Cursus Vacuümtechniek

Kenniscentrum Mechatronica
Eindhoven

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 1

 Naslagwerken Vacuümtechniek
• L.Wolterbeek Muller: Vacuümtechniek, beginselen en
toepassingen, ISBN 90-2012203-7, Uitg.: Kluwer
Technische Boeken b.v., Deventer;
• E.P.Th.Suurmeyer en J.Verhoeven: Vacuümtechniek,
ISBN 90-9002806-4, Uitg.: Nederlandse Vacuüm
Vereniging (NEVAC);
• J.Visser, serie artikelen in De Constructeur (oktober
1988 t/m januari 1991)
• M.Wutz, H.Adam, W.Walcher: Theorie und Praxis der
Vakuumtechniek, ISBN 3-528-14884-5; uitg.: Verlag
Fried. Vieweg & Sohn, Braunschweig/ Wiesbaden;
• Nigel Harris: Modern Vacuum Practice, ISBN
0-07-707099-2; Uitg.: McGraw-Hill Book Company.

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 2

 Naslagwerken Vacuümtechniek
• John F. O'Hanlon: A User's Guide to Vacuum
Technology; ISBN 0-471-81242-0; Uitg.John Wiley &
Sons, New York.
• D.H.Holkeboer, D.W.Jones, F.Pagano, D.J.Santeler.:
Vacuum Technology and Space Simulation, ISBN
1-56396-123-7; Uitg. American Institute of Physics,
New York.
• A.Chambers, R.K.Fitch, B.S.Halliday: Basic Vacuum
Technology, ISBN 0-85274-128-6; Uitg. Adam Hilger,
Bristal en New York.

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 3

 Waarom vacuum ?
Q Sommige processen verdragen geen zuurstof of
andere gassen
Q Sommige oppervlakteprocessen moeten
plaatsvinden op schone oppervlakken
Q Bij sommige processen is er een zekere afstand
tussen bron en substraat: daar tussenin mogen
gassen geen rol spelen (hinderen)
Q Een drukverschil veroorzaakt een kracht
Q Vacuum is een goede warmte-isolator
Q Om opgelost gas te verwijderen is een lagere
dichtheid nodig, soms ontstaat ook een
temperatuurdaling (vriesdrogen)

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 4

Basisbegrippen

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 5

Basisbegrippen

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 6

 Verdampingssnelheid

! Bereken hoe lang het duurt voor een schoteltje water geheel
verdampt is, en vergelijk dat metde werkelijke situatie
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 7
Verdampingssnelheid (vervolg)

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 8

 Overzicht Vacuümgebied
tijd voor een monolaag (s)
108 106 104 102 100 10-2 10-4 10-6 10-8
106
atmosferische druk
druk 10 4
10-6
gemiddelde
(Pa) vrije
102
10 weglengte
-4

voorvacuum (m)
100 10-2

10-2 100
hoog vacuum
10-4 102

10-6 104
ultra-hoog vacuum
10-8
106

10-10
108

10-12 1010

107 109 1011 1013 1015 1017 1019 1021 1023 1025
gasdichtheid (per m3)

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 9

Vacuümsysteem (algemeen)

reactie met
wand
virtueel lek
proces gas

bulk desorptie permeatie

oppervlakte terugstroming
desorptie van pompvloeistof

terug-diffusie
reëel lek

vloeistof- re-emissie van

kruip eerder verpompte
gassen

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 10

Vacuümsysteem Elektronenmicroscoop

XL40 TMP vacuum configuration

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 11

 Invloed van een wand

Vacuüm Atmosfeer
Verdamping

Desorptie

Diffusie
Adsorptie

Permeatie

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 12

 Gaswetten
Wet van Boyle:
Boyle voor een afgesloten hoeveelheid gas is bij con-
stante temperatuur het produkt van druk en volume constant:
constant
p ⋅ V = constant
Wetten van Gay Lussac:
Lussac
voor een afgesloten hoeveelheid gas geldt voor een
volumeverandering bij constante druk:
druk V
= constant
T
en voor een drukverandering bij constant volume:
volume
p
= constant
T
Gecombineerd levert dit de z.g wet van Boyle - Gay Lussac op:
Voor een afgesloten hoeveelheid gas geldt:
pV
= constant
T
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 13
 Deeltjesdichtheid

800
10-10
druk hoogte
(mbar)
10-9 640 (km)

480
10-8

10-7 320

10-6 160

10-3 80

0
1013

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 14

 Getal van Avogadro
Voor ieder gas met dezelfde temperatuur en druk is het
aantal moleculen per volume-eenheid gelijk

Massa van molecuul wordt uitgedrukt in atomaire

massaeenheden 1 a.m.e. ÷ 1,66.10-27 kg
massaeenheden:
De massa M van een stikstofmolecuul is 28 a.m.e. =
28x1,66.10-27 kg = 4,5.10-26 kg

In 1 mol gas zitten NA = 6,0.1023 moleculen.

Voor stikstof is 1 mol gelijk aan 28 gram en bij 1 atmosfeer en
20 0C is dat een volume van 24 dm3.

Algemene gaswet: pV = nm RT
Met nm = N/NA en R is de algemene gasconstante: R = 8,3 J.K-1

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 15

Belangrijke relaties

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 16

 Gassnelheid van gasdeeltjes
Q Gasmoleculen hebben voor dagelijkse begrippen
grote snelheden
Q De molecuulsnelheid is niet voor elk molecuul
gelijk:
Q de snelheid hangt af van het soort molecuul:
X lichte moleculen gaan sneller dan zware
X de snelheid hangt van de temperatuur
X bij hogere temperatuur hogere snelheid

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 17

 Gassnelheid van gasdeeltjes
Q Gasmoleculen hebben voor dagelijkse begrippen
grote snelheden
Q De molecuulsnelheid is niet voor elk molecuul
gelijk:
Q de snelheid hangt af van het soort molecuul:
X lichte moleculen gaan sneller dan zware
X de snelheid hangt van de temperatuur
X bij hogere temperatuur hogere snelheid
Q er is een snelheidsverdeling van een gas: de z.g.
Maxwell-Boltzmannverdeling 8kT
c=
X je kunt dan spreken over: πm
2kT
X de gemiddelde snelheid c maximum =
m
X de meest voorkomende snelheid
3kT 3kT
X de middelbare snelheid c =
2
⇒ cmiddelbaar =
m m
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 18
 Snelheidsverdeling van Maxwell-Boltzmann
Aantal moleculen T = 300 K
met snelheid
2kT
tussen cmaximum =
c en c + ∆c m
T = 1000 K

8kT
c=
πm
3 kT
cmiddelbaar =
m
0
500 1000 1500 2000 2500
Snelheid c [m.s-1]
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 19
Snelheidsverdelingsfunctie van Maxwell
voor H2 en N2 bij twee verschillende temperaturen

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 20

 Rekenvoorbeeld gassnelheid

Bij kamertemperatuur (20 0C = 293 K) voor stikstof (N2):

8kT 8 ∗ 1,38 ⋅ 10 −23 ⋅ 293 −1

cN = = = 480 m ⋅ s
2
πm π ⋅ 28 ⋅ 1,66 ⋅ 10 −27

En voor waterstof (H2):

8kT 8 ∗ 1,38 ⋅ 10 −23 ⋅ 293 −1

cH = = = 1800 m ⋅ s
2
πm π ⋅ 2 ⋅ 1,66 ⋅ 10 −27

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 21

 Begrip gemiddelde vrije weglengte λ
D

2D 1

Omvatte botsingsvolume per seconde is: πD 2v

Er bevinden zich hierin: nπD 2v deeltjes
Dus: nπD 2v botsingen per seconde
λ=(afgelegde weg per seconde)/(aantal botsingen per seconde)
v 1 kT −3
λ= = λ= 6,7 ⋅ 10
nπD v nπD 2 pπD 2 λlucht = p[Pa ] [ m ]
2

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 22

 Vrije weglengte
Voor de vrije weglengte (afstand waarover molecuul gemiddeld
beweegt voordat het botst) in lucht bij kamertemperatuur geldt:
6,7 ⋅ 10 −3
λlucht = [ m ] waarbij p in Pa is uitgedrukt
p
Gassoort λ in cm bij p = 1 Torr λ in m bij p = 1 Pa
------------------------------------------------------------------------------------
H2 (waterstof) 9,0 x 10-3 1,2 x 10-2
He (helium) 14 x 10-3 1,8 x 10-2
Ar (argon) 4,8 x 10-3 6,4 x 10-3
H2O (waterdamp) 3,0 x 10-3 4,0 x 10-3
N2 (stikstof) 4,6 x 10-3 6,1 x 10-3
O2 (zuurstof) 4,9 x 10-3 6,5 x 10-3
CO2 (kooldioxyde) 3,0 x 10-3 4,0 x 10-3
Hg (kwik) 2,3 x 10-3 3,1 x 10-3
lucht 5,0 x 10-3 6,7 x 10-3
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 23
 Pompsnelheid
Een (ideale) pomp sluit per tijdseenheid t een bepaald
volume V van het te evacueren systeem af en verwijdert
de daarin toevallig aanwezige deeltjes:
dV
Pompsnelheid = S S=
dt
Let op: dit zegt
⎡m3 ⎤
niets over de Uitgedrukt in ⎢ s ⎥ = [m 3
⋅ s −1
]
hoeveelheid ⎣ ⎦
verpompt gas !!

Hoeveelheid verpompt gas Q wordt gegeven door:

⎡ Pa ⋅ m 3 ⎤
Q = p ⋅S Uitgedrukt in: ⎢ ⎥ = [Pa ⋅ m 3
⋅ s −1
]
⎣ s ⎦

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 24

 Pompsnelheid S

dN 1
= n c .A
dt 4
dV 1 dN 1
= . = c .A ≡ S
dt n dt 4
Verband gasstroom Q en pompsnelheid S:

Q = p ∗S

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 25

 Transportverschijnselen
Q Goed begrip van de kinetische gastheorie is
essentiëel voor het verkrijgen van inzicht in de
vacuümfysica en -techniek.
Q Belangrijk zijn de eigenschappen van een gas onder
niet-evenwichtsomstandigheden,
evenwichtsomstandigheden te weten
X het transport van impuls (viscositeit),
viscositeit
X energie (warmtegeleiding)
warmtegeleiding
X Massa (diffusie).
usie
Q Het blijkt dat de geldende wetten voor het transport van
deze drie grootheden veel gelijkenis met elkaar
vertonen.
Q Transport van een fysische eigenschap,
eigenschap die de
gasdeeltjes met zich meedragen, kan slechts
plaatsvinden dankzij hun thermisch beweging.
beweging

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 26

 Transportverschijnselen
Q Het transportgedrag van een gas blijkt afhankelijk van
de grootte van de gemiddelde vrije weglengte λ in
verhouding tot de karakteristieke afmeting d van het
systeemonderdeel waarin of waardoor het transport
plaatsvindt
Q Deze verhouding staat bekend onder de naam
kengetal van Knudsen:
Knudsen

Q Kn << 1 ) we spreken van `hoge' druk; het gas wordt `dicht'

genoemd en gedraagt zich als een continu medium;
medium gasstroming
onder deze omstandigheden heet `viskeus'.
viskeus'
Q Kn >> 1 ) we spreken van `lage' druk; het gas wordt `verdund'
genoemd en gedraagt zich als een systeem van losse moleculen
zonder interactie;
interactie gasstroming bij lage druk noemen we `(vrij)
vrij
moleculair'
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 27
Transportverschijnselen bij hoge druk

∂ ∂ ∂
met: ∇ = + +
∂x ∂y ∂z

G is een fysische grootheid (energie, impuls, massa)

het bijbehorende transport van G noemen we ΓG

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 28

Transportverschijnselen: Viscositeit
η = viscositeitscoëfficiënt
Q Hoge druk (Kn << 1)

F = schuifkracht per eenheid van oppervlak

evenwijdig aan de stromingsrichting

du/dz = ter plaatse heersende snelheidsgradiënt

z = coördinaat loodrecht op stromingsrichting

Nauwkeuriger:

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 29

 Viscositeit
Q Lage druk (Kn >> 1)

moleculaire viscositeitscoëfficiënt:

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 30

 Thermomoleculaire gasverplaatsing
λ << d: drukken
aan weerszijden
opening gelijk:

λ >> d: deeltjesstroom naar links en rechts door

opening gelijk:

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 31

 Warmtegeleiding bij hoge druk
Q Hoge druk (Kn << 1)

Afwijkingen t.g.v. correlatie en transportsnelheid !!

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 32

Warmtegeleiding bij hoge druk

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 33

 Warmtegeleiding bij lage druk
Q Kn >> 1

Ga na dat bij constante κ geldt, dat Λm

! redelijk goed evenredig is met m-½
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 34
Accommodatiecoëfficiënten

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 35

 Diffusievergelijkingen van Fick
Q 1e diffusievergelijking van Fick:
Q 2e diffusievergelijking van Fick:

Met hulp van continuïteitsvergelijking:

Waarbij:

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 36

 Zelfdiffusie

Q Ga na, D bij constante temperatuur evenredig is met

! X p-1
X m-½

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 37

Wederzijdse diffusie

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 38

Wederzijdse diffusie

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 1/ 39