GR

Makine paralarnn mrleri ve takmlarn kullanm sreleri, anma nedeni ile snrldr. Gnmzde ayn parann gittike daha byk sayda retilme talepleri yaygnlaan otomasyona karlk anma nedeni ile metal ileme makinelerinin durma sreleri, fiyat faktrn devaml arttrmaktadr. Bu nedenle anmann nlenebilmesi her geen gn ekonomik anlamda daha byk nem kazanmaktadr. Anmann lkenin gayri safi milli hslasnda %5'in zerinde kayplara neden olduu bilinen bir husustur. Takm mrlerini uzatma iin yeni nesil takm elikleri retilmektedir. Takmlarda kullanlan malzemeleri, daha pahal yenileri ile deitirme yerine, yalnz yzeyin anma zelliklerini gelitirmek ise soruna ekonomik ve pratik bir yaklamdr. Bu alanda sert seramik film kaplamalar ile son yllarda byk aamalar salanmtr. Bu teknolojilerde kullanlan nitrr, karbr, oksit vb. sert seramik kaplamalarn, anmaya kar dayankl olduklar uzun zamandr bilinmektedir. Bu malzemelerin gevrek ve ok krlgan olular, dolu malzemeden kullanlmalarn engellemektedir. Ayrca fiyatlar da olduka yksektir. Bu tr malzemeler sert seramik film olarak elikler ve sert metaller zerine kaplandklarnda yzey sertlii ok yksek, ktlesel olarak tokluu yeterli kesici takmlarn ve kalplarn retilmesi mmkn olmaktadr Malzemelerin anmalar ve korozyon sebebiyle teknolojik ve ekonomik adan byk kayplar meydana gelmektedir. Ortaya kan kayplarn nde gelen kayna korozyona kar verilen savata bavurulan yntemlerdir. Korozyona dayankl malzemeler, yzey kaplamalar, andrc ortamlara yaplan ilaveler ve grevini yapamayacak derecede bozulmu paralarn yenileri ile deitirilmeleri bir anlamda korozyonun maliyetini oluturmaktadr. A.B.Dde korozyonun yllk maliyeti 8 milyar dolar olarak tahmin edilmektedir. Ayn lkede korozyonun at kayplar iin ; Otomobil yakt sistemlerinde korozyon;100milyon dolar/yl Otomobil radyotrleride korozyon; 52milyon dolar/yl Otomobil eksost belirlenmitir. sistemlerindeki korozyon; 500milyon dolar/ yl olarak

Kaplamlara ihtiya duyulan yerlerin sadece %5 inde kullanlmaktadr. Kullanm alanlar ;

1.

elektrik elektronik sanayiinde hizmet eden kaplamalar

2. tribolojik amal kaplamalar 3. korozyondan korunma amacna ynelik kaplamalar 4. dekoratif amal kaplamalar olarak incelenebilir. Malzemelerin anma ve korozyonu gnmz sanayinde olduka yksek ekonomik kayplara neden olan byk teknik problemlerden biridir. Yzey ilemleri bu anma ve korozyon etkilerinin azaltlmasnda ok daha iyi yzey zellikleri vermektedir. Ancak gnmzde kaplanmas gereken takmlarn sadece %5i kadar kaplanmaktadr lerleyen teknolojinin altnda ince sert seramik film kaplamalarn, tribolojik amal uygulamalardaki kullanm oranlar her geen gn artmaktadr.

Gaz halinde yaplan kaplama tekniklerinden olan kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) teknikleri endstriyel uygulamalarda geni kullanm alanlarna sahiptirler. zellikle PVD ynteminin dierlerine nispeten daha dk ilem scaklklarnda yaplabilmesi ve geni kaplama kalnlk aralklarnda kaplamalarn elde edilmesi, PVD yntemine daha geni kullanm alanlar sunmaktadr. PVD ynteminin ilk uygulamas, Faraday'n 1850 ylnda metalleri vakum altnda buharlatrarak rettii kaplamalar olarak kabul edilebilir. Kundt ise 1888 ylnda, bu yntemi kullanlarak retilmi ince filmlerin yanstma zellikleri zerine baz almalar yapmtr. Daha sonraki yllarda ise, ince metalik film tabakalarn kinetii, gazlarn difzyonu ve gaz-metal reaksiyonlar zerine bir takm aratrmalarda bulunulmutur. Vakum teknolojisinde salanan gelimeler sonucunda ise, II. Dnya Sava sralarnda PVD teknii endstriyel olarak kullanlmaya balanmtr. Daha ok, balangta dekoratif amal yaplan kaplamalarda kullanlan PVD ynteminin takm mrlerinin arttrlmasnda olduka nadir durumlarda kullanlmas sz konusu idi. Yksek hz takm eliklerinin PVD yntemi ile kaplanmas kullanm asndan olduka snrl kalmtr. Bunun gereklemesi retim mhendisleri ve takm reticileri iin olduka uzun yllar almtr. Kesme ve ekil verme takmlarnn PVD yntemi ile kaplanmas 70li yllarn ortasnda balam ve 1980 ylnda Mitsubishi tarafndan dili kesme takmlarnda yapld gibi Balzers ve Ghring tarafndan burgu delicilerin TiN ile kaplanmas gelitirilmi ve kaplama yaplarak endstrinin hizmetine girmitir. O zamandan beri PVD kaplamalar iki esas dorultuda; a) b) Sertliin iyiletirilmesi, Termal direncin iyiletirilmesi imdilerde ise deiik PVD kaplama yntemleri ile farkl tiplerdeki kaplama-altyap malzeme balar gibi ok deiik kaplama yaplar elde edilebilmektedir. Metal ve plastik endstrisinde farkl birok ilemler kullanlmaktadr. Bunlar; kesme, ekil verme, zmbalama ve plastik enjeksiyon kalplamadr. Ancak, bu ilemler iin bir takm eksiklikler sz konusudur. TiN adhesif anmay azaltc ynde iyidir; fakat btn alma malzemeleri iin geerli deildir. (Ti,Al)N oksidasyon direnci gerektiren yerlerde daha iyi kullanm imkan vermektedir. Anmann sz konusu olduu, yada tok malzemelerin istenmedii yerlerde Ti(C,N) kaplamalar daha iyi zelliklere sahiptir. Daha kaln bir kaplamaya ihtiya varsa korozyon direnci iin CrN kaplamalar kullanlabilmektedir. PVD ile retilmi nitrit esasl sert kaplamalar, zellikle TiN ve son zamanlarda CrN tabakalar kesme mlerini uzatmak ve performanslarn gelitirmek iin tribolojik uygulamalarda kullanlmaktadrlar. Kaplama yntemlerini ise kaplama malzemesinin bulunduu fiziksel hale gre drt ana grupta toparlayabiliriz.( ekil 1.1) 1. buhar fazndan yaplan kaplamalar 2. zeltiden yaplan kaplamalar
3.

sv yada yar sv halden yaplan kaplamalar

4. kat halden yaplan kaplamalar Buhar fazndan yaplan kaplamalar (kuru prosesler) iki blmde incelenebilir: 1. PVD ( physical vapor desposition)
2.

CVD (chemical vapor desposition)

BLM 1

1.1 YZEY LEMLER Malzeme biliminin geliimine paralel olarak i yap ile mekanik ve fiziksel zellikler arasnda kurulan balar ve bunlarn bilinli olarak uygulan gnmzde kullanlan yzey ilemlerini de beraberinde getirmitir. Tabii ki bu ilemler en yaygn kullanm alann amzn metali olan demir ve demir-esasl rnler arasnda bulmutur (sementasyon, nitrrleme, galvanizleme vb.). Son yllarda ok hzl gelien teknoloji ile birlikte yzey ilemleri de eitlenmekte ve termal pskrtme, iyon alamas gibi ileri tekniklerin laboratuar dzeyinden seri retim safhasna girmesini salamaktadr. 1.1.1 Yzey lemlerinin Amac Metal yzeylere uygulanan ilemler ama olarak ana balk altnda toplanabilir. 1.1.1.1 Ana metalin anma ve srtnme zelliklerinin gelitirilmesi Genel olarak anmaya dayanm, sertlik ile doru orantldr. Ancak bir malzemenin sertlii arttka gevreklii de artmakta, dolaysyla yk tama kapasitesi dmektedir. Bu nedenle uygulanacak yzey ilemi, her iki zellii (sertlik ve tokluk) tek bir parada birletirmeyi amalayabilir. Bylece ilem sonras oluturulan metal yzeyindeki sert tabaka anmaya kar diren salarken, ekirdei oluturan ana metal, nispeten yumuak ancak tok yaps ile paraya binen yk kaldrabilecektir. Bu amaca klasik bir rnek olarak sementasyon, nitrrleme ve kesici ular zerine kapanan ince TC tabakas verilebilir. Srtnme ile ilgili uygulamalarda srtnme katsays n plana kmaktadr. Dk yk altnda alan metal paralar zerine teflon, ar yk altnda alan paralar zerine kaplanan Babbit alam bu tr uygulamalara rnek verilebilir.

1.1.1.2 Korozyona kar direncin arttrlmas Anma direncinde olduu gibi, bu tr uygulamalarda ana metalin dayanm ile kaplamann korozyona direnci birletirilmek istenebilir. Dekoratif amal uygulamalar da bu balk altnda toplamak mmkndr. Krom, nikel kaplama, galvanizleme en sk kullanlan yntemlerdendir. Daha dar kapsaml uygulamalara ise termal pskrtme, iyon alamas, kladlama vb. rnek verilebilir. 1.1.1.3 retim maliyetinin drlmesi alma koullarna ok uygun olmasna karn birim fiyatnn yksek olmas bir malzemenin yekpare olarak kullanlmasn engelleyebilir. Bu durumda ok daha ucuz bir malzeme zerine yaplacak kaplama maliyeti drecektir. rnein, hassas cihazlarda kullanlan elektrik kontaklar elektrolitik yntem ile altn kaplanr.

1.2 Yzey lemlerinin Snflandrlmas Kaplama, metal yzeyine bir element ya da bileiin biriktirilerek bir kabuk oluturulmas ileminin tmn kapsar (elektrolitik, termal pskrtme vb.). Yzey dnm ilemlerinde ise yzeyin iyaps ve kimyasnn deitirilmesi sz konusudur. 1.2.1 Termal pskrtme yntemleri Bu yntemde kaplama malzemesi tel veya toz eklinde pskrtme tabancasnn scak blgesine verilir. Ergiyen (veya yar-ergimi) kaplama malzemesi itici gazn yardm ile metal yzeyine yksek bir hzla pskrtlr. Pskrtlen ergimi paracklarn boyutunun ufak olmas metal yzeyinin scakln ortalama 150 C nin altnda kalmasn salar. Paracklarn ergimesi iin gerekli olan termal enerji; yanc gazlar yardm ile oluan alev veya elektrik ark sonucu oluan plazma sayesinde elde edilir. 1.2.2 Alevle pskrtme Metal pskrtme tellerinin kullanm sl kaplama yntemleri arasnda en ekonomik zm vermektedir. Olduka kaln tel pskrtme tabakalar bile hzl ve ucuz biimde uygulanabilir. Kullanlan pskrtme aygtna gre metal tellerinin ap 1 mm den 15 mm ye kadar deiebilir. Sz edilen teller ayarlanabilir bir hzla, bir el tabancas iinden ve asetilen-oksijen alevinin merkezinden geilerek srekli bir biimde eritilir. Yoruk metal paracklar iletilen
4

basnl hava yardm ile i parasnn nceden temizlenmi yzeyi zerine gnderilir ve orada bir tabaka oluumu balatlr. Pskrtlen tabakalarn ana malzemeden ayrlmasn nlemek iin bu tr gzenekli tabakalarda genellikle zel yapma malzemeleri kullanlmaldr. Tel-alev pskrtme yntemi iin en nemli malzeme gruplar deiik karbon oranlar ieren yaln karbonlu elikler, kromlu elikler, paslanmaz elikler, molibden, yatak bronzlar, beyaz yatak metalleri ve demir olmayan metallerden bazlardr. Pskrtlen tabakalarn ilenmesi sz konusu malzemenin zelliklerine gre tornalama, delme, frezeleme ya da talama biiminde olur. Yntemin karakteristik kullanm alanlar arasnda kaymal yatak yzeyleri, dili kutusu paralar, piston segmanlar, rulmanl yatak yzeyleri, hidrolik pistonlar, hidrolik silindirleri, su trbini paralar ve korozyondan korunmas gereken yerler saylabilir. 1.2.3 Arkl pskrtme Bu tip pskrtmede yanma gaz ve oksijen gereksinmesi yoktur. Pskrtme tabancas iinden iletilen iki metal tel bir gerilim kaynana balanmtr. Tabanca azn terk eden iki metal arasnda ksa devre ark oluur ve teller ortaya kan bu ark iinde erirler. Bu srada basnl hava, alevle pskrtme ynteminde olduu gibi eriyik metali tozlatrarak hazrlanm yzeye pskrtlr, yzeyde tabaka oluumu izlenir. Arkl pskrtmenin stn yn ilemdeki hzn yksek oluudur. Alevle pskrtme ynteminde saatte en ok 8 kg. elik tel ilenirken (pskrtlebilirken), arkl bir dzende akm iddetine gre ayn elikten 15-20 kg tel ilenebilir. Arkl pskrtme yntemi ile elde edilen tabakalarn ana malzemeye yapma zellikleri daha iyidir; paracklar daha yksek bir sl ve kinetik enerji ile ana malzemeye arpmakta ve orada mikro kaynaa benzer bir olayla yapmaktadr. Karakteristik kullanm alanlar ise kondansatrler, kurutma silindirleri, kalp retimi, bronz yataklar, beyaz metal yataklar ve korozyondan korunmas gerekli yerlerdir.

ekil 1.1. Arkl Pskrtme Dzenei 1.2.4 Alevle pskrtme (Toz) Isl pskrtmelerdeki tel yerine kaplama maddesi toz biiminde de pskrtlebilir. Bu durumda toz malzeme gaz alevi iinden geerken erir ve yzey zerine itilir. Damlacklarn nceden hazrlanm yzeyler zerine iletilmesi genellikle basnl hava yardm ile olur. Bu yntem, metal pskrtme yntemleri arasnda en ok uygulananlardandr. Malzemenin seimi, yzeyin cinsine, tabaka kalnlna ve istenen yapma kalitesine gre yaplr. Standart metallerle elde edilen pskrtme tabakalar zellikler ve kullanma yerleri bakmndan tel pskrtme ile elde edilenlerle karlatrlabilir. Bunlar genellikle yapkan tabakalar zerine pskrtlrler. Yaln karbonlu ve paslanmaz elikler, molibden alamlar, yatak bronzlar ile bakr ve alminyum gibi demir olmayan metaller bu gruptandr. Seramikler ve karbrler anmaya dayankl ve korozyon direnci yksek kaliteli pskrtme tabakalarnn elde edilmesinde kullanlr. Alminyum oksit, titan oksit ve krom oksit malzemeler en sert sl pskrtme tabakalarndan saylrlar, yalama yaplmakszn kullanlabilirler ve korozyon bakmndan da yksek dayanmldrlar. Wolframkarbrler, krom, nikel ve kobalt balantlar iinde ok yksek anma dayanm gsterirler ve yksek nitelikli makine paralarnn yzey kaplamalarnda kullanlr. Cermetler seramik ve metal tozlarnn karm olduklarndan her iki bileenin zelliklerini birlikte gsterirler.

ekil 1.2. Alevle Pskrtme Dzenei 1. Pskrtlen tel 2. Yanc gaz-oksijen karmnn geii 3. Basnl havann geii 4. Gaz karmnn yksek bir hzla geii 5. Yanc gazlarn ayrt blge
6

6. Parlak koni ksm

7. 8.

Birincil yanma blgesi (~3200 0C) kincil yanma blgesi (~2000 0C)

1.2.5 Plazma pskrtme Plazma pskrtme yntemi, sl pskrtme tabakalar iin yksek scaklkta eriyen metallerden, oksitlerden, karbrlerden, borrlerden vb. yararlanma olana verir. Sz edilen bu ma1zemeler gaz oksijen alevi iinden pskrtlemezler. Byle malzemeler iin ok yksek scaklklar (4000 - 20000 C) ile plazma demetinin ses st hz gereklidir. Sonuta ok youn ve homojen bir pskrtme tabakas ortaya kar. Ancak bu tabakann en belirleyici zellii ana malzeme zerindeki yapabilme stnldr. Plazma pskrtme yntemi olduka yksek elektriksel gler ve pskrtlecek malzeme trne gre deien plazma gazlarna (hidrojen, azot argon, helyum ve bunlarn belli oranlardaki karmlar), uygun bir soutma sistemine ihtiya vardr. Bu yntem metal pskrtme yntemleri arasnda her ynden en yksek nitelikli kaplama tabakalarn veren, ok ynl istemleri karlayabilen bir yntemdir. Kompresr ve trbin kanatlar, tekstil makineleri, pompa paralar, vantilatr kanatlar, mekanik szdrmazlk elemanlar plazma pskrtmesinin en ok kullanld alanlardr.

ekil 1.3. Plazma Pskrtme Dzenei A- Toz Gnderimi B- Plazma Gaz C- Toz Gnderme Gaz D- Paras E- Koruyucu Gaz F- Su Pompas H- Akm Kaynaklar

Tablo 1.1. Metal kaplama yntemlerinde kaplama kalnl, scakl ve ba gc

YNTEM

LEM SICAKLII C

KAPLAM METAL A YZEY KALINLI TUTUCULU I K (MKRON)

Termal Pskrtme

100-150

50-500

B-C

Kladlama

50-1200

50-100000

Evaporasyon

200-1600

0,1-1000

B-C

yon Kaplama

100-500

0,02-10

A-B

Kimyasal Buhar

150-2200

0,5-1000

Daldrma

25-500

5-50

Sol Gel

25-850

0,3-10

Elektro kimyasal 25-100 0,1-5000 C

Kimyasal

25-100

0,1-50

Kimyasal Dnm

25-600

0,1-10

A: Mkemmel

B: yi

C: Orta

D: Zayf

Buhar Yntemleri

Dierleri

KAPLAMA YNTEMLER

10

Tablo 1.2. Metal Kaplama Yntemlerinin Snflandrlmas

1.3 METAL YZEYLERN TEMZLENMES 1.3.1 Yal Maddelerin Alnmas Metalik yzeyler yakn zamanda temizlenmemi veya paslanmay nlemek iin yzeylerinde ya olabilir. Bu yalar almak iin eitli yntemler uygulanr. 1.3.1.1Organik zcler Temizlenecek cisim gazolin, benzen veya karbon tetra klorr ile ykanr. Gazolin ve benzen ucuz olduklarndan tercih edilirler. Ancak tutuma olaslklar ve benzenin zehirli zellikleri kullanlma alanlarn snrlarlar. 1.3.1.2 Alkali zelti kullanlmas Yalar scak alkali ile sabunlamaya tabi tutulurlar ve metalik yzeyden alnrlar. Emlsiyon tekil edici maddeler ise NAOH, Na2CO3 zeltileri ve sabundur. Elektro kaplama iletmeleri genellikle hazr metal temizleyicileri satn alrlar. 1.3.1.3 Elektriksel temizleme ilemi Temizlenecek cisim alkali zelti ieren bir tanka balanr. Akm uygulanarak temizlenecek cisim zerinde hareketli hidrojen gaz k balar. Temizleme ilemi kk gaz habbecikleri yardmyla, kaldrma ilemi ile birlikte katot yzeyinde serbest alkali oluumu ile olur. 1.3.1.4 Dalama Kaplamay imkansz klan oksit vb. eylerin para yzeyinden giderilmesi iin madenin cinsine gre muhtelif asit karklar kullanlr. Paralarn bu vastalarla temizlenmesine paralarn dalanmas denir. Kaplanacak paralarn dalanmadan nce esasl olarak yadan temizlenmesi gerekir. Paralarn dalanmasnda slfrik asit, fosforik asit, hidrofluorik asit vb. asitli karmlar kullanlr. 1.3.1.5 Kabuklarn ve Dier Oksitlerin Alnmas

11

Bir takm nedenlerle kaplanmas gereken maddelerin yzeyini, ince bir metal oksit tabakasn kaplar. Bunu nlemek iin yzey koruyucu bir madde ile kaplanr. Fakat bu oksit tabakas koruyucu madde srlmeden nce de meydana gelmi olabilir. Bu tabakalar gidermek iin eitli yntemler vardr. 1.3.1.6 Demir ve elii asitle temizleme( Pikaj ilemi) Demirden yaplm cisimler iin genellikle H2SO4 ve HCl tavsiye edilse de HCl tercih edilir. Nedeni H2SO4den daha abuk etki eder. HCln pahal olmas pek ok hallerde H2SO4n kullanlmasn gerektirir. Asidin oksit kabuu zerine etkisi, metale dkldnde metalle kabuk arasnda oluan hidrojen habbeciklerinin meydana getirdii mekanik ayrma ve ayrca zeltilerin etkisi eklinde olur. 1.3.1.7 Oksit tabakasnn elektrolitik yolla kaldrlmas nce bir tabaka halinde oksit kabuu ihtiva eden demir veya elik 60 0Cdeki %30luk H2SO4 zeltisinde katot olarak balanrsa, kabuk demire indirgenir. Absorbe edilen hidrojen, metali krlgan yapar. Ayn banyoda demir anot olarak da kullanlr. Bu taktirde demirin fiziksel zelliklerinde bir bozulma olmamasna ramen metal kayb olduka byktr. 1.3.1.8 Kum pskrtme Dkmler kum pskrtme ile temizlenir. Dkm zerine basnl hava ile kum pskrtlr ve oksit kabuu mekanik olarak kaldrlr. Tm tedbirlere ramen ince kum solunum sistemine girer. Kum pskrtme kapal yerlerde yaplmaldr. Kum pskrtme temizlenecek cismin yzeyini etkiler ve bazen de mat bir yzey elde edildiinde son ilem olarak kullanlr. 1.3.1.9 Tel fra ile fralama Tel fralar pek etkilidir, yalnz bana ya da zmpara,snger ta,silisyum karbr gibi andrclarla ve alkali zeltilerle birlikte de kullanlrlar. 1.3.1.10 Dnen fralar Ufak cisimler dnen fralar ile kolayca temizlenirler. Temizlenecek cisim elik bilya , kum, zmpara veya dier uygun bir andrc ile sabun veya baka bir alkali ile birlikte dnen varile yerletirilir. Bu andrclar ya ve kuru olarak kullanlrlar. Yuvarlanma ile kabuklar przler, sivri ular,kntlar,girintiler giderilir.

12

Tablo 2.1. Yzey Temizleme lemleri

TALA YA PARALARI VE TEMZLE VE KESME PARLAT OKST ME LEMNDE GRE MA TABAKA KULLANILAN PASTASI SI YNTEM SS LUBRKANTLAR

Solvent

--

Buhar

Alkalin

Asit

Tuz banyosu

Ultrasonik

2.BLM
13

PVD YNTEMYLE YZEY KAPLAMA TEKNKLER , 2.1 PVD 2.1.1Genel Bilgi PVD yntemleri, dier yzey sertletirme yntemlerine nazaran pahal olmasna ramen, yksek hzda ileme (YH) teknolojilerin gelimesi ve bu gelimeye oranla yzeyleri ark PVD prosesi ile sert seramiklerle kaplanm kesici takmlarn YH de tavsiye edilir hale gelmesi, PVD yntemini tercih edilir hale getirmitir. PVD prosesi, kaplanacak malzemenin vakum altnda buharlatrlmas esasna dayanr. Fiziksel buhar biriktirme teknii genelde, elektronik uygulamalarnn yannda, kesici takmlarda, kalp malzemelerinde ve dier anmaya maruz kalan makine elemanlarnn ince sert seramik filmlerle kaplanp, mrlerinin arttrlmasn amalamaktadr. PVD kaplama metodu ou yzey ilemlerine ve kaplamalarna referans olmutur. Metalurjik amal, PVD uygulamasnn temel esas, vakum altnda buharlatrlan bir elementin, herhangi bir kimyasal reaksiyona izin vermeden tanmas ve kaplanacak kaplama malzemesi, zerine biriktirilmesidir. Buharlatrc kaynanda gaz fazna geirilen malzeme, kaplanacak paraya ular. Fakat, bu atomlarn para yzeylerine ulaabilmesi, ortamda baka atomlarla arpma sz konusunun olmad durumda gerekletirilir. PVD ilemi tam olarak bir yzey sertletirme ilemi olmasnn nedeni, kaplanacak olan matriks malzemenin kaplama scaklnn, malzeme AC1 dnm scaklnn altnda olmas ve s kontrolnn ok hassas yaplarak, tamamen sertletirme ileminin yzeyde olumasndandr. Buhar faznda biriktirme ilemi iin, alt ana kademe gerekletirilir: - Kaplanacak matriks malzemenin hazr hale getirilmesi, -Kaplama malzemesinin hazr hale getirilmesi - Kaplama malzemesinin kat veya sv fazdan buhar fazna geirilmesi, - Buhar fazndaki malzemeye ilave olarak, ortama reaktif gaz (Argon) verilmesi - Buhar faznn, kaynaktan matriks malzeme yzeylerine tanm - Buhar faznn yzeyde youmas, film ekirdeklerinin oluumu ve geliimi PVD yntemi, ana grup altnda incelenir. Buharlatrma Sratma yon kaplama Bu teknikleri birbirinden ayran nokta, kaplama malzemesinin buharlatrlmasnn ayr yntemlerle yaplmasdr. Farkl buharlatrma teknikleri, kaplamann yaps, zellikleri ve biriktirme hz gibi parametreleri
14

olduka etkilemektedir. Kesici takmlarn sert seramiklerle kaplanmasnda en yaygn kullanlan teknikler, Manyetik Alanda Sratma (Magnetron Sputtering) ve Ark Fiziksel Buhar Biriktirme (Ark PVD) dir. Bu tekniklerin uygulamada belirli avantaj ve dezavantajlar mevcut olsa da, her ikisi de optimum zelliklere sahip sert seramik kaplama retebilmektedir. ki yntemin birbirinden temel fark, Ark PVD tekniinin iyonizasyon orannn ok yksek olmas, kaplamaya taban yzeyinin yapmasnn daha iyi olmas ve manyetik sratma tekniine gre kaplama yzeyi kalitesinin daha iyi olmasdr.Bugn, PVD yntemi kullanlarak TiN, TiAlN, TiCN, CrN, WC-C, ZrN g.b. sert seramik kaplamalar retilmektedir.Sert seramik kaplamalar, zerinde bilimsel ve teknolojik olarak youn ilginin odakland konu haline gelmitir. Bu kaplamalarn gelitirilmesindeki asl hedef, yksek hzda imalat (YH) sistemlerinde kullanlacak kesici takmlarn ve kalplarn, anma korozyon ve srtnme zelliklerinin en iyiletirilmesini salamaktr. Yani, YH sistemlerinde, konvansiyonel takm tezgahlarna gre, kesici takmlarn maruz kald artan sl ve mekanik ykleri karlayabilmesi iin, daha sert ve tok, srtnme ve anma zellikleri daha iyi, kesme srasnda kesme svs kullanmn gerektirmeyecek kaplamalarla, takmlarn kaplanmas olarak aklayabiliriz. Bu amaca ynelik, kesici takm malzemeleri Ark PVD yzey sertletirme yntemiyle, yeni gelimi tm seramik elementlerle kaplanabilme imkan bulmutur. Ti elementinin kullanlmasnn ana nedeni, hegzegonal sk paketli (HSP) yapya sahip olduundan dolay, anma mukavemetine, korozyona dayanm ve kzl sertlik dayanmna sahip olmasdr. Ti elementi, anmaya dayanmyla, zellikle imalat sektrnde kesici takmlar, kesme ve delme kalplarnda, tbbi cihazlarda, biyolojik uyumluluu nedeniyle vcut ii ve d protezlerde ve uzay sektrnde uygulama alan bulmutur. TiN kaplamalar, kaplama parametrelerine bal kalarak, yzeylere iyi yapma zellii, sl oklar altnda kimyasal kararll, yksek sertlik ve dk srtnme katsaysndan dolay kayganlk zellii, kesici takmlarda ve kalp malzemelerinde oluan abrazif, adhezif, oksidasyon ve difzyon gibi anma mekanizmalarna kar koruyucu vazifesi grr (Ezugwu ve Okeke, 2001). Kaplama teknolojilerinin gelimesi ile de, Ti un birok elementle (Al, Cr vs.) kimyasal reaksiyona sokularak, ok tabaka katmanl (multi-layer) yzey sertletirme ilemleri de uygulama alan bulmutur. 2.1.2PVD Yntemleri : 2.1.2.1Termal Buharlatrma Termal buharlatrma en eski ve en yaygn olarak kullanlan vakum biriktirme tekniklerinden biridir. Buharlatrma prosesinde kaplama malzemesi, kaynak malzemesini belli bir scakla (tipik olarak 1000-2000 C) vakumda (10 -6-l Pa veya 10 -8-10-2 Torr) stmakla meydana getirilir. Bu ekilde buhar basnc (>1 Pa veya10 -2 Torr) anlaml bir ekilde, evreleyen oda basncn geer ve younlama iin yeterli buhar retir. Kaplama malzemesi elektriksel olarak ntr bir durumdadr ve kaynan yzeyinden tipik olarak 0,1-0,3 eV aralndaki termal enerjilerde kar. Kaynak-taban malzemesi aras uzaklk, 150-450 mm arasnda deiir. Birok malzeme (metaller, alamlar, metalleraras bileikler, ve refrakter bileikler) hemen hemen herhangi bir taban malzemesi zerine (polimerler dahil) uygun bir teknik kullanlarak kaplanabilir. Taban malzemesi havada asl, topraklanm veya elektriksel olarak polarize edilmi olabilir.

15

Taban malzemesi normal olarak, youn eeksenli tane morfolojisine sahip metal ve refrakter bileiklerinin kaplamalar iin yksek bir scakla (200-1600 C) n stlmtr. Yksek taban malzemesi scaklklarnda biriktirilmi birok refrakter bileiin kaplamalar, daha iyi yapma, daha yksek sertlik ve daha yksek anma direnci gsterirler. Ayrmaya uramayan saf metal, alam ve bileiklerin birou, vakumda direkt olarak buharlatrlabilir. ok bileenli alamlar veya bileikler termal olarak buharlatrld zaman bileenler, farkl buhar basnlar nedeniyle farkl hzlarda buharlaabilir. ok az bileik, ayrmaya uramadan buharlar. Daha genel bir anlamda, bir bileik buharlatrld veya sratld zaman, malzeme bileik halde olduu gibi buhar fazna gei yapmaz, fakat ksmlar halinde gei yapar. Sonradan bu ksmlar, byk bir olaslkla taban malzemesi zerinde bileii tekrar oluturmak iin yeniden birlemek zorundadr. Uygun stokiyometrik kaplamalara sahip alam ve bileiklerin hazrlanmasnda kullanlan tatmin edici yntemler reaktif buharlatrma ok kaynakl buharlatrmay ierir. Kaplamann stokiyometrisi biriktirme hz, eitli molekler ksmlarn oranlar, ortamda bulunan dier gazlarn arpmas, taban malzemesi zerinde bileii yeniden oluturmak iin ksmlarn reaksiyon hz gibi birok faktre baldr. Reaksiyona giren maddeler arasndaki reaksiyonu tevik etmek ve iyonlarla enerjik ntrlerin oluumunu salamak iin, reaktif buharlatrmada bazen plazma kullanlr. Bu prosese, aktive edilmi reaktif buharlatrma (ARE) ad verilir. ARE prosesi iyi yapmal, olaanst mekanik zellikli ve yksek biriktirme hzl geni bir eitlilikteki malzemelerin tribolojiksel kaplamalarn retmede kullanlr. Asal veya reaktif gazlarn oluturduu bir iyon n tarafndan meydana gelen doru akm iyon arpmas, buharlatrlm kaplamalarn yapmasn ve mekaniksel zelliklerini gelitirmek iin ayrca kullanlabilir. Kaynak malzemesi normal olarak toz, tel veya ubuk eklindedir. Kaynak malzemesi; 1. Rezistans, 2. Radyasyon, 3. Radyofrekans (RF) endksiyonu, 4. Elektrik ark, 5. Elektron nlar, 6. Lazer kaynaklar gibi iletim yollaryla stlr. Rezistansl stma ile biriktirme, yksek buhar basncna sahip malzemelerin kaplamalarnn veya ince kaplamalarn retilmesi iin kullanlr. Dier iletim, radyasyon, ve endksiyon stma yntemleri daha kaln kaplamalarn ve orta seviyede buhar basncna sahip malzemelerin kaplamalarnn biriktirilmesi iin kullanlr. Bunlar, ok basit ve ucuz proseslerdir. Fakat basit rezistansl stma, taban malzemesinden kaynaklanan muhtemel kirliliin dezavantajlarndan ve yksek ergime noktasna (> 1500 C) sahip malzemeleri buharlatrmada aciz kalan giri gcnn snrl olmasndan olumsuz ynde etkilenir. Radyasyonla stma, ergimeden nce buharlaan malzemelerin biriktirilmesinde kullanlmaktadr. Bir sblimasyon kaynann kullanlmasyla, reaktif olmayan taban malzemelerinin bulunmas problemi ortadan kaldrlabilir.

16

Endksiyonla stma daha etkilidir, fakat daha yksek maliyet ve daha byk alan gerektirir. Daha refrakter maddeler ve yksek biriktirme hzlar, elektron n ve vakum ark stmas gibi yksek g younluklu yntemler gerektiririler. Elektron n buharlatrmas, ergime scaklklar 3500 Cye kadar olan malzemelerin biriktirilmesinde kullanlabilir. Lazer n stma yntemleri ise, ara sra kullanlr. Elektron n veya lazer stma proseslerinde, tankn yannda bulunan buharlaan malzemenin paralar dk scaklklarda tutulabilir; bu ekilde de etkileimler (kirlilik) en aza indirilebilir. Elektron n veya lazer n ile retilmi kaplamalar en saflardr. Lazer n stma, uygulamayla ilgili snrlamalara sahiptir ve popler deildir. Buharlatrma ileminde, 25 m/dak'ya ulaan buharlatrma hzlar kullanlr ve 75 m/dak'lk hzlar elde edilmitir. Buhar kayna malzemesi iin srekli bir besleme sistemi, zel alam ve bileiklerin yksek biriktirme hzlar iin kullanlr. Biriktirme hz, esas olarak kaynan stma scaklna ve buharlaan malzemenin alanna baldr. Kendi kendini destekleyebilen yaplar zerine, l mm kalnla ulaan kaplamalar biriktirilebilir. Tipik kaplama kalnlklar, 0,1-100 m aral arasnda deiir. Birok taban malzemesi kaplanabilir. En nemli gereklilik, malzemenin vakumdaki alma artlarnda kararl olmasdr. Kaplama buharyla kar karya kald zaman gaz veya buhar karmamaldr. Youn, eeksenli tane morfolojisine sahip metal ve refrakter bileiklerin kaplamalarnn yan sra, daha iyi yapma iin de taban malzemeleri normal olarak yksek scaklklara ilk stmaya tabi tutulur. Buharlatrmann balca avantajlar, dier vakum biriktirme prosesleriyle karlatrldnda daha basit, daha ucuzdur ve yksek biriktirme hzlarna sahiptir. Buharlatrma prosesi, buhar trlerinin dk kinetik enerjileri nedeniyle ounlukla dk kaplama yapmasyla sonulanr; bu yzden de, dier vakum biriktirme proseslerine gre tribolojiksel uygulamalar asndan biraz daha az tercih edilir. Fakat buharlatrma prosesinin basitlii ve dk maliyeti ile yksek biriktirme hzlar, onu birok uygulamalar iin ilgi ekici hale getirir. Yksek taban malzemesi scaklklar, ince taban malzemelerinin erilip arplmasna neden olabilir ve metalik taban malzemelerinin sl ilemini deiiklie uratabilir. Direkt buharlatrma prosesi, bileik kaplamalarn stokiyometrisinin kontroln tam olarak salamada yetersiz kalr. Buharlatrmann birok kusurunun nne, biriktirme srasnda ortama reaktif gaz vererek, buharlaan malzemenin atomlarn iyonize ederek ve taban malzemesine bias voltaj uygulayarak geilebilir 2.1.2.2Sratmaya dayal teknikler Vakum ortamnda kat haldeki kaplama metali (hedef malzeme) yzeyinin enerjili iyonlarla bombardman edilerek malzemenin buharlatrld sratma yntemi, ince film kaplamalarn biriktirilmesinde kullanlan ok nemli proseslerden biridir. Sratma ile altmetal yzeyi istenen bir metalle kaplanabildii gibi, reaktif kaplama denilen ve buharlatrlan malzemenin istenilen bir gazla altmetal yzeyinde bileik oluturmas salanabilir. Bylece sert seramik filmler veya bileik malzemelerden retilen kaplamalar yaplabilir. Sratma sistemi, negatif d.c. veya r.f. potansiyel uygulamal bir hedef malzeme ile altmetal tutucusunun bulunduu bir vakum odasndan oluur. Altmetal tutucusu hedef malzeme ile karlkldr ve topraklanabilir, negatif potansiyel uygulanabilir veya kendi halinde braklabilir. Ayn zamanda stlabilir veya soutulabilir. Sistem basnc, 10-3 10-2 mbar aralnda tutulur
17

ve erare etkisi veya plazmann balatld bir ortam salamak iin sratma gaz olarak argon ile doldurulur. Sistem ematik olarak ekilde gsterilmitir. Hedef malzemeye 2-3 kVluk negatif potansiyel uygulayarak oluturulan plazmadaki pozitif iyonlar, hedefe arparak momentum deiim mekanizmas ile hedef atomlarn yerlerinden karrlar. Hedef malzemesinin atomlarnn bu ekilde malzemeden uzaklatrlmas sratma olarak bilinir. Sratlan iyonlarn bazs altmetal yzeyine giderek orada birikir ve bir film oluturur. Sratma srasnda hedef yzeyine pozitif ykl iyonlarn arpmas ile baka ara etkimeler de meydana gelebilir. rnein arpmann etkisi ile kan ikincil elektronlar, ntr haldeki sratma gaz atomlarnn ilave iyonizasyonuna neden olabilir. Sratma ile, birok malzeme baarl bir ekilde biriktirilmesine ramen, birikme hznn ve plazma iindeki iyonlama etkisinin dk olmas, altmetal scaklnn ykselmesi sistemin kullanmn snrlamtr. Son yllarda sratma teknolojisindeki gelimelerin ou, manyetik alanda yaplmtr. Bunun nedeni, manyetik alanda sratma yntemi ile yaplan kaplamalarn, mikroelektronik, optik, trbin baklar, manyetik ve optik diskler, kesici takmlar ve solar kontrol endstrisi gibi birok endstriyel alanda kullanlmasdr.

ekil 2.2.2 Sratma sistemi Sratma sistemindeki eksiklikleri gidermek amacyla sratma kaynaklarnda yaplan deiiklikler, daha gelimi sistemleri ortaya karmtr. Bu sistemler gelime srasna gre aada verilmitir. (1) Diyot sratma sistemi (2) Konvansiyonel manyetik alan (3) Dengesiz manyetik alan (4) Elektron uas, r.f. veya mikrodalga dearj kullanan gelimi iyonizasyonlu manyetik alan (5) Dk basnl manyetik alan (6) Yksek hzl manyetik alan ve kendi kendine sratmal manyetik alan

18

(7) Ferromanyetik malzemeler iin sratma kayna Diyot sratma, sratma etkisinin zayf olmas nedeniyle ok kullanlmamtr. Konvansiyonel ve dengesiz manyetik alanda sratma sistemleri, manyetik alan (~200 gauss) kullanlr. Bunun iin kalc mknatslardan veya elektromknatslardan yararlanlr. Gelimi iyonizasyonlu manyetik alan ve dk basnl manyetik alan sistemleri, mikronst kaplama teknolojisinde byk gelimelere neden olmulardr. ok hzl manyetik alan ve kendi kendine sratmal manyetik alan sistemleri 200 W cm-2 ve zerindeki ok byk hedef g younluklarnda alrlar. Ferromanyetik malzemelerin sratlmasnn g olmas nedeniyle, gelitirilen sistemlerin hibiri endstriyel retim iin uygun olmamtr. Bu konudaki almalar gnmzde de devam etmektedir. 2.1.2.2.1Manyetik Alanda Sratma

Manyetik alanda sratma yntemi, farkl bileimde sert kaplamalar biriktirmek iin kullanlmasna ramen, nceleri takm kaplama prosesi olarak baarl olamamtr. Ancak daha sonra, manyetik alanda sratma sisteminde yaplan deiiklikler, yntemi en gelimi sratma sistemi haline getirmitir. Bu yntemde hedef malzemesi, su soutmal mknats veya elektromknatslardan oluan tutucunun zerine yerletirilmitir. Hedefin merkez ekseni, mknatsn bir kutbunu oluturur. kinci kutbu ise, hedefin kenarlarna yerletirilen mknatslar tarafndan halka eklinde oluturulur. Mknatslarn bu ekilde dzenlenmesi, elektrik ve manyetik alanlarn hedef zerinde birbirine dik olmasn salar. Manyetik alanlar dairesel veya dikdrtgen eklinde dzenlenebilir. Dairesel dzenli manyetik alanlardaki manyetik alann ekli ve hareket yolu ekilde gsterilmitir. Hareket yolunu ifade eden ExB deerinde, E elektrik alan, B ise manyetik alan ifade etmektedir. ExB hareket yolu hedef yzeyine paraleldir ve kapal halka oluturur. Bylece iyon bombardman ile katod yzeyinden yaynan ikincil elektronlar, bu blgede zellikle tutularak iyonizasyonun artmasna ve plazmann daha youn olmasna neden olurlar. yonizasyon etkisinin artmas, ana sratma sistemlerinden daha dk alma basnlarnda plazma oluturabilen manyetik alanlar meydana getirir. alma basncnn drlmesi ile, sratlan hedef atomlarnn gaz fazndaki sanmas daha az olacandan altmetale ulaan tanecik says artar ve bunun sonucunda birikme hzlar nispeten yksek (dakikada birka mikron) olur. Pratikte birikme hzn kontrol eden faktrler ise, hedef malzemesi, altmetal-hedef mesafesi, hedef blgesindeki g younluu, hedef alan ve basntr. Manyetik alanda sratma yntemleri, dengeli ve dengesiz manyetik alanda sratma ad altnda iki genel grupta toplanr. Yntemler temelde ayn olmasna ramen, hedef malzeme nnde oluturulan plazmann kapanma eklindeki farkllk nedeniyle birbirinden ayrlmaktadr.

19

ekil 2.2.2.1. Dairesel dzenli manyetik alan 2.1.2.2.2 Konvansiyonel Dengeli Manyetik Alanda Sratma Konvansiyonel dengeli manyetik alanda sratma ynteminde, hedef metalinin n ksmnda oluan kapal plazma, plazmann youn olduu blgedir ve normal alma koullarnda, hedeften itibaren yaklak 60 mm. mesafededir. Youn plazma blgesi iine yerletirilen altmetaller, film bymesi srasnda yeterli miktarda iyon bombardmanna uradklarndan filmin fiziksel ve kimyasal zellikleri istenildii gibi deitirilebilir. Film zelliklerindeki deiimler, yzeye arpan iyon enerjisi, birikme hz ve altmetalde llen iyon akm younluu ile kolayca kontrol edilebilir. Ancak alt metal plazma blgesinin dna yerletirilirse, burada plazma younluu az olacandan (iyon akm younluu 1mA/cm2) filmin mikroyapsn ve zelliklerini etkileyen iyon bombardman yetersiz olacaktr. (ekil 3a). Bu nedenle konvansiyonel manyetik alanda sratma ile, byk ve karmak paralar zerine ok youn ve kaliteli kaplamalar yapmak ok zor olacaktr. Ancak bu yntemle altmetal fazla snmadndan plastikler gibi scakla hassas malzemeler zerine de kaplama yapmak mmkndr. Konvansiyonel manyetik alanda sratma ynteminde, film birikmesi srasnda iyon bombardmann arttrmak iin altmetale negatif potansiyel uygulanr. Ancak iyon bombardmann daha fazla arttrmak amacyla negatif potansiyelin byk seilmesi, hem tane ii hatalarn oluumuna hem de film iindeki gerilmeyi arttracandan, zellikle sert kaplamalarn birikmesi srasnda istenmeyen etkiler ortaya kabilir. Altmetale iyi yapmayan kt kalitede kaplamalar elde edilir. Filmin mikroyapsn ve yapmasn gelitirmek iin, dk negatif potansiyel-yksek akm younluu tavsiye edilmektedir. Dk negatif potansiyel deerinde 2mA/cm2den daha byk akm younluklarnn, tamamen youn, sert kaplamalar verdii tespit edilmitir. Yine de ok kaliteli kaplamalar bu yntemle elde etmek mmkn olmamtr. Kaplama kalitesini gelitirmek amacyla iyonizasyonu arttrlm yeni sratma sistemleri gelitirilmitir. Sratma sistemlerinde plazma iyonizasyonunu arttrma iki ekilde mmkn olmutur. 1. lave gaz iyonizasyonu 2. Plazma kapanmas (kapal plazma alan kullanm) lave gaz iyonizasyonu, scak katot elektron emisyon kayna veya delik katot ark elektron kayna kullanarak salanabilir. Plazma kapanmas ise, dengesiz manyetik alanlar veya manyetik aynalarn kullanm ile mmkn olmutur . Bu yazda daha ok dengesiz manyetik alanlar zerinde durulacaktr.

ekil 3. Konvansiyonel ve dengesiz manyetik alanda plazma kapanmasnn karlatrlmas

20

2.1.2.2.3 Dengesiz Manyetik Alanlar Window ve Savvides , konvansiyonel manyetik alan ynteminde mknatslarn manyetik alan konfigurasyonunu deitirerek bu yntemi gelitirmilerdir. Dengesiz manyetik alan ynteminde, manyetik alann d mknatslar, merkezdeki mknatsa gre daha kuvvetli seilerek plazmann manyetik alan izgilerini takip etmesi ve alt metale kadar yaylmas salanabilir. (ekil 3b). Manyetik alann dengesini bu ekilde bozarak, plazmann, hedef ve altmetal arasnda, manyetik alan yardmyla kapanmas salanr. Byle bir konfigurasyon, sratma srasnda retilen ikincil elektronlardan ounun, manyetik alan izgileri boyunca hedef metalden altmetale doru gitmesini salar. Pozitif iyonlar da elektrostatik ekimle elektronlar takip edeceinden altmetal yaknnda iyonizasyon geliir ve altmetal yzeyindeki iyon bombardman artar Biriken filmin iyon bombardmann daha fazla arttrabilmek iin ilave manyetik alan dzenleri de kullanlmtr. Altmetalin arkasna, merkezi kutupla zt kutuplu mknatslar yerletirerek, elektromknatslar kullanarak veya d kutuplarn mukavemetini arttrmak iin kuvvetli, nadir toprak mknatslar kullanarak iyon enerji akm arttrlabilir [7,8,14]. Yine de tek mknats kayna kullanarak karmak ekilli paralar zerine niform kaplama yapmak olduka zordur. Bu nedenle dairesel birikme odasnn duvarlarna birden fazla dikdtgen mknatslar monte edilerek, altmetalin mknatslarn arasnda kalmas ve bylece kaplamann homojenliinin kontrol salanr. Bunun iin birden fazla manyetik alan sistemi biraraya getirilerek kapal alan dengesiz manyetik alanda sratma yntemi gelitirilmitir 2.1.2.2.4 Kapal Alan Dengesiz Manyetik Alanda Sratma Kapal alan dengesiz manyetik alan sisteminde, iki veya daha fazla manyetik alan vardr. ki tane dengesiz manyetik alan birbirine ters olacak ekilde, yani ayn kutuplar karlkl (ayna grnts) veya zt kutuplar karlkl (kapal alan) olacak ekilde yerletirilerek (ekil 4), iftli manyetik kapal alan meydana getirilir. Ayna grnts dzeninde, her iki manyetik alan izgilerinin birbiri ile etkilemesi ekilden de grld gibi, yana doru yaylmaktadr. Byle bir dzen, izgileri takip eden ikincil elektronlarn plazmadan kamasna neden olabilir. Sonuta altmetal blgesinde plazma younluu der ve birikme srasnda iyon bombardman azalr. Kapal alan dzeninde ise, mknatslar arasndaki manyetik alan izgileri, plazma iindeki elektronlar iin kapal bir tuzak oluturur. Kapal alan dzeninde elektronlarn dar kama ihtimali ok az olduundan, alt metal blgesinde youn bir plazma elde edilir, bu da byyen filmin urayaca iyon bombardmann arttrr. ok kaliteli filmler biriktirebilmek, alt metale negatif potansiyel uygulayarak mmkn olur. Sistemdeki iyonizasyonla ilgili olan altmetale uygulanan negatif potansiyel, konvansiyonel iyon kaplama ile karlatrldnda ok dktr (yaklak 50V) Manyetik alanda sratma yntemleri iinde en pratik ve ok ynl olan bu yntem, byk ve karmak ekilli altmetaller zerine yksek birikme hzlarnda kaliteli metal ve alam kaplamann yansra ok katl tabakalar oluturmak, oksit, nitrr ve karbr gibi seramik kaplama yeteneine de sahiptir. Teer ve ark. tarafndan gelitirilen oklu manyetik alan dzenleri, karmak paralar zerine titanyum nitrr, alam nitrrler, elmas benzeri karbon ve molibden dislfit biriktirmek iin kullanlmtr. Homojen bir birikme salamak iin dnen parann etrafna drtl dengesiz manyetik alan yerletirilmitir. Byle bir dzende, komu manyetik alanlardaki farkl mknats polariteleri, manyetik alann kapanmasn srekli yaparak kapal alan olumasn salar. Altmetale yksek iyon akm gnderebilme ve enerjiyi deitirebilme yetenei, dengesiz manyetik alanda sratma yntemini ok ynl kaplama sistemi yapmtr. ok kaliteli metal
21

kaplamalar, kaplama parametrelerini geni bir aralkta deitirerek kolayca biriktirebilir. Ayrca iletken olmayan altmetaller zerine titanyum oksit, indiyum kalay oksit ve silisyum oksit gibi kaplamalar, reaktif sratma ile biriktirilebilir Kaliteli ve niform birikme, mknatslar numune etrafna yerletirerek salanabildii gibi, birikme srasnda mknatslar etrafnda birka eksende dnebilen (1,2 veya 3 eksenli) numuneler kullanlarak da yaplabilir. Tek metal bileikleri (rn: TN ZrN, CrN) ve birok saf metalin reaktif birikmesi iin tek eksenli dnme yeterlidir. Numunenin iki eksende dnmesi, karmak ekilli paralarda niformluun ok iyi kontrol ve karmak nitrr alamlarnn (rn; TZrN, CrZrN) ve ok tabakal yaplarn birikmesi iin gereklidir. Pratikte kullanm az olmasna ramen, eksende dnebilen numuneler zerine kark alamlarn homojen birikmesi de mmkn olmutur

ekil 4. iftli manyetik alan sistemlerinde manyetik alan dzeni a)Ayna grnts 2.1.2.2.5 Darbeli Manyetik Alanda Sratma AI2O3 gibi yaltkan malzemelerin fiziksel buhar biriktirme yntemi ile kaplanmas, r.f. diyot sratma kullanlarak AI2O3 hedeften veya argon/oksijen atmosferinde AI hedeften reaktif olarak yaplmtr. Bu ekilde yaplan AI2O3 kaplamann birikme hznn dk ve yapsnn da amorf olmas, onlarn takm malzemeleri kaplamasnda kullanmn snrlamtr. Kapal alan dengesiz manyetik alanda sratma yntemi ile yaltkan malzemelerin reaktif kaplanmas srasnda birikme hz mm/saat (metalik kaplamalarda mm/dak) deerine dmekte ve sratma srasnda meydana gelebilecek ark dearjlar, hedeften makrotaneciklerin kmasna neden olduundan hatal ve homojen olmayan filmler meydana getirmektedir. Gelitirilen darbeli manyetik alanda sratma yntemi, bu problemleri byk lde ortadan kaldrmtr. Yaltkan malzemelerin biriktirilmesi srasnda, manyetik alan dearjn orta frekanslarda (10-200 kHz) darbeli yaparak yani hedefe, dnml pozitif ve nagatif darbeler uygulayarak, dearj kararl yaplabilir ve film iinde hata oluumu engellenir. Film biriktirme hz da m/dak deerine yaklar. Darbeli manyetik alanda sratma ynteminde, tek manyetik alan dearj darbeli ise, sistem tek kutuplu darbeli sratma olarak tariflenir. Bu durumda yaltkan tabakann yklenmesi zaman alacandan darbe sresi snrldr, sonuta ark meydana gelebilir. Eer iki manyetik alan ayn darbeyi destekleyecek ekilde birletirilirse, iki kutuplu darbeli sratma sistemi geliir. Byle bir sistemde, her manyetik alan dnml olarak dearjn anot ve katotu olabileceinden, periyodik kutup deiimi yaltkan tabakalarn dearjn gelitirir, bylece ark oluumu nlenir.
22

b)Kapal alan

Darbeli d.c. g kaynaklarnn pahal olmas nedeniyle, onlarn yerine, ark oluumunu nleyen d.c. g kaynaklar kullanlmtr. Hedef ile d.c. g kayna arasna yerletirilen ark nleme birimi, anlk olarak polariteyi ters evirir ve katot potansiyelinin miktarn azaltr. Hedef potansiyeli pozitif olduu zaman, elektronlar dearj blgelerine eker . Arnell ve ark., darbeli manyetik alanda sratma prosesini kullanarak, reaktif sratma prosesi ile alumina filmler yapmaya almlar ve hatasz, youn, stokiyometrik bileimde, yaklak 20000 Mpa civarnda mikrosertlie sahip alumina filmler elde etmilerdir 2.1.2.3 yon kaplama yon kaplamada, kaplamann taban malzemesine yapmasn arttrmak iin metal buharnn ksmi iyonizasyonu kullanlr. Biriktirme srasnda taban malzemesi yzeyi ve/veya biriktirilen kaplama, ara yzeysel blgelerde ve kaplama zelliklerinde bombardmana uramam biriktirmeye kyasla deiikliklere neden olabilecek kadar yeterli ve yksek enerjili iyon akmyla ve enerjik ntrallerle kar karya kalr. yon kaplama prosesleri, iki kategori altnda snflandrlabilir: Dk vakumda (5x10 -1 - 10 Pa veya 5x10 -3 - 10 -1 Torr) gerekletirilen akkor dearjl (plazma) iyon kaplamas, Yksek vakumda (10 kaplamas. 2.1.2.4 Ark PVD :Ark pvd kaplama malzemesi zerine DC akm ile ark oluturularak malzemenin buharlatrlmas ve iyonize edilmesi esasna dayanan tekniktir. ARK PVD ynteminde kaplama malzemesinin iyonizasyonu daha yksek olduundan kaplamann takm zerine yapma zellikleri daha iyidir. Bu nedenle performans daha yksektir. Bu proseste kaplama malzemesi byk bir titizlikle temizlenerek el demeden vakum odasna yerletirilir. Daha sonra yksek vakum deerlerine (10^-3-10^-6 Torr) ulalana kadar oda ierisindeki hava ekilir. Yksek saflktaki kaplama malzemesi (Titanyum; Krom vb.) zerinde bir DC g kayna ile ark oluturulur. Ark ile oluan noktasal yksek scaklk ile metal buharlar; ayn zamanda iyonize olur. Metal iyonlar ortama verilen reaktif gazlarla birlikte (N2 vb..) plazma oluturur. Kaplama uygulanacak taban malzemeye de ( takm-kalp vb..) 0-1000 V aras negatif bir BIAS hzlandrma voltaj uygulanr. Pozitif ykl plazma negatif ykl taban malzeme zerine mkemmel bir ekilde biriktirilir. yonizasyon oran artrldka kaplamann taban malzemeye yapma deerleri dolaysyla kaplama performans daha yksek olmaktadr. (ekil 7) 2.1.2.4.1 Ark PVD Kaplama ve Uygulamalar Talal imalatta kullanlan kesici takmlar, daha nceki blmlerde de bahsedildii gibi, sl ve mekanik yklere maruz kalrlar. Bu ykler, kesici takmda malzeme kayplar (anma) ve imalat srasnda sk sk takm tezgahn durdurulmas zaman ve kalite asndan kayplara neden olurlar. Kesici takmlarda, kararl bir sl ilemle (sertletirme ve menevileme) tok bir yap ve uygun bir yzey ilemle de ( Ark PVD) anmaya dayankl bir yzey elde edilir. Dolaysyla takm performansn optimize etmek iin yzey sl ilemler ok nemlidir. Ark PVD kaplama, ark etkisi altnda buharlaan kaplama malzemesinin oluan elektriksel alan ierisinde, aniden yksek oranda ve yksek enerjili olarak iyonlamas ve bu iyonlarn vakum ierisinde bulunan
23
-5

- 10 -3 Pa veya 10 -7 - 10 -4 Torr) gerekletirilen iyon nl iyon

kaplanacak malzemeni yzeylerine youmas olarak tanmlayabiliriz. Tekniin avantaj, kaplanacak malzemenin yksek enerjili metal iyonlaryla bombardman sonucu yzeyin ok iyi temizlenmesi, ara yzeyde ok ince de olsa bir yaynma katmannn olumasdr. Bu katmann olumas, daha sonra yaplacak sert seramik kaplamann yzeye ok iyi yapmasn saylayacaktr. Mevcut literatrde, kesici takmlarn performanslarn arttrc bir ok alma yaplmtr. Bu almalar, genellikle frezelemede kullanlan sinter karbr takmlarn ve matkaplarn mrlerini arttrmaya younlamtr. Silva ve Wallbank (1999) kesici takmlarn ileme esnasnda meydana gelen snn llmesi ve tahmin edilmesiyle ilgili yaptklar almalarnda, kesici takmlarn esas kesme kenarnda yaklak 550-700 oC scaklk lmlerdir. Sonu olarak, kesici takmlarda oluan bu scaklklarn ileme parametrelerine bal olarak, takm mrn ve ilenen gerecin yzey tamln byk oranda etkiledii kansndadrlar. Dalinsek (2001) v.d., yksek hzda kesmede (HSC) kullanlan kesici takmlarda oluan anma mekanizmalar ve sebep ilikilerini inceledikleri almada, Sinterlenmi karbr parmak freze takmlarda zerine, PVD sratma kaplama prosesi ile tek katl (CrN, TiN vs.) ve ok katl (TiAlN) kaplama yapmlardr. Kaplanan takmlarda oluabilecek anma mekanizmalarn incelemilerdir. Bu incelemeler sonucu, i paras oksidasyonunun ve yksek scaklklarda oluan difzyon anma mekanizmasnn, takm anmasn hzlandrdn belirtmilerdir. Buna ilaveten, takm yzeylerine uygulanan kaplamann abrazif ve adhezif anma mekanizmalarn byk oranda azalttn gzlemlemilerdir. Deneyleri srasnda, kaplanm takmlarla tala kaldrma ileminde, takm tezgah titreiminde azalma ve i malzemesi yzey tamlnn istenilir dzeyde olduunu tespit etmilerdir. He v.d. (1996) TiN n kuru srtnmeye mukavemetini inceledikleri almada, anma testlerini yapmak iin kuru srtnme (Pin on Disk) deney seti kurmulardr. Bu deney seti, kendi ekseni etrafnda dnen CAP ( Ark PVD) yntemiyle TiN kaplanm Yksek Hz elii disk ve kaplamay anmaya zorlayan batc utan(PCD) ibarettir. Bu deneyde, diske belirli bir hz verilmi, batc uca ise 2050 gr. arlnda yk verilerek TiN tabaka andrlmaya allmtr. Sonu olarak, Yksek dnme hzlarnda ve yksek andrma yklerinde, TiN tabakann dk srtnme katsaysndan dolay dk abrazif ve adhezif anma gzlemlenmitir. Yilbas ve Nizam (1998) TiN kapl AISI H11 ve kaplamasz AISI M7 matkaplarn anma zelliklerini test etmilerdir. Kaplanm matkaplarda, dk srtnme katsaylarndan dolay, anmaya dayankll ve matriks malzemede oksidasyon ve korozyon dayanmn gzlemlemilerdir. Bunun yan sra, matkaplarn alma prensibi gerei, i yaplarnda, burulma ve ar titreimden dolay mikro atlaklklar oluur. Oluan mikro atlaklklarn yzeye ulamasn geciktirdiini belirtmilerdir. Ezugwu ve Okeke (2001) nn yapt almada ileme operasyonunda ortalama g tketimiyle kabul edilebilir yzey przlln elde etmek ve ileme verimliliini iyiletirmek iin, Sinterlenmi Karbr den imal edilmi sa vida ekme takmna PVD prosesiyle TiN kaplamtr. Kaplanan takmlarn performanslarn EN 19T ve EN 24T i malzemesinde denemilerdir. Kesme hz 220 m/dak ilerleme oran 0.44 mm ileme parametrelerinde takm anmalarn incelemilerdir. Sonuta, kesici takmlarda ve srekli tekrarl yklere maruz kalan makine elemanlarnda da, yzey sl ilemi nermilerdir. Wang (2000) almalarnda, elik tornalamada kesici takma etkiyen kesme kuvvetlerine, ok katl yzey kaplamalarnn etkilerini tartm ve Karbr takmlar zerinde bu konuyla ilgili deneylerini yapmtr. Deneylerinde, takmlara kaplanan sert kaplamalar, takmlarn yan yzeyinde meydana gelen kuvvet bileenlerinin, dk srtnme katsaysndan dolay azaldn iddia etmitir. Bunun yan sra, kaplanm ve kaplanmam torna takmlarnda kesme kuvvetleri bileenleri kyaslanmtr. lmleri sonucu, Fa (lerleme kuvveti), Fp (Takm kuvveti) kaplanan takmlarda daha az olmutur. Kaplanan takmlarda azalan kesme kuvvetleri, takm tezgahna etkileyen kuvvetleri azaltarak takm tezgah ileme verimini arttrdn ortaya koymulardr. Hogmar v.d. (2000) tribolojik kaplamalarn, metal kesme ve ekil verme takmlarnda ve dier makine elemanlarnda tribolojik zelliklere etkisini aratrmlardr. Onlara gre, tribolojik kaplamalar

24

kesici takmlarn, kesme-ekil verme kalplarn ve dier makine elemanlarn kullanm mrlerini ve ilem verimliliini arttrmaktadr. Kaplamalar ilem verimlilii asndan, anma dayanmlar arttrlan takmlar ve kalplar yksek kesme hzlarnda alabildiklerinden dolay, prodktiviteyi arttrd kansndalar. Bunun yan sra, srtnmeler ve anmalar azaldndan dolay, enerji tketimi minimize edilmi ve takm tezgahlarnda mevcut olan soutma, yalama tehizat masraflarnn da azaltldn ortaya koymulardr. Avuncan (1998) talal imalatta kullanlan kesici takmlarn, yksek hzda imalatta ve seri imalatta kullanlmasnn ekonomik sentezini yapmtr. Yapt incelemelerde seri imalatta srekli takm malzemesi kayb, iletmelerin ekonomisini sarstn dnmektedir. Dolaysyla ok pahal takmlarn(seramik ve tipleri, Cermet vs.) yerine, taban malzemesi ucuz takmlarn, yzeylerinin sert seramik kaplamalarla kaplanmasn nermektedir. Trkz v.d. (2000) almalarnda, takmlarn anma mekanizmalar tarafndan ok byk malzeme kayplarna neden olduklarn ortaya koymulardr. Dolaysyla kaplanm takmlarn, konvansiyonel takmlara gre, talal ileme maliyetlerinin analizini yapma ihtiyac duymulardr. Bu analiz sonucu, sert seramik kaplamalarn , takm maliyetini ve ileme maliyetini % 12- 81 oranlarnda drdn tespit etmilerdir. Tamura ve Tokunaga (1998) almalarnda, geni aplardaki elik borularn ve martensitik paslanmaz eliin, dzgnce kesilebilmesi iin, testere disklerinin yzeylerini, PVD yntemiyle TiCN kaplanlardr. Sonuta, kesilmesi olduka zor olan malzemeler iin, TiCN kaplanan testereler , konvansiyonel testerelere gre 4 kat daha fazla kesme performansnn arttn gzlemlemilerdir. 2.1.2.5 E- BEAM PVD E-Beam PVD ynteminde kaplama malzemesi elektron demeti ile buharlatrlarak vakum sistemi iindeki taban malzeme zerine biriktirilir. Kaplama ilemi srasnda kaplama kalnl e zamanl olarak kontrol edilebilir. Termal rezistans ve E-Beam btnleik PVD sistemi ile her eit cam zerine metalik, oksit florr, nitrr ve slfr esasl kaplamalar yaplabilmekte, optik sanayisine ynelik reflekte; antireflekte (yanstmasz) ve reflekte (yanstc) kaplamalar uygulanmaktadr. stenilen optik zelliklere sahip renkli otomobil farlarnn, k filtrelerinin, seici geirgen veya yanstmasz gzlk camlarnn; merceklerin ve lenslerin kaplamalar yaplabilinir. 2.2 Kaplama teknikleri yon kaplama tekniiyle biriktirilmi yaygn kaplama eitleri

Metaller Alamlar

Ag, Au, Pb, Sn, Al, Cu, Ni, Cr, Co, Ti Cu-Pb, Cu-In, Ag-Pb, Ag-In, Cu-Ag-Pb-In, Pb-Sn, AlZn, Cu-Al-Fe, Co-Cr, Pt-W, Ti-6Al-4V

Ametaller Oksitler Karbrler Nitrrler

Grafit, sert karbon, politetrafloretilen AI203, Cr 203, SiO 2, ZrO 2, TiO 2, Ta 2O5, In2O3 WC, TiC, Cr-C, SiC, B 4C, TiCN, (Ti-Ta-Nb)C, VC, NbC, Mo2C
25

AlN, Cr-N, TiN, HfN, ZrN, NbN, TaN, WN, Si Zr)N, (Ti-Al)N

N4, (Ti-

2.2.1 TiN, TiNEX Titanyum nitrr ince film kaplamalar iinde ilk retilen ve hala en yaygn olarak kullanlan genel kesme amal kaplamadr. Demir, elik vb. malzemeler, metal ileme plastik kalplar, anmaya maruz paralar, tbbi ve dekoratif paralar iin genel amal bir kaplamadr. Matkap ular, frezeler, baklar, brolar, kesme-bkme kalplar, zmbalar, fellow ve azdrma aklar gibi bir ok takm ve kalpta kullanlmakta, performans ynnden kaplanan paralarn mrnde 3-30 kat arasnda bir art salanmaktadr. 2900-3300 HV yksek sertlie ve dk srtnme katsaysna sahip olan TiN, metalin metale srtnmesinden dolay oluan anmalar nler, kayganl arttrr, oluacak korozyonu azaltr, yapma sarma gibi problemleri minimuma indirger. Kesme annda u birikintilerinin bymesini engelleyerek i paras yzeyinin temiz kmasn salar ayrca sl iletkenliinin dk olmas nedeniyle takma s transferini engelleyerek takm ve tezgahla daha yksek devirlerde alma olana salar. Srtnme katsays dk olduu iin kesme ve srtnme kuvveti azalr, kaygan yzey de tala akn kolaylatrr. Kalnl 2-5 m arasndadr. Kaplama sonras ilave bir ilem gerektirmez. Isl genleme katsays takmlarn sl genleme katsaysn ald iin takm yzeyinden pul pul dklmez. TiN kaplama: dkme demir, paslanmaz elik, alaml ve alamsz elikler ve alminyum malzemelerin ilenmesinde en iyi zmdr. Kimyasal adan inert olmas ve gz alc altn sars rengi ile metal kesme ve ekillendirme ilemlerinin yan sra medikal implantlarda ve dekoratif amal baka birok alanda uygulama sahas bulmaktadr. (ekil 1) TiN kaplamann malzemeye salad zellikler u ekilde zetlenebilir: Yksek sertlik Mkemmel yapma zellii Youn mikro yap Anmaya kar daha dayankl yzey Uzun mr Kimyasal salamlk Biyolojik uyumluluk Yksek korozyon direnci

2.2.2 TiAlN TiAlN ve AlTiN kaplama zellikle yksek scaklklarda alan kalp ve takmlar iin idealdir. Yksek kesme scaklnda iyi sl iletkenlii ve kimyasal kararll ile kesici u ssn tala paralarna aktarr. Bylece daha yksek hzlarda almaya olanak vererek daha hzl retim, daha az bakm daha az bileme, daha az ayar salayarak retimin daha verimli olmasn ve kesici takm mrnn daha uzun olmasn salar. zellikle srekli tala kaldran takmlarda iyi performans gstermektedir. Ayrca TiN kaplamaya gre fazla bir mr art salamaktadr. Sertlii 3200-4000 HV arasnda, kaplama kalnl ise 2-5 m dr. TiAlN ve AlTiN n oksitlenme scakl 800 C dir. Bu uygulamalarda eriilen en yksek scaklktr. Yksek scaklklarda iyi performans gstermesinin nedeni, kaplama esnasnda

26

sl iletkenlii iyi olan l (alminyum) eklenmesidir. yi sl iletkenlii ile malzemenin sl yorulmasn nleyerek kalplar anmaya kar korur. TiAlN ve AlTiN kaplama: titan, nikel alamlar, paslanmaz elik, alaml elik ve dkme demir, scak dvme malzeme, basnl dkm ve fkrtma (ekstrzyon) kkenli malzeme ile yksek hzda alan kuru ve sertletirilmi elik malzemenin ilemelerinde iyi sonu vermektedir. (ekil 2)

2.2.3 TiCn TiCN yksek sertlik gerektiren uygulamalarda, zmbalarda zellikle yksek hzda alan tala kaldran takmlarda iyi performans salamaktadr. Sertlii 3600-4400 HV, kaplama kalnl 2-5 m dir. Yzey przll ve srtnme katsays TiN e gre daha iyidir. Delme ve talal imalat annda daha yksek makine hzlarnn kullanlmasna olanak salayarak verimlilii arttrr. lenen paralarda yksk yzey kalitesi salar. Srekli ve darbeli mekanik gerilim altnda alan kesme ularnda performans ok iyidir. Baz uygulama rnekleri: eitli zmbalar, matkap ular, raybalar, brolar, dili azdrma baklar ve elmas ulardr. (ekil 3)

2.2.4 ZrN ZrN, mkemmel yzey zelliklerine sahiptir. Sertlii, elastik modl ve taban malzemeye yapma kabiliyeti yksek, alaml bir kaplamadr. ZrN kaplamann en nemli zellii son derece przsz ve kaygan bir yzeye sahip olmas ve ok yksek kimyasal kararlldr. Bu zellii sayesinde zellikle kesici takma svanan yumuak ve snek malzemelerin (alminyum, pirin, bakr, paslanmaz elik vb.) ilenmesinde sarmay ve yapmay ortadan kaldrmakta, yksek sertlii sebebiyle takmn anmasn byk oranda azaltmaktadr. ZrN kaplamalar alminyum, pirin, bakr, paslanmaz elik vb. Demir d metallerde ve metalimsi i paralarnn ilenmesinde olduka geni kullanm alan vardr. ZrN kaplamalar kimyasal kararllnn yksek olmas nedeniyle, vcut iinde ve dnda kullanlan implant malzemelerin kaplamasnda kullanlmaktadr. (ekil 4)

2.2.5 CrN Bu kaplama malzemesi nispeten dk (1800 HV civar) sertlik deerine sahip ve ilenebilirlii yksek bir malzemedir. Ayrca mkemmel bir kaplama incelii ve yksek korozyon rezistans gibi avantajlar da sunar. Ayrca alminyum, bakr ve titanyum alamlarnn yapmasn engeller. Bunlara ilaveten srtnme direncini ve plastik malzemelerin yapmadan serbeste

27

hareket etmelerini salar ve 700 C civarna kadar direncini korur. Cr-N Kaplamalar bilinen tm fiziksel buhar biriktirme yntemleriyle retilmektedirler. Ama endstriyel amal bir kaplama olduundan ekonomiklik ve performans gz nne alnmaldr. Performans yksek fakat retim ve donanm maliyeti yksek olan kaplama sistemleri ounlukla uygulama alan bulamaz. retim parametrelerinin deimesiyle birlikte farkl faz yaplar(CrN, Cr2N)elde edilir. ki ayr faz vardr: CrN ve Cr2N CrN kaplamalar daha sert(3300 Hv)olmasna karn yapma zellikleri asndan Cr2N kaplamalardan dk performans gsterir. Yumuak (27002800 Hv)bir faz olan Cr2N ise iyi yapma zelliklerine sahiptir. Bu yzden kullanm alanna gre sertlikten dn vermeyip iyi yapma performans salamak iin CrN+Cr2N ok katl kaplamalar retilir. Cr-N kaplamalar dk scaklklarda retilebilmesi iin dk i gerilimlere sahip olduundan dolay iyi derecede mekanik, srtnme ve anma direncine sahiptir. Bu zelliklerinden dolay uygulama alan bulmaktadr. Cr-N kaplamalar metal ileme ve ekillendirme paralarnda, otomotiv sektrnde ve beyaz eya endstrisinde zmbalama ve basma ilemi uygulayan paralarn kaplanmasnda uygulanmaktadr. (ekil 5) 2.2.6 rnek Endstriyel Uygulamalar PVD ION-BOND NCE FLM KAPLAMALI TAKIMLARIN MUKAYESEL SONULARI KALIP, TP TAKIMLARLA, KAPLAMASIZ

KALIP VEYA ALET KALIP, ALET LENEN ALETN BOYUTLAR MALZEME MALZEMES

KAPLAM KAPLAMASIZ ALI SONU SONU 3.000 ADET

METAL ENJEKSiYON KALIBI

244 x 100 mm

QR O8O

EN 8

1.500 ADET

AA BIAI 10 mm KESCS

HSS

12 NTRASYON 1 KESMEDEN KOMPLE EL AZ KESM YUMUAK ELK 6.6 mm 40.000 PARA

100 x 100 x 50 D2 KESME DELME mm 150x 1 50 x KALIBI 25 mm D3

10.000 PARA

BKME SIVAMA KALIBI

VE 7O x 50 mm D3

Ni/Co/Fe ALIIMI

12. 000 BASKI 500 BASKIDAN PARLAT SONRA MAYA PATLAMA GEREK YOK

KLAVUZ

STANDART

TUNGSTEN CARBR

MONEL.A %50 4 PARADAN 100 Ni, %50 Cu SONRA KALIP PARA,

28

AYARLAMA RPM=500

KALIP AYARI GEREKS Z RPM=2000 20 PARA 2.500 PARA

AZDIRMA ELMAS U

6 mm

HSS

BAKIR

4 PARA

40 x 100 mm SVERKA 21 ZIMBALAR

PASLANMAZ 25 PARA ELK

KLAVUZ BIAI

15O mm

M2

BZ 80

HER HER BLEMED BLEMEDE 214 E 918 PARA PARA 447 PARA 210 PARA 0,04" O,05" KENAR KENAR AINMASI AINMAS I 13O PARA 7S PARA O.O29" 0,037" KENAR KENAR AINMASI AINMAS I 500 PARA 15.000 PARA NYZ KULLANI LIYOR 219 Delik

CONFLEX KESC

220 nm

HSS

EN 36 C

TRIPLEK BIAK

STANDART

HSS

EN 398

KESME BIAI 50 x 25 x 12 TUNGSTEN (ELMAS U) mm CARBlDE

PASLANMAZ 100 PARA ELK 2.000-3.000 PARADAN SONRA HURDA

KESME KALEM

100 x 254 x 62 HSS VE DS mm

ELK TP

KESME ZIMBASI

8 x 117 mm

HSS

42 CrMo434 Delik 30mm

KESME KALIBI 150 x 85 mm HSS

BZ 80

918 Adet 214 Adet Her Her Bilemede Bilemede

29

KESME ZIMBASI

8,6 x 85 mm HSS

19MUB4

0 48.000'de Anma, 150.000'de Hurda

1.000 Adet 300.000 Adet, Anma Grlmedi

KESME KALIBI 25x25x25 mm

RAB 1

BAKALT

lNKO ENJEKSiYON KALIBI

ubuk Boyu: H 13 30 mm

Erimi 400C

20.000 5.000 Paradan inko Paradan Sonra Asitle Sonra Temizleme Temizleme

30

31

32

33

34

35

36

37

BLM:4 CrN KAPLAMALARI . CrN, yksek sertlie sahip dayankl ve krlmaz bir sert seramik kaplama eididir. Oksidasyon direnci yksek olduundan (800C) zellikle metal enjeksiyon ve dvme kalplarnda yksek performans gstermektedir. Ayrca srtnme katsays dk olduundan derin ekme, form, plastik enjeksiyon ve bakalit kalplarnda kalp yzeylerini ve krlmaya msait ke kanatlarn rahat bir ortamda altrr. Kalpla malzeme arasnda malzeme transferi olumaz, yapmay nler, rnn kalptan ayrlmasn kolaylatrr, yolluklardan malzemenin akkanl hzlanarak tm noktalara soumadan homojen bir biimde dalr. Korozyon ve asidik ortamlara kar yksek direnci olduundan bir takm kimyasal reaksiyona maruz kalan makine paralarnda uygulanmaktadr. Renk Gm Oksidasyon scakl 800 C Sertlik 2400-2600 HV Srtnme katsays 0.4-0.5 Kalnlk 3-5 mm Kalplarda dk srtnme katsays ve de kimyasal olarak karsnda alt malzeme ile etkileime girmemesi sebebi ile sarma svama gibi sorunlarn nne geen yksek sertlii sebebi ile izilmelerin nne geen kaplama eididir. Geleneksel olarak kullanlan sert krom kaplamadan ok daha sert ve de ok daha iyi tutunmas ile sert krom ve benzeri kaplamalarda grlen dklme gibi sorunlar yaanmaz.

Svama kalplar,Plastik Metal Enjeksiyon Kalplar, Maalar,Kat kesme Baklar gibi pek ok yerde kullanlabilir.
38

TEKNK ZELLKLER SERTLK (HV 0,05) OKSDASYON SICAKLII( C) SRTNME KATSAYISI YZEY PRZLL (Ra m) OPTMUM KALINLIK (m ) 2800400 700 0,55 0,2 4-5

4.1 SPEKTROSKOP UYGULAMASI 4.1.1 Nicel Derinlik Profil Analizi (QDP) Kullanlan PVD leminin Ayarlanmas, Gelitirilmesi ve Kontrol CrN kaplamann, NiP kaplamann, CrN/NiP bileiminden oluan kaplamann kalnl, bileimi, ve homojenlii. Bu uygulamann amac Scak Akm Optik Emisyon (GDOES)un PVD nin gelitirme aratrmalarnda nasl kullanldn gstermektedir. Bu ilemle ilgili tm bilgiler yakn gemite elde edilmitir. Bu teknik PVD ileminin rutin kontrolnde ve bitmi rnlerin kalite kontrolnde kullanlmaktadr. TiN ve CrN gibi bilinen PVD kaplamalar snrl bir korozyon direncine sahiptir(taneler aras boluklardan dolay).CrN kaplama, yorulma direncinin yksekliiyle bilinmektedir, ancak korozyona kar zayftr. eliklerde sl ilem sonucunda yksek sertlik elde edilmesine ramen dk korozyon direnci oluur. Bu da kesici takm imalatnda malzeme seimini snrlar. Souk ileme takm elikleri ve hz elikleri bunlara iyi birer rnektir. PVD kapl takmlarn korozyon direncini arttrmak iin CrN PVD kaplama ile elik arasnda NiP ara

39

katman kullanlmaktadr.Bu uygulama normal PVD CrN kaplamalara gre daha iyi korozyon direnci ve tatminkar bir adhezyon elde edilmitir

CrN kaplama elik yzeye direkt olarak uyguland, NiP kaplama elik yzeye direkt olarak uyguland, CrN/NiP/elik kaplama ilemi baarl ekilde gelitirildi.

40

ekil-1de akland gibi 2 farkl CrN kaplama deerlendirilmitir. Dk scaklkta yaplan CrN kaplama(CrN LT). Yksek scaklkta yaplan CrN kaplama(CrN HT). Birok NiP kaplama ayrca incelenmitir. -7 mikrometre kalnlnda NiP kaplama. -12 mikrometre kalnlnda NiP kaplama. -22 mikrometre kalnlnda NiP kaplama. Tm aratrmalarda ayn elik tabaka kullanlmtr. 4.2 Sadece CrN Kaplanm elik ekil2 ve ekil- 3te ksmen kaplanm iki numunenin Derinlik-%Arlk grafikleri verilmitir.

ekil-2 %Arlk-Derinlik, ekil-3 ise Atomik yzde-Derinlik gsterilmitir. Tablolar ise CrN kaplamay oluturan Cr ve N nin atomik ve arlk yzdeleri ile CrN kaplamann kalnln gstermektedir.

41

ekil 2 ve 3 CrN kaplamaya mkemmel birer rnektir lemin tekrarlanabilirliini gzel bir biimde gstermektedir. Sonu da gstermektedir ki tm rnekler ayn kalnlk ve bileime sahiptir. Grafiklerin dorusal olmas CrN kaplamann homojen olduunu gsterir. CrN/elik arasndaki katmann kalnl temizlik ve przszlk bakmndan kaplama yzeyinin hazrlanmasna dair bilgi verir. Bu grafikler 300 saniye iinde elde edilmektedir. Veriler elde edilir edilmez grafikler ve hesaplamalar bilgisayar program tarafndan hazrlanr.

ekil-4 ortalama %77.8 Cr ve %21.2 N bileimin gsterir. Yksek scaklk(HT)ileminin tekrarlanabilirlii iyidir fakat dk scaklk(LT)ileminin tekrarlanabilirlii daha iyidir. Tm bu grafikler ve hesaplamalar 300 saniyeden daha az bir zamanda elde edilir. LT ve HT yntemlerinden elde edilen sonular karlatrlmaktadr. Programn esneklii sayesinde izim ve ekil-6 daki grafik kolaylkla elde edilebilir.

42

Dk ve yksek scaklkta yaplan homojen CrN kaplamann benzer zelliklerini grebiliriz.Her iki yntemde de tekrarlanabilirlik mkemmeldir.Tek farkllk CrN kalnlklarnn rapor edilebilirliidir.Yksek scaklktaki kaplama ileminde dk scakla gre daha kaln bir CrN tabakas elde edilir. 4.3 Sadece NiP Kaplanm elik farkl NiP kaplamas elde edilmektedir(7,12 ve 22 mikrometre kalnlnda).Baz paralarn benzer tipleri analiz edilmitir. Elde edilen derinlik deerleri aadadr.

Kaplanacak yzeydeki nikel difzyonu, yzeye uygulanan n temizleme almas. hakknda bize bilgi vermektedir. Analiz edilen parada da kesinlikle ayn profili gsterir.Tm nicel derinlik profilleri ve ilgili hesaplamalar 400 saniyeden daha az bir srede elde edilir. Beklenilen NiP kalnl 12 mikrondur. Fakat resim 8 deki analizde grafik derinlii 15.7 mikron olarak gsteriliyor. ok homojen ve yeniden uygulanabilir bir NiP kaplama grebiliriz. Grafik derinlii analizi yaklak olarak 800 saniyede tamamlanmtr.

43

Beklenilen NiP kalnl 22 mikrondur. Ancak resim 9 da gsterilen grafik derinlik analizi gerek kalnln 25.7 mikron olduunu gsteriyor. Bu yntem yeniden uygulanabilir ve iki tanesi ayn P karaszl gsterir. Bu profil derinlik analizi yaklak olarak 1000 saniyede tamamland.

44

3 Trl NiP yntemle profillerin ksmen kaplanmas elde edilmi ve kyaslanmas salanmtr.

Bu ksmen kaplamadan 3 ynteminde Ni ve P ierikli bir NiP kaplama saladn gryoruz. P ierikli profilin avantajlar 10 kat bytlerek farkl grnmlerde incelendi, nk masada incelemek daha kolay. Profiller P un homojen olmadn aka gsterdi. Kt P profili kalnl 7 mikron ilemle elde edilmitir, fakat en iyisi 12 mikron ilemlidir. Genelde NiP kaplamalarn kalnl beklenilenden daha fazla olmutur. Ara yzeyin gz nnde bulundurulmasyla, NiP kaplama kalnlnn asl yzey kaplamann yaylmasnda nemli bir etken olduunu ortaya karm oluruz. Btn rneklerdeki asl yzey bileimlerinin ayn olmasna dikkat edilmelidir. Bu nokta daha sonra bu uygulamada gelitirilecektir.

4.4 TAM SRE: ELK ZERNE DK SICAKLIKLARDA NiP LE CrN KAPLAMA

45

Her bir CrN yntemi (dk ve yksek scaklkta) her NiP katmana uyguland (7, 12, 22 mikronda). Her NiP katmana dk scaklklarda uygulanan CrN ler 1. sersilerinin sonular grafik 11, 12 ve 13 te gsteriliyor. Tamamlanm bu prosesin nicel derinlikteki profil analizini elde etmek iin 600, 800 ve 1000 saniye gereklidir.

Sonularn daha kolay kyaslanmas iin tam srecin yazlmnn uygulanmas gerekmektedir.

46

4.4.1 Sonular ; Dk scaklkl CrN kaplama ok homojen ve her rnek iin kalnl yaklak 2.9 mikron olan bir kaplamadr. Yeniden uygulanabilirlii onaylanmtr. NiP 7 ve NiP 22 nin nceki incelenen ekil 7, 9 ve 10 a gre homojen bir yzey salamad ve ayn P karaszln gzlenmitir. Resim 13 te NiP 22 katmann kalnlk bakmndan yeniden uygulanabilirliinin uygun olmad gzleniyor. NiP 7, 12 ve 22 kalnlklar nceden incelenmilerle benzerdir fakat beklenilen kalnlklarla uyumaz. NiP kalnl arttnda yzey de Ni ve P emilimi artar.

4.5 TAM SRE: ELK ZERNE YKSEK SICAKLIKLARDA NiP LE CrN KAPLAMA

Aada grlen yksek scaklk profillerin hazrlanmasnda her bir NiP katmana bavurulmutur. tam srecin ksmi kaplamas resim 15 te gsterilmitir.

47

4.5.1 Sonular; CrN yksek scaklklarda kaplama, kalnlk ve bileim bakmndan iyidir ve yeniden uygulanabilirlii mmkndr. CrN yksek scakln kalnl yaklak 3.2 mikrondur. Bu resim 6 da incelenmi kalnlklarla benzerdir. CrN yksek scaklktaki uygulamasnn dk scaklktaki uygulamalarna gre kaygan kaln bir CrN tabaka saladn grebiliriz. Resim 14 teki NiP katmanlara dair nceki btn yorumlar resim 15 iin kullanlabilir bir deerdir.

4.6 YZEYN BLEM Derin profil analizleri yzey bileiminin tamamlanmasn salayabilir.

48

Grafikler dz olduunda sinyallerin birletirilmesiyle yazlm yzey bileenlerinin dorusunu hesaplayacak ve sonular Tablo 1 deki gibi gsterecektir.

4.7 RAPOR RETCS Rapor reticisi, QDP yazlmnn blm, operatrn kolayca gzel bir hazlamas iin yardm eder. Resim 17 deki gibi bir dokman otomatik olarak retilebilir. Raporlar bilgilerin deiik ieriklerine gre, kaplama ieriine gre arlk, metin, amblem dier rmeklerle ilikilendirilerek analizin dosya referans, tarih/saat ve daha fazlasna gre yazlabilir ve de kiiselletirilebilir.
49

Not: Dokman da gsterilen btn kalnlklar metrik sistemindedir. Ayrca yazlm metrik sistemini US birimine de dntrebilir.

Figre 17: Example of Customized Report

4.7.1 Rapor Balklar

Bir ok rnek iin profil derinlii ksmi kaplamas ve btn hesaplamalar bu grafikten yaplr

50

 ZET

Her rnek iin kalnlk ve her katmann bileenleri Yzey bileenleri

Bu uygulama notlar GD-OES tekniinin ok katmanl ve tek katmanl kaplamalarda homojenliin, kalnln ve bileiminin hzl bir ekil de incelenmesi iin ideal bir alet olduunu gsteriyor. GD-OES in Dier Faydalar Ara tabakadaki g ve yap ve dalmnn incelenmesi Sapmalarn gsterilmesi ve ilemin kontrol Bitmi rnlerin kalite kontrol Ar-Ge de beklenmeyen durumlarn gerekliinin aklanmas

51

52

4.8 KROM NTRR KAPLAMALI CELKLERDE TABAKALAR ARASI NKELN ETKS CrN kaplamal eliklerin zellikleri zerinde tabakalar arasnn nikelin etkileri incelendi. Tabakalar aras nikel 150 nm ye kadarki eitli kalnlklardaki akmsz levhalarla birlikte dzenlendi. CrN kaplamas, sputering gaz iindeki % 7,15 ve % 20 nitrojenle birlikte tabakalar aras nikel etrafnda depo edilmitir. Sadece % 7 nitrojenli CrN kaplamas atlakszdr. Sonular ok kk tabakalar aras nikelin CrN kaplamal eliklerin izik direncini arttrdn gstermektedir. Kaplama performansn arttrmak iin 2 dakika boyunca 400 C de uygulanmas uygundur. Scaklk davranyla birlikte, tabakalar aras nikelin yararl etkileri ak bir ekilde incelendi. En uygun tabakalar aras nikel kalnlk 65 nm civarnda olduu grlmektedir. Nikel tabakalar olmadan kaplama zerindeki scaklk snrndan sonra iddetli atlaklar grlr. 25 nanometrelik bir tabakalar aras nikel ile, atlak miktar nemli bir lde azalr. 65 nanometrelik bir tabakalar aras nikel ile kaplama yzeyi scaklk snrndan sonra esasen atlakszdr. Kaplanm eliin izik direnci, tabakalar aras nikel ve scaklk snr tarafndan nemli lde etkilenir. Bir tabakalar aras nikel ile CrN kaplamasnn scaklk davran iin, entik izi temizlendi ve izik kalntlar miktarnn kzltesi davranlarndan daha kk olduu grld. Btn rneklerin izik izlerinin karlatrlmasnda, en iyi izik davran 65 nanometrelik tabakalar aras nikel kapl olanda grlmtr.

4.9 BR DZEL MOTORU SLNDR YZEYNN SERAMK MALZEME LE KAPLANARAK AINMA DAVRANIININ DENEYSEL NCELENMES Bu almada, bir dizel motorunun silindir yzeyi CrN ile kaplanarak anma davran deneysel olarak incelenmitir. Deneysel alma iin seilen tek silindirli direkt pskrtmeli bir dizel motorunun silindir yzeyi, katodik Ark PVD (Fiziksel Buhar Biriktirme Yntemi) kullanlarak 1,8 0,2 m kalnlnda CrN seramik malzeme ile kaplanmtr. Deneysel almada kullanlan motor nce kaplanm olarak belirli yk ve devir saylarnda 200 saat test edilerek, performans deerleri alnmtr. Daha sonra normal motor ayn yk ve devir saylarnda bu motor da 200 saat test edilmi ve her iki motora ait performans deerleri karlatrlmtr. Silindirin anma ve korozyon gibi etkilerini incelemek iin kaplanm ve kaplanmam paralarn karlkl ayn blgelerinden numuneler alnmtr. Kaplanm ve normal yzeylerdeki mevcut fazlar ve bunlarn kimyasal bileenlerini analiz etmek iin SEM (Scanning Electron Microscopy), EDS (Energy Dispersive Spectrograph), X- RAY, yzey przll ve mikro sertlik analizleri yaplmtr. Ayrca zgl yakt tketimi, efektif g, motor momenti, ya scakl, egzoz gaz scakl, egzoz emisyonlarndaki deimeler kaplanm ve normal motor iin llmtr. Yaplan analizler sonucunda, CrN kaplamal silindirlerde, anmann az ve anma izgilerinin derinliinin dkme demir silindire gre daha dk olduu grlmtr. CrN kaplamal silindirin yzeyinde az da olsa mikro atlaklarn olduu tespit edilmi, buna kaplama ilemi srasnda gelien yksek i gerilmelerin sebep olduu sonucuna varlmtr.
53

CrN kaplanm yzeyin anma direncinin yksek, srtnme katsaysnn dk olmas, anmay nemli lde azaltmtr. Yaplan kaplama ileminde, kaplama kalnlnn dk olmas (1,8 0,2 m) s yaltm asndan kayda deer bir fayda getirmedii, bunun sonucu olarak motor performansnda nemli bir deiimin olmad gzlenmitir. Seramik kaplanm motorda egzoz gaz scaklnn bir miktar ykseldii llmtr. Scaklk artnn yanmay olumlu etkiledii, zellikle CO emisyonunu azaltt sonucuna varlmtr.

54

55

56

57

58

KAYNAKLAR

Titanit Ultra Sert Kaplamalar Ltd.ti. rn Katalou ve nternet Sitesi www.titanit.com.tr

Hanbey, HAZAR Frat niversitesi Fen Bilimleri Enstits Makine Ana Bilim Dal Doktora Tezi Sayfa:112

Havaclk ve Uzay Teknolojileri Dergisi Temmuz 2003 Cilt 1 Say 2(41-48) LECO Corporation www.leco.com BAAKTIN Kaplamaclk stanbul www.basaktin.com

TNKAP Sert Kaplamalar San.Tic.Ltd.ti Surfaces and Interfaces in Nanostructered Materials 2,2006

59