24-Mar-23

Kỹ thuật màng mỏng

Thin film engineering
Giảng viên: Hoàng Văn Vương, PhD.
Viện: Khoa học và Kỹ thuật vật liệu

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

Nội dung
HUST – MSE

Chương 1. Tổng quan về kỹ thuật màng mỏng, ứng dụng

1.1. Các khái niệm cơ bản
1.2. Sự phân tách tạo bề mặt mới
1.3. Hình thái bề mặt vật liệu
1.4. Các dạng kỹ thuật màng mỏng
1.5. Lĩnh vực ứng dụng
Chương 2. Cơ sở lý thuyết khí động học
2.1. Khí động học quá trình
2.2. Quá trình vận chuyển chất khí
2.3. Hệ thống bơm chân không
Chương 3. Sinh mầm và phát triển mầm
3.1. Nhiệt động lực học quá trình màng mỏng
3.2. Các dạng khuyết tật cấu trúc màng
Chương 4. Phương pháp tạo màng lắng đọng pha hơi vật lý (PVD)
4.1. Kỹ thuật bốc bay
4.2. Phún xạ
4.3. Epitaxy
Chương 5. Phương pháp tạo màng lắng đọng hơi hóa học (CVD)
5.1. Quá trình CVD truyền thống
5.2. Quá trình CVD plasma tăng cường
Chương 6. Một số phương pháp chế tạo màng mỏng và vật liệu cấu trúc nano
6.1. Etching
6.2. Lithography
6.3. Graphene, carbon nanotubes (CNTs), phương pháp chế tạo và lĩnh vực ứng dụng
Chương 7. Các phương pháp phân tích đặc trưng màng mỏng
7.1. Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
7.2. Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
7.3. Kính hiển vi điện tử quét xuyên hầm (STM)
7.4. Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM)
7.5. Nhiễu xạ tia X phân giải cao (HRXRD)

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2. Cơ sở lý thuyết khí động học

HUST – MSE

Thuật ngữ cơ bản

• Chất rắn • Chất lỏng • Chất khí

- Mức độ sắp xếp cao - Mức độ sắp xếp gần
nhau không đều đặn
- Độ dịch chuyển kém
- Độ dịch chuyển dễ
- Hệ số độ nhớt cao
dàng
- Hệ số độ nhớt trung
bình
Hanoi University of Science and Technology
- Riêng biệt, không có sự
sắp xếp thường xuyên
- Độ dịch chuyển rất dễ
dàng
- Hệ số độ nhớt cực thấp
www.hust.edu.vn

1
 24-Mar-23

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

• Quá trình hình thành màng mỏng thông qua sự tiếp

xúc của pha hơi với chất nền. Do vậy, có quan hệ m
ật thiết với Nhiệt động học, động học chất khi và ph
ân tử.
• Trong đó nhiệt độ và áp suất là hai thông số quan tr
ọng chính của quá trình.
• Các phản ứng liên quan đến sự hình thành màng phả
i đáp ứng quy tác Nhiệt động học.

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Trạng thái cân bằng nhiệt động

• Trạng thái cân bằng giữa hai đối tướng khi tiếp xúc
nhau là không còn sự trao đổi năng lượng và cả hai
ở cùng một nhiệt độ xác định nào đó.
• Với khí lý tưởng, thỏa mãn mối quan hệ:
PV = nRT
Trong đó: P là áp suất, V là thể tích, T là nhiệt độ, n l
à số mole, R là hằng số khí lý tưởng (8,314 J/(mol.
K))

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Trạng thái cân bằng nhiệt động - Entropy

• Entropy (S) đánh giá mức độ trật tự của hệ.
• Đối với quá trình thuận nghịch, S được xác định bởi
trạng thái ban đầu và cuối của hệ:
f
dQ r
ΔS  
i
T
• Đối với hệ kín: S là hằng số.

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2
 24-Mar-23

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Định luật Nhiệt động học

• Định luật 0 (nguyên lý cân bằng nhiệt động): Nếu hai hệ có cân bằ
ng nhiệt động với cùng một hệ thứ ba thì chúng cũng cân bằng nhiệ
t động với nhau.
• Định luật 1 (nguyên lý thứ nhất): Độ biến thiên nội năng của hệ bằ
ng tổng công và nhiệt lượng mà hệ nhận được:
U  TS  PV
• Định luật 2 (nguyên lý thứ hai): Entropy của hệ kín sẽ luôn tăng (h
oặc giữ không đổi) và đạt giá trị lớn nhất khi hệ đạt đến trạng thái c
ân bằng nhiệt động.
• Định luật 3 (nguyên lý độ 0 tuyệt đối): Trạng thái của mọi hệ khôn
g thay đổi ở nhiệt độ 0 tuyệt đối.

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Năng lượng tự do Gibbs

• Năng lượng tự do Gibbs quyết định phản ứng xảy ra
hay không xảy ra:
G  H  TS
• G > 0 quá trình không xảy ra
• G < 0 quá trình xảy ra
• G = 0 hệ trạng thái cân bằng

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Phân bố Maxwell-Boltzmann
• Xét hệ đồng nhất không tương tác với nhau và nằm trong trạng thái cân bằng n
hiệt động ở nhiệt độ T.
• Hàm phân bố phân tử theo vận tốc được xác định như sau:
3
f là hàm phân bố phân tử
1 dn 4 M 2 2  M 2  theo vận tốc, . M là khối
f ( )    exp  
n d  2 RT  2 RT  lượng phân tử, R là hằng
số khí

vận tốc có xác suất cực đại

vận tốc trung bình

vận tốc bình phương trung bình

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

3
 24-Mar-23

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Phân bố Maxwell-Boltzmann

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Áp suất khí và quãng đường tự do trung bình

• Nếu quan niệm các phân tử là những hạt điểm thì thực chất chúng không thể v
a chạm với nhau, chỉ có thể va chạm lên thành bình để truyền xung lượng và t
ừ đó tạo nên áp suất.
2 2
x 1  nM 3RT nRT
F  nM  nM  
L 3 L 3L M L

F nRT nRT
P  
A AL V

PV  nRT or PV  Nk BT

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Áp suất khí và quãng đường tự do trung bình

• Khoảng cách trung bình giữa mỗi lần va chạm giữa cá
c phân tử gọi là quãng đường tự do trung bình.
• Giả sử phân tử có đường kính, d, dịch chuyển quãng đ
ường, l, mật độ phân tử trong thể tích l3, n. Tổng số va
chạm: 2
nd l
• Quãng đường tự do trung bình Mean Free Path (MFP):
l 1
MFP     Thực tế, tổng số lần va chạm
nd 2l nd 2
tăng lên 2. Do vậy:
• Đối với khí lý tưởng:
k BT More accurately
N P  MFP 
n  k BT
V k BT d 2 P MFP 
2d 2 P
Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

4
 24-Mar-23

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Áp suất khí và quãng đường tự do trung bình

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Dòng chất khí – Số Knudsen

L là kích thước buồng

chân không

Nhiều phân tử khí Dòng trượt/dòng Dòng phân tử tự do

trong buồng (dòng chuyển tiếp
liên tục)
Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.1. Khí động học quá trình

HUST – MSE

Độ nhớt
• Trong một buồng, các phân tử khí di chuyển với tốc độ khác nhau tạo ra lực c
ản lẫn nhau.
• Độ nhớt, ứng suất trượt và tốc độ trượt có mối quan hệ qua biểu thức sau:
trong đó, τ ứng suất trượt, u
vận tốc trượt theo phương v
uông góc với phương y and
η là độ nhớt.

• Trong chế độ đạn đạo, Kn > 1, các phân tử tử

dịch chuyển tự do, tương tác nhớt không xảy
ra

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

5
 24-Mar-23

2.2. Qúa trình vận chuyển chất khí

HUST – MSE

Dòng khí
• Dòng khí sẽ chảy khi có sự chênh lệch áp suất giữa các ph
ần khác nhau trong buồng khí.

Độ dẫn (Lt/s) phụ thuộc

vào hình dạng

Thông lượng

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.2. Qúa trình vận chuyển chất khí

HUST – MSE

Dòng khí – Độ dẫn

• Trong hệ gồm nhiều phần khác nhau, độ dẫn được xác định ph
ụ thuộc vào sự liên kết giữa các phần với nhau:
• Liên kết nối tiếp:

• Liên kết song song:

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.3. Hệ thống bơm chân không

HUST – MSE

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

6
 24-Mar-23

2.3. Hệ thống bơm chân không

HUST – MSE

Bơm cơ

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.3. Hệ thống bơm chân không

HUST – MSE

Bơm khuếch tán

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.3. Hệ thống bơm chân không

HUST – MSE

Bơm phân tử

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

7
 24-Mar-23

2.3. Hệ thống bơm chân không

HUST – MSE

Bơm Ion

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.3. Hệ thống bơm chân không

HUST – MSE

Bơm Ti Sublimation

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

2.3. Hệ thống bơm chân không

HUST – MSE

Bơm Cryo

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn

8
 24-Mar-23

2.3. Hệ thống bơm chân không

HUST – MSE

Hanoi University of Science and Technology www.hust.edu.vn