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第七章 典型光学系统

7.1光学系统的分辨率
相对孔径、数值孔径

相对孔径：入瞳直径D与系统焦距f´之比
h1 h2 h3
D 1 H' U 3' F'
 H1 H1' H2 H 2' H3 H 3'
f' K

lF '
K称为光瞳数或焦距数，常称“F数”
f'
F /#

1
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相对孔径：入瞳直径D与系统焦距f´之比

D 1

f' K

数值孔径：物体在很近距离时，物方孔径角的正弦与物方折射率之积，常以
NA表示

NA  n1 sin U 1

•相对孔径和数值孔径都表示了光学系统的光学特性；
•显微物镜、光纤采用数值孔径表示；
•照像物镜、投影物镜采用相对孔径表示；

2
 2J ( x ) 
I  1 
 x 

J1（x）是一阶贝塞尔函数

圆孔衍射：光学系统系统焦距f '，入瞳直径D。
爱里斑半径：
光学系统焦面上的光强分布
3.83 f '  f ' 
r1    1.22 
 D D

2
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• 光学仪器的分辨率
L
S2'

S1'

瑞利判据：如果两个光强相等的非相干 
像点间的间隔等于艾里斑的半径，则这
两个点可以分辨。
强度极大与极小之间的差异为1：0.736
  1.22 / D
可分辨两点间的距离：
3.83 f '  f '  若λ＝0.000556 mm，得到
r1    1.22 
 D D
f ' 为光学系统焦距，λ为工作波长， 1.22  0.000556 140
  206265  ( 角秒 )
D为光学系统的入瞳直径。 D D

光学系统可分辨的角间距为： D的单位为mm。

EUV波长是可见光的1/40

3
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1
Re solutions  k1
NA

EUV Lithography optics current status and outlook SEMICON EUROPA 2018 November 16 2018

小结：

光学仪器的分辨率
f ' 
  1.22 
D
  1.22 / D
1.22  0.000556 140
  206265  ( 角秒 )
D D

4
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7.2 眼睛
1. 角膜
主要的折光物质，承担2/3的折光度，
折射率:1.38；
前表面的曲率半径约为7.8mm，
后表面的曲率半径约为6.5mm，
厚度0.5mm左右。
2. 房水
内容折射率1.337的液体，厚度3.05mm。 注：图片引自网络

3. 虹膜
中间有一个圆洞，可以限制进入眼睛的光
束孔径，称为瞳孔。根据环境的亮暗
变小，自动变化 （2- 8mm）。

7.2 眼睛及其光学系统
4 .晶状体
在睫状肌的收缩和放松的调节下，可
改变前表面的曲率半径，改变眼睛的
光焦度。
折射率：1.37~1.41；
前表面的曲率半径约为：10.1mm，
后表面的曲率半径约为：-6.1mm，
厚度4mm左右。

5 .玻璃体
折射率：1.336，厚度17.4mm

10

5
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7.2 眼睛
3. 视网膜
一凹球面，曲率半径-12.5mm；
视锥细胞
感受强光和色觉，尺寸1.5μm，
800万个，主要集中在黄斑处
。该处密度150000个/mm2
视杆细胞 人眼是一复杂的光
感受弱光并无色觉，1200万个， 学系统，但不是理
中心凹处没有，距中心凹 想光学系统。
0.13mm处出现，5mm左右最多；

视锥细胞敏感波长555nm（三色
亮环境――变小，最小可达 2mm
440nm、550nm、670nm）， 暗环境――变大，最大可达 8mm
视杆细胞，敏感的波长500nm。
11

单个折射球面对有限大小的物体如何成像？

B A1
n' n n  n'
 
C l' l r

A A'

B1' A1'

像面是弯曲的，称为场曲。 如果物平面是靠近光轴很近的垂轴
物体，可以认为其像面也是平的，
是完善的，称为高斯像面。

12

6
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眼睛的简单光学系统的模型

变焦系统，通过改变曲率来变焦；

孔径光阑自动可调；

像空间折射率与物空间不一样；

探测器不是平面，是曲面；

探测器上有两种像源；
f  17mm, f '  23mm
视场角： 150°
中心视场（清晰成像区域）：6°~ 8° f '1 f '2
f '
可变焦：晶状体调节，焦距可以从23mm减小为 
18mm。

13

1. 为了看清不同物距的物体，调节眼睛中
的晶状体的光焦度，这种过程称为眼睛
远点距离：
的调节。用远点和近点来表示眼睛的调
近点距离：
节能力；
远点和近点的发散度（汇
2. 远点：肌肉完全放松时，眼睛能看清楚 聚度）：
的最远点。正常人眼，处于完全放松的
无调节状态时，位于无穷远的物体成像
在视网膜上。这时，人眼的像方焦点位
眼睛的调节能力：
于视网膜上。由于此时人眼处于放松状
态，所以看远处的物体时人眼不易疲劳
。目视光学仪器都成像在无穷远处。
3. 近点：肌肉最紧张时，眼睛能看清楚的
最近点；

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眼睛的调节
1. 明视距离：在50 lx的正常照明下，眼睛最方
便和最习惯的工作距离，国际规定约
250mm；
2. 随着年龄增加，肌肉调节能力减退，近点变
远，远点也会变近。45岁后近点在明视距离
250mm以外。

15

眼睛的缺陷与校正
1. 正常的眼在自然状态下，平行光线经眼的
折光系统后正好汇聚在视网膜中心凹，这
样的折光状态称为正视（正常眼）； 正常眼

2. 若平行光线经眼的折光系统后汇聚在视网
膜中心凹前方，称为近视；折光能力超过
正常。近视的远点不在无穷远，位于有限
距离处。 近视

1 1 1
  近视眼的远点
l' l f '

折光性近视：角膜或晶状体曲率过大，折光能力过强，眼轴长度在正常范围；
轴性近视：角膜或晶状体曲率正常，眼轴长度偏长；

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3、若平行光线经眼的折光系统后汇聚在视网膜
中心凹后方，称为远视；折光能力不足。远视
的远点不在无穷远，位于有限距离处。

1 1 1
  远视的远点？
l' l f '
远视

折光性远视：角膜或晶状体曲率过小，折光能力下降，眼轴长度在正常范围；
轴性远视：角膜或晶状体曲率正常，眼轴长度偏短；

远视和近视称为非正视或折光不正。

17

1、医学上通常将近视眼的远点距离所对应的视度表示近视
程度。
例如：远点-0.5米，近视为-2D，即近视200º；
2、近视度数加-4即为近视眼的明视距离；
3、正常眼的近点视度就是人眼的最大调节度；
4、近视的视度加上正常眼的近点视度（或人眼的最大调节
度）就等于近视眼的近点视度；

-2D的近视眼，调节能力10D，近点：

1 1
＝  2  10  12D l 近＝   83mm
l近 12

2D的远视眼，调节能力10D，近点：

1 1
＝2  10  8D l 近＝   125mm
l近 8

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近视矫正
为了校正近视，眼睛前加负透镜。
（1）近视眼是光焦度过大，所以加一个负光焦度的
透镜来减小整体的光焦度。
（2）负透镜的像方焦点和近视眼的远点重合，这样
无穷远的物体就可以成像在视网膜上；

近视眼的远点 近视眼的矫正

19

远视矫正
为了校正远视视，眼睛前加正透镜；
（1）远视眼是光焦度不足，所以加凸透镜来增加整
体的光焦度；
（2）正透镜的像方焦点和远视眼的远点重合，这样
无穷远的物体就可以成像在视网膜上；

远视

老化等于远视？

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散光
• 散光：
眼睛的其它缺陷，例如晶状体位置不正、角
膜和晶状体等各折射面的曲率不对称造成散
光。
• 散光校正：
柱面透镜、球柱透镜、环曲面透镜。

21

眼睛(正常眼)的分辨率
眼睛刚能分清的两物点在视网膜上所成的像之间的距离称为眼睛的分辨率。
影响分辨率的因素：

（1）视神经细胞的尺寸；
视网膜上最灵敏的区域黄斑，视锥细胞尺寸3μm；视神经能分辨的两个像点
之间的距离至少应该等于两个视锥细胞的直径，即6μm。（CCD、CMOS：
5 μm ）。

（2）光瞳直径决定衍射极限；

（3）眼睛的光学像差；

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视神经细胞尺寸决定的分辨率：
y′是视网膜上的两个像点的间距，f是眼睛节点到视网膜的
距离，ω是两物点对眼睛的张角。
物体对人眼的张角称为视角；
人眼能分辨的两物点对人眼的张角称为视角分辨率；
y'  f  tan 
y'
tan  
f
f′=23 mm y′=0.006 mm

min  60"

23

光瞳衍射极限决定的分辨率：

中心波长550nm

1.22 1.22  0.00055 140"

   206000" 
D D D
D＝2mm时，ω＝70″（低于视锥细胞分辨率，衍射极限决定眼睛分辨率）

D＝4mm时，ω＝35 ″ （高于视锥细胞分辨率）
瞳孔增大，像差增加 ，分辨角下降；
中心视场之外，视觉细胞决定眼睛分辨率

根据实验统计ω＝50″ ~120″ 。照明较好时ω＝ 60″ ，是目视系统设计时必须保证

的分辨率。

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人眼的角分辨率：1分；

测试条件： 1.0：分辨视角1分；
（1）距离5m； 2.0：分辨视角0.5分；
（2）照度500lx； 0.5：分辨视角2分；

25

人眼的对准（瞄准）精度

测量过程中常用某种标志对目标进行对准或重合，这种重合或对
准的过程称为瞄准；
应受人眼分辨率的限制，被瞄准的两者不能完全重合，偏离完全
重合的程度称为对准精度。
对准精度与所用的瞄准方式有关，最高可以到达人眼分辨率的
1/10～1/5 。

30"～60" 10" ～20" 10" 5"

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第九周结束

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人眼的景深

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人眼的景深
• 眼睛调焦在某一对准平面，眼睛不必调
节能同时看清对准平面前和后某一距离
的物体，称为眼睛的景深。

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人眼的景深
对准平面 入射光瞳 出射光瞳 景像平面
入瞳直径2a，出瞳直径2a′；
Z1

Z2

B1 B2
P1 P1 B1和B2点在对准平面上的弥散斑
大小分别为：Z1、Z2
A P P A B1和B2的共轭点B1′和B2′在景像
2a

面上的弥散斑大小为Z1′、Z2′
P2 P2 景像面和对准面为共轭面，设β
B2 B1 为景像面和对准面间的放大倍率，
Z 1'   Z 1 Z 2'   Z 2
Z1
Z2

1 2  p2 p1
从图上利用相似三角形关系：
p p
 p1 Z 1 p1  p Z 2 p  p2
p2  
2a p1 2a p2
由上式可得：
p1  p  2ap  2ap
p1  p Z1'  2a  p1  2a  p
Z1  2a p1  p1  2a  Z 


1
p1  
 p  2ap  p  2ap
p  p2 p  p2  2 2a  Z 2  2 2a  p
Z 2  2a Z 2 '  2a
p2 p2

30

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人眼的景深  2 ap
 p1  2 a  Z
 1
对准平面 入射光瞳 出射光瞳 景像平面 
Z1  p  2 ap
 2 2 a  Z 2

Z2
B1 B2
P1 P1
 2ap
 p1  2a  p
A P P A

2a

Z1  Z2  p   p  2ap
P2 P 2  2 2a  p
B2 B1
若
p=7m  p1  
Z1 
2a=2mm  p2  3.5
Z2

1 2  p2 p1
p p p= p2  7
 p1 p2

31

人眼的立体视觉

立体视觉产生的原因：纵深感觉

人眼产生立体视觉的机理：
•（1）单眼立体视觉；
•（2）双眼立体视觉；

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单眼立体视觉
• （1）眼球的调节作用(小于5m)；
• 物体张角，熟悉物体（细节），
• （2）单眼运动视差；

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双眼立体视觉

双目视觉特征

双眼视物成双像 双眼视物成单像

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双目空间视觉

立体视差角：注视A点，角
O1AO2 称为立体视差角，用
θA 表示。

θA＝b/L

两节点O1O2的连线称为视觉基线，用
b表示。一般为65mm左右。

35

立体视差（视差）：
Δθ＝θD－θC人眼：b=65 mm

Δθ小到人眼刚刚能分辨的时候，即Δθmin时
称为体视锐度，一般为30″～60″经过训练可以达
到5″～10″，一般取为10″ ；

C位于无穷远时，D在有限距离时，时差Δθmin时：
b 0.065
Lm    1350m
min 10''
Lm称为体视半径，体视半径以内有立体感，
以外分不出远近
观察者用双眼能分辨的空间两点间最短空间
物体距离的不同，表现在 深度的距离用ΔL表示，称为立体视觉阈值
角度上就是物体视差角的 θA＝b/L
不同差异Δθ，称为立体视
L2
差（简称视差）。 L    7.5 104 L2
b

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L2
L    7.5  104 L2
b
不同距离L有不同的立体视觉阈值ΔL

• L＝1350 ∆L＝？；
• L＝450 ∆L＝225；
• L＝150 ∆L＝19；
• L＝45 ∆L＝1.55；
• L＝27 ∆L＝0.55；
• L＝0.25 ∆L＝0.00005
明视距离时人眼的纵向分辨率很高（0.05 mm）；

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放大镜

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• 人眼感觉物体的大小取决于其像在视网膜上的大小
。由于人眼焦距是一定的，故也取决于物体对人眼
所张的视场角的大小。
• 前面我们知道，被观测物体细节对人眼的节点的张
角大于1分，眼睛才能看清或分辨。通常我们会把
物体放置于离人眼近的地方，但是也不能太近，物
体必须位于人眼的近点之外才行。
• 为了扩大人眼的视觉能力，人们设计了放大镜、显
微镜和望远镜等。通过这些光学仪器，其像对人眼
的张角大于人眼直接观测物体是对人眼的张角。
• 下面，我们将开始讲授放大镜、显微镜和望远镜。

40

20
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放大镜 B′

y′
通过放大镜观察物体时，其像对眼睛
B
所张角度的正切，与眼直接看物体时 眼
y H H′ 瞳
对眼睛所张角度的正切之比，称为视 ω′ P′
F A F′
觉放大率，用  表示。 A′
-l
物体放置在焦点附近，其放大虚像
-f f′ xz′
A′B′,像高y′,对人眼张角正切为： -l′ S
y -x′
tan  D
l  f   xz
y l f l 人眼直接观测物体，物体对
 l
y l f  l 人眼的张角正切：
y ( f   l ) y
得到 tan   tan  
f   (l   f   xz ) l  f   xz

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y( f   l ) y
tan   tan  
放大镜 f   (l   f   xz ) l  f   xz
视觉放大率：

tan ' ( f 'l ')  (l  f ' xz ')

 
tan f ' (l ' f ' xz ')

设D为眼瞳到物体的距离
S为眼瞳到放大镜的距离
则视觉放大率可以表示为：
(l  f ' xz ')  D f ' xz '  S

( f ' l ')  D

(S  l ') f '

43

放大镜
( f 'l ') D

f '(Sl ')
若把放大虚像调焦到无
穷远，即
l  

则视觉放大率为
D
0 
f

注意：此处的D不是光
学系统入瞳的大小

44

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放大镜
若把被观察物体设在眼睛的明
视距离上，即
D  250mm
则视觉放大率为
250
0 
f
此即通常所说的放大镜和目镜
的光学常数（或放大倍率）。
放大倍率与放大镜的焦距有关
，焦距越短，放大倍率越大 。

45

• 若把放大虚像调焦到明视距
离，即
S  l  250 mm

• 若把被观察物体设在明视距
离上，即
D  250mm
• 那么此时的视觉放大倍率为

( f 'l ') D ( f 'l ') 250 f 'l ' f 'S 250 250 S
     1
f '(Sl ') f ' 250 f' f' f' f'

若把眼睛紧贴放大镜，即S=0 则 0 1

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放大镜的光束限制和视场

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放大镜的光束限制和视场
放大镜为渐晕光阑，人眼瞳孔为孔径光阑：
 h  a
tan 1  l
 z

 h
tan  
 lz
 h  a
tan 2 
 lz

分别对应渐晕系数为：
100%、50%、0%的视场
虚线为上光线

48

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放大镜的视场用物平面的线
视场 2y 表示
2y  2 f   tan

将50%渐晕的视场
h
tan 1 
l z
250
和视觉放大率 0  代入
f
500h
2y 
0  lz

放大镜放大率越大，视场越
小；口径越大视场越大 。

49

目镜

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目镜
把物镜所成的像放大在人眼远点或明视距离供人
观察，类似放大镜。
250
• 视觉放大率： f '
• 1出瞳直径：2~4 mm，军用8mm；
• 2镜目距：是目镜后表面的顶点到出瞳的距离；

视度调节：
满足近视与远视眼的需要。视度调节范围 5D
5f 2
目镜相对视场光阑的移动量（推导一下）：x 
1000

51

目镜调节量计算
• 对于正常眼：仪器所成像位于无穷远，经过人眼后成像在视网膜上
• 对于近视眼：若仪器所成的像位于无穷远，则经过人眼后成像在视网
膜之前。为了让像最终在人眼视网膜上，目镜应当向前调节。
• 对于远视眼：若仪器所成的像位于无穷远，则经过人眼后成像在视网
膜之后。为了让像最终在人眼视网膜上，目镜应当向后调节。
调节量：以近视眼为例，远点视度为-D，则远点距离为：
1 1000
l m mm
D D
目镜调节后，像位于近视眼远点处，即像距为
1000
x  l  mm
D
按照牛顿公式得：
 f目2  Df目2
x  mm
x 1000
其中 f目 是目镜焦距， 是目镜移动量。
同理，可以计算得到对远视的视度调节量。通常，光学仪器的视度调节范围为
±5D，因此光学仪器目镜移动量为：
5 f目2
x mm
1000

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第十二周课结束

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望远系统

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7.4望远系统
望远系统：
第一个光组的 F1与第二个光组的 F2 重合时，且 f1 f2 ，这样的
系统通常称为望远系统。第一个光组称为物镜，第二个光组称
为目镜。
望远系统的光学特征：
（1）组合光组的光学间隔  0 。
（2）系统的 0 ，称为无焦系统。系统焦点和主点均在无
限远处。
h1

F1 ′
F2

56

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物镜 处虚像 目镜
物镜 目镜

y1 y1

F1 F2
F1 F2

处物 处虚像
a) 处物
b) 分划板

伽利略望远镜 开普勒望远镜

中间像为虚像， 中间像为实像，
像为正 像为倒立

57

57

双凸透镜
f1 ' f2 ' nrr
f '  12
 (n 1)[n(r2  r1)  (n 1)d]

n(r2  r1 )
若 d 
n 1

f1 ' f2 '
f '  


共焦

58

58

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天文望远镜 W
• 牛顿式 A G M
G
牛顿反射式通常使用抛物面镜作为主镜，但
是小口径(12厘米以下)而且是长焦比(f/8或 A O W
更大)的，使用球面镜作主镜也可以获得足
够高的目视解析力。第二面平面镜在镜筒的
前端，将光线反射至侧边镜的焦平面。这种
望远镜简单、便宜，因此被自制望远镜的人
士广泛在家中自制。

望远镜有三种基本的形式：折射式、反射式
和折反射式

59

• 卡塞格林望远镜：是一种使用二个镜片组合的望远镜。
• 在1672年，洛冉·卡塞格林首先发展出这型望远镜，主镜是凹面镜（
抛物镜），次镜是凸面镜（双曲面镜），两个镜片对称的排列在光轴
上，主镜的中心通常会穿孔以让光线通过而到达目镜、照相机或感光
器材。
• 卡塞格林反射镜属于反射式的类别。

550千米的轨道上

哈勃望远镜 哈勃空间望远镜的角分辨率大约是0.1角秒

分辨率大约26厘米

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口径：8000
焦距
红外：27m
可见：108m

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1993年12月，修理前和修理后的哈勃望远镜成像质量对比

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别名: 新一代太空望远镜（Next Generation

Space Telescope，NGST）
光学系统
詹姆斯-韦伯
形式: 屈光式、牛顿式
口径: 6.5米
聚光面积: 约25米
观测装置
NIRCam 近红外照相机
NIRSpec 近红外摄谱仪
MIR 中红外装置
轨道高度: 150万千米

韦伯望远镜作为美国宇航局史上最复 詹姆斯韦伯太空望远
杂的项目之一，其风险是巨大的，和 镜的主要的任务是调
“哈勃太空望远镜”不一样的是， 查作为大爆炸理论的
“詹姆斯-韦伯”因为距离地球太遥 残余红外线证据，观
远无法派宇航员进行维修保养 测宇宙的初期状态。
机体要能承受极限低
2018年6月29日，据国外媒体报道，哈
温，也要避开太阳和
勃望远镜的“接任者”詹姆斯·韦伯望远
地球的光等等。
镜将推迟到2021年12月25日发射。

67

总开支80亿美元计划上限。迄今为止美国航空航天局已经向韦伯太空天文望远
镜投入了70亿美元。韦伯太空天文望远镜被称之为一种“时间机器”，可以帮
助人类解开宇宙的奥秘。这部望远镜将用于捕捉135亿年前诞生于早期宇宙的第
一批星系光，并对太阳系内恒星，系外行星以及太阳系内卫星和行星的起源。

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6.5米天文相机

七个1.8米左右透镜，2个二次曲面反射镜 3个二次曲面反射镜

3个非球面反射镜，1个平面反射镜

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施密特-卡塞格林式
•第一个光学元件是施密特修正板，用来校正球差。施密特-
卡塞格林望远镜被业余天文学家普遍地采用。

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• 马克苏托夫-卡塞格林式 望远镜：折射反射式望远镜
• 在1944年，苏联光学家德密特利•马克苏托夫发明此型望远
镜，在设计上以球面镜作主镜并结合在入射光孔的弯月形的
修正透镜以改正球面像差。
• 马克苏托夫式的最大缺点是不能制作大口径的（>250毫米
/10 英寸）

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牛顿式

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光学系统：施密特-卡塞格林
口径：203.2mm
焦距：2032mm
F/#：10
寻星镜：8x50mm寻星镜，快速释放支架
叉臂：铝合金双叉型支臂，带可分离的手控
器支架
目镜： 40mm
放大倍率：51x
天顶镜：1.25英寸
三脚架：重负载，不锈钢，可调式
最高有效倍率：480x
最低有效倍率：29 x
极限星等：14
分辨率（瑞利极限）：0.69角秒
分辨力（杜氏极限）：0.57角秒
照相分辨率：200条/mm
集光力：843 x
视场：0.8°
线性视场(1000码)：12.8m
电机精度：0.14角秒
数据库：40，000+天体，100个用户自定义
天体，200多个天体的增强型信息

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望远镜的放大倍率

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望远镜的放大倍率

E B

y
F2 F 2 A -U A
F1 U A U A H1 H1 F1 H2 H2 -U
 y

E B
Q2
Q1 Q1 Q2
x  x1 x x2

A与A’共轭
F1与F2’共轭

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E B

y
F2 F2 A U A
F1 U A UA H1 H 1 F1 H2 H 2 U
 y

E B
Q2
Q1 Q1 Q2
x  x1 x x2

F1 H 1Q1 F2 ' H 2 ' Q2 '

tan U'  H 2 ' Q2 ' / f 2 ' tan U  H 1Q1 / f1
  tan U' / tan U  f1 / f 2 ' H 2 ' Q2 '  H 1Q1

   f 2' / f1'    2
  望远系统的放大倍率仅局限于两光组
  ( f 2' / f1' )   
2
的焦距比，不管物体放在任何位置，
   f ' / f '   1 /  其放大倍率值不变。
 1 2 
望远镜角放大率大于1，垂轴放大率小于1

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84

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第十一周课结束

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望远镜的视觉放大率

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望远镜的视觉放大率：
物体经过望远镜成的像对人眼的张角与物体本身直接对人眼的张角的正切比。
  1  2  f 2 ' / f1'
物镜 视场光阑 出射光瞳 望远镜角放大率大于1，垂轴放大率小于1
（入射光瞳）
Y '   s'  tan 

目镜

D   D Y '   s'  tan '

 ：眼睛直接观察物体时的张角；
f 1 f 2
Y ' ：通过人眼观察得到的像高；

' ：眼睛通过望远镜观察物体时的张角； Y ' ：通过望远镜观察得到的像高；

s' ：眼睛的像方节点到眼睛视网膜的距离；

Y ' tan '

视觉放大率 Γ：   
Y ' tan 

87

Y ' tan '

视觉放大率 Γ：   
Y ' tan  物镜 目镜

一般望远镜的筒长远小于物距，故物体对望
远镜的张角ω可以代替物体直接对人眼的张 H1  ' H2 '
 '
角； H1 ' H2

tan ' f'

    1 f1 '  f2
tan  f 2'

望远镜的视觉放大率在数值上与角放大率相等。 物镜 视场光阑 出射光瞳

（入射光瞳）

由图得： 目镜

D  
D D' D ' D
   
2 f 1' 2 f 2 ' D'

开普勒 总结：视觉放大率 f 1 f 2

注：视场光阑位置

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物镜 视场光阑 出射光瞳
（入射光瞳）
开普勒望远
目镜 镜：
tan  f D
D     1  
' D tan  f2 D'

伽利略望远镜：
f 1 f2
D

D'
D：入瞳直径
D′：出瞳直径

89

望远系统加有限焦距系统
望远镜系统
 有限焦距系统
h1 f' 1
 1 
h2  f 2 1
h1

H 1 H1 F1 H 2 H 2 H 3 H3 F3 U 

h1
F2
h2
F H
f' 
tan( U ')
h h2 1
 1  f3 '   1 f3 '
f 1 f 2 f 3 f
h2 tan( U ') 1

β1 γ1为望远系统的垂轴放大倍率和角放大倍率。
f3为有限焦距系统的焦距。
整个系统的焦距放大了γ1倍。

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90

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物镜 视场光阑 出射光瞳
（入射光瞳）

望远系统的作用： 目镜

•扩束； D  D

f 1 f 2

F1′
-ω F2 ω′

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92

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望远镜的分辨率

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• 望远镜的分辨率及工作放大率

望远镜的极限分辨率（衍射极限决定）：

  140 / D
D为望远镜的入瞳直径；

若人眼对细节的分辨率为60"，为了使望远镜能分辨的细节人眼也能分辨，
则望远镜的视觉放大率应满足：

    60"
联合上面两式，望远镜能分辨极限分辨角的视觉放大率为：
60" D
  
 140"  2.3
 
 D 
（1）这个放大率称为正常放大率。相当于出瞳为2.3mm时望远镜的视觉放大率。
（2）设计时往往把视觉放大倍率数值选得大些，一般为1.5～2倍。对应的角分辨率
是极限分辨率的1.5～2倍。该条件下的视觉放大率称为工作放大率。

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场镜：

F1´

物镜 场镜
组合系统
物方主面 光组I 目镜 光组II
组合系统
像方主面

A Q Q1 Q1 Q2 Q2 Q S

Ua F1 F2 F U b H
H F H1 H 1 F1 F2 H2 H 2
N1 N1 E1 E2 N2 N2

R1 R1 R2 R2
xF xF
xH f1 f1'  f 2 f 2' x H
f l F d l F f
 lH lH'

 f ' 2 ( f '1  f 2 )
f' f'  x' H  
f '  1 2  作用：不改变光焦度，可以减小目镜尺寸
 x  f 1 ( f '1  f2 )
 H 

95

望远镜分辨物体细节的两个条件：
（1）物镜有足够的口径，满足角分辨率的要求；
（2）望远镜有足够的放大倍率；

• 望远镜的瞄准精度
Δα：望远镜的瞄准精度；
Γ：望远镜的放大率；
ΔE：眼睛的瞄准精度；
E
     E  

望远镜可以提高瞄准精度，为什么可以增加体视半径？

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望远镜渐晕

望远镜+人眼：孔径光阑和出瞳为人眼瞳孔

开普勒望远镜：若渐晕光阑为目镜框

K=100%无渐晕 K=50% K=0%

物镜 物镜
眼瞳 物镜 眼瞳
（出瞳） （出瞳） 眼瞳
目镜(渐晕光阑) 目镜(渐晕光阑)
目镜(渐晕光阑) （出瞳）

伽利略望远镜：若渐晕光阑为物镜框
K=0%
K=100%无渐晕 K=50% 物镜
目镜
眼瞳
物镜 （出瞳）
物镜 目镜
目镜 眼瞳 眼瞳
（出瞳） （出瞳）

97

入瞳

物镜
目镜 眼瞳
伽利略望远镜 （出瞳）

P
D
-

l'z2

lz

渐晕系数为50%为例
已知出瞳位置，先计算入瞳位置。由几何关系可知：
D
tan( ) 
2lz

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显微镜及其放大率

99

7.5 显微镜
它由焦距很短的物镜和目镜组成, 物镜像方焦点F´1 到目镜物方
焦点F2之间有较大光学间隔。物体(物高y)位于物镜物方焦点F1
附近，成一放大实像(像高y´)位于目镜的物方焦点F2右面临近处。
B2

（1）由焦距很短的物镜和目镜组成；
（2）这个系统有较大光学间隔；
y2
物镜 目镜

B1( B 2)

A H1 y1  y 2
F2 P
y H 1 F1 F 2 A1( A 2) H2 H 2
A2 1 F1
B

x2

 x1  f 1 f 1  f 2 f 2

x1

 x 2

100

100

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B 2
物镜 目镜
l1  

h1 y2
F1 F2 F U  H 物镜 目镜
H F H1 H 1 F1 F2 H2 H2

B1( B2)

A H1 y1  y 2
F 2 P
y H 1 F1 F 2 A1( A 2) H2 H 2
A 2 1 F1
f f1 f 1  f 2 f 2 B

l F l F f x2

l H lN  x1  f 1 f 1  f2 f 2

x1

 x2

组合焦距 f '   f1' f 2' /  f  f1 f 2 / 

物体AB位于物镜前焦点附近，成实像位于目镜前焦点右面临近处

1   x1' / f1'   / f1'  2   x 2' / f 2'

系统垂轴放大倍率   x1' x 2' / f1' f 2'

f1' 、 f 2 ' 、 x1' 均为正值， x 2 ' 为负值，  为负值 , 并很大

系统轴向放大倍率   ( x1 ' x2 '/ f1 ' f 2 ')2

系统角放大倍率   f1' f 2 ' / x1' x 2 '
101

101

显微镜的视觉放大率
物镜放大率：
1   x1' / f1'   / f1'
f1′为物镜焦距，Δ为光学筒长，物镜像方焦点到目镜前焦点的距离
目镜对物镜所成的像再放大
目镜等同放大镜，其放大率：
250
2  此时工作条件等同放大镜
f 2'

系统总的视觉放大率：
250  
  1   2  
f 1'  f 2 '
f '   f1' f 2 ' / 
  250 / f '

102

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显微镜的视觉放大率：

tg  ''
 
tg  物 2 5 0

显微镜物镜的垂轴放大率：

y中间像 '
显微镜目镜的视觉放大率：
y ' tg '中间像250
  中间像 = 250 = tg ''
y物 y物 tg物250 目 
tg '中间像250
250
   目

103

（1）显微镜的视觉放大率与光学间隔成正比，与物镜和目镜的焦距成反比。

250  
  1   2  
f 1'  f 2 '

（2）显微镜的实质等同与放大镜。

  250 / f '

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显微镜的机械筒长
常规显微镜四组物镜，其放大率四种：3×，10×，40×，100×；
常规显微镜目镜有三种：5×，10×，15×；

机械筒长：把显微目镜和物镜去掉后
剩下的镜筒长度，即物镜支撑面到目
镜支撑面间的距离tm 。

显微镜的机械瞳长：为了调换方便，和
满足互换要求，同时限制显微镜的空间
尺寸，机械筒长通常是标准化的，国际
上有三种标准：160mm，170mm，
190mm三种标准，我国采用160mm的
标准。

105

显微镜物镜、目镜的互换（即换即用）：
（1）物镜在一转动盘，旋转转盘就行；
（2）目镜为插入式，可以随意掉换。
因为显微镜物镜景深非常小，也就是保证物面不变

方法（齐焦条件）：
（1）物镜共扼距195mm在设计时保证，偏
离该位置成像不是最佳的。
（共轭距：物平面到像平面的距离）
（2）物镜框的结构保证物体经显微物镜所成
的实像在镜筒内的固定平面；或物面与物镜的
距离正好等于物镜的工作距。
（3）目镜框的结构保证目镜的前焦面始终与
物镜的像面重合。
目镜的安装面与物镜的像面有固定的位置
关系，国际上规定该距离
t0＝10mm。该距离称为齐焦距离。

106

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筒长无限显微光学系统
结构：前置物镜、辅助物镜。
前置物镜把物成像在无限远处，后置物镜把无限远像
成像在焦平面上，两者间的光路为平行光，所以两者
的间隔可以任意选。辅助物镜焦距200－250mm。
前置物镜 辅助物镜
L1 L2 B

y

B A
H 1 H 1 H2 H 2
y
A

f1 f 2

107

第十三周课结束

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显微物镜的孔径光阑
普通显微物镜一般以镜框为孔径光阑，测量用的显微物镜一般把孔径光阑
设置在物镜像方焦面上，形成物方远心光路。

远心物镜的入瞳位于物方无限远，出瞳在显微镜的后焦点上，焦点相对目镜后焦
点的距离为（F1’与F’共轭）：
f 2 f 2' f 2' 2
xF '   
 

目镜倍数越大，焦距越小，出瞳距越短

109

余弦定律

点A在光轴上，通过系统成完善像。B为A的邻近点，被系统成完善像于点Bʹ 。

nOA   AA   nOA  nOB   BB   nOB

n  OB  OA  n  OB  OA    AA    BB 
AQ  OB  OA  AB cos    cos 
AQ  OB  OA  AB cos    cos 
n cos   n cos   C
这个关系称为余弦定律， 是光学系统对无限接近的两点成完善像的条件。点A 的任意
邻近点只要满足余弦定律，也成完善像。满足余弦定律时角Ɛ可以为任意值，光线的
孔径角不受限制，即两相邻点均可以以任意宽度光束成完善像。

110

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入瞳处的 出瞳处的
 ˆ

参考球面 参考球面
 h

Q
A A´
x̂ ̂ ̂  x̂
 P´
P ẑ
B B´
ŷ ẑ 
ŷ

h  PQ xˆ  Q´
h  PQ xˆ 

 h
 ˆ 

L  QQ  PP   Lo  LAA  Li  Lo  Li  C

L表示光程  
Δ L表示光程的 Lo  QA  PA   n(h  ˆ )   n h cos 
变化量  
Li  QA  PA  n( h  ˆ )  n h cos  
 
n h cos    n h cos   C

n cos   n cos   C

111

正弦条件

垂轴平面内的两邻近点成
完善像的条件

若点Aʹ和Bʹ分别是点A和点B的完善像，则应满足余弦条件

ny cos 1  ny cos 1  ny cos 2  ny cos 2  C

ny sin U1  ny sin U1  ny sin U 2  ny sin U 2  C

若令以上两条光线AM1和AM2 中间有一条是光轴， U1 =U1' = 0

cos  sin U 
 ny sin U   ny sin U
cos  sin U

n cos   n cos   C

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人眼入瞳必须与显微镜出瞳重合，否则出现渐晕现象。
人眼入瞳直径必须小于显微镜出瞳直径。

放大倍率Γ和数值孔径NA与出瞳直径的关系：
A´B´为物体通过显微物镜成的像，大小为y´
U´为像方孔径角

a'  x'  tan U'  a'  x'  sin U'

像差理论要求，显微镜满足正弦条件
y' n' sin U'  yn sin U
y
n' sin U'  n sin U
y'
系统总放大率：
y / y'  1 /    f ' / x' 显微镜的放大率Γ和物
  250 / f ' 镜数值孔径NA确定以
n′＝1时（像空间折射率为1）， 后，可以直接求得出射
f' 代入a´后得到： 光瞳的直径2a′。
sin U '   n sin U
x' NA
a '  250  见P398表15.1
a '   f ' n sin U   f ' NA 

113

• 显微镜的分辨率
D
 sin U
2f
1.22 0.61
   （自发光点）
2n sin U NA

不发光点： （1）显微镜的数值孔径决定分辨率，数值
 孔径越大，分辨率越高。
垂直入射：   （2）通过物体和物镜之间浸液的方式提高
NA
数值孔径，进而提高分辨率。液体折射率一
0.5 般为1.5。这类物镜称为阿贝浸液物镜。
倾斜入射：  
NA

提高显微镜的分辨能力方法
1）减小波长，
注：是显微镜的分辨率，不是人眼的分辨率
2）令物方介质折射率增大，
3）提高sinU的值。

114

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1
Re solutions  k1
NA

EUV Lithography optics current status and outlook SEMICON EUROPA 2018 November 16 2018 115

115

• 显微镜的有效放大率
分辨率标准：
（1）瑞利准则。
（2）放大的像对人眼张角大于人眼分辨角。

显微镜要有一定的放大率，放大的两点的距离再被眼睛分辨。

人眼便于分辨的角距离2´～4´，该角距在明视距离上的分辨距离σ´为

250  2  0.00029   '  250  4  0.00029

0.5
显微镜仪器分辨率：  
NA
若显微镜分辨率σ乘以显微镜的总放大率Γ等于人眼在明视距离的分辨率，则：
0.5
250  2  0.00029     250  4  0.00029
NA
0.5
2  0.00029     4  0.00029
NA  250

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显微镜的视觉放大率：

tg  ''
 
tg  物 2 5 0

显微镜物镜的垂轴放大率：
0.5
 相当于物的大小
NA
0.5
 tg物250
NA  250
0.5
2  0.00029     tg"  4  0.00029
NA  250

0.5
250  2  0.00029     250  4  0.00029
NA

117

若平均工作波长取为0.00055mm
527 NA    1054NA

取整后近似为：

500 NA    1000NA

小节：
（1）满足上式的放大率称为显微镜的有效放大率。
（2）显微镜的放大率取决于物镜的数值孔径。
（3）有效放大率小于下限，即使物镜已经把物体细节分辨出来，也因放大
率不够，不能被人眼分辨。
（4）有效放大率大于上限，是无效放大率，不能使被观察物体的细节更清
晰（若两点显微物镜正好能分辨，放大倍率高了也无意义，若两点显
微物镜不能分辨，放大倍率再高也不能分辨）。

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•当物像调焦到明视距离时：

tan  ' y '/ 250 y '

   
tan  y / 250 y
结论：视觉放大率等于垂轴放大率

当物像调焦到明视距离时，弥散圆直径：

E '  250   mm

该弥散斑对应的在物空间的大小为（250mm处）：

250   250  
E mm= mm
 
这是显微物镜的横向对准公式。 ε的取值与瞄准的方式有关，叉线瞄单线ε=10″

119

人眼的景深
对准平面 入射光瞳 出射光瞳 景像平面
入瞳直径2a，出瞳直径2a′；
Z1

Z2

B1 B2
P1 P1 B1和B2点在对准平面上的弥散斑
大小分别为：Z1、Z2
A P P A B1和B2的共轭点B1′和B2′在景像
2a

面上的弥散斑大小为Z1′、Z2′
P2 P2 景像面和对准面为共轭面，设β
B2 B1 为景像面和对准面间的放大倍率，
Z 1'   Z 1 Z 2'   Z 2
Z1
Z2

从图上利用相似三角形关系：
1 2  p2 p1 Z 1 p1  p Z 2 p  p2
p p  
 p1 p2 2a p1 2a p2

由上式可得：
p1  p  2ap  Dp p
p1  p Z1'  2a
 p1  2a  Z  p1  D  p
Z1  2a p1   p Dp为眼

1
p1  
 p  Dp p
瞳直径
 p  2ap
p  p2 p  p2  2 2a  Z 2  2 D p  p
Z 2  2a Z 2 '  2a 
p2 p2

120

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若眼睛调节在无穷远，则

p  
 2ap 2a  D  2a D
 p1  2a  p  p1      


 p  2ap
 
 p  2a  D
 2   
 2a  p
2

121

显微镜的景深
人眼通过显微镜调焦在某一平面（对准面）上时，在对准面前和后一定范围内
物体能清晰成像，能清晰成像的远近物平面之间的距离称为显微镜的景深。
清晰条件：前景面和后景面在视网膜上形成弥散斑，如果弥散斑的直径小于视
网膜上的感光细胞直径2倍，则观察者仍感觉是一个清晰的像点。
 2 ap  2a D
 p1  2 a  p   p1    

 
 p  2 ap  p   2a   D
 2 2 a  p   2   

显微镜物近似在焦平面上，牛顿公式：
 n  f '2 n  f '2 
1  P  a  D  a n f '2 
 1 若眼瞳靠近目镜像 1 2 

   n  f '  n  f ' 
2 2
方焦点,αε很小： D
 P2  a D  a
2

250
系统的焦距和视觉放大倍率之间的关系： 
f '
n2502 250n 250n
1  2  2  mm 21  mm 10倍物镜，15倍目镜，NA=0.25，
 D 2NA NA 景深0.002mm。
D' NA
 250 
2  结论：数值孔径越大，放大倍率越大，其景深越小。

122

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显微镜的照明系统
两种照明方式： 照明要求：
（1）临界照明； （1）足够亮度；
（2）柯拉照明。 （2）足够均匀性。

1.临界照明

特征：
（1）聚光镜的光源像与被观测物体的物平面重合；
（2）聚光镜的像方孔径角比显微物镜物方孔径角相同或略大；
（3）聚光系统的出瞳与物镜的入瞳重合。照明聚光系统的孔径光阑常设在
聚光镜的物方焦平面上，如果显微物镜为远心物镜，那么聚光系统的
出瞳与物镜的入瞳重合。
光瞳：能量
聚光系统的出瞳与物镜的入瞳重合；
视场：信息
聚光系统的视场与物镜的视场重合；

－－－－“瞳对瞳，视场对视场” 缺点：物面上有灯丝像，均匀性较差；

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光棒照明系统
作用：
（1）光强分布匀化；
（2）光束整形。

124

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2.柯拉照明

特征：
（1）聚光镜的光源经聚光系统的前组成像在视场光阑上；
（2）聚光镜的像方孔径光阑紧贴聚光镜前组，经聚光镜后组成的像（即照
明系统的出瞳）与标本面重合；－－照明系统孔径光阑起到限制显微
物镜视场的作用；
（3）聚光镜的孔径光阑处光强较均匀，因此在标本面上得到均匀的照明；
（4）聚光系统的视场光阑经后组的成像与显微物镜的入瞳重合。通常照明
系统的视场光阑位于聚光系统后组的物方焦点上，视场光阑经后组成
像在像方无限远处（与远心显微物镜的入瞳重合）。
聚光系统的出瞳与显微物镜的物面重合；
聚光系统的像方视场与显微物镜的入瞳重合； 保证了照明系统的能量全部进入
后续显微物镜
－－－－“视场对瞳，瞳对视场”

125

2.柯拉照明

如何保证上面的几个特征？
（1）聚光镜的像方孔径光阑紧贴聚光镜前组，经聚光镜后组成的像（即照
明系统的出瞳）与标本面重合； －－改变后组与前组的间距
（2）聚光系统的视场光阑位于聚光系统后组的物方焦点上，视场光阑经后
组成像在像方无限远处（与远心显微物镜的入瞳重合）。 －－改变前
组焦距，使得光源像面与后组焦点重合。
（3）聚光镜的光源经聚光系统的前组成像在视场光阑上；－－容易

标本面上没有灯丝像，均匀性与孔径光阑上的均匀性相同，均匀性
相对临界照明好；

126

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7.5摄像系统
摄像系统：由摄影物镜和感光元件组成。
一、光学特性：焦距、相对孔径、和视场角。

1、视场：由焦距大小和接收器的尺寸决定。

H H'
y '  tg  f '
y'
tg 
f'
y' y '
tgmax  max
F' 2f '
f'
ymax是探测器对角线的长度。

一般情况下收器的尺寸是固定
的，所以：焦距越大视场角越
小；焦距越小视场角越大。

127

2、分辨率：
•摄影系统的分辨率由物镜分辨率和接收器分辨率决定。设物
镜分辨率为NL，接收器分辨率为Nr，系统分辨率的经验公式
为N：
1 1 1
 
N NL Nr

物镜的理论分辨率：

1 D
NL  
 1.22 f '

128

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3.像面照度
像面照度决定于相对孔径，像面照度E'等于（n'=n=1）

1 D2 p 2

E '   L sin 2 U   L 2 
4 f ' ( p   )2

βp为光瞳垂轴放大倍率，β为物象垂放大倍率，L为物体的亮度，τ为系统透射比。

物体无穷远的时候，β=0，则
1 D2
E '   L 2
4 f'

对于大视场物镜，其视场边缘的照度要比中心小很多

EM '  E 'cos 4 

ω为像方视场角

129

4.摄影系统景深
探测器缺陷
光能探测器：眼睛、胶片、CCD都不是完善的。
胶片：线分辨率 XX线对/mm；
CCD：XX pixel/mm；
人眼：角分辨率1´；

不需要在像面上成几何点（理想点）

130

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定义：在景像平面上所获得成清晰像的空间深度（Δ）
对准平面 入射光瞳 出射光瞳 景像平面

Z1 入瞳直径2a，出瞳直径2a′；

Z2
B1 B2
P1 P1 B1和B2点在对准平面上的弥散斑
大小分别为：Z1、Z2
A P P A B1和B2的共轭点B1′和B2′在景像
2a 面上的弥散斑大小为Z1′、Z2′
P2 P2 景像面和对准面为共轭面，设β
B2 B1 为景像面和对准面间的放大倍率，
Z 1'   Z 1 Z 2'   Z 2

Z1
Z2

1 2  p2 p1
从图上利用相似三角形关系：
p p
 p1 Z 1 p1  p Z 2 p  p2
p2  
2a p1 2a p2
由上式可得：
p1  p  2ap
p1  p Z1'  2a
Z1  2a p1  p1  2a  Z


1
p1 
 p  2ap
p  p2 p  p2

2
Z 2  2a Z 2 '  2a 2a  Z 2
p2 p2

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第十三次课结束

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