8. A Fraunhofer-féle elhajlás. Fraunhofer-féle elhajlás résen, kör alakú nyíláson.

Az
optikai leképezés hullámelméletéről. Az optikai eszközök feloldóképessége. A
fotolitográfia optikai problémái.

Fraunhofer 1814-ben találta föl a spektroszkópot. Használata során fedezte föl a Nap színképének 574 sötét vonalát.
Ezekről később kimutatták, hogy atomos anyagok elnyelési vonalai. E vonalakat azóta is Fraunhofer-vonalaknak
nevezik.

A Fraunhofer-féle elhajlás:
A Fraunhofer-féle elhajlás esetében a fényforrás és a fényfelfogó ernyő végtelen távolságát a gyakorlatban úgy
alakítják ki, hogy a pontszerű fényforrást gyűjtőlencse fókuszába helyezik, illetve a fényfelfogó ernyőt egy
másik gyűjtőlencse fókuszsíkjába teszik.
Keskeny résen áthaladó, párhuzamos és a rés síkjára merőleges fénynyaláb egy része eltérül eredeti irányához
képest és fényelhajlás jön létre. Ha az ernyő és a rés L távolsága jóval nagyobb a rés méretéhez képest, akkor a

kapott intenzitáseloszlás minimumhelyeinek a főmaximumtól mért xn koordinátái a következők: ,

ahol n ϵ Z\{0}
λ=(632.8 ± 0.1)nm, a lézerfény hullámhossza, pedig a rés szélessége. Tehát ha megmérjük a minimumok
helyeit és n függvényében ábrázolva meghatározzuk a pontokon átmenő egyenes m meredekségét, akkor

ennek segítségével a rés szélessége:

Fényelhajlás résen

Fényelhajlás kör alakú nyíláson

Az optikai leképzés hullámelméletről

A geometriai optika keretében egy tárgypont képét sugarak segítségével határozzuk és szerkesztjük meg.
Bármilyen hasznos következtetési segédeszközök is a sugarak, az optikai leképzés mélyebb és pontosabb
megértése a fénynek csakis a hullámtulajdonságai alapján lehetséges. Emlékeztetünk itt a vizihullámokkal
végzett egyik kísérletre, amikor is görbült, pl, parabola alakú falra síkhullámokat bocsátunk. Ekkor
visszaverődés után a hullámfelületek is meggörbülnek, s egy pont körül összezsugorodnak. Ezt a pontot a
parabola tengelyének irányában elhelyezkedő végtelen távoli pont képének foghatjuk fel. Ugyanígy kel
elgondolkodnunk az optikában is a visszaverődéskor fellépő képek keletkezését. A törésnél is hasonló a helyzet.
Belátására képzeljük azt, hogy egy bikonvex lencsét, amelynek mellső gömbfelületre r sugarú, világítson meg
egyszerűség kedvéért a t tengelymeneti távolságból egy P monokromatikus fényforráspont. Ekkor bizonyos,
hogy a P ből kiindult gömbhullámok megtörve a lencsében sík hullámfelületek alakjában folytatják
vonulásukat.

Az optikai eszközök feloldóképessége:

A technológia tökéletesítésével az anyag egyre kisebb léptékű szerkezetét sikerült megismerni, amíg ki nem
derült, hogy a mikroszkóp feloldóképessége is véges, bizonyos méretnél kisebb távolságokat nem lehet
megkülönböztetni vele.
Két különálló pontszerű tárgyat az optikai eszköz felbont, ha a képeik megkülönböztethetők. A leképezési
hibák és az elhajlás miatt még a pontszerű tárgyak képe sem pontszerű, így a felbontásnak határa van, vagyis a
felbontott tárgypontoknak egy bizonyos távolságnál nem szabad közelebb lenniük.
A mélységélesség az optikai tengely mentén, a feloldóképesség erre merőlegesen jellemzi a felbontás határát.
Minél nagyobb a két érték, annál közelebb vannak a felbontás határán lévő pontok.
Feloldóképesség
fényérzékeny rétegnek, nyomóformának, ill. technológiáknak az a tulajdonsága, hogy mennyire képes
egymáshoz szorosan közelfekvő képelemeket különállóan rögzíteni. Mértéke azoknak az 1 mm-re eső
vonalaknak a száma, amelyek még szétválaszthatóan jelennek meg a különböző vastagságú negatív és pozitív
vonalakat tartalmazó tesztskálán. Az egész reprodukciós folyamat feloldóképességét a legrosszabb
feloldóképességű folyamattag ha-tározza meg. A részletvisszaadás egyik tényezője, a másik tényező a részletek
fedettségkülönbsége.

Valamely optikai műszer azon képessége, hogy valamely szemlélt tárgynak két, egymáshoz igen közel eső
részéről élesen elkülönített képeket adjon. A két rész távolsága annál kisebb lehet, tehát a F. annál nagyobb,
mennél nagyobb a numerikus apertura. Ez Abbe szerint a lencsére eső sugárkúp fél nyílásszöge sinusának
szorzata a közeg törésmutatójával. Mivel a levegő törésmutatója = 1, az apertura értéke nem lehet egynél
nagyobb, ha a lencsét körülvevő közeg a levegő. Ha azonban a tárgyat folyadókba mártják, melynek
törésmutatója nagy értékű, akkor az apertura értéke az egységnél nagyobb lehet (most 1. 6-ig tudják fokozni) és
ezzel a F. igen növekedik. L. Immerziós lencsék.

Fotólitográfia optikai problémái:

A fotolitográfia egy olyan elektronikai gyártási eljárás, melyet főleg a félvezetőiparban, mikroelektro-nikában
használnak, például mikroprocesszorok gyártására. Az eljárás segítségével rendkívül kis méretű elektronikus
áramkörök készíthetők: az így készült vezetők vastagsága mindössze néhány tíz nanométer; ez az úgynevezett
„csíkszélesség”.
A régebbi, kisebb integráltsági fokú eszközöknél a megvilágításra egyszerű fénysugarakat használtak, mivel
azonban az alkalmazott hullámhossz határt szab a kialakítható szerkezet méretének, a nano-méretekhez közelítve
újabban a megvilágítást speciális optikai eszközökkel, lézerrel, röntgen- illetve gammasugarakkal valamint elektron-
és ionsugarakkal végzik, a minél kisebb méretek elérése érdekében. Az ezzel a módszerrel elméletileg elérhető
legkisebb méret 35 nm körül van, melyet a becslések szerint (lásd még: Moore-törvény) 2014-re érnek el. Ez alatt a
méret alatt technológiaváltásra lesz szükség