BÀI 2: XÁC ĐỊNH BỀ DÀY VẬT LIỆU

I. Lý thuyết phương pháp đo bề dày vật liệu bằng sóng siêu âm:
Đo độ dày bằng siêu âm là một kỹ thuật kiểm tra không phá hủy được sử dụng
rộng rãi để đo độ dày của vật liệu từ một mặt tiếp xúc. Phương pháp có kết quả
nhanh, đáng tin cậy và tương đối linh hoạt, nó được sử dụng để đo chiều dày vật
liệu như đo chiều dày của ống sắt, thép….
Hầu như bất kỳ vật liệu thông thường nào cũng có thể được đo bằng siêu âm. Máy
đo độ dày siêu âm có thể được thiết lập cho kim loại, nhựa, vật liệu tổng hợp, sợi
thủy tinh, gốm sứ… Thường có thể thực hiện phép đo trực tiếp, cũng như đo chiều
dày nhiều lớn hoặc lớp phủ riêng. Mức chất lỏng và các mẫu sinh học cũng có thể
đo được miễn là vật liệu có dẫn âm.
Các vật liệu thường không phù hợp với thiết bị đo siêu âm thông thường vì khả
năng truyền sóng âm tần số cao kém bao gồm gỗ, giấy, bê tông và các sản phẩm
rỗng, có nhiều bọt.
Siêu âm là sóng âm ở tần số cao hơn giới hạn của con người có thể nghe được. Dải
tần số siêu âm trong khoảng giữa 200kHz và 20 MHz thường sử dụng trong máy
kiểm tra bề dày vật liệu, trong một số thiết bị đặc biệt người ta có thể sử dụng tần
số thấp đến 50kHz hoặc cao tới 200MHz. Dù ở tần số nào, sóng âm cũng là các
dao động cơ học truyền qua môi trường dẫn âm theo các định luật cơ bản của vật
lý về sóng âm.
Máy đo độ dày lớp phủ bằng siêu âm hoạt động trên nguyên tắc đo chính xác thời
gian giữa hai xung siêu âm liên tiếp nhau vọng về đầu thu do phản xạ từ mặt đáy
của chi tiết. Tức là, phép đo chiều dày bằng siêu âm được thực hiện từ một bên
theo kỹ thuật đo thời gian giữa 2 xung siêu âm liên tiếp vọng về đầu thu do phản
xạ từ mặt phân giới phía xa đầu thu.
Đầu dò của thiết bị là một tinh thể áp điện, khi phát nó sẽ được kích hoạt bởi xung
điện rất ngắn có biên độ khoảng 400Vpp, độ rộng vừa đủ để tạo ra chỉ một chu kỳ
sóng siêu âm (vài μs). Sóng siêu âm này sẽ truyền vào chi tiết kiểm tra, đập vào
mặt đáy và phản xạ trở lại. Một phần năng lượng sóng phản xạ sẽ đi vào đầu dò,
trong khi phần lớn năng lượng sóng vẫn tiếp tục phản xạ từ mặt phân giới bên này.
Như vậy năng lượng sóng sẽ tiếp tục phản xạ qua lại giữa hai mặt phân giới cho
đến khi triệt tiêu hoàn toàn. Do tính chất áp điện, đầu dò sẽ chuyển sóng âm phản
xạ thu được thành tín hiệu điện.
Thời gian truyền chỉ vào khoảng vài μs. Với vận tốc truyền âm V trong vật liệu đã
biết trước, người ta có thể tính chiều dày d của vật liệu bằng công thức đơn giản:
d = V. t = N.V.T/2
Trong đó:
 d = Chiều dày của chi tiết
 V = Vận tốc truyền âm trong vật liệu kiểm tra
 N = Số đếm giữa hai xung tiếng vọng từ mặt đáy liên tiếp
 T = Chu kỳ của xung đồng hồ đưa vào bộ đếm để số hóa độ rộng xung.
 t = Thời gian truyền của xung siêu âm giữa hai mặt phân giới.
Các vật liệu khác nhau truyền sóng âm với vận tốc khác nhau, nhanh trong các vật
liệu cứng và chậm hơn trong vật liệu mềm. Vận tốc âm có thể thay đổi đáng kể
theo nhiệt độ. Do vậy luôn luôn phải chuẩn thiết bị đo chiều dày bằng siêu âm với
vận tốc âm trong vật liệu cần đo, độ chính xác của phép đo phụ thuộc vào phép
chuẩn này.
Sóng âm trong dải MHz không truyền tốt trong không khí, nên chất dẫn âm sẽ
được sử dụng để lắp đầy khoảng trống giữa đầu dò và chi tiết cần kiểm tra để đạt
được sự truyền âm tốt. Các chất dẫn âm thông dụng là glycerin, propylene glycol,
nước, dầu và gel.
Có ba cách thông dụng để đo khoảng thời gian sóng âm truyền qua chi tiết::
 Cách 1: Đo khoảng thời gian giữa xung kích phát sóng âm và xung phản xạ
đầu tiên từ mặt đáy của chi tiết.
 Cách 2 : Đo khoảng thời gian giữa xung phản xạ từ mặt trước và từ mặt đáy
đầu tiên của chi tiết.
 Cách 3: Đo khoảng thời gian giữa hai xung phản xạ từ mặt đáy liên tiếp.

Các loại đầu dò được ứng dụng

Với mỗi loại đầu dò khác nhau sẽ có từng cách đo cũng như dùng để đo trên từng loại
vật liệu khác nhau. Bạn có thể tham khảo một số những loại đầu dò đang được sử
dụng phổ biến hiện nay.

Đầu dò tiếp xúc

Đầu dò tiếp xúc trực tiếp với chi tiết kiểm tra. Phép đo với đầu dò tiếp xúc thường
thực hiện đơn giản nhất và là sự lựa chọn đầu tiên cho các ứng dụng đo chiều dày
bằng siêu âm thông dụng hơn là để đo sự ăn mòn.

Đầu dò trễ
Đầu dò trễ dẫn âm bằng lớp đệm chất dẻo, epoxy hoặc silicon giữa của đầu dò và chi
tiết kiểm tra. Nó dùng để đo vật liệu mỏng vì cần phải tách xung phát ra khỏi xung
phản xạ từ mặt đáy.
Đầu dò trễ có thể sử dụng như phần tử cách nhiệt, bảo vệ đầu dò nhạy với nhiệt độ khi
tiếp xúc với chi tiết nóng. Đầu dò trễ này cũng có thể được tạo hình dạng hoặc đường
bao để tiếp âm với các mặt cong đột ngột hoặc những vị trí khó tiếp cận.

Đầu dò nhúng

Đầu dò nhúng sử dụng cột nước hoặc bể nước để truyền sóng âm vào chi tiết kiểm tra.
Chúng có thể được sử dụng để đo các sản phẩm chuyển động trên dây chuyền, phép
đo quét trong trường hợp đo độ dày hay khuyết tật của ống chống giếng khoan dầu
khí,v.v...

Đầu dò kép

Đầu dò kép được sử dụng chủ yếu để đo trên các bề mặt thô ráp, đo sự ăn mòn. Các
đầu dò phát và thu riêng rẽ được gắn phần trễ nghiêng một góc nhỏ để hội tụ sóng âm
ở khoảng cách đã chọn trong chi tiết. Mặc dù phép đo với đầu dò kép đôi khi không
được chính xác như các loại đầu dò khác, nhưng chúng thực hiện tốt trong các ứng
dụng kiểm tra sự ăn mòn.

II- Thực hành

1- Thí nghiệm 1: Xác định bề dày của vật liệu

Tiến hành xác định bề dày của 5 loại vật liệu khác nhau bằng 2 thiết bị:

Thiết bị đo bề dày bằng sóng siêu âm

Thiết bị thước cặp kỹ thuật.

Mỗi loại vật liệu đo 3 lần, với 2 thiết bị trên. Tính trung bình, độ lệch chuẩn SD của
từng loại vật liệu.

2- Thí nghiệm 2: Xác định bề dày lớp sơn phủ vật liệu

B1: Tiến hành sơn phủ lên bề mặt vật liệu, và đem sấy khô ở dưới nắng mặt trời đến
khi bề mặt vật liệu khô hoàn toàn.
 B2: Tiến hành đo bề dày vật liệu sau khi sấy khô.

B3: tính toán ra kết quả độ dày lớp sơn phủ.

III- Báo cáo thực hành

1) Trình bày kết quả thí nghiệm 1,2. Giải thích, biện luận kết quả thí nghiệm.

2) Trình bày các phương pháp xác định bề dày vật liệu khác.

Kết quả

Thí nghiệm 1: Xác định bề dày của vật liệu

- Loại vật liệu được chọn tiến hành đo bề dày là: Bản lề lớn, bản lề nhỏ, mâm. Tất cả đều
là kim loại.
- Sau khi đo bằng đầu dò tiếp xúc kết quả thu được:
+ Đo bề dày bằng sóng siêu âm:

Bản lề lớn
Đo lần 1 : 2.368mm
Đo lần 2 : 2.368mm

Đo lần 3 : 2.364mm
Kết quả trung bình 3 lần đo bề dày của bản lề lớn: 2.367mm

Bản lề nhỏ
Đo lần 1 : 1.606 mm
Đo lần 2 : 1.604mm

Đo lần 3 : 1.608mm

Kết quả trung bình 3 lần đo bản lề nhỏ : 1.606mm

Đo bề dày bằng sóng

Bề dày bản lề lớn Bề dày bản lề nhỏ
siêu âm
Trung bình 3 lần đo
2.367mm 1.606mm

SD2
𝑆𝐷 = √SD2
❖ Đo bề dày thước cặp kĩ thuật:

Bản lề lớn
Đo lần 1 : 0.85mm

Đo lần 2 : 0.96mm
Đo lần 3 : 0.82mm

Kết quả trung bình 3 lần đo bề dày của bản lề lớn : 0.876mm

Bản lề nhỏ
Đo lần 1 : 0.7mm
Đo lần 2 : 0.87mm

Đo lần 3 : 0.75mm

Kết quả trung bình 3 lần đo bề dày của bản lề nhỏ : 0.773mm

Đo bề dày bằng Bề dày bản lề lớn Bề dày bản lề nhỏ

thước cặp kỹ thuật
 Trung bình 3 lần đo 0.876mm 0.773mm

SD2

𝑆𝐷 = √SD2

❖ Giải thích và biện luận:

- Qua cả hai phương pháp do ta thấy:

Vật liệu có độ dày lớn nhất là bản lề lớn.
Vật liệu có độ dày nhỏ nhất là bản lề nhỏ.
- Sai số của phương pháp đo bằng sóng siêu âm và đo bằng thước cặp kĩ
thuật là không đáng kể do sự chênh lệch giữa các phép đo không quá lớn.
- Phương pháp do bằng sóng siêu âm cho số liệu chính xác hơn vì phương
pháp đo bằng thước cặp kĩ thuật còn phụ thuộc vào mắt của người đọc số
liệu và cả thao tác tay.
- Cả hai phương pháp thì mức chính xác của phép đo cũng ảnh hưởng bới
các yếu tố như: độ nhám bề mặt, độ cong của vật liệu,...

Kết quả thí nghiệm 2: Xác định bề dày lớp sơn phủ vật liệu
Bước 1: Tiến hành sơn phủ lên bề mặt mâm inox, và đem sấy khô ở dưới
nắng mặt trời đến khi bề mặt đĩa khô hoàn toàn.
Bước 2: Tiến hành đo bề dày vật liệu sau khi sấy khô ở các vị trí khác nhau
của phần có sơn và phần không sơn của mâm, bằng sóng siêu âm, sử dụng
đầu dò trễ.

KẾT QUẢ CỦA 3 LẦN ĐO Ở CÁC VỊ TRÍ KHÁC NHAU CỦA

PHẦN CÓ SƠN VÀ KHÔNG SƠN
 Bề dày phần mâm không có sơn Bề dày phần mâm có sơn

Lần 1 0.428 (mm) 0.448 (mm)

Lần 2 0.432 (mm) 0.454 (mm)

Lần 3 0.450 (mm) 0.474 (mm)

Bước 3: Tính toán ra kết quả độ dày lớp sơn phủ.

Bề dày phần mâm Bề dày phần mâm có
không có sơn sơn phủ
Trung bình của 3 lần
0.436 (mm) 0.458 (mm)
đo

SD2

𝑆𝐷 = √SD2

Bề dày lớp sơn phủ : 0.458 – 0.436 = 0.022 (mm)

Nhận xét :
Chênh lệch khi đo mâm không sơn ở các vị trí khác nhau là khoảng: (mm).
Bề dày của mâm khi không sơn ở các vị trí khác nhau khá đồng đều, sự
chênh lệch thấp và không đáng kể. Khó nhận thấy được sự khác biệt.

Chênh lệch khi đo mâm có lớp sơn ở các vị trí khác mhau là khoảng: (mm).
Bề dày của mâm khi có lớp sơn phủ ở các vị trí khác nhau có sự chênh lệch
đáng kể, bề dày của lớp sơn ở các vị trí khác nhau không đồng đều. Các vị
trí dày mỏng của lớp sơn phủ khá rõ và có thể nhận ra sự khác biệt dễ dàng.

2 – Trình bày các phương pháp xác định bề dày vật liệu khác
A. Xác định bề dày bằng phương pháp truyền qua của hạt beta:
 Giới thiệu:
 Sử dụng phương pháp truyền qua hạt beta để đo độ dày của các vật liệu mỏng (nhôm,
giấy, nhựa, vải, ...) và độ dày các lớp phủ (như vàng, bạc, nhựa, ...).
 Điều kiện là bề dày tương ứng phải nhỏ hơn quãng đường di chuyển lớn nhất của hạt
beta hoặc bức xạ phóng xạ trong vật liệu đó (quãng chạy lớn nhất).
 Dựa trên sự suy giảm cường độ của chùm hạt beta khi truyền qua các loại vật liệu
khác nhau. Qua đó xác định được những đường cong suy giảm ứng với từng loại vật
liệu. Từ đó có thể xác định được bề dày của vật liệu nhẹ nằm trong giới hạn cho
phép.
 Nội dung và phương pháp
 Đo đạc thực nghiệm dựa trên cơ sở lý thuyết về sự suy giảm của cường độ bức xạ khi
truyền qua vật chất thể hiện qua công thức sau:
I = I0e-x (1)

Trong đó: μ là hệ số hấp thụ tuyến tính,

x là bề dày của vật liệu,
I là cường độ bức xạ sau khi qua vật liệu che chắn,
I0 là cường độ bức xạ ban đầu  
 Công thức tính sự suy giảm bức xạ theo số đếm ghi nhận khi đi qua vật liệu:
N = N0e-x (2)
Trong đó:
+ N: Số đếm ghi nhận được khi có vật liệu che chắn giữa nguồn và máy đo.
+ N0: Số đếm ghi nhận được khi không có vật liệu che chắn giữa nguồn và máy đo.
 Hai hệ đo ứng với hai loại đầu dò khác nhau là:
+ Hệ thực nghiệm 1: Đầu dò gamma - beta NDI-65/50 đi kèm với hệ xử lý và phân
tích phổ MultiAct.
 + Hệ thực nghiệm 2: Đầu dò Geiger - Muler vận hành ở điện áp 500V đi kèm với hệ
phân tích phóng xạ URL - 2.
Đối với hạt Beta có năng lượng 0.01 ≤ Eβ ≤ 2.5 MeV:

R=0.412 E β
1.27−0.0954 ln E β
( )
g
cm
2
(3 )

1/ 2
ln E β =6.63−3.24 ( 3.29−lnR ) ( 4 )
Áp dụng công thức thực nghiệm trên đối với các vật liệu như nhôm (ρ = 2.7g/cm-3) và
silic (ρ = 2.33g/cm-3) thì quãng đường chạy lớn nhất của các hạt beta khi sử dụng nguồn
beta Sr-90/Y-90 bằng phương pháp truyền qua lần lượt là 3.9mm và 4.6mm.

Kết luận: Phương pháp cho phép đo đồ dày của vật liệu mà không phá hủy, tiết kiệm
được chi phí.

B. Đo bề dày của vật liệu Z thấp bằng phương pháp kỹ thuật gramma tán xạ

Cơ sở lý thuyết

 Các hạt photon phát từ nguồn, mang năng lượng A0 bay đến đập vào bia (theo đường
β) và bị tán xạ tại điểm tán xạ P và cách bề mặt bia một khoảng t’.

Năng lượng E của photon được tính theo công thức:

 E0
E x= (1)
E0
1+ 2
m0 c (1−cosθ )

Cường độ I (chùm photon) suy giảm trong 3 quá trình: photon đi qua lớp vật liệu đến
điểm P, photon bị tán xạ P, photon đi qua lớp vật liệu lần nữa đến đầu dò. Cường độ tính
theo công thức:

(( ) ) (( ) )
T
μ E0 1 μE 1
I =−kρ ∫ exp − ρt ' exp − ρt ' dt ' (2)
0 ρ cos θ0 ρ cosθ 2

Hay : I =kρ
1−exp − (( )μ E0
ρ
secθ1 + ( ) )
μE
ρ
secθ 2

(( ) μ E0
ρ
secθ 1+( ) )
μE
ρ
secθ 2 ρ

Với I, I’ lần lượt là cường độ chùm tia mà đầu dò đo được khi cho chùm photon tán xạ
trên bia vật liệu có chiều dày T và T’. Khi đó ta tính T’ theo công thức sau:

( )
1 1
T '= ln (3)
a I'
1− ( 1−exp (−aT ) )
I

Trong đó:

a= (( ) μ E0
ρ
sec θ1 + ( )
μE
ρ
sec θ2 ρ )
μ E0 μE
và là các hệ số suy giảm khối ứng năng lượng E 0 và E được tra trong cơ sở dữ
ρ ρ
liệu NIST.

I' N'
Khi đó ta thấy tỉ số bằng thì biểu thức (3) trở thành:
I N
 ( )
1 1
T '= ln (4)
a N'
1− ( 1−exp (−aT ) )
N

Trong đó: N và N’ lần lượt là diện tích tán xạ 1 lần khi cho chùm photon tán xạ lên bia có
bề dày T và T’. Sai số của phép đo bề dày vật liệu được tính:

)√
1−exp (−aT ) 2 N '2
σ T '= σN'+ (5)
(
2 2
N' N σN
aN 1− ( 1−exp (−aT ) )
N

Với:σ N = √ N . σ N ' =√ N ' và σ T là sai số của dụng cụ.

Bên cạnh đó, khi cường độ chùm photon tới vật liệu thì càng tăng cường độ chùm photon
mà đầu dò ghi nhận được càng tăng. Nhưng cường độ chỉ tăng đến một giá trị nhất định
thì dù chùm photon tới có tăng cường độ cũng không làm tăng cường độ chùm photon đi
đến đầu dò. Giá trị này gọi là cường độ bão hòa của vật liệu và được xác định bởi biểu
thức:

I (P)=I S (1−exp(−μeff ρT ))(6)

Trong đó I S là cường độ bão hòa của chùm photon tán xạ một lần và μeff là hệ số suy giảm
khối hiệu được xác định bởi:

( )
μeff =
μE0
ρ
secθ 1+
μE
ρ ( )
sec θ2

Ngoài ra, biểu thức (6) có thể viết dưới dạng khai triển Taylor-Maclaurin theo dạng:
2 3 n
I =C 0+ C1 x 0+C 2 x0 +C 3 x 0 +...+C n x 0 + R n ( x 0 ) (7)

Dựa vào (6) và (7) xác định diện tích tán xạ theo bề dày vật liệu (4), xác định bề dày làm
chuẩn để tính lại bề dày nhỏ hơn.

Kết luận: Trong kĩ thuật Gramma tán xạ ngược để xác định bề dày của vật liệu làm bằng
sáp parafin. Kết quả cho thấy phương pháp này không chỉ áp dụng cho vật liệu Z trung
bình mà còn có vật liệu Z thấp.