FESEM 원리 및 활용

기술지원본부

김도영
 목 차

1. 기본적인 현미경학

2. SEM의 구조와 원리

3. SEM 각 부의 세부설명

4. SEM의 이미지 관계

5. 기본적인 진공이론과 펌프
 1. 기본적인 현미경학

1.1. 현미경의 분류

광학현미경
주사전자현미경(SEM)
전자현미경
투과전자현미경(TEM)

구분 광학현미경 주사전자현미경 투과전자현미경

광원 가시광선 전자선 전자선
매질 대기 진공 진공
렌즈 광학렌즈 자계렌즈 자계렌즈
 1. 기본적인 현미경학
1.2. 현미경의 분해능
v 파동성에 의한 자연적 분해능의 한계
회절현상에 의한 Airy 원반의 형성

Airy disk의 크기 ∝ 빛의 파장 (λ)

v 이론 분해능
현미경의 분해능 전자현미경의 파장
l=h/p
p = m· v
R =0.61λ / n·sinα
l = 1.23 / √V [nm]
 2. SEM의 구조와 원리

2.1. SEM의
SEM의 구조

Ø Column
§ 전자총 (Gun)
§ 집속렌즈 (CL)
§ 편향코일 (Scan)
§ 대물렌즈 (OL)

Ø Chamber
§ Sample stage
§ 신호검출기

Ø 영상처리장치
Ø 진공장치
Ø 제어장치
 2. SEM의 구조와 원리

2.1. SEM의
SEM의 원리
 3. SEM 각 부의 세부 설명
3.1. Electron Gun

W-hair pin type

열전자 방출형
LaB6 단결정형

종류

Cold FE-Gun type

전계 방사형
Thermal FE-Gun type
 3. SEM 각 부의 세부 설명

열전자 방출형

Ø 필라멘트(Cathode) (-)
: 열전자 방출

Ø Wehnelt
: 전자를 집속

Ø Anode (0V)
: 전자를 가속

전기적 Bias
Gun Bias
기계적 Bias
 3. SEM 각 부의 세부 설명

전계 방사형

Ø Field emission tip

: 전자가 방출되는 지점

Ø First anode
: Extraction anode, 전자의 방출 유도

Second anode
: Acceleration anode, 전자를 가속
 Electron Gun의 종류별 특성 비교

Beam Energy
Brightness Life Time Vacuum
Source Source Size Stability Spread Shape
(A/cm2 sr) (eV)
(hours) (torr)
(%)

Tungsten 105 30 ~ 100µm 1↓ 1~3 40~100 10-4

LaB6 106 5~50µm 1~2 1~2 200~1000 10-6

Cold 108~109 <5nm 5 0.3 10-10

>1000

Schottky 108 15~30nm 1~2 0.3~1.0 10-7

 3. SEM 각 부의 세부 설명
3.3. 시편
시편(specimen)
(specimen)
1) 전자
전자--시편 반응에 의한 발생 신호 종류
 4. SEM 이미지 관계

가속 전압
Electron probe 와
Probe current & diameter 시료 사이의 작용,
Operation
Technique..
Specimen tilt

Working distance & Aperture

 4. SEM 이미지 관계

4.1. 가속전압에 의한 영향
 4. SEM 이미지 관계

4.2. probe current & probe diameter

 4. SEM 이미지 관계
4.3. specimen tilt
 4. SEM 이미지 관계

4.4. working distance & Aperture size

 Aperture

Working distance
 5. 진공 이론과 펌프

5.1. 진공 기초
1) 진공의 정의
- 공간의 기체 압력이 대기압보다 낮은 상태
- A vacuum is a space from which air or other gas has been removed.
- A vacuum technology is the systematic study of scientific idea and
the application to produce reduced pressure environments.

2) 진공
진공(units
(units of vacuum)의
vacuum)의 단위
- 압력의 단위 ( P= F/A )
- c.g.s 기본단위

- M.K.S 기본단위
 5. 진공 이론과 펌프

3) 진공의 분류

진공도 압력범위(Pa)

Low Vacuum (저 진공) 105(대기압) > P > 3.3 x 103

Medium Vacuum (중간 진공) 3.3 x 103 > P > 10-1

High Vacuum (고 진공) 10-1 > P > 10-4

Very High Vacuum (강 고진공) 10-4 > P > 10-7

Ultra High Vacuum (초 고진공) 10-7 > P > 10-10

Extreme High (극초 고진공) 10-10 > P

Vacuum
 5. 진공 이론과 펌프

5.2. 진공 펌프
1) 펌프의 종류
 5. 진공 이론과 펌프
2) Rotary Pump (RP)
- 오일에 의해 흡입실내의 기밀과 윤활성 유지

- 회전에 의해 용적 배기 하여 펌핑

- 원리
로터의 회전 à 베인의 회전 à
흡입구로부터 가스 유입 à 베인과 회전자에
의해 압축 à 충분한 압력이 되면 가스 배기

- 장점
장점:: 신뢰성
신뢰성,, 유지에 유리
단점: 역류에 의한 oil contamination
단점:
 5. 진공 이론과 펌프

3) Diffusion Pump (DP)

-heater, jet assembly

- 원리
원리:: 운동량 전달

- 냉각장치
냉각장치:: 기체 등의 응축

- Baffle
: scattering 방지
 5. 진공 이론과 펌프

3) Turbo Molecular Pump (TMP)

- 블레이드의 고속 회전 à
운동량 전달 à 배기

-고정자
고정자:: baffle 역할

- 날의 각은 배출구쪽으로
갈수록 더 많이 기움
 5. 진공 이론과 펌프

4) Sputtering Ion Pump (SIP)

- 전자의 기체분자와의 충돌 à 기체 이온화

- 이온화된 기체 à cathode
cathode로
로 가속
- Ti target (cathode) 표면으로부터
Ti 원자 배출
배출(ejection)
(ejection)
- Ti getter pumping
Ti + O2 à TiO2
3Ti + 2N2 à Ti3N4
Ti + C à TiC
Ti + 2H2 à TiH4
5. 진공 이론과 펌프
Specifications(JSM-7100F)
감사합니다.