CÁC PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH VẬT LIỆU

(Materials Characterization)

Hiển vi quét đầu dò

Scanning Probe Microscopy
(SEM)

TS. Nguyễn Quốc Chính

nqchinh@vnuhcm.edu.vn

1
 Nguyên tắc hoạt động

 Quét đầu dò (nhỏ)

trên bề mặt của mẫu
vật theo phương x-y
 Vị trí của đầu dò
theo phương z
được ghi nhận.
 Từ các giá trị tọa độ
x-y-z, xây dựng
được hình ảnh bề
mặt mẫu vật
 Cấu tạo
Đầu dò: có kích thước nhỏ (khoảng
nguyên tử)
Giá để mẫu: làm bằng gốm áp điện
(piezoelectric material): có thể co giãn
theo giá trị điện áp đặt vào.
Bộ định vị (nguồn Laser và các Laser
diod): xác định tọa độ của đầu dò
Bộ xử lý tín hiệu (computer): xây dựng
hình ảnh bề mặt dựa trên các giá trị x-
y-z thu nhận trong quá trình quét đầu
dò.
 Thông tin thu nhận được

Hình ảnh 3 chiều bề mặt vật liệu

Bản đồ phân bố lực tương tác giữa đầu
dò và bề mặt vật liệu

AÛnh ñoàng thôøi beà maët vaø löïc

ma saùt 2,52,5nm cuûa ñoà thò
phaân tích nhieät ñònh höôùng cao
(highly oriented pyrolytic graphic 
HOPG).
Choã goà leân cho thaáy söï gôïn
soùng cuûa nguyeân töû treân beà
maët trong khi
maøu saéc phaûn aûnh caùc löïc beân
treân muõi doø. Höôùng queùt laø
töø phaûi qua traùi.
Ảnh SEM và AFM của lớp phủ Canxi phosphat (tạo bởi
phương pháp stuttering) trên nền thủy tinh: (A) sau khi phủ
; (B) xử lý nhiệt ở 350oC ở môi trường khan; (C) xử lý nhiệt
ở 350o C ở môi trường bão hòa hơi nước.
 Lịch sử phát triển
STM
 1981: Gerd Binnig và Heinrich Rohrer (IBM, Zürich) : thí
nghiệm về quá trình chui hầm trong môi trường không
khí
 1982: nâng cấp các hiệu ứng này trong chân không, kết
hợp với quá trình quét , sản xuất STM
 Cuối 1982 : thương mại hóa [
 1986: G. Binnig và H. Rohrer hoàn thiện thế hệ STM thứ 4
, giành giải Nobel Vật lý
AFM
 1985: được phát triển để khắc phục nhược điểm của STM
 1987, T. Albrecht đã lần đầu tiên phát triển AFM đạt độ
phân giải cấp độ nguyên tử
 1988, AFM được thương mại hóa bởi Park Scientific
(Stanford, Mỹ).
Lịch sử phát triển
 Các loại SPM

 AFM, atomic force microscopy - kính hiển vi lực nguyên tử

 BEEM, ballistic electron emission microscopy - kính hiển vi phát xạ điện tử xung kích
 EFM, electrostatic force microscope - kính hiển vi lực tĩnh điện
 ESTM electrochemical scanning tunneling microscope - Kính hiển vi quét chui hầm điện hóa
 FMM, force modulation microscopy - Kính hiển vi biến điệu lực
 KPFM, kelvin probe force microscopy - Kính hiển vi sử dụng lực đầu dò Kelvin
 MFM, magnetic force microscopy - Kính hiển vi lực từ
 MRFM, magnetic resonance force microscopy - Kính hiển vi cộng hưởng lực từ
 NSOM, near-field scanning optical microscopy (hay SNOM, scanning near-field optical
microscopy) - Kính hiển vi quang học quét trường gần
 PSTM, photon scanning tunneling microscopy - Kính hiển vi quét chui hầm quang tử
 PTMS, photothermal microspectroscopy/microscopy - Kính hiển vi phát xạ nhiệt
 SECM, scanning electrochemical microscopy - Kính hiển vi quét điện hóa
 SCM, scanning capacitance microscopy - Kính hiển vi quét điện dung
 SGM, scanning gate microscopy - Kính hiển vi quét cổng
 SICM, scanning ion-conductance microscopy - Kính hiển vi quét iôn dẫn
 SPSM spin polarized scanning tunneling microscopy - Kính hiển vi điện tử phân cực spin quét
chui hầm
 SThM, scanning thermal microscopy - Kính hiển vi quét nhiệt
 STM, scanning tunneling microscopy - Kính hiển vi quét chui hầm
 SVM, scanning voltage microscopy - Kính hiển vi quét điện thế
 SHPM, scanning Hall probe microscopy - Kính hiển vi quét đầu dò Hall
 Thông Dụng

Kính hiển vi quét chui hầm: (Scanning

tunneling microscope) – STM
 Mẫu dẫn điện
Kính hiển vi lực từ (Magnetic Force
Microscope)- MFM
 Mẫu có từ tính
Kính hiển vi lực nguyên tử (Atomic
force microscope) - AFM)
 Nhiều loại mẫu khác nhau
STM
 Gốm áp điện thay đổi chiều
dài tại các hiệu thế khác
Itip nhau
nA

Icontrol ∆I

∆I -> ∆V
transfer
 Ưu điểm

Cho ảnh bề mặt với độ phân giải rất

cao
không đòi hỏi việc phá hủy mẫu
cho phép tạo ra các phép thao tác trên
bề mặt cho quá trình chế tạo.
 Nhược điểm

Chỉ áp dụng cho mẫu dẫn điện hoặc

bán dẫn.
Đòi hỏi bề mặt có độ sạch cao
AFM
AFM
 Atomic Force Microscope

photodiode laser

cantilever
piezo z
cantilever tip
x y
 Atomic Force Microscope
mirror
laser beam
photodiode
fluid cell
SPM tip
fluid in fluid out
tipholder
sample O-ring

piezo
translator sample
x,y,z piezo translator
motor
control

in air and in buffer solutions

Độ phân giải

Phụ thuộc vào

kích thước đầu
dò
Môi trường quét

Nước, chất lỏng

Không khí
 Ưu điểm

Có thể chụp ảnh bề mặt của tất cả các

loại mẫu kể cả mẫu không dẫn điện.
không đòi hỏi môi trường chân không
cao, có thể hoạt động ngay trong môi
trường bình thường.
Không phá hủy mẫu
Có thể tiến hành các thao tác di chuyển
và xây dựng ở cấp độ từng nguyên tử,
ứng dụng trong công nghệ nano.
 Nhược điểm

AFM quét ảnh trên một diện tích hẹp

(tối đa 150 micromet).
Tốc độ ghi ảnh chậm do hoạt động ở
chế độ quét.
Chất lượng ảnh bị ảnh hưởng bởi quá
trình trễ của bộ quét áp điện.
 So sánh

Quang học SEM SPM

Môi trường đo Không khí, lỏng, Chân không Không khí, chất
chân không lỏng, chân không
Độ sâu ảnh Nhỏ Lớn Trung bình
Độ phân giải theo 1.0 um 5n 2-10 nm: AFM
phương x-y 0.1 nm :STM
Độ phân giải theo Không có Không có 0.1 nm: AFM
phương z 0.01 nm: STM
Độ phóng đại hữu 1-2000 lần 10 – 1 triệu lần 500 – 100 triệu
hiệu
Xử lý mẫu Ít ít ít
Yêu cầu đối với Mẫu không được Mẫu bền trong Mẫu có bề mặt gồ
mẫu hoàn toàn trong chân không ghề không quá 10
suốt um
So sánh độ phân giải
AFM vs. TEM
 Chế độ chạy mẫu AFM

Chế độ tĩnh: static mode, contact mode

Chế độ động: non-contact mode
Chế độ đánh dấu: tapping mode
 Chế độ tĩnh

Khoảng cách giữa đầu mũi dò và bề

mặt mẫu được giữ không đổi trong quá
trình quét
Tín hiệu phản hồi từ tia laser giúp bộ
điều khiển phản hồi điều chỉnh để
khoảng cách giữa mũi và bề mặt là
không đổi trong suốt quá trình quét.
 Chế độ động

Cần dò (cantilever) bị kích thích bởi

ngoại lực, dao động với tần số gần với
tần số dao động riêng của nó.
Tần số, biên độ và pha của dao động sẽ
bị ảnh hưởng bởi tương tác giữa mẫu
và mũi dò, do đó sẽ có thêm nhiều
thông tin về mẫu được thể hiện trong
tín hiệu.
 Chế độ đánh dấu

là một cải tiến của chế độ động

Trong chế độ này, cần dò (cantilever)
được rung trực tiếp bằng bộ dao động
áp điện gắn trên cantilever với biên độ
lớn tới 100-200 nm, và tần số rất gần
với tần số dao động riêng.
AFM: Tapping mode
Tapping mode Amplitude image
Tapping mode Phase image

Spatial variations in sample

properties cause shifts in the
cantilever phase (bottom) which
are mapped to produce the phase
images
So sánh chế độ quét
 So sánh chế độ quét

Chế độ tiếp xúc: Chế độ đánh dấu:

 Độ phân giải thấp
• Độ phân giải cao  Khônglàm biến
• Dễ làm biến dạng bề dạng bề mặt
mặt
Tapping mode
Phase image
Tapping vs. contact mode
Bề mặt NaCl
 Một số ví dụ

2D amplitude image
2D height image

Tinh thể Catalase phát triển trên kính

(đo bằng chế độ tapping, trong nước)
 Một số ví dụ

Tế bào khô của E. coli trên mica

(chế độ Tapping trong không khí)

Wild-type strain Mutant strain (∆ usher gene)

2D amplitude images (scan size = 8 µm)

Bề mặt mica
(chế độ tiếp xúc, không khí)

Original 2D height image 3D height image after FFT

 scan rate = 61 Hz processing
 data scale = 200 pm
Bề mặt Graphite

Original 2D height image 3D height image after FT

 scan rate = 10 Hz processing
 data scale = 505.8 pm
Bề mặt silic (111) - (chế độ tiếp xúc, không khí)
 AFM topography image of superimposed gratings
inscribed holographically on a polymer thin film. The
height of the polymer dots is about 300 nm and the
spacing is 1.3 micron.
AFM topography image of a grating with a main
period of 1.3 micron (height= 280 nm) and
secondary structures of 380 nm periodicity
(height=40 nm).
Topographic images of silica and polystyrene closely
packed particles with diameters ranging from 10nm to 5um.
 Scan Size 50 μm x 50 μm
AFM image of a living human lung cancer cell grown for 4 days on a glass
cover slip and imaged in PBS buffer at ambient temperature. The cells did not
detach from surface of the cover slips even after 6 hours of imaging. The live
cancer cell above shows typical lung cancer cell morphology. For example, the
cell has various ripples and projections, including small projections called
blebs and longer projections called filopodia. There are also small finger-like
projections that look like sails (microvilli) and flat sheet-like projections
(lamellopodia) observable. Image taken with 5500 ILM
 Lưu ý

Xử lý mẫu: không được quá gồ ghề (độ

cao không quá 10 m)
Kích thước đầu dò thích hợp
Hiệu ứng đầu dò : khi đầu dò có kích
thước lớn, hay đầu dò bị mòn.
Lưu ý phải kiểm tra đầu dò định kỳ
bằng mẫu chuẩn.
Các yếu tố ảnh hưởng đến chất lượng ảnh

Khả năng xử lý tín hiệu của bộ quét

Đầu dò
Chế độ xử lý mẫu
Môi trường chạy mẫu (độ rung của sàn
để máy, tiếng ồn)
Khả năng xử lý tín hiệu
Đầu dò
Đầu dò
 Đầu dò

Đầu dò tốt Đầu dò mòn

Đầu dò
 Đầu dò bị mòn hoặc gãy

Ảnh AFM của bề

mặt màng W

 Khó nhận thấy từ hình 2 chiều

Dễ nhận ra khi
xem hình 3
chiều
Ảnh hưởng của bụi trên bề mặt mẫu

Bụi có thể được tạo ra trong quá trình điều chế mẫu, hay trong quá
trình bảo quản mẫu
Ảnh hưởng của bụi trên bề mặt mẫu
Ảnh hưởng của môi trường ngoài
 Kiểm tra máy

Máy tốt Cần hiệu chỉnh

Hiệu chỉnh máy
Hiệu chỉnh máy
 Phạm vi ứng dụng

Hình thái bề mặt

Sự chuyển pha (kết hợp với bộ gia
nhiệt)
Xác định khuyết tật trên bề mặt
Đo kích thước các nano particle
Chúc học tập vui và hiệu quả!

74