THIẾT KẾ, MÔ PHỎNG, CHẾ TẠO VÀ PHÂN TÍCH CHẤT LƯỢNG

VI CẢM BIẾN GIA TỐC KIỂU ÁP TRỞ

1. Họ và tên nghiên cứu sinh: Trần Đức Tân

2. Giới tính: Nam
3. Ngày sinh: 22/10/1980
4. Nơi sinh: Bắc Ninh
5. Quyết định công nhận nghiên cứu sinh số: 345/SĐH ngày 23 tháng 12 năm 2005
6. Các thay đổi trong quá trình đào tạo: Không
7. Tên đề tài luận án:
Design, Simulation, Fabrication and Performance Analysis of a Piezoresistive Micro Accelerometer
Thiết kế, mô phỏng, chế tạo và phân tích chất lượng vi cảm biến gia tốc kiểu áp trở
8. Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử
9. Mã số: 62 52 70 01
10. Cán bộ hướng dẫn khoa học:
Giáo sư, Tiến sĩ Khoa học Nguyễn Phú Thuỳ
Tiến sĩ Nguyễn Thăng Long

11. Tóm tắt các kết quả mới của luận án:
Điểm nhấn chính của luận án chính là việc kết hợp phương pháp luận là phương pháp phân tích nút (dùng
phần mềm SUGAR) và phân tích phần tử hữu hạn (dùng phần mềm ANSYS) trong bài toán thiết kế cấu trúc với
mục đích tận dụng được ưu điểm của cả hai phương pháp này. Luận án cũng thể hiện được sự hoàn tất từ đấu
tới cuối: thiết kế, mô phỏng, chế tạo, và đo chuẩn. Một số phương pháp xử lí tín hiệu hữu ích áp dụng trong
luận án cũng là điểm đáng lưu í. Ngoài ra, luận án còn đề cập tới việc tối ưu hoá bài toán đa mục tiêu trên cơ
sở cấu trúc cảm biến đã chế tạo hướng tới việc cho ra đời các cảm biến có độ nhạy cao và độ phân giải tốt.
12. Khả năng ứng dụng trong thực tiễn:
Cảm biến gia tốc có rất nhiều ứng dụng trong thực tiễn. Phương pháp thiết kế trong luận án này có thể áp dụng
trong rất nhiều cấu trúc cảm biến mới nhằm cho ra đời các cảm biến tính năng cao. Các cảm biến đã chế tạot
hành công hoàn toàn có thể đưa vào áp dụng trong các ứng dụng như đo độ nghiêng hoặc đo rung như đã
trình bày bước đầu trong luận án.
13. Những hướng nghiên cứu tiếp theo:
Tiếp tục áp dụng phương pháp thiết kế mới này trong việc tìm ra các cấu trúc cảm biến gia tốc tối ưu hơn.
Không chỉ giới hạn trong cảm biến gia tốc mà còn có thể áp dụng phương pháp này vào các loại cảm biến quán
tính khác nữa. Mặt khác từ những kết quả bước đầu trong vấn đề thực nghiệm đã trình trong luận án này cho
thấy khả năng có thể áp dụng các cảm biến đã chế tạo vào các ứng dụng thực tiễn.
14. Các công trình đã công bố có liên quan đến luận án:
1. Tan D. Tran, Minh D. Nguyen, Long T. Nguyen, Tue H. Huynh, and Thuy P. Nguyen, Novel Synthesis
Design of a 3-DOF Silicon Piezoresistive Micro Accelerometer, Proceedings of the 4th IEEE Int. Conf.
on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, January 2009, China, pp. 108-111.
2. T.D. Tan, Dzung D.V, Long N.T, Thuy N.P, Sugiyama. S, Improvements in the design of the multi-axis
piezoresistive accelerometer, 2008 International Symposium on Micro/Nano System Technology, Ha noi
12/2008, pp. 62-66.
3. T.D. Tan, Ha L.M, Long N.T, Nam N.M, Thuy N.P, Noise considerations for a low-cost mems-based
inertial sensor unit, 2008 International Symposium on Micro/Nano System Technology, Ha noi 12/2008,
pp. 67-71.
4. Trần Đức Tân, Nguyễn Thăng Long, Nguyễn Minh Nam, Nguyễn Phú Thuỳ, Sự phụ thuộc của độ
phân giải cảm biến gia tốc áp điện trở nhiều bậc tự do vào điều kiện chế tạo, Kỷ yếu Hội nghị toàn quốc
lần thứ 4 về Cơ điện tử VCM2008, Đà nẵng 10-2008, tr. 110-116.
5. T.D. Tan, S. Roy, N.T. Long, H.H. Tue, N.P. Thuy, Thermal-Structural Coupled Analysis in a 3-DOF
Accelerometer, Proceedings of 2008 International Conference on Advanced Technologies for
Communications ATC 2008, pp. 335-338.
6. T.D. Tan, Roy S., Thuy N.P., Huynh H.T, Streamlining the Design of MEMS Devices: An Acceleration
Sensor, IEEE Circuits and Systems Magazine (ISSN 1531-636X), Vol. 8, Issue 1, 2008, pp. 18-27.
7. T.D. Tan, Dzung V. Dao, Tung T. Bui, Long T. Nguyen, Thuy P. Nguyen, Sugiyama Susumu, Optimum
Design Considerations for a 3-DOF Micro Accelerometer Using Nanoscale Piezoresistors, Proceedings
of the 3rd IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems ， January 6-9, 2008,
Sanya, China, pp 770-773 .
8. T.D. Tan, D. V. Dung, B. T. Tung, N. T. Long, N. P. Thuy, Full Analysis and Fabrication of a
Piezoresistive Three Degree of Freedom Accelerometer, Proceedings of First International Workshop
on Nanotechnology and Application (IWNA) 2007 Vietnam National University, 2007, pp. 264-267.
9. Trần Đức Tân, Lưu Mạnh Hà, Nguyễn Thăng Long, Nguyễn Phú Thuỳ, Thiết kế cảm biến gia tốc áp
điện trở sáu bậc tự do độ nhạy cao, Tuyển tập công trình Hội nghị Cơ học toàn quốc lần thứ VIII, Hà
Nội, 12/2007, tr. 549-557.
10. Tran Duc Tan, Luu Manh Ha, Nguyen Thang Long, Nguyen Phu Thuy, Huynh Huu Tue, Performance
Improvement of MEMS-Based Sensor Applying in Inertial Navigation System, Research - Development
and Application on Electronics, Telecommunications and Information Technology, No. 2 – 2007, Posts,
Telematics & Information Technology Journal (ISSN 0866-7039), pp. 19-24.
11. L. M. Ha, T. D. Tan, N. T. Long, N. D. Duc, N. P. Thuy, Errors Determination of The MEMS IMU, Journal
of Science VNUH, July, 2007, pp. 6-12.
12. Trần Đức Tân, Vũ Ngọc Hùng, Nguyễn Thăng Long, Nguyễn Phú Thuỳ, Nghiên cứu thiết kế và mô
phỏng cảm biến gia tốc áp điện trở có độ nhạy cao, Kỷ yếu hội nghị toàn quốc lần thứ 3 về cơ điện tử
VCM2006, Hà Nội 12/10/2006, tr. 161-167.
13. Tran Duc Tan, Nguyen Thang Long, Nguyen Phu Thuy, Mechanical and Electronic Design of
Capacitive Accelerometers, International Conference on Mechatronics Technology (ICMT2005), CD
proceedings, Malaysia, 2005.
14. Vu Ngoc Hung, Tran Duc Tan, Nguyen Thang Long, Nguyen Phu Thuy, Nguyen Thi Minh Hang,
Nguyen Duc Chien, A highly sensitive micromachined silicon based accelerometer, International
Conference on Mechatronics Technology (ICMT2005), CD proceedings, Malaysia, 2005.
15. Trần Đức Tân, Nguyễn Phú Thuỳ, Xây dựng mođun phần mềm thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện tử,
Kỷ yếu hội nghị Vật lý toàn quốc lần thứ VI, Hà Nội 23-25/11/2005, tr. 869-872.
16. Vũ Việt Hùng, Trần Đức Tân, Nguyễn Phú Thuỳ, Sử dụng cảm biến ADXL202 trong hệ thống phân tích
rung động, Kỷ yếu hội nghị Vật lý toàn quốc lần thứ VI, Hà Nội 23-25/11/2005, tr. 682-685
17. Trần Đức Tân, Nguyễn Thăng Long, Vũ Ngọc Hùng, Nguyễn Phú Thuỳ, Thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ
điện tử chế tạo trên vật liệu Silíc, Kỷ yếu hội nghị Vật lý toàn quốc lần thứ VI, Hà Nội 23-25/11/2005, tr.
740-743.
18. Trần Đức Tân, Nguyễn Thăng Long, Nguyễn Phú Thuỳ, Mô phỏng con quay vi cơ điện tử, Kỷ yếu hội
nghị Vật lý toàn quốc lần thứ VI, Hà Nội 23-25/11/2005, tr 865-868.
19. V.N.Hùng, N.T.M. Hằng, T.Đ. Tân, C.M. Hoàng, N.T. Long, N.P. Thuỳ, N.Đ. Chiến, Nghiên cứu chế tạo
sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ MEMS, Kỷ yếu hội nghị Vật lý toàn quốc lần thứ VI, Hà Nội
23-25/11/2005, tr 672-677.
20. Trần Đức Tân, Nguyễn Phú Thuỳ, Chử Đức Trình, Nguyễn Thăng Long và Vũ Ngọc Hùng, Cảm biến
gia tốc MEMS kiểu tụ: So sánh kết quả mô phỏng và thực nghiệm, Kỷ yếu hội nghị toàn quốc lần thứ 6
về tự động hoá (VICA6), 4/2005, tr. 465-470.
21. Trần Đức Tân, Nguyễn Phú Thuỳ, Chử Đức Trình và Vũ Ngọc Hùng, Mô phỏng cảm biến gia tốc
MEMS kiểu tụ, Tạp chí khoa học ĐHQG Hà Nội, tập XXI - số 2A, 2005, tr. 68-75.