유지 보수 지침 KO

원래의 번역

ASM 390 - ASM 392

리크 디텍터
목차

목차
1 본 설명서에 대하여 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 적용 범위. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1.1 참고자료 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 개념 정의. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1 안전 지침 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 그림 기호 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.3 지침 / 약어 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4 라벨 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2 안전 및 유지 / 보수 사항 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 안전 조치. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.2 보호 장구. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3 유지 / 보수 준비. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.4 필요한 도구 및 소모품. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3 정비 주기 및 정비 담당 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.1 유지 / 보수 시간 모니터링 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 정비 / 교체 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1 세척 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.2 디텍터 내부 부품의 방수 테스트 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.3 작업대와 전면 커버의 분해 / 재조립 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.3.1 작업대 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.3.2 전면 커버 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.4 내부 교정용 리크 교체. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.4.1 설정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.5 분석관 유지 / 보수 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.5.1 분리 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.5.2 씰 교체 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.5.3 필라멘트 교체 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.6 통풍기 유지 / 보수 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.6.1 위치도 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.6.2 공기흡입 통풍기 교체 (V1) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.6.3 공기배출 통풍기 교체 (V2) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.7 필터 유지 / 보수. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.7.1 진공 블록 에어필터 교체 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.7.2 벤트필터 교체 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
4.8 Pirani 게이지 교체 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5 사용 중지 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.1 장시간 사용 중지 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.2 폐기처리 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.2.1 유해물질 제한지침 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.2.2 전기 · 전자제품 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6 에러 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.1 결함이 발생했을 경우 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.1.1 경고 / 결함 알림 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.1.2 경고 / 결함 창 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.1.3 경고 / 결함 리스트 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.2 고장 해결 가이드 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.2.1 프로그램 설치 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.2.2 프로그램 참고하기 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
7 서비스 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
8 교체품 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
8.1 필요한 도구 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
8.2 나타냄 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
8.3 환기구 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
8.4 전기 공급. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
8.5 측정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

2
 목차
8.6 진공 블록. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
8.7 배기 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
8.8 파이프 - 연결관 - 씰 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
8.9 커버 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
8.10 부속품 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

3
본 설명서에 대하여

1 본 설명서에 대하여
1.1 적용 범위
본 유지 / 보수 매뉴얼은 제품고객을 위해 제작되었습니다 . Pfeiffer Vacuum. 본 매뉴얼은
해당 제품 사용자를 위해 제품 유지 / 보수 방법 을 소개하고 있습니다 . 본 매뉴얼은 동일
제품 사용 설명서와 함께 사용되어야 합니다 .
최신 유지 / 보수 매뉴얼은 www.pfeiffer-vacuum.com 에서도 참고 할 수 있습니다 .
본 매뉴얼 해당 모델 레퍼런스는 아래 같습니다 .
모델명 설명
CSGB01GxMM9x ASM 390
ESGB02GxMM9x ASM 392

1.1.1 참고자료
본 유지 / 보수 매뉴얼 참고 자료 :
사용 설명서
리크 디텍터 ASM 390/392 참고 번호 126348*
* www.pfeiffer-vacuum.com 의 웹사이트를 통해서도 이용할 수 있습니다 .

1.2 개념 정의

1.2.1 안전 지침
사용 설명서의 안전 지침 Pfeiffer Vacuum UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S2, ISO 3864 및
DIN 4844 인증 규격 준수 . 이 문서는 다음과 같은 위험 수준과 정보를 나타냅니다 .
위험
직접적인 위험
사망 또는 중상을 초래할 수 있는 직접적인 위험을 나타냅니다 .
경고
있을 수 있는 위험
사망 또는 중상을 초래할 수 있는 위험을 나타냅니다 .
주의
있을 수 있는 위험
가벼운 상해를 초래할 수 있는 위험을 나타냅니다 .
통지
금지 사항 또는 지침
행위에 대한 요청 또는 무시하는 경우 물적 손상을 초래할 수 있는 특성에 관한 정보
1.2.2 그림 기호
무시하는 경우 중대한 사고를 초래할 수 있는 위험원과 관련된 행동 또는
활동 금지

4
 본 설명서에 대하여
위험에 대한 경고

무시하는 경우 중대한 사고를 초래할 수 있는 위험원을 취급할 때의 행동

또는 활동 금지

제품 또는 본 문서에 대한 중요 정보

1.2.3 지침 / 약어
또는 작업 지시 사항 : 이 장소에서 작업하세요

[XXXX] 지정된 버튼을 눌러야 합니다 XXXX 제어판의

I/O 입 / 출력

4He 4 가 헬륨
3He 3 가 헬륨

H2 수소

1.2.4 라벨
접촉할 경우 전기 충격 위험을 나타냅니다 :
커버 제거 및 제품 사용 전에 전원 공급을 차단하세요 .

제품 접지점 위치를 파악하세요 .

Directive 2002/95/EC 에 따라 전자제품 및 부품 페기물 처리 대상

제품

그 외 라벨 : 사용 설명서 참고 .

5
안전 및 유지 / 보수 사항

2 안전 및 유지 / 보수 사항
2.1 안전 조치
정보제공의 의무
본 제품 유지 / 보수 담당자는 예외 없이 사용 설명서상 안전 수칙을 읽고 숙지하며
준수하여야 합니다 .
통지
법적 책임 제외 사항
Pfeiffer Vacuum 안전수칙 (EMC, 전기 주의 , 화학적 오염 ) 교육을 받지 않은 유지 / 보수
작업자에 의한 제품 손상, 작동 중지, 신체 손상에 대해 책임지지 않습니다. 이 경우 모든
손해 배상 청구권 및 품질 보증 청구권이 소멸합니다 .
경고
감전 위험
전압 및 전류로 인해 감전될 수 있습니다 . 본 제품 숙련자 및 허가자 외 작동
불가능합니다 .
회로 차단기를 O 로 둔 상태에서 절연 및 전기 회로공급장치를 잠그세요 .
유지 / 보수 개시 및 / 혹은 커버 분리 전 전원 플러그가 뽑혀 있음을 확인하세요 .
경고
다른 위험한 전력 공급과 관련되 위험
전기 회로 및 질소 등 가압회로 역시 잠재적 위험요소입니다 .
제품 사용전에 항상 이러한 에너지원을 차단해야 합니다
통지
디텍터 작업 / 관리
장치가 완전히 멈추기 전 제품 이동 혹은 유지 / 보수를 개시해서는 안 됩니다 . 차단기를
이 상태로 O 두고 , 아래와 같이 해야 합니다 :
전력케이블의 플러그를 뽑아야 합니다 .
제품 작동 및 / 혹은 커버 제거 전 제어판 스크린이 완전히 꺼질 때까지 기다리세요 .
경고
설치품 누수에 관한 위험요소
정상적인 제품 사용을 위하여 출고시 제품 누수를 확인하였습니다 .
유지 / 보수 작업 후 누수 테스트를 반드시 실시하세요 .
● 전원이 없는 상태에서 5 분간 대기 후 유지 / 보수를 실시하세요 .
● 교체품 주문 시 제품 표기 라벨에 나타나 있는 모든 정보를 알려주시기 바랍니다 .
● 지역 안전 규범에 따라 모든 안전 및 위험 예방 수칙을에 준수해야합니다 .
● 모든 예방조치가 잘 시지행되는지 정기적으로 확인하세요 .
● 커버가 없으면 제품 전원을 켤 수 없습니다 .
● 당사 서비스센터로 제품 송부 시 Pfeiffer Vacuum 사후 서비스 절차를 읽은 신 후 당사
website 상 오염신고서를 작성하여 주세요 .
● 사후 서비스 센터로 제품 송부 시 원래 포장 상자를 이용하세요 . Pfeiffer Vacuum
제조사는 포장 불량으로 인해 운반 중 발생한 파손에 대하여 책임지지 않습니다 .

6
 안전 및 유지 / 보수 사항
2.2 보호 장구
어떠한 상황에서든 디텍터와 관련 부품을 다룰 때 개인보호장비를 착용해야 합니다 .
소비자는 작업자가 필요한 장비를 제공해야 합니다 : 이 장비는 정기적으로 체크 되어야
하며 공급자의 추천에 따라 사용되어야 합니다 .
경고
kg

낙하물에 의한 부상 위험
소모품 / 부속품 운반 혹은 제품 유지 / 보수 중 낙하물 혹은 미끄러진 물체에 의해 부상을
입을 위험이 있습니다 .
작은 부품도 항상 두 손으로 옮기세요 .
20kg 이상 부품은 리프팅 장치를 이용하여 이동시키세요 .
Directive EN 347 에 의거 강철토캡 안전화를 착용하세요 .
경고
고온 표면에 따른 위험
제품은 작업자의 안전에 열로 인한 위험이 수반되지 않도록 디자인되었습니다 . 하지만
작업환경은 고온으로 인해 사용자의 각별한 주의가 필요합니다 ( 표면 > 커버 내부
부품은 70°C).
제품을 사용하기 전에 열이 식은 상태를 기다려야합니다 .
Directive EN 420 에 따라 필요시 보호장갑을 착용하세요 .
주의
손가락이 끼일 위험
저장 탱크 커버를 다룰 때 손가락이 끼일 위험이 있습니다 .

2.3 유지 / 보수 준비
통지
디텍터 작업 / 관리
장치가 완전히 멈추기 전 제품 이동 혹은 유지 / 보수를 개시해서는 안 됩니다 . 차단기를
이 상태로 O 두고 , 아래와 같이 해야 합니다 :
전력케이블의 플러그를 뽑아야 합니다 .
제품 작동 및 / 혹은 커버 제거 전 제어판 스크린이 완전히 꺼질 때까지 기다리세요 .
디텍터를 분리하세요 / 설치 테스트용 : 블랭크오프 플랜지를 디텍터 흡입구에
설치하세요 (해당 부품은 제품과 같이 보내졌음. 요청 시 송부가능 부품
.
(사용 설명서의
챕터 참조 바람 ))

디텍터를 유지/보수 작업장으로 옮길 수 있도록 취급해주세요 취급

.
( 사용 설명서 챕터
참고 )
● 통풍이 잘되고 먼지 없이 깨끗한 곳
● 적합한 보호 장비
2.4 필요한 도구 및 소모품
디텍터 유지/보수에 필요한 도구는 유지/보수 도구 세트에 포함되어 있습니다. 유지/보수
작업에 따라 다른 도구 필요시 유상제공됩니다 .

7
안전 및 유지 / 보수 사항

교체품
제조사 순정제품 외 소모품으로 교체 혹은 사용 시 제품 안전에 심각한 위험을 초래할 수
있습니다 .
교체품은 반드시 Pfeiffer Vacuum 서비스 센터를 통해 구매 , 사용하시기 바랍니다 .
주문 레퍼런스는교체품 챕터에 나타나 있습니다 .
와 연락 및 제품 확인 정보 : 을 취하고 제품 확인하기 위해 Pfeiffer Vacuum ( 제품 표기
라벨 참고하세요 ).

8
 정비 주기 및 정비 담당

3 정비 주기 및 정비 담당
제품 정비 주기표의 유지 / 보수 level 1 과 level 2 는 본 매뉴얼에 나타나 있습니다 .
유지/보수 level 3은 Pfeiffer Vacuum 서비스 네트워크 기술담당자의 점검이 필요합니다.
Pfeiffer Vacuum.
실행 사용시간 레벨 (1)
장소 (2)

분석관

필라멘트 교체 필요시 I OS

벤트필터

벤트필터 교체 사용 상태에 따라 II OS

Pirani 게이지

설정화면 사용 상태에 따라 I OS
4,300 시간마다 ( 권장사항 )
교체 필요시 II OS

통풍기

통풍기 교체 필요시 II OS

교정용 리크

재교정 및 교환 2 년마다 II WS

리크 디텍터

점검 사용 상태에 따라 III OS/WS

4 년마다 ( 권장 사항 )

(1) 레벨 : (2) 현장 :
I = 사용자 OS = 현장
II = 기술직 혹은 숙련 사용자 WS = Pfeiffer Vacuum 서비스 센터 .
III = 서비스 센터

펌프의 유지 / 보수는 리크 디텍터의 점검 시에 행해집니다 .

3.1 유지 / 보수 시간 모니터링
주 펌프 및 터보 분자 펌프의 사이클 카운터는 사용자에게 유지 / 보수 작업을 수행해야
한다는 것을 경고합니다 유지 / 보수 메뉴 ).
( 사용 설명서의 참조

9
정비 / 교체

4 정비 / 교체
4.1 세척
보푸라기 없는 천으로 페인트 부분 , 프린트 부분과 라벨 스티커 부분이 손상되지 않는
제품을 사용해서 커버를 닦으세요 .
4.2 디텍터 내부 부품의 방수 테스트
점검할 내부 부품에 대해 방수 테스트를 수행하세요 ( 사용 설명서 참조 ).
4.3 작업대와 전면 커버의 분해 / 재조립

4.3.1 작업대
분리 뒷바퀴 브레이크를 걸어서 리크 디텍터를 고정하세요 .
주의
손가락이 끼일 위험
뒷바퀴에는 브레이크가 장착되어 있습니다 .
항상 발로 브레이크를 작동시키세요 . 절대 손을 사용하지 마십시오 .
리크 디텍터의 전원을 끄세요 ( 사용 설명서의디텍터 정지 ).
챕터 참조

흡입구 주위 플랜지를 분리하세요 .

저장 탱크의 커버를 들어 올리세요 .
고리 (1) 를 각각 작동하여 작업대의 잠금을 해제하세요 .

작업대 (2) 를 약간 들어 올린 다음 , 디텍터 (3) 를 뒤쪽으로 밀어서 분리합니다 (4).

10
 정비 / 교체

케이블의 길이가 충분히 길어서 , 제어판의 연결을 끊지 않고도 작업대를 분리할 수

있습니다 .

제어판의 연결 해제 ( 선택 사항 )

작업대가 디텍터에서 분리된 경우 , 사용자는 교정용 리크 또는 기타 서브 조립품에

기계적 작동을 적용해서는 안 됩니다 .
재조립 리크 디텍터의 전원을 끄세요 ( 디텍터 정지
사용 설명서의). 챕터 참조

프레임에 작업대를 수직으로 놓으세요 (4).

제어판의 케이블이 치워졌는지 확인하세요 . 제어판은 해당 지지대보다 최소 1m 이상
이동할 수 있어야 합니다 .
작업대를 디텍터 (3) 의 앞쪽으로 당겨 고정하세요 (2).
3 2
4
2

흡입구 주위의 플랜지를 다시 끼우세요 .

11
정비 / 교체
4.3.2 전면 커버
분리 먼저 작업대를 분리하세요 .
( 참조 4.3.1)

고리 (1) 를 각각 작동하여 커버의 잠금을 해제하세요 .

커버를 앞으로 당기세요 (2).

재조립 리크 디텍터의 전원을 끄세요 ( 디텍터 정지

사용 설명서의 챕터 참조).
전면 커버를 프레임에 놓고 , 디텍터 앞쪽으로 (1) 밀어서 고리를 각자 제자리에 (2)
고정시키세요 .

작업대를 다시 조립하세요 .
( 참조 4.3.1)

12
 정비 / 교체
4.4 내부 교정용 리크 교체
통지
내부 교정용 리크에 심각한 충격 흔적이 발견된 경우 교체하세요 .
교정용 리크를 조심해서 조작하세요 .

2
4
1

리크 디텍터의 전원을 끄세요 ( 디텍터 정지 ).

사용 설명서의 챕터 참조

작업대를 분리하세요 그리고 전면 커버를 분리하세요

( 참조 4.3.1) . ( 참조 4.3.2)

교정용 리크의 온도 센서(3)를 분리하세요. 교정용 리크의 온도 센서를 절대 해체하지

마세요 .
교정 나사 (2) 2 개를 풀되 빼내지는 마세요 .
교정용 리크 (1) 를 분리하도록 90° 돌리세요 .
교정용 리크를 교체하세요 .
그림과 같이 온도 센서 (3) 가 밸브 (4) 위로 가도록 교정용 리크를 90° 돌리세요 .
온도 센서 (3) 를 연결하세요 .
교정용 리크 설정값을 업데이트하세요. 스펙트로 메뉴 .
(사용 설명서 참조) (참조 4.4.1)

디텍터의 자동교정을 실행합니다 .

4.4.1 설정
교정용 리크를 교체할 때마다 교정용 리크 설정을 업데이트하세요
스펙트로 메뉴 .
( 사용 설명서
참조 )

교정용 리크 제품 표기 라벨 혹은 동봉된 교정용 리크 인증서에 있는 지시사항을 참고하여

환경 설정하세요 .
F-74000 ANNECY
S/N:FC15000123
P/N:119678
Value..: 1,3E-7 mbar.l/s ± 10 %
1,3E-8 Pa.m3/s ± 10 %
Calibration date...: 15-Jan-2015
Lost per year........: 2 %
Temperature........: 23°C
Temperature coeff: 3 % HELIUM CALIBRATED LEAK

그림 1: 제품 표기 라벨의 예

13
정비 / 교체
4.5 분석관 유지 / 보수
통지
청결유지
진공 내부 유지 / 보수 중 부품이 오염되어 가스가 새지 않도록 유의하세요 . 이를 피하기
위해 :
청결한 장소에서 유지 / 보수하세요 ( 깨끗하고 먼지없이 환기가 잘되는 곳 )
부직포를 이용하세요 .
여과된 dry air 로 부품의 먼지를 제거하세요
방진 비닐장갑을 끼세요 .
4.5.1 분리
경고
뜨거운 표면에 의한 화상 위험
작동중 일부 기계부속은 높은 온도까지 온도가 상승할 수 있습니다 . 디텍터가
방금전까지 사용되었다면 :
분석관 유지 / 보수 개시 전 15 분 디텍터 냉각 시간을 가지세요 .
Directive EN 420 에 따라 필요시 보호장갑을 착용하세요 .
유지 / 보수 메뉴에 따라 분석관에 공기를 불어 넣으세요 사용설명서 .
( 참조 )

리크 디텍터의 전원을 끄세요 ( 사용 설명서의 디텍터 정지챕터 참조).

작업대를 분리하세요 ( 참조 4.3.1)그리고 전면 커버를 분리하세요 .
( 참조 4.3.2)

분석관 핀 (1) 을 분리하세요 .

분석관 고정나사 (2) 6 개를 푸세요 .
손을 사용해서 분석관 (3) 을 수직으로 푸세요 .
2

3
1

그림 2: 분석관 제거

4.5.2 씰 교체
분석관과 관련된 작업을 할 때마다 (예 : 필라멘트 교체) 씰 상태를 확인하세요: 필요시
교체하세요 .

14
 정비 / 교체

그림 3: 씰 교체

디텍터에서 분석관을 분리하세요 .

( 참조 4.5.1)

씰 (3) 2 개를 교체하세요 . 절대 씰에 윤활유를 바르지 마세요 .

4.5.3 필라멘트 교체
통지
이리듐 필라멘트가 녹스는 것은 자연스러운 현상입니다 : 필라멘트를 손가락으로
만지지 마세요 .
디텍터에서 분석관을 분리하세요 .
( 참조 4.5.1)

고정나사 (4) 와 교체할 필라멘트의 와셔를 빼내세요 .

집게를 이용하여 고정 클립(5) 2개를 제거하세요 (필라멘트 교체품과 함께 새 고정클립
2 개가 제공됩니다 ).
필라멘트를 교체하세요 .
교체한 필라멘트의 횟수를 업데이트하세요 유지 / 보수 메뉴 .
( 사용 설명서의 참고 )

F2 F1 A 4
F1

5
A
그림 4: 필라멘트 분리

F1 설명서의 필라멘트 1
F2 설명서의 필라멘트 2

필라멘트 커넥터 (6) 가 나란히 직각으로 꽂혀 있는지 확인하세요 .

15
정비 / 교체

7
F1
4

8
6

그림 5: 필라멘트 위치

두 개의 centering® stop( 센터링 스토퍼 )(7) 에 맞춰서 그 자리에 새로운 필라멘트를

꽂으세요 . Torx 드라이버를 이용하여 필라멘트와 같이 배송된 나사 (4) 와 와셔를
조이세요 .
집게를 이용하여 고정 클립 (5) 을 잡으세요 : 고정클립은 필라멘트와 분석관 간의
전기접촉역할을 합니다 ( 그림 참고 : 고정 클립 장착 , 그림 A).
고정클립을 커넥터(6) 와 필라멘트 슬라이드(8) 위에 두세요 . 고정 클립 장착, 그림 B).
집게를 이용하여 멈출 때까지 고정클립 (5) 을 누르세요 ( 그림 참고 : 고정 클립 장착 ,
그림 C).
두 번째 고정 클립 장착 시 위의 세 가지 작업을 반복하세요 .
교체한 필라멘트의 횟수를 업데이트하세요 ( 사용 설명서 유지 / 보수 메뉴 .
참고 )

A B

D C

그림 6: 고정 클립 장착

16
 정비 / 교체
4.6 통풍기 유지 / 보수

4.6.1 위치도

V1
V2

그림 7: 통풍기 위치

V1 공기흡입 통풍기
V2 공기배출 통풍기

4.6.2 공기흡입 통풍기 교체 (V1)

리크 디텍터의 전원을 끄세요 ( 디텍터 정지
사용 설명서의 ).
챕터 참조

작업대를 분리하세요 그리고 전면 커버를 분리하세요

( 참조 4.3.1) .
( 참조 4.3.2)

퉁풍기 (V1) 에서 벨트 (1) 를 분리하고 , 그것을 격벽 (2) 안으로 통과시키세요 .

통풍기 (V1) 를 꺼내세요 .

3
4

V1 2 1

새 통풍기를 조립 방향 (3) 대로 놓으세요 .

– 화살표 (4) 는 공기가 흐르는 방향을 나타냅니다 .
격벽 (2) 안으로 통풍기의 벨트를 통과시키세요 .
통풍기를 고정시키세요 .
벨트 (1) 를 연결하세요 .
4.6.3 공기배출 통풍기 교체 (V2)
리크 디텍터의 전원을 끄세요 ( 디텍터 정지
사용 설명서의 ).
챕터 참조

작업대를 분리하세요 그리고 전면 커버를 분리하세요

( 참조 4.3.1) .
( 참조 4.3.2)

통풍기 (V2) 벨트 (1) 의 연결을 해제하세요 .

통풍기를 꺼내세요 .
새 통풍기를 조립 방향 (2) 대로 놓으세요 .
– 통풍기의 양쪽에 보호망 (3) 을 놓으세요 .
– 화살표 (4) 는 공기가 흐르는 방향을 나타냅니다 .
17
정비 / 교체
통풍기를 고정시키세요 .
(+),( -) 극을 맞춰서 통풍기 벨트 (1) 를 연결하세요 .

1
3

V2

3
4
V1

4.7 필터 유지 / 보수

4.7.1 진공 블록 에어필터 교체
4 1
2

리크 디텍터의 전원을 끄세요 ( 디텍터 정지

사용 설명서의 ).
챕터 참조

작업대를 분리하세요 그리고 전면 커버를 분리하세요

( 참조 4.3.1) .
( 참조 4.3.2)

튜브 (4) 를 분리하기 위해 필터 커넥터 (3) 를 풀어주세요 .

커넥터 (1) 와 커넥터 (2) 를 풀어주세요 .
분리 역순으로 새 필터를 설치하고 커넥터를 조여주세요 .

18
 정비 / 교체
4.7.2 벤트필터 교체

벤트필터 (1) 를 풀어 교체하세요 .

통지
오염 위험
벤트를 통풍이 잘되는 곳에 놔두면 안 됩니다 . 필터가 커넥터에 계속 있는지
확인하십시오 .

4.8 Pirani 게이지 교체

2

1
3
4

6
5
4

리크 디텍터의 전원을 끄세요 ( 사용 설명서의 디텍터 정지 ).

챕터 참조

작업대를 분리하세요 그리고 전면 커버를 분리하세요

( 참조 4.3.1) .
( 참조 4.3.2)

게이지 벨트 (1) 를 분리하세요 .

유지 볼트 (2) 를 풀어주세요 .
게이지 중앙의 CHc 나사 (3)( 디텍터와 함께 배송된 유지 / 보수 도구 세트에 들어있는
VHc 나사 ) 를 조입니다 .
CHc 나사 (3) 를 당겨 게이지를 빼내세요 .
새 게이지 (4) 를 놓으세요 .
– 새 게이지(4)를 삽입할 때, 게이지의 필라멘트(5)를 진공 블록(6)과 접촉하지 마세요.
유지 볼트 (2) 를 조이세요 .
게이지 벨트 (1) 를 연결하세요 .
누수 테스트를 수행하세요 .
( 참조 4.2)

게이지를 세팅하세요 : 사용 설명서의 내부 Pirani 게이지 교정챕터 참고 .

19
사용 중지

5 사용 중지
5.1 장시간 사용 중지
디텍터 사용 후 장시간 미사용 시 아래와 같이 권고합니다 :
장시간 미사용 시 사용설명서 장기 보관 를 참고로 순서에 따라 대비해 주세요 .
챕터

디텍터를 원래 포장상자에 넣거나 먼지 없는 곳에 보호 커버를 씌워 보관해 주세요 .

디텍터 재 가동 시, 사용 . 문제 발생 시 서비스 센터에
연락하세요 Pfeiffer Vacuum.
사용설명서의 챕터를 참고하세요

5.2 폐기처리
경고
환경보호
오염 방지 , 천연자원 낭비 절감 및 인체와 환경 보호에 관한 현행법에 따라 제품 혹은
부품을 폐기처분하세요 .
저희 제품은 재활용할 수 있는 여러 금속을 포함하고 있습니다 : 철 , 강철 , 스테인레스
스틸 , 주철 , 황동 , 알리미늄 , 니켈 , 구리 , PTFE, FEP.
제품 과정 중 오염을 발생시킬 수 있는 과정을 거친 제품과 접촉 한 부품은 각별한 주의가
요망됩니다 .
당사로 제품 송부 시 사후 서비스 절차를 읽은신 후 회사 website 상 오염신고서를
작성하여 주세요 .
질문사항은 당사 고객지원 센터 support.service@pfeiffer-vacuum.fr 로 문의하시기
바랍니다 .
5.2.1 유해물질 제한지침
Directive 2011/65/CE는 인체과 환경 보호를 위해 전기·전자제품 폐기물 친환경 처리 및
재활용을 위해 전기 · 전자제품 유해물질 사용제한에 관한 규정을 제시하고 있습니다 .
케이블 , 수리 , 재사용 , 업데이트 및 성능향상에 쓰이는 부품 등 유해물질을 포함한
전기 · 전자제품 제조사는 허용된 제한 내에서 제재 대상이 됩니다 .
5.2.2 전기 · 전자제품
전기·전자제품은 오염물질(전자카드, 건전기, 배터리, 액정, 콘덴서, 수은 등)을 포함하고
있습니다 . 오염물질 제거 및 재사용으로 천연자연과 전략물질 보호에 기여할 수
있습니다 .
본 제품은 전기 · 전자제품 폐기에 관한 규정에 포함되며 제품에 해당 로고가 찍혀
있습니다 .
전기 · 전자제품 회수에 관한 제조자의 책임은 아래에 판매된 "adixen" 혹은 "Pfeiffer
Vacuum" 이 찍혀 있는 제품에만 적용됩니다 Pfeiffer Vacuum:
– 전기 · 전자제품은 수명을 다한 제품 재활용에 관한 현행법에 적용됩니다
– 변형 , 부품 교체되지 않고 본래 부품을 이용한 전기 · 전자제품 세트 Pfeiffer Vacuum
배터리를 제외한 부품 및 하위 부품 포함 .

20
 사용 중지
프랑스 영토에서 판매된
제품
계약 없이 현행법 (R543-172 조항 및 환경법 ) 에 따라 판매된 모든 전자전기기기는
Pfeiffer Vacuum 는 프랑스 영토에서 전기 · 전자제품에서 발생한 폐기물 회수와 처리
관련 기관 및 비용을 부답합니다 Pfeiffer Vacuum
의무사항을 이행하기 위해 Pfeiffer Vacuum Récylum 에 가입한 전기 · 전자제품에서
발행한 폐기물 수집 및 재처리 비용을 부담합니다 . 본 자발적 동의를 이용하여 프랑스
영토 내 규정에 포함되는 전기 · 전자제품 소유자는 간단한 무상 재처리 해결책을이용할
수 있습니다 .
수거에 관한 해결책을 알기 원하신다면 고객에게 더 적합한 수집해결책을 제시할
Récylum 을 방문하세요 : www.recylum.com.
자세한 사항은 사이트에 게시되어 있는 일반거래조항을 참고하여 주세요 Pfeiffer
Vacuum.
프랑스 영토 외 지역에서
판매된 제품
계약 없이 Directive 2012/19/CE 에 따라 판매된 전기 · 전자제품처리는 Pfeiffer Vacuum
프랑스 외 (EU 및 제3국)의 경우 판매된 전기·전자제품 소유자는 전기·전자제품 폐기물
처리 및 폐기 비용 및 관련 기관 비용을 부담해야 합니다 Pfeiffer Vacuum.
소유자는 수집 (처리장소로 운반 위한 폐기물 수집, 분리, 및 보관), 재사용, 회수 그리고/
혹은 폐기처리 비용을 부담해야 합니다 . 사용자가 거주하는 국가에서 해당 의무사항이
상반되고 이를 알렸을 경우 제외됩니다 Pfeiffer Vacuum 소유자에 의해

21
에러

6 에러
6.1 결함이 발생했을 경우

그림 8: 경고에 대한 표준화면 [i Next]

6.1.1 경고 / 결함 알림
결함사항을 보기 위해 버튼을 누르세요 .
1 레벨 1: 경고
유지 / 보수 정보를 보기 위해 [i Next] 를 누르세요
2 레벨 2: 중요 결함 : 측정 오류
결함 내용을 확인하려면 [i Next] 혹은 [ ! ] 를 누르세요 .
3 레벨 3: 치명결함 : 테스트 불가능
결함 내용을 확인하려면 [i Next] 혹은 [ ! ] 를 누르세요 .
4 레벨 4: 결함 서비스 : 일시적 결함
저장사항에 의한 결함 : 화면에 나타나지 않음 .
5 레벨 5: 경고
디텍터가 정상적인 작동 상태가 아닙니다 .
결함사항을 보기 위해 [i Next] 혹은 [i] 를 누르세요 .

6.1.2 경고 / 결함 창
설명

3
1 2

4
그림 9: 경고 창

1 결함 리스트 : 최대 5
2 결함 코드 RS-232
3 결함 내용
4 경고 및 결함 삭제 : 사용자의 작업이 필요한 결함의 경우 결함 원인이 해결될까지 결함사항이 화면에서
없어지지 않습니다 .

6.1.3 경고 / 결함 리스트
레벨 1~5 설명 ( 참조 6.1.1).

22
 에러

레벨 결함 코드 정보
1 e40 Rough. Pump Failure ( 초기진공 펌프 불량 )
e59 loss of cal test mode ( 교정테스트 모드 실패 )
e93 Dynamic calib. failure ( 시스템 보정 실패 )
w60 Sensor Type/Connector ( 프로브 타입 또는 연결 상태 확인 )
w145 Maintenance Requested ( 유지 / 보수 필요 )
w150 Primary Pump Service ( 초기진공펌프 수리요망 )

w155 Roughing Pump Maint. ( 저진공펌프 수리요망 )

w160 secondary pump service ( 고진공펌프 수리요망 )
w180 2A wire change (2 번 필라멘트 교체요망 )
w181 1A wire change (1 번 필라멘트 교체요망 )
w182 No output on wire 2 ( 필터 2 전류뷸량 )
w183 No output on wire 1 ( 필터 1 전류 불량 )

w202 Press Zero& Spray He (Zero 를 누르고 He 분사 )

w211 Select manual calib. ( 매뉴얼 교정 필요 )
w235 Autocal request ( 교정 필요 )
w240 Autocal Request ( 교정 필요 )
w242 Internal Pirani to set ( 내부 피라니 게이지 교정 불량 )
w245 Temp. Too high ( 온도가 너무 높음 )

w249 Check Lithium batt. ( 리튬 배터리 확인 )

w 250 Adjust Date and Time ( 날짜 시간 조정 )

2 e50 zero cell. unstable ( 분석관 영점 정지됨 )

e56 residual problem ( 헬륨백그라운드 문제 )
e57 sensitivity low ( 감도 낮음 )
e58 sensitivity too high ( 감도 너무 높음 )
e65 residual too high ( 내부 압력 높음 )
e70 poor PIC ( 최대값 맞춤 오류 )
e80 calibrated leak year Er. ( 교정 리크 년도 오류 )
e85 Temp. too high ( 온도높음 )
e89 loss of power ( 배출 불량 )
e95 cell zero limits ( 분석관 영점 제한 )
e96 Fault in Autocal + 2nd code ( 두번째 code 자동 교정 실패 )
e97 Temperature Too High ( 온도가 너무 높음 )
e98 Temperature Too Low ( 온도가 너무 낮음 )
e160 LDS Probe Clogged ( 스니퍼 프루브 막힘 )
w220 Filament not active ( 필라멘트를 끄시오 )
3 w215 Background too high for Test ( 최대 배경 값 높음 )
w241 Autocal requested ( 교정 필요 )
w244 VHS not calibrated ( 분석관 초기 값을 조정 )
e188 speed cell pump ( 고진공펌프 속도 )
e192 power fault wire ( 필라멘트 전류 높음 )
e194 short-circuit wire 2 (2 번필라멘트 콜렉터 단락 )
e195 short-circuit wire 1 (1 번 필라멘트 콜렉터 단락 )
e205 fault primary pump (Primary 펌프 불량 )
e206 ACP temp. too high ( 드라이펌프 (ACP) 의 온도가 높습니다 )
e210 Primary Pump Fault (Primary 펌프 불량 )
e220 no V AC power ( 콜렉터 전압 없음 )
e224 -15V cell problems ( 분석관 -15V 불량 )
e230 HS filaments (12 번 필라멘트 불량 )
e231 No output on wire 1 and 2 (열전자 방출 불능 Fil #1,2)
e235 cell pressure > 1e-03 Mbar ( 분석관압력 >1e-03mbar)
e238 No cell com. ( 분석관 연결 불량 )
e239 no pump cell com. ( 고진공펌프 응답없음 )
e241 cell own speed ( 고진공펌프 속도 )
e243 EEPROM fault (EEPROM 불량 )
e244 Sec. pump #2 Fail. ( 보조펌프 ( 터보 ) 문제 발생 )
e245 cell pump fault ( 고진공펌프 불량 )
e247 Check ATH connection (AMP 연결을 확인하시오 )
e251 +15V cell problems ( 분석관 + 15 V 불량 )
e252 24V cell problems ( 분석관 24V 불량 )
e253 ram timekeeper hs ( 시간계수 RAM 불량 )
e255
nd
Critical fault +2 code ( 오류발생 + 2nd 코드 )
4 e180 no electrical current; ( 배기 실패 )
e185 triode SECU active ( 분석관 내부 오류 )
e75 PIC not found ( 최대값 찾음 오류 )
e99 24V DC problems (24V DC 불량 )
w203 calibrated leak External ( 외부 교정 리크 )
w205 shutdown of Autocal ( 자동 교정 미완료 )

23
에러
레벨 결함 코드 정보
5 W97 Temperature Too High ( 온도가 너무 높음 )
W98 Temperature Too Low ( 온도가 너무 낮음 )
W230 Autocal request ( 교정 필요 )
W255 Outside start-up conditions ( 디텍터의 외부환경이 적합하지 않습니다 )

6.2 고장 해결 가이드
본 고장 해결 가이드는 디텍터 혹은 제어반에 고장 신호 발생 시 해결방법을 제시하고
있습니다 .
특별히 고안된 상호 작용 응용 프로그램을 통해 기술자료를 사용할 수 있습니다 .
6.2.1 프로그램 설치
컴퓨터에 사용 설명서 CD( 또는 USB 플래시 드라이브 ) 를 넣습니다 .
프로그램을 실행시킵니다 ( 예 : "ASMxxx" 혹은 "ASIxx").
USB 플래시 드라이브 : “ASMxxx.html” 파일을 더블 클릭하세요 .
언어를 선택하세요 .
응용프로그램 'Troubleshooting (” 고장해결 가이드 ”) 을 선택하세요 .
컴퓨터에 프로그램을 설치하세요 .

그림 10: 예 : ASM 340 프로그램을 선택하세요

6.2.2 프로그램 참고하기

‘Troubleshooting’ (’ 고장해결 가이드 ’) 로 바로 가기 위해 컴퓨터에 단축키를 만드세요 .
‘Troubleshooting’ (’ 고장해결 가이드 ’) 프로그램 실행하세요 .
검색 언어 (1) 를 선택하세요 .
제품과 적절한 키워드 (2) 를 선택하세요 .
찾기 (3) 를 실행하세요 .
24
 에러
증상 (4) 을 선택하세요 : 해당 증상에 대한 원인과 진단이 나옵니다 (5).
1

25
서비스

7 서비스
Pfeiffer Vacuum 은 여러분께 최상의 사후 서비스를 제공합니다 !
● 여러 제품을 위한 사이트의 유지 / 보수
● 집 근처 서비스 센타 점검 / 보수
● 새것과 같은 표준교환제품으로 빠르게 교체
● 가장 효율적이고 빠른 해결책을 조언
더 자세한 정보 , 주소와 형식은 다음 주소에서 참고 :
www.pfeiffer-vacuum.com (Service).
Pfeiffer Vacuum 서비스 센타에서 점검과 보수
다음 일반적 권고는 빠르고 질 높은 서비스 과정을 보장합니다 :
< 서비스 요청 > 폼을 작성하고 여러분의 지역 Pfeiffer Vacuum 대리점에 보내세요 .
발송 시 Pfeiffer Vacuum 에서 발급한 사후 서비스 보증서를 동봉하세요 .
오염 신고서를 작성하고 , 발송 시 꼭 동봉하셔야 합니다 . 오염 신고서는 베큠에 외부
부품을 포함하는 모든 제품 / 기기에 유효합니다 .
모든 액세서리를 분해하여 보관하세요 .
오염된 기기에 모든 포트 플랜지는 기존 보호 커버나 밀폐 메탈 플랜지를 사용하여
닫으세요 .
펌프 혹은 가능한 원래 포장돼 있던 기기를 보내세요 .
오염된 펌프 혹은 기기 발송
세균 , 폭발성 혹은 방사성 물질에 오염된 기기는 회수하지 않습니다 . < 독성 물질 > 위험
제품 규정에 기재된 화학 물질 및 부산물 입니다 .
펌프를 질소로 세척하거나 공기 중 건조 시켜 중성화합니다 .
모든 밀폐부를 닫습니다 .
보호 필름에 펌프 혹은 기기 밀봉합니다 .
적당히 견고한 전송 컨테이너에 펌프 / 기기를 돌려보내고 아래의 적합한 전송 상태에
따라 보내세요 .
오염 신고서가 완전히 작성되지 않고 / 혹은 적절한 포장으로 불안전하여 반송된 펌프
혹은 기기는 전송자의 비용으로 오염 제거하거나 반송될 것입니다 .
교환 혹은 수리 제품
공장 작업 상황에 따라서 표준 교환 혹은 수리 제품이 정해집니다 . 고객이 특정 값으로
적용하여 사용 한것은 , 고객이 제품 값을 다시 바꿔야 합니다 .
애프터 서비스 주문
자사 사이트에 기재된 보수 및 유지의 일반 거래 조건에 따라서 모든 애프터 서비스
주문은 실행됩니다 .

26
 교체품

8 교체품
구매 가능한 교체품을 기능에 따라 분류 , 리스트 작성하였습니다 .
8.1 필요한 도구
Rep. Qté Désignation
Ref. Qty Designation
Accessoires de raccordement Teil Menge Beschreibung
Clé emmanchée
Connection accessories 1 1 Box-shank nut spinner
Verbindungzubehör Rohrsteckschlüssel mit Heft
Tournevis pour vis TORX® 6X35
2 1 Screwdriver for TORX® screw 6x35
Fuites calibrées Helium Handschrauben für TORX® Schrauben 6x35
Helium calibrated leaks Vis CHc M 4x80
3 1 Screw CHc M 4x80
Helium Testleck Edelstahlschraube CHc M 4x80
Vis CHc M 4x12
4 3 Screw CHc M 4x12
Edelstahlschraube CHc M 4x12
Rondelle
A037 4 5 3 Washer
Unterlegscheibe
Vis CHc M 3x6
5 6 4 Screw CHc M 3x6
Edelstahlschraube CHc M 3x6
13 6 7 4
Rondelle
Washer
7 Unterlegscheibe
Fusible 5 x 20 F1 6,3 A
8 2 Fuse 5 x 20 F1 6.3 A
Sicherung 5 x 20 F1 6,3 A
8 Clé six pans mâle de 2,5 mm
9 1 ø 2.5 Allen wrench
Innensechskantschlüssel 2,5 mm
Clé six pans mâle de 3 mm
10 1 ø 3 Allen wrench
Innensechskantschlüssel 3 mm
Clé six pans mâle de 4 mm
11 1 ø 4 Allen wrench
Innensechskantschlüssel 4 mm
Clé six pans mâle de 5 mm
14 12 1 ø 5 Allen wrench
Innensechskantschlüssel 5 mm
Joint cellule d’analyse 3G
13 2 3G Analyser cell O’ring
3G Zelle Dichtung
Tournevis ANXR 20X100
1 2 3 12 11 10 9 14 1 Screwdriver ANXR 20x100
Handschrauben ANXR 20x100

항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
A006 교정용 리크 어댑터 DN16KF 110715 1
A007 교정용 리크 어댑터 DN25KF 110716 1
A013 리듀싱 티 DN25/25/16KF 068269 1
A016 교정용 리크 + 밸브 1/3.10-6 DN25KF FV4610 1
A027 진공 실리콘 그리스 (100G 상자 ) 064600 1
A037 디텍터 유지 / 보수 도구 세트 3G 114718 1
A040 “Brucelles” 핀셋 115396 1

8.2 나타냄

B037

B042

27
교체품

항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
B037 제어판 3G 122446S 1
B042 제어판 케이블 3G - 5m 123909 1

8.3 환기구
C067

C066

C067
C163

항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
C066 통풍기 101094 1
C067 통풍기 보호망 120x120mm (101094) 056067 1 개별 판매
C163 통풍기 126790 1

8.4 전기 공급

C162 C161

항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
C161 전원 케이블 6m (15A) - 미국 126141 1
C162 전원 케이블 6m (16 A) - 유럽 126142 1

8.5 측정

E084
E025

E047

E053

항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
E025 알루미늄 PI1 게이지 795706 1
E047 필라멘트 - 분석관 3G 114864S 1

28
 교체품
항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
E053 NBR 씰 - 3G 분석관 114346 1 개별 판매
E084 내부 교정용 리크 121528S 1

8.6 진공 블록
G010
G074

G077

항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
G010 M5 소결 청동 소음기 108449 1
G074 진공 소결 필터 122237 1
G077 1/4 소음기 , 스테인리스 스틸호선 101552 1

8.7 배기
K002 K001 K003

항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
K001 배기구 DN25KF 126602 1
K002 배기구 DN40KF 126603 1
K003 1/2 소음기 , 스테인리스 스틸호선 109369 1

8.8 파이프 - 연결관 - 씰

항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
H009 스테인리스 스틸 호스 DN25/40KF - L 250mm 101539 1
H017 1/2 소음기 , 스테인리스 스틸호선 109369 1
H018 1/4 소음기 , 스테인리스 스틸호선 101552 1
H020 클램프 DN10/16KF 110BSR016 1
H026 클램프 DN20/25KF 120BSR025 1
H028 클램프 DN32/40KF 120BSR040 1
H029 스테인리스 스틸 블랭크 오프 플랜지 DN40KF 120FBL040 1
H037 HNBR 오링 DN25KF 106022 1
H038 HNBR 오링 DN40KF 106023 1
H040 HNBR 오링 DN16KF 106021 1
H047 지지링 DN25KF 120ZRG025 1
H048 지지링 DN40KF 120ZRG040 1
H086 HNBR 오링 DN63K 106816 1
H117 지지링 DN16KF 120ZRG016 1
H144 NBR 씰 - 3G 분석관 114346 1 개별 판매
H154 폴리우레탄 호스 지름 6 두께 1mm 118207 1 미터 단위 판매
H182 지지링 DN63K 068174 1 미터 단위 판매

29
교체품
8.9 커버

I117

I118

항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
I117 작업대 - ASM390/392 126789 1
I118 전면 커버 - ASM 390/392 126249S 1

8.10 부속품

J175 J077
J176 J078
J177
J178
J179 J174
J180
항목 명칭 모델명 ( 레퍼런스 ) 수량 비고
J077 청동 먼지 필터 20µm 지름 114mm 105847 1
J078 청동 먼지 필터 5µm 지름 114mm 105848 1
스테인리스 스틸 먼지 필터 지름 114mm - 1 5 또는 15µm - 문의
바람
J174 씰 Ø 5mm - 지름 114mm 082152 1
J175 청동 먼지 필터 20µm DN25/25 KF 105841 1
J176 청동 먼지 필터 20µm DN40/40 KF 105842 1
J177 청동 먼지 필터 20µm DN40/25 KF 105843 1
J178 청동 먼지 필터 5µm DN25/25 KF 105844 1
J179 청동 먼지 필터 5µm DN40/40 KF 105845 1
J180 청동 먼지 필터 5µm DN40/25 KF 105846 1
스테인리스 스틸 먼지 필터 DN25/25 KF - 1 5 또는 15µm - 문의
바람
스테인리스 스틸 먼지 필터 DN40/40 KF - 1 5 또는 15µm - 문의
바람
스테인리스 스틸 먼지 필터 DN40/25 KF - 1 5 또는 15µm - 문의
바람

30
VACUUM SOLUTIONS FROM A SINGLE SOURCE

Ed 01 - Date 2018/07-P/N:126348MKO
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