오차 및 토론

1. spin coater
(spin coater 과정에서 발생하는 오류)
불량명 사진 원인

Air
Bubbles Ÿ PR내 공기방울 존재
Ÿ Dispense 끝이 평평하지 않거나 결함
Ÿ spin 속도가 너무 빠르거나 느림
Ÿ PR이 웨이퍼 중앙에서 떨어져 나감
Swirl
Pattern

Ÿ PR 분사율이 너무 높음
Ÿ Spin 속도가 너무 빠름
Ÿ 웨이퍼 표면에 이물질 존재
Comets Ÿ PR이 웨이퍼 중앙에서 떨어져 나감
Ÿ PR이 Spin 전에 너무 오래 웨이퍼 위에 남음
Ÿ PR내 공기방울 존재

Ÿ 웨이퍼를 잡아주는 Chuck이 진공상태를 만들

Center 면서 웨이퍼에 영향을 줘 Chuck 모양대로
Circle Mark가 생긴 형태

Uncoated Ÿ 너무 적은 량의 PR이 분사됨

areas

Ÿ PR내 공기방울 존재
Ÿ PR내 이물질이 존재
Pinholes
Ÿ 웨이퍼 표면에 이물질 존재

https://www.costeffectiveequipment.com/blog-spin-coat-theory/
(Cost Effective Equipment – 포토공정 물품 전문 제작판매 회사)
2. 핫플레이트 온도
(soft bake, hard bake)

목적 방식 불량유형
Ÿ 과소 : 마스크 접착
Ÿ PR 내 잔류 용매 제거
불량
Ÿ PR의 접착력을 강화 Ÿ 약 90~100℃로
soft bake Ÿ 과대 : 열 다중화에
Ÿ 노광 장비 및 마스크 오 가열
의한 Scum 발생 및
염 방지
용해도 감소
Ÿ PR 내 잔류 용매, 현상액
제거 Ÿ 약 100~120℃
hard bake
Ÿ 후속 공정을 위해 PR을 로 가열
더욱 견고히 하기 위함

https://blog.naver.com/sesemi08/222523622289
엔지닉 반도체 책 일부

3. PR 용액
(PR 용액 특성에 따른 오차)

pr(AZ-GXR-601) 유효기간 3~6개월

고분자 물질을 포함한 유기액체 형태. 시간이 지남에 따라 그 특성이 변화한다.

“유기물이죠. 시간이 지남에 따라 그 특성이 변화하고 오늘 내가 찍었을 때 50 nm

패턴이 만들어졌는데 일주일 뒤에는 60 nm 패턴이 나올 수도 있거든요.”

https://4science.net/shop/goods/6027
(pr 제품정보)
https://www.youtube.com/watch?v=3PBOhz_k_bk
https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=15710
(인하대학교 고분자공학과 이진균 교수 인터뷰)