Các phương pháp phân tích hóa lý hiện đại

VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM
HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ
Môn học: Các phương pháp phân tích hóa lý hiện đại
PHƯƠNG PHÁP HIỂN VI ĐẦU DÒ QUÉT

(AFM, STM, SNOM)
Giảng viên: Học viên:
TS. NGUYỄN THỊ THANH THỦY  LÂM THỊ THÚY KIỀU
 MSHV: 21803003
 Lớp: Cao học Hóa hữu cơ 2021A
Sơ đồ tóm tắt về sự phân loại kính hiển vi
Microscopy
Optical Electron Scanning Probe

Microscopy Microscopy Microscopy (SPM)
Scanning Near-Field Scanning

Atomic Force
Optical Microscopy Tunneling
Microscopy (AFM)
(SNOM) Microscopy (STM)
Electrostatic Force
Microscopy (EFM)
Magnetic Force
Microscopy (MFM)
Khả năng phân giải của

một số công nghệ kính hiển vi
11/13/2022 Hóa dược – Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 2

Bảng mô tả một số đặc tính của 3 nhóm kính hiển vi

Nội dung
1 • Giới thiệu chung
• Phân loại kính hiển vi đầu dò quét

2
(SPM)
3 • Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM)
4 • Kính hiển vi xuyên hầm quét (STM)
• Kính hiển vi quang học trường gần

5
quét (SNOM)
11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 4
1. Giới thiệu chung
Kính hiển vi đầu dò quét (Scanning probe microscopy, SPM) là tên gọi
chung của nhóm kính hiển vi mà việc tạo ảnh bề mặt của mẫu vật được thực
hiện bằng cách quét một mũi dò nhỏ trên bề mặt của mẫu vật. Độ phân giải
ảnh phụ thuộc vào kích thước mũi đầu dò, có thể đạt đến phần trăm nm.
Lịch sử phát triển của SPM:

• Nhóm kính hiển vi SPM ra đời vào
năm 1981 với phát minh của Gerd
Binnig và Heinrich Rohrer
(IBM, Zürich) về kính hiển vi xuyên
hầm quét, có thể thấy được từng
nguyên tử trên bề mặt. Cả hai đã
giành giải Nobel Vật lý năm 1986 cho
phát minh này. Gerd Binnig (trái) và Heinrich Rohrer (phải)
Ưu điểm của SPM Nhược điểm của SPM
•Độ phân giải của kính không bị giới hạn do •Quá trình ghi ảnh thường rất
hiện tượng nhiễu xạ như hiển vi quang học,
mà chỉ bị giới hạn bởi kích thước của đầu chậm do bước quét đòi hỏi
dò và bước quét.
•Tương tác giữa mũi dò và mẫu được sử
nhiều thời gian.
dụng làm một công cụ thao tác trên bề •Kích thước ảnh không lớn
mặt, nhằm tạo ra các chi tiết nhỏ trong •Chỉ cho ảnh vi cấu trúc bề
công nghệ nano (kỹ
thuật nanolithography - điêu khắc nano). mặt
 Một số ứng dụng phổ biến của kính hiển vi đầu dò quét :
Trong khoa học vật liệu
• Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) để ghi ảnh bề mặt, các tính chất điện, từ, cơ học, chức
năng và nhiệt nên có ý nghĩa trong kiểm tra các đặc tính nano của vật liệu polymer, với các
ứng dụng thực tế trong công thức pha trộn và kiểm soát chất lượng của nhựa, cao su và
polyme kỹ thuật.
Trong lĩnh vực điện tử

• SPM có độ phân giải đến hàng chục picometers được ứng dụng ngày càng tăng trong việc
phân tích các thành phần mạch điện tử; nâng cao hiểu biết về các đặc tính vi cấu trúc của
các vật liệu bán dẫn mới (perovskite); có lợi cho việc kiểm soát gia công và QC màng mỏng.
• AFM cũng dùng đo piezo và ferroelectrics cho các hệ thống điện tử cỡ nhỏ và các cảm biến
tiên11/13/2022
tiến trong lĩnh vực ô tô, hàng không vũThúytrụ
Lâm Thị Kiềuvà quân sự.
- CHE21A 7
2. Phân loại kính hiển vi đầu dò quét
Viết
Nhóm Tên Tiếng Anh Tên Tiếng Việt
tắt
AFM Atomic force microscopy Kính hiển vi lực nguyên tử
EFM Electrostatic force microscope Kính hiển vi lực tĩnh điện
Kính hiển MFM Magnetic force microscopy Kính hiển vi lực từ
vi lực FMM Force modulation microscopy Kính hiển vi biến điệu lực
MRFM Magnetic resonance force microscopy Kính hiển vi cộng hưởng lực từ
KPFM Kelvin probe force microscopy Kính hiển vi sử dụng lực đầu dò Kelvin
STM Scanning tunneling microscopy Kính hiển vi xuyên hầm quét
Electrochemical scanning tunneling
Kính hiển ESTM Kính hiển vi quét chui hầm điện hóa
microscope
vi xuyên
hầm PSTM Photon scanning tunneling microscopy Kính hiển vi quét chui hầm quang tử
Spin polarized scanning tunneling Kính hiển vi điện tử phân cực spin quét
SPSM
microscopy chui hầm
Nhóm Viết tắt Tên Tiếng Anh Tên Tiếng Việt
Near-field scanning optical
NSOM Kính hiển vi quang học trường gần
microscopy (Scanning near-field optical
(SNOM) quét
microscopy)
Photothermal microspectroscopy
PTMS Kính hiển vi phát xạ nhiệt
(microscopy)
BEEM Ballistic electron emission microscopy Kính hiển vi phát xạ điện tử xung kích
SECM Scanning electrochemical microscopy Kính hiển vi quét điện hóa
Khác
SCM scanning capacitance microscopy Kính hiển vi quét điện dung
SGM scanning gate microscopy Kính hiển vi quét cổng
SICM scanning ion-conductance microscopy Kính hiển vi quét ion dẫn
SThM scanning thermal microscopy Kính hiển vi quét nhiệt
SVM scanning voltage microscopy Kính hiển vi quét điện thế
SHPM scanning Hall probe microscopy Kính hiển vi quét đầu dò Hall
3 loại kính hiển vi đầu dò quét phổ biến hiện nay:
1 Kính hiển vi lực nguyên tử

(AFM)
2 Kính hiển vi xuyên hầm

quét (STM)
3 Kính hiển vi quang học

trường gần quét (SNOM)

3. Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM )
 Kính hiển vi lực nguyên tử (Atomic force microscope, AFM) là một thiết
bị quan sát cấu trúc vi mô bề mặt của vật rắn dựa trên nguyên tắc xác định lực
tương tác nguyên tử giữa một đầu mũi dò nhọn với bề mặt của mẫu, có thể
quan sát ở độ phân giải nm. Ngoài ra, AFM có thể đo lực tác động lên mũi dò
gây ra bởi bề mặt mẫu
AFM NX10, PARK SYSTEMS, Bề mặt vàng

Hàn Quốc
 Lịch sử phát triển AFM:
1988, AFM chính

thức được thương
1987, T. Albrecht mại hóa bởi Park
phát triển AFM đạt Scientific (Stanford,
độ phân giải cấp Mỹ).
độ nguyên tử, cũng
1985, AFM được trong năm đó kính
sáng chế bởi G. hiển vi lực từ
Binnig, C. F. Quate (MFM) được phát
11/13/2022 và Ch. Gerber để triểnLâmtừ AFM.
Thị Thúy Kiều - CHE21A 12
 Cấu tạo của đầu dò AFM:

• Gồm 1 mũi dò nhọn (tip) cực kỳ tinh sảo,
sắc nét (kích thước nguyên tử) được gắn
trên một thanh rung (cantilever).
• Mũi dò thường được làm bằng Silicon
(Si) hoặc Silicon Nitride (Si3N4). Si sử dụng
cho mẫu cứng, Si3N4 sử dụng cho mẫu
mềm [7].
• Đầu kia của thanh rung được gắn với một
tinh thể áp điện (piezoelectric crystal)
nhằm tạo ra bước quét tinh tế.
Ảnh SEM của các loại đầu dò
 Cấu tạo của đầu dò AFM:

 Nguyên lý bộ áp điện:
• Các loại vật liệu áp điện như thạch anh, gốm
PZT…khi có điện thế đặt vào nó bị biến dạng
co vào hay giãn ra.
• Ví dụ, 1 thanh gốm PZT khi có hiệu điện thế
cỡ 100V có thể biến dạng co vào hay giãn ra
đến µm, nếu điện thế cỡ mV có thể biến dạng
cỡ nm
• Thông qua bộ áp điện có thể điều khiển mũi
dò quét theo các chiều x, y, z với độ chính xác
đến phần năm nm, kết quả cho ảnh độ phân
giải cao.
Cấu tạo của đầu dò 14
11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A
 Nguyên lý hoạt động của AFM:
1. Cảm biến bề mặt: Khi mũi dò quét gần
bề mặt mẫu vật, sẽ xuất hiện lực Van der
Waals (lực phân tán London) và/hoặc lực
tĩnh điện giữa các nguyên tử tại bề mặt
mẫu và đầu mũi dò, làm dao động thanh
cantilever. Các lực này phụ thuộc khoảng
cách giữa đầu mũi dò và bề mặt mẫu:
 Mũi dò ở đủ gần: lực Van der Waals tác
động lên nó để kéo nó lại gần, làm
thanh rung bị uốn cong về phía bề mặt
của mẫu.
Sự biến đổi của lực tương tác giữa mũi
 Mũi dò ở quá gần: lực đẩy tĩnh điện dò và bề mặt mẫu theo khoảng cách
chiếm ưu thế, làm thanh rung bị đẩy ra
khỏi nó.
 Nguyên lý hoạt động của AFM:
2. Phương pháp phát hiện: Dao động của
thanh rung do lực tương tác được ghi lại nhờ
một chùm tia laser chiếu qua bề mặt của
thanh rung, dao động của thanh rung làm
thay đổi góc phản xạ của chùm laser và
được position-sensitive photo diode (PSPD)
ghi lại.
3. Ghi ảnh: AFM ghi ảnh địa hình của bề
mặt mẫu bằng cách quét đầu dò qua bề mặt
mẫu. Các đặc điểm lồi lõm trên bề mặt mẫu
ảnh hưởng đến độ võng của thanh rung,
được giám sát bởi PSPD, từ đó sẽ cho hình Sơ đồ nguyên lý hoạt động của
ảnh vi cấu trúc bề mặt của mẫu vật. kính hiển vi lực nguyên tử AFM
 Các chế độ quét của AFM:
Chế độ tĩnh (Static Mode) Chế độ động (Dynamic Mode)

• Chế độ không tiếp xúc/ tiếp xúc
• Chế độ tiếp xúc: đầu mũi nhọn bị không liên tục: đầu mũi nhọn dịch
kéo dọc theo bề mặt của mẫu, chuyển lên xuống, nó không chạm
khoảng cách giữa đầu mũi dò và vào mẫu hoặc chạm không liên
bề mặt mẫu được giữ không đổi tục.
trong quá trình quét, tín hiệu phản • Tapping Mode: phổ biến nhất hiện
hồi từ tia laser sẽ là tín hiệu tĩnh. nay, cho độ phân giải cao, ít phá
• Sử dụng khi các bề mặt cứng, hủy mẫu; cantilever rung trực tiếp
không áp dụng cho các mẫu mềm bằng bộ dao động áp điện gắn
và dính như các mẫu phân tử sinh
11/13/2022 trên cantilever với biên độ lớn, 17tần
Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A
 Các chế độ quét của AFM:
Các chế độ quét của AFM:

(a) contact mode
(b) non-contact mode
(c) tapping mode

Mời Cô và các ban xem video về nguyên lý hoạt động của AFM !

Ưu điểm của AFM Nhược điểm của AFM
•AFM khắc phục nhược điểm của STM, có thể •AFM quét ảnh trên một diện tích hẹp
chụp ảnh bề mặt của tất cả các loại mẫu kể cả
mẫu không dẫn điện.
(tối đa đến 150 micromet).
•AFM không đòi hỏi môi trường chân không cao •Tốc độ ghi ảnh chậm do hoạt động ở
•AFM cũng có thể tiến hành các thao tác di chế độ quét.
chuyển và xây dựng ở cấp độ từng nguyên tử, •Đầu dò rung trên bề mặt nên kém an
một tính năng mạnh cho công nghệ nano.
•Không đòi hỏi sự phá hủy hay có dòng điện nên toàn, đồng thời đòi hỏi mẫu có bề
còn rất hữu ích cho các tiêu bản sinh học mặt sạch và sự chống rung.
 Ứng dụng của AFM

Trong nhiều lĩnh vực: khoa học vật liệu, khoa học đời sống, điện tử, kỹ
thuật, sinh học, hóa học bề mặt, kỹ thuật di truyền, y học.
• Nghiên cứu kết cấu bề mặt, khuyết tật, lớp phủ và nhiều tính năng
vật lý khác
• Quan sát các tế bào và phân tử sinh học trong môi trường tự nhiên
• Phân tích các mạch và linh kiện vi điện tử, pin, tế bào quang điện

4. Kính hiển vi xuyên hầm quét (STM)
 Kính hiển vi xuyên hầm quét (Scanning tunneling microscope, STM)
thuộc nhóm thiết bị kính hiển vi đầu dò quét được sử dụng để quan sát hình
thái học bề mặt của vật rắn hoạt động dựa trên việc ghi lại dòng xuyên
hầm của điện tử khi sử dụng một mũi dò kim loại quét trên bề mặt mẫu dẫn
điện cho phép quan sát cấu trúc bề mặt của vật rắn với độ phân giải tới cấp
độ nguyên tử.
Ảnh các nguyên tử Fe trên Ảnh chụp bề mặt

bề mặt Cu chụp bởi STM Au bởi STM
LT STM,Scienta Omicron, Germany

 Lịch sử phát triển:

• STM được sáng lập bởi Gerd Binnig và Heinrich Rohrer (IBM, Zürich) năm
1981 và giành giải Nobel Vật lý cho phát minh này năm 1986.
• STM được cải tiến thành kính hiển vi quét xuyên hầm phân cực spin (Spin-
polarized scanning tunnelling microscopd, SPSTM) bằng cách phủ các vật liệu
từ trên mũi dò để ghi nhận dòng điện tử xuyên hầm bị phân cực spin, cho
phép ghi nhận cấu trúc từ bề mặt với độ phân giải rất cao, ứng dụng trong kỹ
thuật chụp ảnh từ.
• Một tính năng khác quan trọng khác của STM được phát triển là việc thao tác
các nguyên tử với độ chính xác cao trên bề mặt vật rắn, cho phép tạo các chi
tiết siêu nhỏ với độ chính xác cao và đã trở thành một phép chế tạo quan
trọng trong kỹ thuật điêu khắc nano.

 Lịch sử phát triển: STM trong kỹ thuật điêu khắc nano (nanolithography)
Thực hiện qua các bước:
1. Để mũi dò lên vị trí nguyên tử muốn di
chuyển, sau đó tăng dần dòng chui hầm,
nguyên tử bị hấp thu bởi mũi dò
2. Di chuyển mũi dò đến vị trí mong muốn mới
3. Giảm dần dòng chui hầm, mũi dò rời khỏi
nguyên tử bị hấp thu và để nó lại vị trí mới
Ảnh nguyên tử xenon

trên bề mặt Nicken

 Cấu tạo chính của STM:

• Đầu dò
• Bộ áp điện
 Bộ điều khiển quét xy
 Bộ điều khiển hồi tiếp
• Bộ chống rung
• Máy tính

• Mũi dò: được làm từ W hoặc Pt-Ir, đường
kính vài trăm nm (kích cỡ nguyên tử).
• Bộ áp điện: Để tạo bước quét tinh tế,
mẫu được gắn vào bộ áp điện. Khi đặt
vào nó 1 hiệu điện thế, bộ áp điện sẽ bị Mũi dò có kích thước nguyên tử
giãn nở do hiệu ứng áp điện làm dịch
chuyển mũi dò. Có 2 loại áp điện: tripod
và tube
=> Độ phân giải ảnh STM phụ thuộc vào
bước quét và kích cỡ của mũi dò.
• Để tăng khả năng xuyên hầm của điện tử,
hệ được đặt trong chân không cao. tripod tube
2 loại áp điện giúp mũi dò di chuyển
• Bộ áp điện hoạt động như thế nào?
(a) (b) (c)

(a) Khi điện thế đặt vào cùng chiều phân cực của chất áp điện (V+), chất áp
điện giãn nở dọc theo trục của nó và co lại theo phương vuông góc với trục.
(c) Khi điện thế đặt vào ngược chiều phân cực của chất áp điện (V-), chất áp
điện co lại dọc theo trục của nó và giãn nở theo phương vuông góc với trục.
• Bộ điều khiển quét xy: Là bộ phận điều
khiển vị trí mũi dò khi nó di chuyển rất sát
bề mặt mẫu và quét trên mặt phẳng xy
song song với bề mặt mẫu (được điều
khiển bằng áp điện xy có thể giãn nở khi
đặt vào nó 1 hiệu điện thế)
• Bộ điều khiển hồi tiếp (feedback):
Mạch hồi tiếp để giữ cho dòng chui hầm
không đổi, bằng cách điều chỉnh khoảng
cách giữa mũi dò và mẫu (trục z), khoảng
cách này được điều khiển bằng áp điện z có
thể giãn nở khi đặt vào nó 1 hiệu điện thế)

 Nguyên lý hoạt động:

• Dựa trên hiệu ứng xuyên hầm
lượng tử của electron theo cơ
học lượng tử.
• Dòng xuyên hầm phản ánh mật
độ e ở bề mặt, đó đó đo dòng
xuyên hầm có thể cho hình ảnh
vật lý bề mặt mẫu.

U
 Hiệu ứng xuyên hầm lượng tử ?
• Cơ học cổ điển: khi E < U, hạt E
không thể vượt qua hàng rào thế
• Cơ học lượng tử: khi E < U vẫn U
tồn tại giá trị hàm sóng của điện tử
bên kia hàng rào thế, tức là có xác
xuất tìm thấy điện tử bên kia hàng E
rào thế. Đây chính là hiệu ứng
xuyên hầm lượng tử.

 Nguyên lý hoạt động của STM :
• STM sử dụng một mũi dò nhọn mà đầu
của mũi dò có kích thước là một nguyên
tử, quét rất gần bề mặt mẫu dẫn điện.
• Khi đầu dò được quét trên bề mặt mẫu, sẽ
xuất hiện các điện tử di chuyển từ bề mặt
mẫu sang mũi dò hoặc ngược lại do hiệu
ứng xuyên hầm lượng tử, gọi là dòng
xuyên hầm.
• Việc ghi lại dòng xuyên hầm (do một hiệu
điện thế đặt giữa mũi dò và mẫu) và tín
hiệu này được khuếch đại sẽ cho thông tin về Nguyên lý hoạt động của kính hiển vi
hình thái học bề mặt với độ phân giải ở cấp quét chui hầm (STM)
độ nguyên tử.
 Chế độ quét của STM :
1. Chế độ dòng không đổi
• Dòng xuyên hầm được giữ không đổi qua
hệ thống điều khiển hồi tiếp. Trong chế
độ này tạo hình ảnh bề mặt qua sự thay
đổi độ cao z của đầu dò.
• Sử dụng ở phạm vi quét lớn hơn 100 Å
để đo địa hình bề mặt.
• Quét chậm vì bộ phận hồi tiếp phải điều
chỉnh khoảng cách giữa đầu dò và mẫu.
Constant current mode

 Chế độ quét của STM:

2. Chế độ chiều cao không đổi
• Lúc này mạch hồi tiếp không hoạt động,
vị trí z của đầu dò được giữ không đổi,
hình ảnh tạo được là do biến thiên của
dòng tunnel.
• Sử dụng cho phạm vi quét nhỏ hơn 100 Å.
• Tốc độ nhanh hơn vì không điều chỉnh
trục z nhưng chỉ giới hạn ở mẫu có bề mặt
phẳng.
Constant z mode

Ưu điểm của STM Nhược điểm của STM

• STM là một kỹ thuật ghi ảnh hình
thái học và cấu trúc (cấu trúc vật lý,
cấu trúc điện từ...) bề mặt với độ
• Mẫu sử dụng trong STM phải là mẫu
phân giải rất cao và cho ảnh chất
dẫn điện hoặc bán dẫn.
lượng cao.
• Việc đo đạc STM đòi hỏi bề mặt mẫu
• STM không đòi hỏi việc phá hủy mẫu
siêu sạch và việc chống rung là một
như kính hiển vi điện tử truyền
đòi hỏi lớn.
qua (thiết bị chụp ảnh với độ phân
• Tốc độ ghi ảnh trong STM thấp.
giải tương đương).
• STM chỉ giới hạn cho cấu trúc bề mặt
• STM còn cho phép tạo ra các thao
tác 11/13/2022
trên bề mặt cho quá trình chế Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 34
5. Kính hiển vi quang học trường gần quét (SNOM)
• Kính hiển vi quang học trường gần quét (Near-field scanning

optical microscope, NSOM hoặc SNOM) là một dạng kính hiển vi đầu dò
quét cho phép nghiên cứu bề mặt cấu trúc nano với độ phân giải vượt
qua giới hạn giới hạn nhiễu xạ bằng cách ứng dụng các tính chất của sóng
suy biến (evanescent wave) trong vùng trường gần.

 Trường gần là gì?  Sóng suy biến (evanescent waves) ?
• Một sóng trường gần được tạo ra do sự kích thích của ánh
sáng lên bề mặt giữa một mặt kim loại với một mặt lưỡng
cực điện (thường là không khí hoặc kính).
• Sóng suy biến cũng được tạo ra khi chiếu ánh sáng vào
một vật (nguyên tử, phân tử hoặc cấu trúc) hoặc một khẩu
độ có đường kính nhỏ hơn bước sóng ánh sáng.
Hình minh họa quang học trường gần, với

sự nhiễu xạ của ánh phát phát ra từ sợi
dò của kính hiển vi quang học quét
trường gần, cho thấy bước sóng ánh sáng
và trường gần
Sự sắp xếp các vùng quang học xung quanh đầu dò
 Lịch sử phát triển:

• Năm 1984, Pohl đã đưa ý tưởng về một dạng quang học trường gần và bức
xạ nhìn thấy (ánh sáng khả kiến) đã được sử dụng để phát triển kính hiển vi
quang học trường gần quét sơ khai, gọi tắt là kỹ thuật NFO (near-field
optics).
• Các thí nghiệm liên tiếp vào năm 1986 sau đó đã chứng minh rằng kính hiển
vi quang học trường gần quét có khả năng phân giải tốt hơn nhiều kính hiển
vi quang học truyền thống, vào khoảng 50 nm.
• Ngày nay, kính hiển vi quang học trường gần quét đã được thương mại hóa
và trở nên hiện đại hơn cùng độ phân giải ngày càng tăng lên.

 Nguyên lý cơ bản của SNOM:

• Ứng dụng tính chất sóng suy biến trong
vùng trường gần.
• Tia sáng đi qua một khẩu độ có đường kính
nhỏ hơn rất nhiều so với bước sóng tia
sáng và chiếu vào mẫu được đặt trong
trường gần của nó, tại một khoảng cách
nhỏ hơn rất nhiều so với bước sóng tia
sáng.
• Tia sáng được được định vị ở một điểm có
kích thước nanomet, do đó, ảnh xuất hiện
như là 1 điểm đơn lẻ có độ phân giải cao,
không có sự nhiễu xạ khác. Để có độ phân giải cao, đầu
dò phải đặt rất gần mẫu
 Thành phần chính của SNOM:

• Nguồn sáng: sử dụng chùm một tia lazer
được hội tụ vào một sợi quang học thông
qua phân cực kế, bộ phận gộp và chia tia.
• Mũi dò: thường là sợi quang học được
phủ kim loại với một khẩu độ ở giữa mũi
dò.
• Detector: thường dùng detector quang
học tiêu chuẩn như photodiode,
photomultiplier tube (PMT) hoặc cảm biến
CCD.
• Điều khiển hồi tiếp: để điều khiển khoảng
cách từ mũi dò đến bề mặt mẫu.
 Chế độ hoạt động của SNOM:
Apertureless mode Aperture mode
• Thiết bị phức tạp hơn, ít phổ biến • Phổ biến, tạo ảnh phân giải cao
• Đầu dò không khẩu độ (a): sợi • Đầu dò có khẩu độ (b): làm từ sợi
quang được cắt ngang và dùng quang, đầu sợi hơi nhọn, phủ lớp
cách ăn mòn để có một mũi thật kim loại mỏng, đủ ngăn không cho
nhọn nhô ra ở giữa, đường kính ánh sáng lọt qua, với một khẩu
mũi nhọn 100 nm. độ đường kính 50 nm.
11/13/2022
Apertureless tip Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A
Aperture tip 40
 Chế độ hoạt động của SNOM:
(a) Apertureless mode (b) Aperture mode
Chiếu ánh sáng trường xa vào mẫu, đưa Ánh sáng trường xa được dẫn theo sợi quang
mũi dò quét gần bề mặt, ánh sáng qua khẩu độ chiếu vào mẫu. Ánh sáng
trường gần đến mũi nhọn và được dẫn trường gần lọt qua được khẩu độ đi ngược lại
ra ngoài theo sợi quang đến bộ phận đo lại theo sợi quang đến bộ phận đo ghi nhận
để tạo ảnh. ánh sáng trường gần của từng điểm mẫu.

Ưu điểm của SNOM Nhược điểm của SNOM
• Độ phân giải cao so với OM, có thể lên • Độ phân giải ảnh không cao bằng AFM
tới 20 - 50 nm (theo chiều ngang/dọc - và STM.
x,y) và khoảng 2 - 5 nm (theo chiều • Ánh sáng phát ra ở mũi dò thường rất
thẳng đứng - z), khá hữu dụng trong yếu do mũi dò nhỏ, đồng thời bước quét
nghiên cứu chiều cao của các chi tiết rất ngắn nên tốc độ ghi ảnh cực chậm
điện tử trong công nghiệp bán dẫn. cho diện tích mẫu lớn cần độ phân giải
• Không phá hủy mẫu vật hay cần môi cao.
trường chân không như kính hiển vi điện • Chưa phổ biến như các loại kính hiển vi
tử, hoặc có dòng điện truyền qua mẫu quang học thông thường do giá thành
như kính STM nên khá phù hợp với các cao và điều khiển phức tạp.
mẫu vật sinh học.
• Không yêu cầu chuẩn bị mẫu, dùng
được cho nhiều loại mẫu: dẫn điện,
không dẫn điện, mẫu trong suốt
Tài liệu tham khảo
[1] Oxford Instruments 2022, Applications of Scanning Probe Microscopy, visited at
https://afm.oxinst.com/outreach/applications-of-scanning-probe-microscopy, accessed on 15/06/2022.
[2] Paul E. West, Introduction to Atomic Force Microscopy: Theory, Practice, Applications, Pacific Nanotechnology, 2006.
[3] Parksystems (2022), How AFM Works, visited at https://www.parksystems.com/medias/nano-academy/how-afm-
works accessed on 15/06/2022.
[4] Wevolver (2021). Atomic Force Microscopy Explained: Principles, Construction, Working, and Applications,
visited at https://www.wevolver.com/article/atomic-force-microscopy-explained-principles-construction-working-and-
applications accessed on 15/06/2022.
[5] Binnig, C. F. Quate and Ch. Gerber, Atomic Force Microscope, Phys. Rev. Lett. 56, 930 - 933 (1986).
[6] Bhanu P. Jena, J. K. Heinrich Hörber, Force Microscopy: Applications in Biology and Medicine, Publisher: Wiley-Liss
(2006) ISBN 0471396281.
[7] G. Binnig, H. Rohrer, Ch. Gerber, and E. Weibel, Surface Studies by Scanning Tunneling Microscopy, Phys. Rev. Lett.
49, 57 - 61 (1982).
[8] G. Binnig, H. Rohrer Scanning tunneling microscopy, IBM Journal of Research and Development 30,4 (1986)
reprinted 44,½ Jan/Mar (2000).
[9] N. García, C. Ocal, and F. Flores, Model Theory for Scanning Tunneling Microscopy: Application to Au(110) (1×2),
Phys. Rev. Lett. 50, 2002 - 2005 (1983).
[10] U. Dürig; và đồng nghiệp (1986). Near-field optical scanning microscopy. J. Appl. Phys. 59: 3318.
[11] Y. Oshikane; và đồng nghiệp (2007). Observation of nanostructure by scanning near-field optical microscope with
small sphere probe. Sci. Technol. Adv. Mater. 8 (3): 181. doi:10.1016/j.stam.2007.02.013

Chân thành cảm ơn sự theo
dõi của Cô và các bạn!
LÂM THỊ THÚY KIỀU

MSHV: 21803003
Lớp: Cao học Hóa hữu cơ 2021A

Các phương pháp phân tích hóa lý hiện đại

Uploaded by

Document Information

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Các phương pháp phân tích hóa lý hiện đại

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM

HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ

PHƯƠNG PHÁP HIỂN VI ĐẦU DÒ QUÉT

Optical Electron Scanning Probe

Scanning Near-Field Scanning

Khả năng phân giải của

11/13/2022 Hóa dược – Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 2

11/13/2022 Hóa dược – Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 3

• Phân loại kính hiển vi đầu dò quét

3 • Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM)

4 • Kính hiển vi xuyên hầm quét (STM)

• Kính hiển vi quang học trường gần

Lịch sử phát triển của SPM:

Ưu điểm của SPM Nhược điểm của SPM

Trong khoa học vật liệu

Trong lĩnh vực điện tử

1 Kính hiển vi lực nguyên tử

2 Kính hiển vi xuyên hầm

3 Kính hiển vi quang học

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 10

AFM NX10, PARK SYSTEMS, Bề mặt vàng

 Lịch sử phát triển AFM:

1988, AFM chính

 Cấu tạo của đầu dò AFM:

 Cấu tạo của đầu dò AFM:

Chế độ tĩnh (Static Mode) Chế độ động (Dynamic Mode)

Các chế độ quét của AFM:

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 18

11/13/2022 Hóa dược – Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 19

Ưu điểm của AFM Nhược điểm của AFM

 Ứng dụng của AFM

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 21

Ảnh các nguyên tử Fe trên Ảnh chụp bề mặt

LT STM,Scienta Omicron, Germany

 Lịch sử phát triển:

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 23

Ảnh nguyên tử xenon

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 24

 Cấu tạo chính của STM:

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 25

(a) (b) (c)

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 28

 Nguyên lý hoạt động:

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 29

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 30

Constant current mode

 Chế độ quét của STM:

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 33

Ưu điểm của STM Nhược điểm của STM

• Kính hiển vi quang học trường gần quét (Near-field scanning

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 35

Hình minh họa quang học trường gần, với

 Lịch sử phát triển:

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 37

 Nguyên lý cơ bản của SNOM:

 Thành phần chính của SNOM:

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 41

11/13/2022 Lâm Thị Thúy Kiều - CHE21A 43

LÂM THỊ THÚY KIỀU

You might also like