Chương 7

CẢM BIẾN ĐO VẬN TỐC, GIA TỐC VÀ RUNG

1. Cảm biến đo vận tốc
1.1. Nguyên lý đo
1.2. Tốc độ kế điện từ
1.3. Tốc độ kế xung
2. Cảm biến đo rung và gia tốc
2.1. Nguyên lý đo
2.2. Cảm biến đo tốc độ rung
2.3. Gia tốc kế áp điện
2.4. Gia tốc kế áp trở
 1.1. Nguyên lý đo vận tốc
Vai trò đo vận tốc quay:
v Trong công nghiệp, phần lớn trường hợp
đo vận tốc là đo tốc độ quay của máy.
v Trong trường hợp chuyển động thẳng,
việc đo vận tốc dài cũng thường được
chuyển về đo tốc độ quay.
⇒ Chủ yếu nghiên cứu cảm biến đo tốc
độ quay.
 1.1. Nguyên lý đo vận tốc
Nguyên lý đo vận tốc quay:
v Phương pháp 1 (sử dụng tốc độ kế điện từ):
Dựa trên hiện tượng cảm ứng điện từ. Cảm biến
gồm có hai phần: phần cảm (nguồn từ thông)
và phần ứng (phần có từ thông đi qua). Khi có
chuyển động tương đối giữa phần cảm và phần
ứng → từ thông (Φ) đi qua phần ứng biến thiên
→ trong phần ứng xuất hiện suất điện động cảm
ứng (e) ∈ tốc độ biến thiên (Φ) → ∈ tốc độ dịch
chuyển. Đo (e) → (v).
v Các loại: Tốc độ kế một chiều, tốc độ kế xoay
chiều…
 1.1. Nguyên lý đo vận tốc
dΦ
• Sức điện động cảm ứng: e( t ) = −
dt
()
• Từ thông qua phần ứng: Φ x = Φ 0 F x ()
F(x) là hàm phụ thuộc vị trí của phần động.
dF( x ) dF( x ) dx
⇒ e( t ) = − Φ 0 . = −Φ 0 . .
dt dx dt
 1.1. Nguyên lý đo vận tốc
• Phương pháp 2 (Sử dụng tốc độ kế vòng
loại xung): làm việc theo nguyên tắc đo tần số
chuyển động của phần tử chuyển động quay.
Cảm biến có một đĩa được mã hoá gắn với trục
quay, ứng với một chuyển dịch cơ bản → xung.
Tần số xung tỉ lệ với tốc độ cần đo.
• Các loại: Tốc độ kế từ trở biến thiên, tốc độ kế
quang…
 1.2. Tốc độ kế điện từ
a) Tốc độ kế điện từ một chiều:
Cấu tạo và nguyên lý làm việc:
 1.2. Tốc độ kế điện từ
• Rôto: lõi thép kỹ thuật điện ghép từ nhiều
tấm, mặt ngoài xẻ rãnh và đặt các dây dẫn
chính.Các dây dẫn chính của nối với nhau
thành cặp bằng dây phụ và mắc nối tiếp
hai cụm, hai cụm mắc ngược pha nhau.
• Stato: nam chân vĩnh cửu hoặc nam châm
điện.
 1.2. Tốc độ kế điện từ
• Khi rô to quay, trong dây dẫn → sđđ cảm ứng:
dΦ i
ei = − = −ω.r.l.BiN
dt
• Trong nửa số dây ở bên phải đường trung tính:
ω
E p = − .N.Φ 0 = −n.N.Φ 0
2π
• Trong nửa số dây ở bên trái đường trung tính:
ω
Et = .N.Φ 0 = n.N.Φ 0
2π
 1.2. Tốc độ kế điện từ
b) Tốc độ kế dòng xoay chiều
Loại đồng bộ:
 1.2. Tốc độ kế điện từ
• Khi rôto (phần cảm) quay, trong các cuộn dây
của stato (phần ứng) xuất hiện s.đ.đ. cảm ứng:

e = E. sin Ωt E = K1.ω
Ω = K 2 .ω
K1 và K2 là các thông số phụ thuộc cấu tạo của
máy phát.
⇒ Đo E hoặc Ω→ ω.
 1.2. Tốc độ kế điện từ
• Đo E ⇒ ω: có sai số do ảnh hưởng của tổng trở
cuộn ứng và suy giảm tín hiệu khi truyền đi xa.
Điện áp V ở hai đầu cuộn ứng:
R.E R.K1ω
V= = → Phi tuyến
(R + R i ) + (Li .Ω )
2 2
(R + R i ) + (K 2 Li .ω)
2 2

Khi điện trở tải R >> Zi = R i + j.L i .Ω (tổng trở

của cuộn ứng) → V ≈ E .
Đo Ω→ ω: có thể truyền tín hiệu đi xa không ảnh
hưởng đến độ chính xác.
 1.2. Tốc độ kế điện từ
Loại không đồng bộ:

1.
2.
3.

•
•
•
 1.2. Tốc độ kế điện từ
• Khi rô to quay, trong cuộn đo xuất hiện s.đ.đ
cảm ứng:
e m = E m . cos(ωe t + ϕ) = K.ω. cos(ωe t + ϕ)
Biên độ s.đ.đ cảm ứng Em = K.ω (K: hệ số tỉ lệ).
Đo Em ⇒ ω.
 1.3. Tốc độ kế xung
1.3.1. Tốc độ kế từ trở biến thiên
a) Cấu tạo và nguyên lý làm việc:

1.
2.
3.
1.3.1. Tốc độ kế từ trở biến thiên

• Khi đĩa quay → khe hở δ biến thiên → từ

trở mạch từ biến thiên → Φ qua cuộn dây
biến thiên → trong cuộn dây xuất hiện
s.đ.đ cảm ứng (e) có tần số (f) tỉ lệ với tốc
độ quay (n):
f = pn (p – số răng của đĩa)
1.3.1. Tốc độ kế từ trở biến thiên
b) Đặc điểm:
• Biên độ (E) của s.đ.đ cảm ứng phụ thuộc:
khoảng cách giữa cuộn dây - đĩa quay và tốc độ
quay (δmin↓, n↑ → E↑). Với n≤nmin nhất định E
quá bé không thể đo được → vùng chết.
• Dải đo của cảm biến phụ thuộc vào số răng (p)
của đĩa: p lớn → nmin nhỏ, p nhỏ → nmax lớn. Ví
dụ: p = 60 răng → dải đo n = 50 ÷ 500 vg/ph, p =
15 răng → dải đo n = 500 ÷ 10.000 vg/ph.
 1.3.2. Tốc độ kế quang
a) Cấu tạo và nguyên lý làm việc:

1.
 1.3.2. Tốc độ kế quang
b) Đặc điểm:
• Phạm vi đo phụ thuộc:
+ Số lượng lỗ trên đĩa.
+ Dải thông của đầu thu quang và mạch điện tử.
Để đo tốc độ nhỏ (~ 0,1 v/ph) phải dùng đĩa có
số lượng lỗ lớn (500 ÷ 1.000 lỗ). với tốc độ lớn
(~ 105 - 106 v/ph) phải sử dụng đĩa quay chỉ một
lỗ, khi đó tần số ngắt của mạch điện xác định
tốc độ cực đại có thể đo được.
 2. Cảm biến đo rung và gia tốc
2.1. Nguyên lý và phương pháp đo:
a) Gia tốc:
Gia tốc là đại lượng vật lý thể hiện mối quan hệ
giữa lực và khối lượng. Phép đo gia tốc có thể
thực hiện qua việc đo lực (cảm biến áp điện,
cảm biến cân bằng ngẫu lực) hoặc đo gián tiếp
thông qua sự biến dạng hay di chuyển của vật
trung gian.
Phương pháp đo gia tốc phụ thuộc dải gia tốc.
 2.1. Nguyên lý & phương pháp đo

Dải gia tốc và phương pháp đo:

v Gia tốc nhỏ của chuyển động có dao động trọng
tâm tần số thấp (f = 0 ÷ ~20 Hz) → CB gia tốc
đo dịch chuyển và CB gia tốc đo biến dạng.
v Gia tốc rung có f ≈ hàng trăm Hz (của các cấu
trúc cứng,có M lớn…) → CB từ trở biến thiên,
CB đo biến dạng (kim loại hoặc áp điện trở).
2.1. Nguyên lý & phương pháp đo

• Gia tốc rung có (f) trung bình và tương đối

cao (f~10kHz) (vật có khối lượng nhỏ) →
CB gia tốc áp trở hoặc áp điện.
• Gia tốc khi va đập, gia tốc tốc có dạng
xung → CB gia tốc có dải thông rộng về
cả hai phía f thấp và cao.
 2.1. Nguyên lý & phương pháp đo

b) Rung động (Rung):

• Rung động là hiện tượng thường gặp trong
kỹ thuật,ảnh hưởng rất lớn đến tính năng làm
việc, độ an toàn và tuổi thọ của máy móc,
thiết bị.
• Độ rung được đặc trưng bởi độ dịch chuyển
(z), tốc độ (v) hoặc gia tốc (a) ở các điểm trên
vật rung.
⇒ Đo rung: đo một trong những đặc trưng trên.
⇒CB đo rung: CB đo dịch chuyển, CB đo tốc độ
hoặc cảm biến đo gia tốc.
2.1. Nguyên lý & phương pháp đo

c) Sơ đồ nguyên lý cảm biến đo gia tốc và rung:

1. 3.
2. 4.
 2.1. Nguyên lý & phương pháp đo

• Phương trình cân bằng lực:

d 2h dz
M 2 = −F − Cz Với z = h − h0
dt2 dt2
d h0 d z dz
− M 2 = M 2 + F + Cz (*)
⇒ Mô tả bằ
dt ng toádt
n tử laplace:
dt

z − p2ω02
= 2 ω=
C
= 2πf 0 →Tần số riêng.
h0 p p M
+ 2ξ +1 ξ=
F
ω02
ω0 2 CM
→HS tắt dần
2.1. Nguyên lý & phương pháp đo

• Từ công thức (*) ⇒ cấu tạo của cảm

biến để đo đại lượng sơ cấp m1 (độ dịch
chuyển h0, vận tốc dh0/dt hoặc gia tốc
d2h0/dt2) phụ thuộc vào đại lượng được
chọn để làm đại lượng đo thứ cấp m2 (z,
dz/dt hoặc d2z/dt2) và dải tần số làm việc.
2.1. Nguyên lý & phương pháp đo

• Cảm biến thứ cấp thường sử dụng:

+ Cảm biến đo vị trí tương đối của khối
lượng rung M so với vỏ hộp.
+ Cảm biến đo lực hoặc cảm biến đo biến
dạng.
+ Cảm biến đo tốc độ tương đối.
• Hệ số khuếch đại: S = s = m 2 . s = s1.s 2
m1 m1 m 2
 2.2. Cảm biến đo tốc độ rung
a) Cấu tạo & nguyên lý làm việc:

1.
2.
3.
4.
5.
6.

• Đại lượng đo sơ cấp m1 là tốc độ rung dh0/dt.

• Đại lượng đo thứ cấp m2 là dịch chuyển tương đối z
hoặc tốc độ dịch chuyển tương đối dz/dt.
 2.2. Cảm biến đo tốc độ rung
b) Đặc điểm:
• Kết cấu đơn giản.
• Sai số do lực cản của cuộn dây CB thứ cấp.
• Tín hiệu ra là điện áp.
• Đo rung tần số thấp.
 2.3. Gia tốc kế áp điện
a) Cấu tạo và nguyê lý làm việc:
Kiểu nén:

1.
2. 4. Đế
 2.3. Gia tốc kế áp điện
Kiểu uốn cong:

1.
2.
3.
 2.3. Gia tốc kế áp điện
b) Đặc điểm:
Kiểu nén:
v Có tần số cộng hưởng cao.
v Kết cấu chắc chắn.
v Nhạy với ứng lực của đế.
Kiểu uốn cong:
v Độ nhạy rất cao
v Tần số và gia tốc rung đo được bị hạn chế.
 2.3. Gia tốc kế áp điện
a - gia tốc
Q
c) Độ nhạy: S = = S1.S2 Q - điện tích
S1 - độ nhạy cơ.
a S2 - độ nhạy điện
• Độ nhạy của CB sơ cấp:
z 1
S1 = =
a  ω2   
2
ω02 1 −  +  2ξ ω 
 ω2   ω 
 0  0
• Độ nhạy của CB thứ cấp:
d - hằng số điện môi.
Q 1 c - độ cứng của p.tử nhạy cảm.
S2 = = dC ω=1/τ - tần số tắt dưới của hệ
z  ω0 
2
thống cảm biến - mạch đo.
1+  
 ω 
 2.4. Gia tốc kế áp trở
a) Cấu tạo và nguyên lý làm việc:
 2.4. Gia tốc kế áp trở
Vm ε Vm
b) Độ nhạy: S= = . = S1.S2
• Độ nhạy cơ: a a ε
be
A = 1,5
ε A 1 L3
S1 = = 2 .
a ω  ω  
2
2
ω Yle 3
1 − 2  +  2ξ.  ω0 =
 ω0   ω0  4L3M
Y - môddun Joung

• Độ nhạy điện của cầu Wheatstone:

Vm K .e s .ε K – hệ số đầu đo

S2 = = = K .e s es – điện áp nuôi cầu
ε ε