Vat Ly Sieu Am Va Ung Dung 1 4

TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
VIỆN VẬT LÝ KỸ THUẬT

BỘ MÔN QUANG HỌC VÀ QUANG ĐIỆN TỬ
Bài giảng
Vật lý siêu âm và ứng dụng
GV: Quản Thị Minh Nguyệt
Chương 1: Vật lý siêu âm
1.1. Khái niệm về siêu âm
1.1.1. Siêu âm là gì?
1.1.2. Các đặc trưng của quá trình truyền sóng
1.1.3. Các dạng lan truyền sóng âm
1.1.4. Vận tốc của sóng siêu âm trong các môi trường
1.1.1. Siêu âm là gì
gì??
a. Tần số
số:: f (Hz
(Hz))
b. Bước sóng
sóng::   v.T = v/f (m)
c. Vận tốc
tốc:: v (m/s)
trở:: Z = .v (kg/m2s) ( - khối lượng riêng kg/m3)

d. Âm trở
áp:: P= Z.a (N/m2) (a là tốc độ dao động của các hạt môi trường
e. Âm áp trường))
f. Cường độ
độ:: P 2 P.a (W/m2)
I 
2Z 2
g. Mức cường độ âm P 
I
L(dB)  10 lg  20 lg  
I0  P0 
1.1.3. Các dạng lan truyền của sóng âm
a. Sóng dọc hay sóng nén (Longitudinal or compressional waves)

waves)::
Longitudinal wave Direction of propagation
Direction of
oscillation
Phần tử dao động song song với phương truyền sóng

sóng..
Thu và phát dễ dàng (vận tốc lớn nhất
nhất))
Sóng phát ra từ biến tử đầu dò là sóng dọc
dọc..
b. Sóng ngang hay sóng trượt (Transverse or Shear waves)
Transverse wave Direction of propagation

Direction of oscillation
Phần tử dao động vuông góc với phương truyền sóng

VT = 0,55 VL
 Sóng ngang nhạy hơn sóng dọc khi kiểm tra vật liệu
c. Sóng mặt hay sóng Rayleigh (Surface or Rayleigh waves)
 VS = 0,9 VT chỉ lan truyền ở độ sâu đến 1 (ở đó E1=4%E0)

 Hạt chuyển động theo quỹ đạo ellip, trục chính vuông góc và trục
phụ song song với phương truyền sóng.
 Truyền được xa, nhạy với khuyết tật và đi vòng tới bề mặt khác.
d. Sóng Lamb hoặc sóng bản mỏng (Lamb or

plate waves or guided wave)
 Xuất hiện khi sóng bề mặt

được truyền vào một vật liệu có
chiều dày  3.
 Vận tốc vLamb phụ thuộc vào
vật liệu
liệu,, chiều dày vật liệu
liệu,, tần
số và dạng của sóng
sóng..


1.1.4. Vận tốc của sóng siêu âm
Trong đó
đó::
E – Modul Young (N/m2)
μ- Tỷ số Poisson
μ= (E
(E--2G)/
G)/22G
G – Modul đàn hồi trượt (N/m2)
– Khối lượng riêng (kg/m3)
330 m/s
Air 1480 m/s
Water
5920 m/s
Steel, long
Steel, trans 3250 m/s
1.1.1. Sóng âm là gì?
1.2. Sự lan truyền của sóng âm qua mặt phân cách hai môi trường
1.2.1. Sóng tới vuông góc với mặt phân cách hai môi trường
1.2.2. Sóng tới mặt phân cách hai môi trường dưới một góc nghiêng
1.2.3. Hiện tượng biến sóng
Hệ số phản xạ?
Hệ số truyền qua?
Sóng phản xạ Sóng tới (P, a)

P P
rp  1 Tp  2 (P1, a1 )
P P I (Z1)
- Điều kiện liên tục áp suất âm: II (Z2)

P2 = P + P1 Sóng truyền qua
- Điều kiện liên tục về tốc độ (P2, a2)
dao động các hạt môi trường:
a2 = a + a 1
- Mối quan hệ P và a:
Z1
P P1 P2 1
a a1   a2  P Z2 P2 2Z 2
Z Z1 Z2 rp  1  Tp  
P 1  Z1 P Z1  Z 2
Z2
1.2.2. Sóng tới mặt phân cách hai môi trường
dưới một góc nghiêng
Sự truyền năng lượng sang
môi trường thứ 2 chỉ xảy ra
đối với thành phần tốc độ
vuông góc: Sóng tới a1
an = acosα1 (P, a) a1n
an a
a1n = a1cosα1 α1 α1
I (Z1) Sóng phản xạ
a2n = a2cosα2
I (Z1) (P1, a1 )
Điều kiện biên liên tục
a1 n  a n  a 2 n II (Z2)
P1  P  P2 Sóng khúc xạ α2
(P2, a2 )
Z cos  2 a2n
1 1 a2
Z 2 cos 1
rp 
Z cos  2
1 1
Z 2 cos 1
Hiện tượng biến sóng là hiện tượng một sóng dọc (hay sóng ngang) có thể tạo ra
đồng thời sóng dọc và sóng ngang trong thành phần phản xạ và khúc xạ khi nó truyền
tới mặt phân cách hai môi trường dưới một góc nghiêng.
Định luật Snell: vT1

vL1
vL1
sin  sin  sin 
  α
VL1 VL 2 VT 2
I (Z1)
II (Z2)
β γ
VL2
VT2
VT1 VT1
VL1 VL1 VL1
VL1
α
α
I (Z1) I (Z1)
II (Z2) II (Z2) VS2

β
VT2
VL1 V L1
sin  th1  sin  th 2 
VL 2 VT 2
Nếu tiếp tục tăng góc tới hơn nữa với điều kiện môi trường II tiếp xúc với không khí
thì trên môi trường 2 xuất hiện sóng bề mặt và ta có góc tới hạn thứ 3:
VL
sin  th 3 
VS 2
Ví dụ: sóng siêu âm tới mặt phân cách thủy tinh hữu cơ (môi
trường I) và thép (môi trường II)
Vận tốc sóng dọc trong thủy tinh hữu cơ: VL1 = 2740 m/s
Vận tốc sóng dọc trong thép: VL2 = 5900 m/s
Vận tốc sóng ngang trong thép: VT2 = 3230 m/s
VL1 2740
sin  th1    0.464407:  th1  280
VL 2 5900
VL1 2740
sin  th1    0.848297:  th 2  580
VT 2 3230
Như vậy để trong môi trường thép chỉ tồn tại sóng ngang thì sóng
tới mặt phân cách hai môi trường dưới góc α phải thỏa mãn:
280    580
Một đầu dò góc có chùm tia phát với một góc 55o trong thép,
góc phát ra sẽ như thế nào nếu dùng nó kiểm tra nhôm? Biết
vận tốc sóng dọc trong nhôm là 6320 m/s, vận tốc sóng dọc
trong thép là 5940m/s, vận tốc sóng ngang trong nhôm là
3130 m/s, vận tốc sóng ngang trong thép là 3250m/s.
1.3. Tính định hướng của chùm siêu âm
1.3.1. Biến tử tròn
Chiều dài trường gần:
Dprobe là đường kính biến tử

Với Dprobe /λ >10 ta có:
-
Âm áp dọc theo trục truyền âm z:
P0 là âm áp tại bề mặt biến tử z = 0
Âm áp trong vùng trường xa:
Sprobe là diện tích bề mặt biến tử

Chiều dài trường gần tương đương của hai môi trường khác nhau
Chiều dài trường gần hiệu dụng:

Chiều dài trường gần hiệu dụng đối của sóng dọc phụ thuộc vào khúc xạ:
Âm áp theo trục x:
Isometric view
Âm áp trong vùng trường gần của biến tử tròn
Góc phân kỳ của chùm tia
1.3.2. Biến tử hình chữ nhật
Lprobe = Wprobe :
1.3.3. Hội tụ chùm siêu âm:
1.3.3. Hội tụ chùm siêu âm
- Hệ số hội tụ Sac:
Với: Fac: là tiêu cự thực

- Nếu định nghĩa tiêu cự quang học:
(R là bán kính thấu kính)
Thì hệ số hội tụ quang là
- Tại bất kỳ một điểm nào trên trục truyền âm ta luôn có Fac < Fopt
- Phân loại:
- Với Sac <0.6: Chiều sâu của trường dược xác định bởi công thức:
Đường kính của chùm tia:

Mối liên hệ giữa hệ số hội tụ và độ nhạy
1.4. Sự suy giảm của siêu âm trong môi trường
Cường độ
Khoảng cách
- Cường độ chùm tia siêu âm nhận bởi một biến tử thu sẽ nhỏ hơn
rất nhiều so với biến tử phát ra ban đầu
- Cường độ của sóng siêu âm sẽ suy giảm theo khoảng cách truyền
sóng:
Ix = Io. e-αx
trong đó α là hệ số suy giảm của sóng âm, x là khoảng cách truyền
sóng.
- Hệ số suy giảm:
α = αa + αs
αa là hệ số hấp thụ sóng âm của môi trường, αs là hệ số tán xạ
sóng âm.
Chương 2. Phương pháp tạo dao động siêu âm
Một số quá trình phát sóng âm: là quá trình chuyển đổi các dạng
năng lượng khác nhau thành dao động cơ học và ngược lại.
- Hiệu ứng áp điện
- Hiện tượng từ giảo
- Phương pháp âm điện từ (EMAT)
- Phương pháp nhiệt (laser-ultrasonic)
Chương 2-
2- Phương pháp tạo dao động siêu âm
2.1. Nguyên lý tạo dao động siêu âm
2.1.1. Hiệu ứng áp điện


Biến tử tinh thể áp điện:
Hiệu ứng áp điện thuận:
Đối với một số vật liệu điện môi (tinh thể, gốm sứ, polyme) không có
tâm đối xứng, khi tác dụng ứng suất, tinh thể không chỉ bị biến dạng mà
còn bị phân cực, độ phân cực P tỷ lệ với ứng suất đặt vào:
P = dσ
P (Polarization): Độ phân cực (pC/m2)
d (piezoelectric coefficient): hệ số áp điện (pC/N, m/V)
σ (stress): Ứng suất (N/m2)
Hiệu ứng áp điện ngược:
Khi đặt vật liệu áp điện vào trong điện trường thì vật liệu bị biến
dạng, biến dạng ε tỷ lệ thuận với điện trường E:
ε = dE
ε (Strain): Biến dạng
d (piezoelectric coefficient): hệ số áp điện (pC/N)
Thông số đặc trưng:
– d [C/N] = (charge developed)/(applied stress)

– g [V.m-1/N] = (Electric field developed)/(applied stress)
– h [m/V]=(Strain developed)/(applied E-field)
– e [N/V.m-1] = (Stress developed)/(applied E-field)
Hiệu ứng áp điện phụ thuộc vào định hướng
6
k = 1, 2, 3: biến dạng dọc;
 k   dik Ei k= 4,5,6: Biến dạng trượt;
k 1
 1   d 11d 21d 31 
   
 2   d 12 d 22 d 32  E1 
 3   d 13d 23d 33  E 
      2 
 4   d 14 d 24 d 34  E3 
  d d d   
 5   15 25 35   
  6   d 1 6 d 2 6 d 3 6 
Hiệu ứng áp điện phụ thuộc vào định hướng
6 i = 1, 2, 3
Pi   dik k k=1,2,3,4,5,6
k 1
i
Biểu thức chung:
Khi áp điện áp theo chiều dày (trục 3):
Khi tác dụng lực theo các trục 1, 2 và 3:

Phân loại biến tử áp điện:
- Nếu biến tử được chế tạo từ vật liệu đơn tinh thể trong đó hiện
tượng áp điện xảy ra một cách tự nhiên thì chúng được xếp vào loại
biến tử tinh thể áp điện.
- Nếu biến tử được chế tạo từ loại vật liệu mà hiện tượng áp điện
được tạo ra nhờ quá trình phân cực bên ngoài thì được xếp vào loại
biến tử gốm phân cực.
Biến tử tinh thể áp điện: Một vài loại vật liệu đơn tinh thể mà hiện
tượng áp điện xuất hiện một cách tự nhiên là thạch anh, tourmaline,
sulfate lithium, sufit cadmi và oxit kẽm. Trong đó, thạch anh và
sulfat lithium được dùng phổ biến để chế tạo biến tử siêu âm.
Z
a) Các tinh thể thạch anh tự nhiên hay
nuôi nhân tạo đều có một dạng định
Mặt cắt Y của
hình được biểu diễn bằng các trục tinh thạch anh X
thể bao gồm một trục X, Y và Z.

Y
Mặt cắt X của
thạch anh
a) Thạch anh
Ưu điểm:
- Khi dùng thạch anh làm biến tử siêu âm có độ bền cao,
- Không tan trong nước,
- Có độ ổn định cơ và điện cao,
- Có thể làm việc ở nhiệt độ cao
Nhược điểm:
- Tương đối đắt tiền,
- Hiệu suất phát năng lượng siêu âm thấp nhất.
- Chịu hiện tượng biến sóng: Khi một tấm cắt X được dùng thì
ngoài việc phát ra sóng dọc nó còn phát ra cả sóng ngang.
- Cần điện áp cao khi làm việc
b) Lithium Sulphate
Ưu điểm:
- Là phần tử thu năng lượng siêu âm có hiệu suất cao nhất
- Có thể sẽ được giảm chấn do âm trở nhỏ
- Ít chịu ảnh hưởng của hiện tượng chuyển đổi dạng sóng
Nhược điểm:
- Rất giòn, dễ vỡ
- Bị hòa tan trong nước
- Bị giới hạn nhiệt độ làm việc dưới 75oC
Biến tử gốm phân cực:
- Gốm BaTiO3 và gốm PZT( Pb(Ti,Zr)O3 ) là những loại thường được
sử dụng để chế tạo biến tử siêu âm.
-Vật liệu làm biến tử gốm phân cực là vật liệu ferro- điện, gốm ferro-
điện được chế tạo theo phương pháp thiêu kết, có cấu trúc đa tinh thể
phân chia thành các domain điện.
Biến tử gốm phân cực
Dịch vách domain
- Việc tồn tại ứng suất nội khá lớn (tùy thuộc vào phương pháp chế
tạo gốm) cho phép bảo toàn hướng ban đầu của các domain sau khi
ngừng tác dụng điện trường.
- Khi có một điện trường cùng hướng với hướng phân cực (nhỏ hơn
nhiều so với trường phân cực) được sử dụng, các domain có trục gần
trùng với hướng của điện trường sẽ dần dần dài thêm, ngược lại nếu
trường tác dụng ngược lại, các domain sẽ được tập trung hơn.
- Như vậy, phân cực đã phá hủy tính đối xứng của tinh thể. Hay nói
cách khác, sự không tồn tại của tâm đối xứng tinh thể là điện kiện
cần cho sự xuất hiện hiệu ứng áp điện.
- Độ phân cực dư của tinh thể tạo nên tính chất áp điện của gốm
Ưu điểm của biến tử gốm phân cực:
- Là các nguồn phát siêu âm có hiệu suất cao
- Có thể phát được siêu âm công suất lớn mà điện áp đặt vào không
cần lớn lắm. Ví dụ ở điện áp 100-300 V có thể nhận được cường độ
dao động siêu âm bằng của biến tử thạch anh ở 1000- 3000V.
- Các gốm áp điện có giá thành rẻ,
- Trước khi phân cực các biến tử gốm là đẳng hướng, chúng không
cần cắt theo một trục riêng biệt nào đó vì thế có thế chế tạo theo các
hình dạng khác nhau.
- Những đặc tính riêng biệt cần thiết cho những ứng dụng cụ thể có
thể được điều khiển bằng cách pha tạp.
Nhược điểm:
- Đặc tính áp điện có thể giảm theo tuổi thọ,
- Độ bền cơ học và độ bền nhiệt kém hơn thạch anh,
- Nhiệt độ Curie thường thấp hơn thạch anh.
- Tần số giới hạn là 10 MHz nhỏ hơn Thạch anh là 20MHz
2.1.2. Hiệu ứng từ giảo
Từ giảo là hiện tượng hình dạng, kích thước của các vật liệu sắt
từ bị thay đổi dưới tác dụng của từ trường ngoài (từ giảo thuận).
Ngược lại, tính chất từ của vật từ bị thay đổi khi có sự thay đổi về
hình dạng và kích thước (từ giảo nghịch).
(a) Joule effect, (b) Villari effect

Lịch sử phát triển của vật liệu từ giảo
(a) Schematic illustration explaining the Joule effect in a ferromagnetic material. (b)
Typical magnetostrictive curve-related magnetic field (H) and mechanical strain (S =
ΔL/L). (c and d) Illustrative strain histories when time-vary magnetic fields (HD) are
applied at O and B, respectively.
2.1.3. Công nghệ siêu âm- laser
2.1.3. Công nghệ siêu âm- laser
2.1.4. Phương pháp âm điện từ (EMAT)

Vat Ly Sieu Am Va Ung Dung 1 4

Uploaded by

Document Information

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Vat Ly Sieu Am Va Ung Dung 1 4

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI

VIỆN VẬT LÝ KỸ THUẬT

trở:: Z = .v (kg/m2s) ( - khối lượng riêng kg/m3)

a. Sóng dọc hay sóng nén (Longitudinal or compressional waves)

Phần tử dao động song song với phương truyền sóng

Transverse wave Direction of propagation

Phần tử dao động vuông góc với phương truyền sóng

 VS = 0,9 VT chỉ lan truyền ở độ sâu đến 1 (ở đó E1=4%E0)

d. Sóng Lamb hoặc sóng bản mỏng (Lamb or

 Xuất hiện khi sóng bề mặt

d. Sóng Lamb hoặc sóng bản mỏng (Lamb or

d. Sóng Lamb hoặc sóng bản mỏng (Lamb or

Sóng phản xạ Sóng tới (P, a)

- Điều kiện liên tục áp suất âm: II (Z2)

Định luật Snell: vT1

II (Z2) II (Z2) VS2

Chiều dài trường gần:

Dprobe là đường kính biến tử

P0 là âm áp tại bề mặt biến tử z = 0

Âm áp trong vùng trường xa:

Sprobe là diện tích bề mặt biến tử

Chiều dài trường gần hiệu dụng:

Với: Fac: là tiêu cự thực

Đường kính của chùm tia:

2.1.1. Hiệu ứng áp điện

2.1.1. Hiệu ứng áp điện

– d [C/N] = (charge developed)/(applied stress)

Khi áp điện áp theo chiều dày (trục 3):

Khi tác dụng lực theo các trục 1, 2 và 3:

thể bao gồm một trục X, Y và Z.

(a) Joule effect, (b) Villari effect

You might also like