工程硕士学位论文

TA12 钛合金深度化铣工艺及铣后性能研究

THE STUDY ON CHEMICAL ETCHING PROCESS

OF DEPTH AND ITS EFFECTS ON PROPERTIES
FOR TA12 TITANIUM ALLOY

李庆春

哈尔滨工业大学
2015 年 12 月
中图分类号：TG174.4 学校代码：10213
UDC：57 密级：公开

工程硕士学位论文

TA12 钛合金深度化铣工艺及铣后性能研究

硕 士 研 究 生：李庆春
导 师：胡 津教授
申 请 学 位：工程硕士
学 科：材料工程
所 在 单 位：中航黎明集团有限公司
答 辩 日 期：2015 年 12 月
授予学位单位：哈尔滨工业大学
Classified Index: TG174.4
UDC: 57

Dissertation for the Master Degree in Engineering

THE STUDY ON CHEMICAL ETCHING PROCESS

OF DEPTH AND ITS EFFECTS ON PROPERTIES
FOR TA12 TITANIUM ALLOY

Candidate： Li Qingchun
Supervisor： Prof. Hu Jin
Academic Degree Applied for： Master of Engineering
Speciality： Materials of Engineering
Affiliation： AVIC Shengyang Liming
Aero-Engine Group Corporation Ltd.
Date of Defence： December, 2015
Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology
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摘 要
化学铣切是将金属材料被加工的部位暴露于化学介质中进行腐蚀，通过化学
溶液腐蚀工件预先确定的部位，从而获得所需要的形状、加工尺寸和尺寸精度的
一种加工方法。由于化学铣切不产生切削应力，其可用于可加工薄壁、形状复杂、
易变形、大面积的零件，因此钛合金化铣是飞机制造和武器装备研制中一种重要
的、不可缺少的关键技术。
本文以 TA12 钛合金板材为研究对象，通过四种保护胶 AC850、YT-5100、
HH968-2、KBL302 的对比试验获得具有良好附着力、耐氢氟酸及硝酸能力、可剥
性好的 AC850 作为化铣前保护胶。通过对试样的预处理，保证胶与基体的结合力。
此外，还确定了激光刻形的激光能量以及胶膜厚度与激光能量的关系，采用带有
旋转装置的工装结构以保证零件化铣均匀性。
本文主要研究了硝酸、氢氟酸以及钛离子浓度对化铣速度的影响；探讨了化
铣前后钛合金表面形貌、表面粗糙度及表面残余应力；研究了化铣前后钛合金的
拉伸性能，疲劳性能以及材料氢含量。研究发现，随着氢氟酸浓度的增加，化铣
速率呈上升趋势。在氢氟酸浓度相同时，硝酸浓度低的化铣溶液的化铣速率大于
硝酸浓度高的化铣溶液的化铣速度。化铣速率随着钛离子含量的增加而降低。研
究结果表明，深度化铣最佳工艺配方为：硝酸浓度 80g/L，氢氟酸浓度 120g/L，
温度 24-28℃。此外，化铣液中钛离子浓度对化铣速度、钛合金件表面平整度以及
化铣液的稳定性均有较大的影响。
通过研究，建立了钛离子浓度与化铣速率、表面粗糙度及表面平整度之间的
关系；建立了化铣深度与表面粗糙度以及氢含量之间的关系。对比了化铣前后材
料力学性能、疲劳性能以及材料组织之间的差异。发现与机械加工相比，化铣加
工后 TA12 钛合金的室温拉伸、室温低周疲劳性能以及高温拉伸、高温低周疲劳
性能均优于机械铣试样，且符合工艺规范要求。
所研制的深度化铣工艺实现了在某发动机外涵机匣（井字肋）及加力筒体（井
字肋、米字肋及不规则形状）上的应用。化铣后的零件表面光滑，化学铣切线轮
廓分明，表面粗糙度小于 1.6μm，化铣后零件壁厚为 1 mm 左右，内部氢含量低
于 125ppm，符合设计要求。

关键词：钛合金；深度化学铣；工艺；性能

-I-
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Abstract
Chemical etching is a machining method in which metal part to be processed is
exposed to chemical medium, while the predetermined position of part is corroded by
chemical solution, and then obtain the required shape, processing size and dimensional
accuracy. Due to no cutting stress, chemical etching can be used to machine the parts
with complex shape, easier deformation and large area. Therefore, chemical etching
process for titanium alloy is an important and indispensable key technology of the
aircraft and weapons equipment manufacturing.
Chosen TA12 titanium alloy plate as the research object, through the titanium
alloy milling to protect the choice of adhesive, laser carving technology research and
too structure design, AC850 for milling protection rubber is determined, while the type
of laser carving laser energy and relationship between film thickness and laser energy
were confirmed. Moreover, to determine the tooling structure with rotating device was
also determined in order to ensure the uniformity of parts milling.
In this study, the influences of nitric acid, hydrofluoric acid, and titanium ion
concentration on etching speed were mainly studied, while surface topography, surface
roughness, surface residual stress before and after milling of titanium alloy were
investigated. In addition, tensile properties, fatigue performance and material hydrogen
content before and after milling of titanium alloy were also analyzed. The results show
that with the increase of hydrofluoric acid concentration, the etching rate presents rise
tendency. The etching rate decreases with the increase of titanium ion content. When
the nitrate concentration, hydrofluoric acid concentration and the temperature range
were respectively 80 g/L, 120 g/L and 24-28℃, the corrosion processing of titanium
alloy was optimum. Moreover, etching titanium ion concentration in liquid has great
influence on etching speed, roughness on the surface of the titanium alloy and stability
of the etching liquid.
Compared with mechanical processing, tensile properties and low circumferential
stress fatigue properties at room temperature and high temperature of TA12 titanium
alloy after chemical corrosion processing are better than those of specimens by
mechanical processing, which conform the requirements of the process specification.
Therefore, the deep chemical etching process can realize the application on Engine
external culvert box (“shape of well in Chinese” in the rib) and booster cylindert
(“shape of well in Chinese”, “shape of rice in Chinese” and irregular shape in the ribs).

Keywords：titanium alloy, chemical etching process of depth ; technology, performance

II
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目 录
摘 要................................................................................................................................I
Abstract.............................................................................................................................II
第 1 章 绪论..................................................................................................................... 1
1.1 钛合金的概述.................................................................................................... - 1 -
1.2 化铣加工的原理、分类及应用......................................................................... - 2 -
1.2.1 化铣加工的原理.......................................................................................... - 2 -
1.2.2 化铣加工的分类.......................................................................................... - 3 -
1.2.3 化铣加工的优缺点...................................................................................... - 3 -
1.2.4 材料状态对化铣加工的影响.......................................................................- 4 -
1.2.5 化铣加工方法的应用.................................................................................. - 4 -
1.3 钛合金化铣加工工艺.........................................................................................- 6 -
1.3.1 钛合金化铣加工溶液.................................................................................. - 6 -
1.3.2 钛合金化铣质量影响因素.......................................................................... - 7 -
1.3.3 化铣工艺流程............................................................................................- 10 -
1.4 本项目研究目的和意义................................................................................... - 11 -
1.5 本文研究的主要内容.......................................................................................- 12 -
第 2 章 试验材料及研究方法....................................................................................- 13 -
2.1 试验材料.......................................................................................................... - 13 -
2.1.1 原材料....................................................................................................... - 13 -
2.1.2 试验用试剂................................................................................................- 13 -
2.2 试样流程.......................................................................................................... - 13 -
2.2.1 工艺流程....................................................................................................- 13 -
2.2.2 化铣装置....................................................................................................- 13 -
2.3 试验装置.......................................................................................................... - 14 -
2.4 组织观察与性能测试.......................................................................................- 14 -
2.4.1 微观形貌观察............................................................................................- 14 -
2.4.2 表面粗糙度评定........................................................................................ - 14 -
2.4.3 残余应力测试............................................................................................- 15 -
2.4.4 拉伸试验....................................................................................................- 15 -
2.4.5 疲劳试验....................................................................................................- 17 -
2.4.6 氢含量测试................................................................................................- 18 -
III
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第 3 章 TA12 钛合金化铣工艺研究..........................................................................- 19 -
3.1 钛合金化铣前处理工艺研究........................................................................... - 19 -
3.1.1 化铣保护胶的选择.................................................................................... - 19 -
3.1.2 激光刻形工艺研究.................................................................................... - 21 -
3.1.3 工装结构设计............................................................................................- 24 -
3.2 深度化铣工艺研究 ............................................................................................. 28
3.2.1 化铣工艺参数的确定................................................................................ - 28 -
3.2.2 钛离子浓度对化铣速度、粗糙度及表面平整度的影响.......................... - 32 -
3.3 本章小结.......................................................................................................... - 34 -
第 4 章 化铣对 TA12 钛合金性能的影响................................................................. - 35 -
4.1 化铣前后钛合金表面形貌............................................................................... - 35 -
4.2 化铣前后钛合金表面粗糙度........................................................................... - 36 -
4.3 化铣前后钛合金表面残余应力............................................................................36
4.4 化铣前后钛合金的拉伸性能........................................................................... - 38 -
4.5 化铣前后钛合金的疲劳性能........................................................................... - 39 -
4.6 材料氢含量...................................................................................................... - 41 -
4.7 本章小结.......................................................................................................... - 42 -
第 5 章 化铣工艺在典型零件上的应用.................................................................... - 44 -
5.1 化铣工艺在外涵机匣上(井字肋)的应用......................................................... - 44 -
5.2 化铣工艺在加力筒体（井字肋及米字肋）上的应用.....................................- 44 -
5.3 化铣工艺在加力筒体（不规则形状）上的应用............................................ - 44 -
5.4 化铣生产工艺流程...........................................................................................- 47 -
5.5 化铣应用过程中存在的问题........................................................................... - 49 -
5.6 本章小结.......................................................................................................... - 51 -
结论............................................................................................................................ - 52 -
参考文献.....................................................................................................................- 53 -
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限....................................................... 57
致谢.................................................................................................................................58
个人简历......................................................................................................................... 59

IV
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第 1 章 绪论
1.1 钛合金的概述
钛合金是指以钛为基加入其它合金元素以获得不同基本组织和性能的各类合
金称为钛合金。钛合金具密度低、比强度高、热强度高、耐腐蚀性好、低温性能
优良、工艺性能好等优点。钛合金按成形工艺不同，可分为铸造钛合金、变形钛
合金和粉末钛合金；按钛合金使用的温度和使用的领域可分为结构钛合金、热强
钛合金、耐蚀钛合金和低温钛合金；按使用性能分类，可以分为高塑性低强度钛
合金、中强度钛合金、高强度钛合金、热强钛合金、耐蚀钛合金、低温钛合金和
抗阻燃钛合金等；按照合金热处理后稳定相组成的组织特征进行分类，可分为α
型合金、α+β型合金、β型合金三类。而在实际应用中，根据两相合金中α和β相的
相对含量又可细分为近α型、近β型、亚稳β型合金等。钛合金具密度低、比强度高、
热强度高、耐腐蚀性好、低温性能优良、工艺性能好等优点，广泛应用于航空、
航天、石油、化工、舰船、医药等领域。在航空航天方面，由于钛合金比重、强
度和使用温度介于铝和钢之间，飞机上的许多零部件如机身、机翼、蒙皮、发动
机、整流罩、起落架、紧固件等等都由钛及钛合金材料制成的，不仅可以减轻飞
机的重量，而且也大大提高了飞机发动机的推动力。
钛合金作为飞机机体结构和飞机发动机的主要结构材料之一，其应用水平是
衡量飞机战术性能的一个重要方面。钛合金质量的好坏，决定发动机性能的优劣。
在国外第三代战斗机上，钛合金用量占机体结构重量的比为 20-25%，在第四代战
斗机上已高达 41%，其应用呈大幅度上升趋势。航空发动机的用钛量也在逐步增
加，国外先进航空发动机的钛用量已达到 30%-40%左右[1]。钛合金材料的重要性
尤为突出。提高飞机、发动机推重比的有效途径是从结构上降低重量，从材料上
提高材料的温度使用范围和材料比强度。
TA12 钛合金是我国自主研制的，使用温度达 550℃的高温钛合金，该合金采
用电子浓度方法设计，名义成分为 Ti-5.5Al-3.5Sn-3.0Zr-1.0Mo-0.5Nb-0.5Ta-0.3Si。
具有良好的室温拉伸、高温拉伸、持久和蠕变性能、热稳定性及疲劳性能。TA12
钛合金的成分中创新的加入了 Ta 元素，提高了合金的热稳定性能与蠕变性能。
550℃钛合金（Ti-55）是高推重比发动机的关键材料。发动机的加力燃烧室筒体和
安装边、高压压气机叶片、鼓筒和轮盘等选用 Ti-55 钛合金，以达到减轻发动机的
结构重量、提高推重比的目的。国外的同类型钛合金有英国的 IMI829 合金及美国
的 Ti-6242s 合金，以上两种合金的设计工作温度为 540℃，合金的体系主要以

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Ti-Al-Sn-Zr-Mo-Si 系为基础。TA12 钛合金与两种国外高温钛合金相比，设计工作

温度高出 10℃，达到 550℃，具有良好的综合力学性能和工艺性能，合金的主要
技术指标与国外合金相当。
化学铣切加工是将铝合金、钛合金、高温合金等金属材料被加工的部位暴露
于含有酸或碱及缓蚀剂等其它添加剂的化学介质中进行腐蚀，利用金属基体与槽
液中的酸或碱等腐蚀剂产生化学反应而被溶解，达到预期的结构形状和尺寸的一
种加工方法。它是一种无刀具损耗、无切屑应力和变形、加工效率高、加工成本
低的特种加工工艺。
化学铣切加工在钛合金减重及成形方面有其独特的优越性，还可用于制造那
些用传统的工艺方法不能完成或制造费用很高的轮廓外形复杂零件的钛合金加
工。应用化学铣切的加工方法可去除钛合金锻件、铸件、板材等零件表面污染层、
氧化皮、去除余量等，这种方法既无机械加工中的刀具磨损、切屑应力、变形，
且加工效率高、加工成本低，并可使材料表面物理性能得到改善。由于化学铣切
具有不产生切削应力，可加工薄壁、形状复杂、易变形、大面积的零件等许多优
点，因此钛合金的化学铣切加工技术己经广泛用于航空航天和军事工业中，是飞
机制造和武器装备研制中一种重要的、不可缺少的关键技术[2-5]。加力筒体结构件
属于整体、薄壁、带筋结构件。这类结构零件在国外通常采用化铣加工方式制造，
在美、欧、俄等国生产的先进发动机及飞机上大量采用[6-9]。化铣加工技术是一项
在国内外航空、航天领域广泛应用的通用减重加工技术，具有其他工艺方法难以
替代的优势，特别是在薄壁结构件的加工制造方面尤其受到美欧俄等航空航天制
造工程师的欢迎。加力筒体带筋结构零件的深度化铣加工技术在发动机制造中有
着迫切需求。

1.2 化铣加工的原理、分类及应用
1.2.1 化铣加工的原理
化铣加工实际上是一种利用酸碱等腐蚀剂对零件基体材料进行溶解的有选择
的可控制一种技术[10-13]。这个腐蚀过程是非常复杂的，不同腐蚀剂与不同材料的
化铣零件之间的化学反应随腐蚀剂和基体材料的不同而不同。
化铣加工时经过如下流程：先将零件采用化学除油或其它方法除油后，将零
件整个表面喷涂或刷涂可剥保护胶进行保护，然后利用刻型样板进行手工刻形或
利用激光刻形机进行激光刻形，刻划出所需要的零件形状，揭胶后露出需要加工
的表面，最后再将零件全部置于化铣加工溶液中进行腐蚀，从而获得所需形状、
尺寸。因化铣具有不产生应力等特点，可以代替机械加工加工易变形、形状复杂
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等零件。

1.2.2 化铣加工的分类
化铣加工按零件表面的具体要求不同可分为全面化铣加工、选择性化铣加工、
多台阶化铣加工、锥度化铣加工。
全面化铣加工是指零件表面不需保护胶保护，将零件整个浸入化铣腐蚀液中，
从零件所有表面均匀除去一层材料的加工方法。全面化铣加工一般用于减轻零件
重量，去除零件表面氧化层、重熔层、去除尺寸加工余量、零件减薄等。
选择性化铣加工是指将零件整个表面先涂保护胶保护，然后根据需要进行刻
线，刻出所需形状，揭胶后露出需化铣的表面，再将零件整个置于化铣溶液中，
完成零件的加工。对于制造那些形状结构复杂、易变形、大尺寸、特薄的零件，
一般选用选择性化铣加工。
多台阶化铣加工或称分步化铣加工，针对不能一次化铣完成的零件，用选择
性化铣加工方法，在零件上分二次或多次化铣，加工出不同高度的肋、台阶等。
不同化铣深度的部分可以用未化铣过的凸台分隔，也可连接起来。加工流程为：
零件全部涂胶，刻形出化铣深度小的部分进行第一次化铣，揭胶后重新涂胶，刻
形出化铣深度第二小的部分进行第二次化铣，直至达到要求。
锥度化铣加工通常是指将零件放入化铣溶液中进行腐蚀再将零件从化铣液中
提取出来，然后再放入再提取，如此反复多次，制造出具有一定锥度表面的化铣
方法。这种方法一般适合于加工尺寸较长、锥度较小、难用机械方法加工的零件。

1.2.3 化铣加工的优缺点
钛及钛合金材料具有比重低、防腐性强、耐高温性能好等特点，航空航天等
多个领域都广泛应用钛及钛合金材料[14-18]。但是，钛及钛合金材料也存在缺点，
其机械加工时具有较大的变形抗力、冷加工易断裂、容易吸氢等缺点[19-21]。切削
加工时，钛及钛合金导热性差，热量都集中在刀具上，使其迅速升温，导致刀具
磨损，甚至完全破坏。加工余量大的零件时零件易烧蚀，特别对于外形结构复杂、
厚度特别薄的零件，加工时变形严重，为此人们利用非传统机械加工的化铣方法
代替常规的机械加工已成为国内外解决钛合金加工的一种途径[22-28]。
化学铣切与一般的机械铣切方法有着根本区别，具有以下优点：
（1）可加工容易变形、大尺寸大面积及壁厚较薄的零件。
（2）化铣不受金属材料状态的影响。
（3）一些组合件由多个单件通过焊接等方法制成，在用化铣加工时可整体进
行化铣，减少加工流程，减少工装，缩短生产周期。
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（4）化铣对零件不产生切削应力，零件不会变形。
（5）一次可加工多个零件，提高加工效率[29]。
（6）控制零件浸入或提出化铣溶液的速率，可加工出锥形截面。
（7）比铸、锻造等方法加工零件相比较，可节约金属材料。
（8）设备简单，投资少。
化铣技术存在的局限性：
（1）化铣前，零件基体表面应无压坑、腐蚀坑等缺陷，否则化铣后这些大的、
深的表面缺陷不仅依然存在，还有扩大的可能。
（2）通常化铣前如果原材料厚度存在差异，化铣后也不会消除，依然重现。化
铣后的每个零件的厚度偏差不尽相同。
（3）化铣不能加工窄而深的凹槽，否则会形成不规则的边缘[30]，不利于加工化
铣铣切深度大的零件。
（4）化铣加工过程中由于零件与化铣液发生反应产生大量刺激性气体，污染环
境，损害人身健康。

1.2.4 材料状态对化铣加工的影响
（1）金属材料冶金状态的影响：基体表面的冶金状态对化铣加工有一定的影
响。一般情况下锻造、挤压、轧制的零件比铸造的零件表面致密、均匀性好，化
铣后表面粗糙度低，光亮度要高。对钛合金材料化铣来说，锻造制成的零件要比
板材表面质量好，均匀度高。
材料晶粒度的大小，一般对化铣速度无影响。硬度高的材料一般不容易化铣，
其化铣速度要低于硬度低的材料。
(2)冷作硬化的影响：冷作硬化是由于零件在机械加工或钣金成形等加工时
使材料晶格歪扭，材料内应力增加，化铣时会加速材料的腐蚀。冷作硬化零件如
未消除内应力，将增加基体材料腐蚀的可能性，冷作硬化零件化铣前需要事先消
除应力。
(3)表面粗糙度的影响：在相同的条件下，化铣加工前零件基体材料的表面
粗糙度值越低，则化铣后零件的表面粗糙度值也越低。化铣加工会降低零件表面
粗糙度，一般情况下化铣后的要比化铣前的数值低一倍左右。而且粗糙度低的化
铣速度要快些。

1.2.5 化铣加工方法的应用
化铣加工工艺方法是零件加工的一种重要手段，已普遍应用到各种金属材料，
包括铝及铝合金、不锈钢、高温合金、碳钢、镁合金、铜及铜合金、钛及钛合金
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等各类材料。
铝合金化铣加工应用较多，化学铣切铝及铝合金的化铣腐蚀剂有以酸为基的
酸性腐蚀液，但通常采用以氢氧化钠为基的碱性腐蚀液。铝合金化铣一般应用于
板材及大型网格筒体等的化铣。采用化铣方法加工的材料种类很多，常见的有防
锈铝 LF6、硬铝 LY12、锻铝 LD10、铝锂合金等材料[31-36]。LF6 合金化铣后的简
体图如 1-1 所示。

图 1-1 化铣后 LF6 筒体[37]

不锈钢因在合金中加入了镍、铬、钴等金属元素，具有较强抗腐蚀能力和强
度，因此被广泛应用。不锈钢的化铣腐蚀液一般是以盐酸、硝酸或三氯化铁为基
的溶液，有的溶液中加入少量氢氟酸和磷酸以去除化铣过程中表面产生的挂灰。
不锈钢化铣资料较少，一般用于零件的减重，完成机械加工难以完成的薄壁件、
结构复杂等零部件的加工。采用化铣方法加工不锈钢材料有：奥氏体不锈钢
1Cr18Ni9Ti、马氏体不锈钢 1Cr20Co6Ni2WMoV 等材料[38-43]
高温合金化铣加工技术主要作为一种减轻飞机重量的加工方法，具有重要意
义。高温合金化铣液一般是含有硝酸、盐酸、氢氟酸、三氯化铁的混合溶液。但
存在槽液温度高、加工过程中易导致保护胶剥落致零件过铣、腐蚀加工效率低、
反应剧烈对环境的污染严重等问题。采用化铣方法加工的高温合金材料较少，常
见的有镍基高温合金 GH4169、GH3044 等[44-46]。
镁是一种活性非常强的金属。常用的化学铣切液是以硫酸为基的腐蚀液。采
用含有硫酸钠、柠檬酸和润湿剂的腐蚀液进行化铣时，可以获得关键性的性能。
因为镁的化学铣切是一种放热反应，需要在较低温度下进行。采用化铣方法加工
的镁合金材料较少，常见的有 MB8 等[47-48]。
铜及铜合金化铣应用比较广泛，主要应用于印刷业及照相化学铣切方面。常
用的化铣溶液是以三氯化铁为腐蚀剂的溶液，还有以氯化铜或氯化汞或过硫酸铵

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溶液。采用化铣方法加工的铜合金资料介绍较少，常见的紫铜、黄铜等[49-50]。
作为飞机机体结构和飞机发动机的主要结构材料之一，钛合金的应用水平是
衡量飞机战术性能的一个重要方面。而化铣加工技术作为一种特殊的加工工艺，
在钛合金减重、成形等方面具有其独特的加工优势。钛合金化铣技术在国外如欧、
美、俄等国家在航空发动机部件制造上已广泛应用。如波音 747 主起落架上的钛
合金零件，Tu-144 超音速运输机上的钛合金零件，均应用化铣技术减轻重量。在
保证强度的前提下，尽可能将飞机重量减至最小，从而取得最大强度/重量比。钛
合金化铣技术在国内的应用从 2000 年开始，发展的时间不足十年。虽然国内对钛
合金化铣研究较多，但对化铣深度超过 2mm 的工艺报道较少，所以仅供参考的资
料少之又少。尹茂生对钛合金化铣溶液进行了深入的研究，提出了一种含有氢氟
酸、硝酸、十二烷基硫酸钠、乙二醇正丁醚、尿素、硝酸钠的钛合金化铣溶液，
化铣表面质量好、吸氢量小，可在一定程度上抑制含氮气体的产生，但溶液成分
较复杂，酸雾抑制效果还有待进一步提高。李明利对超薄 TA1 进行了化学铣切工
艺研究，提出在选用合适的缓蚀剂的情况下，以硝酸、氢氟酸为主的溶液可以去
除（0.0037-0.005）mm 的余量。梅正蓉对 TC11 钛合金精铸叶片的化学铣切进行
了研究，研究表明，影响化铣质量的因素有：槽液温度、化铣速度、搅拌方式等。
采用以硝酸、氢氟酸为主的溶液，可以去除（0.15-0.35）mm 的余量。曹立英等对
化铣对 TA2 和 TC4 薄板性能的影响进行了研究，用硝酸、氢氟酸性化铣液可去除
0.67mm 左右的余量。李荻、金蕾等在工艺因素对钛合金化铣的影响中指出，适中
的化铣深度一般以（0.5-1.5）mm 为宜。文献介绍，通过化铣方法去除钛合金零件
尺寸量均不超过 2mm[51-52]。

1.3 钛合金化铣加工工艺
1.3.1 钛合金化铣加工溶液
一般情况下，化铣溶液组成成分包括腐蚀剂、氧化剂、添加剂[53-55]。常见的
钛合金化铣液有单纯的氢氟酸型、氢氟酸-硝酸及氢氟酸-铬酸混合型，其中氢氟酸
-硝酸是普遍应用的类型，其化铣速度快，析氢量也较少[56-60]。
（1）各种酸中氢氟酸对钛及钛合金的腐蚀性是最强的。钛及钛合金在含有氢
氟酸的溶液中，溶液不用加温就能被腐蚀溶解，而且腐蚀速率会随着温度及浓度
的提高而增大。其反应如下：

2Ti + 6HF = 2TiF3 + 3H2 ↑ (1-1)

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（2）钛及钛合金在化铣过程中如反应过快，会导致材料表面化铣速度不均匀，
表面质量差，故还需要氧化剂，用来控制化铣溶液的腐蚀速度，改善零件表面的
粗糙度。而硝酸是一种氧化性很强的酸，能降低腐蚀速率使槽液易于控制。而且
因为硝酸会将化铣过程中产生的氢气氧化成水，所以硝酸的加入还能减少表面氢
原子的渗入，减少材料析氢的可能。其反应如下：

3Ti + 10HNO3 = 3TiO(NO3)2 + 5H2O + 4NO↑ (1-2)

反应不产生氢气，而是一氧化氮。硝酸具有强烈氧化性，它和氢气反应被氧
化成水。反应在金属表面生成不溶于硝酸的 TiO(NO3)2 保护膜，使反应停止，发
生钝化。在有硝酸存在的情况下，钛与氢氟酸反应生成 4 价钛离子。

Ti + 4HF = TiF4 + 2H2 ↑ (1-3)

此时的氢气随即被硝酸所氧化，生成水

3H2 + 2HNO3 = 4H2O + 2NO↑ (1-4)

钛与硝酸的反应按 (1-2) 式进行，反应生成的钝化膜 TiO(NO3)2 使反应速度

降低，该膜可被氢氟酸溶解。

TiO(NO3)2 + 4HF = TiF4 + 2HNO3 + H2O (1-5)

钝化膜溶解后，钛基体又被暴露于酸中，化学反应不断进行下去。总反应式
如下：

3Ti + 12HF + 4HNO3 = 3TiF4 + 8H2O + 4NO↑ (1-6)

（3）钛合金化铣液除腐蚀剂和氧化剂外，还需加入添加剂如尿素、非离子型
表面活性剂等，改善零件表面质量。尿素可提高化铣溶液的使用寿命，并可减少
黄烟的放出；非离子型表面活性剂可以改进化铣溶液的物性，还可减少零件表面
的张力，使零件与化铣溶液能够充分地接触，从而使化铣过程中产生的气体从零
件表面呈小气泡状排出，并消除表面粗糙现象。

1.3.2 钛合金化铣质量的影响因素
（1）溶液温度：影响化铣质量的主要工艺参数有槽液温度、化铣速度、钛离
子含量等。钛合金腐蚀是放热反应, 随着腐蚀时间的延长, 温度将迅速上升。不
同温度下的钛合金化铣腐蚀速率与硝酸浓度的变化曲线如图 1-2 所示。温度的升
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高有利于提高溶液腐蚀速度、溶液使用寿命和降低基体化铣过程中的吸含氢量。
但温度过高时, 零件表面会出现氧化色、凹凸不平的现象，使化铣的均匀性降低。
同时槽液蒸发加剧, 不利于操作和环境保护, 以致有大量 NO 逸出而无法进行腐
蚀。若温度太低, 腐蚀速率很小, 吸氢量增大, 随着时间延长, 零件表面光度也
不好。

图 1-2 不同温度下的腐蚀速率与硝酸浓度的变化曲线[61]

（2）化铣速度：化铣速度是指单位时间内去除基体材料的深度。化铣速度慢，
加工零件尤其深度化铣零件的周期长，加工效率低。但化铣速度过快，零件易出
现由于气体冲刷产生的流痕，腐蚀不均匀。影响化铣速率的主要因素有槽液成分
浓度、溶液中钛离子的含量和槽液温度等。资料介绍，在硝酸浓度相同的情况下，
化铣速率随着氢氟酸浓度的增加而增加。图 1-3 所示为 Ti-6Al-4V 铸件化铣
速率随氢氟酸及硝酸浓度的变化曲线。从图中可见，在 HF 浓度不变的条件下，
随硝酸浓度的升高，钛合金的化铣速度先增加后降低；当硝酸浓度固定不变时，
HF 浓度的升高会引起钛合金化铣速度提高。因此选择合适的化铣溶液浓度是控制
化铣速度的前提。
（3）钛离子含量：通常化铣溶液的化铣速度随着溶液中钛离子浓度的增加而
降低。钛离子浓度较低时，化铣速率快，但表面粗糙度相对较差。溶液中钛离子
浓度的增加，溶液的粘滞性加大，使化铣表面周围的溶液得不到及时补充，存在
浓差极化，从而降低了铣切速率。当钛离子浓度达到一定值时，化铣速度过低，
槽液需要更换或调整。同时钛离子的存在对零件具有一定的缓蚀作用，且随钛离

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子浓度的增加而加强，表面粗糙度得到改善。图 1-4 是溶液中钛离子含量与腐蚀

加工速度的关系。

图 1-3 Ti-6Al-4V 铸件化铣速率随氢氟酸及硝酸浓度的变化曲线[61]

图 1-4 溶液中钛离子含量与腐蚀加工速度的关系[62]

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（4）搅拌方式：在化铣过程中零件与化铣溶液发生剧烈反应，产生大量气体。
搅拌能加速溶液流动，促使气体快速排出，避免化铣表面产生流痕，而且搅拌能
使槽液温度保持相对均匀，能减少浓差极化现象，也能促使零件表面生成的挂灰
等腐蚀产物快速脱离零件表面，加快化铣反应速度。一般采用气体搅拌或零件转
动的方式的进行搅拌。

1.3.3 化铣工艺流程
（1）化学除油：零件表面油污是否彻底清理干净是化铣加工前的一项重要准
备工序,除油不净腐蚀易出现不均匀，甚至出现局部过腐蚀，钛合金化学铣切常用
的除油方法有有机溶剂除油和化学除油等方法。
（2）吹砂或腐蚀：吹砂或腐蚀的目的是为了提高保护胶与零件基体的结合力。
因吹砂还能去除金属材料表面的氧化层等浅度缺陷，所以和预腐蚀相比是一种比
较好的方法。
吹砂有干吹砂和湿吹砂两种。湿吹砂又称水吹砂，是一种用混有水的刚玉砂
砂料对零件进行吹砂的表面清理方法。由于在砂料中加入了水，使得砂料对零件
的撞击作用得到减缓，零件表面粗糙度值要比干吹砂的低，去除量也少些，故最
好采用湿吹砂。
零件在干吹砂前，表面必须是清洁干燥的表面。形状结构特别复杂的零件由
于易残留砂粒，不利于后续涂保护胶，故不宜采用干吹砂。为了防止污染，钛合
金零件使用的吹砂机应单独使用。
当湿吹砂和干砂法均不适用时，可采用预腐蚀方法进行表面清理。预腐蚀是
将零件放入酸性溶液中进行一下弱腐蚀，使材料表面均匀地除去薄薄一层金属氧
化膜，漏出新鲜的基体金属表面。钛合金预腐蚀配方一般选用含有硝酸和氢氟酸
的混合溶液。
（3）涂保护胶：涂保护胶又称为涂防蚀层，是一种喷涂、刷涂或浸涂在化铣
零件表面上的保护涂层，用来保护零件上不需化铣部分。涂保护胶是化铣过程中
的非常重要的工序，对化铣加工过程的完成非常重要。它的好坏决定化铣的表面
质量的好坏。保护胶既要与零件基体具有良好的结合力，使零件在化铣过程中保
证胶膜不会有开裂，翘曲、卷边现象，但粘附力也不能太强，否则手工剥除困难。
保护胶还应有足够的强度，能刻线。保护胶的涂覆方式有喷涂、刷涂、浸涂三种，
按零件的结构复杂程度、尺寸大小等选用适合于零件的涂覆方法。
（4）刻形工艺：刻形是化学铣切加工中的重要工序，化铣缺陷往往是由于这
个工序操作不妥引起的。刻形是将所有表面涂有保护胶的零件在化铣前把需铣切

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部分的保护胶除去的过程。传统的刻形是采用样板，利用刻划刀在保护胶上划出
所有外形线，然后把需化铣部位的保护胶去掉，整个过程需要手工完成。如所加
工零件形状复杂或为曲面，操作者在刻线时需要大量样板，刻形移形过程中误差
大、准确性差，很难保证精度要求[63]。因此，目前有些公司使用激光刻形，可大
大减少加工周期，降低手工操作带来的误差。
（5）装挂：在化铣过程中，零件与溶液发生剧烈反应，会产生大量的气体和
热量, 如不及时排除, 会对化铣速度、均匀性等有很大的影响。化铣时零件如果
静止不动, 化铣后零件表面有明显的气流冲刷痕迹。为了消除此流痕，通常采用
搅拌溶液的办法，但针对于形状复杂，特别是大零件单纯靠搅拌无法保证各个方
向上的均匀性，还需设计专用的工装，使零件在溶液中转动，且定期变换方向，
避免由于零件形状带来的遮挡。
（6）揭胶：刻形完成后，需去掉非化铣部位表面的保护胶，揭胶时注意不要
破坏非化铣部位的胶膜，同时不要弄脏化铣表面。所有残留在需化铣表面上的保
护胶都要用局部剥离的方法或用丙酮等溶剂清理干净。注意不要把非铣切部位的
保护胶撕起，如果非化铣表面上的保护胶有不合格之处，必须进行修补。
（7）化铣：化铣过程是最主要的过程。化铣过程要求零件腐蚀均匀，表面平
整光滑，防止出现小孔、粗糙等缺陷，同时满足基体材料的机械性能。
化铣是把揭胶后的零件，放入含有硝酸、氢氟酸及添加剂的化铣液中，除去
金属材料直至厚度达到要求为止。在化铣时，为了消除零件与化铣液反应产生的
气体对零件的冲刷，而产生不均匀的流痕，需要对溶液进行搅拌。搅拌方法一般
有两种：一种是溶液通入经过油水分离器过滤的干燥的洁净的压缩空气搅拌溶液，
一种是设计专用工装，带动零件在槽液中转动。
化铣后零件需在冷水槽中彻底清洗，避免表面残留酸碱液。
（8)去挂灰：对于常用的化铣材料而言，腐蚀加工过程都会在表面上留下一
层氧化膜和反应沉积物，而这些物质单独靠水洗是去不掉的。钛合金材料一般在
含有氢氟酸和硝酸的混合液中进行去除。
（9)高压水冲洗：采用一定压力的水对去挂灰后的零件进行冲洗，以彻底清
除零件表面的残留物质。

1.4 本文研究目的和意义
钛合金作为飞机机体结构和飞机发动机的主要结构材料之一，其应用水平是
衡量飞机战术性能的一个重要方面。在第四代战斗机上应用已高达 41%，其应用
呈大幅度上升趋势。航空发动机的用钛量也在逐步增加，钛合金材料的重要性尤

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为突出。提高飞机发动机推重比的有效途径是从结构上降低重量，从材料上提高
材料的温度使用范围和材料比强度。
TA12 钛合金是我国自主研制的，使用温度达 550℃的高温钛合金，具有良好
的力学性能、热稳定性及疲劳性能。TA12 钛合金是高推重比发动机的关键材料。
发动机的加力燃烧室筒体和安装边、高压压气机叶片、鼓筒和轮盘等多选用 TA12
钛合金，以达到减轻发动机的结构重量、提高推重比的目的。
为满足强度要求，某机加力筒体、外涵机匣等结构由平板薄壁结构设计为整
体薄壁、带筋结构，用 TA12 材料制造而成。零件外壁上分布各种功能和不同高
度的安装座和加强肋，该类零件多以厚板为坯料，最终加工成 1mm 左右的薄壁零
件。此类零件采用机械加工方法无法完成，因此设计要求采用化铣加工的方法。
而国内钛合金化铣是从 2000 年左右开始的，虽然国内对钛合金化铣研究较多，但
对化铣深度超过 2mm 的工艺报道相对较少。因此研究化铣深度超过 2mm 的 TA12
钛合金化铣工艺及其对基体组织及性能的影响具有重大意义。

1.5 本文主要研究内容
本项目研究铣切深度超过 5mm 的 TA12 钛合金化铣工艺配方；研究化铣涂胶、
刻形等前处理工艺；测试化铣加工前后力学性能和疲劳性能、基体氢含量、粗糙
度、表面形貌等的变化，使钛合金深度化铣工艺成为一种可行的加工工艺，为后
续生产实际零件提供依据。具体内容如下：
（1）钛合金深度化铣工艺研究
研究保护胶的种类、胶膜修补方法；研究激光刻形的能量与胶膜厚度、尺寸
余量的关系；研究化铣工装结构、工装转速等对零件化铣均匀性的影响；研究硝
酸、氢氟酸、钛离子浓度对化铣速度的影响，确定深度化铣工艺配方。
（2）研究化铣工艺对钛合金表面状态的影响
建立化铣深度与吸氢量、表面粗糙度的关系，揭示溶液中钛离子浓度对化铣
速度、粗糙度、平整度的影响。
（3）研究钛合金化铣工艺对基体材料性能的影响
建立化铣工艺、化铣组织及化铣后钛合金力学性能之间的关系。
（4）实现化铣工艺在加力筒体零件上的工程化应用
通过上述研究优化化铣工艺，实现其在加力筒体等零件上的应用，使化铣后
的零件符合设计的要求。

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第 2 章 试验材料及试验方法
2.1 试验材料
2.1.1 原材料
试验采用 TA12 钛合金板材（6-10mm 厚）作为实验研究对象，主要化学成分
分析的结果如表 2-1 所示。
实验使用的 TA12 钛合金为退火状态，为近α型合金，试样用 Turco aviation
除油后，在含有氢氟酸和硝酸的溶液中酸洗去除表面氧化色等杂物后待用。
表 2-1 TA12 钛合金化学成分 （wt%）
Ti Al Sn Zr Mo Si Ta Nb Fe 及微量元素
基 4.5～5.5 3.0～4.0 2.5～3.5 0.2～1.2 0.2～0.5 0.2～0.7 0.2～0.7 0.25（0.312）

2.1.2 试验用试剂
试验中使用的试剂见表 2-2：
表 2-2 试验用试剂
序 号 试剂名称 分子式 规格 生产厂家

1 硝酸 HNO3 分析纯 沈阳化学试剂厂

2 氢氟酸 HF 分析纯 沈阳化学试剂厂
3 保护胶 —— —— 美国 Turco 公司
广州汉高表面技术有限
4 Turco aviation —— ——
公司

2.2 化铣试验流程
2.2.1 工艺流程
试验中所用厚度为 6-10mm 的 TA12 板材原材料，经过下列工艺过程获得化铣
表面，工艺流程为：化学除油→热水洗→冷水洗→酸洗→水洗→吹干→涂保护胶
→室温晾干→刻形→剥离保护胶→装挂→化学铣切→冷水洗→除挂灰→冷水洗→
去保护胶。

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2.2.2 化铣加工试验装置
钛合金化铣加工试验装置如图 2-1 所示。采用 PP 材料制成的槽体盛装化学腐
蚀槽液。采用水制冷的冷冻机调控槽液温度，采用经过油水分离器过滤的干燥洁
净的压缩空气对化铣槽液进行搅拌。

图 2-1 化铣装置图

2.3 组织观察与性能测试
化铣加工试样表面需要测试的相关性能有化铣加工前后试样表面微观形貌、
表面粗糙度、材料的残余应力、拉伸性能、疲劳强度、材料的氢含量等。

2.3.1 微观形貌观察
微观形貌观察采用金相显微镜和扫描电镜。金相显微镜：型号 BX51M 及厂
家 OLYMPUS，扫描电镜：型号 Supra55 及厂家 Zeiss。金相试样的制备方法：将
化铣前后的试样镶嵌后表面进行磨光，抛光处理之后，采用 4%硝酸酒精进行腐蚀，
在显微镜下显示出清晰的组织，再用酒精冲洗去试样上所附腐蚀剂，吹干。
试样规格及制备方法：化学铣试样：将试块 60mm×60mm×10mm 的一面涂
保护胶后在槽液中化铣 9mm 后，切割后观察截面形貌。

2.3.2 表面粗糙度测试
表面粗糙度是衡量表面加工精度的指标之一。表面粗糙度越小，零件的表面
的光亮度越好；表面粗糙度值越大，表面光亮度越差，用表面轮廓的平均偏差 Ra
表示。

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采用 3+ 触针式表面粗糙度仪测试化铣前后钛合金试样的表面粗糙度，取试
样上对称分布的若干个点，测量后取平均值。试样方法按照 HG5267.23-2001 进行，
准备一材料为 TA12，尺寸为 40mm×30mm×10mm 的试样，化铣时将试样的一面
涂保护胶后再在槽液中进行化铣，分别测定铣切深度为 0mm、1mm、2mm、3mm、
4mm、5mm、6mm、7mm、8mm、9mm 左右时试样的表面粗糙度，测定时每个试
样上在横向和纵向方向上分别测定四点取平均值，研究化铣工艺对零件粗糙度的
影响。

2.3.3 残余应力测试
采用 X-射线衍射法，利用残余应力分析仪对化铣后的试件表面进行残余应力
测试实验，如图 2-2 所示。按照 GB/T7704-2008《无损检测 X 射线应力测定方法》
测试化铣前后钛合金试样的残余应力。试验方法：准备一材料为 TA12，尺寸为
40mm×30mm×10mm 的试样，化铣时将试样的一面涂保护胶后再在槽液中进行
化铣，铣切最终深度为 9mm 时测定试样残余应力，研究化铣工艺对零件残余应力
的影响。

图 2-2 残余应力设备图

2.3.4 拉伸试验
采用 AG-250KN 电子万能实验机进行拉伸实验，如图 2-3 所示。该室温及高
温试验方法分别按照 GB/T228.1-2010 及 GB/T4338-2006 进行，分别测定机械加工
和化铣加工成的试样的抗拉强度、屈服强度和断裂伸长率。

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(a) (b)

图 2-3 室温与高温拉伸设备图
(a) 室温设备；(b) 高温设备

试样规格及制备方法：
试样的形状和尺寸，如图 2-4、2-5 所示。机械铣试样：采用 TA12 材料板材
机械铣成厚度为 1mm 的拉伸试样，试样粗糙度达到 1.6μm；化学铣试样：化铣加
工后板材试样表面粗糙度达到 1.6μm 以下，采用尺寸为 300mm×100mm×10mm
的 TA12 材料板材化铣成厚度为 1mm 的试样，再经过机械加工成拉伸试样。

图 2-4 TA12 钛合金拉伸试样尺寸，mm

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图 2-5 TA12 钛合金拉伸试样实物图

2.3.5 疲劳试验
采用 EHF-100KNE 疲劳试验机，按照 GB/T3075-2007《金属材料轴向疲劳试
验方法》进行疲劳实验。分析比较化学铣和机械铣加工对钛合金疲劳性能的影响。
试样规格及制备方法：钛合金疲劳试样材料厚度为 10mm，分别采用机械加
工和化铣加工的方法将疲劳试样单面去掉 9mm。试样尺寸为 140mm×25mm×
10mm，如图 2-6、2-7 所示。载荷是应力控制，应力比：0.1，试验频率：5HZ，
波形：正弦波，温度为室温及 550℃。
化铣试样制备方法：先将钛合金板材剪切成 200mm×200mm 的试样，为了使
试样尽量保持一致，每组疲劳试样均从同一块板材上截取，用化铣方法腐蚀加工
成 1.0±0.1mm，再用线切割加工成 140mm×25mm，然后将试样机械铣成厚度为
1mm，再用打磨方式去掉机械铣切痕迹，粗糙度控制在 1.6μm 以内。试样断面采
用机械铣加工，加工完后采用打磨方式将表面粗糙度加工到 1.6μm。
机械铣试样制备方法：
先将钛合金板材剪切成 200mm×200mm 的试样，再用线切割加工成 140mm
×25mm，再用打磨方式去掉机械铣切痕迹，粗糙度控制在 1.6μm 以内。试样断面
采用机械铣加工，加工完后采用打磨方式将表面粗糙度加工到 0.4μm。

图 2-6 TA12 钛合金化铣疲劳试样尺寸，mm

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图 2-7 TA12 钛合金疲劳试样实物图

2.3.6 氢含量测试
采用 RH-404 型测氢仪测试化铣前后钛合金试样的氢含量，如图 2-8 所示。试
样方法按照 HB5297.23-2001 进行：共进行 7 组实验，每组各准备一块材料为 TA12，
尺寸为 60mm×60mm×10mm 的试块，化铣时将试块一面及试块周边涂保护胶后再
在槽液中进行化铣，铣切深度分别为 1mm、2mm、5mm、6mm、7mm、9mm 左
右，化铣后的试块经线切割后制成 2 个尺寸为（3.5±0.5）×(20-30)mm×δmm 的平
行试样，分别测定化铣加工前及化铣加工深度后试样的氢含量。进行氢含量测定
前先将试样两端头用剪子剪掉，避免端面不洁净造成的测量误差。每个试样剪切
成 2-3 个小块，用无水乙醇浸泡清除表面污物，以减少测定误差。研究化铣工艺
对材料氢含量影响。

图 2-8 RH-404 型测氢仪设备图

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第 3 章 钛合金化铣工艺研究
3.1 钛合金化铣前处理工艺研究
钛合金化铣加工表面的预处理主要包括除油、酸洗或预腐蚀、涂保护胶、刻形
和零件的装挂。预处理的好坏直接影响化铣加工后零件表面质量的好坏[64-66]。

3.1.1 化铣保护胶的选择
涂保护胶是保证零件化铣成功与否的重要环节。化铣保护胶的选择，需要具有
良好的附着力、耐氢氟酸、硝酸的腐蚀能力及其它一些优良特性，即：可剥性及与
化铣溶液的配套性。本课题选择四种保护胶 AC850、YT-5100、HH968-2、KBL302
进行了对比试验。
(1) 保护胶对比试验：试验方法：在 4 个 200mm×200mm×10mm 试样表面分别
涂覆 4 种保护胶，待漆干燥后，将试件放入 45℃的化铣槽液中浸泡时间 15h，取出
后观察胶膜表面状态。具体结果见表 3-1。

表 3-1 不同保护胶对比试验

序号 保护胶牌号 附着力 可剥性

1 YT-5100 局部起皮、起泡 可剥性好

2 HH968-2 大面积起皮 可剥性好

3 KBL302 局部起皮 可剥性好

4 AC850 无起皮、起泡 可剥性好

从上述试验结果可看出，YT-5100、HH968-2、KBL302 三种保护胶在化铣槽液
温度为 45℃时浸泡 15h 后均出现起皮、起泡及脱落现象，只有 AC850 保护胶的附着
力、可剥性好，见图 3-1。化铣过程中的保护胶可选择 AC850，但是要注意涂胶前试
片表面的处理，从而保证胶与基体的结合力。
在试验过程中发现由于试片的棱边经化铣后的边缘均为尖边，使保护胶在化铣
过程中易造成脆裂，导致试片边缘会出现由于渗漏导致的腐蚀凹陷。为了保证保护
效果，零件棱边及经第一次化铣后的锐边应进行机械加工尖边，保证一定的倒角。
化铣过程中要及时检查保护胶是否有破损，发现破损及时补修。

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图 3-1 浸泡后 AC850 保护胶外观照片

(2)胶膜漏点检测：电火花针孔检测仪用于金属基体上绝缘层中极小缺陷，发现
肉眼看不到的穿透的针孔和裂隙。
在试片上涂敷不同厚度的保护胶膜，采用电火花检测仪进行漏点检测。
通过试验发现随着胶膜厚度的增加其漏点出现的几率随之减少，但是考虑到胶
膜剥离胶膜亦不应过厚，一般控制在(0.3-0.8)mm，测试电压选择(2.0-3.0)KV。另外，
每一次涂敷后采用电火花检测，并对漏点做好标记，便于下一次涂敷进行修补，提
高保护效果。
通过对胶膜厚度及涂敷方法的控制，同时采用电火花检测仪的检查监控，提高
化铣前胶膜的保护质量，有效地降低了化铣过程胶膜出现漏点的机率，提高了化铣
的效率。
(3)胶膜修补方法：化铣过程中要每隔 30min 对零件进行一次厚度测量，同时采
用电火花检测仪对胶膜的完整性进行检测。随着化铣时间的延长，检查中发现个别
部位会有漏点存在。主要原因分析如下：
化铣前所涂胶膜不均匀，个别部位胶膜较薄。
零件工艺边边缘部位属于尖边，导致胶膜破损；第一次化铣后的安装座边缘较
锋利，胶膜易破损。为了保证化铣时非化铣部位不被腐蚀， 必须及时对破损的保护
胶进行修补。表 3-2 为补涂 AC850 漆层晾干时间与化铣时间之间的关系试验。
试验方法：按确定的喷涂试验方法，在 4 个 200mm×200mm×10mm 试样表面涂
覆可剥漆 AC850，待漆干燥后人为进行破坏，采用刷涂的方法补涂后按下表晾干一
定时间再在化铣槽液中浸泡一定时间，观察胶膜表面状态，最终确定补涂晾干时间
与化铣时间按的关系。

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表 3-2 补涂后漆层晾干时间与化铣时间之间的关系

补涂后晾干时间 化铣时间
序号 化铣后状态
(min) (h)
1 30 0.5 胶膜发白、有起皮起泡
2 45 0.5 胶膜发白、无起皮起泡
3 45 1.0 胶膜发白、无起皮起泡、有电打火
4 90 1.0 胶膜发白，无起皮起泡、无电打火
5 90 2.0 胶膜发白，无起皮起泡、无电打火
6 90 4.0 胶膜发白，无起皮起泡、无电打火
7 90 5.0 胶膜发白，无起皮起泡、有电打火
8 180 5.0 胶膜发白，无起皮起泡、无电打火
9 180 8.0 胶膜发白，无起皮起泡、无电打火

由以上数据可看出，晾干时间直接影响了保护胶的补涂效果，为此制定了补涂
后胶晾干时间控制表 3-3。
表 3-3 补涂晾干时间与化铣时间对照表
补涂后晾干时间 剩余化铣时间
序号
(min) (h)
1 45 0.5
2 90 1-4
3 180 5-8

3.1.2 激光刻形工艺研究
钛合金化学铣切成形前将零件的所有表面涂上保护层，化铣时将需要铣切部分
的防护层去掉，使其要加工的部位暴露于特定的化学溶液中，在特定条件下，有选
择地对材料进行腐蚀从而获得零件所需的形状和尺寸。这种将所有表面涂有防护层
的工件在化铣前把需铣切部分的防护层去掉的过程即为刻形过程。刻形是保证化铣
得以实现的重要前提。传统的刻形过程是采用事先设计制造好的样板，利用刻划刀
沿着限定腐蚀部位清楚地在保护层上划出所有外形线，然后把需化铣部位的防护层
去掉。整个过程需要手工完成。由于所加工零件为锥形曲面形状，操作者在刻线、
移形过程中误差积累较大，该方法效率低，加工周期长，费用成本高，同时准确性
差，很难保证外形线所需的精度要求，还需要大量的刻形样板。

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本项目选择一种新型激光刻形技术，根据零件设计图及化铣浸蚀比编写激光刻
形程序，在刻形前先用试片调整激光刻形工艺参数，然后对零件进行加工。
(1) 激光能量选择：试验方法：在 200mm×200mm×10mm 钛合金试片上，用喷
枪均匀的喷涂保护胶，采用涡流测厚仪测厚，使胶膜厚度为 30μm 左右。根据工艺要
求，通过激光划线刻形后的胶膜应线条平直、无毛刺且切痕已到达基体，但并不在
基体上留下刻痕为合格。具体结果见表 3-4。
表 3-4 激光能量选择试验结果

序号 激光能量(W) 试验结果

胶膜完全被切透，刻线平直、无毛刺，暴露出基体材料，但在
1 100
基体上留下较深刻痕，不合格；
胶膜完全被切透，刻线平直、无毛刺，暴露出基体材料，但在
2 75
基体上留下划痕，不合格；
胶膜完全被切透，刻线平直、无毛刺，暴露出基体材料，且未
3 50
在基体上留下划痕，合格；
胶膜没有完全切透，刻线平直、无毛刺，未暴露出基体材料，
4 20
无法顺利将胶膜剥离，不合格；

从上表可得出，激光刻形的激光能量为 50W 时可以满足化铣的要求。

(2) 胶膜厚度与激光能量关系：选取上述试验确定的激光能量 50W 不变，在尺
寸 200mm×200mm×10mm 的 TA12 钛合金试片上喷上不同厚度（10μm、20μm、30μm、
40μm、50μm、60μm）的胶膜，观察激光刻形后的胶膜是否被击穿及其可剥性。通
过对比试验得出当激光能量不变的情况下，胶膜的厚度是否会造成能量的衰减而影
响刻形效果。具体结果见表 3-5。
试验结果表明，胶膜厚度无论是 10μm 还是 60μm，胶膜上刻线平直、无毛刺，
且完全被切透，暴露出基体材料且未在基体上留下划痕，均为合格状态。该试验证
明只要激光能量达到 50W，胶膜的厚度对其没有影响。
(3) 激光刻形尺寸余量试验：通过确定化铣轴向和径向浸蚀比来确定激光刻形尺
寸余量。化铣液与零件表面发生作用，腐蚀加工向着垂直于零件表面的方向，即深
度方向进行时，化铣液也同时在与防蚀层图形边缘下面的金属起作用，因而腐蚀加
工沿着防蚀层边缘下面向着金属内部方向进行，从而在防蚀层的边缘下面形成一个
宽度 a（侧蚀量）和一个半径近似地等于铣切深度的圆弧 R。a 与 b 的比值成为腐蚀
系数(或称浸蚀比) k，化铣的腐蚀系数 k 可由下式求出（如图 3-2 所示）：

k = a/b （3-1）
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式中：a — 侧蚀量
b — 铣切深度

表 3-5 胶膜厚度与激光能量关系统计表

胶膜厚度
序号 试验结果
(μm)

胶膜上刻线平直、无毛刺，且完全被切透，暴露出集体材料且未
1 10
在基体上留下划痕，合格；
胶膜上刻线平直、无毛刺，且完全被切透，暴露出集体材料且未
2 20
在基体上留下划痕，合格；

胶膜上刻线平直、无毛刺，且完全被切透，暴露出集体材料且未
3 30
在基体上留下划痕，合格；

胶膜上刻线平直、无毛刺，且完全被切透，暴露出集体材料且未
5 40
在基体上留下划痕，合格；

胶膜上刻线平直、无毛刺，且完全被切透，暴露出集体材料且未
6 50
在基体上留下划痕，合格；

胶膜上刻线平直、无毛刺，且完全被切透，暴露出集体材料且未
7 60
在基体上留下划痕，合格；

图 3-2 浸蚀比示意图

试验方法：在尺寸为 200mm×200mm×10mm TA12 板件试片上，化铣前分别刻出

一个宽度为 10mm 左右的竖直和水平的筋条，化铣后采用游标卡尺测量筋条宽度和
采用测厚仪测量铣切深度，并按公式计算出浸蚀比。要求每化铣 30min，试片上下翻

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转一次。
由表中数据可知，化铣水平方向与竖直方向浸蚀比有所不同。竖直方向约为 0.8，
水平方向约为 0.6；在进行刻形时竖直方向按铣切深度的 0.8 倍预留余量，水平方向
按铣切深度的 0.6 倍预留余量。

表 3-6 TA12 板材试片浸蚀比

化铣前筋条宽度 化铣后筋条宽度 侧蚀量 a 铣切深度 b 浸蚀比

试样 位置
(mm) (mm) (mm) (mm) (k=a/b)

竖直 12 5.0 3.5 4.6 0.76

1#
水平 11 5.4 2.8 4.6 0.61

竖直 11 4.6 3.4 4.5 0.78

2#
水平 10 4.9 2.6 4.5 0.61

3.1.3 工装结构设计
在化铣过程中，由于产生大量的气体和沉积物，如不及时排除，会对化铣速度，
均匀性等有很大的影响。通常采用搅拌溶液的办法，但针对于形状结构复杂，尺寸
较大的的筒体零件，单纯依靠搅拌无法保证各个方向上的均匀性。通过试验分析，
为保证零件各部位化铣的均匀性，零件需定期变换方向，使化铣表面均匀性更好。
本试验研制了一种旋转装置，解决了复杂零件的化铣均匀性问题，转动系统简图如
图 3-3 所示。
(1)工装设计要求：根据化铣工艺的特点，化铣工装必须满足以下要求：
1）工装材料在硝酸和氢氟酸溶液中具有一定耐腐蚀性；
2）工装必须有足够的强度和刚性；
3）工装带动零件转动自如，并且便于零件装卸。
(2)化铣工装结构：根据化铣对工装的要求，化铣工装结构为轮辐复合结构，主
体材料均采用耐腐蚀不锈钢 SUS316 制成，在其外表面喷涂聚四氟乙烯或 PP 材料，
具体结构见图 3-4。

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图 3-3 转动系统简图

该工装主要由两大关键件组成，即支架和中轴，具体见图 3-5、3-6。支架采用
了焊接复合结构，主要由固定杆 1、固定杆 2、定位块 1、定位块 2、加强三角片、
套筒等组成，见图 3-5。主体采用耐酸能力好的材料 SUS316 焊接而成，在其外表面
喷涂聚四氟乙烯。定位块设计为沟槽结构是为了提高 SUS316 表面与喷涂材料聚四氟
乙烯的结合力。
中轴采用了内表面为不锈钢材质，外表面为 PP 塑料的复合结构，主要由螺杆、
堵塞、轴套等部分组成，见图 3-6。因不锈钢 SUS316 本身耐氢氟酸腐蚀能力好，内
部的主要结构螺杆采用 SUS316 制成。外部轴套、堵塞采用耐酸 PP 材料制成，轴套
及堵塞采用热熔焊接形式。

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图 3-4 工装结构示意图

图 3-5 支架结构示意图

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图 3-6 中轴示意图

(3)化铣工装的工作原理：操作时将内表面涂胶保护、外表面涂胶并刻形后的零
件用螺栓安装到夹具的支架上，用中轴固定好。因螺栓材质为不锈钢，在化铣溶液
中会被腐蚀，因此安装好后需要涂保护胶并晾干。安装好后，用中轴与化铣生产线
上的设备连接后，即可对零件进行揭胶处理，见图 3-4。加工零件时，化铣旋转装置
利用齿轮连接带动中轴转动，从而实现零件的转动。
(4)化铣工装转速的确定：钛合金在化铣过程中，由于化学反应产生大量的气体
和沉积物，同时放出大量热，零件如不转动时，将会造成零件厚度不均匀。通常采
用搅拌的办法，但由于所要加工的零件形状复杂，且外形较大，单纯靠搅拌的方法
无法保证各个方向上的均匀性。为保证零件各部位化铣均匀性，零件还要通过旋转
装置不停变换方向，才能使化铣的均匀性更好。本试验需确定合适的工装转速。
实验方法：将外形尺寸为 200mm×200mm×10mm 试件绑在旋转装置侧面，选取
不同的转速铣切 60min 后取出，通过超声波测厚仪测量多个位置壁厚，通过粗糙度
仪测粗糙度，查看其均匀性及腐蚀速度，最终确定工装转速。实验数据见表 3-7。

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表 3-7 工装转速与化铣速度及粗糙度的关系
工装转速 粗糙度 化铣速率
试样号
(转/min) (μm) (mm/min)
1 120 0.52 0.75
2 90 0.57 0.64
3 60 0.54 0.58

4 30 0.58 0.51

由上表可得出：工装转速对表面粗糙度无明显影响；工装转速对化铣去除速率
有一定的影响，转动速度慢则化铣去除速率稍慢，转动速度快则化铣速率稍快。但
是当工装转速过快时，化铣速度太快不好控制，均匀度差。故选工装转速为 90 转/h
时，试件的腐蚀速率及均匀性相对最好。同时为了消除零件形状带来的遮挡等影响，
加工零件时需每隔 15min 转换方向一次。

3.2 深度化铣工艺研究
3.2.1 化铣工艺参数的确定
试验方法：选取 TA12 试片进行试验，按如下流程进行：除油→酸洗→涂保护胶
→室温晾干→刻形→测厚→化学铣切→计算化铣速率，重复进行测测厚→化学铣切
→计算化铣速率的过程，直至腐蚀速率小于 0.6mm/h。表 3-8 为化铣工艺配方，从
中可见，钛合金的化铣速度随溶液中氢氟酸浓度的增加而增加。
试验温度：24-28℃。
化铣速率的表示方法：
a. 质量表示法：平均失重速率

Vm = △M/(S·t) （3-1）

式中：△M — 化铣前后试样的质量差(g)；
S — 暴露在化铣液中的试样面积(m2)；
T — 铣切时间(h)。
考虑试验中所用试样的暴露面积一致，可将式（1）简化为

Vm= △M/ t （3-2）

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b. 深度表示法：铣切速率

Vd = d/ t （3-3）

式中：d — 铣切深度(mm)；t — 铣切时间(h)。

表 3-8 化铣工艺配方
氢氟酸浓度 添加剂 化铣速率
试验号 硝酸浓度(g/L)
(g/L) (g/L) (g/h)
1 80 60 5 21.62
2 80 80 5 32.53
3 80 100 5 49.32
4 80 120 5 64.61
5 100 60 5 30.12
6 100 80 5 15.45
7 100 100 5 37.38
8 100 120 5 40.21

从图 3-7 可得知，配方 3 和配方 4 的化铣速率最大，配方 2、配方 3、配方 4 的

化铣速率高于配方 5 和配方 6，说明氢氟酸浓度相同时，硝酸浓度为 80g/L 的化铣溶
液的化铣速率大于硝酸浓度为 100g/L 的化铣溶液。主要是因为硝酸是氧化剂，硝酸
含量的增加使化铣溶液氧化性增加，在化铣过程中，氧化剂对钛合金的氧化会在钛
合金表面生成具有一定防护能力的氧化膜，从而使化铣速率较硝酸含量少时减小。

图 3-7 钛合金在化铣溶液中的化铣速率
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图 3-8 为不同硝酸含量的化铣液中氢氟酸含量对化铣速率的影响。从图可以看
出，随着氢氟酸含量的增大，化铣速率基本呈上升趋势。主要是由于在钛合金化铣
过程中氢氟酸是主要的腐蚀剂，因此氢氟酸浓度对钛合金化铣速率的影响较大，且
随着其浓度的的增加而增大。

图 3-8 氢氟酸浓度对钛合金化铣速率的影响

表 3-9 为配方 1-8 化铣前后表面粗糙度 Ra 的变化值。从表 3-9 可得出，化铣后

的表面粗糙度明显减小，试片表面平整光亮。板材轧制方向和垂直方向有所不同，
配方 1、配方 4、配方 8 两个方向相差较小。

表 3-9 配方 1-8 化铣前后表面粗糙度 (μm)

配方 1 2 3 4 5 6 7 8
基体 1.61 1.03 1.32 1.60 1.48 1.67 2.10 2.91
平行 0.41 0.53 0.65 0.51 0.59 0.61 0.42 0.40
垂直 0.32 0.38 0.35 0.42 0.33 0.35 0.84 0.45
注：配方 6 因为化铣速率慢，没有完成铣切。

图 3-9 为工艺 1-8 的化铣速率随钛含量的变化，由图可知，除了配方 6 的初始化

铣速率过于低外，其他工艺的初始化铣速率均大于 0.6mm/h。随着化铣时间的延长，
化铣溶液中的钛离子含量不断增加，溶液中的氢氟酸浓度降低，并且溶液中的钛离
子与氟离子形成络合物减少了溶液中的腐蚀剂的浓度，所以化铣速率降低。化铣速

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率随着钛离子含量的增加而降低。配方 2、配方 4、配方 7、配方 8 在化铣的 4 个多

小时内化铣速率仍然很大，其中以配方 4 的化铣速率最大，配方 1、配方 5 在较短时
间内化铣速率就出现了很快的下降，说明配方 1、配方 5 不适用于快速化铣。

图 3-9 化铣速率随钛含量的变化曲线
图 3-10 分别为 TA12 钛合金使用配方 2、配方 4、配方 7、配方 8 化铣液进行大
尺寸铣切后的外观形貌照片，由图中可看出，经过该系列配方化铣的钛合金外观平
整表面光滑。化铣深度与时间没有固定的关系但与槽液的溶解速率有关。化铣速率
则与溶液中的钛离子浓度有关。化铣的设计依据如下：
（1）形状的选择：实际要加工的零件类型均为整体环形结构，外壁上分布不同
形状的安装座，如圆形、方形或其它不规则形状等，零件上的加强肋也有井字形和
米字形两种类型。而形状对化铣的浸蚀比有很大影响，为了同时考虑测定不同方向
的浸蚀比，以便提供激光刻形时的预留量，所以选定试样为带有方形、圆形、横肋、
纵肋、斜肋形状的试样。
（2）厚度的选择：因零件上需要化铣加工而成的安装座最高高度为 10mm，加
强肋的高度为 5mm 左右，而零件最终壁厚为 1mm 左右，零件一般采用 10mm 厚的
两块板材焊接后再通过一次或二次化铣加工而成。故选定用于性能测试用的试样铣
切深度为 9mm 左右，用于测定浸蚀比的试样铣切深度为 5mm 左右。
从以上试验结果综合可得出，最佳的深度化铣工艺配方为配方 4，具体参数为：
氢氟酸 120g/L，硝酸 80 g/L，添加剂 A5g/L，温度 24-28℃。

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(a) (b)

(a)

(c) (d)

图 3-10 不同配方化铣后外观形貌
(a) 配方 2；(b) 配方 4；(c) 配方 7；(d) 配方 8

3.2.2 钛离子浓度对化铣速度、粗糙度及表面平整度的影响
(d)
化铣溶液稳定性是指化铣溶液能够维持某一铣切速率进行化学铣切的能力，影
响这一性能的因素很多，主要有化铣溶液中酸的含量、钛的含量、化铣温度、添加
剂用量等。由于实验研究中酸的含量、化铣温度和添加剂用量均控制在较小的变化
范围内，因此这几个因素对化铣溶液的稳定性影响有限。而化铣液中钛的含量随着
铣切的进行是不断在增加的，这一因素成为化铣溶液稳定性，即化铣槽液使用寿命
的主导影响因素。通过实验，研究钛离子浓度对溶液化铣速度、表面粗糙度和表面
平整度的影响。
（1）钛离子浓度对化铣速度的影响
图 3-11 为钛离子浓度对化铣速率的影响曲线。从图 3-11 可看出，随溶液中钛离
子浓度的增加，钛合金表面化铣的速度逐渐降低，这主要是由于钛离子浓度增加导
致溶液粘滞性加大，使化铣表面周围的溶液得不到及时补充，存在浓差极化，降低
了化铣速率。而且溶液中的氢氟酸浓度降低，并且溶液中的钛离子与氟离子形成络
合物减少了溶液中的腐蚀剂的浓度，也使化铣速率降低。

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图 3-11 钛离子含量与化铣速度的关系曲线
(2) 钛离子浓度对粗糙度的影响
图 3-12 是钛合金表面粗糙度随化铣液中钛离子浓度的变化曲线。从图 3-12 可
看出，粗糙度值随着钛离子浓度的增加而逐渐降低，这是由于溶液中钛离子的存在
对零件的腐蚀具有一定的缓冲作用，且随着钛离子浓度的增加其缓蚀作用逐渐加强，
因而粗糙度在钛离子浓度增加的情况下逐渐降低。

图 3-12 钛离子含量与表面粗糙度的关系曲线

(3)钛离子浓度对平整度的影响
图 3-13 为化铣液中钛离子浓度对钛合金表面平整度影响的关系曲线。从图 3-13
可看出，溶液中钛离子浓度较低时，钛合金零件化学铣切的表面厚度差异小，平整
度较好。随着钛离子浓度的增加，表面尺寸差异逐渐增大，平整度逐渐变差。这是
由于钛离子浓度的增大，使化铣溶液的粘滞性加大，溶液的流动性变差，从而导致

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钛合金表面被腐蚀程度不均匀，因此平整度变差。

图 3-13 钛离子含量与表面平整度的关系曲线

3.3 本章小结
本章通过试验，确定了化铣用保护胶种类，确定了激光刻形能量及工装结构，
确定了最佳的深度化铣工艺配方，研究了钛离子浓度与化铣速率、表面粗糙度及平
整度的关系。
（1）确定了 AC850 为化铣用保护胶种，确定了采用电火花检测仪检测胶膜漏
点及修补方法；
（2）确定了激光刻形的能量为 50W，确定了激光刻形时的尺寸余量；
（3）以保证零件化铣的均匀性为指标，确定了一种具有旋转功能的工装结构，
并确定了工装的最佳工作转速 90 转/h。
（4）以化铣速率和粗糙度为考核指标，确定了深度化铣最佳工艺配方：氢氟酸
120g/L，硝酸 80 g/L，添加剂 A 5g/L，温度 24-28℃。
（5）研究了化铣液中钛离子浓度与化铣速率、表面粗糙度、平整度的关系：化
铣速率及表面粗糙度随着钛离子浓度的增加而降低；随着钛离子浓度的增加，表面
尺寸差异逐渐增大，平整度逐渐变差。

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第 4 章 化铣对 TA12 钛合金性能的影响

4.1 化铣后钛合金表面形貌及成分
化铣工艺会对钛合金材料造成局部腐蚀，其中以晶间腐蚀发生的几率最大，
使用金相显微镜对化铣后的 TA12 钛合金试片（9mm）进行观察，如图 4-1 所示。
图 4-1 为化铣后钛合金表面及截面的金相组织照片。从中可见，化铣后钛合金表
面被轻微腐蚀，并未观察到晶界腐蚀特征。

(a)
(a) (b)
(b)

1μm

(c) (d)

图 4-1 化铣后表面形貌
(a)、(b) 化铣后钛合金表面金相照片；
(c)、(d) 化铣后钛合金截面金相照片

由图可以看出，经过化铣后的 TA12 钛合金并未发现晶间腐蚀迹象，图 4-1c)，

d) 照片可以观察到由于表面粗糙度引起的不平整缺陷。图 4-2 是钛合金化铣前后
表面成分分析。从表面成分来看两者基本一致，没有新增元素产生。
化铣前后能谱数据如表 4-1、4-2 所示。成分分析表明，化铣前后的成分相差
不大，表明化铣并未造成钛合金表面化学成分发生变化。由此说明化铣并没有引
起钛合金表面发生质的变化。

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表 4-1 化铣前能谱数据
(a)
元素 重量 原子 (a)
百分比 百分比
Al K 5.70 10.02
Si K 0.53 0.90
Ti K 86.78 85.93
Zr L 3.04 1.58
Sn L 3.94 1.58 (b)

表 4-2 化铣后能谱数据
元素 重量 原子
百分比 百分比
Al K 6.02 10.53

Si K 0.44 0.75

Ti K 87.03 85.79
Zr L 2.92 1.51
Sn L 3.59 1.43

4.2 化铣对钛合金表面粗糙度的影响
试验方法：将试片进行化铣，保证化铣最终深度约 9mm，采用 3+触针式表面
粗糙度测试仪器，对化铣前后的表面粗糙度进行测试。结果见表 4-3。
从表 4-3 中可以看出，化铣后试样表面粗糙度值比化铣前小很多，约为 1 倍
左右。随着化铣深度的增加，粗糙度值趋于稳定。这可能是由于刚开始化铣时，
硝酸的整平作用尚未发挥所致。当化铣达到 2.4mm 深度时，横向与纵向的粗糙度
值基本达到一致。

4.3 化铣对钛合金表面残余应力的影响
TA12 试验件化铣前后应力测试结果见表 4-4。
从表 4-4 可以看出，化铣后钛合金表面的残余应力方向发生了改变，由原来
的压应力变为拉应力。从试验数据还可以看到，钛合金表面残余应力的变化与钛
合金表面的化铣深度无关系。由此认为，残余应力的改变并不是化铣导致的，板
材原来的压应力应该是由于板材轧制过程形成的，只是浅表面状态。因此，分析
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化铣对板材的应力无影响。

表 4-3 TA12 材料化铣前后表面粗糙度 (μm)

横向 0.98 1.04 1.02 1.02 1.02

化铣前
纵向 0.62 0.54 0.52 0.54 0.58
深度 0.4mm 0.61 0.62 0.61 0.60 0.61
深度 1.2mm 0.45 0.44 0.42 0.43 0.42
深度 2.4mm 0.44 0.38 0.42 0.44 0.44
深度 3.0mm 0.45 0.39 0.43 0.42 0.43
横
深度 4.2mm 0.41 0.40 0.42 0.43 0.41
向
深度 5.4mm 0.40 0.37 0.41 0.44 0.40
深度 6.1mm 0.43 0.36 0.42 0.41 0.38
深度 7.0mm 0.41 0.39 0.44 0.40 0.40
深度 7.8mm 0.40 0.41 0.41 0.42 0.42
化铣后 深度 8.9mm 0.40 0.37 0.41 0.44 0.40
深度 0.4mm 0.48 0.48 0.46 0.48 0.46
深度 1.2mm 0.45 0.45 0.43 0.44 0.44
深度 2.4mm 0.46 0.44 0.44 0.41 0.40
深度 3.0mm 0.45 0.43 0.45 0.41 0.42
纵 深度 4.2mm 0.44 0.44 0.42 0.39 0.40
向 深度 5.4mm 0.43 0.45 0.41 0.38 0.39
深度 6.1mm 0.44 0.42 0.40 0.41 0.40
深度 7.0mm 0.40 0.41 0.44 0.40 0.42
深度 7.8mm 0.42 0.43 0.40 0.42 0.37
深度 8.9mm 0.39 0.40 0.42 0.41 0.40

表 4-4 TA12 化铣前后表面残余应力 (MPa)

化铣前 化铣后 化铣后

编号
（板材厚度 10mm) （化铣深度 1.5mm） （化铣深度 9mm）
1 -343.88 25.96 26.00
2 -388.38 -28.45 -29.94
3 -388.16 -26.56 -27.14
4 -342.90 22.45 21.77
5 -351.44 21.16 20.42

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4.4 化铣对钛合金拉伸性能的影响
轧制板材由于纤维组织和带状组织的出现，会使板材的性能在不同方向上有
所差异，当加载的外力方向垂直于板材的轧制方向时，其疲劳寿命小于外力平行
与板材轧制方向，本试验试样采用垂直纤维方向下料。表 4-5 为 TA12 板材力学性
能。表 4-6 及表 4-7 分别为机械铣和化学铣后的常温和高温力学性能。
通过对比表 4-5、表 4-6、表 4-7 试验数据发现，化铣加工后钛合金室温抗拉
强度及断裂延伸率的变化与机械加工后的相差较小，但使钛合金的屈服强度略有
降低。而化铣后钛合金的高温拉伸性能与机械加工后的高温拉伸性能相差较小，
由此可见，化铣并未影响钛合金的室温及高温拉伸性能，因此化铣后钛合金的各
项性能均符合板材工艺标准要求。

表 4-5 TA12 板材力学性能

拉伸性能，不小于
温度 抗拉强度 断后伸长率 屈服强度
(℃) (MPa) (%) (MPa)
室温 900 8 --
550℃ 600 10 350

表 4-6 不同状态 TA12 钛合金常温力学性能数据

抗拉强度 屈服强度 断后伸长率
试样加工方法 试片编号
(σ b/ MPa) (σ 0.2/ MPa) (%)
化学铣 1 1110 860 17.0
化学铣 2 1090 830 19.0
化学铣 3 1060 1010 18.0
化学铣 4 1070 870 17.0
平均值 1082.5 892.5 18.75
技术规范 ≥900 ---- ≥8.0
机械铣 1 1160 1070 19.5
机械铣 2 1150 1070 15.5
机械铣 3 1050 1000 12.0
机械铣 4 1080 1030 13.0
平均值 1110 1042.5 15.0
技术规范 ≥900 ---- ≥8.0

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表 4-7 不同状态的 TA12 钛合金高温力学性能数据（温度：550℃保温时间 15min）

抗拉强度 屈服强度 断后伸长率

试样加工方法 试片编号
(σ b/ MPa) (σ 0.2/ MPa) (%)
化学铣 1 705 510 19.0
化学铣 2 685 505 15.5
化学铣 3 660 485 13.5
化学铣 4 695 500 18.5
平均值 686.25 500 16.6
技术规范 ≥600 ≥350 ≥10.0
机械铣 1 690 510 18.5
机械铣 2 665 485 11.5
机械铣 3 680 505 17.0
机械铣 4 670 470 13.0
平均值 676.25 492.5 15.0
技术规范 ≥600 ≥350 ≥10.0

4.5 化铣对钛合金疲劳性能的影响
轧制板材由于纤维组织和带状组织的出现，会使板材的性能在不同方向上有
所差异，本试验试样采用垂直纤维方向下料。试验分别对机械铣和化学铣进行了
低周疲劳测试，应力比：0.1，试验频率：5HZ，试验设备：EHF-100KNE
在室温及高温 550℃下测试化铣前后基体材料的疲劳强度，要求化铣深度为
9mm。表 4-8 为室温下不同状态钛合金低周疲劳测试数据。经比较发现，化铣钛
合金的低周疲劳性能与机械加工钛合金的低周疲劳性能相差不大，满足板材工艺
标准。表 4-9 为高温下不同状态钛合金低周疲劳测试数据。经比较发现，化铣钛
合金的低周疲劳性能与机械加工钛合金的低周疲劳性能相差不大，满足板材工艺
标准。
从上述对比数据可以看出，化学铣切加工的钛合金试样室温低周疲劳性能及
高温低周疲劳性能优于机械铣试样低周疲劳性能。可能是由于化铣后试样的表面
粗糙度较机械加工试样表面粗糙度值低所致。

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表 4-8 室温下不同状态 TA12 低周疲劳试验

最大应力 试验频率 循环周次
试样 试样状态
(Mpa) (Hz) (n)
1 610 5 46990 化学铣
2 610 5 80042 化学铣
3 610 5 119220 化学铣
4 610 5 104959 化学铣
平均值 87802.75
5 610 5 86196 机械铣
6 610 5 30458 机械铣
7 610 5 30390 机械铣
8 610 5 30821 机械铣
平均值 44466.25

表 4-9 在 550℃下不同状态 TA12 低周疲劳试验数据

最大应力 试验频率 循环周次
试样 试样状态
(Mpa) (Hz) (n)
1 610 5 4748 化学铣
2 610 5 5909 化学铣
3 610 5 7170 化学铣
4 610 5 7462 化学铣
5 610 5 8319 化学铣
平均值 6721.6
6 610 5 2928 机械铣
7 610 5 3748 机械铣
8 610 5 4550 机械铣
9 610 5 4878 机械铣
10 610 5 7690 机械铣
平均值 4758.8

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4.6 材料氢含量
钛合金化铣（腐蚀）过程的主要腐蚀剂是氢氟酸，硝酸的作用是抑制氢气的
产生，其综合反应式如下。

3Ti + 4HNO3 + 12HF→3TiF4 + 8H2O +4 NO↑ （4-1）

从综合反应方程式看，并没有产物氢出现。但实质上，产生氢的过程并没有
消除，而只是产生的氢迅速被硝酸氧化，从而抑制了氢气的产生。即在氢氟酸与
钛反应产生氢气的过程中，腐蚀溶液中的硝酸根参与了整个反应过程，腐蚀产生
的氢原子和氢气分子大部分与硝酸根反应产生 NO，此外还是有少量氢与钛发生反
应，产生钛的氢化物，或是直接以氢原子的形式沿金属内部缺陷向金属内部扩散。
与氢原子的反应如下：

H＋ ＋ e→H （4-2）

6H + 2HNO3→4H2O + 2NO↑ （4-3）

Ti + H→TiH （4-4）

与氢分子的反应如下：

2H＋＋2e→H2 ↑ （4-5）

3H2 + 2HNO3→4H2O + 2NO↑ （4-6）

2Ti + H2→2TiH （4-7）

因为钛合金是一种对氢非常敏感的材料，所以钛合金零件经化铣处理后，氢
含量是一项需要严格控制的指标。
本试验分别对基体、化铣部位部位进行了氢含量的测试，结果见表 4-10。
从上表结果得出，化铣后氢含量有所增加，但析氢量不是很大。从表中数据
看出增氢量约为 50ppm。经分析认为：在化铣过程中，氢原子在缓慢进入基体的
同时，表面基体也在发生着溶解反应，除去参加反应的腐蚀层，真正进入材料基
体的氢含量并不是很多。从化铣定氢结果可看出，在化铣深度为 2mm 时，钛合金
最大增氢量也仅仅十几个 ppm；当化铣深度为 6mm 左右时，氢含量值最大。分析
新配槽液的溶解速率不是太大，零件在腐蚀槽液中的溶解速度小于氢原子渗透速
度，增加吸氢的可能。

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表 4-10 TA12 化铣后氢含量统计表

铣切深度 化铣后氢含量
基体材料 槽液状态
(mm) (ppm)

0 20.2 新配

0 23.5

1 28.4

1 30.7

2 32.2

2 30.6

5.2 61.2
TA12
5.2 65.5

6.02 73.4 新配

6.02 71.7

6.88 64.3

6.88 66.1

9 72.3

9 71.8

4.7 本章小结
本章研究评价了化铣前后 TA12 表面形貌和成分变化，化铣前后表面粗糙度、
残余应力、拉伸性能、疲劳性能、氢含量等的变化情况，主要结论如下：
（1）化铣后的 TA12 钛合金并未发现晶间腐蚀迹象。从表面成分来看化铣前
和化铣后两者基本一致，没有新增元素。
（2）化铣后试样表面粗糙度值比化铣前小很多，随着化铣深度的增加，粗糙
度值趋于稳定。当化铣达到 2.4mm 深度时，粗糙度基本不变。
（3）化铣对表面残余应力无影响。
（4）化铣加工后钛合金室温抗拉强度及断裂延伸率的变化与机械加工后的相
差较小，但是钛合金的屈服强度略有降低。而化铣后钛合金的高温拉伸性能与机
械加工后的高温拉伸性能相差较小，由此可见，化铣并未影响钛合金的室温及高
温拉伸性能，化铣后钛合金的各项性能均符合板材工艺标准要求。

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（5）化学铣切加工的钛合金试样室温低周疲劳性能及高温应力疲劳性能优于
机械铣试样室温及高温应力疲劳性能。
（6）深度化铣后氢含量有所增加，但析氢量不是很大，化铣 5mm 以上时增
氢量约为 50ppm。

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第 5 章 化铣工艺在典型零件上的应用
TA12 钛合金使用温度高达 550℃，具有良好的力学性能、热稳定性及疲劳性
能。飞机发动机上加力筒体、外涵前后机匣、转接机匣、扩散器外壁等大型筒体
类结构件均采用 TA12 材料制成，由于零件外壁上分布各种功能的安装座和加强
肋，形状结构复杂且壁薄，不宜进行焊接、钣金成型、机械铣切等加工。采用一
次或二次化铣成型技术，完成了零件的加工。避免了机械加工带来的变形，解决
了焊接带来的安装座连接强度问题，提高了零件整体刚性。

5.1 化铣工艺在外涵机匣上(井字肋)的应用
外涵机匣基体材料为 TA12，由两个 6mm 厚的板材焊接而成。通过一次化铣
的方法铣掉 5mm，最终壁厚为 1.0mm 左右。图 5-1 为化铣后零件局部图。化铣后
表面光滑，化学铣切线轮廓分明，表面光亮度较好，表面粗糙度小于 1.6μm，化
铣后零件壁厚为 1.0±0.1mm，化铣后氢含量不大于 125ppm，符合设计要求。

图 5-1 化铣后井字肋零件局部图

5.2 化铣工艺在加力筒体（井字肋及米字肋）上的应用
加力筒体位于扩散器和收扩喷口之间，是航空发动机上的一个重要的热力部
件，其主体材料为 TA12，外壁直径约 1000mm，主体上分布数十个安装座和加强
肋，安装座高 5mm，成品件主体壁厚 1 mm 左右。该零件以 10mm 厚的两块板材
焊接而成，采用二次化铣完成了零件的加工。化铣前零件的表面状态如图 5-2 及
图 5-3 所示。第一次化铣完成了安装座的加工，如图 5-4 所示。第二次化铣完成了
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井字或米字加强肋的加工，如图 5-5、5-6 所示。最终化铣后表面光滑，化学铣切

线轮廓分明，表面粗糙度小于 1.6μm，化铣后零件壁厚为 1.0±0. 2mm，化铣后氢
含量不大于 125ppm，符合设计要求。

图 5-2 化铣前零件平面图

图 5-3 化铣前零件平面图

图 5-4 一次化铣（安装座）后零件局部图
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图 5-5 二次化铣后零件（井字肋）局部图

图 5-6 二次化铣后零件（米字肋）局部图

5.3 化铣工艺在加力筒体壳体（不规则形状）上的应用
某机加力筒体壳体，基体材料为 TA12，由厚度为 8mm 左右的锻件经过机械
铣及车加工成如下状态，为了起到减重作用，需要通过一次化铣的方法将中间部
位由 6.5mm 铣掉 5.5mm，最终壁厚为 1.0mm 左右。图 5-7 为化铣前零件局部图，
图 5-8 为化铣后零件局部图。化铣后表面光滑，化学铣切线轮廓分明，表面光亮
度较好，表面粗糙度小于 1.6μm，化铣后零件壁厚为 1.0±0.2mm，化铣后氢含量不
大于 125ppm，符合设计要求。

图 5-7 化铣前零件局部图
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图 5-8 化铣后零件局部图

5.4 化铣生产工艺流程
（1）化学除油：钛合金化学铣切加工除油液配方采用美国 GEAE 公司工艺：
Turco aviation，浓度 40-50g/L，温度 45-55℃，时间 10-20min。零件除油热水洗冷
水洗后需放在空气中进行水膜检查，如在 10-30s 内水膜无破裂现象，就证明零件
表面的油污已除净，否则需要重新进行除油工序。
（2）腐蚀：为了去除零件表面氧化膜，污物等，零件需进行腐蚀工序。钛合
金腐蚀采用含有硝酸和氢氟酸的混合液。硝酸 (p=1.42g/cm3)：30-35%（体积比）；
氢氟酸(40 %)：3-3.5%（体积比）
（3）吹砂：由于化铣的零件形状均较为复杂，加力筒体的承力环等有较深的
沟槽，在涂胶时不能保证结合力，需增加吹干砂工序。吹砂采用 80-100 目刚玉砂，
风压为 0.2-0.3MPa。
（4）涂保护胶：涂保护胶时一定要保证胶膜厚度，不能漏涂。涂胶后需用电
火花检测仪见图 5-9 检测胶膜是否有漏点，避免由于胶膜不合格造成零件化铣后
出现缺陷。

图 5-9 电火花检测仪

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电火花检测仪使用方法：按设备说明书将电刷线和导电线正确连接；根据被
检测部位的大小连接大电刷或小电刷；将检测电压调整至 9-10KV，将电刷轻轻刷
过零件涂胶表面，如果出现电火花，则证明打火部位有漏基体现象，需要进行补
涂胶，如果不出现电火花，则证明胶膜完整。
（5）刻形工艺：刻形是化学铣切加工中的重要工序，化铣缺陷往往是由于这
个工序操作不妥引起的。刻形采用激光刻形，刻形时注意检查刻线是否清晰，粗
细均匀。表面刻形状态如图 5-10、5-11 所示。

图 5-10 涂胶激光刻形后的表面状态

图 5-11 涂胶激光刻形后的表面状态

（6）装挂：安装夹具前需将零件与工装接触处用聚氯乙烯胶带再次绝缘，避
免安装夹具或由于工装转动时磕碰造成胶膜破损。
（7）揭胶：刻形完成后，注意不要把非铣切部位的保护胶撕起，如果非化铣
面上的保护胶有不合格之处，必须进行修补。
（8）化铣：化铣过程中为防止零件过铣，需 30min 左右取出零件，用超声波
测厚仪见 5-12 检查铣切厚度情况，用电火花检测仪检测胶膜的完整性，同时目视
检查结构复杂表面胶膜与基体的结合性，发现及时处理。
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图 5-12 超声波测厚仪

超声波测厚仪使用方法：将电池按设备上的正负极方向显示装入仪器，连接
好测量数据线，打开探头的旋钮，检查探头里的耦合剂是否充足；按住开关键开
机，用样块进行厚度校验后使用；测量时将测试表面滴一滴耦合剂或使零件表面
保持润湿状态，用手拿住探头贴紧零件表面，当数据显示屏的左上角竖条全部显
示时，此数值即为测定的厚度值。
（9）去挂灰：钛合金腐蚀加工过程都会在表面上留下一层氧化膜和反应沉积
物，而这些物质单独靠水洗是去不掉的。钛合金材料一般在含有氢氟酸和硝酸的
混合液中进行去除。
硝酸 (p=1.42g/cm3)：30-35%（体积比）
氢氟酸(40 %)：3-3.5%（体积比）
（10）高压水冲洗：采用不低于 0.4MPa 的高压水冲洗零件表面，以除去表面
残留物。

5.5 化铣应用过程中存在问题的解决
（1）解决加力筒体等零件纵横肋化铣速度与试片化铣速度存在差异问题。
零件在化铣过程中表现为筒体表面纵横肋宽度不一致，这和筒形件在化铣槽
中转动方式有关。在根据该结果对浸蚀比进行了修正，并重新编制刻形程序。采
用新编程序刻形后，零件化铣后纵横肋宽度基本一致。
（2）解决化铣过程中非化铣表面过铣问题。
由于筒体等零件形状复杂，安装座多且需要保护部位有深槽，如胶保护不好，
就容易造成零件过铣，致使零件相关尺寸、形状不符合设计图要求，需要办理相
关手续才能发出。为此在涂胶前增加干吹砂工序，以提高基体表面粗糙度，提高

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胶膜与基体结合力，防止化铣过程中胶膜开裂、翘边等造成零件过洗。图 5-13 为
带有沟槽结构的零件图。

图 5-13 带有沟槽结构的零件图

（3）解决化铣后加强肋存在尖边问题
由于零件涂保护胶后涂胶面一侧的化学反应不能进行，而横向浸蚀依然随反
应进行，进而在加强肋上边形成了尖边，如图 5-14 所示。随着铣切深度的增加，
圆弧半径越大，产生的尖边越锋利，给零件的搬运和装配造成了极大地不便。通
过后续增加磨粒流振动光整工序，即把零件放在装有弹簧的筒形或碗形开口容器
中，通过特殊装置让容器上下、左右振动，使零件与磨削介质相互摩擦完成光饰
加工任务，达到去毛刺，导圆棱边、锐角。常用的磨料为刚玉砂、玻璃丸、钢丸
等，光饰效果简图及实物图见 5-15、5-16。

图 5-14 尖边形成示意图

图 5-15 光饰效果简图 图 5-16 光整后形貌

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5.6 本章小结
本章实现了深度化铣工艺对外寒机匣、加力筒体等零件的应用，解决了生产
中存在的问题，具体结论如下：
（1）对外涵机匣（井字肋）进行一次化铣加工，铣切深度 5mm 左右。化铣
后表面光滑，化学铣切线轮廓分明，表面粗糙度小于 1.6μm，化铣后零件壁厚为
1.0±0.1mm，化铣后氢含量不大于 125ppm，符合设计要求。
（2）对某机加力筒体（井字肋及米字肋）进行了二次化铣加工，铣切深度共
9mm 左右。化铣后表面光滑，化学铣切线轮廓分明，表面粗糙度小于 1.6μm，化
铣后零件壁厚为 1.0±0.2mm，化铣后氢含量不大于 125ppm，符合设计要求。
（3）对某机加力筒体壳体（不规则形状）进行了一次化铣加工，铣切深度
5.5mm 左右。化铣后表面光滑，化学铣切线轮廓分明，表面粗糙度小于 1.6μm，
化铣后零件壁厚为 1±0.2mm，化铣后氢含量不大于 125ppm，符合设计要求。

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结论
本文研究了适合于 TA12 钛合金深度化铣工艺配方和工艺参数，建立了化铣
深度与表面粗糙度、氢含量之间的关系，建立了钛离子浓度与化铣速率、表面粗
糙度及表面平整度之间的关系。对比分析了化铣前后材料力学性能、疲劳性性能、
残余应力、基体组织的差异。主要结论如下：
（1）TA12 钛合金深度化铣加工工艺配方为：氢氟酸 120 g/L，硝酸 80 g/L，
添加剂 A 5g/L，温度 24-28℃。化铣加工时零件采用专用夹具进行装挂，并轴向旋
转，工装转速为 90 转/h，每隔 15min 转换方向一次。
（2）随着钛离子浓度的增加，钛合金表面化铣的速度及表面粗糙度逐渐降低，
表面平整度逐渐变差。当溶液中的 钛离子 含量达到 25.5g/L，槽液化铣速度低于
0.3mm/h，平整度低于 0.1mm，化铣加工达到极限，槽液报废，需要重新更换槽液。
（3）化铣后试样表面粗糙度值比化铣前小很多，随着化铣深度的增加，粗糙
度值趋于稳定。当化铣达到 2.4mm 深度时，粗糙度基本不变。化铣后氢含量有所
增加，但析氢量不是很大，化铣深度 5mm 以上时增氢量约为 50ppm。
（4）化铣后的 TA12 钛合金并未发现晶间腐蚀迹象。从表面成分来看化铣前
和化铣后两者基本一致，没有新增元素。化铣后试样室温低周疲劳性能及高温应
力疲劳性能略优于机械铣试样室温及高温低周疲劳性能。
（5）化铣加工后 TA12 钛合金室温抗拉强度及断裂延伸率的变化与机械加工
后的相差较小，但是钛合金的屈服强度略有降低。而化铣后钛合金的高温拉伸性
能与机械加工后的高温拉伸性能相差较小。无论是室温还是高温环境，化铣后各
项性能指标均符合工艺规范要求。
（6）采用研制的深度化铣工艺实现了某外涵机匣及加力筒体等零件的应用，
化铣后的零件表面光滑，化学铣切线轮廓分明，表面粗糙度小于 1.6μm，化铣后
零件壁厚为 1 mm 左右，化铣后氢含量不大于 125ppm，符合设计要求。

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 哈尔滨工业大学工程硕士学位论文

哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限

学位论文原创性声明

本人郑重声明：此处所提交的学位论文《TA12 钛合金深度化铣工艺及铣后性
能研究》，是本人在导师指导下，在哈尔滨工业大学攻读学位期间独立进行研究
工作所取得的成果，且学位论文中除已标注引用文献的部分外不包含他人完成或
已发表的研究成果。对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体，均已在文中
以明确方式注明。

作者签名： 日期：2015 年 12 月 23 日

学位论文使用权限

学位论文是研究生在哈尔滨工业大学攻读学位期间完成的成果，知识产权归
属哈尔滨工业大学。学位论文的使用权限如下：
（1）学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存研究生上交的学位论文，
并向国家图书馆报送学位论文；（2）学校可以将学位论文部分或全部内容编入有
关数据库进行检索和提供相应阅览服务；（3）研究生毕业后发表与此学位论文研
究成果相关的学术论文和其他成果时，应征得导师同意，且第一署名单位为哈尔
滨工业大学。
保密论文在保密期内遵守有关保密规定，解密后适用于此使用权限规定。
本人知悉学位论文的使用权限，并将遵守有关规定。

作者签名： 日期： 2016 年 3月 6日

导师签名： 日期： 2016 年 3月 6日

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 哈尔滨工业大学工程硕士学位论文

致谢
本论文是在导师胡津老师的精心指导下完成的，从论文的选题、试验方案的
制定及论文的修改，都离不开老师关键性的指导。胡津老师为人和蔼、学识渊博、
严谨治学、精益求精的治学精神和工作作风都使我深受教育，并努力学习并应用
到今后的工作中。在此特向胡津老师表示诚挚的敬意和衷心的感谢。
值此论文完成之际，所有曾在学习和工作中给予我关心、支持及无私帮助的
老师和同事们表示诚挚的谢意。感谢哈工大的张云珠老师对我们班的关心和付出，
感谢朱景川老师、刘勇老师对我的帮助和指导，感谢我的企业导师王辉严高工，
给予我的支持和帮助，感谢刘新、郭春光、詹秀嫣在试验过程中给予我的大力支
持和帮助。
最后感谢集团公司的领导对我们哈工大工程硕士班的关心和支持，感谢黎明
公司人力资源部赵正部长、孙彦主任对我们班的关心、支持和付出，向所有在我
读硕期间给我的工作和学习上给予帮助的所有人表示感谢。

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 哈尔滨工业大学工程硕士学位论文

个人简历
1973 年 02 月 07 日出生于辽宁省北镇市。
1992 年 07 月考入沈阳工业学院化工系金属腐蚀与防护专业，1995 年 07 月毕
业。
2011 年 03 月至今，在哈尔滨工业大学材料科学与工程学院材料工程专业学
习。
工作经历：1995 年 8 月至今，沈阳黎明航空发动机（集团）有限责任公司，
从事金属腐蚀与防护技术工作。

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