Thực tập Tổng hợp và Phân tích Vật liệu CN 2 – Khảo sát đặc trưng dòng – thế

KHẢO SÁT ĐẶC TRƯNG DÒNG – THẾ LINH KIỆN CẢM

BIẾN NHIỆT
GVHDTH: TS. Phạm Kim Ngọc, TS. Đặng Vinh Quang

Mục tiêu của bài thí nghiệm: SV biết được phương pháp phân tích tính chất điện
của vật liệu thông qua đặc trưng dòng – thế (I – V).

Yêu cầu sinh viên sau khi học xong bài thí nghiệm:
- SV biết cách đo đặc trưng dòng – thế của một linh kiện bán dẫn cụ thể.
- SV biết nhận xét kết quả và dự đoán loại tiếp xúc của các lớp vật liệu màng
mỏng từ kết quả đặc trưng I - V.

1. CƠ SỞ LÝ THUYẾT
Một tiếp xúc kim loại/ ôxít (kim loại/ bán dẫn) có cấu trúc như (Hình 1). Sự khác
biệt giữa vật liệu kim loại và bán dẫn có thể được giải thích dựa vào giản đồ vùng
năng lượng. Cơ chế truyền dẫn điện tích tại lớp phân giới kim loại/bán dẫn được
giải thích dựa vào một số khái niệm sau:

Hình 1. Sơ đồ tiếp xúc kim loại – bán dẫn

 Mức chân không là mức năng lượng điện tử tự do, được sử dụng như mức
chuẩn.
 Sự khác biệt giữa mức chân không và mức Fermi được gọi là công thoát của
vật liệu (công thoát là năng lượng cần thiết để một điện tử di chuyển từ mức Fermi
lên mức chân không), kí hiệu .
 Vùng năng lượng tại mặt tiếp xúc của kim loại và chất bán dẫn gọi là vùng
nghèo có độ rộng W. Vùng nghèo là vùng không có điện tử tự do.

1
 Thực tập Tổng hợp và Phân tích Vật liệu CN 2 – Khảo sát đặc trưng dòng – thế

Bảng 1: Giá trị công thoát của một số kim loại thường gặp.

Nguyên tố Công thoát Φm (eV)

Silver (Ag) 4.26
Aluminum (Al) 4.28
Gold (Au) 5.1
Chromium (Cr) 4.5
Molybdenum (Mo) 4.6
Nickel (Ni) 5.15
Palladium (Pd) 5.12
Platinum (Pt) 5.65
Titanium (Ti) 4.33
Ttungsten (W) 4.55

A. Tiếp xúc kim loại/bán dẫn loại N.

Hình 2 là biểu đồ vùng năng lượng của tiếp xúc kim loại/bán dẫn loại N trước
(Hình 2a) và sau khi tiếp xúc (Hình 2b) trong trường hợp công thoát của kim loại
lớn hơn công thoát của bán dẫn ( > ).

Trước khi tiếp xúc, mức Fermi trong bán dẫn cao hơn trong kim loại,
sự chênh lệch giữa vùng hóa trị của kim và bán dẫn hình thành rào thế có độ cao
:

Với  là ái lực điện tử - là sự chênh lệch năng lượng giữa mức chân không và các
mức dẫn điện trong vật liệu cách điện (bán dẫn). Bảng dưới đây cho biết giá trị ái
lực điện tử của một số chất bán dẫn.
Bảng 2. Bảng giá trị ái lực điện tử của một số bán dẫn thường gặp.
Nguyên tố Công thoát Φm (eV)
Silver (Ag) 4.26
Aluminum (Al) 4.28
Gold (Au) 5.1
Chromium (Cr) 4.5
2
 Thực tập Tổng hợp và Phân tích Vật liệu CN 2 – Khảo sát đặc trưng dòng – thế

Molybdenum (Mo) 4.6

Nickel (Ni) 5.15
Palladium (Pd) 5.12
Platinum (Pt) 5.65
Titanium (Ti) 4.33
Ttungsten (W) 4.55

Ngay sau khi hình thành lớp tiếp xúc, số điện tử thoát khỏi chất bán dẫn để sang
kim loại sẽ nhiều hơn số điện tử chuyển động theo chiều ngược lại. Kết quả là,
phía kim loại có thêm điện tích âm còn phía chất bán dẫn sẽ mất đi một số điện tử
để lại các lỗ trống không được trung hòa, do sự chênh lệch này sẽ làm xuất hiện
điện trường tại ranh giới của lớp tiếp xúc có hướng từ chất bán dẫn sang kim loại.
Điện trường này tiếp tục tăng dần cho tới khi số điện tử từ bán dẫn sang kim loại
bằng số điện tử đi theo chiều ngược lại. Điện trường này có tác dụng ngăn cản sự
chuyển động của điện tử từ chất bán dẫn sang kim loại nhưng không ảnh hưởng
đến các điện tử chuyển động từ kim loại sang chất bán dẫn. Do tác dụng này mà
tới một lúc nào đó điện trường sẽ đạt trạng thái cân bằng, ở ranh giới của lớp tiếp
xúc xuất hiện một điện trường ổn định gọi là điện trường tiếp xúc . Khi đó dòng
điện tử đi từ chất bán dẫn sang kim loại bằng dòng điện tử đi từ kim loại sang chất
bán dẫn:

Khi mức Fermi cân bằng trong toàn bộ khối (kim loại/bán dẫn), tại mặt phân giới
sẽ tồn tại một hàng rào thế và vùng nghèo điện tích tự do W có tác dụng ngăn cản
sự di chuyển của điện tử xuyên qua mặt phân giới. Điều khiển sự truyền dẫn điện
tích qua mặt phân giới trên có thể bằng các quá trình sau:

3
 Thực tập Tổng hợp và Phân tích Vật liệu CN 2 – Khảo sát đặc trưng dòng – thế

Hình 2. Cấu trúc vùng năng lượng của tiếp xúc kim loại/bán dẫn loại N; a)
Trước khi tiếp xúc; b) Sau khi tiếp xúc
Phân cực thuận:
Khi chưa áp điện vào tiếp xúc kim loại/bán dẫn, dòng điện từ từ kim loại sang chất
bán dẫn bằng dòng lỗ trống từ chất bán dẫn sang kim loại.

Dòng tổng cộng qua lớp chuyển tiếp:

Hình 3a là quá trình phân cực thuận lên lớp tiếp xúc kim loại/bán dẫn, khi đó kim
loại tích điện dương còn bán dẫn tích điện âm. Điện tích V tạo nên điện trường
ngoài ngược chiều với điện trường tiếp xúc . Điện trường ngoài làm giảm rào
thế năng đối với các điện tử chuyển động từ chất bán dẫn sang kim loại và do đó
làm thay đổi mà không làm ảnh hưởng gì đến dòng ,
=0.

Dòng tổng cộng qua lớp tiếp xúc:

Phân cực nghịch:

4
 Thực tập Tổng hợp và Phân tích Vật liệu CN 2 – Khảo sát đặc trưng dòng – thế

Nếu ta áp điện dương vào chất bán dẫn so với kim loại, độ cao rào thế bán dẫn
tăng, trong khi giữ không đổi trong trường hợp lý tưởng này, quá trình này gọi

là phân cực nghịch, (Hình 3b).

Hình 3. Cấu trúc vùng năng lượng của tiếp xúc kim loại/ bán dẫn (loại N) dưới
điều kiện: a) Phân cực thuận; b) Phân cực nghịch.
Tiếp xúc kim loại/bán dẫn loại P:
Khảo sát tiếp xúc giữa kim loại và bán dẫn loại P, trong trường hợp m >
s, do các hạt tải chuyển động một cách tự do theo hai chiều nên không có hàng
rào hình thành tại chỗ tiếp xúc (Hình 4).
Dòng điện tuân theo định luật Ohm. Tiếp xúc này được gọi là tiếp xúc Ohmic.

Mối quan hệ giữa dòng và thế là quan hệ tuyến tính. Đường đặc trưng Vôn –
Ampe được biểu diễn trong (Hình 5).

Hình 4. Cấu trúc vùng năng lượng của tiếp xúc kim loại – bán dẫn loại P a)

5
 Thực tập Tổng hợp và Phân tích Vật liệu CN 2 – Khảo sát đặc trưng dòng – thế

trước khi tiếp xúc và b) sau khi tiếp xúc.

Bảng 2.3: Bảng phân loại tiếp xúc kim loại/bán dẫn theo công thoát.
Bán dẫn loại N Bán dẫn loại P
m >s Tiếp xúc chỉnh lưu Tiếp xúc Ohmic
m <s Tiếp xúc Ohmic Tiếp xúc chỉnh lưu

Hình 5. Đường đặc trưng I-V của Tiếp xúc Schottky và Tiếp xúc Ohmic.
2. THỰC HÀNH
2.1. Đo đặc trưng dòng - thế của tiếp xúc kim loại/ bán dẫn
a. Chuẩn bị mẫu
Mẫu được chuẩn bị trong bài thực tập cảm biến nhiệt.
b. Đo đặc trưng dòng – thế
Sử dụng máy đo Đặc trưng Dòng – Thế (Keithley 2400) và hệ đầu đo bằng kim
loại có thể điều chỉnh theo 3 trục (Hình 6).
Bước 1: Mở nguồn của máy tính và nguồn của máy đo Keithley khoảng 10 phút
cho hệ ổn định.
Bước 2: Vệ sinh khu vực đo và 2 đầu kim tiếp xúc trước khi đo. Dùng giấy thấm
alcohol để lau nhẹ, tránh chà xát mạnh với mũi kim.
Bước 3: Đặt mẫu lên vị trí đo sao cho mẫu cố định
Bước 4: Điều chỉnh 2 đầu kim đến vị trí mong muốn trên mẫu và hạ đầu kim
sao cho tiếp xúc với mẫu. Hai đầu kim tiếp xúc với hai điện cực của linh kiện

6
 Thực tập Tổng hợp và Phân tích Vật liệu CN 2 – Khảo sát đặc trưng dòng – thế

Hình 6. Minh họa cách thiết lập đo đặc trưng dòng – thế.
Lưu ý: Căn chỉnh sao cho đầu kim chỉ tiếp xúc vừa chạm tới bề mặt mẫu, không
nên hạ đầu kim quá sâu vì sẽ dễ gây rách/hư hỏng với các mẫu dạng màng.
Bước 5: Mở chương trình đo I-V measurement và cài đặt các thông số phù hợp
với mục tiêu khảo sát (khoảng thế đo, số điểm dữ liệu, tốc độ quét thế,
dòng ngưỡng, vòng lặp…)
Bước 6: Nhấn F1 trên bàn phím hoặc Execute trên màn hình để tiến hành đo
mẫu.
Bước 7: Lưu dữ liệu sau mỗi lần quét thế - dòng.
2.2. Đo đặc trưng dòng – thế cấu trúc kim loại/bán dẫn/kim loại
a. Chuẩn bị mẫu
Mẫu được chuẩn bị trong bài thực tập cảm biến nhiệt.
b. Đo đặc trưng dòng – thế
Cách đo tương tự như trong phần 2.1
Để khảo sát đặc trưng dòng – thế, cấu trúc Kim loại/Bán dẫn/Kim loại được áp
điện trường theo quy trình quét thế 0  - V 0  + V  0 với mức dịch chuyển
thế (step) là 0.02 V. Cụ thể như sau:

 Lần 1: Áp thế 0  - 0.5 V 0  +0.5 V  0

 Lần 2: Áp thế 0  - 1 V 0  +1V  0
 Lần 3: Áp thế 0  - 1.5 V 0  +1.5 V  0

7
 Thực tập Tổng hợp và Phân tích Vật liệu CN 2 – Khảo sát đặc trưng dòng – thế

 Lần 4: Áp thế 0  - 2 V 0  +2V  0

Tăng nhiệt độ thêm lần lượt 50C, 100C, 150C và 200C. Ứng với mỗi nhiệt độ thực
hiện các phép đo như ở nhiệt độ phòng

8
 Thực tập Tổng hợp và Phân tích Vật liệu CN 2 – Khảo sát đặc trưng dòng – thế

3. CÂU HỎI BÁO CÁO

1. Giải thích tại sao áp thế từ nhỏ tới lớn?

2. Vẽ (các) đồ thị kết quả khảo sát đặc trưng I – V. Nhận xét/Phân tích và
giải thích các kết quả.
3. Cho biết nhiệt độ ảnh hưởng thế nào đến đồ thị I-V

Tài liệu tham khảo:

1. Lê Khắc Bình, Vật lý bán dẫn, NXB Đại học Quốc gia Tp. HCM, 2002.
2. PGS. TS Đinh Sỹ Hiền, Linh kiện bán dẫn, Nxb ĐHQG Tp. HCM