FS209E AND ISO -14644 CLEAN ROOM STANDARD

1. Standard dan piawaian adalah perlu di dalam bidang industri di mana ianya adalah
bertujuan untuk memastikan setiap barangan bertujuan untuk memastikan setiap barangan
atau hasil keluaran sesuatu industri tersebut adalah berkualiti dan dan mengikut piawaian
yang telah ditetapkan.

2. Kita mungkin biasa mendengar standard piawaian ISO 9002 , iaitu satu standard
antarabangsa yang diberikan kepada mana-mana syarikat atau industri yang memenuhi
keperluan standard di dalam kaedah pengurusan dan tahap kualiti pengeluaran yang telah
memenuhi dan menepati piawaian tersebut.

3. Oleh itu di dalam memastikan setiap bilik clean room beroperasi mengikut satu tahap
kualiti dan standard yang sama serta dikelaskan dengan betul , maka satu satandard
piawaian antarabangsa adalah diperlukan.

4. Sebelum standard ISO 14644 direkabentuk , Federal Standard 209E ( FS 209E ) adalah
merupakan satu-satunya standard piawaian yang diguna pakai di dalam mengklafikasikan
kelas sesuatu bilik clean room .

5. Diatas sebab-sebab keperluan yang lebih luas di mana ianya merangkumi klafikasi bilik
clean room , alatan-alatan yang diguna pakai dan lain-lain lagi maka beberapa industri
telah bekerjasama untuk menghasilkan satu piawaian yang baru bersama badan standard
antarabangsa ( ISO ).

6. ISO telah mengeluarkan 10 dokumen standard yang akan digunapakai , diantaranya ialah :

a. ISO 14644-1 ( Classfication of Air Cleanliness )

b. ISO 14644-2 ( Clean Room testing for Complyence )

c. ISO 14644-3 ( Method of Evaluating and measuring Clean Room and Associated
Controlled )

d. ISO 14644-4 ( Clean Room Design and Construction )

e. ISO 14644-5 ( Clean Room Operation )

f. ISO 14644-6 ( Term , Defination and Unit )

g. ISO 14644-7 ( Enhanced Clean Devices )

h. ISO 14644-8 ( Molecular Contamination )

i. ISO 14698-1 ( Control General Prinsiples )

A . ISO 14644-1 ( Classification of Air Cleanliness )

1. Iaitu satu dokumen standard yang digunakan bagi mengklafikasikan tahap pencemaran
udara di dalam bilik clean room.

2. Secara asasnya klafikasi tahap kebersihan yang dibina di dalam standard piawaian ISO
adalah sama dengan FS 209E.

3. Namun begitu , standard ISO menggunakan definasi pengkelasan yang baru , menggunakan
kaedah pengukuran di dalam unit metrik

4. ISO juga memperkenalkan dua kelas baru yang mempunyai tahap kebersihan yang lebih
baik daripada kelas 1( FS209E ) dan satu kelas lebih besar daripada kelas 100,000 ( FS
209E ).
5. Jadual di bawah menunjukkan perbandingan kelas diantara piawaian ISO 14644 dan FS 209E

ISO – 14644 -1 FS 209 E

ISO CLASS ENGLISH UNIT METRIC UNIT

3 1 M1.5

4 10 M2.5

5 100 M3.5

6 1000 M4.5

7 10,000 M5.5

8 100,000 M6.5

JADUAL 1 : JADUAL PERBANDINGAN IS0-14644-1 DAN FS209E DARI SEGI KELAS BILIK CLEAN ROOM

6. Bagi piawaian ISO ia memerlukan sample yang terbaru, terutama jika terdapat
penambahyan saiz bilik Clean Room.

7. Sebagai contoh , bagi mengesahkan satu bilik Clean Room kelas 10 ( FS 209E ) /
kelas 4 ( ISO 14644 ) , dengan keluasa bilik 250 kaki persegi ( 7.08meter
persegi ) pada klafikasi saiz partikel pencemaran 0.3um dan kadar kealiran udara
1cf / m..
 a. Bagi standard FS 209E.

- Ia memerlukan 10 lokasi sample dimana setiap sample bersaiz 1

cubis kaki persegi.

- Masa bagi satu sample diambil adalah selama satu minit.

- Secara keseluruhan tempoh sample adalah 510 saat dan 10 kali

permindahan alatan .

b. Bagi standard ISO 14644-1

- Ia memerlukan 3 lokasi sample dimana setiap sample bersaiz 1

cubic kaki persegi.

- Masa bagi satu sample diambil adalah selama 1 minit .

- Secara keseluruhannya tempoh sample adalah 180 saat dengan 3

kali permindahan alatan.

- Kadar perkiraan yang lebih tepat bagi ISO 14644 bagi setiap
klafikasi adalah merujuk kepada jadual dibawah.

BILANGAN SAIZ PARTIKEL PENCEMARAN PER CUBIC METER/SEGI

DALAM SAIZ MICROMETER
KELAS

0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5 um 1 um 5 um

ISO 1 10 2

ISO 2 100 24 10 4

ISO 3 1,000 237 102 35 8

ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83

ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29

ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293

ISO 7 352,000 83,200 2,930

ISO 8 3,520,000 832,000 29,300

ISO 9 35,200,000 8,320,000 293,000

 JADUAL 2 : JADUAL SAIZ PARTIKEL PENCEMARAN DAN BILANGAN PARTIKEL YANG DI
BENARKAN UNTUK SETIAP KELAS ISO 14644

B. ISO 14644-2 ( Clean Room Testing for Complience )

1. Dokumen ini menerangkan keperluan dan jangka masa pengujian ke atas bilik Clean Room
bagi memastikan ianya mematuhi standard kelas bagi piawaian ISO 14644-1.

2. Di dalam dokumen ini, ia menerangkan jenis-jenis pengujian yang perlu dilakukan dan
jangkamasa / tempoh pengujian-pengujian tersebut perlu dilakukan .

3. Jadual dibawah menerangkan pengujian-pengujian yang wajib dilakukan dan pengujian lain
yang perlu dilaksanakan.

Jadual Pengujian Untuk Mamastikan Piawaian Berterusan Bagi Setiap Kelas Bilik
Clean Room ( Wajib Dilakukan Pada Setiap Tempoh Masa Yang Ditetapkan )

Jangkamasa
Maksimum
Parameter Pengujian Kelas Prosedur Pengujian
Diantara
Pengujian

Pengujian Bilangan 1, 2, 3, 4, 5 6 Bulan

Partikel Pencemaran
ISO 14644-1 Annex A
dan Tahap
Kebersihan Udara 6, 7, 8, 9 12 Bulan

Pengujian Perbezaan
Semua Kelas 12 Bulan ISO 14644-1 Annex B5
Tekanan Udara

Pengujian Tahap
Semua Kelas 12 Bulan ISO 14644-1 Annex B4
Aliran Udara

Jadual Pengujian Lain Bagi Setiap Kelas Bilik Clean Room ( Tidak wajib , tetapi
perlu bagi memastikan tahap kualiti bilik clean room sentiasa bersih )

Jangkamasa
Maksimum
Parameter Pengujian Kelas Prosedur Pengujian
Diantara
Pengujian
Pemasangan Penapis
ISO 14644-3 Annex B6
Kebocoran Semua Kelas 24 Bulan

Pemulihan Tahap
Semua Kelas 24 Bulan ISO 14644-3 Annex B4
Kebersihan Udara
 Pemerhatian
Semua Kelas 24 Bulan ISO 14644-3 Annex B7
Peredaran Udara

SENARAI DOKUMEN-DOKUMEN LAIN BAGI ISO 14644

C. ISO 14644-3 ( Method of Evaluating and Measuring Clean Room and Associated
Controlled )

- Kaedah penilaian dan pengukuran bilik Clean Room.

- Kawalan-kawalan yang berkaitan dengan pembikinan / pembinaan bilik Clean Room.

D. ISO 14644-4 ( Clean Room Design and Construction )

- Berkaitan dengan rekabentuk bilik Clean Room .

- Berkaitan dengan pembikinan / pembinaan bilik Clean Room.

E. ISO 14644-5 ( Clean Room Operation )

- Berkaitan dengan setiap operasi-operasi di dalam bilik Clean Room .

- Diantaranya ialah seperti kaedah memasuki Clean Room , peralatan-peralatan yang
digunakan , pekerja , kaedah latihan, pakaian , isu fasiliti , penyelenggaraan , pembersihan
, pemerhatian dan kegagalan system.

F. ISO 14644-6 ( Term, Defination and Unit )

- Merupakan dokumen rujukan bagi setiap istilah-istilah serta definasi yang berkaitan dengan
bilik Clean Room.
- Dokumen ini juga menerangkan unit-unit pengukuran yang digunakan di dalam semua
standard piawaian ISO 14644.

G. ISO 14644-7 ( Enhanced Clean Device )

- Dokumen yang memfokuskan satu ruang berasingan yang bersih termasuk kaedah
rekabentuk , pembinaan dan operasinya .

H. ISO 14644-8 ( Molecular Comtaimination )

- Satu dokumen yang merangkumi kaedah-kaedah pengukuran molekul pencemaran di dalam
kawasan bilik Clean Room.

I. ISO 14698-1 ( Control General Principles )

- Menerangkan prinsip asas serta metadologi yang digunakan bagi mengawal dan menyelia
kesan pencemaran di mana teknologi Clean Room di aplikasikan.