* Đây là hệ thống xử lí rãnh vi mô trên bề mặt bậc nhờ công nghệ modul quang học:

- Hệ thống bao gồm:

1. Hệ 3 thấu kính gồm 1 thấu kính lõm và 2 thấu kính lồi để xử lý tia sáng laser chiếu đến:

Tia sáng chiếu vào một điểm qua thấu kính

Vị trí điểm cuối của tia sáng sẽ thay đổi tùy theo vị trí của thấu kính lõm:
2. Hệ thống quang học lấy nét động:

Hệ thống quang học sử dụng nguyên tắc, kiểm soát tiêu điểm và khoảng cách của tia laser qua
thấu kính lõm khi tia laser được chiếu vào bề mặt không đều

3. Hệ thống quang học tìm tiêu điểm:

Bao gồm công cụ tìm tiêu điểm và cảm biến ảnh:
- Công cụ tìm tiêu điểm: xác định khoảng cách đo giữa bề mặt và tiêu điểm.
- Cảm biến ảnh: + Xác định xem có cần sửa tiêu điểm hay không.
 + Cảm biến hình ảnh và nội dung được hiển thị bởi các điểm đơn của cảm biến
Dựa trên nội dung được hiển thị bởi Cảm biến ảnh, bộ điều khiển sẽ điều chỉnh vị trí của thấu
kính lõm:

* Ứng dụng của hệ thống này:

- Có thể xử lí rãnh vi mô trên bề mặt bậc.
- Hệ thống này cũng có thể được sử dụng để tinh chỉnh kính hiển vi quang học.