디텍터가 자체적으로 테스트를 는 알 수
니다
상태에 할 있 하 것을

있습 .

디텍터 입구 폐쇄 지가 제품과 어가 록 세요
에 플랜 들 도 하 .

버 누 테스트를 시작 세요 측정 리크량이 디텍터의 백그라운드

납니다
튼을 르며 하 . 된 에

나타 .

버 테스트를 멈추세요
튼을 눌러 .

폐쇄 지를 디텍터 입구 서 제 면 다음 누 세요 : [Inlet vent]

([ 입구진공해제 ])
플랜 에 거하려 을 르

5.7 테스트 부품 , 설비 연결
통지
작업 제한
제품의 인 연결 챔버 부품이 기압 대비 1·1 3 hPa 의 부압 견뎌내는지
인해 합니다
흡 에 된 혹은 0 을

확 야 .

●입구 력 기압이 최대치가 어 합니다 제품

앞 은 시 수 는 고압력 되 야 . 을 손상 킬 있

●디텍터의 성능 사용 는 세서리와의 기계적 연결

은 되 니다 액 상태에 달려있습 .

진공 로 조 시 제품 고 시키고 보수를 용이 게 는 세서리 ( 인 고정밸브 ,

퍼지 ) 를 사용 세요
● 회 립 을 립 하 하 액 흡

등 하 .

● 래와 권고사항 준수
아 같은 측정값 최적화 세요
을 하여 ( 참조 5.1) 을 하 .

●디텍터 입구 용 는 최대 량 1 kg 과 최대 2 ·m
에 허 되 중 은 8 5 N .

●디텍터의 작 대 인 부품, 부 품 의 총 량 kg 과 지
업 에놓 합니다 속 등 중 은 50 을초 하 않아야 .

가요성 이프를 사용 부품이 장비를 연결 세요 성 이프를 사용 지

세요
파 하여 나 하 . 강 파 하

마 .

20
 셋업
텍터의 입구를 는 폐쇄 지를 제 고 보관 운 재 사용 위해
보관해 세요
티 덮 플랜 거하 혹은 송할때 을

두 .

제품 카탈로그 는 연결 부 품으로 부품이 장비를 연결 세요

에 있 속 나 하 .

디텍터가 펌핑 로 연결 전체 라인이 전 밀 는지 테스트

해 고 이는 실한 연결 ( 펌프 , 이프 , 밸브 ) 위한 입니다
회 에 잘 되었을때 완 히 봉되

야하 확 파 등 을 것 .

5.8 스위치 연결
디텍터의 기구가 면 안 니다
배 막히 됩 .

리크 디텍터는 기구 다음의 부품 배 ( / 부 품 ) 가 장 어 니다
에 중 하나 옵션 속 착되 있습 .

– 필터
금속

– 기구 D 2 ISO-KF
배 N 5

– 기구 D ISO-KF
배 N 40

고객 애 리 이 가스 제 의 , 항 주어진 권장 사항 라 리크 디텍서가
사용 는 인 면서 , 기 라인 ( 고객 부담 ) 디텍터를 연결 는 이 좋 니다
플 케 션 거 경우 상 에 따

되 것을 확 하 배 에 하 것 습

( 참조 2.3).

디텍터는 항 기 사용법 준수해 합니다

상 초 을 야 ( 참조 2.3).

통지
작업 제한
고객 애 리 이 의 기 라인이 항 가 운 부압인지 인 세요
플 케 션 배 상 벼 확 하 .

제품 스위치 압력이 2 hPa ( 대적) 넘지 록 해 합니다 제품 시 수

는 고압력
00 상 을 않도 야 . 을 손상 킬

5.9 제어판 고정

제어판 은 금속 성 표면 에 놓을 수 있도 록 자화 어 되 있습 니다 .

5.10 호스 홀더 고정
D ISO-KF 호스 홀더(지지링, 씰 및 클램프 이 단 으로 됨)는 는 장기
보관 테스트 설비 디텍터의 입구를 연결 는 호스를 고정 고, 디텍터의 입구와
N 40 없 독 배송 취급 또

호스를 진공 로 유지 게 합니다
중에 할 에 하 하

상태 하 .

이 홀더는 이 한 적으로 제공 부 품 고정 니다
러 목 된 속 에 됩 .

이 적으로 제공 2 개의 고정점
목 호스 홀더를 으세요
된 중 하나에 놓 .

21
셋업

5.11 보관
리크 디텍터 는 글 수 는 수납 이 니다
에 잠 있 함 있습 .

제품과 치를 사용해 사용자의 향 라 수납 (1) 수

니다
함께 배송된 파티션 배 취 에 따 함 을 나눌

있습 .

1
2

1 수 납 함
2 호스 수 납 함

커버 잠금 자 (자물쇠 제공, 고객 부담)를 사용 수납

물쇠 미 하여 함 중 하나 의 커버를 글 수잠 있습니다 .

커버를 올 니다 립 .

판 세요 : 판 돌리고 세요
잠금 을 푸 잠금 을 푸 .

소형 면 공구 ( 예 : 드라이버 ) 로 판의 로창 제 세요 커버를 내리세요

자 를 으세요
평 잠금 경 을 거하 . .

물쇠 놓 .

22
셋업

23
운전

6 운전
6.1 제어판
디텍터와 인터페이스 고 , 래의 사항이 가능합니다 : 되 아

–테스트 관 정보 디스 이 련 플레

–가능한 기능 접속

–디텍터 값 설정
스크린 복사를 위해 [Screen Copy] 기능키 값을 설정하세요 ( 참조 7.7.2).
화면 작동이 되지 않아도 기능은 여전히 사용가능합니다: RS-232를 사용하여 디텍터를
조작 / 설정 .
6.1.1 설명
1 4

START
STAND-BY
2

6 5

그림 3: 제어판

근
1 적용 스크린 ( 터치 스크린 ): 접 숨길 가능 하거나 수 있습니다 ( 참조 7.7.3).
2 테스트 시작 /멈 춤
3 적용 스크린 전 환 떤 메뉴 든 :어 에서 홈 (< 표준 > 스크린 ) 페이지로 돌아 갑 니다 .
액
4 표준 원격 제어 커넥터 연결 ( 세서리 ).
5 기능에 대한 빠 속 키 여
른접 . 작업자에 의한 부 기능 ( 은 터치 스크린에 문 제가 있을시에 기능 접 속 이
가능합니다 ).
6 기능 키 계 냄
단 나타 : 스크린을 터치하면 기능 시작 혹은 서브 메뉴 납
나타 니다 .
7 기능 키 계변단 화.

제품 전 스크린 보호 기 위해 필 제 지 세요
달 때 을 하 름을 거하 마 .

펜,
사드라이버 과 력한 구를 사용 지 말고 수동으로 터치 스크린
사용 세요
나 등 같은 강 도 하 을

하 .

비 활 성화 기능 (OFF)

활 성화 기능 (O ) N
비 밀번 없 호 속 이 가능한 접

비 밀번 잠긴 속
호에 의한 접

< 회색 키 근 팅
> :접 세 혹은 기능

< 흰색 키 >팅불 키: 고객 세 가 , 정보 필 요

< 측 키 측
정된 정보 > : 정된 리크량 디스플레이

24
 운전
메뉴 안의 이 동 살 화 표

에러 / 경고 창 근 접

선 택값 설정 가능함

값 설정 키

다음 기능 / 스크린 / 설정으로 이 동
이전 디스플레이 돌아가기

이전 디스플레이 돌아가기와 바뀐 변 경사항 확 인

바뀐 변 경사항 확 없 인 이 이전 디스플레이 돌아가기

선 택 된파 일 제거

6.1.2 명암 - 밝기 - 스크린 세이버

( 참조 7.7.4)

6.1.3 화면순서
스크린 내용 래의 예와 니다 누출 디텍터와 세 라서 디스 이는
라 니다
은 아 같습 . 팅에 따 플레

달 집 .

4 2

그림 4: 각각의 스크린의 예

1 < 표준 > 스크린 ( 홈 )

테
스트 프로그 램 행 관
실 에 한 정보

25
운전
그림 4: 각각의 스크린의 예

2 <그 래 프 > 화면
리크량 / 혹은 입구 압력 모니터 링과 록 기
3 <기 본데 이터 > 스크린
디텍터 진공 회 로와 밸 상태
브
4 < 설정화면 > 스크린
디텍터 값
작업자는 최근 일부 스크린을 숨기기 / 혹은 바꿀 수 있습니다 ( 참조 7.7.3).

6.1.4 < 표준 > 스크린

테스트 관 에 련된 정보
12 9 10

1
8
2 14

11 7

3 13 4 5 6
1 리크량 디지 털 디스플레이 ( 초록색 ≤ 계값 빨간색한 < )
2 리크량 그 래 프 설정 디스플레이 ( 조절가능 범 위)
3 디텍터 상태 검 와 출 모드
4 에러 정보 접 속
5 음소거 기능 표시
6 진공 해제 기능 표시 (ASI30/35 제외 )
7 셀 압력 바 래
그 프 디스플레이
8 리크량 단위
9 리크량 조정 기능 표시
10 영 점 기능 표시
11 디텍터 입구 압력 디스플레이 ( 리크량의 단위와 동일 한 제품 )
12 추 3 4
적가스 ( He, He 혹은 H2)
13 퍼지 기능 표시
14 제로 기능 2 Dec. 막대그 래 프 표시

기능키를 사용하는 몇몇 기능을 나둘때 비밀번호는 < 설정메뉴 > 접속을 잠금 시킬 수

있습니다 ( 참조 7.7.2).
6.1.5 < 설정화면 > 스크린
( 참조 7.2)

6.1.6 < 그래프 > 화면

( 참조 7.1)

6.1.7 < 기본데이터 > 스크린

디텍터 진공 로와 밸브 회 상태 .

기본데이터는 각 디텍터 모 라 다 니다 델에 따 릅 .

기본데이터는 밸브 라다 게 지 , 밸브 조작 가능 지
상태에 따 르 나타나 만 은 하 니다
않습 .

26
 운전

그림 5: 예

빨간 밸 브 닫힌 밸 브
초록 밸 브. 열림 밸 브
펌프 ,분석관 동 칙
작 원 을 나타 내기 위해 부품을 누르세요 .

6.1.8 < 측정 > 창

다음 버 [Measure] ([ 측정값 ])
튼 창 표시 세요 을 눌러 을 하 .

누 고 창 드 그해서 스크린으로 그
르 을 레 기세요 것을 옮 .

2 3 4 5
그림 6: [Measure] ([ 측정값 ]) 버튼 과 해당 창

1 리크량 디지 털 디스플레이 ( 초록색 ≤ 계값 빨간색 한 < )

2 디텍터 테 스트모드
3 에러 정보 표시
4 영점 기능 표시
5 리크량 조정 기능 표시

6.1.9 기능키
기능키는 기능의 작동 / 멈춤 및 주변 설정 가능 게 합니다 을 하 ( 참조 7.7.2).

기능키 덕분 한정 수의 기능 대한 세스를 작 자 게 제공 수
에 된 에 액 업 에 할 있습니다 .

6.2 사용 전제조건
최 설정화면 라 리크 디텍터는 가장 예 한 테스트모드 서 고진공 테스트를
실행 기 위해 조정 니다
초 에 따 민 에

하 됩 ( 참조 12.1).

다른 값과 다른 기능과 모 사용 챕터 7 고 세요
혹은 든 은 을 참 하 .

통지
마모 위험
디텍터가 작동 일 는 대로 움 이지 세요 중 때 절 직 마 .

각각의 스위키를 켜기 전 : 에

안전수 숙지해 합니다칙을 야 ( 참조 2).

모 연결이 정든 는지 인 세요 확히 됐 확 하 ( 참조 5).

리크 디텍터는 사용기체의 오염이 는 서 사용 어 합니다 없 상태에 되 야 .

커넥터 연결 는지 인 세요 전원 공 이 이용 연결 세요
에 잘 되었 확 하 급 케 블을 하여 하 .

6.3 디텍터 시작

6.3.1 켜기
차단기의 위치 선정 은 I ( 참조 4.2).

27
운전
디텍터 시작의 다 한 단계가 납니다 디텍터가 테스트를 위한 준비가 면 Stand-
by 화면이 납니다
양 나타 . 되

나타 .

그림 7: Stand-by 화면

첫번째 디텍터 시작 단계 ( 참조 5.6)

멈춤이 지속된 후 보관기간 사용 지 는 기간이 어지면 , 자주 사용 보다 시작 시간이 더 어

시작 수 니다
혹은 하 않 길 할때 길

질 있습 .

6.3.2 테스트 시작
테스트 방법 테스트 부품 라 선 니다 리크 탐지 테스트 방법 관해 더 많
정보를 원 시면 , 사이트 Leak detector compendium 를 고 세요
은 할 에 따 택됩 . 에 은

하 참 하 .

가능한 2 가지 테스트 방법 : 고진공 스니퍼 혹은

고진공 테스트 Hard vacuum ( 고진공 ) 테스트 방식 선

‘ ’ ’ ’ 택 ( 참조 7.4.1).

테스트 모드를 설정 세요 하 . ( 참조 7.4.3).

필요시 한계값 조정합니다 을 . ( 참조 7.3.3).

디텍터를 Stand-by 모드로 으세요 높 .

테스트 부품 준비 세요
분사 방법
할 을 하 .

테스트 부품 서 공기를 제 세요
●

테스트 부품 리크 디텍터의 입구 연결 세요
– 할 에 거하 .

Bombing 방법
– 할 을 흡 에 하 .

테스트 부품 가압 추적 가스 챔버 으 시오
●

테스트 부품 챔버 서 내고 리크 디텍터 입구 연결 테스트 챔버

– 할 을 에 놓 십 .

으세요
– 할 을 에 꺼 흡 에 된 에

넣 .

버 누 테스트를 시작 세요
분사 방법
튼을 르며 하 .

누출 가능성이 는 부분 추적 가스를 분사 세요
●

– 될 있 에 하 .

테스트의 다 한 단계가 납니다 양 나타 .

디텍터가 가장 감한 테스트 모드가 지 기다 서 측정값이 안정화 기를

기다 니다 : 측정 리크량 해당 는 측정
민 될 때까 려 되

립 된 에 하 .

버 테스트를 멈추세요
튼을 눌러 . .

테스트는 표준 원격 제어 커넥터 연결(부속품)를 사용하여 시작됩니다 . 원격

제어 커넥터 조
사용 설명서
참

스니핑 테스트 Sniffer' ( 스니퍼 ) 사용 테스트 방법 선

‘ ’ ’ 택 ( 참조 7.4.1).

사용 프로브 유형 설정합니다
된 을 ( 참조 7.4.4).

한계값 조정합니다 필요시 을 ( 참조 7.3.4).

리크 디텍터가 Stand-by 모드일 스니퍼 프로브 ( 세서리 ) 를 커넥터

연결 는 ) 그리고 표준 Smart 프로브 모 선 세요
때 액 에

하거나 또 혹은 델을 택하 ( 참조
7.4.4).

버 누 테스트를 시작 세요
튼을 르며 하 .

스니퍼 프로브로 누출 가능성이 는 테스트 부분의 영 스캔합니다 :

표시 리크량 감지 누출 ( 리크량의 정성 값 ) 라 다 니다
있 역을 천천히

된 은 된 에 따 릅 .

버 테스트를 멈추세요
튼을 눌러 . .

28
 운전
6.3.3 시동 시 자동으로 테스트 시작
이 기능 디텍터의 시동 단계 첫 번째 테스트를 자동으로 시작 는데 사용 니다
은 후에 하 됩 .

기능 시작 기 전 입이 연결 는지 인 세요
을 하 에 흡 잘 되었 확 하 .

디텍터 시동 단계 동안 , un Test after start? (1) 라고 표시 메시지를 인한 다음 ,

[Yes] (2) 를 클릭 기능 활성화 세요
‘R ’ 된 확

리크 디텍터를 다 문이 제기 입니다 지 선 저장 지
하여 을 하 .

니다
– 켤 때마 질 될 것 . 마 막 택은 되

기능 활성화 지 으 면 [No] 를 클릭 세요
않습 .

– 을 하 않 려 하 .

1 2

이 기능이 활성화 , 첫 번째 테스트는 감지기 시작 단계가 료 자 자 자동으로

시작 니다 사용자가 다음의 테스트를 시작합니다
된 경우 완 되 마

됩 . .

6.4 작동 감시
작동시 사용자는 래와 고를 니다 : 아 같은 경우 경 받습

● 메세지를 내는 픽 그램 읽어 합니다
에러 타나 토 야 .

●화면 실패 표시 에 .

메세지 리스트 : 경고 / 에러 리스트

참고 챕터 : 유지 / 보수 메뉴얼의

6.5 차단기 멈춤
차단기를 O 두세요 에 ( 참조 4.2).

제품 작동 및 / 커버 제 전 제어판 스크린이 전 혹은 지 기다리세요 거 완 히 꺼질 때까 .

작동 중단 디텍터를 작동 단 면, 디텍터가 멈춥니다: 전원이 어오면 자동으로 다시 시작 니다

디텍터
중 하 들 됩 .

6.6 제품 설정 보관과 다운
디텍터가 설치 교체 설정( 모 값과 사용자 의해 프로그램 기능 설정)
복사해 는 이 움 니다
되거나 될때 든 에 된 을

놓 것 도 됩 .

디텍터가 전원이 켜지면 Stand-by 모드 서 실행 세요 에 하 .

6.6.1 설정 저장
저장 과정 세요 을 따르 ( 참조 7.8.13).

디텍터의 구성 자동으로 제어판 SD 카드 저장 니다

은 에 됩 .

6.6.2 설정 저장
저장 과정 세요 을 따르 ( 참조 7.8.13).

이전 설정 자동으로 데이트 니다은 업 됩 .

사용자 설정 는 래의 값 제외 고 디텍터의 모 값 다운 니다
되 아 은 하 든 을 받습 .

–언어
–시리얼링크 (AS 1 제외 ) M 3 0

–날짜 / 시간
29
운전
– 온도 단위 (ASI 제외 ) 35

– 압력 단위 .

6.7 교정
교정의 적 리크 디텍터의 사용기체 누설 검출 및 정 한 누설 표시 부를
인 는데 니다 리크 디텍터를 교정 기 위해 교정용 리크가 사용 니다
목 은 확 도 여

확 하 있습 . 하 됩 .

내부 교정용 리크 내부 교정용 리크는 리크 디텍터를 위해 별 설계 니다 구성 다음과 니다

:
특 히 되었습 . 은 같습

●가 헬륨 크 1 개 ( 다른 사용기체로 내부 교정 지 음 )
4 탱 하 않

● 서1개(온도 센 른 누설 변화 교정용 ) 온도에 따 도

●합 1 개 ( 누설량 교정용 )
통 막

식별 라벨 1 개 ( 외부 교정누설 식별라벨과 구별됨 )

●

교정용 리크 료 교정 인 서가 니다 완 후 증 나옵 .

다음의 범위 서 교정용 리크를 사용 세요 ≈ 1 -7 mbar·l/s ( ≈ 1 -8 Pa m3/s )

에 하 . 0 0 . .

외부 교정용 리크 정해진 사용기체를 담고 는 교정용 리크를 이용해 합니다 (4He, 3He H2) 크
유 , 밸브 유 , 리크 종류 선 라 외부 교정용 리크 종류가 다 합니다
있 야 혹은 . 탱

무 무 택에 따 양 .

리크의 선 위해 문의 바랍니다 택을 .

제조업체는 3He 및 H2 에서 교정용 리크를 제공하지 않습니다 . .

사용 용도에 따라 외부 교정용 리크의 선택이 달라집니다 : 교정용 리크 사용 시 측정할

리크와 누설량이 동일해야 합니다 .
6.7.1 고진공 테스트 교정
내부 교정용 리크 교정 내부 교정용 리크 ( 참조 6.7).

디텍터가 테스트 일 , 교정이 시작 수 니다 중 때 될 있습 .

리크 설정값 인 세요 ( 필요시 시간과 른 누설량 보정 )

Spectro ( 스펙트로 ) 메뉴
을 확 하 온도에 따 ( 사용 설명서의
참고 ).

기능키를 누 세요 [Auto cal] ([ 자동교정 ]) 교정 시작 기 위해

르 을 하

통지
디텍터 교정
스위치가 켜지고 2 분 , 디텍터는 사용자 게 자동 교정 ( 교정 라 터가 operator
( 자동 교정 ) 로 어 는 ) 수행 제안합니다 디텍터를 올바 게
0 후 에 파 미 ‘ ’

사용 면 , 이 자동 교정을 실행해야 합니다 . 다음과 이 교정 수행 는 이

’ ’ 되 있 경우 을 할 것을 . 르

좋 니다 :
하려 같 을 하 것

적어 한번
감성 테스트를 위한 측정 정 를 최적화 기 위해
● 도 하루에

리크 디텍터의 제대로 작동이 의심

● 높은 민 확도 하

사용의 : 각 작동 세 의 기 내부 교정 시작 세요 ( 예 : 팀 작 ,
● 된 될 경우

시간 다 )
● 집중 경우 션 초 에 을 하 . 업

8 마

외부 교정용 리크 교정 외부 교정용 리크 ( 참조 6.7).

래 게 라 터를 설정 세요
테스트 방법 = Hard Vacuum ( 고진공 ) Menu Test ( 테스트 ) 메뉴
아 에 맞 파 미 하 .

( 참조 )
교정용 리크 종류 = external ( 외부 ) Spectro ( 스펙트로 ) 메뉴
●

( 참고 )
교정 = operator ( 자동 교정 ) 어드밴스드 메뉴
●

● ( 참조 )

라 터와 사용 외부교정용 리크 값 인 세요 Spectro (스펙트로) 메뉴

필요시 , , 연 를 교정 세요
파 미 된 을확 하 ( 참고 ).
온도 달 도 하 .

외부 교정용 리크 추적기체를 선 세요 Spectro ( 스펙트로 ) 메뉴

에 택하 ( 참고 ).

30
 운전
디텍터 입구 외부 교정용 리크를 장 세요 에 착하 .

디텍터가 Stand-by 모드 인 세요 임을 확 하 .

교정 시작 기 위해 [Auto cal] ([ 자동 교정 ]) 기능 키를 누 세요
을 하 르 .

리크 디텍터 지시사항 세요 : 다음 단계로 넘어가기 위해 [Next] ([ 다음 ])

누 세요
을 따르 을

르 .

교정이 료 면 디텍터는 Stand-by 모드로 돌 니다

완 되 되 아 갑 .

합 / 불 기준값이 내부 교정 리크값과 다를 때 권장되는 절차 .

펌프장치에 연결된 리크 리크 디텍터가 펌프를 장 한 장치와 연결 디텍터는 누설의 일정 부분
디텍터 교정 측정합니다 교정의 적 펌프장치 의해 실 는 사용기체 측정 해 누설 를
착 되었을 경우 만

적으로 측정 는 데 니다
. 목 은 에 손 되 을 통 도

교정 보정 기능 ( Autocor ( 자동 보정 )) 과 이 실시 니다
직접 하 있습 .

은 ’ .’ ’ ’ 같 됩 .

리크 디텍터 내부리크 교정 료 보정 실시합니다 완 후 .

외부 교정용 리크를 사용 , 식별 라벨 표시 교정 리크값 서 표값

계 록 교정 날짜와 과를 고 는 이 좋 니다
할 경우 에 된 에 목 을

산하도 온도 효 려하 것 습 .

보정 리크값 = 표값 = 측정 리크값 x 보정인자 목 된

기능키를 정 세요 [Correction] ([ 보정 ])
배 하 . 기타설정 메뉴 ( 사용 설명서의 참조 ).

hard vacuum ( 고진공 ) 모드를 선 세요

‘ ’ ’ ’ 택하 .

다음 누 세요 : 테스트 시작 위해
을 르 을

기능키를 누 세요 [Correction] ([ 보정 ])
적용 보정 인자값 이 알고 다면 :
르 .

다음 누 세요: [Value] ([값]) 적용 보정 계수를 설정 세요 보정인자는 측정

● 할 을 미 있

누설 적용 보정 값입니다
– 을 르 할 하 . 된

다음 누 세요 : [Return] ([ 돌아가기 ]) 해당 기능 서 가 록
도에 할 .

적용 보정 계수의 값 알 수 는 :
– 을 르 에 나 도

다음 누 세요 :[Auto Cor.]([ 자동 보정 ]) [Target] ([ 목표값 ]) 표누설값

● 할 을 없 경우

설정 세요
– 을 르 목 을

다음 누 세요 : [Start] ([ 시작 ]) 보정 시행 록
하 .

다음 누 세요 : [Return] ([ 돌아가기 ]) 해당 기능 서 가 록
– 을 르 을 하도

– 을 르 에 나 도

보정 계수의 값이 자동으로 계 니다 산됩 .

보정 계수의 값이 1 이 니라면 , 제어판 ‘COR’ (’ 보정 ’) 표시 표준

화면 이 표시 니다
아 에 등 ( 사용 설명서의

디지털 디스 이는 적용 보정 계수를 고 합니다

항목 9 참조 ) 됩 .

대그래프 디스 이는 적용 보정 계수를 고 지 니다
플레 된 려 .

막 플레 된 려하 않습 .

다음 누 세요 : [RAZ] ([ 리셑 ]) 보정 계수를 1 로 재설정 록

을 르 하도

6.7.2 스니퍼 테스트 교정

내부 교정용 리크 교정 내부 교정용 리크 ( 참조 6.7).

디텍터가 대기 모드 (Stand-by) 교정이 시작 수 니다 에 있을 때 될 있습 .

이 교정 전체 측정 ( 디텍터 + 스니퍼 프로브 ) 이 니라 , 디텍터 교정합니다

은 아 만 .

고진공 테스트와 동일한 차 절 ( 참조 6.7.1).

‘ 외부 스니퍼 ’ 교정용 리크 외부 교정용 리크

교정
( 참조 6.7).

래 게 라 터를 설정 세요
테스트 방법 = sniffing ( 스니퍼 ) 테스트 메뉴
아 에 맞 파 미 하 .

( 참조 )
교정용 리크 종류 = Sniffer externe ( 외부 교정 ) Spectro ( 스펙트로 ) 메뉴
●

● ( 참조 )

외부 교정용 리크 추적기체를 선 세요 Spectro ( 스펙트로 ) 메뉴

에 택하 ( 참고 ).

라 터와 사용 외부교정용 리크 값 인 세요 Spectro (스펙트로) 메뉴

필요시 , , 연 를 교정 세요
파 미 된 을확 하 ( 참고 ).
온도 달 도 하 .

교정 시작 기 위해 [Auto cal] ([ 자동 교정 ]) 기능 키를 누 세요
을 하 르 .

31
운전
리크 디텍터 지시사항 세요 : 다음 단계로 넘어가기 위해 [Next] ([ 다음 ])
누 세요
을 따르 을

르 .

외부 교정용 리크 어댑터 :
D 1 ISO-KF D 2 ISO-KF 어 터로 스니퍼 테스트 모드 서 외부 교정용 리크로
디텍터를 교정 수 니다 ( 표준 프로브 사용해서 )
N 6 혹은 N 5 댑 에

할 있습 만 할 것 .

어 터모 명(
댑 델 침조 )유지 / 보수 설명서

1 4 3

그림 8: 어댑터 설치

터링 링과 클램프를 이용 사용 외부 교정용 리크 (2) 어 터 (1)

고정합니다
센 하여 할 에 댑 을

교정 시작 세요 : 기능키를 누 세요 [Auto cal] ([ 자동교정 ])

을 하 르 .

교정 입구 스니퍼 프로브 ( ) 를 장 세요
에 3 착하 .

고정 사 ( ) 를 조이세요 제어판 표시 교정 차 라 실시 세요
나 4 . 에 된 절 에 따 하 .

고정 사 ( ) 를 세요
나 4 푸 .

교정 입구 서 스니퍼 프로브를 제 세요
에 거하 .

제어판 서 가리키는 교정 차를 세요
에 절 따르 .

1 분 누설 를 측정 세요
0 후 도 하 .

축교정 농 = 사용기체 농 가 명시 대기압 혼합가스 부피

농 축 도 된 상태

농 교정 스니퍼 모드 테스트 , Stand-by 모드의 디텍터 서 가능합니다

축 은 에 만 .

통지
기능을 시작하기 전에 리크 디텍터는 사용기체의 오염이 없는 상태에서 사용되어야
합니다 .
래 게 라 터를 설정 세요
테스트 방법 = sniffing ( 스니퍼 ) 테스트 메뉴
아 에 맞 파 미 하 .

( 참조 )
교정용 리크 종류 = concentration ( 대기 헬륨 교정 ) Spectro ( 스펙트로 ) 메뉴
●

● 중 (
참고 )
교정 = operator ( 자동 교정 ) 어드밴스드 메뉴
● ( 참조 )

농 교정대기 헬륨 교정 추적기체를 선 세요 Spectro ( 스펙트로 ) 메뉴

축 중 택하 ( 참고 ).

교정 시작 기 위해 [Auto cal] ([ 자동 교정 ]) 기능 키를 누 세요
을 하 르 .

리크 디텍터 지시사항 세요 : 다음 단계로 넘어가기 위해 [Next] ([ 다음 ])

누 세요
을 따르 을

르 .

교정이 료 면 디텍터는 Stand-by 모드로 돌 니다

완 되 되 아 갑 .

32
 어드밴스드 설정

7 어드밴스드 설정
7.1 < 그래프 > 화면
다음 버 튼을 통 해 < 그래프 > 화면 에 접속 .

7.1.1 설명
리크량과 / 혹은 입구 압력량 모니터링 및 기록
1 2 3 4

5
8 6

7
9
그림 9: < 그래프 > 화면

1 리크량의 디지 털 디스플레이
2 디텍터 상태 검 와 출 모드
3 ‘
리크량 보정 ’과‘영 ’ 점 기능 표시
4 흔 록
적기
5 입구 압력량의 흔 랑 적(파 )
6 입구 압력량의 범 랑 위(파 )
7 추적가스의 리크량의 흔 빨강 적( )
8 추적가스의 리크량의 규 빨강 모( )
9 시 간범 위
범
(6), (8), (9) 래위는 그 프의 버튼에 따라 조정 가능합니다 .

7.1.2 설정화면
그래프의 버 튼에 따 라 그래프 설정 메뉴 에 접속 합니다 .

7.1.3 범위 설정
그래프를 누 고 , [Scale] ([ 범위 ])
르 을 눌러 그래프 설정값 변 세요
을 경하 .

1
2
3
4
5
6
7

1 화면에 표시된 시간
2 자 동규 동 행
모의 자 실 / 비작 동 행
실
3 자 동 행범 값
실 위의

33
어드밴스드 설정
4 측 정된 리크량의 나타 냄 숨김 /
5 리크량의 규 값 활 ‘
모 (( 비 성화 automatic ( 자 ’ ’ 동 행’ 범 일 실 ) 위 경우 )
6 흡인압력의 나타 냄 숨김 /
7 흡인압력 규 값
모의

자동실행 범위 자동실행 범위는 2 Dec 서 측정 리크량 수 게 합니다 모는

측정 리크량 라 다 게 납니다 자동실행 모가 작동 면 , 리크량 , 압력의
혹은 4 . 에 된 을 나타낼 있 . 규

값의 모는 더이 측정 지 니다
된 에 따 르 나타 . 규 되

규 상 되 않습 .

예 : 리크량 = ·1 -7 mbar·l/s ( ·1 -8 Pa·m3/s)

5 0 5 0

2 Dec 자동 모 : 1·1 -6 부터 1·1 -8 mbar·l/s 지 의 모 (1·1 -7 부터 1·1 -9 Pa·m3/

s 지)
● . 규 0 0 까 규 0 0

Dec 자동 모: 1·1 -5 부터 1·1 -9 mbar·l/s 지 의 모(1·1 -6 부터 1·1 -10 Pa·m3/

s 지)
● 4 . 규 0 0 까 규 0 0

7.1.4 그래프 삭제
진행 창 그래프를 누 고 , [Clear Graph] ([ 초기화면 ])
르 .

메시지를 인 세요 확 하 .

진행 창 삭제는 이 기록 진행 인 기록 지 지
미 되거나 중 을 우 않습 니다 .

기록 그래프를 누 고 , [View Rec.] ([ 화면저장 ])

르 .

다음 누 세요 : [Clear] ([ 삭제 ])
을 르 .

메시지를 인 세요 확 하 .

7.1.5 기록
제어판 메모리안의 테스트 동안 기록 실행 측정값 기억가능 게 합니다 : 이
측정값을 저장하지 않습니다
에 은 된 을 하

( 참조 7.1.6).

기록 동안 리크 디텍터의 모 기능 사용가능합니다 든 은 .

디텍터가 전원이 진 (메인 사용자 의한 단), 기록 이 메모리 저장 어

니다 다음 기록 사용자는 실 명시합니다 :
꺼 후 혹은 에 중 은 미 에 되

있습 . 때 확 히

- 로운 기록이 메모리 기록 추가 [OK]

- 로운 기록이 메모리의 기록 지 대체 [Cancel] ([ 취소 ])
새 에 될 경우 .

새 을 우거나 할 경우 .

그래프를 누 고 , [Sampling Time]([ 기록 ])

르 기록값 변 세요 을 눌러 을 경하 .

그래프를 누 고 , [Scale] ([ 범위 ])
르 그래프 설정값 변 세요 을 눌러 을 경하 .

다음 누 세요 : [Record] ([ 기록 ]) ( )
을 르 기록 시작 기 위해 4 ( 참조 7.1.1) 을 하

기록 시작 전 적 에 나타난 흔 모 측정값 기록 지 니다 에 나타난 든 은 되 않습 .

다음 누 세요 : [Stop Record] ([ 기록 중단 ]) ( )
을 르 기록 단 위해서 4 ( 참조 7.1.1) 중 을

그래프를 누 고 , [View Rec.] ([ 화면저장 ])

르 기록 내세요 을 눌러 을 나타 .

메모리가 기록 서 지워지지 ([Clear] ([ 초기화면 ]) , 모 기록

메모리 적 서 이어 니다 커서 ▲ 는 각각의 녹음의 니다
두 에 않을때 ( 참조 7.1.4) 든 은

된 같은 흔 에 집 . 끝을 나타냅

1 2 3

그림 10: 녹음 예

34
 어드밴스드 설정
1 첫번째 록 기
2 두번째 록 기
3 세 번째 록 기

기록 고 되 메모리가 꽉 차면 기록 자동으로 정지 니다
있을 때 은 됩 .

버 [Record] ([ 기록 ]) 버 으로 대체 니다 [Mem full] ([ 용량 초과 ])

튼 튼 됩 .

기록 그래프를 누 고 , [Sampling Time]([ 기록 ])

르 .

기 간 기 록간 격.
용량 기 록 간 기 에 따른 전 체 간 기

기간 최대 저장용량 파일 규모
0.2 s (min.) 6시 간 분33 ≈ 7 Mo
30s ( 최대 ) 983 시 간

7.1.6 기록 저장
이 기능 다시 재생 / 분석 PC 서 기 위해 가장 최 기록 SD 카드
저장 기 위해 사용 니다 저장 자동실행 지 니다
은 나중 을 에 하 근 을 에

하 됩 . 은 되 않습 .

실행 가능한 모 측정값 담 기록 화면 복사( bmp) 일 기( txt)를 저장

수 니다 txt 일 사용 면 리 수 니다 기본 구분 키는 <tab>
든 을 은 . 혹은 새 파 만들 . 할

입니다
있습 . . 파 을 하 나중에 처 할 있습 .

그래프를 누 고 , 다음 누 세요 [View Rec.] ([ 화면저장 ])

르 을 르 . .

파일 형식 선 고 , 다음 누 세요 [Save > SD] ([SD 에 저장 ])

을 택하 을 르 . ( 참조 7.1.5).

파일 이 정 고 저장합니다
름을 하 .

저장 bmp 과 txt 일 스크린

된 측정 포인트 포 합니다 :
파 은 에 나타난 만을 함

– 포인트 전체를 포 면 , 해당 적 위치해 합니다 ( 줌 지 고 )

함하려 흔 에 야 을 하 않 .

– 저장 이전 줌이 실행 면 , 저장 선 영 의 포인트 적용 니다
에 되 은 택된 역 에만 됩 .

저장 기록 래와 된 기록 해당 :
은 아 같은 여러 에

– 커서 ▲ 는 bmp 일 각각의 로운 기록를 파 입니다

에 새 나타낼 것 .

– txt 일 각각 기록 최 라인의 “B P # xx” 라고 납니다

. 파 에 된 근 끝에 . . 나타 .

bmp 일 제어판 스크린

파 은 날 수 니다 에 나타 있습 .

.txt 일 PC 서 수 니다 : 제어판 서 읽 수 니다
파 은 에 만 열 있습 에 을 없습 .

7.1.7 기록 시각화
모든 순간 사용자는 기록 중에 이미 기록된 기록을 볼 수 있거나 기록을 확대할 수
있습니다 .
그래프를 누 고 , [View Rec.] ([ 화면저장 ]) 최 기록 지 기 이 실행 기록
게 기 (1)
르 근 우 후 된 을

나타나 하 ( 참조 7.1.1).

1
그림 11: 기록 시각화

1 전 체 록 간
기 시 .

어 적 실행 지 으면 , < emory empty> (< 기록 음 >) 이

떤 흔 도 되 않 M 없 나타 납니다 .

줌 인 기록 가능한 줌 웃
중에만 아

35
어드밴스드 설정
그래프를 누 고 , [View Rec.] ([ 화면저장 ])
르 ( 참조 7.1.1).

확대 영 설정 ((1) 고 (2)) 를 합니다

역을 하 .

그림 12: (3) : 확대 영역은 나타납니다 .

다음 누 세요 : [Zoom] ([ 확대 ]) ( ) : 대 영
을 르 납니다 3 확 역은 나타 .

여러 번의 연 줌이 가능합니다 ( Dec 안 서는 제외 )
속된 같은 . 에 .

필요하다면 , 손가락으로 옆면의 코너를 드래그해서 확대된 영역을 추가하세요 .

줌 아웃 기록 가능한 줌 웃
중에만 아

줌 ((1) 그 다음 (2)) 번 누 면 , 원본 그래프로 돌 니다

(2) 는 항 (1) 어 합니다 : ( 래의 예 조 )
에 을 두 르 아갑 .

– 상 앞에 있 야 아 참 .

그림 13: 기존 그래프로 돌아가기

측정 기록 정 한 포인트를 측정
중에만 확 .

측정 포인트 설정합니다 (2) .

다음 누 세요: [Measure] ([측정값]) 선 한 포인트의 정 한 측정량이

을 르 택 확 납니다
나타 .

4
1
5
3

그림 14: 선택 포인트의 정확한 측정

1 리크량 / 혹은 입구 압력량 디스플레이 선 택

2 선 택 내
포인트 나타 는 마커
3 기 록초 교 측 순간
기에 비 한 정
4 이전 / 이후 록 네 게 션
기 사이 비 이
5 추 빨강
적가스 리크량 (체 ) 혹은 해 압력량 ( 파 랑 ) 나타 냄
모든 측정의 정확한 값을 얻기 위해 txt 파일에 기록 저장합니다 .

36
 어드밴스드 설정
7.2 설정화면
적용 라 디텍터를 설정 설정 메뉴 는 스크린 일 는 작동 위해
기능키가 사용 입니다
에 따 하여 에 접근하 . 매 하 을

될 것 .

메뉴 < 설정화면 > 어 화면 서 지 2 개의 버 으로 가능합니다 +

제어판에
은 떤 에 든 튼 .

다른 메뉴 김기능 수 니다
에 접근을 잠 을 할 있습 ( 참조 7.7.5).

1
2
3
4
5
6

1 지 침 값 계값
포인트 :한 , 오디오 레벨 , 디지 털 염
보이스 , 오 .
2 테 방범과
스트 택 모드 선 벤트 조정 . 조정 값 싸 클 종료
. 이 .
3 추 택교
적가스 선 값 정리크
쥴링
4 유지 / 보수 스케 . 디텍터 정보
5 작업자의 디텍터 설정 : 언어 , 제품 , 비 밀번 호 , 기능 키 , 화면 순 서
6 디텍터의 특 정 사용을 위한 어드 밴 스드 기능 .
테이블 1: 어드밴스드 설정은 리크 탐지를 잘 알아야 함 : 압력 게이지 등 .

7.2.1 < 설정 > 메뉴의 다이어그램

( 참조 12.1)

7.3 He 값 메뉴
<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Set points] ([He 값 ]) 메뉴로
위해
에 을 르 접근을

7.3.1 오디오 알람과 디지털 음성

오디오 알람 오디오 알람 작용자 게 합/불 기준점 지 는 알 줍니다 단계는 서 지
로 ( 부터 1 dB (A)) 변화
은 에 을 나 것을 려 . 0에 9까

0 00 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Set points] ([He 값 ])

d
Au io ( 소리 ) 오디오 알람 을 실시합니다 .
알람 의 오디오 단 계 를 설정합니다 .

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 , 기능키 [Audio] ([ 소리 ]) 를 설정합니다 ( 참조 7.7.2).

그림 15: 기능키로 Audio ( 소리 ) 스크린

음성 합성 음성 합성 디텍터 은 상태 혹은 실행 는 활동 사용자 게 알림니다

하 을 에 .

37
어드밴스드 설정

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Set points] ([He 값 ])

g
Di ital voice 음성 합성을 작 동 합니다 .
(안 내 음성 ) 음성 합성의 오디오 단 계 를 설정합니다 .

제어판에서부터 빠르게 접속하기 위해 [Voice] ([안내음성]) 기능키를 설정합니다 (참조

7.7.2).

그림 16: 기능키로 안내 Voice ( 음성 ) 화면

음소거 기능 표준 화면 ( 홈 ) 서 다음 버 으로 오디오 알람과 음성합성 동시 정지시킵니다 :

[Mute] ([ 음소거 ])
에 튼 을 에

7.3.2 오염 기능
디텍터의 안전장치로 리크 추적가스는 디텍터 많 이 어가지 못 록 합니다
리는 오염 설정점 한계값의 최대 Dec 로 설정 권장합니다 리크량이 게
에 은 양 들 하도 .

오염환 설정점 이 으로 가 면 , 싸이클 자동으로 단 고 리크 디텍터는 Stand-

우 을 4 . 하길 . 빠르

by 모드로 돌 니다
경 상 증 하 은 중 되

아갑 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Set points] ([He 값 ]).
Pollution ( 최대 기능을 작 동 킵 시 니다 .
He 값 ) 적용 값 을 조정합니다 .

만 일 테스트 되는 부품이나 설비가 그로스가 예상될 때 유용한 기능입니다 .

7.3.3 고진공 합 / 불 기준값

고진공 < 한계값 > 의 부품의 수용 설정점
–측정 리크량 ≤ 한계값 : 수용 부품
된 된

–측정 리크량 > 한계값 : 부 부품

된 거 된

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Set points] [Hard Vac. Set Points]([He
값 ][ 진공테스트 설정값 ])
j
Re ect Point ( 합 / 한 계값 설정
불 기준 값 )

한계값 각각의 침투 가능한 사용기체를 위해 기억 니다

은 됩 .

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Reject Point] ([ 한계값 ]) 기능키를 설정합니다 ( 참조

7.7.2).

그림 17: 기능키로 <Reject Point> (< 한계값 >) 화면

7.3.4 스니퍼의 한계값

스니퍼의 테스트 < 합 / 불 > 부품 수용값 스니퍼 < 한계값 > 으로 설정 니다 은 됩 .

–측정 리크량 ≤ 한계값 : 수용 부품

된 된

–측정 리크량 > 한계값 : 부 부품

된 거 된

<Settings> (<설정>)화면에서 다음을 누르세요: [Set Points] [Sniffer Set Points] ([He 값] [스니퍼
테스트 설정값 ])
j
Re ect Point 한 계값 설정
(한 계값 )

38
 어드밴스드 설정

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Reject Point] ([ 한계값 ]) 기능키를 설정합니다 ( 참조

7.7.2) 그리고 ( 참조 7.3.3).
7.3.5 폐쇄 프로브의 최저기준값
이 기준값 스니퍼 프로브 ( 세서리 ) 가 작동 는지 인 수 게 해줍니다 측정
리크량이 probe clogged ( 최저기준값 ) 기준값 이 일 정보는 사용자 게 전해
은 액 하 확 할 있 .

프로브를 인 수 게 합니다 스니퍼 프로브

‘ ’ ’ ’ 하 때 에 져

확 할 있 . 사용 설명서 항목 참조 ).

<Settings> (<설정>)화면에서 다음을 누르세요: [Set Points] [Sniffer Set Points] ([He 값] [스니퍼
테스트 설정값 ])
Probe clo gg d e 한 계값 설정
( 최저기준 값 )

● 표준 스니퍼 브로브와 기준값 단위는 디텍터를 위해 설정 단위입니다 함께 된 .

● Smart 스니퍼 프로브와 기준값 단위는 항 sccm 입니다 함께 상 ‘ ’ .

가끔씩 가 으로 리크량이 떨어지고 는 체크해서 스니퍼 프로브

으세요 리크량이 어 지 으면 스니퍼프로브는 힐 입니다 부분 너
손 락 있 것을 끝을

오랫동안 지 시오 : 이 오류 메시지가 표시 니다
막 . 줄 들 않 막 것 . 끝 을 무

막 마십 경우 됩 .

7.3.6 추가 헬륨 Set Point

전제 조건 : I/O 보드가 장 디텍터 ( / 부 품 )
37 핀 착된 옵션 속 .

개의 고진공 한계값 I/O 의해 설정 및 제어 수 니다 사용 설명서

참조
4 은 에 될 있습 . (I/O 37 핀

< 설정 > 화면에서 다음을 누르세요 : [Set Points] [Additional Set Points] ([He 값 ][ 추가 헬륨 Set
Points])
Set Point # (헬륨 37 핀 I/O 보드와 함께 가능한 4 개의 한 계값
SE T Point # ) 한계값 설정

7.3.7 추가 압력 Set Point

전제 조건 : I/O 보드가 장 디텍터 ( / 부 품 )
37 핀 착된 옵션 속 .

외부 게이지 ( 고객 부담 ) 가 설치 어 는 , 개의 압력 한계가 I/O 로 설정 고 ,

제어 수 니다 사용자 설명서 참조
되 있 경우 두 되

될 있습 .(I/O 37 핀 )

<Settings> 화면에서 [Set Points][Additional Pressure Set Points] ([ 주변설정 ][ 추가 압력 Set

Point]) 를 누릅니다 .
Pressure Set 한 계값 설정
Point # (압력 Set
Point # )

7.4 메뉴 테스트
<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Test] ([ 테스트 ]) 에 을 르 .

39
어드밴스드 설정

1 2
그림 18: 고진공 테스트 메뉴 1 와 스니퍼 2

7.4.1 테스트 방법
테스트 방법 테스트 부품 라 선 니다 리크 탐지 테스트 방법 관해 더 많
정보를 원 시면 , 사이트 pfeiffer-vacuum comLeak detector compendium 를
은 할 에따 택됩 . 에 은

고 세요
하 www. .

참 하 .

가능한 가지 방법 : 두

●고진공 테스트 ,
●스니핑 방법 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test] ([ 테스트 ])

Metho d 방법( ) 사용 테 스트 방법 택
선

통지
작업 제한
제품의 인 연결 챔버 부품이 기압 대비 1·1 3 hPa 의 부압 견뎌내는지
인해 합니다
흡 에 된 혹은 0 을

확 야 .

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Method] ([ 방법 ]) 기능키를 설정합니다. (참조 7.7.4).

그림 19: 기능키로 <Method> (< 방법 >) 스크린

7.4.2 보정 요소
보정 계수는 다음의 , 리크 디텍터로 측정 리크량 고칠 수 게 합니다 :
경우 된 을 있

–리크 디텍터가 행펌프로 연결 , 평 되었을 때

–사용 추적 가스의 농 가 1 이 일 ,
된 도 00% 하 때

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test] ([ 테스트 ])

V 동
알 될 게
H Correction/Sniff. 보정 요소 적용을 작 합니다 .

알 없 키 여
Correction ( 헬륨 고 있는 경우 , 보정 요소가 적용 수있 설정합니다 .
보정 값 / 수
계 계산 동
는 경우 , [Correction] ([ 보정 ]) 기능 에서 시작하 , [Auto Cor.] ([ 자동

스니퍼보정 값 )
보정 ]) : 적용할 보정 수 및자 적용 .

40
 어드밴스드 설정

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Correction] ([ 보정 ]) 기능키를 설정합니다 ( 참조

7.7.2).

그림 20: 기능키로 <Correction> (< 보정 >) 스크린

리크탐지로 사용되는 추적 가스 응축에 따라서 나타나는 리크량은 변화됩니다 .

예 :1·1-8 -7 mbar·l/s
(1·1 Pa·m3/s) (1 4He ) 의 디텍터 인구 연결 교정용 리크와
0

리크량
0 00 % 함께 흡 에 된 나타난

% 사용가스 안의 He 100 % 50 % 5 % 1 %
보정 없 이 리크 디텍터에 1 10-8 Pa m3/s · · · ·
5 10-9 Pa m3/s · ·
5 10-10 Pa m3/s · ·
1 10-10 Pa m3/s
나타 난 리크량 ·
1 10-7 mbar l/s · ·
5 10-8 mbar l/s· ·
5 10-9 mbar l/s · 1 10· -9 ·
mbar l/s
조정 값 1 2 20 100
보정해서 리크 디텍터에 ·
1 10 ·
-8 Pa m3/s
나타 난 리크량 ·
1 10
-7 mbar l/s ·

7.4.3 테스트 모드
고진공 테스트는 테스트 모드 가 켜지면 실행 수 니다 중 하나 될 있습 .

리크 디텍터는 내부 압력이 기준치를 넘으면 자동으로 선 한 테스트모드로 바뀔

입니다
택

것 ( 참조 7.8.4).

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Mode] ([ 모드 ]) 기능키를 설정합니다 ( 참조 7.7.2).

그림 21: 기능키로 <Mode> (< 모드 >) 스크린

초기 설정을 통해 리크 디텍터는 가장 민감한 테스트모드에서 고진공 테스트에서

실행되도록 설정됩니다 : 이 설정은 대부분의 사용자 요구를 충족할 것입니다 .
<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test] ([ 테스트 ]).
d
Mo e ( 모드 ) 테스트모드 설정하세요 .

7.4.4 프로브 종류
프로프 서 작동 면 스니퍼 프로브
에 하려와 연결해 합니다 ( 참조 10) 야 .

2 가지 제안 모 : 표준 프로브 ( 강성 니플만 있는 모델 ) 및 Smart 프로브

델 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test] ([ 테스트 ])

Probe T ype ( 프로브 사용된 프로브 모델을 설정합니다 .
종류 )

최저기준값의 프로브를 고 참 ( 참조 7.3.5).

7.4.5 싸이클 자동실행 종료

이 기능 은 배 기 벤트시간과 고진공테스트 측정 시간 자동 제어 수 게합니다 을 할 있 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test] [Cycle End] ([ 테스트 ] [ 종료방법 ]).
Automatic cycle 기능을 작 동 킵
시 니다 .
en d 종료방법 ‘
( ). Automatic ( 자 ’ ’ 동 행’실 ) 이 설정되면 실시되는 기능
g g
Rou hin ‘ timer Automatic ( 자 ’ ’ 동 행’실 ) 이 설정되면 요구되는 설정 .
(펌 핑 간 시 ) 간 동
허 간
배기 벤트시 제어를 작 합니다 .
용된 최대 배기 벤트시 을 설정합니다 .
실시한 제어와 시 간 여이 지나면 ( 전히 배기중인 디텍터 ) =불 합격된 부품 .

41
어드밴스드 설정
<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test] [Cycle End] ([ 테스트 ] [ 종료방법 ]).
T T est imer ( 측 ‘ 정 Automatic ( 자 ’ ’ 동 행’실 ) 이 설정되면 필 수적인 설정을 합니다 .
시간 ) 측 정 시기를 정합니다 .
시 간
이 지나면 측 정된 리크량은 디스플레이 됩 니다 .

작은 생산을 위해 사용할 기능 .
7.4.6 벤트
이 기능 고진공테스트 정지 벤트를 가능 게 합니다
은 후에 하 .

이 기능 대기압 압력 디텍터 해제를 가능 게 해서 연결 부품 설비가

대기압으로 돌 가 록 합니다
은 을 하 된 혹은

아 도 .

이 기능 안전합니다 : <Activate VE T? Please confirm > (< 벤트밸브를 겠 니 ?

인해주세요 >) 는 사용자가 벤트를 요구 다 날 입니다
은 N . 열 습 까

확 할 때마 나타 것 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test][Inlet vent] ([ 테스트 ][ 작동방식 ]).
Inlet V ent 동 킵
기능을 작 시 니다 .
(작 동방 식) ‘ ’ ’ 동 행’
Automatic ( 자 실 ) 이 설정되면 실시되는 기능
Delay ‘ ’’ 동 행’
Automatic ( 자 필 실 ) 이 설정되면 수적인 설정을 합니다 .
( 지연시 간 ) 간
지연시 설정합니다 .
지연시 간=테 밸 동 행 열림스트 중지와 벤트 브자 실 사이의 시 간 벤트 전에 제어된
밸 닫힐 브는 수 있습니다 .
V ent timer ‘ ’’ 동 행’
Automatic ( 자 실 ) 이 설정되면 요구되는 설정 .
( 벤트시 간 ) 밸 닫힘 행
간
벤트 브 을 실 합니다 .
벤트시 을 설정합니다 .
벤트시 간= 열림 간과 동 닫힘 간
벤트 벨브 시 자 시 사이의 간 격 . 설정된 벤트시 간후
자 동 행 닫힘실 은 퍼지가 연결되어 있으면 건조한 공기나 탄소 소비를 제한할 수
있습니다 .

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Inlet vent] ([ 입구진공해제 ]) 기능키를 설정합니다

( 참조 7.7.2).

그림 22: 기능키로 <Inlet vent> (< 작동방식 >) 화면

Automatic ( 자동실행 )이 설정 으면 자동해제는 기능키로 자동으로 실행 어

테스트를 단시킵니다
‘ ’ ‘ ’ 되있 되

중 .

Operator ( 자동 교정 )이 선 면, 디텍터가 대기압 가 록 해당 는 기능키를

합니다
‘ ’ ‘ ’ 택되 상태 되도 하

눌러야 .

아 래를 한 벤트 사용자 실행 :
통

– 기능키 [Inlet vent] ([ 입구진공해제 ])

– < 표준 > 스크린 ( 홈 ) ( ) 6 ( 참조 6.1.4).

벤트 밸브 조정을 막기 위해
[Inlet vent] ([ 입구진공해제 ]) 기능 버튼을 제거합니다 . 아이콘은 < 표준 > 화면에
표시되지만 , 사용자의 수동 활성화는 비활성화됩니다 .
통지
자동 벤트
디텍터가 고진공챔버 반 체 챔버 연결 어 대로 Automatic
( 자동실행 ) 벤트를 설정 지 세요
혹은 도 에 되 있을 때 절 ‘ ’

Operator ( 자동 교정 ) 선 고 / 자동 진동해제를 위한 기능키를 삭제 세요

‘ ’ 하 마 !

벤트는 비밀번호로 수 는 메뉴를 사용 실행 어 합니다

‘ ’ ’ ’ 을 택하 혹은 하 .

잠길 있 하여 되 야 .

벤트(혹은 질소) 라인은 벤트에 연결하면 디텍터의 사용기체의 오염을 줄일 수 있습니다.

42
 어드밴스드 설정
7.4.7 최종값 읽기 기능
테스트 단 시 , 이 기능 이 테스트 측정 리크량으로 < 표준 > 화면
정지시킵니다 : 테스트 측정 최 리크량이 표시 고 깜박입니다
중 은 중에 된 을

중에 된 신 되 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test] [Memo Function] ([ 테스트 ][ 최종값 읽기
기능 ])
Active ( 작 동 ) 기능을 작 동 킵 시 니다 .
Display time 이 기능이 작 동 필
되려면 설정이 요함
( 표시시 간 ) 임 간
• = 간동 측 값 깜
디스플레이 타 지연시 설정

• =측 값 새 운테 될때까 깜 일것
On 설정 시 안 정된 리크량의 이 박인다

간
Off 적된 리크량의 이 로 스트가 시작 지 박 입니다
디스플레이 기 설정 .

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Memo] ([ 메모 ]) 기능키를 설정합니다 ( 참조 7.7.2).

그림 23: 기능키로 < 메모 > 스크린

7.4.8 헬륨값 영점 활성화

이 기능 사용자가 주변 서 주 작 리크량 변화 날로지컬
디스 이 서 리크량 변화를 감지 수 게 합니다
은 상황에 아 은 혹은 아

플레 에 할 있 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test][Zero Activation] ([ 테스트 ][ 헬륨값 영점
활성화 ]).
Activation( 작 동 ’ ’ ’ 동 행’
( Automatic ( 자 실 ) 이 설정되면 ) 실시되는 기능
방 식)
Z ero Exit ( 제로 ‘ ’ ‘ 동교 ’
Operator ( 자 정 ) 가 설정되면 필 수적인 설정 .
종료 ) 기능을 빠져 움키방
나가기 도 식을 설정합니다 ( 아 래참 고)
T ggri er ‘ ’’ 동 행’
Automatic ( 자 실 ) 이 설정되면 필
수적인 설정을 합니다 .
(작 동 기준 ) 기능의 작 동 기준 요소를 설정합니다 .
V 값 alue ( ) ‘ ’’ 동 행’
Automatic ( 자 실 ) 이 설정되면 필
수적인 설정을 합니다 .
기능의 작 동값 을 설정합니다 .

제어판부터 수동으로 시작하기 위해 [Zero] ([ 영점 ]) 기능키를 설정 ( 참조 7.7.2).

수동으로 활성 는 기능 위해 기능키를 누 [Zero] ([ 영점 ])
하하 을 름 .

●Press once (1 누 ): 게 영점 기능키를 서 영점 활성/비활성 [Zero] ([ 영점 ])

회 름 빠르 눌러 .

Press > s : ( 이 누 :)
활성화 : 기능키를 1 누 [Zero] ([ 영점 ]) 각각의 키를 짧게 누 면 로운 영점
● 3 3 초 상 름

실행
– 회 름 . 르 새

비활성 : 누 > 기능키 번 [Zero] ([ 영점 ])

.

– 름 3 .

디텍터의 내부펌핑이 증가 하거나 안정적일 때 이 기능 사용을 권고합니다 . 이 기능은

내부 리크량 측정을 가능하게 합니다 .
고진공 테스트모드의 2 Dec : 최소 1·1-9 -12 mbar·l/s (1·1-10 -13 Pa·m 3/s)
스니퍼 모드 서 2 decades 최소 ·1 mbar·l/s ( ·1 Pa·m /s)
– . 0 0
3
디텍터는 더이상 배기하지 않을때 디텍터의 내부 펌핑보다
– 에 5 0 5 0

영점 기능 활성화 , 표준 화면 2 Dec 대그래프가 표시 니다 에 . 막 됩 ( 참조 6.1.4).

7.4.9 바이패스 설정
선결조건 :
– pin I/O 보드 ( / 세서리 ) 설치 디텍터
37 옵션 액 된

–디텍터 연결 Bypass 키트 ( 부 품 ) 와 Bypass 펌프 ( 소비자 부담 )

에 된 속

–D 2 /D ISO-KF 어 터 ( 소비자 부담 )
N 5 N 40 댑

43
어드밴스드 설정
Bypass 대한 더 많 정보는 리크디텍터 서 Bypass 를 설치 ( Bypass
키트 . 조 )
에 은 에 사용 설명서
참

<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Advanced] [I/O Connector] [Quick

View] ([ 고급설정 ] [I/O 커넥터 ] [Quick View]) 및 래의 입 / 출력 설정 ( 기 설정 ) 이
에 을 르

는지 인해 합니다 :
아 초

되었 확 야

Bypass 이용을 위해 필요한 설정

– Digital Input 2 그라운드 = Bypass option
3 –

– Digital Transistor Output 2 = Bypass 9 – 8

필요 면 구성 :하 37 pin I/O 조
사용 설명서 참 .

[Test] [Bypass Option] ([ 테스트 ] [ 바이패스 설정 ]) 을 누르세요

d
Mo e ( 모드 ) N o Bypass ( 설정안함 ) =활 성화 안된 설치된 외부 Bypass 펌프
Q uick Pump ( 외부펌 핑= ) 배기 중에 만 외부 Bypass 펌프 활 성화
Partial Flow ( 동 시펌 핑= ) 배기와 테 스트 중 외부 Bypass 펌프 활
성화 + 적용 될 리크량
보정
Evacuation On =
외부 Bypass 펌프에 만 의한 배기
d elay =
초 핑
Off 외부 Bypass 펌프와 디텍터의 저진공 펌프에 의한 배기 .
( 기펌 대기 )

1 경우 2 경우 3 경우 4 경우 5 경우
펌 핑 배기 저진공펌프 외부 Bypass 펌프 외부 Bypass 펌프 일 외부 Bypass 펌프 외부 Bypass 펌프
디텍터 일 때만 때만 + +
일 때만 저진공펌프 저진공펌프
디텍터 디텍터
그로스테스트에서 기준치 ( 기본값 20mbar/hPa)
테 스트 핑
디텍터 사용하는 펌 디텍터 사용하는 펌 핑 외부 Bypass 펌 핑 디텍터 사용하는 펌 핑 외부 Bypass 펌프
+ +
디텍터 펌 핑 (1) 디텍터 펌 핑 (1)
설정 d
Mo e (모드) N o Bypass Q uick Pump Partial Flow Q uick Pump Partial Flow
( 설정안함 ) ( 외부펌 핑 ) ( 동 시펌 핑 ) ( 외부펌 핑 ) ( 동 시펌 핑)
Evacuation On/Off On On Off Off
d elay
(초 기펌 핑
대
기)
(1) 이러한 경우 , 적용 가능한 리크량 보정

7.4.10 재생
이 기능 각 테스트 사이 일 의 짧 테스트와 벤트를 자동으로 수행 , 디텍터를
“ 소 ” 는 데 사용 니다 이 기능 추적 가스 오염 이 내부펌핑 감소시 수
은 련 은 하여

니다
청 하 됩 . 은 후 을 킬

있습 .

통지
기능을 시작하기 전에 리크 디텍터는 사용기체의 오염이 없는 상태에서 사용되어야
합니다 .
디텍터는 Stand-by 이고 벤트는 automatic ( 자동실행 ) 으로 어 는지 인해
합니다
‘ ’ ’ ’ 되 있 확 야

<Settings> (<설정>)화면 서 다음 누 세요: [Test][Regeneration] ([테스트][재생])

에 을 르 .

디텍터의 진공 이프를 폐쇄 지로 주세요 파 플랜 막아 .

다음 누 세요 : [Start] ([ 시작 ]) : 재생 한 시간 자동으로 멈출 입니다

을 르 은 후에 것 .

재생 멈추기 위해서 자동으로 기 전 다음 버 누 세요 : [Stop] ([ 멈춤 ])

메뉴 안 서 디텍터가 더 이 오염 지 았음 인한 테스트 (< ero
을 끝나 에 튼을 르

Activation> (< 헬륨값 영점 활성화 >) 기능 비활성화 ) 를 시작합니다

에 혹은 . 상 되 않 을확 후 Z

재생 , 벤트 설정 재생 전과 동일합니다 은 .

44
 어드밴스드 설정

디텍터의 내부펌핑이 증가하면 이 기능을 사용하는 것이 좋습니다 .

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Regeneration] ([ 재생 ]) 기능키를 설정합니다 ( 참조
7.7.2).
7.4.11 대량 누설
이 모드는 검출기가 그로스리크 모드로4전환 지 고 기 를 유지 , 큰
대량리크가 검출기가 테스트 ( He ) 를 수행 수 게 합니다
하 않 배 상태 할 경우 매우

있을 때 만 할 있 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Test][Massive Mode] ([ 테스트 ][ 대량 누설 ])

Active ( 작 동 ) 동
대량 누설 작 합니다
민감 택
• g 높 =큰규 테 초 권
Sensitivity 성선 합니다 .
민감
• 낮 =규 테 필
( 성) Hi h ( 음) 모의 스트 ( 기 설정에 의한 , 고된 ).
Low ( 음) 모에서 스트 < 1 l ( 요할 경우 ).

활성화 작동 및 압력 <1 hPa, 압력이 최소 1 동안 안정화 면 , 사용자 게

디텍터가 자동으로 대량 모드로 전환 음 알리는 메시지가 표시 니다 : 그 면 3
된 00 0 초 되 에

디텍터가 정성 리크 테스트를 수행 수 니다 ( 리크 정보 > mbar·l/s ( Pa·m /

되었 을 됩 러

s) ) 최대 사용시간 분입니다
할 있습 . 50 5

만 . 은 55 .

대량 누설 외부 게이지가 선 은 택되었을 때 사용 수 될 있습 니다 ( 참조 7.8.8).

7.5 Spectro ( 스펙트로 ) 메뉴

<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Spectro] ([ 스펙트로 ])
에 을 르 .

7.5.1 사용기체
추적가스는 테스트 동안 값 찾기 위한 사용기체입니다
가지 가능한 가스 : 4He, 3He et H2
에 을 .

3 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Spectro] ([ 스펙트로 ]).

T racer g as 사용되는 추적 가스를 설정하세요 .
( 사용기 체 )

한계값 각각의 침투 가능한 사용기체를 위해 기억 니다

은 됩 .

교정 사용 는 사용기체와 방식의 교정용 리크와 리크 디텍터는 교정 어 합니다

되 같은 함께 되 야 .

45
어드밴스드 설정
수소 테스트
위험
폭발 위험
Hydrogen ( 수소 ) 와 추적가스 의한 누설감지를 위해 , 작 자는 수소화 소를
사용해 합니다 ( 혼합 , 2 와 H2 의 혼합 )
‘ ’ ’ ’ 같은 에 업 질

야만 95% N 5% .

4He/3He 보다 H
2 서 디텍터의 내부펌핑 에

디텍터 진공 이프 렌지가 설치 테스트시 H2 의 내부펌핑 :

에 파 플 될때

시작 :
낮 단계 ·1 -6 Pa·m3/s ( ·1 -7 mbar·l/s)
● 에

– 은 ± 3 0 3 0

2~ 시간 : -7 5
낮 단계 ·1 Pa·m /s ( ·1 -8 mbar·l/s)
● 3 후

– 은 ± 5 0 3 0

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Tracer Gas] ([사용기체]) 기능키를 설정합니다 (참조

7.7.2).

그림 24: 기능키로 <Tracer Gas> (< 사용기체 >) 스크린

7.5.2 필라멘트 값
Fil. Selecte d 측 분석관 필 멘
정( 택 필 멘
에 라 트 2) 을 위해 선 된 라 트가 나타 납 니다 .
( 필 멘
라 트선 택 )
Filament 디텍터가켜졌 때 필 멘 ' ' ' '
을 사용된 라 트는 on 혹은 off 가 나타 납 니다 .
( 필 멘
라 트)
Fil. Status 분석관 의 성능 표시
( 필 멘
라 트 수명 ) 초 % %
기 설정화면 : 90 와 100
일반 % %
기능 : 10 와 100
관 일 분 일반
의 부부 측
의 확 적 마모는 디텍터의 정의 정 함을 손상 키 시 지 않고 이 값 을
줄일 것 수 있을 입니다 .

7.5.3 교정용 리크
교정용 리크 대한 더 자세한 정보는 다음 에 을 참 조 세요 하 ( 참조 6.7).

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Spectro][Calibrated leak] ([ 스펙트로 ][ 교정용
리크 ])
T racer g as 교 교
정을 위한 체정용 리크의 사용기 를 설정하세요 .
( 사용기 체 )
T 방 교 교 체
• 내 =내 교 교 만
ype ( 식) 정을 위한 정용 리크의 사용기 를 설정하세요 .
4
• = 교 교
internal ( 부) 부 정용 리크로부터의 정 ( 리크 He ).
external ( 외부 ) 외부 정용 리크로부터의
4 3
정 ( 리크 He, He 혹은 H2).
Unit ( 단위 ) 교 교
정을 위한 체정용 리크의 사용기 를 설정하세요 . (1)
Leak V alue 교 교
정을 위한 체값
정용 리크의 사용기 을 설정하세요 . (1)
( 리크 값 )
Calibration valve 리크 밸 상태
브의 실제 를 설정하세요 .
( 리크 밸 브) 예를 들 행 밸
어 사용자 실 폐 리크 브의 개 / 가능 .
사용후 밸 이 잠 것 잊
브를 다시 그는 을 지마세요 . 수동 교정은 전문가만 가능 .
Y
Loss Per ear 교 교
정을 위한 감 율 정된 리크의 소 설정하세요 .
(1)
(% 감 율
)( 소 /
년% ( ))
T °
Ref. . ( C) 교 정을 위한 사용된 교 정 리크의 제작 온도를 설정하세요 .
(1)
( 제작온 ° 도 ( C))
T° %°
Coeff. ( / C) 교 정을 위한 사용한 교 정된 리크의 증 감온
/ 도를 설정 하세요 .
(1)
(증 감온 % / 도( /
° C))
Y 년
ear ( 제작 도) 교 정을 위한 사용된 교 정 리크의 교 정개 월과 년 도 설정하세요 . (1)

46
 어드밴스드 설정
<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Spectro][Calibrated leak] ([ 스펙트로 ][ 교정용
리크 ])
Internal T °
. ( C) ‘ ’ ‘내 ’
Internal ( 내 교
부 ) 은 디텍터의 부 정용 리크의 단 계 온
에 도 표시 .
( 온 °
도 ( C)) ‘ ’’ ’ 내 온
External ( 외부 ): 부 도 설정
또는
External T ° . ( C)
( 외부 온 °도 ( C))
(1) 교 교
정 혹은 정 인증서를 위해 사용한 교 정된 리크에 나타 난 정보를 사용합니다 .
교정용 리크 변화가 ,이값 데이트 어 합니다 교정용 리크 교체의
, 이 한 설정값 데이트해 합니다 설정값이 저장 면 , 설정 모 교정용
있을 경우 들은 업 되 야 .

리크의 데이터 (1 내부 리크 (4He) 및 외부 리크 (4He, 3He 및 H2)) 가 기억 니다

경우 러 들을 업 야 . 되 된 든

3 됩 .

7.6 유지 / 보수 메뉴
<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Maintenance] ([ 유지 / 보수 ])
에 을 르 .

7.6.1 사용시간
<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Maintenance] ([ 유지 / 보수 ])
Detector 디텍터가 사용된 시 간
( 사용시 간 )

7.6.2 카운터
<Settings> (<설정>)화면에서 다음을 누르세요: [Maintenance][Timers] ([유지/보수][사용시간])
Detector 디텍터가 사용된 시 간
( 사용시 간 )
번 필 멘
Filament 1 (1 라 트1이 켜 총 간
진 시
필 멘 운 영
만듦
라 트) 다음을 누르세요 : [xxx h] [Counter reset] ([xxx h] [ 횟수 초기화 ]) 카 터 점으로

번 필 멘
Filament 2 (2 라 트2이 켜 총 간
진 시
필 멘 운 영
만듦
라 트) 다음을 누르세요 : [xxx h] [Counter reset] ([xxx h] [ 횟수 초기화 ]) 카 터 점으로

d
Calibrate 교 Leak 정을 위한 사용된 교 교 월과 년
정 리크의 정개 도 설정하세요 .
(교 정용 리크 )
Cycles 근초 최 기화 / 설정 사이 클횟 후 행 싸 클횟
수이 실 된 이 수를 나타냅니다 .
(싸 클횟 이 값수) 설정 이 되면 , 정보 메 납
세지가 나타 니다 .
Prim. Pump 근초 최 기화/ 설정 사이 클횟 후 행 후 수이 실 된이 저진공펌프 작 동 간
시 을 나타냅니다.
( 저진공펌프 ) 값 설정 이 되면 , 정보 메 납
세지가 나타 니다 .
#
Sec. Pump 근초 1 최 기화 / 설정 사이 클횟 후 행 후 번수이 실 된이 1 고진공펌프 작 동 간 시 을
번
(1 고진공펌프 ) 나타냅니다 .
값 설정 이 되면 , 정보 메 납
세지가 나타 니다 .
#
Sec. Pump 근초 2 최 기화 / 설정 사이 클횟 후 행 후 번수이 실 된이 2 고진공펌프 작 동 간 시 을
번
((2 나타냅니다 .
고진공펌프)ASM 설정 값 메 납
만
이 되면 , 정보 세지가 나타 니다 .
392 )

제어판부터 카운터까지 빠르게 접속하기 위해 [Maintenance] ([ 유지 / 보수 ]) 기능키를

설정합니다 ( 참조 7.7.2).
기준점 설정 고 사이클 카운터를 영점으로 기 위해 ,
을 하 만들

47
어드밴스드 설정

<Settings> (<설정>)화면에서 다음을 누르세요: [Maintenance] [Timers] [xxxx Cy/xxxx Cy] ([유지/
보수 ][ 사용시간 ] [xxxx 회 /xxxx 회 ])
Cycles 설정된 시 간간행 싸 클횟
격에 비해 실 되는 이 수를 % 로 나타냅니다 .
(싸 클횟 이 수)
횟
Counter ( 수) 최 근영 후 행 싸 클횟
점된 이 실 된 이 수를 나타냅니다 .
T ime Interval 카운 값터 을 설정합니다 .
(시간간 격) 설정 값 메
이 되면 , 정보납 세지가 나타 니다 .
Reset Counter 다음을 누르세요 : 카 운 영 터 점으로 만듦
횟 초
[Reset Counter] ([ 횟수 초기화 ])

( 수 기화 )

기준점 설정 고 각각의 펌프 작동 카운터를 영점으로

을 하 만들 기 위해 ,
<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Maintenance] [Timers] [xxxx h/xxxx h] ([ 유지 /
보수 ] [ 사용시간 ] [xxxx h/xxxx h])
PumpXXX 간간 (펌프 설정된 시 격에 비해 펌프 XXX 동 총 간 %
의작 시 을 로 나타냅니다 .
XXX )
T 간 근 운 영
imer (사용시 ) 최 카 터 점이 후 펌프 작 동총 간 시 을 나타냅니다 .
T 운 값
ime Interval 카 터 을 설정합니다 .
(시간간 값 격) 설정 이 되면 , 정보 메 세지가 나타 납 니다 .
T
Reset imer 다음을 누르세요 : 카 운 영
터 점으로 만듦
간
[Reset Timer] ([ 사용시간 초기화 ])

( 사용시
초 기화 )

7.6.3 디텍터 정보
6
1
2
5
3
4
그림 25: 디텍터 정보

1 입구 압력
2 테 스트 프로그 램 행 방법
실 의한 계값
3 적용 기능 리스트
4 저진공펌프 혹은 고진공펌프 유지 / 보수
5 교 정 정보
6 디텍터 Firmware 정보

제어판부터 정보를 빠르게 접속하기 위해 [Infor.] ([ 정보 ]) 기능키를 설정합니다 ( 참조

7.7.2).
7.6.4 펌프 정보
ri ary Pump 1 (1 번
P m
저진공펌프 ) <Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Maintenance] [Pump Information] [Prim. Pump
#1] ([ 유지 / 보수 [ 펌프 정보 ][1 번 저진공 펌프 ]) .
Use d ( 사용 ) 디텍터에 의한 펌프 점 검방법
Status ( 상태 ) 펌프 상태
Spee d 속 ( 도) 펌프 사용 속 도 설정 최대 / 최저 / 일반
Synchro 펌프 실 행속 도
( 싱 크로 )

저진공 펌프 대한 자세한 내용 보 면 다음 누 세요 [ACP Information]

에 을 려 을 르 .

48
 어드밴스드 설정

Secondary Pump #1 & #2 Secondary Pump #2 (2 번 고진공펌프 ) ASM 392 만

(1 번과 2 번 고진공펌프 ) <Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Maintenance] [Pump Information] [Sec. Pump
#1] 또는 [Sec. pump #2] ([ 유지 / 보수 ][ 펌프 정보 ][1 번 고진공펌프 ] 또는 [2 번 고진공펌프 ])
Status ( 상태 ) 디텍터에 의한 펌프 점 검방법
Rotation 펌프 상태 : Synchro/Down/Fail/Runnin /Ram up g
(로 테 션
이 )
Spee d (rpm) 펌프 로 테 션속
이 도
( 속 도 (rpm))

고진공펌프의 세 정보 인 시 면 다음 누 세요 : [TMP Information]

상 확 하 려 을 르 .

7.6.5 이벤트 기록
이벤트 기록 지 번의 이벤트를 기록합니다 번 이 가장 오래
이벤트는 가장 최 이벤트로 교체 니다
은 나타난 난 30 . 30 상은 된

근 됩 .

<Settings> (<설정>)화면 서 다음 누 세요: [Maintenance] [Event History] ([유지/

보수 ] [ 이벤트 기록 ])
에 을 르

1
2
3
4

1 csv 포 맷 에서 SD 카드로 기 록내 내 보 기
2 이벤트 코 드
3 날짜 - 이벤트 시 간
4 이벤트 지정

이벤트 = (Exxx) 는 고 (Wxxx)

에러 또 경 혹은 이벤트 (Ixxx)
에러와 고 리스트 : 경 참고 챕터 : 유지 / 보수 메뉴얼의 경고 / 에러 리스트 .

이벤트 리스트
코드 이벤트 설정
I300 Inlet vent Inlet V ent ( 벤트 )
(작 동방 식)

I301 Stp on pollution 리크량 오 염일 경우 테 스트의 자동 정지 > 오 염

( 정지헬륨최대 값
초과 )
I302 V
R P ctr reset 저진공펌프 카 운 초 터 기화
V 운
(R P 카 터리 셋 )

49
어드밴스드 설정
코드 이벤트 설정
I303 T MP1 ctr reset 1 번 고진공펌프 카 운 초터 기화
T
( MP1카 운 터리 셋
)
I304 T MP2 ctr reset 2 번 고진공펌프 사용시 간초 기화
T
( MP2카 운 터리 셋
)
I306 Fil 1 ctr reset 필 멘 라 트 1 저진공펌프 카 운 초
터 기화
(1 번필 멘 라 트리 셋
)
I307 Fil 2 ctr reset 필 멘 라 트 2 저진공펌프 카 운 초
터 기화
(2 번필 멘 라 트리 셋
)
I308 Cycle ctr reset 싸 클횟 초
이 수 기화
(싸 클 운이 카 터리
셋 )
I310 Autocal restart 새 동교자 정의 자 동 시작
(자동교 재 정 시작 )
I313 T d
Date/ ime up at 시간 혹은 날짜 변 경
(일 간변 자/시 경)
I318 Full param reset 디텍터 설정 값완 초 전 기화
(모든 값 설정
초 기화 )
I319 g
Fil chan e 메뉴
유지 / 보수 부터 필 멘 교체 동
라 트 (수 혹은 자 동 )
(필 멘 바꿈
라 트 )
I320 Int. Pirani Calib. 내 게 교
부 이지 정
(내 게 부 이지
교 정)
I321 g d
Stora e elay ( 최소 ) 15 일후 디텍터 전원 끔
( 장기 보관 )

7.6.6 교정 기록
교정 기록 지 2 일동안 실행 교정이 기록 니다 2 번 이 가장 오래 교정
가장 최 이벤트로 교체 니다
은 난 0 된 됩 . 0 상은 된 은

근 됩 .

<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Maintenance] [Calibration History]

([ 유지 / 보수 ] [ 교정 기록 ])
에 을 르

2
3

1 맷
csv 포 에서 SD 카드로 기 록내 내 보 기
2 교 간
날짜 - 정시
3 교 과 정결

7.6.7 Burn-in
이 기능 디텍터를 준비시키기 위 으로 최적의 작동 실행 고 각 테스트 사이 짧
테스트 실행과 벤트를 가능 게 합니다
은 함 을 하 에 은

하 .

통지
기능을 시작하기 전에 리크 디텍터는 사용기체의 오염이 없는 상태에서 사용되어야
합니다 .

50
 어드밴스드 설정
디텍터는 Stand-by 이고 벤트는 automatic ( 자동실행 ) 으로 어 는지 인해
합니다
‘ ’ ’ ’ 되 있 확 야

<Settings> (<설정>)화면 서 다음 누 세요: [Maintenance] [Burn-in] ([유지/보수]

[ 자동 싸이클 ])
에 을 르

디텍터의 진공 이프를 폐쇄 지로 주세요 파 플랜 막아 .

다음 누 세요 : [Start without calib.] ([ 기능 사용시 교정미실행 ]) 는 [Start with

calib.] ([ 기능 사용시 교정실행 ]): 자동싸이클 자동으로 단 지 니다
을 르 또

[Start without calib.] ([ 기능 사용시 교정미실행 ]) = 테스트와 벤트

은 중 되 않습 .

[Start with calib.] ([ 기능 사용시 교정실행 ]) = 테스트 , 벤트와 교정 ( 스니퍼

● 여러

테스트 서 불가능 )
● 여러

자동 싸이클 멈추 면 다음 누 세요 : [Stop] ([ 멈춤 ]) 메뉴 안 서
려 을 르 에 혹은 .

7.6.8 분석관과 고진공펌프의 유지 / 보수

고진공펌프 분석관의 유지/보수를 실행 기 위해, 디텍터의 진공부분이 대기압으로
합니다 이 기능 고진공펌프 단 벤트 실행해서 고진공펌프와 분석관 대기압
혹은 하

록 합니다
되야 . 은 중 에

두도 .

<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Maintenance] [Maint.Sec. Pump &

Cell] ([ 유지 / 보수 ] [ 고진공 펌프 및 분석관 관리메뉴 ])
에 을 르

다음 누 세요 : [Stop&Vent] ([ 정지 및 벤트 ]) 기능 시작 위
고진공 펌프는 벤트가 지 가 니다
을 르 을 함 .

리크 디텍터를 단 시 수 사용자 게 메세지로 알 니다

● 될 때까 속도 느려집 .

● 중 킬 있을 때 에 려집 .

요구사항 : 디텍터가 멈추기 전 추가 진공 해제를 실행 면 다음 누 세요 :

[Stop&Vent] ([ 정지 및 벤트 ])
에 하려 을 르

디텍터를 더이 멈추지 고 계 작동 면 다음 누 세요 : [Restart detector]

([ 디텍터 재가동 ]) 디텍터의 시작 화면이 납니다
상 않 속 하려 을 르

나타 .

디텍터 멈추고 , 제어판이 전 지 기다 서 디텍터 작동적 전원공

이 의 그를 세요
완 히 꺼질 때까 려 에 급

케 블 플러 빼 .

ASM 392: 이 절차는 두 고진공펌프의 유지 / 보수에 적용됩니다 .

7.6.9 최종 점검정보
이 기능 디텍터가 수행한 지 세 가지 유지 / 보수 작 표시 고 실행한 기술자가
기록합니다
은 마 막 업을 하

스크롤바를 사용 지 으로 기록 가지 작 볼 수 니다 하여 마 막 된 3 업을 있습 .

<Settings> (<설정>)화면에서 다음을 누르세요: [Maintenance] [Last maintenance] ([유지/보수],

[ 최종 점검정보 ])
Date ( 점 검일 ) 유지 / 보수 개입 날짜
Total Hours 개입 시 , 디텍터가 실 행 된전 체 간 시 .
( 사용시 간 )
Inspecte d by 개입 실 행한기 술 자
(점 검 자)

7.7 주변 설정 메뉴
<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Config.] ([ 기타설정 ])
에 을 르 .

51
어드밴스드 설정
7.7.1 시간 - 날짜 - 단위 - 언어
사용자가 음으로 디텍터를 교체 , 이 설정값의 데이트는 자동으로 요구 지
고 , 사용자는 언제 이 설정값 바꿀 수 니다
처 할 때 업 되

않 나 을 있습 .

<Settings> (<설정>)화면에서 다음을 누르세요: [Config.] [Unit/Date/Language] ([기타설정] [단위 /

날짜 / 언어 ]).
Unit ( 단위 ) 사용된 단위를 설정합니다 .
기기 변 값 동 새 운
화시 기준점 / 은자 으로 로 단위에 적용되지 않습니다 : 사용자가
업 데이트 해야합니다 .
Date ( 날짜 ) 늘오 의 날짜를 설정합니다 .
Time ( 시 간 ) 간시 설정하기
섬머 임 겨울까 간 변 때 간
타 부터 지시 이 할 시 은자 동 으로 업 데 이트 안 됩 니다: 사용자가
업데 이트 해야합니다 .
g g
Lan ua e ( 언어 ) 값
언어

7.7.2 기능키
기능키는 기능 작동 / 멈춤과 주변 설정 설정 가능 게 합니다
을 을 을 하 .

기 설정 , 개의 기능키가 부 고 2 단꼐 의해 분 니다 : 사용자가 재 분
수 니다
초 때 8 여되 에 배됩 배할

있습 .

추가 기능키를 개 지 추가 수 으 , 최대 12 개 지 가능합니다 이 한 ,
단계 지 작 자 게 제안 니다
4 까 할 있 며 까 . 러 경우 3

까 업 에 됩 .

START
STAND-BY

그림 26: 기능키

기능키의 분배 <Settings> (<설정>)화면 서 다음 누 세요: [Config.] ([기타설정])[Function Keys]

([ 기능키 ])
에 을 르

기능키 덕분에 사용자는 한정된 기능 번호에 접속하고 비밀번호를 사용하여

< 설정화면 > 스크린에 허가되지 않은 기능을 차단할 수 있습니다 . 기능키는 디텍터를
조작하기에 충분합니다 .
사용자 이 사용 는 버 [Start/Stand-by] 위해 기능키를 분 지 말고
< 설정화면 > 메뉴를 그세요
만 하 튼 을 배하

기능키 개부터 추가 수 으 , 최대 12 개 지 가능합니다 이 한 ,

잠 .

단계 지 작 자 게 제안 니다
4 할 있 며 까 . 러 경우 3

까 업 에 됩 .

각각의 기능키는 사용자 선 의해 부 수 니다 : 래의 예를 고 택에 여될 있습 아 참

예 : Correction ( 보정 ) (1) 기능키 선 [Mode] ([ 모드 ]) (2)

‘ ’ ’ ’ 택 .

1
2

그림 27: 분배 대상

화살표의 움으로 Correction ( 보정 )(1) 기능키 선

도 ‘ ’ ’ ’ 택 그리고 .

52
 어드밴스드 설정

그림 28: 기능 선택

기능키 선 세요 [Mode] ([모드]) (2) 연 적으로 누 (검 바탕이 얀 이 록

선 키)
택하 속 름 은 하 색 되도

택된

그림 29: 기능키 선택

( ) 설정화면 결정 : 기능키 (2) 는 재 기능 분

3 현 에 니다 [Correction] ([ 보정 ])
배됩 . .

그림 30: 분배 결과

7.7.3 화면순서
<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Config.] [Application Windows]
([ 기타설정 ][ 화면순서 ])
에 을 르

버 연 적으로 서 가능한 다 한 적용 화면이

튼을 속 눌러 게 합니다 양 나타나 ( 참조 6.1.3).

사용자는 가지 화면 숨 수 날 순서를 바꿀 수 니다 < 표준 > 적용

스크린 항 첫번째 자리 니다
여러 을 길 있거나 나타 있습 .

은 상 에 있습 .

3 1

4
1 버튼으로 나타 낼 화면 순
서

2 < 표준 > 화면 순 서항 상 나타 냄
3 가능한 화면
4 화면 순 서 표시 / 숨 기기

53
어드밴스드 설정
화면 순서는 변형 가능합니다 : 순서 번호를 누 ( 예 : [3rd] ([ 세번째 ])) 와 버 사용
그리고 순서 번호를 선 고 설정
름 튼

새 택하

그림 31: < 기본데이터 > 화면은 순서 3 부터 4 까지 바뀝니다 .

화면이 선 지 았 순서가 변 , 일반적인 순서는 자동으로

데이트 니다
택되 않 을 때나 경되었을 때

업 됩 .

그림 32: < 그래프 > 화면은 나타나지 않습니다 .

화면이 로 선 새 택될 때 , 자동으로 최 자리로 이동합니다

근 .

그림 33: < 그래프 > 화면은 다시 가능하며 최근 자리에 있습니다 .

< 표준 > 화면 설정
<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Config.] [Application Windows] [Std Window
Parameters] ([ 기타설정 ][ 화면순서 ][ 일반 ])
d V
St -By alue d
Stan -by 모드에서 리크량 나타 냄 숨김 /
( 대기 중 He)
Inlet Pressure 입구 압력 디스플레이 나타 냄 숨김/
( 입구 압력 )
Extra Pressure 분석관 압력 / 외부 게이지 디스플레이 나타 냄 숨김 /
( 추 가 압력 ) 외부 게 이지 ( 소비자 부 담 핀
) 는 37 클
I/O 보드에 연결된 라이언트 애
플리케이 션 에
설치된 게 이지입니다 .
Lower Display 리크량을 나타 내 기 위한 최저 값 을 설정합니다 .
Limit ( 최소 범 ‘
위 ) 설정한 Lower Display Limit ( 최소 ’' 범 ' 값 낮 위 ) 보다 이 으면 나타나지 않은 리크량
Show 2n ddg i it 리크량의 디지 털 디스플레이용으로 쉼 뒤 두 번째 숫 표 , 자 디스플레이 나타 냄 숨김/

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Config.] [Application Windows] [Std Window
Parameters] [Leak Rate Bargraph] ([ 기타설정 ][ 화면순서 ][ 일반 ][ 그래프 설정 ])
Z oom on set 설정값 확 에서 대를 실 행
합니다 .
값
point (설정 에서 설정 값 확에서 대는 그 래
프 설정에 2 Dec. 에서 한 계값 내 록
을 나타 도 합니다 .
확 대)
d
Low Deca e 그래 프 설정 디스플레이의 측 정 최소 범 위를 설정합니다 .
( 최소 범 위)
g d
Hi h Deca e 그래 프 설정 디스플레이의 측 정 최대 범 위를 설정합니다 .
( 최대 범 위)

54
 어드밴스드 설정
7.7.4 화면 설정
<Settings> (<설정>)화면에서 다음을 누르세요: [Config.] [Screen settings] ([기타설정][화면 설정])
g 밝
Bri htness ( 밝 기) 기를 설정합니다 .
Contrast 콘 트라스트 설정합니다 .
( 콘트라스트 )
Panel Off 동끔 자 화면을 실시합니다 .
(자 동끔 ) 동끔 일 때 흑백자 꺼집 검
화면 화면이 니다 ( 은 화면 ). 기기가 꺼 지는 듯 이 보이지 만
꺼 게 닙 ! 진 만
아 니다 화면을 건드리기 하면 디스플레이는 반응 합니다 .
Pa ingg Func. gg 동 킵Pa in 기능을 작 시 니다 .
( 페이 징 무
기능 ) 컨 속 선 리모‘ 징 g g’
(부 품 ) 을 사용하면 페이 (Pa in ) 기능을 통해 디텍터와 함께 이용
범 컨 쉽게 찾
위 안에 있는 리모 을 을 수 있습니다 . 실시된 기능 제어기는 오디오
널 규칙 시그 내 찾을 적으로 보 서 위치 기를 합니다 . 오디오 시그 널 멈추 gg
기 위해 Pa in
활 킵기능 비 성화 시 니다 .

다음 누 세요 : [Reset Panel Param.] ([ 제어판 값 초기화 ]) 제어판 값 기화

을 르 초 .

7.7.5 권한 - 비밀번호
<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Config.] [Access/Password]
([ 기타설정 ] [ 권한 / 비밀번호 ])
에 을 르

비밀번호 ( 기 ) 누 고 결정합니다
초 5555 르 .

메뉴 접근 사용자는 < 설정화면 > 의 화면 메뉴 차단 수 니다

메뉴 기 위해 , 사용자는 비밀번호가 필요합니다
여러 중 하나에 접근을 할 있습 .

잠긴 에 접근하 .

누 의한 메뉴 름에 잠금 .

누 의한 메뉴 해제
름에 잠금 .

그림 34: 예 : Set Points (He 값 ), Spectro ( 스펙트로 ), Advanced ( 어드밴스드 ) 메뉴 잠김

< 설정화면 > 서 김메뉴 표시는 다음과 음

에 잠 같 .

그림 35: 잠김 메뉴

비밀번호 변경 <Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Config.] [Access/Password]

([ 기타설정 ] [ 권한 / 비밀번호 ])
에 을 르

비밀번호 ( 기 ) 누 고 결정합니다
초 5555 르 .

다음 누 세요 : [Change Password] ([ 비밀번호 변경 ])

을 르 .

비밀번호를 누 고 승인합니다
새 르 .

비밀번호는 제어판에 저장되지 않습니다 . 비밀번호를 잊어버린 경우 , RS-232 를

사용하여 다시 찾을 수 있습니다 : RS-232 사용 설명서 참조 .

55
어드밴스드 설정
사용자 수준 <Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Config.] [Access/Password]
([기타설정] [ 권한/비밀번호])[User level] ([기타설정][ 권한/비밀번호][사용자 수준])
에 을 르

가지 사용자 수준 디스 이를 제한 고 사용자가 래의 설정과 기능 는데

쓰입니다
3 은 플레 하 아 에 접근하

● restricted access ( 일반 사용자 ),

● medium access ( 사용자 ), 중급

● full access ( 고 사용자 )

급 .

제한적 권한으로 인한 한계
●버 튼 비승인 : 비밀번호 이 어 한 설정 불가능합니다 없 떠 도 .

●픽 토비승인
●숨겨진 기능키 .

●입구 압력과 숨겨진 분석관 압력

●버 튼 비승인 : 커뮤니 이 인터페이스를 한 테스트 시작 가능 케 션 통 만 .

●측정 리크량과 한계값 의한 테스트로 가능

된 에 만

그림 36: 일반 사용자 디스플레이

일반 혹은 중급 사용자 단계로 사용자는 <설정화면>의 6개의 메뉴에 일시적으로 접속해

값을 실행할 수 있습니다 .
모든 잠긴 메뉴와 < 설정 > 화면이 날 나타 때까 지 터치를 유지합니다 .

원 는 메뉴를 누
하 름 .

비밀번호 ( 기 설정 ) 누 고 승인합니다
초 5555 르 .

원 는 값 실행합니다
하 을 .

일부 접근 권한으로 인한 한계
●버 튼 비승인 : 비밀번호 이 어 한 설정 불가능합니다 없 떠 도 .

●2 개의 기능키 가능 : [Basic Param.] ([ 기본 설정값 ]) 및 [Infor.] ([ 정보 ]) .

● 숨겨진 기능키 .

● 입구 압력과 숨겨진 분석관 압력

● 버튼 승인 .

● 측정 리크량과 한계값 의한 테스트로 가능

된 에 만

56
 어드밴스드 설정

그림 37: 일반 사용자 디스플레이

일반 혹은 중급 사용자 단계로 사용자는 <설정화면>의 6개의 메뉴에 일시적으로 접속해

값을 실행할 수 있습니다 .
모든 잠긴 메뉴와 < 설정 > 화면이 날 나타 때까 지 터치를 유지합니다 .

원 는 메뉴를 누
하 름 .

비밀번호 ( 기 설정 ) 누 고 승인합니다
초 5555 르 .

원 는 값 실행합니다
하 을 .

완 전한 권한이 있을 때 한계
● 한계 음 없 .

그림 38: 고급사용자 디스플레이

일반 혹은 일부 권한 단계 사용자의 접근 수준 변화
설정 화면이 모 김메뉴와 날 지 든 잠 나타 때까

다음 누 세요 : [Config.] ([ 기타설정 ])
을 르 .

비밀번호 ( 기 설정 ) 누 고 승인합니다
초 5555 르 .

다음 누 세요 : [Access/Password] ([ 권한 / 비밀번호 ])
을 르 .

비밀번호 ( 기 설정 ) 누 고 승인합니다
초 5555 르 .

다음 누 세요 : [User level] ([ 사용자 수준 ])

을 르 .

권한 수준 변화 : 래 각각 수준 제한 고
아 참 .

고급 사용자의 접근 수준 변화 .

<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Config.] [Access/Password]

([ 기타설정 ] [ 권한 / 비밀번호 ])
에 을 르

비밀번호 ( 기 설정 ) 누 고 승인합니다
초 5555 르 .

다음 누 세요 : [User level] ([ 사용자 수준 ])

을 르 .

권한 수준 변화 : 래 각각 수준 제한 고
아 참 .

7.8 Advanced ( 어드밴스드 ) 메뉴

어드밴스드 메뉴는 리크 탐지 전문가 사용자 혹은 / 및 특정 제품 설정을 위한 것입니다 .
<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Advanced] ([ 어드밴스드 ])
에 을 르 .

57
어드밴스드 설정

7.8.1 리크 탐지 메뉴
<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Advanced] [Leak Detection]
([ 어드밴스드 ] [ 리크 탐지 ])
에 을 르

7.8.2 Leak Detection: Start Up Timer ( 리크 탐지 : 준비시간 )

준비시간 리크 디텍터가 켜진 리 정해진 기간 동안 사용 는 기
위 입니다 그 리크 디텍터가 가 안정 지 디텍터 안 사용기체의
은 후 미 되 것을 막

적이 재 는 측정 지 는다는 의 입니다
함 . 것은 온도 될 때까 혹은 에

흔 존 할 때 되 않 미 .

<Settings> (<설정 >)화면에서 다음을 누르세요 : [Advanced][Leak Detection ([어드밴스드][리크

탐지 ])
Start-up timer 준비시 간 을 설정합니다 .
( 준비시 간 )

7.8.3 Leak Detection: Background suppression ( 리크 탐지 : 내부 펌핑 )

이 기능 디텍터의 내부 펌핑 애는 데 사용 니다
은 을 없 됩 .

교정 , 이 기능이 활성화 면 디텍터의 내부 펌핑이 1·1 -12 mbar·l/s (1·1 -13 Pa·m3/s
) 보다 낮 니다
후 되 0 0

아집 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Advanced] [Leak Detection] [Background
Supp.]([ 어드밴스드 ][ 리크 탐지 ][ 내부 펌핑 ]).
Activation 기능을 작 동 ' ' 켜
합니다 .( on 이 진 경우 )
(작 동방 식)

이 기능을 활성화 (’On’) 상태로 두는 것이 좋습니다 .

7.8.4 Leak Detection: Crossover Pressures ( 리크 탐지 : 전환 압력 )
은 다 한 테스트모드 서 고진공 테스트 서 전환 압력 정의 는데 사용 니다
양 에 에 을 하 됩 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Advanced][Leak Detection][Crossover

pressures] ([ 어드밴스드 ][ 리크 탐지 ][ 전환 압력 ])
Gross Leak 배기부터 그로스 모드 까 환 지전 점을 설정합니다 .
( 그로스 )
Normal ( 일반 ) 그로스 모드에서 일반 환
모드로 전 점을 설정합니다 .
g
Hi h Sensitivity 일반 모드에서 고 감 까 환
도 모드 지전 점을 설정하세요 .
(고 감 도)

58
 어드밴스드 설정
7.8.5 Leak Detection: Calibration ( 리크 탐지 : 교정 )
통지
디텍터 교정
스위치가 켜지고 2 분 , 디텍터는 사용자 게 자동 교정 ( 교정 라 터가 operator
( 자동 교정 ) 로 어 는 ) 수행 제안합니다 디텍터를 올바 게
0 후 에 파 미 ‘ ’

사용 면 , 이 자동 교정을 실행해야 합니다 . 다음과 이 교정 수행 는 이

’ ’ 되 있 경우 을 할 것을 . 르

좋 니다 :
하려 같 을 하 것

적어 한번
감성 테스트를 위한 측정 정 를 최적화 기 위해
● 도 하루에

리크 디텍터의 제대로 작동이 의심

● 높은 민 확도 하

사용의 : 각 작동 세 의 기 내부 교정 시작 세요 ( 예 : 팀 작 ,
● 된 될 경우

시간 다 )
● 집중 경우 션 초 에 을 하 . 업

8 마

교정의 적 리크 디텍터의 추적가스 누설 검출 및 정 한 누설 표시 부를

인 는데 니다
목 은 확 도 여

확 하 있습 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Advanced][Leak Detection]

[Calibration]([ 어드밴스드 ][ 리크 탐지 ][ 교정 ])
Calibration 교 종류 택
정 선 합니다 . 아 래 자세한 사항을 참 고.
( 교 정)
Calib.Checkin g 교 검방법
정점 을 설정하고 횟 수를 정합니다 . 아 래자세한 사항을 참 고.
( 교 정점 검 )

외부 리크를 사용 는 리크 디텍터를 교정 가능합니다 기 설정 라,

리크 디텍터를 게 교정 기 위해 내부 리크가 선 니다
하 도 ( 참조 6.7). 초 에 따

빠르 하 택됩 .

Calibration’(’ 교정 ’) 상세
‘ ●교정 = ‘operator’ (’ 자동 교정 ’)
사용자실행 른 시작 교정 에 따 된

기능키를 누 세요 [AUTOCAL] ([ 자동교정 ]) 르 .

리크 디텍터가 켜진 교정이 2 분 내로 시작 지 으면 , 메세지가 후 0 되 않 나타 납니다 .

그림 39: 교정 준비가 되었습니다

●교정 = ’manual’ (’ 수동 교정 ’)
사용자 실행 교정
서비스센타와 전문가 만 가능한 작동입니다 .
●교정 = ‘check at start’ (’ 동작시 교정 점검 ’)
Calibration control ( 교정점검 ) 디텍터의 전원 켜는 자동으로 시작 니다 :
래를 조 세요
‘ ’ ’ ’ 은 을 중에 됩

아 참 하 .

리크 디텍터가 켜지면 교정이 자동으로 시작 니다 됩 .

Calibration control’ 교정 점검 전체 교정보다 기 문 사용자가 시간 약 수 니다

‘
(’ 교정점검 ’) 상세
은 빠르 때 에 을 절 할 있습 .

교정 = manual ( 수동 교정 ) 이면 교정 점검이 비활성화 니다

교정 점검 리크 디텍터의 내부 교정용 리크 ( 리크 종류 변수 = internal ( 내부 )) 를
‘ ’ ’ ’ 됩 .

사용 수행 니다
은 ‘ ’ ’ ’

하여 됩 .

●비율이 용 한계 내라면 , 리크 디텍터는 적 교정 고 는 입니다

허 된 절히 되 있 것 .

비율이 용 한계를 넘어섰다면 , 리크 디텍터의 전체 교정 권고 는 메세지가

납니다
● 허 된 을 하

나타 .

59
어드밴스드 설정
Checkin g 교 종류
정 를선 택 ’ ’ ’ 동 행’
하세요 ( automatic ( 자 실 ) 이 설정되어 적용되 었 떄 을 )
(점 검방법 )
q
Fre uency 교 검
정점 을 위한 설정 포인트 ( 싸 클횟 간 이 수와 시 ) 를 정하세요 .
( 횟수) 첫 설정포인트에 다다르면 점 검 될것
이 입니다 .

제어판부터 빠르게 접속하기 위해 [Check Cal] ([ 교정 점검 ]) 기능키를 설정합니다

어떤 경우든 사용자는 교정 점검을 시작할 수 있습니다 : 리크 디텍터가 Stand-by 모드일
때 , 적어도 5 초간 [AUTOCAL]([ 자동교정 ]) 기능 키를 두번 누릅니다 .

7.8.6 Leak Detection: Analyzer cell ( 리크 탐지 : 분석관 )

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Advanced][Leak Detection][Analyzer Cell]
([ 어드밴스드 ][ 리크 탐지 ][ 분석관 ])
d
Fil. Selecte 측 분석관 필 멘 택 필 멘
정( 에 라 트 2) 을 위해 선 된 라 트가 나타 납 니다 .
( 필 멘 택
라 트선 )
필 멘
Filament ( 라 켜졌 때 필 멘 ' ' ' '
트 ) 디텍터가 을 사용된 라 트는 on 혹은 off 가 나타 납 니다 .
–T d 행교 값
분석관
rio e Pressure 사용자실 정

– Z
( 압력 )
이러한 종류의 교정은 서비스 센터와 리크 탐지 전문가의 영역입니다 ..

영
Elec. ero

–T g V
( 점조정 )

목 값
ar et alue

– g V
( 표 )
Acc. volta e ( )

– 방 류
( 인가전압 )
Emission (mA)

–
( 출전 (mA))

민감
Coeff. Sens.
( 도)
Calib. valve 밸 상태 리크 브의 실제 를 설정하세요 .
( 리크 밸 브) 들 밸 행 예를 폐 게
어 리크 브 사용자 실 으로 개 / 를 가능하 함.
후밸 잠 것 사용 브를 다시 그는 을 유의하세요 . 사용자실행 교정은 전문가의

영역입니다 .

T° °
Internal ( C)내 교 계 온
디텍터의 부 정용 리크의 단 에 도를 나타냅니다 .
( 온 도)

교정 사용자 실행을 제외하고 필라멘트를 끄지 마세요 . 절약하기 위해 Stand-by

모드에서 필라멘트를 끌 필요 없습니다 .
리크 디텍터는 선 필라멘트가 결 이 생기면 다른 필라멘트를 자동으로 켭니다
스위치가 켜지면 , 리크 디텍터가 단 선 필라멘트를 사용합니다
● 택된 함 .

● 중 되었을 때 택된 .

7.8.7 Leak Detection: Internal Pirani gauge calibration ( 리크 탐지 : 내부 Pirani 게이지 교정 )

이 기능 디텍터의 내부 게이지 교정 가능 게 합니다
은 을 하 .

과정
<Settings> (<설정>)화면 서 다음 누 세요: [Advanced] [Leak Detection] [Internal
Pirani Calib.] ([ 어드밴스드 ] [ 리크 탐지 ] [ 내부 게이지 교정 ])
에 을 르

리크 디텍터의 인 폐쇄 지로 니다 흡 을 플랜 막습 .

인:
가장 감한 테스트모드 서 리크 디텍터는 고진공테스트입니다
확

싸이클의 사용자실행 (= operator ( 사용자 실행 )).

– 민 에 .

– 끝은 ’ ’ ’ ’

교정 2 개의 단계 : 한계압력과 대기압 설정입니다

은 .

한계 압력 설정 테스트 시작 : 다음 버 누 세요 : 튼을 르 .

<Pressure> (« 압력 ») 값 감소 : 값이 안정 는 기다리세요 ( 약 분 ). 되 것을 5

내부 압력 1·1 -3 hPa 보다 낮 은 0 인 세요
. 매우 은 것을 확 하 .

다음 버 [>HV] 튼 .

대기압 설정 테스트를 단 : 버 누 중 튼을 름 .

벤트 시킴 : 다음 버 누 : [Inlet vent] ([ 입구진공해제 ])

튼을 름 .

디텍터 가 대기압 인지 인 세요 상태 확 하 .

60
 어드밴스드 설정
<Pressure> (< 압력 >) 값 가 : 값이 안정 는 기다리고 ( 약 분 ) 버
누 세요 [>Atm]
은 증 되 것을 5 튼을

르 .

7.8.8 Leak Detection: External Gauge ( 리크 탐지 : 외부 게이지 )

외부 게이지 의한 리크 디텍터 조종 가능 게 합니다
에 을 하 .

선결조건 ● I/O 보드가 장 인터페이스 ( / 부 품

37 핀 착된 ) 옵션 속 ( 참조 10) .

외부 게이지 사용 위해 대량 누설 모드를 비활성화 시킵니다

을 ( 참조 7.4.11).

사용 입구압력소스 (= external ( 외부 )) 조정합니다

된 ’ ’ ’ 을 .

가능한 게이지
디텍터에 의해 감 지된 게 이지 모델
게 이지 종류
선 형게 이지 용량 Linear ( 선 형 ) CMRxxx
z
Pie o Linear ( 선 형 ) APRxxx
대수 게 이지 피 라니 T PR/PCR T PRxxx
Pirani 용량 T PR/PCR PCRxxx

● 부 품구 로 이
속 매 케 블 3 ( /1 /2 m)
3 0 0 ( 참조 10).

● 게이지와 연결 이 케 블은 고객부담입니다 .

설정
<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Advanced][Leak Detection][External Gauge]
([ 어드밴스드 ][ 리크 탐지 ][ 외부 게이지 ])
Gau e ( g 게 이지 ) 외부 게 이지 모델을 선 택 합니다 .
Ext. Pressure 외부 게 이지로 측 정된 압력을 나타냅니다 .
(mbar) ( 외부
압력 (mbar))
Inlet Press. Source < 표준 > 화면에 나타
내 난게 ‘ ’'
입구 압력을 설정합니다 : ( 참조 7.7.3) : internal ( 부 )
' ‘ ’ ‘내 ’
게
( 입구압력소스 ) ( 리크 디텍터의 부 이지 ) 혹은 external ( 외부 ) ( 고객 설치에 따른 외부
이지 )
Full scale (mbar) 선 형게 이지 만 을 위함
( 풀 스케 일 ) 게 이지 작 동범 위를 설정합니다 : 게 이지에 나타 난값 .

7.8.9 Leak Detection: Purge Valve ( 리크 탐지 : 퍼지 밸브 )

퍼지 밸브는 디텍터의 진공부분의 공기 흐 의해 오염 는 방지해 줍니다 름에 되 것을 .

퍼지 밸브는 디텍터가 자동으로 관리합니다 .

대기 (stand-by) 의 디텍터는 퍼지 밸브가 리면 , 표준 화면 Purge ( 퍼지 ) 가

표시 니다
상태 열 에 ‘ ’ ’ ’

됩 ( 참조 6.1.4).

이 변수를 절대 변경하지 마세요 : 수정은 서비스 센터의 전문가만 수행할 수 있습니다 .

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Advanced] [Leak Detection] [Purge Valve]
([ 어드밴스드 ][ 리크 탐지 ][ 퍼지 밸브 ])
g 밸 상태
• 동 행 = 감독 밸 폐
Pur e 브 를 설정합니다 :
V alve
관
Automatic( 자 실 ) 디텍터의 펌웨어에 정의된 브의 개 ( 퍼지의 최적화
(밸 브)
•
리)
Open/Close ( d 열림 닫힘 = 밸 영
/ ) 브의 구적 상태

7.8.10 Input/Output ( 입 / 출력 ) 메뉴
<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Advanced] [Input/Output]
([ 어드밴스드 ] [ 입 / 출력 ])
에 을 르

61
어드밴스드 설정
7.8.11 Input/Output ( 입 / 출력 ): Serial Link 1 ( 시리얼링크 #1) 과 Serial Link 2 ( 시리얼링크 #2)
<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Advanced] [Input/Output] ([ 어드밴스드 ] [ 입 /
출력 ]) 을 누른 후 다음을 누르세요 : [Serial Link 1] ([ 시리얼링크 #1]) 혹은 [Serial Link 2]
([ 시리얼링크 #2])
T ype ( 방 식) 연결 방 식을 설정하세요: 사용할 부 속 옵션품/ 의 사용자 설명서를 참 조하세요 (참조
1.1.1).

Parameters( 값 ) 시리얼 링 크 모드를 설정하세요 : 사용할 부 속 옵션 품/ 의 사용 설명서를 참 조하세요

( 참조 1.1.1).

7.8.12 Input/Output: I/O Connector ( 입 / 출력 :I/O 커넥터 )

<Settings> (< 설정 >) 화면 서 다음 누 세요 : [Advanced][Input/Output][I/O
Connector] ([ 어드밴스드 ][ 입 / 출력 ][I/O 커넥터 ])
에 을 르

디텍터는 라 장 어 니다 :
옵션에 따 착되 있습

●1 I/O 보드 인터페이스
5 핀 15 핀 I/O 카드
( 사용 설명서 참조 ).

● I/O 보드 인터페이스
37 핀 37 핀 I/O 카드
( 사용 설명서 참조 ).

7.8.13 SD Card (SD 카드 ) 메뉴

<Settings> (< 설정 >) 화면에서 다음을 누르세요 : [Advanced] [SD card] ([ 어드밴스드 ] [SD 카드 ]).
Loa d Detector SD 카드에 저장된 값 을 저장합니다 .
Param. ( 디텍터
설정 값불 러오기 )
Save Detector SD 카드에 리크 디텍터 값 을 저장합니다 .
Param. ( 디텍터
설정 값 저장하기 )
V iew * BMP "
저장된 .bmp 파 " 일 로 화면저장 .
(BMP 파 일 로
화면저장 )

디텍터가 다양하게 사용될 때 , 각각의 사용에 해당하는 환경설정 라이브러리를

구성합니다 .
시중에서 파는 모든 고사양 기술 SD 카드는 메모리 용량 상관없이 사용될 수 있습니다 .
사용하기 전에 SD 카드는 잠겨저 있는지 않는지 확인합니다 (”SD card not detected”
(” 검색되지 않는 SD 카드 ”) 라는 메세지가 나타나면 )
7.8.14 Service ( 서비스 )
비밀번호로 서비스 메뉴 접속 서비스 센타 관 할 .

62
 정비 / 교체

8 정비 / 교체
통지
책임 면제
Pfeiffer Vacuum 적 지 정비로 인해 생한 인명 해 는 적 대해
지지 니다 구권 및 보 구권이 소 니다
은 절하 않은 발 상 또 물 손상에

배상 책임을 않습 . 배상 청 증 청 멸됩 .

8.1 정비 주기 및 정비 담당
디텍터 유지 / 보수 작동 유지 / 보수 메뉴얼 기술 니다
은 에 되었습 .

그 래와 니다 :
것은 아 같습

● 유지 / 보수의 시간간 격

● 유지 / 보수의 지침
● 제품 정지
● 구 및 스패어 부품
도 .

유지 / 보수 메뉴얼 pfeiffer-vacuum com 사이트 서 다운로드 실 수 으 ,

디텍터 사용 설명서 CDRom 으로 이용가능 합니다
은 www. . 에 하 있 며

도 .

63
서비스

9 서비스
ei er Vacuum 은 여러분께 최상의 사후 서비스를 제공합니다 !
Pf ff
● 여러 제품 위한 사이트의 유지 / 보수
을

● 집 근처 서비스 점검 / 보수 센타

● 새것 과 표준교환제품으로 게 교체
같은 빠르

● 가장 율적이고 른 해결 조언
효 빠 책을

더 자세한 정보 , 주소와 형식 다음 주소 서 고 :
www.pfeiffer-vacuum.com (Service)
은 에 참

Pfeiffer Vacuum 서비스 센타에서 점검과 보수

다음 일반적 권고는 고 서비스 과정 보장합니다 :
빠르 질 높은 을

< 서비스 요 > 폼 작성 고 분의 지 Pfeiffer Vacuum 대리점 보내세요

청 을 하 여러 역 에 .

발송 시 Pfeiffer Vacuum 서 한 사 서비스 보 서를 동 세요

에 발급 후 증 봉하 .

오염 고서를 작성 고 , 시 꼭 동 합니다 오염 고서는 베큠 외부

부품 포 는 모 제품 / 기기 유 합니다
신 하 발송 봉하셔야 . 신 에

을 함하 든 에 효 .

모 세서리를 분해 보관 세요
든 액 하여 하 .

오염 기기 모 포트 지는 기 보호 커버 밀폐 메탈 지를 사용
으세요
된 에 든 플랜 존 나 플랜 하여

닫 .

펌프 가능한 원래 포장돼 기기를 보내세요

혹은 있던 .

오염된 펌프 혹은 기기 발송
세균 , 성 방사성 오염 기기는 수 지 니다 < 성 > 위
제품 정 기재 화 및 부 입니다
폭발 혹은 물질에 된 회 하 않습 . 독 물질 험

규 에 된 학 물질 산물 .

펌프를 소로 세척 질 공기 건조 시켜 성화합니다
하거나 중 중 .

모 밀폐부를 니다
든 닫습 .

보호 필 펌프 기기 밀 합니다
름에 혹은 봉 .

적당 견고한 전 컨테이너 펌프 / 기기를 돌 보내고 래의 적합한 전

라 보내세요
히 송 에 려 아 송 상태에

따 .

오염 고서가 전 작성 지 고 / 적 한 포장으로 불안전 반 펌프

기기는 전 자의 비용으로 오염 제 반 입니다
신 완 히 되 않 혹은 절 하여 송된

혹은 송 거하거나 송될 것 .

교환 혹은 수리 제품
공장 작 라서 표준 교환 수리 제품이 정해 니다 고객이 정 값으로
적용 사용 한 , 고객이 제품 값 다시 바꿔 합니다
업 상황에 따 혹은 집 . 특

하여 것은 을 야 .

애프터 서비스 주문
자사 사이트 기재 보수 및 유지의 일반 래 조건 라서 모 애프터 서비스
주문 실행 니다
에 된 거 에 따 든

은 됩 .

64
 부속품

10 부속품
지칭 모델명
표준 원격 제어 커넥터 (mbar l/s) · 106688
표준 원격 제어 커넥터 ( orr l/s) T · 108881
표준 원격 제어 커넥터 (Pa m3/s) · 108880
표준 원격 제어 커넥터 (Pa m /s + · 3 일본 ) 106690
RC 10 리모 컨 무
( 선) 124193
표준 스니퍼 프로브 카 탈 로그 참
조 Pfeiffer V acuum
스니퍼 프로브 연장 (10 m) 090216
Smart 스니퍼 프로브 (3 m) BG 449 207 - T
Smart 스니퍼 프로브 (5 m) BG 449 208 - T
Smart 스니퍼 프로브 (10 m) BG 449 209 - T
4He 교
정용 리크 카 탈 로그 참
조 Pfeiffer V acuum
외부 교 정용 리크의 아 답터D N K
25 ISO- F 110716
스프레이건 (Elite) 109951
스프레이건 ( 표준 ) 112535
37 pin I/O 보드 카드 - 표준 126254
37 pin I/O 보드 -Ethernet 126255
ECB WiFi 외부 통신 박스 125902
흡인 필 터:청 동 또는 스 테 인리스 스 틸 ~ μ
로 제공되며 5 20 m 의 망 문 바람의
Bypass 키트 (37 pin I/O 보드 필
요시 ) PT T 럽
445 411 - (유 )+
PT T 미
445 413 - ( 국)
실린더 홀더 126561
잠금 클램 N 프D K
40 ISO- F 118801
외부 게 종류 이지 CMRxxx / APRxxx / T PRxxx / PCRxxx (37 핀 I/O 카 탈 로그 참
조 Pfeiffer V acuum
보드 필 요)
게
디텍터 / 외부 이지 연결용 케이블 (CMRxxx / APRxxx / T PRxxx /
PCRxxx )
3m A333746
10m A333747
20m A333748

65
기술 제원 및 치수 도면

11 기술 제원 및 치수 도면
11.1 일반 사항
리크 디텍터 기술 성의 데이 베이스 Pfeiffer Vacuum 특 타 .

범 른 기술 성 :
AVS 2 : 량 분석기 방식의 교정 가스 분석기의 차
● 규 에 따 특

E 1 1 : 비 괴 검사 리크 테스 량 분석방식의 리크 디텍터 성부
– .3 질 절

ISO : 진공기술 분 서 사용 는 량 분석 방식의 교정 리크 디텍터 방법

– N 5 8 파 . 팅 . 질 특 여 .

– 3530 야에 되 질

영점 기능 표준조건 서 작용 내부 펌핑
(2 C, ppm 4He 작 , 가스 제 디텍터 )
● 혹은 에 된

0 ° 5 업 거 .

●음압 수준 : 디텍터 1m 떨어진 리 거

11.2 기술 제원
파라미터 ASM 390 ASM 392
치수 (L x l x H) 1072 x 455 x 1025 mm 1072 x 455 x 1025 mm
플 랜 지 ( 입력 ) D N 40 ISO- F K D N 40 ISO- F K
He 의 펌 핑 피 스 드 10 l/s 25 l/s
보조펌프의 저장용량 35 m h
3/ 35 m h
3/

교 정외시 동 간 시 (20 C)° 2 min. 2 min.

오디오 단 계 54 d B (A) 55 d B (A)
소비 전력 (230 ) V 800 W 800 W
최대 소비 전력 (230 ) V 1600 W 1600 W
작동온 도 10 35 C ~ ° 10 35 C ~ °
최대테 스트 압력 20 hPa 20 hPa
중량 125k g (1) 130k g (1)
감 지가능한 기 체 4He, 3He, H
2
4He, 3He, H
2
측 방법정 진공 / 스니 핑 리크 탐 지 진공 / 스니 핑 리크 탐 지
최소측 정가능한 He 리크량 ( 스니
4 핑 리크 감지) ·
-8 mbar l/s
1 10 · 1 10·
-8 mbar l/s ·
-9· 3
1 10 Pa m /s 1 10·
-9 3
Pa m /s ·
헬륨 최저 감 지 가능한 He 리크량(진공 리크
4 감 지) 1 10 ·
-12 mbar l/s · 1 10·
-12 mbar l/s ·
·
1 10-13 Pa m3/s · ·
1 10-13 Pa m3/s ·
공급 100-240 V , 50/60 H z 100-240 V , 50/60 H z
(1) 최대 중량 ( 디텍터 + 부 속 품+ 테 스트 할 부품 + ...) = 200k g
환경적 조건
보 관온 도 °
- 25 C 에서 + 70 C °
최대 습도 응축 없 이 95 %
최대 자기장 3mT

11.3 측정 단위
환 산 표 : 압력 단위

mbar bar Pa hPa kPa Torr

mm Hg
mbar 1 1 · 10
-3 100 1 0.1 0.75
bar 1000 1 1 · 10
5 1000 100 750
Pa 0.01 1 · 10-5 1 0.01 1 · 10-3 7.5 · 10-3
hPa 1 ·
1 10-3 100 1 0.1 0.75
kPa 10 0.01 1000 10 1 7.5
T orr 1.33 1.33 · -3
10 133.32 1.33 0.133 1
mm H g
1 Pa = N 1 /m2

66
 기술 제원 및 치수 도면

환 산 표 : 가스 유량 단위

mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s

mbar l/s 1 0.1 59.2 0.75 0.987
Pa m /s
3 10 1 592 7.5 9.87
sccm 1.69 · -2
10 1.69 · -3
10 1 1.27 · 10
-2 1.67 · -2
10
T orr l/s 1.33 0.133 78.9 1 1.32
atm cm3/s 1.01 0.101 59.8 0.76 1

11.4 치수
1072 455

884 205

226
36
1025

1025
883

67
부록

12 부록
12.1 < 설정 > 메뉴의 다이어그램
다음의 표는 디텍터의 기 설정값 보 줍니다 디텍터가 값과 변수는
다음 사용 위해 저장 니다
초 을 여 . 꺼져있을 때

을 됩 .

사용자는 다른 리크 디텍터 구성 저장 고 다운 수 니다 을 하 받을 있습 ( 참조 7.8.13).

설정 점 선택

1
2
3
1 사용자 설정화면
2 Mantissa 단위 설정화면
3 가수의 열번 째 설정화면

SET POINTS( 주변설정 )

선택 선택 - 초기 설정
설정 제한
d
Au io ( 소리 ) 상태 비 승 승
인/ 인 비 승 인

설정 ( 승 일
인 경우 ) 1-9 2
g
Di ital voice 상태 비 승 승
인/ 인 승 인
(안 내 음성 ) 설정 ( 승 일
인 경우 ) 1-9 4
Pollution (최대 He 값 상태
) 비 승 승 인/ 인 비 승 인
설정 ( 승 일
인 경우 ) · +19 ·
1 10 - 1 10
-19 ·
1 10
-05

Har dV acuum Set j

Re ect Point ( 합 / 불 기준 값 ) · +06 ·
1 10 - 1 10-13 ·
1 10-07
Points ( 진공 테스트
설정 값 )
Sniffer Set Points j
Re ect Point ( 합 / 불 기준 값 ) ·
1 10 ·
+06 - 1 10-12 ·
1 10
-07
( 스니퍼 테 스트 gg d · +19 - 1 10-19· · -06
설정 값 )
Probe clo
( 최저기준 값
e
)
표준 프로브와 함께
Smart 프로브
1 10
0 - 9999
1 10
10
Other Set Points j
Re ect Point # 2 ( 헬륨 SE T Point #
2) (37 핀 I/O 보드 일 경우 ) ·
1 10+19 - 1 10-19· ·
2 10-07
( 추 가 헬륨 Set Point) Re ect Point j # 3 ( 헬륨 SE T Point #
3) (37 핀 I/O 보드 일 경우 ) ·
1 10+19 - 1 10-19· ·
3 10-07

j
Re ect Point # 4 ( 헬륨 SE T Point #
4) (37 핀 I/O 보드 일 경우 ) ·
1 10
+19 - 1 10-19· ·
4 10
-07

j
Re ect Point # 5 ( 헬륨 SE T Point #
5) (37 핀 I/O 보드 일 경우 ) ·
1 10
+19 - 1 10
-19· ·
5 10
-07

Other Pressure Set Pressure Set Point # 1 ( 압력 Set Point #1) ·

5 10 ·
-5 - 3 10+2 ·
2 10
+1
pts ( 추 가 압력 Set Pressure Set Point # 2 ( 압력 Set Point #2) · -5
5 10 - 3 10
+2· ·
1 10
+0
Point)

TEST( 테스트 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
Metho d 방법( ) Har dVacuum Har dV acuum
( 고진공 ) / Sniffer ( 고진공 )
( 스니퍼 )

Sniffin g or HV 상태 비 승 승 인/ 인 비 승 인
Correction ( 헬륨
보정 값 혹은 스니퍼 )
설정 ( 승 일
인 경우 ) 1 10· +20 · - 1 10
-20 ·
1 10
-3

d
Mo e ( 모드 ) ( 고진공 ) 테 방 스트 식선 택 시) Gross leak ( 그로스 )/ g
Hi h Sensitivity
N ormal ( 일반 g )/Hi h (고 감도)
Sens. ( 고 감 도)
Probe type ( 프로브 (Sniffer ( 스니퍼 ) 방 식선 택 시) 표준 /Smart 표준
종류 )

68
 부록

TEST( 테스트 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
d
Cycle En Cycle En d 싸 클종료
( 이 ) Operator ( 자 동교 정 )/ Automatic ( 자 동 행
실 )
( 싸 클종료
이 ) Automatic ( 자 동 행 실 )
설정화면 g gT
Rou hin imer 상태 비 승 승인/ 인 승 인
(Automatic (펌핑 간 시 )
동 행 일
설정화면 0-1h 10 s
(자 실 ) 경우 )
T T 측
est imer ( 정시 간 ) 0-1h 10 s
Inlet vent ( 작 동방 식 ) Inlet vent ( 작 동방 식) Operator ( 자 동교 정 )/ 자 동교 정
Automatic ( 자 동 행 실 )
Delay ( 지연시 간 ) 0-2s 0s
V ent timer ( 벤트시 간 상태
) 비 승 승인/ 인 비 승 인
설정화면 (Automatic ( 자 동 행 일
실 ) 경우 ) 0-1h 9s
최 종값 읽 기 기능 Active( 작 동 ) N Y
o ( 아니오 )/ es ( 예 ) N o ( 아니오 )
Display T ime 상태 비 승 승인/ 인 비 승 인
( 표시시 간 ) 설정화면 (Automatic ( 자 동 행 일
실 ) 경우 ) 0-1h 10 s

Z ero activation Activation ( 작 동방 식) N one ( 사용안함 )/ Operator ( 자 동교 정)

( 헬륨 값영 활 점 성화 ) Operator ( 자 동교 정 )/
Automatic ( 자 동 행 실 )
Z ero Exit ( 제로 종료 )(자 동교 정) Press once (1 회 Press once (1 회
누름 )/ 누름 )
Press > 3 s (3 초 상 이
누름 )
설정화면 T gg
ri er ( 작 동 기준 ) T imer ( 시 간 )/Set T imer ( 시 간 )
(Automatic point (He 값 )
(자 동 행 일
실 ) 경우 ) 설정화면 T imer ( 시 간 ) 조건 0-1h 10 s
Set Point (He 값 ) ·
1 10 ·
+19 - 1 10-19 ·
5 10
-7
조건
Bypass Option d
Mo e ( 모드 ) N o Bypass N o Bypass
( 바 패
이 스 설정 ) ( 설정안함 )/ ( 설정안함 )
Q uick Pump
( 외부펌 핑 )/
Partial Flow
( 동 시펌 핑 )
Evacuation d
elay ( 초 기펌 핑 대기 ) Off / On Off
g
Re eneration ( 재생 ) 시작 기능 - -
Massive Mo e ( 대량d Active ( 작 동 ) N Y
o ( 아니오 )/ es ( 예 ) Y es ( 예 )
누설 ) Sensitivity ( 민감 성) g 높
Hi h ( 음 )/Low g 높
Hi h ( 음)
(낮 음)

SPECTRO ( 스펙트로 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
T racer g
as ( 사용기 체 ) Helium 4 ( 헬륨 )/ Helium 4 ( 헬륨 )
Helium 3 (3 가 헬륨 )/
d g
Hy ro en ( 수소 )
Filament selecte d 필 멘 ( 라 트선 택 ) 1/2 1
Filament ( 필 멘
라 트) Off / On On
Filament Status ( 필 멘 라 트 수명 ) 0 - 100 % 100 %

69
부록

SPECTRO ( 스펙트로 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
Calibrated Leak T racer g as ( 사용기 체 ) Helium 4 ( 헬륨 )/ Helium 4 ( 헬륨 )
( 교정용 리크 ) Helium 3 (3 가 헬륨 )/
d g
Hy ro en ( 수소 )
T ype ( 방 식) Internal ( 내 부 )/ Internal ( 내 부)
External ( 외부 )

Unit ( 단위 ) mbar.l/s mbar l/s ·

·
Pa m3/s /
T · orr l/s /
atm.cc/s /
ppm
Leak V alue ( 리크 값 ) - 디텍터와 함께 보 내
진
인증서 참
고
Loss Per Y % 감 율 년%
ear ( )( 소 / ( )) 0 - 99 6
Reference T ° 온 °
emperature ( C) ( 제작 도 ( C)) 0 - 99 23

T %° 감 온 %°
emperature Coefficient ( / c) ( 증 / 도( / c)) 0.0 - 9.9 3.0
Y ear ( 제작 년 도) - 디텍터와 함께 보 내
진
인증서 참
고
Internal T° ° 내 온 종류 내 일
( C) ( 부 도 )( 가 부 경우 ) - -
External T° ° 온 종류
( C) ( 외부 일 도 )( 가 외부 경우 )

MAINTENANCE ( 유지 / 보수 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
Detector ( 사용시 간 ) - 20
T imers ( 사용시 간 ) Detector ( 사용시 간 ) - 20

Filament 1 (1 번 T imer (h) ( 사용시 간 (h)) - 20

필 멘 라 트) Reset T imer 시작 기능 - -
( 사용시 간초 기화 )
Filament 2 (2 번 T imer (h) ( 사용시 간 (h)) - 0
필 멘 라 트) Reset T imer 시작 기능 - -
( 사용시 간초 기화 )
d
Calibrate Leak ( 교 정용리크 ) - 값
Cycle Counter Cycle counter (h) ( 싸 클횟 이 수 (h)) - 0
( 싸 클횟
이 수) T ime interval ( 시 간간 격) 1 10· +19 - 1 5 10· 5

Reset Counter ( 횟 수 시작 기능 - -O O K
초 기화 )

Prim. Pump T imer (h) ( 사용시 간 (h)) - 20

( 저진공펌프 ) T ime interval (h) ( 시 간간 격 (h)) 0 - 99999 17200
Reset T imer 시작 기능 - -
( 사용시 간초 기화 )
d
Secon ary Pump 1 T imer (h) ( 사용시 간 (h)) 20
(1 번 고진공펌프 ) T ime interval (h) ( 시 간간 격 (h)) 17200
Reset T imer 시작 기능 - -
( 사용시 간초 기화 )
Spee d 속
(rpm) ( 도 (rpm)) - -
고진공 펌프 (ASM T imer (h) ( 사용시 간 (h)) 20
392 만 ) T ime interval (h) ( 시 간간 격 (h)) 17200
Reset T imer 시작 기능 - -
( 사용시 간초 기화 )
Spee d 속
(rpm) ( 도 (rpm)) - -
Detector Information 일반 정보 접 근 - -
( 디텍터 정보 )

70
 부록

MAINTENANCE ( 유지 / 보수 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
Pump Information Primary Pump 1 (1 번 Use d ( 사용 ) - Y es ( 예 )
( 펌프 정보 ) 저진공펌프 ) Status ( 상태 ) - On
Spee d 속 ( 도) - Mini ( 최소 )
Synchro ( 싱 크로 ) - Y es ( 예 )
ACP information 일반 정보 접 근 - -
d
Secon ary Pump 1 Status ( 상태 ) - On
(1 번 고진공펌프 ) 테 션
Rotation ( 로 이 ) - Synchro ( 싱 크로 )
Spee d 속
(rpm) ( 도 (rpm)) - 90000

T MP information 일반 정보 접 근 - -
d
Secon ary Pump 2 Status ( 상태 ) - On
(2 번 고진공 테 션 싱
펌프 )(ASM 392 만 )
Rotation ( 로
Spee d 속
(rpm) (
이 )
도 (rpm))
-
-
Synchro (
90000
크로 )

T MP information 일반 정보 접 근 - -
록
Events History ( 이벤트 기 ) - 고진공
교 록
Calibration History ( 정기 ) - 고진공
동싸 클
Burn-in ( 자 이 ) 시작 기능 - -

Maintenance 시작 기능 - -
d d
Secon ary Pump an
Cell ( 고진공펌프 및
분석관 메뉴 리 )
Last maintenance 유지 / 보수 작업 1 Date ( 점 검일 ) - -
(최종 검 점 정보 ) T otal Hours( 사용시 간 ) - -
Inspecte d 검by ( 점 자) - -
유지 / 보수 작업 2 Date ( 점 검일 ) - -
T otal Hours( 사용시 간 ) - -
Inspecte d 검by ( 점 자) - -
유지 / 보수 작업 3 Date ( 점 검일 ) - -

T otal Hours( 사용시 간 ) - -

Inspecte d by ( 점 검 자) - -

CONFIGURATION ( 기타설정 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
Unit/Date/ ime/T Unit ( 단위 ) mbar.l/s 값
g g
Lan ua e (단위/날짜/ · 3
간
Pa m /s /
시 / 언어 ) T orr.l/s
Atm.cc/s
ppm
sccm /
sccs
mtorr l/s ·
Date ( 날짜 ) mm/ dd /yyyy 값
T ime ( 시 간 ) hh:mm:ss 값
g g
Lan ua e ( 언어 ) 영 어/ 값
프랑 스어 /
독일 어/
이탈 리아어 /
중국어 /
일본 어/
한국어 /
스페인어 /
러시아어 /
Function K eys 설정 - -
( 기능 키 )

71
부록

CONFIGURATION ( 기타설정 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
d
Application Win ows Stan ar d d d
Win ow Leak Rate Bar raphg Z oom on Set Point N Y
o ( 아니오 )/ es ( 예 ) N o ( 아니오 )
( 화면 순
서) Parameters ( 일반 ) (그 래 프 설정 ) ( 설정 값 에서 확
대)
d
Low Deca e ( 최소 · ·
1 10+5 - 1 10-13 ·
1 10-12
범 위)
g d
Hi h Deca e ( 최대 ·
1 10
+6 · - 1 10
-12 ·
1 10
-2
범 위)
d V
Stan -By alue ( 대기중 He) d 숨김
Hi e ( )/Show Show( 나타 냄 )
( 나타 냄 )
Inlet Pressure ( 입구 압력 ) d 숨김
Hi e ( )/Show Show ( 나타 냄 )
( 나타 냄 )
Extra Pressure ( 추
가 압력 ) d 숨김
Hi e ( )/Show Hi e ( d 숨김 )
( 나타 냄 )
Lower Display Limit ( 최소 범 위) 1 10· +19 · - 1 10
-19 1 10· -13

2nddg d
i it isplay d 숨김
Hi e ( )/Show Show ( 나타 냄 )
( 나타 냄 )
Stan ar d d ( 표준 ) 접속 - Show ( 나타 냄 )
순 서 - 1
st 첫번째
( )
Graph ( 그 래 프) 접속 d 숨김
Hi e ( )/Show Show ( 나타 냄 )
( 나타 냄 )
순 서 ( 나타날 경우 ) 2
nd th 두번째
-4 ( - 2
nd 두번째
( )
네번째 )
q
Synopti ue 접속 d 숨김
Hi e ( )/Show Show ( 나타 냄 )
(기 본데 이터 ) ( 나타 냄 )
순 서 ( 나타날 경우 ) 2
nd th 두번째
-4 ( - 3
rd 번째
(세 )
네번째 )
g
Settin s ( 설정화면 ) 접속 d 숨김
Hi e ( )/Show Show ( 나타 냄 )
( 나타 냄 )
순 서 ( 나타날 경우 ) 2
nd th 두번째
-4 ( - 4
th 네번째
( )
네번째 )
g g
Screen settin s ( 화면 Bri htness ( 밝 기) g 높
Hi h( 음 ) /Low g 높
Hi h ( 음)
설정 ) (낮 음)
Contrast ( 콘 트라스트 ) 0 - 100 50
Panel Off ( 자 동끔 ) N one ( 사용안함 )/ N one ( 사용안함 )
15 분 /
30 분 /
1시 간 /
2시 간 /
4시 간
gg
Pa in Function 감 지된 무 선 리모 컨미 포함 - N one ( 사용안함 )
( 페이 징 기능 ) 감 지된 무 선 리모 컨 포함 N Y
o ( 아니오 )/ es ( 예 ) N o ( 아니오 )
Reset panel 시작 기능 - -
parameters (화면설정
초 기화 )

72
 부록

CONFIGURATION ( 기타설정 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
d
Access / Passwor d 밀번
Passwor (비 호) 0000 - 9999 5555
( 권 밀번
한/비 호) 변 메뉴 근
Set Points ( 주 설정 ) 접 잠금 / 해제
해제
T 테 메뉴 근
est ( 스트 ) 접 잠금 / 해제
해제
펙 메뉴 근
Spectro ( 스 트로 ) 접 잠금 / 해제
해제
메뉴 근
Maintenance ( 유지 / 보수 ) 접 잠금 / 해제
해제
g 메뉴 근
Confi uration ( 기타설정 ) 접 잠금 / 해제
해제
d d
A vance 메뉴 근
( 고급설정 ) 접 잠금 / 해제
해제
User Level ( 사용자 수준 ) Restricte d Access Full Access ( 고급
( 일반 사용자 )/ 사용자 )
d
Me ium Access (중급
사용자 )/
Full Access ( 고급
사용자 )
g
Chan e Passwor d 밀번 변
(비 호 경) 0000 - 9999

73
부록

ADVANCED ( 고급설정 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
Leak Detection ( 리크 Start Up Timer ( 준비시 간 ) 0-1h 10 s
탐 지) g
Back roun d Supp. Activation ( 작 동방 식) Off / On On
( 내
부펌 핑 )
Crossover Pressures Gross Leak ( 그로스 ) ·
2 10+1 - 5 10-1 · ·
2 10+1
(mbar) ( 전 환 N ormal ( 일반 ) ·
-1
5 10 - 2 10
-1 · 5 10· -1
압력 (mbar)) g
Hi h Sens. ( 고 감 도) ·
-2
5 10 - 3 10
-2 · 5 10· -2

Calibration ( 교 정) Calibration ( 교 정) Operator ( 자 동교 정 )/ Operator ( 자 동교 정)

Check at Start (동 작시
교 정점 검 )/
Manual ( 수 동교 정)
Calibration Checkin g 검방법
(점 ) Operator ( 자 동교 정 )/ Operator ( 자 동교 정)
g
checkin 동 행
교 검
Automatic ( 자 실 )
( 정점 ) q
Fre uency Cycles 0 - 9999 50
(빈 동 도 )( 자 실 ( 싸 클횟
이
행 일때 ) 수)
Hours 0 - 9999 10
(시 간 )
z
Analy er Cell ( 분석관 d 필 멘 택
) Filament Selecte ( 라 트선 ) 1/2 1
필 멘
Filament ( 라 트) Off / On On
T d 분석관
rio e Pressure ( 압력 ) - -
Z 영
Electric ero ( 점조정 ) - -
T g V 목 값
ar et alue ( 표 ) - -
V g V
Acceleration V olta e ( ) ( 인가전압 ( )) - -
방 류
Emission (mA) ( 출전 (mA)) - -
민감
Sensitivity Coefficient ( 도) - -
T
Internal ° 온 °
emperature ( C) ( 도 ( C)) - -
Internal Pirani 시작 기능 - -
Calibration ( 내 부
게 이지 교정)
g
External Gau e ( 외부 Gau e ( g 게 이지 ) N one ( 사용안함 )/ N one ( 사용안함 )
게 이지 ) T PR / PCR /
Linear ( 선 형 )
External Pressure (mbar) ( 외부 압력 (mbar)) - -
Pression Inlet Source ( 입구압력소스 ) Internal ( 내 부 )/ Internal ( 내 부)
External ( 외부 )
Full scale (mbar) ( 풀 스케 일 )( 선 형일 경우 ) 0.1 - 50000 값
g V
Pur e alve ( 퍼지 밸
브) Automatic ( 자 동 행 실 )/ Automatic ( 자 동 행 실 )
Close d 열림 ( )/Open
( 닫힘 )

74
 부록

ADVANCED ( 고급설정 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
Input/Output (입/출력) Serial link 1 T ype ( 방 식) Serial Serial
(15 pin I/O 보드 ) ( 시리얼 링 #크 1) Parameters ( 값 d
) Mo e ( 모드 ) Basic ( 베 직 이 )/ d
A vance d
Sprea sheet d ( 어드 밴 스드 )
( 스프레트시트 )/
d
A vance d
밴
( 어드 스드 )/
Data Export ( 데 이타
내 내 보 기 )/
RC 500 WL/
RC 500/
HL T 5xx/
Ext. mo ul (외부 모 d 듈 )
/
HL T 2xx
d
Han shake N one ( 사용안함 )/ N one ( 사용안함 )
XN XO / OFF
Power Pin 9 (9 핀 전원 ) - 5V
Serial link 2 T ype (방 식) N d ot use ( 사용안함 ) N ot used ( 사용안함 )
( 시리얼 링 #크 2)
I/O Connector (I/O Analo g Output gd
9- n 분 배 15 pin I/O 보드 설명서 Mantissa
커넥터 ) 참고
값 분 배에 따라 -
gd
10- n 분 배 15 pin I/O 보드 설명서 g
Lo arithmic
참고
값 분 배에 따라 10
-12

gd
12- n 분 배 - Exponent
값 10
+2 - 10-13 10
-12

Input/Output (입/출력) Serial link 1 T ype ( 방 식) Serial / USB Serial

(37 pin I/O 보드 ) ( 시리얼 링 #크 1) Parameters ( 값 d
) Mo e ( 모드 ) Basic ( 베 직 이 )/ d
A vance d
Sprea sheet d ( 어드 밴 스드 )
( 스프레트시트 ) /
d
A vance d
밴
( 어드 스드 ) /
Data Export ( 데 이타
내 내 보 기 )/
RC 500 WL/
RC 500/
HL T 5xx/
Ext. mo ul (외부 모 d 듈 )
/
HLT 2xx
d
Han shake N one( 사용안함 ) / N one ( 사용안함 )
XN XO / OFF
Power Pin 9 (9 핀 전원 ) - 5V

75
부록

ADVANCED ( 고급설정 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
Input/Output ( 입 / Serial link 2 T ype ( 방 식) N d
ot use ( 사용안함 ) / N ot use d ( 사용안함 )
출력 )(37 pin I/O 보드 ) ( 시리얼 링 #크 2) USB /
N etwork
Parameters ( 값 d
) Mo e ( 모드 ) Basic ( 베 직 이 )/ d
A vance d
d
Sprea sheet ( 어드 밴 스드 )
( 스프레트시트 ) /
d
A vance d
( 어드 밴 스드 ) /
데
Data Export ( 이타
내 내 보 기 )/
HLT 5xx
d
Han shake N one ( 사용안함 )/N one ( 사용안함 )
XN X O / OFF
I/O Connector (I/O Q uick V iew 37 pin 보드 커넥터에 I/O 값
커넥터 ) Analo g output gd
37- n 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 Mantissa
참고
값 분 배에 따라 -
gd
36- n 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 g Lo arithmic
참고
값 분 배에 따라
-12 10
gd
19- n 분 배 - Exponent
값 10
+2 - 10-13 10
-12

g
Di ital input gd
11- n 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 Calibration ( 교 정)
참고
작 동방 식 상승 모서리 / 전기 정 련
하 강 모서리 /
전기 정 련
gd
30- n 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 Sniffer test
참고
작 동방 식 상승 모서리 / 상승 모서리
하 강 모서리 /
전기 정 련
gd
12- n 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 Filament ( 필 멘
라 트)
참고
작 동방 식 상승 모서리 / 상승 모서리
하 강 모서리 /
전기 정 련
gd
31- n 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 GL mo e d
참고
작 동방 식 상승 모서리 / 상승 모서리
하 강 모서리 /
전기 정 련
gd
13- n 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 H VT est
참고
작 동방 식 상승 모서리 / 전기 정 련
하 강 모서리 /
전기 정 련
gd
32- n 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 Inlet vent
참고
작 동방 식 상승 모서리 / 상승 모서리
하 강 모서리 /
전기 정 련

76
 부록

ADVANCED ( 고급설정 )
선택 선택 - 설정 제한 초기 설정
Input/Output (입/출력) I/O Connector (I/O g
Di ital 9 - 28 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 Filament on
(37 pin I/O 보드 ) 커넥터 ) T ransistor 참고
Output 작 동방 식 N N O/ C N O
8 - 27 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 g
Warnin /Error
참고
작 동방 식 N N O/ C N O
7 - 26 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 Detector Rea y d
참고
작 동방 식 N N O/ C N O
6 - 25 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 Filament# 2
참고 (2번필 멘 라 트)
작 동방 식 N N O/ C N O
g
Di ital Relay 5 - 24 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 gT
Sniffin est
Output 참고
작 동방 식 N N O/ C N O
4 - 23 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 GL T est
참고
작 동방 식 N N O/ C N O
3 - 22 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 HS T est
참고
작 동방 식 N N O/ C N O
2 - 21 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 HVT est
참고
작 동방 식 N N O/ C N O
1 - 20 분 배 37 pin I/O 보드 설명서 j
Re ect point ( 한 계값 )
참고
작 동방 식 N N O/ C N O
Select Default 시작 기능 - -
g
Confi uration
Others Confi urationsg Confi . g# 1 ( 기타설정 -
1)/
Confi . g# 2 ( 기타설정
2)/
Confi . g# 3 ( 기타설정
3)/
Loa d g
Confi . 시작 기능 - -
from SD Car d
SD Card (SD 카드 ) Loa d LD Parameter 시작 기능 - -
( 디텍터 설정 값
불 러오기 )
Save LD Parameter 시작 기능 - -
( 디텍터 설정 값
저장하기 )
V z
isuali e *.BMP 시작 기능 - -
(BMP 파 일
로
화면저장 )
Service ( 서비스 ) 비 밀번 호로 서비스 메뉴 속접 서비스 센타 관 할.

77
UL 61010-1 인증
SEMI S2 인증
적합성 인증서

아 래 기술 제품이 다음 된 EC- 규칙의 해당 정 모규 에 두 상응함을 인 한다 증 .

● 4
2006/ 2/EC 기계 류 ( 부록 II, 번호 1 A)

● 전자기 적합성 201 /30/EU 4

● 위험물 제한 2011/6 /EU 5
● 폐 전기전자제품에 관한 지침 2012/1 /EC 9
기술 문서 작성 자 : Arnaud Favre, Pfeiffer Vacuum SAS, , avenue de Brogny
·BP 2 , Annecy cedex
책임 M. 98

. . 069 74009 .

9
ASM 3 0 - ASM 3 2 9
유 럽 통 합 표준 및 적용 는 제 표준 및 명세 기준 :
되 국

d dN N
Stan ar s F E -55011 : 2009

d dN N
Stan ar s F E -61000-3-3 : 2013
d dN N
Stan ar s F E -61000-3-2 : 2014

서명 :
Pfeiffer V acuum SAS
98, avenue d g
e Bro ny
B.P. 2069
74009 Annecy ce ex d
France

(Guillaume K z re iak) 03.07.2018

제품 , 기 술& 젝 프로 트 디렉터
VACUUM SOLUTIONS FROM A SINGLE SOURCE

Ed 01 - Date 2018/07-P/N:126348OKO
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