Thông tin và 1 số link bài báo về Thermal Actuator.

1. (đã tải file)

Link: https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/4542732
Bài báo này trình bày mô hình của một thiết kế mới của bộ vi phản ứng nhiệt cao phân tử
với một khung silicon hình uốn khúc được nhúng. Thiết kế có khung xương được nhúng
trong một khối polyme. Khung nhúng cải thiện truyền nhiệt đến polyme và củng cố nó.
Ngoài ra, khung bên này còn ràng buộc polyme để hướng sự giãn nở nhiệt thể tích của
polyme theo hướng truyền động. Cấu trúc hình học phức tạp và thành phần nhiều vật liệu
của thiết bị truyền động làm cho việc mô hình hóa của nó trở nên rất quan trọng. Trong
bài báo này, trọng tâm chính là phát triển các mô hình điện nhiệt và nhiệt dẻo gần đúng
để nắm bắt bản chất của hoạt động của cơ cấu chấp hành.
2. (đã tải được file)
Link:
https://www.researchgate.net/publication/3330417_Polymeric_Thermal_Microact
uator_With_Embedded_Silicon_Skeleton_Part_II-
Fabrication_Characterization_and_Application_for_2-DOF_Microgripper
Tóm tắt — Bài báo này trình bày việc chế tạo, mô tả đặc điểm,
và ứng dụng của một thiết bị vi phản ứng nhiệt điện nhiệt cao được xếp chồng lên nhau
một cách mới lạ silicon-polymer. Bộ truyền động bao gồm một cấu trúc khung silicon sâu
với một bộ gia nhiệt nhôm màng mỏng ở trên và polyme đầy trong rãnh giữa các phần
silicon thẳng đứng.
Việc chế tạo dựa trên quá trình khắc ion phản ứng sâu, nhôm sputtering, lấp đầy SU8 và
ăn mòn KOH. Bộ truyền động dài 360 µm, rộng 125 µm và dày 30 µm. Nó tạo ra chuyển
động tịnh tiến trong mặt phẳng lớn tới 9 µm ở điện áp điều khiển 2,5 V sử dụng mức tiêu
thụ điện năng thấp và nhiệt độ hoạt động thấp. Một microgripper 2-D mới lạ dựa trên bốn
bộ truyền động chuyển tiếp như vậy được giới thiệu. Các hàm của microgripper có thể
được di chuyển dọc theo cả trục x- và y lên đến 17 và 11 µm, tương ứng. Microgripper có
thể nắm lấy một vi mô có đường kính từ 6 đến 40 µm. Ngoài ra, thiết kế được đề xuất
phù hợp để quay vật được kẹp theo cả chiều kim đồng hồ và ngược chiều kim đồng hồ.
3. (chưa tải được file nhưng có thể xem trực tiếp)
Link:
https://books.google.com.vn/books?
id=yDCaDwAAQBAJ&lpg=PA415&ots=szTz0os1km&dq=thermal
%20microactuator%20review&lr&pg=PA415#v=onepage&q=thermal
%20microactuator%20review&f=false
Mục 16: Thermal microactuator, về design, modeling, fabrication, Characterization,
reliability.(có file đã cắt, Quân gửi)

4. (Đã tải được file)

Link:
D:\Learn\Học_kỳ_20221\MicroRobotics\.pdf
the effects of mechanical stress on thermal microactuator performance
(ảnh hưởng của ứng suất cơ học lên hiệu suất của vi cơ cấu nhiệt)
5. (đã tải đc- azaman…)
Link: D:\Learn\Học_kỳ_20221\MicroRobotics\azman2017.pdf
https://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.5002498

Trọng tâm của nghiên cứu này là phân tích ứng suất và dòng nhiệt của bộ vi phản ứng
nhiệt với các loại vật liệu và thông số sử dụng phần mềm COMSOL Multiphysics. Mô
phỏng được thực hiện trên thiết bị truyền động nhiệt và tích hợp nó để hiệu quả hơn, chi
phí thấp và tiêu thụ điện năng thấp. Trong mô phỏng này, Thiết bị truyền động hình chữ
U được thiết kế và năm vật liệu khác nhau của thiết bị phản ứng siêu nhỏ đã được nghiên
cứu. Kết quả cho thấy rằng Si Polycrystalline là vật liệu thích hợp nhất được sử dụng để
sản xuất thiết bị truyền động nhiệt để thương mại hóa.