TỔNG LIÊN ĐOÀN LAO ĐỘNG VIỆT NAM

TRƯỜNG ĐẠI HỌC TÔN ĐỨC THẮNG

KHOA KHOA HỌC ỨNG DỤNG
---------------------------------

BÀI TẬP BÁO CÁO THUYẾT TRÌNH

ĐIỀU KHIỂN QUÁ TRÌNH
(MÃ MÔN HỌC: 602044)

ĐỀ TÀI: ĐIỀU KHIỂN VÀ XỬ LÝ ẢNH BẰNG PHƯƠNG PHÁP

SEM, TEM VỀ CẤU TRÚC VẬT LIỆU
Giảng viên hướng dẫn: GVC, TS. TRẦN VĂN NGŨ
TS. TRẦN VIỆT HÙNG
Sinh viên thực hiện MSSV

1. Nguyễn Hoàng Nam - 61900761

2. Vũ Nhật Lân - 61900749

3. Nguyễn Thị Diễm Trinh - 61900797

4. Nguyễn Xuân Thọ - 61800865

5. Nguyễn Thị Phương Thảo - 61900780

Hồ Chí Minh, tháng 6 năm 2022

1
 MỤC LỤC
LỜI CẢM ƠN ............................................................................................................................................... 4
LỜI MỞ ĐẦU ............................................................................................................................................... 5
CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU ĐỀ TÀI ........................................................................................................... 6
1.1. Đặt vấn đề: ......................................................................................................................................... 6
1.2. Mục đích nghiên cứu: ........................................................................................................................ 6
1.3. Đối tượng nghiên cứu: ....................................................................................................................... 6
CHƯƠNG 2: SƠ LƯỢC VỀ KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ (SEM, TEM) – NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG . 7
2.1. Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, SEM):.................................. 7
2.2. Kính hiển vi điện tử truyền qua (tiếng Anh: transmission electron microscopy, TEM): ................... 8
CHƯƠNG 3: ĐIỀU KHIỂN QUÁ TRÌNH ................................................................................................. 9
3.1. Xác định các biến quá trình: .............................................................................................................. 9
3.2. Phương pháp điều khiển phản hồi:................................................................................................... 12
3.3. Sơ đồ khối và Lưu đồ điều khiển của quá trình: .............................................................................. 13
CHƯƠNG 4: THỰC NGHIỆM. ................................................................................................................ 15
4.1. Hình ảnh thực nghiệm:..................................................................................................................... 15
................................................................................................................................................................ 15
4.2. Hình ảnh giả lập Node Red: ............................................................................................................. 16
CHƯƠNG 5: ĐÁNH GIÁ. ......................................................................................................................... 18
5.1. Ưu điểm và Nhược điểm:................................................................................................................. 18
KẾT LUẬN ................................................................................................................................................. 20

2
 MỤC LỤC HÌNH ẢNH

Hình 2.1 Kính hiển vi điện tử quét ................................................................................................................................7

Hình 2.2 Kính hiển vi điện tử truyền qua......................................................................................................................8
Hình 3.1 Các biến điều khiển .....................................................................................................................................11
Hình 3.2 Sơ đồ mang tính nguyên tắc của sách lược điều khiển phản hồi .................................................................12
Hình 3.3 Sơ đồ khối ....................................................................................................................................................13
Hình 4.1 Hình SEM từ vật liệu Si@TiO2/C với kích thước micro mét .......................................................................15
Hình 4.2 Hình SEM từ vật liệu Si@TiO2/C với kích thước nano mét ........................................................................15

3
 LỜI CẢM ƠN
Lời đầu tiên, nhóm chúng em xin gửi lời cảm ơn chân thành nhất đến quý thầy/ cô
trong Khoa Khoa học ứng dụng đã tạo điều kiện tốt nhất để sinh viên tiếp nhận những vốn
kiến thức quý báu trong quá trình học tập tại trường.
Đặc biệt, nhóm chúng em xin bày tỏ lòng tri ân sâu sắc nhất đến thầy Trần Văn Ngũ,
trưởng bộ môn hóa lý kỹ thuật, Khoa Khoa học ứng dụng thuộc trường Đại Học Tôn Đức
Thắng và thầy Trần Việt Hùng những người đã đồng hành cùng chúng em ở môn điều
khiển quá trình. Trong suốt quá trình học tập và nghiên cứu môn học này, các thầy đã luôn
quan tâm, giúp đỡ, hướng dẫn tận tình, truyền đạt những kiến thức quý báu cho chúng em.
Được sự giúp đỡ, chỉ dẫn của thầy, chúng em đã từng bước sửa đổi những sai sót,
được giải đáp những thắc mắc cũng như những khó khăn trong quá trình thực hiện bài báo
cáo. Qua các yêu cầu mà bài tập ứng dụng đề ra, chúng em đã có cơ hội hiểu rõ hơn những
ứng dụng của môn học vào thực tiễn.
Tập thể nhóm đã cố gắng hết sức hỗ trợ nhau để hoàn thành bài báo cáo một cách
tốt nhất. Tuy nhiên, do hạn chế khách quan và chủ quan bài báo cáo của chúng em khó
tránh khỏi sự sai sót nhất định. Tập thể nhóm chúng em rất mong nhận được ý kiến, đóng
góp và nhận xét từ thầy để có thể hoàn thiện hơn nữa những kiến thức của mình.
NHÓM EM XIN CHÂN THÀNH CẢM ƠN THẦY!

4
 LỜI MỞ ĐẦU
Điều khiển quá trình là một lĩnh vực ứng dụng quan trọng của kỹ thuật điều khiển
trong các ngành công nghiệp năng lượng và hóa chất (gọi chung là công nghiệp chế biến
process industry), là môn khoa học nghiên cứu về tĩnh học tĩnh và động học của sự biến
đổi lý hóa trong các quá trình sản xuất công nghiệp, phục vụ cho việc thiết kế các
thiết bị công nghệ và hệ thống điều khiển các quá trình công nghệ đó. Do vậy điều
khiển quá trình là cốt lõi của hệ thống tự động hóa quá trình công nghệ.
Nghiên cứu hệ điều khiển quá trình theo hai hướng tiếp cận: hướng thứ nhất thuộc
các nhà công nghệ điều khiển quá trình phục vụ khâu thiết kế dây chuyền thiết bị
công nghệ và đề xuất nhiệm vụ điều khiển quá trình. Hướng thứ hai là nghiên cứu về
điều khiển và tự động hóa để thiết kế, lắp đặt, điều chỉnh và vận hành nhằm đảm bảo
chất lượng sản phẩm, hiệu quả sản xuất và an toàn cho con người, máy móc và môi
trường.
Vậy cho nên việc nghiên cứu các lĩnh vực trong điều khiển quá trình, cụ thể là trong
quá trình điều khiển xử lý ảnh bằng phương pháp SEM, TEM về cấu trúc của các vật liệu
không chỉ là một điều thiết yếu cho ngành Kỹ thuật hóa học mà còn đóng vai trò hết sức
quan trọng cho nền công nghiệp hiện đại.

5
 CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU ĐỀ TÀI
1.1. Đặt vấn đề:
- Mắt người bình thường có thể quan sát những vật nhỏ nhất khoảng 1mm. Với các mẫu
vật có kích thước micromet hay nanomet, chúng ta cần tới các công cụ hỗ trợ như kính
hiển vi quang học hoặc kính hiển vi điện tử. Vì thế, việc xử lý những mẫu chụp SEM
TEM đánh về kích thước mẫu đã đặt kích thước micro hay nano trong những nghiên cứu
là một công việc cần được quan tâm.
- Việc điều khiển và chụp bề mặt của vật liệu, hay thậm chí là thành phần bên trong của
vật liệu là một việc cần thiêt để kiểm tra sự phân bố cấu trúc của hợp chất, từ đó đảm bảo
tính nhất quán và chất lượng của vật liệu.

1.2. Mục đích nghiên cứu:

- Ứng dụng những kiến thức đã học về điều khiển quá trình vào thực tế, mô phỏng và điều
khiển hệ thống bằng phần mềm Node-Red, hiểu rõ được quá trình hoạt động. Từ đó sử
dụng vào các ngành vật liệu hiện đại. Qua đó phát hiện và cải thiện các sai sót trong quy
trình điều khiển cụ thể. Cũng như, cải tiến các ưu điểm để đạt được chất lượng đầu ra tốt
nhất.

1.3. Đối tượng nghiên cứu:

- Tập trung mô phỏng trên phần mềm Node Red và kết hợp sử dụng AutoCad, xây dụng
được mô hình điều khiển giả định. Tạo hệ thống nhận và xử lý thông tin để kiểm tra kết
quả và xử lý những sai số.

6
 CHƯƠNG 2: SƠ LƯỢC VỀ KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ (SEM,
TEM) – NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG
2.1. Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope,
SEM):
Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, thường
viết tắt là SEM), là một loại kính
hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh
với độ phân giải cao của bề mặt
mẫu vật rắn bằng cách sử dụng
một chùm điện tử (chùm các
electron) hẹp quét trên bề mặt
mẫu.

Việc tạo ảnh của mẫu vật

được thực hiện thông qua việc ghi
nhận và phân tích các bức xạ phát
ra từ tương tác của chùm điện tử
Hình 2.1 Kính hiển vi điện tử quét
với bề mặt mẫu vật. Có nghĩa là
SEM cũng nằm trong nhóm các thiết bị phân tích vi cấu trúc vật rắn bằng chùm
điện tử.

7
2.2. Kính hiển vi điện tử truyền qua (tiếng Anh: transmission electron
microscopy, TEM):
Kính hiển vi điện tử truyền qua (tiếng Anh: transmission electron
microscopy, viết tắt: TEM) là một thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn, sử dụng
chùm điện tử có năng lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng và sử dụng các
thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn (có thể tới hàng triệu lần), ảnh có thể
tạo ra trên màn huỳnh quang, hay trên film quang học, hay ghi nhận bằng các máy
chụp kỹ thuật số.

Về mặt nguyên lý, TEM cũng có

cấu trúc tương tự như kính hiển vi
quang học với nguồn sáng (lúc này là
nguồn điện tử), các hệ thấu kính (hội tụ,
tạo ảnh…), các khẩu độ… Tuy nhiên,
TEM đã vượt xa khả năng của một kính
hiển vi truyền thống ngoài việc quan sát
vật nhỏ, đến các khả năng phân tích đặc
biệt mà kính hiển vi quang học cũng
như nhiều loại kính hiển vi khác không
thể có nhờ tương tác giữa chùm điện tử
với mẫu.

Hình 2.2 Kính hiển vi điện tử truyền qua

8
 CHƯƠNG 3: ĐIỀU KHIỂN QUÁ TRÌNH
3.1. Xác định các biến quá trình:
Biến Điều khiển:

• Chỉnh sửa hình ảnh , ( tùy chọn ): bao gồm nhiều định dạng khác nhau như
sau.
- Focus (m): Tiêu cự, Điều khiển tiêu cự để làm cho ảnh mờ hoặc rõ hơn.
- Constrast(%): Độ tương phản, Điều khiển độ tương phản để làm rõ phần
sáng tối của hình ảnh
- Brightless(%): Độ sáng, Điều khiển độ sáng để điều chỉnh độ sáng tối của
hình ảnh.
- Magnification: Độ phóng đại, Dùng để điều chỉnh độ phóng đại lên gấp
nhiều lần và được hiển thị trong màn hình máy tính.
- Generating overview: Vùng Quan sát, Dùng để thay đổi vùng được hiển thị
trên màn hình.
• Mode , ( kVa): thế tăng tốc của SEM, dựa vào tính chất của vật liệu và mục
đích phân tích để quyết định.
- All Materials (5kVa): Sử dụng cho tất cả vật liệu, thường là các mẫu không
dẫn điện.
- High res (10kVa): thường dùng cho các mẫu dẫn điện.
- Analysis (15kVa): Dùng cho việc xác định nguyên tố trong mẫu.
• Intensity , ( Loại định dạng): Dựa vào mục đích sử dụng để lựa chọn loại định
dạng khi xuất kết quả.
- Low: Chân không thấp, thường dùng cho các phi kim có độ dẫn điện thấp.
- Image: hình ảnh.
- Point: điểm, thường dùng với chế độ Analysis.
- Map: tập hợp của nhiều Point
• Detector , ( Loại Dầu dò): Dựa vào mẫu cần đo để lựa chọn đầu dò sử dụng.
- BSD full (Mặc định): Backscattered electron detector.
9
 - Topo A
- Topo B

Biến trạng thái:

• Pck (Pa), Áp suất chân không: Yêu cầu của hệ thống là phải hoạt động trong môi
trường chân không. Vì thế cần phải giữ cho môi trường luôn là môi trường chân
không trong suốt quá trình làm việc.

Biến nhiễu:

• Độ dày của mẫu , (μm hoặc nm): Trước khi đo mẫu, Chúng ta phải mài thủ
công, đến khi đạt được độ dày với kích thước đạt yêu cầu thì mới có thể cho vào
máy. Với 2 máy khác nhau thì TEM sẽ phá hủy mẫu, còn SEM thì không. Tùy
thuộc vào mẫu có được mài tốt, phân tán tốt hay không thì từ đó chất lượng ảnh sẽ
càng tốt.
• Độ dẫn điện của mẫu: thuộc về bản chất của mẫu nên không thể điều khiển được,
có thể đo được trước khi đó, là biến nhiễu cơ bản, nó ảnh hưởng rất lớn đến việc
tích tụ và phản xạ các chùm tia Electron.
• Bụi: Là biến nhiễu không cơ bản, không thể đo lường được, cũng sẽ ảnh hưởng
lớn đến chất lượng hình ảnh.

Biến ra:

• Chất lượng hình ảnh:

- Độ phân giải
- Dung lượng hình ảnh
• Thời gian xử lý , ( giờ): Khi chất lượng hình ảnh càng cào thì thời gian xử lý ảnh
sẽ càng lâu, tùy thuộc vào độ phân giải và dung lượng hình ảnh yêu cầu.

10
Hình 3.1 Các biến điều khiển

11
3.2. Phương pháp điều khiển phản hồi:
Ở sách lược điều khiển phản hồi, bộ phận tiếp nhận, chuyển đổi và truyền tín hiệu
do lấy tín hiệu của chính biến cần điều khiển để truyền về bộ điều khiển thực hiện việc
điều khiển để đạt giá trị cài đặt mong muốn của biến cần điều khiển.

Hình 3.2 Sơ đồ mang tính nguyên tắc của sách lược điều khiển phản hồi

Ưu điểm:

- Có thể ồn định được quá trình không ổn định – điều mà sách lược điều khiển bù nhiễu
hay điều khiển tỷ lệ không thực hiện được.

- Chất lượng điều khiển cao do có thể triệt tiêu sự ảnh hưởng của các nhiễu không mong
muốn, không xác định được.

- Đảm bảo đạt được mục đích mong muốn hay nhu cầu cần được áp dụng với biến cần
điều khiển.

Nhược điểm:

- Tác động chậm, điều khiển không kịp thời do để “hậu quả” xảy ra mới khắc phục ảnh
hưởng và tác động của nhiễu.

12
 3.3. Sơ đồ khối và Lưu đồ khối của quá trình:
Sơ đồ khối:
Độ dày mẫu
Bụi Độ dẫn điện của mẫu

Chế độ xem
xem KÍNH HIỂN VI Chất lượng hình ảnh

SEM, TEM
Mode
Intensity Thời gian xử lý
Detector

Pck

Hình 3.15 Sơ đồ khối

13
Lưu đồ khối:

Bắn chùm
electron
Chùm tia
electron

Nguồn
Anot
phát
điện tử

Thấu Kính

Cuộn
quét Màn hình quét

Màn hình quét

Máy ghi
điện tử
tán xạ
Điện tử thứ cấp

Mẫu

Hình 3.4 Lưu Đồ khối

14
 CHƯƠNG 4: THỰC NGHIỆM.
4.1. Hình ảnh thực nghiệm:

Hình 4.1 Hình SEM từ vật liệu Si@TiO2/C với kích thước micro mét

Hình 4.2 Hình SEM từ vật liệu Si@TiO2/C với kích thước nano mét

15
4.2. Hình ảnh giả lập Node Red:

Hình 4.3

Hình 4.4

16
 Hình 4.5

Hình 4.6

17
 CHƯƠNG 5: ĐÁNH GIÁ.
5.1. Ưu điểm và Nhược điểm:
TEM
Tạo ra ảnh thật với khả năng phân SEM không đòi hỏi mẫu phải
giải tới cấp độ nguyên tử, cùng
với chất lượng cao đặc biệt.
TEM cho ra hình ảnh về cấu trúc
vi mô bên trong mẫu vật rắn,
Ưu
khác hẳn với các kiểu kính hiển
điểm
vi khác.
Tốc độ ghi ảnh của TEM rất cao,
cho phép chụp ảnh động, quay
video các quá trình động trong
chất rắn.
TEM là một thiết bị rất đắt tiền.
Một TEM bình thường có giá từ
1-2 triệu USD.
TEM cần nột phòng thí nghiệm
Nhược
tiêu chuẩn rất khắt khe về độ ẩm,
điểm
độ sạch không khí, sự ổn định cao Độ phân giải của SEM thấp hơn
của nhiệt độ và điện áp, cách ly
hoàn toàn mọi tiếng ồn, mọi sự
rung động nhỏ nhất.
18
SEM
mỏng như TEM, tức là ta không
cần phá hủy mẫu.
SEM có thể cho ngay ảnh với độ
phân giải cao mà không phải xử lý
mẫu quá vất vả, hoặc phải phá
mẫu.
Hoạt động dễ dàng, không đòi hỏi
nhiều thiết bị đắt tiền như TEM
Giá thành của SEM cũng còn thấp
hơn TEM rất nhiều.
SEM chỉ có thể chụp được ảnh của
các mẫu dẫn điện.
SEM chỉ cho banj hình ảnh vi cấu
trúc bề mặt, chứ không phải cấu
trúc thật của vật liệu.
rất nhiều so với TEM
Yêu cầu về mẫu rất khắt khe nên
cần đòi hỏi một phòng thí nghiệm
riêng để xử lý mẫu cực tinh vi,
cần phải đạt được độ mỏng nhất
định.
Các hệ thống của TEM nằm trong
buồng chân không siêu cao, đòi
hỏi phải có những thao tác chính
xác, tuân thử một cách nghiêm
ngặt các quy trình phức tạp.

19
 KẾT LUẬN
Bài tập ứng dụng của môn Điều khiển quá trình đã giúp chúng em nâng cao
những kỹ năng, những kiến thức từ căn bản đến bao quát về đề tài của chúng em:
Điều khiển và xử lý ảnh bằng phương pháp SEM, TEM về cấu trúc vật liệu. Dưới
sự hướng dẫn của thầy đã giúp chúng em nắm rõ những kiến thức đặc biệt quan
trọng về đề tài lần này.

Đề tài cũng giúp chúng em trau dồi những kỹ năng rất quan trọng như: kỹ
năng làm việc nhóm, kỹ năng phân tích và đánh giá vấn đề và nhất là thái độ khi
làm việc. Những kỹ năng đó cần được trau dồi thật kỹ cho tương lai của chúng em
về sau. Nhờ đề tài mà chúng em được thử sức trong một lĩnh vực hoàn toàn mới,
được tiếp xúc với các loại máy móc hiện đại như kính hiển vi SEM, TEM và được
làm việc với những công cụ lập trình mới như Node-red.

Chúng em xin chân thành cảm ơn GVHD Ts. Trần Văn Ngũ và Ts. Trần
Việt Hùng đã giúp chúng em có được cơ hội được trau dồi nhiều kiến thức mới,
được tìm hiểu về những đề tài mới. Và đặc biệt tạo điều kiện cho chúng em được
trau dồi những kỹ năng cần thiết. Em xin chân thành cảm ơn.

20