TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ

KHOA VẬT LÝ KỸ THUẬT VÀ CÔNG NGHỆ NANO

BÁO CÁO

DỰ ÁN: “CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT SPIN-COATING”

Giảng viên hướng dẫn: TS. Nguyễn Thị Minh Hồng

Sinh viên MSV

Đinh Quang Vũ 20020867
Lương Minh Nhật 20020827
Lê Huy Hiếu Trung 20020852
Đặng Quốc Thiên Thành 20020839

HÀ NỘI 2022
 MỤC LỤC
PHẦN I: MỞ ĐẦU ....................................................................................................... 1
1.1 Giới thiệu đề tài ................................................................................................ 1
1.2. Mục đích chọn đề tài....................................................................................... 1
PHẦN II: GIỚI THIỆU VI XỬ LÍ VÀ THÀNH PHẦN CỦA MẠCH ................... 2
2.1. Arduino UNO R3 ............................................................................................ 2
2.2. Module L298N ................................................................................................. 3
2.3. Hộp điện thoại cũ .............................................. Error! Bookmark not defined.
2.4. Quạt tản nhiệt máy tính cũ .............................. Error! Bookmark not defined.
2.5.Breadboard ....................................................................................................... 5
2.6. Jumper wires (generic) ................................................................................... 5
2.7. Nguồn biến áp 12V.......................................................................................... 6
PHẦN III: GIẢI THUẬT VÀ CHƯƠNG TRÌNH ĐIỀU KHIỂN ........................... 6
3.1 Giải thuật: ......................................................................................................... 6
3.2 Giải thuật module điều khiển tốc độ động cơ và chiều động cơ .......... Error!
Bookmark not defined.
3.3 Code chương trình ........................................................................................... 7
3.4 sơ đồ mạch điện ............................................................................................... 9
PHẦN IV: Kết luận và hướng phát triển ................................................................. 10
PHẦN V: TÀI LIỆU THAM KHẢO ........................................................................ 11
PHẦN I: MỞ ĐẦU

1.1 Giới thiệu đề tài

Được nghiên cứu và sử dụng rộng rãi từ đầu thế kỷ 20, phương pháp spin coating
(phủ quay) đã được nhiều nhà khoa học trên thế giới sử dụng trong việc chế tạo các vật
liệu, thiết bị hoặc linh kiện ở kích thước nhỏ (Micro-fabrication) từ ngưỡng micromet
và có thể thu nhỏ đến kích thước nanomet. Spin Coating bao gồm các ưu điểm như: vật
liệu có độ đồng đều và tinh khiết cao, có thể điều khiển tính chất lớp màng dễ dàng bằng
tốc độ quay, thời gian quay, gia tốc và khắc phục nhược điểm của các phương pháp
khác: thiết bị sử dụng đơn giản, thao tác dễ dàng, nhanh chóng. Tuy nhiên, spin coating
vẫn có nhược điểm: độ chọn lọc vật liệu phủ trên một khu vực nhất định khó thực hiện
và phức tạp, không thể phủ màng trên những bề mặt nền tinh vi, phức tạp, gồ gề, chỉ có
thể sử dụng trong môi trường phòng thí nghiệm nhỏ lẻ phục vụ nghiên cứu, phương
pháp không có tính tự động hoá cao.
Spin coating là phương pháp sử dụng lực ly tâm của đĩa đặt vật thể khi quay ở
tốc độ cao (300~10.000 rpm) để phủ đều dung dịch có độ nhớt xác định trên bề mặt vật
thể cần phủ, được gọi là chất nền, như kính polymer, kính thủy tinh dẫn điện trong suốt
- ITO/FTO (indium tin oxide/fluorine doped tin oxide), tấm silicon,.. với độ dày mong
muốn, kết hợp với quá trình bay hơi dung môi để hình thành film vật liệu bản mỏng.
Nguyên nhân là do trong quá trình phủ quay, sự tương tác giữa lực bám giữa bề mặt
chung của dung dịch/chất nền và lực ly tâm tác động lên dung dịch, làm dung dịch có
xu hướng tỏa tròn tạo thành một lớp phủ có độ dày nhỏ và đồng đều.
1.2. Mục đích chọn đề tài

Tuy quy trình thực hiện phương pháp đơn giản, đã có nhiều bài báo lý thuyết và
thực nghiệm được thực hiện nhằm giải thích sự phục thuộc các tính chất điện, quang,
hình thái học của vật liệu vào các thông số quy trình spin coating. Vì vậy, việc kiểm
soát chính xác tốc độ quay, gia tốc quay và thời gian ảnh hưởng quan trọng đến tính
chất vật liệu cần đạt được.
Vì thế nhóm chúng em đã nghiên cứu và tự chế tạo và khảo sát về hoạt động của máy
spin – coating.

1
PHẦN II: GIỚI THIỆU VI XỬ LÍ VÀ THÀNH PHẦN CỦA MẠCH

2.1. Arduino UNO R3

Arduino UNO R3 là một Board mạch vi điều khiển phổ biến được rất nhiều
người sử dụng để học hoặc làm các ứng dụng dúng đơn giản.

Hình 1: Mạch arduino UNO R3

➢ Ưu điểm Arduino UNO R3:
• Thư viện hỗ trợ đầy đủ
• Cộng đồng người sư dụng đông
• Rất nhiều ví dụ đề tài mẫu để tham khảo
➢ Thông số kỹ thuật Arduino UNO R3:

Chip điều khiển chính Atmega 328

Nguồn nuôi mạch 5V
Số chân Digital 14( hỗ trợ 6 chân PWM)
Sô chân Analog 6
Dòng ra trên mỗi chân 3.3V-40mA
Dung lượng bộ nhớ Flash 32KB
SRAM 2KB
EEPROM 1KB
Tốc độ 16MHz

2
 2.2. Module L298N

Mô-đun trình điều khiển động cơ L298N này là một Mô-đun trình điều khiển động cơ
công suất cao để lái động cơ DC và Stepper.

Hình 4: Module L298N

➢ Thông số kỹ thuật Module L298N:

Chân đầu vào động cơ A. Dùng để điều IN1 và IN2

khiển hướng quay của đông cơ A
Chân đầu vào động cơ B. Dùng để điều IN3 và IN4
khiển hướng quay của động cơ B
Bật tín hiệu PWM cho động cơ A ENA
Bật tín hiệu PWm cho động cơ B ENB
Mô hình trình điều khiển L298N 2A
Chíp trình điều khiển Double H Bridge L298N
Điện áp cung cấp động cơ (Tối đa) 46V
Điện áp logic 5V
Điện áp trình điều khiển 5-35V
Trình điều khiển hiện tại 2A
Dòng điện logic 0-36mA
Công suất tối đa 25W

3
2.3. Hộp điện thoại làm đế sản phẩm

2.4. Quạt máy tính

Hình 9: Quạt máy tính 12V

4
2.5.Breadboard

Hình 10: breadboard

2.6. Jumper wires (generic)

Hình 11: Jumper wires (generic)

5
 2.7. Nguồn biến áp

Hình 12: Nguồn biến áp 12V – 1A

PHẦN III: GIẢI THUẬT VÀ CHƯƠNG TRÌNH ĐIỀU KHIỂN

3.1 Giải thuật:

Module động cơ này được gắn liền với arduino và quạt (trục quay chính) làm thành
một máy quay spin hoàn chỉnh. Ta gắn code vào Arduino để chạy quạt với những tốc
độ nhất định và nút bấm nhất định. Khi ta bấm số tương ứng với các tốc độ quay thì ta
sẽ được kết quả tương đương với tốc độ đặt ra. Mỗi tốc độ sẽ cho ta kết quả thí
nghiệm khác nhau.

3.2.1. Cơ bản về IC L298:

IC L298 là một IC tích hợp nguyên khối gồm 2 mạch cầu H bên trong. Với điện
áp làm tăng công suất nhỏ như động cơ DC loại vừa…
Mình tóm tắt qua chức năng các chân của L298

6
 – 4 chân INPUT: IN1, IN2, IN3, IN4 được nối lần lượt với các chân 5, 7, 10, 12
của L298. Đây là các chân nhận tín hiệu điều khiển.
– 4 chân OUTUT: OUT1, OUT2, OUT3, OUT4 (tương ứng với các chân
INPUT) được nối với các chân 2, 3,13,14 của L298. Các chân này sẽ được nối với động
cơ.
– Hai chân ENA và ENB dùng để điều khiển mạch cầu H trong L298. Nếu ở
mức logic “1” (nối với nguồn 5V) cho phép mạch cầu H hoạt động, nếu ở mức logic
“0” thì mạch cầu H không hoạt động
Với bài toán của mình ở trên, các bạn chỉ cần lưu ý đến cách điều khiển chiều
quay với L298:
– Khi ENA = 0: Động cơ không quay với mọi đầu vào.
– Khi ENA = 1:
INT1 = 1; INT2 = 0: Động cơ quay thuận.
INT1 = 0; INT2 = 1: Động cơ quay nghịch.
INT1 = INT2: Động cơ dùng ngay tức thì.
Với ENB cũng tương tự với INT3, INT4.
3.3 Code chương trình

const int pinLED = 13;

const int pinLDR = A1;
const int pinDO = 2;
const int pinAO = A0;
int val_analog;
int val_digital;
int enA = 9;
int in1 = 8;
int in2 = 7;
int enB = 3;
int in3 = 5;
int in4 = 4;
void setup() {
Serial.begin(9600);
pinMode(pinLED, OUTPUT);
pinMode(pinLDR, INPUT);
pinMode(pinDO, INPUT);
pinMode(pinAO, INPUT);
pinMode(enA, OUTPUT);
pinMode(enB, OUTPUT);
pinMode(in1, OUTPUT);
pinMode(in2, OUTPUT);
7
pinMode(in3, OUTPUT);
pinMode(in4, OUTPUT);
digitalWrite(in1, LOW);
digitalWrite(in2, LOW);
digitalWrite(in3, LOW);
digitalWrite(in4, LOW);
}
void inside() {
digitalWrite (pinLED, HIGH);
analogWrite(enA,125);
digitalWrite(in1,LOW);
digitalWrite(in2,HIGH);
analogWrite(enB,125);
digitalWrite(in3,LOW);
digitalWrite(in4,HIGH);
Serial.println("go in");
}
void outside() {
digitalWrite (pinLED, LOW);
analogWrite(enA,125);
digitalWrite(in1,HIGH);
digitalWrite(in2,LOW);
analogWrite(enB,125);
digitalWrite(in3,HIGH);
digitalWrite(in4,LOW);
Serial.println("go out");
}
void off() {
analogWrite(enA,0);
digitalWrite(in1,LOW);
digitalWrite(in2,LOW);
analogWrite(enB,0);
digitalWrite(in3,LOW);
digitalWrite(in4,LOW);
Serial.println("off");
delay(2000);
}
void loop() {
int ldrStatus = analogRead(pinLDR);
Serial.print("ldr : ");
Serial.println(ldrStatus);
val_digital=digitalRead(pinDO);
val_analog=analogRead(pinAO);
Serial.println(val_analog);
delay(1000);

8
if (digitalRead(pinLED)==HIGH) {
if (ldrStatus <= 100){
if (val_digital == HIGH) {
outside(); delay(400);
off(); delay(1000);
}
}
}
else if (ldrStatus <= 100) {
if (val_digital == LOW){
inside(); delay(400);
off(); delay(1000);
}
}
else if (ldrStatus > 100) {
inside(); delay(400);
off(); delay(1000);
}
}
3.4 sơ đồ mạch điện

9
PHẦN IV: Kết luận và hướng phát triển

4.1. Kết quả

Đồ thị biểu diễn độ dày màng theo vận tốc quay

Qua khảo sát độ dày màng theo vận tốc quay, đã tìm được sự tương ứng giữa độ dày
màng với tốc độ quay, từ đó có thể điều khiển được độ dày mong muốn thông qua
điều khiển vận tốc quay.
Qua kết quả nghiên cứu, thiết bị spin coater được thiết kế và chế tạo thành công từ các
vật liệu và phương pháp đơn giản, dùng phục vụ trong lĩnh vực tổng hợp vật liệu màng
film mỏng với khả năng điều chỉnh được 2 pha tốc độ với độ sai số tốc độ thực tế 3%
và khoảng tốc độ điều chỉnh là 300-600 rpm. Màng film bản mỏng thử nghiệm bằng
dầu rửa bát được nghiên cứu tổng hợp với sự hỗ trợ của thiết bị spin coating tự chế trên.
Độ ổn định và độ phủ khá tốt.
4.2. Hướng phát triển

- Cải tiến mô hình dễ sử dụng rất, vẫn đảm bảo các tính năng yêu cầu

- Xây dựng giải thuật hoàn chỉnh hơn, chính xác hơn.

- Có thể cải tiến động cơ để có thể tích hợp làm máy quay từ trường.

➢ Hình ảnh thực tế

10
 Hình 14: Sản phẩm

PHẦN V: TÀI LIỆU THAM KHẢO

1. dientuvietnam.net
2. STM32F1 reference manual
3. https://deviot.vn/tutorials/stm32f1.23165131/gioi-thieu-ve
stm32f103c8t6.10428544 st.com
4. Giáo trình Lý thuyết điều khiển tự động – Nguyễn Thị Phương Hà(chủ biên), Huỳnh
Thái Hoàng
5. K. Norrman, Afshin Ghanbari-Siahkali, N. B. Larsen, Annu. Rep. Prog. Chem.,
Sect. C, 101, 2005.
6. S. Franssila, Introduction to Microfabrication, Wiley, 2010.
7. H. Wang, X. Yi, J. Lai & Y. Li, International Journal of Infrared and Millimeter
Waves, 26, 751–762, 2005.

11
8. D. Huh, H. J. Kim, J. P. Fraser, D. E. Shea, M. Khan, A. Bahinski, G. A. Hamilton
& D. E. Ingber, Nature Protocols, 8, 2135–2157, 2013.
9. Annu. Rep. Prog. Chem., Sect. C, 101, 174-201, 2005.

12