q 첨단기술정보분석 1

무엇이 전자현미경의 분해능 제한을

결정하는가?
한국과학기술정보연구원
전문연구위원 박장식
(sick9044@reseat.re.kr)

지난 수 십 년간 전자현미경의 분해능을 향상시키는 데에 큰 발전이 있었

다 전자현미경은 광학적 현미경의 유리렌즈와 달리 전자의 초점을 맞추기
.

위해서 양의 구면수차를 가지는 둥근 전자현미경 렌즈를 사용한다 이것 때 .

문에 입사 빔의 방향에서부터 큰 각도로 입사하는 전자는 작은 각도에서 진

행하는 것보다 더 강하게 초점이 맞추어 져서 상을 흐리게 한다 전자의 파 .

장은 일반적으로 Å로 대단히 작아서 오랫동안 제한된 구면수차

0.02~0.037

때문에 이론적인 파장한계 분해능에 근접하는 것은 불가능했다 .

음의 구면수차 자기장의 렌즈를 만드는 방법은 대칭성을 깨고 다중극 렌즈

(multipole를 사용하는 것으로 오랫동안 알려져 왔다 둥근 렌즈에서
lenses) .

대체로 자력선은 전자 빔의 방향과 평형이며 다중극에서 자력선은 전자빔에

수직이다 그러나 이것은 많은 다른 렌즈의 조정을 포함함으로 컴퓨터의 조
.

정을 통해서 어려움을 해결하였다 이후에 곧 큰 문제인 색수차 파장에 의존 . (

하는 초점거리 를 수정한 디자인이 개발되어 상업기계에 사용되었다

) .

Physical Review 과
Letters 에서 Stephan Uhlemann CEOS(Corrected

Electron Optical의 연구원들은 분해능에 대해서 예기치 않

Systems GmbH)

는 제한 즉 전류의 열적 활성화 혹은 금속 요소에서 스핀에 의해 발생하는

‘

자기적 잡음 을 보고한다 전자들이 수차 수정 장치에 입사하는 긴 광로에서

’ .

전자는 작은 자기장에 대단히 민감함으로 저자들은 나노 테슬라의 단위 0.1

즉 약 지구자기장의 십 만분의 일의 정확성으로 측정한다 .

분해능이 온도는 물론 내부튜브 재료에 얼마나 의존하는지를 실험하기 위

해서 그들은 수차 조정기를 제거하고 냉각 가능한 튜브로 대체하였고 그 튜
브의 재료로 스텐인레스강과 퍼멀로이 를 사용했다 열적 자기장 (permalloy) .

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잡음과 일치하는 낮은 온도에서 상당히 향상된 결과를 얻었다 어떠한 경우 .

에는 전기 전류 스핀에서 국부적 요동 /잡음으로 불리움 이 (Johnson-Nyquist )

있을 수 있다 그것은 초전도양자 간섭계 .과 같은 민감한 자기 디바 (SQUIDS)

이스의 자기장을 요동시킨다 .

현미경의 전자는 빛의 속도의 로 입사함으로 순간적으로 자기장에 의해 1/2

서 전자는 휘어진다 최종적으로 상 일반적으로 개의 전자는 . 카 (

3
10 ~10
5
CCD

메라의 하나의 픽셀에 검출된다 을 형성하는 많은 전자의 평균시간은 전자빔 )

의 간섭을 줄이고 결국에는 분해능을 줄인다 결과적으로 분해능 한계는 .

Å범위로 예측하며 오늘날 이룩한 최소치의 결과와 일치한다

0.5-0.8 .

Å 분해능을 최상의 목표로 정하는 것은 천만 달러에 육박하는 투과전

0.1

자현미경의 높은 가격을 고려하지 않는 것이다 더 높은 분해능에서 현존하 .

는 다중극 혹은 전자의 운동학적 회절과 비탄성산란 효과는 물론 비선형 이

미지 영향력은 없어지지 않는다 가장 향상된 현미경을 사용해도 너무 간단 .

한 해석에 대해서 유의해야 한다 오늘날까지 아무도 운동학적 회절 교정 . “

자 를 구축할 수 없었으며 사용자 해석 교정자 를 개발할 수 없었다

” “ ” .

여러 가지 방법으로 현미경의 향상된 성능은 양호한 신호와 잡음을 얻는

것이다 Å에서 Å으로 분해능 향상은 배로 특징을 측정하는 능력을
. 0.8 0.4 2

향상하는 것이다 다음에는 무엇을 할 것인가 하나는 전자가 같은 렌즈효과

. ?

를 갖기 위해 장의 세기를 증가함으로 자기장 잡음에 노출되는 거리를 줄이

는 것이다 다른 하나는 자극과 선형튜브의 다른 재료를 발견하는 것이다
. .

물론 우리는 모든 장치의 온도를 액체 헬륨의 온도만큼 낮출 수 있지만 이

것은 실용적인 방법이 되지 못한다 .

우리는 지금 전자현미경의 어떠한 것이 개발되는지 기다려 보아야 한다 .

전자현미경이 어떠한 기본적 한계에 도달했다고 주장하는 것은 분명히 성급

한 판단이다 전자광학에서 잡음 민감도를 줄일 수 있는 기본적인 설계공학
.

문제의 해결 방안이 제한되어 있으므로 앞으로 전자현미경의 개발 속도가

느리게 될 것이다 .

출처 : Laurence Marks, "What Are the Resolution Limits in Electron Microscopes", Physics

6, 2013, pp.82~82

이 분석물은 미래창조과학부 과학기술진흥기금, 복권기금의 지원을 받아 작성하였습니다.

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