Machine Translated by Google
cảm biến
Liên lạc
Thiết kế và phân tích dòng điện xoáy kích thước nhỏ
Cảm biến thuyên
*
Sheng-Ching Wang
Trích dẫn: Wang, S.-C.; Xie, B.-R.;
Huang, S.-M. Thiết kế và phân tích cảm biến
dịch chuyển dòng xoáy kích thước nhỏ. Cảm
biến 2022, 22, 7444. https://doi.org/10.3390/
s22197444
Biên tập học thuật: Tomasz Starecki
và Piotr Z. Wieczorek
Nhận: ngày 22 tháng 8 năm 2022
Chấp nhận: ngày 28 tháng 9 năm 2022
Đã xuất bản: 30 tháng 9 năm 2022
Ghi chú của nhà xuất bản: MDPI giữ thái độ trung
lập đối với các khiếu nại về quyền tài phán trong
các bản đồ đã xuất bản và mối quan hệ với thể chế
iation.
Bản quyền: © 2022 thuộc về các tác giả.
Người được cấp phép MDPI, Basel, Thụy Sĩ.
Bài viết này là một bài báo truy cập mở
phân phối theo các điều khoản và
điều kiện của Creative Commons
Giấy phép Ghi công (CC BY) (https://
creativecommons.org/licenses/by/
4.0/).
Cảm biến 2022, 22, 7444. https://doi.org/10.3390/s22197444
,Bo-Ren Xie và San-Ming Huang
Khoa Cơ khí, Đại học Quốc gia United, Miaoli 360302, Đài Loan * Thư từ: lywang@nuu.edu.tw
Tóm tắt: Một phương pháp có hệ thống được sử dụng để thiết kế và phân tích cảm biến dịch
chuyển dòng điện xoáy (EC) kích thước nhỏ. Các mô phỏng được thực hiện đầu tiên để xác định
cấu trúc và kích thước cuộn dây tối ưu của cảm biến. Sau đó, một phương pháp khớp tuyến tính
được phát triển để chuyển đổi tín hiệu dịch chuyển AC của cảm biến thành tín hiệu DC. Cuối
cùng, một phương pháp bù được đề xuất để giảm thiểu độ lệch nhiệt độ của cảm biến EC dưới
các nhiệt độ làm việc khác nhau. Kết quả thử nghiệm cho thấy cảm biến được đề xuất có độ nhạy
xấp xỉ 3 µm, dải nhiệt độ làm việc là 25–55 C và độ tuyến tính là ±1,025%.
Từ khóa: cảm biến dịch chuyển dòng xoáy; khớp nối tuyến tính; sự cân bằng nhiệt độ
1. Giới thiệu
Thuật ngữ “dòng điện xoáy” dùng để chỉ dòng điện được tạo ra trong một dây dẫn
kim loại bởi một từ trường biến thiên theo thời gian gần đó. Dòng điện xoáy có nhiều
ứng dụng thực tế trong công nghiệp, bao gồm cảm biến vị trí, kiểm tra không phá hủy,
động cơ cảm ứng, v.v. [1,2]. Do đó, việc thiết kế và phân tích các cảm biến vị trí
dòng điện xoáy đã thu hút được sự chú ý đáng kể trong tài liệu [3,4]. Nhiều nghiên
cứu đã tập trung vào các nguồn tổn thất dòng điện xoáy khác nhau trong cảm biến dòng
điện xoáy (EC) và đã khám phá tác động của tổn thất không mong muốn đối với độ nhạy
của thiết bị [5,6]. Koibuchi và cộng sự. [7] phát hiện ra rằng hiệu suất của cảm biến
EC đặc biệt nhạy cảm với tổn thất dòng điện xoáy do vỏ cảm biến tạo ra. Tuy nhiên,
kết quả mô phỏng phần tử hữu hạn (FE) cho thấy tổn hao vỏ có thể giảm 14,24% thông
qua che chắn thích hợp các thành phần từ tính của cảm biến. Vương và cộng sự. [8]
đo độ chuẩn hóa của dây dẫn không từ tính bằng đồng (Cu), nhôm (Al), thép không gỉ
(SS) và titan (Ti) và cho thấy độ nhạy của cảm biến EC chủ yếu là do sự khác biệt về
độ dẫn điện gây ra bởi các vật liệu khác nhau. Nghiên cứu cũng chỉ ra rằng ở tần số
cao 10 MHz, điện trở dễ bị ảnh hưởng bởi nhiệt và khó thực hiện bù nhiệt độ. Hơn
nữa, người ta đã chứng minh rằng hiệu suất cảm biến được cải thiện với cả độ dẫn
điện ngày càng tăng và tần số cao hơn.
Tín hiệu đầu ra của cảm biến dịch chuyển EC lý tưởng nhất phải thay đổi tuyến
tính theo khoảng cách phát hiện. Tuy nhiên, trường hợp này hiếm khi xảy ra và hầu
hết các cảm biến thể hiện đầu ra phi tuyến tính , thay đổi theo vật liệu và kích
thước của mục tiêu cũng như thiết kế và cấu trúc của cảm biến. Mizuno và cộng sự.
[9] đã kiểm tra tác động của hai vật liệu cuộn dây cảm biến (dây đồng và dây đồng mạ
từ tính) trên phạm vi tuyến tính của cảm biến dịch chuyển EC. Kết quả cho thấy dây mạ
từ không chỉ cải thiện độ tuyến tính của đầu ra cảm biến mà còn tăng độ nhạy lên
khoảng 1,5 lần so với mức đạt được khi sử dụng cuộn dây đồng truyền thống. Vương và
cộng sự. [10] đã đề xuất một phương pháp bù phi tuyến cho các cảm biến EC dựa trên
máy vectơ hỗ trợ (SVM), trong đó tham số dịch chuyển cài đặt được lấy làm đầu vào và
tham số điện áp được lấy làm đầu ra.
Các cảm biến dòng điện xoáy khai thác thực tế là dòng điện xoay chiều chạy qua cuộn
dây dẫn điện tạo ra một từ trường xoay chiều, từ đó tạo ra một dòng điện trong một cuộn dây.
https://www.mdpi.com/journal/sensors
 2 trên 11
Machine Translated by Google
Cảm biến 2022, 22, x ĐỂ NGƯỜI ĐÁNH GIÁ

Các cảm biến dòng điện xoáy khai thác thực tế là dòng điện xoay chiều chạy qua một
Cảm biến 2022, 22, 7444 2 trên 10
cuộn dây ống dẫn tạo ra một từ trường xoay chiều, từ đó tạo ra một dòng điện trong một dây dẫn kim loại gần đó. Tuy

nhiên, khi nhiệt độ môi trường tăng lên, điện trở của cuộn dây tăng lên và do đó cường độ dòng điện cảm ứng giảm.

Kết quả là, dây dẫn kim loại gần đó. Tuy nhiên, khi nhiệt độ môi trường tăng lên, cần có các phương pháp hiệu quả

về điện trở để bù cho hiệu ứng trôi nhiệt để đảm bảo cuộn dây tăng và do đó dòng điện cảm ứng giảm. Kết quả là, độ

tin cậy hiệu quả của các phép đo cảm biến. Nhiều sơ đồ bù nhiệt độ có các phương pháp bù hiệu ứng trôi nhiệt được

yêu cầu để đảm bảo độ tin cậy đã được đề xuất [11,12]. Wang và Fang [13] đã đề xuất một phương pháp để giảm độ trôi

nhiệt của cảm biến dịch chuyển EC xuống hai bậc độ lớn bằng cách tách im của các phép đo cảm biến. Nhiều sơ đồ bù

nhiệt độ đã được đề xuất [11,12]. Wang và Fang [13] đã đề xuất một phương pháp để giảm độ trôi nhiệt của một bước

của cuộn dây cảm biến thành hai đại lượng vật lý, cụ thể là điện trở và cảm biến dịch chuyển EC theo hai bậc độ lớn

bằng cách tách trở kháng của điện cảm. Sự thay đổi điện trở của cuộn dây dưới các nhiệt độ khác nhau khi đó đã cảm

nhận cuộn dây thành hai đại lượng vật lý, đó là điện trở và độ tự cảm. Được sử dụng để hiệu chỉnh ảnh hưởng của

nhiệt độ lên điện cảm. Các kết quả thu được về sự thay đổi điện trở của cuộn dây dưới các nhiệt độ khác nhau sau đó

được sử dụng để hiệu chuẩn bằng thiết bị nguyên mẫu cho thấy phương pháp đề xuất đã giảm độ trôi nhiệt do ảnh hưởng

của nhiệt độ lên điện cảm. Kết quả thu được bằng cách sử dụng nguyên mẫu của cảm biến chỉ 2,6 nm/°C. Trịnh và cộng

sự. [14] bù cho độ lệch nhiệt độ của thiết bị cho thấy rằng phương pháp được đề xuất đã giảm độ lệch nhiệt của cảm

biến xuống chỉ còn tín hiệu đầu ra của cảm biến EC sử dụng điện áp-nhiệt độ 2,6 nm/ C thu được từ thực nghiệm. Trịnh

và cộng sự. [14] đã bù cho độ lệch nhiệt độ của tín hiệu đầu ra của phương trình hiệu chuẩn. Nó đã chỉ ra rằng
nhiệt
phương
đã chỉđộracó
pháp
rằng
nguồn
được
phương
gốc
đề từ
xuất
pháp
thực
đãđược
nghiệm.
kíchđề
hoạt
xuất
Tỷ nhiệt
lệcho
trôi
độ
phép
của
của
giảm
nó
cảmgiảm
tỷ
biến
lệtừtrôi
EC28,82%
bằng
nhiệt
cách
xuống
độsử
Các
0,9%
dụng
cảm
trong
phương
biếnphạm
dịch
trình
vichuyển
nhiệt
hiệuEC
độ
chuẩn
được
25~80
điện
sử °C.
dụng
áp-
rộng rãi trong toàn ngành hiện nay [15– từ 28,82% xuống 0,9% trong phạm vi nhiệt độ 25~80 C. 17]; Do đó, vấn
đề phát
rộng
triển
rãi các
trong
cảmtoàn
biếnngành
dịch hiện
chuyển
nayEC[15–17];
kích thước
vẫn là
nhỏmột
và mối
chi quan
phí thấp
tâm quan
Các cảm
trọng.
biếnTheo
dịchđó,
chuyển
nghiên
EC cứu
đượchiện
sử dụng
tại
thiết kế, phân tích và do đó, vấn đề phát triển cảm biến dịch chuyển EC kích thước nhỏ và chi phí thấp vẫn là đánh

Đầu
giá
kính
cảm
được
đó,
cảmtiên,
biến dịch
biến
× chỉ
nghiên chiềumô
cứu dịch
phỏng
chuyển
định.
hiện
EC chiđược
cao).
chuyển
tại
phí thấpthực
thiết kích
kế, EC
phânthước
chi hiện
với kích
phí
tích và
thướcđể
cần
đánhthấp chỉ xác
giáthiết
6 × 5 định
với
chiều để
cao kích cấu
mm2 (đường
x).đápthước
ứng trúc
kính là mốicuộn
hiệu 6 × dây
quan tâm
chỉ suất quanvà
5cảm vỏ Theo
mm2trọng).
biến
(đường
Khớp nối đường cong tuyến tính Trước tiên, mô phỏng được thực hiện để xác định cấu
trúc cuộn dây và cách tiếp cận kích thước vỏ sau đó được bắt nguồn để chuyển đổi tín
hiệu đầu ra AC của cảm biến thành tín hiệu DC. cần thiết để đáp ứng hiệu suất cảm biến
trình
vi
cách
được
tín
đểC.
hoạt
giảm
hiệu
chế
Tính
bày
chỉ
động
thiểu
tạo
DC.
để
định.
khảgiảm
từ
và
Cuối
thi
khả
40~55
mô
Cuối
thiểu
của
cùng,
năng
tả cùng,
°C.
đặc
nguyên
trôi
dẫn
độđiểm
Phương
một
lệch
xuất
nhiệt
mẫu
của
phương
nhiệt
để
thử
pháp
độ
đầu
chuyển
nghiệm
của
độ
ra
bù
pháp
không
phương
cảm
dựa
đổi
được
bùbiến
trên
tín
đổi
dựađề
pháp
EC
hiệu
dòng
của
trên
xuất.
trong
đề
đầu
đầu
điện
dòng
xuất
cách
ra
rakhả
phạm
điện
cảm
được
AC
tiếp
vi
thi
của
không
biến
làm
thể
cận
được
cảm
EC
việc
hiện
đổi
được
biến
trong
trình
được
40~55
bằng
thể
thành
phạm
bày
hiện bằng cách chế tạo và mô tả một nguyên mẫu thử nghiệm.

2. Lý thuyết về cảm biến dịch chuyển

EC
chuyển
2. LýECthuyết về cảm biến dịch
Hình 1 trình bày một sơ đồ minh họa đơn giản về quá trình cảm nhận dòng điện xoáy.
Hình
xoáy.1 trình bày một sơ đồ minh họa đơn giản về quá trình cảm nhận dòng điện
Khi một dòng điện xoay chiều I1 chạy qua cuộn dây dẫn điện, nó sẽ tạo ra một Khi một dòng điện
xoay
H1. Nếu
chiều
cuộn
I1 dây
chạynằm
quađủcuộn
gần dây
dây dẫn
dẫn điện,
kim loại,
nó sẽmột
tạotừratrường
một từ biến
trường
thiên,
biếnH1.
thiên
Nếu theo
cuộn thời
dây nằm
gian,
đủ gần dây dẫn kim loại, một từ trường ngược ngược, H2, được cảm ứng trong dây dẫn tuân theo
định
thay luật
đổi từ
Lenz.
thông
từ của
trường
cuộnH2kháng
xuấtnày
hiệnsau
trong
đó tạo
dâyra
dẫn
dòng
tuân
điện
theo
biến
định
thiên
luậttheo
Lenz.
thời
Sự gian,
thay đổi
I2,Sự
trong từ thông của cuộn kháng này sau đó tạo ra dòng điện biến thiên theo thời gian, I2, có độ
lớn với độ lớn phụ thuộc vào cường độ của từ trường, diện tích của nó phụ thuộc vào cường độ
của từ trường, diện tích của cuộn dây, tốc độ thay đổi của cuộn dây, tốc độ thay đổi của từ
thông và điện trở suất của dây dẫn. của từ thông và điện trở suất của dây dẫn.

Hình 1. Sơ đồ minh họa nguyên lý cảm biến EC. Hình 1. Sơ đồ minh họa nguyên lý cảm biến EC.

Độ sâu phân bố dòng điện trong dây dẫn được gọi là độ sâu vỏ và Độ sâu phân bố dòng điện trong dây

dẫn được gọi là độ sâu vỏ và thay đổi theo hàm của điện trở suất ρ của dây dẫn, độ từ thẩm µ của dây dẫn

thay
điện đổi
xoaynhư mộtnhư
chiều hàm sau:
của điện trở và
dây dẫn suất
tầnρ số
củagóc
dâyω dẫn, độ từđiện
của dòng cảm xoay
μ củachiều
dây dẫn
nhưvàsau:
tần số góc ω của dòng

δ = 2ρ
, (1)
ωµ
Machine Translated by Google ống dẫn. Do đó, các cảm biến EC tần số thấp rất phù hợp với các ứng dụng như phát
hiện khuyết tật bên trong, đo độ dày lớp phủ, v.v. Ngược lại, đối với tần số gular
cao, độ sâu của vỏ giảm và dòng điện xoáy được phân bố chủ yếu trên bề mặt của dây
dẫn. Do đó, các cảm biến như vậy phù hợp nhất để đo phản hồi
Cảm biến 2022, 22, 7444 3 trên 10
đổi giữa cảm biến và dây dẫn, và do đó chủ yếu được sử dụng cho mục đích đo độ lệch,
độ rung và độ lệch tâm chẳng hạn.
Nghiên cứu hiện tại tập trung vào thiết kế và phân tích một cảm biến EC, trong đó sự thay đổi trong phản hồi dòng điện xoáy được sử dụng để xác định

khoảng cách giữa các cảm biến Các cảm biến dòng điện xoáy có các lĩnh vực ứng dụng khác nhau tùy thuộc vào đầu tự do thiết kế và bề mặt của cảm biến. dây dẫn

kim loại. Về lý thuyết, cảm biến dịch chuyển EC có thể hạn chế dòng điện xoáy. Đối với tần số thấp, độ sâu của da tăng theo biểu diễn bằng cách sử dụng mô hình

mạch tương đương có độ tự cảm lẫn nhau, chẳng hạn như mô hình được thể hiện trong Công thức (1) và dẫn đến sự phân bố rộng của dòng điện xoáy trong dây dẫn.

Hình 2, trong đó phía sơ cấp tương ứng với cuộn dây cảm biến và phía thứ cấp. Do đó, cảm biến EC
tần số thấp rất phù hợp với các ứng dụng như phát hiện khuyết tật bên trong, đo độ dày lớp phủ, v.v.

tổng
Ngượcđiện
lại,ápđối
xung
vớiquanh
cạnh các
góc vòng
cao tương
trong Hình
ứng 2
với
được
dây cho
dẫn bởi
kim tần
loại.
số,Theo
độ sâu
địnhcủa
luật
vỏ thứ
giảmhai
và của
dòngKirchhoff,
điện
xoáy được phân bố chủ yếu trên bề mặt của dây dẫn.
= Do
11jđó, các cảm biến như vậy phù hợp nhất để đo sự
RI j+ LI
ω MIω U 1 , 11
thay đổi phản hồi (2) giữa cảm biến và dây dẫn, và do đó chủ yếu được sử dụng cho các mục đích đo
chuyển vị, độ rung và độ lệch tâm chẳng hạn. 0, RI j LI j MI + =
2 ω ω
22 thiết 22
Nghiên cứu hiện tại tập trung vào kế và phân tích một cảm biến EC, trong (3)
đó sự thay đổi trong phản hồi dòng điện xoáy được sử dụng để xác định khoảng cách
giữa cảm biến Trở kháng tương đương của phía sơ cấp do đó được định nghĩa là
đầu và
thểbề mặt của kim loại Nhạc trưởng. Về lý thuyết, một cảm biến dịch chuyển EC có
UM Mmạch
được biểu diễn bằng cách sử dụng mô hình [ tương đương điện cảm- lẫn nhau, ω 22
ω chẳng,hạn như mô hình trong 22
Z ==+
RR jLL
+ 2 1 2 22 + ω 12 2 22 + ] (4)
Hình 2, trong đó phía sơ cấp tôi
tương RL RL
1 22 22 ω cuộn dây cảm biếnω và phía thứ cấp tương
ứng với
ứng với
Con xungdây dẫncác
quanh kimvòng
loại. Theo
lặp định
trong luật
Hình 2 thứ
đượchai củaraKirchhoff,
đưa theo trìnhtổng
tự, điện áp Đối
Phương với
trình
cảm biến dịch chuyển EC, tần số góc AC, ω, thường cao.
(3) có thể được đơn giản hóa thành

I1m
2 2
R1 I1 +=+jωL1 U, MjωMI1
[ ω =-
],
(2)
ZR R +jL
12 2 (5)
1
l2 l22
R2 I2 + jωL2 I2 jωMI2 = 0, (3)

Hình 2. Mô hình mạch tương đương của cảm biến dịch chuyển EC. Hình 2. Mô hình mạch tương đương của cảm biến dịch chuyển EC.

Do đó,là
nghĩa trở kháng
Khi cảm tương
biến EC đương của phía
được thiết kế, sơ
các cấp
giá được định
trị của R1, L1 và ω được cố
định. Hơn nữa, điện trở trong R2 của dây dẫn rất nhỏ. Do đó, trở kháng tương đương
giảm xuống + jω[L1
ω2M2 L2 ( /). Nói cáchcủa ω2M2độU tự
khác, phía
cảmsơ cấp
tương
2 2
đương của Z = = R1 + R2 jM ωL (4)2 2 2
trực tiếp đến độ Rlớn
2 ],
của+ tín
ω2L2hiệu
2 + ω2L
đầu 2ra.
I1 Cụ R độ
đầuthể,
cảm2 biến
ảnhnhạy
hưởng
có 2
điện cảm cao hơn dẫn đến thay đổi trở kháng lớn hơn và độ phân giải cao hơn Đối với cảm biến dịch chuyển

EC, tần số góc AC, ω, thường cao. Conse độ nhạy vị trí. Sự thay đổi khoảng cách giữa cuộn dây và dây dẫn (về

cơ bản , phương trình (3) có thể được đơn giản hóa như sau này gọi là khoảng cách cảm biến) cũng dẫn đến

sự thay đổi độ tự cảm lẫn nhau M2 M2 M. + jω[L1 - ], Z = R1 + R2 2 L 2

2 (5)
L2
_

Khi cảm biến EC được thiết kế, các giá trị của R1, L1 và ω được cố định.
Hơn nữa, điện trở trong R2 của dây dẫn rất nhỏ. Do đó, trở kháng tương
đương của phía sơ cấp giảm xuống 2 tương
jω(M2/L
đương
2 ). Nói
của cách
đầu cảm
khác,
biến
độ có
tự ảnh
cảm
hưởng trực tiếp đến độ lớn của tín hiệu đầu ra. Đặc biệt, độ nhạy điện cảm
cao hơn dẫn đến thay đổi trở kháng lớn hơn và độ nhạy dịch chuyển cao hơn.
Sự thay đổi khoảng cách giữa cuộn dây và dây dẫn ( sau đây gọi là khoảng cách
cảm nhận) cũng dẫn đến sự thay đổi độ tự cảm M.

3. Thiết kế và phân tích cảm biến dịch chuyển EC

Cảm biến được đề xuất được thiết kế với dải điện áp đầu ra là 1~5 V, phạm vi đo
dịch chuyển là 0,1~0,6 mm, độ nhạy 1 µm, độ tuyến tính ±1%, a phạm vi nhiệt độ làm việc
là 25~55 C và độ trôi nhiệt cho phép là ±0,8 µm/ C. Ngoài ra, kích thước cảm biến
được thiết kế là 6 mm × 5 mm (đường kính × chiều cao). Cần lưu ý rằng một thiết kế
kích thước nhỏ của cảm biến EC là mục tiêu của nghiên cứu đề xuất này. Kết quả là các thông số k
Machine Translated by Google
3. Thiết kế và phân tích cảm biến dịch chuyển EC Cảm

biến được đề xuất được thiết kế với dải điện áp đầu ra là 1~5 V, phạm vi đo độ dịch
chuyển là 0,1~0,6 mm, độ nhạy 1 μm, độ tuyến tính ±1%, a
Cảm biến 2022, 22, 7444 4 trên 10
phạm vi nhiệt độ làm việc là 25 ~ 55 ° C và độ trôi nhiệt cho phép là ± 0,8 μm / ° C.
Ngoài ra, kích thước cảm biến được thiết kế là 6 mm × 5 mm (đường kính x chiều cao). Cần lưu
ý rằng một thiết kế kích thước nhỏ của cảm biến EC là mục tiêu của nghiên cứu đề xuất này. Do
đó,
các các cảmsốbiến
thông của được đề xuất
cảm biến đượckhác khôngkhông
đề xuất thể so
thểsánh với cảm
so sánh với biến thương
cảm biến mại. mại.
thương Bảng Bảng
1 so 1sánh
thông
số
củakỹcảm
thuật
biếncủa
EC cảm biến
được đề EC được
xuất với đề xuấtsốvới
thông kỹ thiết
thuật bị
củathương mại.bịsothương
một thiết sánh thông
mại. số kỹ thuật

Bảng 1. Thông số kỹ thuật của cảm biến dịch chuyển AEC PU-03A EC thương mại và cảm biến được đề xuất. Bảng 1. Thông số kỹ thuật của cảm biến dịch chuyển AEC PU-03A EC thương mại và cảm biến được đề xuất.

Cảm biến đề xuất Cảm PU-03A PU-03A

Thông số kỹ thuật
biến đềmmxuất
0,1~0,6 0,1~0,6 0~1
0~1 mm
mm 1
Phạm vi đo Phạm vi đo

Nhạy cảm
Nhạy cảm
mm 3 μm 3 µm
±1% ±1% 25~55
μm 1 µm
±1% ±1%
°C 25~55 C 20~180
mức độ tuyến tính °C
mức độ tuyến tính
20~180 C
Nhiệt độ làm việc
Nhiệt độ làm việc ±0,8 μm/°C ở
20~0 °C ±0,8 µm/ C ở 20~0
Biến đổi ±0,8 μm/°C C ±0,6 μm/°C ở 0~180 °C
Biến đổi ±0,8 μm/ C ϕ6 ±0,6
× 135µm/
mm C
φ9ở mm
0~180
× 135 Cmmϕ9 mm

Kích thước mm × 5 mm φ6 mm ×
Kích thước 5 mm

Cảm biến được đề xuất chủ yếu bao gồm một cuộn dây bằng đồng thau được quấn trên trục POM
và một Cảm biến được đề xuất chủ yếu bao gồm một cuộn dây bằng đồng thau được quấn trên
trục POM và vỏ nhôm. Quá trình thiết kế bắt đầu bằng việc thực hiện mô phỏng để nghiên cứu vỏ
nhôm. Quá trình thiết kế bắt đầu bằng việc thực hiện các mô phỏng để khảo sát ảnh hưởng của ba
thông số đến độ nhạy điện cảm của cuộn dây, cụ thể là ảnh hưởng của ba thông số đến độ nhạy
điện cảm của cuộn dây, cụ thể là đường kính trong của cuộn dây, số lớp cuộn dây của cuộn dây và
đường kính trong của cuộn dây, số lớp cuộn dây của cuộn dây và đường kính trong của eter của
vỏ nhôm. Khi thực hiện mô phỏng, vật liệu cuộn dây là vỏ nhôm. Khi thực hiện mô phỏng, vật liệu
cuộn dây là đồng thau, đồng thau, đường kính của cuộn dây đồng thau được đặt là 0,056 mm và
điện áp xoay chiều có đường kính 1,4 của cuộn dây đồng thau được đặt là 0,056 mm và điện áp
xoay chiều là 1,4 Vp -p was Vp-p was used as nguồn kích thích cho cuộn dây. dùng làm nguồn kích
thích cho cuộn dây.

Hình 3 cho thấy kết quả mô phỏng thu được đối với sự thay đổi của độ tự cảm Hình 3 cho
thấy
cách kết
phátquả
hiệnmô là
phỏng
một thu
hàm được
của đường
đối vớikínhsự trong
thay đổicủa của
cuộnđộdây.
tự cảm
Đầu của
vào cuộn
của cuộn
dây, dây,
với khoảng
với
khoảng cách phát hiện là một hàm của đường kính trong của cuộn dây. Độ tự cảm được tính bằng Δ
=giữa
bằng
Maxwell
trong
trong
Maxwell
vòng,
LN cách
R/
đường
Hình
đócó
70trong
với
Nsử
vòng.
một
3b,
là
kính
một
dụng
đó
số
biến
đối
Như
biến
N
cuộn
vòng
Ansys
là
với
đầu
hình
đầu
số
dây
dây
mỗi
từ
vào
vòng
3b,
vào
được
trong
trở
đường
làứng
là
dây
trong
đường
xem
cuộn
đường
với
kính
trong
2xét
mạch
mỗi
dây
kính
cuộn
kính
tăng
cuộn
dây
và
từ.
cuộn
dây
cuộn
Rlên,
dây
quấn
Việc
làđược
dây
và
dây
từ
độ
gồm
tính
bên
Rcảm
tự
bên
xem
là
5 trong.
cảm
toán
lớp,
trong
độ
trong.
xét,
tăng
tự
được
14độ
mạch
Chú
cảm
Lưu
vòng,
khi
tựý
thực
được
từ.
cảm
cuộn
ý 70
khoảng
rằng
Tính
hiện
tăng
tính
vòng.
dây
phần
cách
toán
bằng
khi
bằng
quấn
Như
mềm
ngày
khoảng
được
phần
gồm
thể
Lcuộn
càng
=5
mềm
thực
hiện
cách
N2/R,
lớp,
dây
Ansys
tăng
hiện
14
giữatăng
dây đầu lên.
cảm biến
tăngvà khi
dâyđường
dẫn.cảm
kính
Ngoài
ứngtrong
ra, ,đối
và dâyđịnh,
củadẫn.
với
cuộn
độmột
Ngoài
tự
dâykhoảng
cảm
tăng.
ra,tăng
đối
cách
lên
vớicảm
khi
một
biến
đường
khoảng
nhấtkính
cách
định,
trong
phát
đầuhiện
của
cảm cuộn
biến
nhất

Hình 3. (a) Bố trí cuộn dây có 5 lớp và (b) ảnh hưởng của đường kính cuộn dây bên trong trên Hình 3. (a) Bố trí cuộn dây có 5 lớp và (b) ảnh hưởng của độ dẫn đường

kính cuộn dây bên trong . trên điện cảm.

Hình 4 cho thấy ảnh hưởng của số lớp cuộn dây đến độ tự cảm Hình 4 cho thấy ảnh hưởng của
số lớp cuộn dây đến độ nhạy điện cảm của cảm biến, sử dụng phần mềm Ansys Maxwell. Hình 4a,b minh
họa hai độ nhạy điển hình của cảm biến, sử dụng phần mềm Ansys Maxwell. Hình 4a,b minh họa hai

cách sắp xếp cuộn dây điển hình với 5 lớp và 10 lớp tương ứng. Vì tổng số cuộn dây sắp xếp tương
ứng với 5 lớp và 10 lớp. Vì tổng số vòng và đường kính cuộn dây bên trong được cố định lần lượt
là 70 và 2 mm, nên chiều cao của sự sắp xếp cuộn dây (tức là số vòng) giảm khi số lớp tăng lên. Ví
dụ, với việc sử dụng 5 lớp cuộn dây, tổng số vòng bằng 14. Tuy nhiên, đối với 10 lớp, số vòng giảm
xuống còn 7. Như trong Hình 4c, độ nhạy điện cảm tăng theo số lớp . Nói cách khác, độ nhạy của
điện cảm cải thiện khi chiều cao cuộn dây giảm.
Machine Translated by Google
lần lượt và đường kính cuộn bên trong được cố định lần lượt là 70 và 2 mm, chiều
cao
mm, của
xếp
dây, vòng
(nghĩa
chiều
tổng làcuộn
cao
số vòng
số và
xếpđường
sắpvòng)
là giảm kính
14.
cuộn dây cuộn
khi (tức
số lớp bên
là sốtrong
tăng lên.lần
vòng) Ví lượt
giảm
dụ, được
vớivới lớpcốngày
số việc định
sử ở 5
dụng mức
càng 70cuộn
tăng.
lớp và
sắp2

Ví dụ, với việc sử dụng 5 lớp cuộn, tổng số vòng bằng 14. Tuy nhiên, đối với 10 lớp, số vòng giảm xuống còn 7. Như trong
Cảm biến 2022, 22, 7444 5 trên 10
Hình 4c, tuy nhiên, đối với 10 lớp, số vòng số vòng giảm xuống còn 7. Như được hiển thị trong Hình 4c, độ nhạy của điện cảm

tăng theo số lớp. Nói cách khác, độ nhạy điện cảm của cuộn cảm tăng theo số lớp. Nói cách khác, độ nhạy của cuộn cảm cải

thiện khi chiều cao cuộn dây giảm. độ nhạy cải thiện khi chiều cao cuộn dây giảm.

Hình 4. (a) Bố trí cuộn dây có 5 lớp, (b) Bố trí cuộn dây có 10 lớp, Hình 4. (a) Bố trí cuộn dây có 5
lớp,
lớp, (b) Bố trí
và (c) cuộn dâycủa
có 10 lớp
lớp, Hình 4. ( a) Bố cảm.
trí cuộn dây có 5 lớp, (b) bố trí cuộn dây có 10
điện cảm. và ảnh
(c) hưởng
ảnh hưởng số
của số lên
lớp độ
đếnnhạy điện
độ nhạy và (c)
của điện cảm.ảnh hưởng của số lớp đến độ nhạy của

Hình
5 thể5 hiện
thể hiện từ thông
từ thông của cuộn
của cuộn dây với
dây đối đối cuộn
với cuộn
dây bốdây bố 5trí
trí lớp5 vàlớp Hình
Hình 5 hiển
thị
Maxwell.
mềm từKhi
Maxwell.
Ansys thông
thựccủa
Maxwell.
Khi thực cuộn
hiện
Khihiện
cácdây
thực các
mô đối
hiện với
phỏng,
mô mô bố được
phỏng,
phỏng,
vỏ trí
vỏ vỏ cuộn
bọccho dây
14vàviên
là 5
14 đượclớpsử
viên
đạn vàdụng
chế
đạn 14
sử vòng
tạo bằng sử
dụng
phần phần
mềmdụng
nhôm Ansys
mềm phần
với Ansys
độ
dày
được
dẫn
dẫn được
giả 0,5
kim
định
giảmm.
loại
là
định
giảCon
thép
được
định
làlừa
hợp
thép
là
cho
kim
kim
thép
hợp
làloại
SCM435
được
kim
hợpgiảSCM435
kim
chế
và
định
SCM435
khoảng
tạovà
được
bằng
khoảng
và
cách
chế
khoảng
nhômphát
tạo
cách
cóbằng
cách
hiện
phát
độ dàynhôm
phát
được
hiện
0,5có
hiện
được
đặt
mm.
độđược
ởdày
Dây
đặt
0,40,5
dẫn
ở
đặt
mm.
0,4
mm.
kim
ởVìđược
mức
Dây
loại
ống
0,4
biến
tỷ
giảm
củalệmm.
cuộn
giảm
nhanh
suy
Như
dây
nhanh
giảm
hơn
thể
cảm
gần
được
hơn
hiện
biến
vỏmm.
hiển
trong
nhôm.
phân
Nhưthị
rã
Hình
Ngoài
được
nhanh
trong
5b,
ra,
hiển
hơn
Hình
độnhưtự
thị
ở5b,
thể
cảm
gần
trong
độ
hiện
tương
vỏtựnhôm.
Hình
cảm
trong
đương
5b,
tương
Hơn
Hình
độnữa,
của
tự
5c,
đương
cảm
cuộn
như
tỷ tương
lệ
của
trong
dâysuy
cuộn
cảmHình
đương
giảm
biến
cảm
5c,
nhanh gần vỏ nhôm. Ngoài ra, như trong Hình 5c, tỷ lệ suy
nhanh lên 85% đối với đường kính vỏ bên trong (dc) nhỏ hơn 2 độ tự cảm tăng nhanh giảm của điện cảm tăng
lên 85% đối với đường kính vỏ bên trong (dc) nhỏ hơn 2 tăng nhanh đến 85% đối với
đường
đối vớikính
2 < vỏ dc trong
< 4, và (dc)
cuốinhỏ hơntrở
cùng 2 mm,
nên nhưng
ổn địnhmm, ở apnhưng
mm, sau
nhưngđó sau
tăngđóchậmtănglên 98%đến
chậm
98%
<chọn
thước
và
kích
cảm
dc cho
vòng
biến
<lần 2
thước
của
4,
được<
EC
lượt
và dc
cảm
của
nhỏ,
cuối<
chọn
biến
là 4,
cảm và
đường
cùng
2là
EC
biến
mm, cuối
2nhỏ,
trở
mm,
kính
6 EC
mm, cùng
nên
bên
đường
nhỏ,
trong,
5ổn trở
trong
và
bên
địnhnên
kính,
70
đường
trong
99%
làm ổn
ở đường
mức
khi định
tham
kính,
xấpxấp ở
dckính
xỉ>
số ap
đường
xỉ99%
cho
4 99%
vỏ sau
mm.
khi
nguyên
trong
kính
khiđó tăng
Đểdcgiữ
dc
vỏ
và
> >
mẫu4bên
cho
số
4 chậm
mm.
cảmmm.
lớp
trong
kích đến
ĐểĐể
biến
và
giữ 98%
thước
và
giữ
vòng
EC.cho
sốchocho
kích2
đường
được
của
lớp
kính hộp bên trong, số lớp và số lượt được chọn lần lượt là 2 mm, 6 mm, 5 và 6 mm,
5nguyên
và 70 mẫu
làm cảm
thambiến
số cho
EC. nguyên mẫu cảm biến EC. 70, tương ứng, làm tham số cho

Hình 5. (a) Bố trí cuộn dây có 5 lớp, (b) từ thông, và (c) ảnh hưởng của đường kính trong
Hình 5. trí
của Bố
(a) vỏ (a) cuộn
đối Bố trí
với sự cuộn
dâysuy 5dây
có giảm có (b)
điện
lớp, 5 cảm.
lớp, (b) từ và
từ thông, thông, và (c)
(c) ảnh hiệu
hưởng ứng
của của vỏ
đường bêntrong
kính trongcủa
Hình
vỏ 5.
đối với sự
suy giảm điện cảm. đường kính trên sự suy giảm điện cảm.

4. Phương pháp bù nhiệt độ 4.

Phươngbù pháp
pháp chỉ nhiệt bùđộnhiệt độ
Nhiềusuất 4. Phương
nghiên
ra rằng hiệu của cứu
cảm đã
biến dịch chuyển EC rất quan trọng Nhiều
nghiên
chủ nhiệt
rất
phụ
biếnnghiên
yếu
nhiều
thuộc
cung
vào
độcứu
vào
cấp
cứu đã
nhiệt
được
nhiệt
cùng chỉ
đã chỉ
độ
yêu
một
độra
làm
ra
cầurằng
làm
đầu
rằng
việc
sao hiệu
việc
ra hiệu
[1,
bất
cho, suất của
[1,2,14,15].
2,14,15].
kể
suất
đối
nhiệt
với cảm
của độ
một
cảm
Theobiến
Theo
môi
độ
biến
đó,
đó,dịch
trường.
dịch
dịch
một
một chuyển
chuyển
số
chuyển
sốdạng
dạngEC
nhất
EC
của
sơphụ
đồthuộc
định,
phụ
Nhiều
thuộc
bù
sự
cảm

Trong
định, sơ đồ bù hiện tại được yêu cầu sao cho đối với một độ dịch chuyểnđộnhất
đó, cảm
trường.
Do biến
trong cung cứu
nghiên cấp hiện
cảm biến
tại, cung
cuộn cấp
dây cùng
đượcmộtmô đầu
hìnhrahóabấtnhư
kể một
nhiệt môi trở kết
mạch điện
hợp nối tiếp và ở cùng một đầu ra bất kể nhiệt độ môi trường.
Trong nghiên cứu hiện tại, cuộn dây được nghiên cứu, do đó, cuộn dây được mô
hình
thực
được
một hóa như một mạch điện trở vàthiết
độ tựkếcảm kết hợp nốidẫn
tiếp, và việc bù nhiệt độđộđược
điệnmạch
hiện
dòng hiện
thực
bằng điện
không
điện bằng
hiện
đổitrở
cách
khôngcách
bằng
sử vàsử
chạy
đổi
dụngcách
điện
quadụng
chạy sử
cảm
thiết
cuộn
quathiết
dụng
kếkết
dây
cuộn kế
hợp
dâymạch
mạch
đối nối
như
với
cho thể
tiếp
mạch
trong
tất hiện
tấtcả ,Hình
cảnhư
và
cáctrong
cáctrong
độ
6,
giá
giá do
đảm
trịHình
nhiệt
trịđó
bảo
củađược
6,
của độ,
đảm
Hình
bù mô
nhiệtvà
bảo
nhiệt
6, hình
bùđược
đảm
độ rằng
nhiệt
hóa
làm
bảo dòng
như
việc.
thực
rằng một

Trong
dòng
cuộn
nằm
nhiệt
và Hình
dùng
ởđiện,
dây
phía
độđể 6,
đối
làm
tải điện
trong
tải
với
việc.
và
dòng trở
tất
khi
dùng
Trong
điện
cả R3
điện
đểcácdùng
Hình
không
tải
trở
giá để
dòng
R4
6,
đổi.
trịđiều
nằm
điện
điện
của
Sau khiển
ở trở
phía
nhiệt
không
đó, dòng
R3tải
bộ
dùng
độ
đổi. điện,
khuếch
và
làm
để trong
Bộviệc.
dùng
điều
khuếch
đại
để khiển
Hình khi
Trong
tải
đại đó
dòng
6,
dòng
Cảm
khi
điệndòng
điện
biến
đó
điện,
trởđiện
điện
không
2022,
trong
R3trởkhông
dùng
đổi.
22,
R4
khiđể
x đổi
nằm
Sau
điện
ĐỂ
điều
ở chạy
đó,
KIẾM
phía
trở qua
khiển
bộĐƯỢC
R4
tải
6 trên 11
giữ cho VE của bóng bán dẫn PNP
khuếch
thực
một ổnhiện
định.
MCU,đạibằng
hoạt
như Nhiệt
phép
động
được độtạm
mô như
com
tả dừng
giữ
một sau
trongcho
tín đó
VE
phầnhiệu
được
củatheo
sau: bóng
thực
điện
bán
hiện
áp
dẫnbởi
đểPNP
hoạt
một
ổn MCU,
động
định.như
Việc
một
được
bùtín
nhiệt
mô hiệu
tả độ
trong
theo
sau phần
điện
đó được
sau:
áp để

Hình
Hình 6.
6. Sơ
Sơ đồ
đồ mạch
mạch điện
điện không
không đổi.
đổi.

Nếu hệ thống thỏa mãn β R3 ≥10R 1,

trong đó β là một hệ số, một dòng điện không đổi Ic có thể

được. Tham khảo Hình 6, điện áp V1 được định nghĩa là

V =
RVCC
1 ,
(6)
RR + 2
1

1
Machine Translated by Google

Cảm biến 2022, 22, 7444 6 trên 10

Hình 6. Sơ đồ mạch điện không đổi.

β R3 ≥10R ,
Nếu hệ thống thỏa mãn βR3 ≥ 10R1, trong đó β là một hệ số, thì có thể đạt được dòng điện không đổi Ic . Nếu hệ thống thỏa mãn trong
1
đó β là một hệ số, thì có thể đạt được dòng điện không đổi Ic . Tham khảo Hình 6, điện áp V1 được định nghĩa là thu được. Tham khảo Hình
6, điện áp V1 được định nghĩa là RVCC R1VCC

V1 =V1 = ,
1

+2 ,
(6) (6)

R1RR
+
1 R2

Điện áp V3 sau đó được lấy từ điện áp phân cực cố định VBE dưới dạng Điện áp V3 sau đó được lấy từ điện áp phân cực cố định VBE dưới dạng

V VV
= 1 ĐƯỢC , (7)
3
V3 = V1 VBE, (7)

IC hiện tại không đổi sau đó thu được là

IC hiện tại không đổi sau đó thu được là (
V3
==+ II
β ,
V3
Tôie
r3 1
) trước công nguyên (8)

TỨC LÀ = = (β + 1)IB = IC, (8)

R3

5. Thiết lập và kết quả thử nghiệm 5. Thiết

lập và kết quả thử nghiệm Hình 7 cho thấy
cấu trúc cuộn dây và quy trình lắp ráp cảm biến của pro Hình 7 cho thấy cấu trúc cuộn dây và quy trình
lắp ráp cảm biến của nguyên mẫu để loại đầu cảm biến. Vỏ và trục cuộn dây được sản xuất từ alumi của
đầu cảm biến. Vỏ và trục cuộn dây được sản xuất lần lượt từ nhôm và num và POM. Chiều dài của đầu cảm biến
được đặt ở mức 5 mm, trong khi POM tương ứng. Chiều dài của đầu cảm biến được đặt ở mức 5 mm, trong khi
đường kính ngoài và bên ngoài và bên trong của vỏ được đặt ở mức tương ứng là 6 mm và 5 mm. Đường kính
trong của vỏ lần lượt là 6 mm và 5 mm. Đường kính, đường kính và chiều dài của trục cuộn dây được đặt lần
lượt là 2 mm và 0,83 mm. Chiều dài của trục cuộn dây lần lượt là 2 mm và 0,83 mm. Cuộn dây được quấn Cuộn
dây được quấn bằng dây đồng có đường kính 0,056 mm và gồm 5 lớp sử dụng dây đồng có đường kính 0,056 mm và
gồm 5 lớp có 70 vòng với 70 vòng (Hình 7a). Tín hiệu đầu ra của cảm biến được truyền bằng cáp có (Hình 7a).
Tín hiệu đầu ra của cảm biến được truyền bằng một sợi cáp có đường kính 0,13 mm (Hình 7b). Cuối cùng, cuộn
dây được đưa vào vỏ nhôm 0,13 mm (Hình 7b). Cuối cùng, cuộn dây được đưa vào vỏ nhôm và cố định bằng epoxy
(Hình 7c) epoxy (Hình 7c).

Hình 7. Ảnh chụp cấu trúc cuộn dây và quy trình lắp ráp cảm biến: (a) cuộn dây quấn, Hình 7. Ảnh chụp cấu trúc cuộn dây cuộn dây

và
(c)quy
cụmtrình lắp ráp
cảm biến hoàncảm biến: (a) cuộn dây (b) kết nối dây, và (c) lắp ráp cảm biến hoàn chỉnh. cuộn dây, (b) kết nối dây và
chỉnh.

Cảm biến 2022, 22, x ĐỂ NGƯỜI ĐÁNH GIÁ 7 trên 11

Hình 8 cho thấy thiết lập thử nghiệm được sử dụng để đánh giá hiệu suất của nguyên mẫu Hình 8 cho thấy

thiết lập thử nghiệm được sử dụng để đánh giá hiệu suất của cảm biến loại EC. Như được hiển thị trong Hình
hệ
Cảm
8a,thống
biếnbiến
hệ
ECthống
nguyên
chủđược
EC yếu
chủ
mẫu,
bao
yếu
giao
một
gồm
bao
tiếp
mẫu
một
gồmvới
kim
bệ
mộtmột
thủ
loại
cảmbảng
công,
SCM435
biếnmạch
một
ECđược
nguyên
được
mẫu kim
gắn
gắn
mẫu
loại
trên
trên
ba SCM435
bệ
trục
một
di bệ
thủ
động,
được
cố
công.
định
nguyên
gắnNhư
và
trên
mẫu
một
được
bệđo
đồng
di
hiển
khoảng
động,
hồ thị
vạn
cách
bệ
trong
năng
bacảm
trục
(Sylvac_NANO
Hình
biến
cảm
8a,
.
805.5306) để đo cảm biến EC được gắn trên một bệ cố định và một đồng hồ vạn năng (Sylvac_NANO 805.5306) với
Cảm
(DesignSpark
hìnhbiến
lại EC
di được
động
PCB)(thiết
giao
và một
tiếp
bị
I nhúng
có
vớithể
một
NI
cấu
bảng
myRIO).
hình
mạch
lại(DesignSpark
di động /O (RIO)
PCB) và
thiết
một bị
thiết
(NI bị).
myRIOthiết
nhúngbịkhoảng
I/O (RIO)
cách có
phát
thểhiện.
cấu

Hình 8. Thiết lập thí nghiệm: (a) sơ đồ minh họa và (b) ảnh chụp. Hình 8. Thiết lập thí nghiệm: (a) sơ đồ minh họa và (b) ảnh chụp.

Kết quả phân tích tuyến

tính Hình 9 cho thấy mối tương quan giữa điện áp đầu ra của cảm biến EC và khoảng
cách phát hiện trong điều kiện nhiệt độ môi trường là 25 °C. Người ta thấy rằng điện
áp đầu ra (y) thay đổi tuyến tính với độ dịch chuyển (x) trong khoảng 0,1~0,6 mm khi y
= 8,2559x + 0,1517. Hơn nữa, hệ số tương quan có giá trị R2 = 0,9996. Như vậy, các
Machine Translated by Google

Cảm biến 2022, 22, 7444 7 trên 10

Hình 8. Thiết lập thí nghiệm: (a) sơ đồ minh họa và (b) ảnh chụp.

Kết quả phân tích tuyến

tính Kết quảtính
tuyến phânHình
tích9 cho thấy mối tương quan giữa điện áp đầu ra của cảm biến EC và

khoảng cách phát hiện trong điều kiện nhiệt độ môi trường là 25 °C. Có thể thấy rằng đầu ra
Hình
trong9 điều
cho thấy
kiện mối
nhiệt
tương
độ môi
quan
trường
giữa là
điện
25 áp C.
đầuCórathể
củathấy
cảm rằng
biến điện
EC vàápkhoảng
ra (y)cách
thayphát
đổi hiện
tuyến tính với độ dịch chuyển (x) trong phạm vi 0,1~0,6 mm vì y = điện áp đặt (y) thay đổi
tuyến tính với độ dịch chuyển (x) trong phạm vi 0,1~0,6 mm bằng 8,2559x + 0,1517. Hơn nữa,
hệ số YY
(l e =Δ / FSquan
tương có ×,
. ) 100
tối đa
giá trị R2 = 0,9996. Do đó, y = 8,2559x + 0,1517. Hơn nữa, hệ số tương
quan có giá trị R2 = 0,9996. Do đó, tính tuyến tính của cảm biến được xác nhận. Độ tuyến
thể
tínhđược
có thể
đánhđược
giá đánh
là eLgiá
= (khi
Ymax/YF.S)
độ tuyến × tính
100,của
trong
cảm đó
biếnΔYmax
đượcvàxác
YF.S
nhận.
là độ
Độ lệch
tuyếntối
tính
đa có
và
tổng phạm vi trong đó Ymax và YF.S là độ lệch tối đa và tổng phạm vi của điện áp đầu ra ,
quan
Hình
trên hệ
9b giữa
của điện
kiểm cho
áp thấy
điện
trađầu
chira,mối
áp
tiết đầu
quanHình
tương
của rahệvà9a,
ứng. giữa
điện
Dựa độgiá
áp kiểm
trên trị
tuyếnđầutính
tìm
ra của
tra và
được
chikhoảng
cảmlà
tiết ±1,025%.
biếncách
Hình phát
là9a,
độ Hình
dònghiện
tuyến 9bqua
tương
tínhcho bốn
củathấy
ứng. thử
cảm
Dựamối được tìm
biến
nghiệm lặp lại. Độ lặp lại của khoảng cách phát hiện qua bốn thử nghiệm lặp lại. Độ
được
với
cảm
lặp biến
0,925%
thiểu
điện
lại
cho
là
(trong
của
áp
được
0,024
là đo
cảm
0,925%
đó
xác
được
V,biến
độ
định
Rmax
(trong
tối
phân
(được
là
=thiểu
0,037
giải
3
đóđánh
μm.
ΔRmax
là
của
Vgiá
0,024
làcảm
= giá
là
0,037
biến
V,
cảm
trị
độ
Vbiến
là
lớn
lệch).
eRdo=(được
nhất
đó
( Hơn
Rmax/YF.S)
được
làđánh
độ
nữa,
xác
lệch
giá
với
định
×là
tối
100)
điện
(là
đa).
e3
được
áp
RYμm,
Hơn
đo
=Δ cho
do
tối
×nữa,
)đó
là
/ ) 100
r tối đa FS.

Hình 9. Mối tương quan giữa điện áp đầu ra và khoảng cách phát hiện qua: (a) một lần thử nghiệm và (b) bốn lần Hình 9. Mối tương quan giữa điện áp đầu ra và khoảng cách phát hiện qua: (a) một lần thử nghiệm và (b) bốn lần thử nghiệm lặp

lại. các bài kiểm tra lặp đi lặp lại.

Hình 10 cho thấy mối tương quan giữa điện áp đầu ra và khoảng cách phát hiện Hình 10 cho thấy mối tương quan giữa điện áp đầu ra và khoảng cách

phát hiện dưới các nhiệt độ làm việc khác nhau trong khoảng 40~55 °C. Cần lưu ý rằng nhiệt độ dưới các nhiệt độ làm việc khác nhau trong khoảng 40~55 C.

Cần lưu ý rằng phạm vi nhiệt độ được chọn dựa trên thiết bị có sẵn khi thực hiện phạm vi đo nhiệt độ được chọn dựa trên thiết bị có sẵn khi thực hiện thí nghiệm.
Cảm biến 2022, 22, x ĐỂ NGƯỜI ĐÁNH GIÁ 8 trên 11
Người ta thấy rằng cả giá trị tuyệt đối của điện áp đầu ra và độ nhạy của các cảm biến . Người ta thấy rằng cả giá trị tuyệt đối của điện

áp đầu ra và độ nhạy của cảm biến đều giảm khi nhiệt độ tăng. giảm khi nhiệt độ tăng.

Hình 10. Mối tương quan giữa điện áp cảm ứng đầu ra và khoảng cách cảm ứng đối với nhiệt độ làm việc Hình 10. Mối tương quan giữa điện áp cảm ứng đầu ra

và khoảng cách cảm ứng đối với nhiệt độ làm việc trong khoảng 40~55 C. nhiệt độ trong khoảng 40~55 °C.

Để định lượng ảnh hưởng của nhiệt độ đến điện áp đầu ra, nhiệt Để định lượng
thiệu
sự
từng
ảnhthay
11
việc
được
hưởng
nhiệt
11
ở đổi
đây,
cho
giới
độ
của
của
thấy
vì
được
thiệu
nhiệt
điện
sự xem
ởthay
áp
độ
đây,
xét
DC
nhiệt
đến
đổi
là
vì
trong
điện
của
một
với
điệnáp
điện
Hình
hàm
khoảng
áp
đầucủa
DC
áp
11.
ra,
cách
là
nhiệt
nhiệt
Như
mộtcảm
được
với
độ.
hàm
tham
nhận
khoảng
Thông
của
hiển
sốđối
điện
nhiệt
số
thị,
cách
với
điện
ápđộ.
từng
điện
cảm
nhiệt
áp
Hình
nhận
nhiệt
áp
trong
được
nhiệt
cho
đối
độ
Hình
thấy
giới
với
làm
tăng
từ nhiệt độ làm việc được xem xét trong Hình 11. Như được hiển thị, điện áp nhiệt
khoảng
tăng khoảng
từ 2,48
2,48
V đến
V đến2,62
2,62V khi
V khi
nhiệt
nhiệtđộ độ
tăng
tăng
từ từ
40 40
°C lênC lên
55 °C.
55 C. Hơn nữa, trong

Ngoài ra, ở mỗi nhiệt độ làm việc, điện áp nhiệt tăng chậm khi khoảng cách cảm biến
đối với từng nhiệt độ làm việc, điện áp nhiệt tăng chậm khi khoảng cách cảm biến tiến
và
trong
tớisau
Hình0,4
11
Hình
đócho
mmduy
11
và
thấy
trì
cho
sauđộ
gần
thấy
đólệch
duy
như
độ nhiệt
trì
lệch
không
gần
nhiệt
độđổi.
như
bằng
độ
Nhìn
không
δvt
bằng
chung,
=đổi.
=9 9mV/
mV/°C.
Nhìn
cácC.kết
chung,
cácquả
kếtđộ
được
quả
rung
được
trình
đạt trình
tới
bày 0,4
trong
bàymm,

δ vt
Machine Translated by Google nhiệt độ làm việc được xem xét trong Hình 11. Như được hiển thị, điện áp nhiệt tăng từ khoảng 2,48 V lên 2,62 V

khi nhiệt độ tăng từ 40 °C lên 55 °C. Hơn nữa, đối với mỗi nhiệt độ làm việc, điện áp nhiệt tăng chậm khi khoảng

cách cảm biến đạt tới 0,4 mm, và sau đó duy trì gần như không đổi sau đó. Nhìn chung, các kết quả được trình bày

trong Hình 11 cho thấy độ lệch nhiệt độ bằng mV/°C.

Cảm biến 2022, 22, 7444 δ 98vttrên

10 =

Hình 11. Mối tương quan giữa điện áp nhiệt và khoảng cách cảm biến đối với nhiệt độ làm việc Hình 11. Mối tương quan giữa điện áp nhiệt và khoảng cách cảm biến đối với nhiệt độ làm việc trong

khoảng 40~55 °C. phạm vi 40~55 C.

Hình 12 cho thấy mối tương quan giữa độ lệch nhiệt độ và khoảng cách cảm biến Hình 12 cho thấy mối tương quan giữa độ lệch nhiệt độ và độ lệch

cảm biến khi không có bù nhiệt độ. Như đã chỉ ra, độ lệch nhiệt độ tối đa xảy ra khi không có bù nhiệt độ. Như được hiển thị, nhiệt độ tối đa xấp xỉ 18,5

Cảm biến 2022, 22, x ĐỂ NGƯỜI ĐÁNH GIÁ mV/ C, trong khi độ biến thiên trung bình là δoff = 14,2 mV/ C và độ lệch xấp xỉ 18,5 mV/°C, trong khi độ biến thiên trung bình là δoff = 9 mV
14,2 trên
/°C,11

và độ nhạy thu được từ độ dốc của các đường cong là δsen = 3 mV/ C. Cũng lưu ý rằng độ nhạy thu được từ độ dốc của các đường cong là δsen = 3 mV/°C.

Cũng cần lưu ý rằng tín hiệu điện áp thu được ở nhiệt độ 40 C được sử dụng cho mục đích bù. rằng tín hiệu điện áp thu được ở nhiệt độ 40 ° C được sử

dụng cho mục đích bù.

Hình 12. Mối tương quan giữa độ lệch nhiệt độ và khoảng cách cảm biến không bù nhiệt độ Hình 12. Mối tương quan giữa độ lệch nhiệt độ và khoảng cách cảm biến không bù

nhiệt độ. lương hưu.

Trong nghiên cứu này, tín hiệu điện áp thu được ở nhiệt độ 40 C
đượcđịnh
sử dụng
nghĩacho
là mục
Trong
đích
nghiên
bù. Cụ
cứuthể,
này,hệtínsố hiệu
hiệu điện
chỉnhápnhiệt
thu được
độ được
ở
nhiệt độ 40°C được sử dụng cho mục đích bù. Cụ thể, hệ số hiệu chỉnh
nhiệt độ được xác định là T = (Vt
đó Vt V40)δvt, )δ(9)
vàt V4040 là vt
, ( Δ=
điện áp đầuT ra
VV đo
(9)được
trongở
nhiệt
=ra,
được= độ
9 mV/ làm
ở9 nhiệt
C
mV việc
tương
/°Cđộ tbiến
làlàm
ứngvàviệc
làtrong
thiên
biến
t vàđó
của Vtđiện
thiên
nhiệtvà
củaV40
độ lần chiếu
ápnhiệt
tham
nhiệt lượt
độthu là chiếu
tham
40
đượcđiện
°C. áp
40 đầu
trong
Ngoài ra,ra
°C.
Hình đo
Ngoài
11.
δvt
δ vt
Bất kỳ tín hiệu cảm biến dịch chuyển đo được V điện áp nhiệt thu được trong Hình 11. Bất kỳ tín hiệu
cảm biến dịch chuyển V đo được nào sau đó có thể được chuyển đổi đơn giản thành điện áp bù nhiệt độ
tương ứng V sau đó có thể được chuyển đổi đơn giản thành điện áp bù nhiệt độ V' tương ứng như
sau : sau: V = V T × δo ff , (10)

bình
bù dịch
Sauchuyển,
khi bù dịch
tín hiệu VV′×(V40
chuyển,
làm Tviệc
điện Sau
=tín khi
Δ(10)
áp C_0m).
hiệu δnào
đầu ra điện
Do ,đều
thu
tắt
đó,
áp
được
giống
đầu
độ lệch
ởrabất
nhau
thu
độkỳ
ởđược
nhạy
nhiệt
0 mmtrung
ở độ
bất
kỳ công việc nào δsen thu được trong Hình 12 có thể được áp dụng để
đạtrađược
(V40°C_0m).
áp đầu
δsen
V40 C_0mm
thu
bùDo nhiệt
nhiệt
được
×
đó, Tđộ×cuối
( trong
điện
độ ing bù
đầunhiệt
δsen),
áp
Hình
cùng12
(11)
ra
V''
có cuối
độ(1
thể
là
lệch
VV cùng
Vđược
=Tđộ
V= ×bằng
nhạy
×
áp nhau
(1dụng
Δtrung TVtại
× +để bình
×đạt 0được
Vmm
)δsen) như
+ điện
tion

′
δ ) δ
′′

sen điện 40
Hình 13 cho thấy mối tương quan giữa 0 ra được bù sen
áp Cđầu
_mm nhiệt độ và khoảng
° × (Δ T× (11) ,
cách cảm biến đối với nhiệt độ làm việc trong khoảng 40~55 C. Như được hiển thị
phạm vi
trong
cách
khoảng
cảm
Hìnhbiến
cách
13 đối
cho
cảm với
thấy
biến
nhiệt
mối
0 ~ tương
1,0
độ làm
mm quan
và
việc
dải
giữa
trong
điện
đầuphạm
áprađầu
vi
bù ra
40
nhiệt
của
~ 55độ
điện
° Hình
C.áp
Như
13,
và được
khoảng
trong
hiển thị trong Hình 13, trong phạm vi khoảng cách cảm biến là 0~1,0 mm và phạm vi
điện áp đầu ra là 1,05~2,45 V, độ lệch nhiệt độ đã bù là 1,92 μm/°C (±0,96 μm/°C).

Hình 14 trình bày các kết quả tương ứng về độ lệch nhiệt độ với khoảng cách cảm
biến. Như được hiển thị, độ lệch nhiệt độ tối đa giảm từ 18,5 mV/°C mà không có
°
 δsen thu được trong Hình 12 có thể được áp dụng để đạt được điện áp đầu ra được
Machine Translated by Google
bù nhiệt độ cuối cùng V '' như

′ V40 °C
VV TΔ =×(1×+ δsen ) ×sen ),
T (× Δ δ
′′
0
_mm (11)

Cảm biến 2022, 22, 7444 Hình 13 cho thấy mối tương quan giữa điện áp đầu ra được bù nhiệt độ và khoảng cách cảm biến đối với nhiệt
9 trênđộ
10

làm việc trong khoảng 40~55 °C. Như được hiển thị trong Hình 13, trong phạm vi khoảng cách cảm biến là 0~1,0 mm và

phạm vi điện áp đầu ra là 1,05~2,45 V, độ lệch nhiệt độ đã bù là 1,92 μm/°C (±0,96 μm/°C). 1,05~2,45 V, độ lệch nhiệt

độ được bù là 1,92 µm/ C (±0,96 µm/ C). Hình 14 Hình 14 trình bày các kết quả tương ứng về độ lệch nhiệt độ với cảm

biến hiển thị các kết quả tương ứng về độ lệch nhiệt độ với khoảng cách cảm biến. Khi điệu. Như được hiển thị, độ

lệch nhiệt độ tối đa giảm từ 18,5 mV/°C mà không hiển thị, độ lệch nhiệt độ tối đa giảm từ 18,5 mV/ C mà không có

bù nhiệt độ (Hình 12) xuống chỉ còn 2,7 mV/°C. bù (Hình 12) chỉ còn 2,7 mV/ C.

Cảm biến 2022, 22, x ĐỂ NGƯỜI ĐÁNH GIÁ 10 trên 11

Hình 13. Tương quan giữa điện áp đầu ra và khoảng cách phát hiện theo nhiệt độ com Hình 13. Tương quan giữa điện áp đầu ra và khoảng cách phát hiện sau bù

nhiệt độ. lương hưu.

Hình 14. Mối tương quan giữa độ lệch nhiệt độ và khoảng cách cảm nhận sau nhiệt độ Hình 14. Mối tương quan giữa độ lệch nhiệt độ và khoảng cách cảm biến

sau bù nhiệt độ. đền bù.

6. Kết luận

6. Kết luận
Nghiên cứu này đã sử dụng một cách tiếp cận có hệ thống để tiến hành thiết kế và
phân tích cảm biến dịch chuyển EC. Mô phỏng phần tử hữu hạn (FE) đã được thực hiện
để Nghiên cứu này đã sử dụng một cách tiếp cận có hệ thống để tiến hành thiết kế và
xác định qua đường hậu môn cấu trúc cuộn dây tối ưu và hình dạng vỏ cảm biến. Ysis
tuyến tính của cảm biến dịch chuyển EC. Mô phỏng phần tử hữu hạn (FE) đã được thực
hiện, phương pháp tiếp cận phù hợp sau đó được sử dụng để chuyển đổi tín hiệu đầu
ra AC của cảm biến thành DC để xác định cấu trúc cuộn dây tối ưu và hình dạng vỏ cảm
biến. Một tín hiệu dòng. Cuối cùng, một phương pháp bù nhiệt độ dựa trên phương
pháp lắp ar mạch dòng điện không đổi sau đó đã được sử dụng để chuyển đổi tín hiệu
đầu ra AC của cảm biến thành a và tham số hệ số nhiệt độ đã được sử dụng để giảm
thiểu
định. độ
trên cảm
Mạchlệch
kếtnhiệt
biến EC độphỏng
quảdòng
mô của tín
điện và hiệu
không đổiDC.
tham sốvàhệCuối
đểsốđảm cùng,
bảo một
nhiệt độ
đápđã phương
ứngđược
cảm sửpháp
biến bù để
dụng nhiệt
tuyến giảm
tínhđộthiểu
dựa
và ổn
nhiệt độ đã chỉ ra rằng đối với thông số kỹ thuật cảm biến đã cho (xem Bảng 1), độ
định.
lệch
và kếtcuộn
Cấu
quảtrúc
dây
đã chỉ
tối
mô phỏng
ra
ưu rằng
của
baocảm
đối
gồmbiến
với
5 lớp
thông
EC và sốđể
70 kỹđảm
lượt.
thuật
bảoHơn
đáp
cảm nữa,
ứng
biếncảm
đường
nhấtbiến
định
kính
tuyến
(xem
ngoài
tính
Bảng
tối và1),
ưu
ổn
độ dày cuộn dây tối ưu của vỏ lần lượt là 6 mm và 1 mm. Kết quả thí nghiệm có kết
phạm
Ngoài
trong
đồ
cấucảm
tính
trong
phạm
sử dụng
dây
vi
và
vi
điều
ra,
phạm
điều
biến
dịch
quấn
độ
dịch
nhiệt
với
kiện
vi
dày
kiện
dịch
chuyển
gồm
chuyển
việc
nhiệt
độ
của
nhiệt
nhiệt
chuyển
được
5 sử
vỏ
lớp
0,1–0,6
độ
0,1–0,6
độ
dụng
lần
độ
đề
làm
vàEC
môi
môi
xuất
lượt
70
sơ
việc
kích
mm,
mm,
trường
vòng
trường
đồ
bù
với
là
40–55
thước
với
bù
cho
dây.
6độ
độ
xung
nhiệt
mm
xung
độ
nhỏ
nhạy
nhạy
Ngoài
Cvà
lệch
với
quanh
quanh
độ
,133cảm
mm.
ra,
tuyến
được
µm
nhiệt
μm(25
(25
biến
và
Kết
và
đường
đề
tính
độ
°C),
cảm
quả
C),
có
xuất,
tuyến
là
kính
biến
±1,025%.
khả
thử
cảm
cảm
±0,96
đáp
năng
tính
nghiệm
ngoài
biến
có
biến
µm/
khả
ứng
Ngoài
hoạt
đã
đạt
đạt
tối
đáp
năng
tuyến
C.
chỉ
được
được
động
ưu
Nói
ra,
ứng
ra
hoạt
tính
cho
chung,
với
±
trong
rằng
trong
tuyến
1,025%.
động
thấy
trong
việc
dải
sơ
nhiệt độ làm việc 40– được thiết kế và chế tạo trong nghiên cứu này cung cấp phép đo
ổn định và chính xác 55 °C với độ lệch nhiệt độ ±0,96 μm/°C.

Nói chung, hiệu suất dịch chuyển EC kích thước nhỏ trong điều kiện vận hành thực tế,
cứu
và do
vết hiện
nứt
đóbề
tại
cómặt,
nhiều
cungrung
cấp
cảmđộng
các
biếnứng
kết
thực
dụng
cấu,
tế đo
tiềm
v.v.
chính
năngxác
trongđược
điều
và thiết
ổn
kiện
định
vận
kế ,và
hành
chẳng
chếthực
tạo
hạn tế,
trong
nhưvàkiểm
nghiên
do đó
tra
có nhiều ứng dụng thực tế tiềm năng, chẳng hạn như kiểm tra vết nứt bề mặt, rung cấu
trúc, v.v.

Đóng góp của tác giả: Khái niệm hóa, phương pháp luận, S.-CW; phần mềm, xác nhận, phân tích chính thức, điều tra, tài

nguyên, quản lý dữ liệu, B.-RX; viết—chuẩn bị bản thảo gốc, viết—đánh giá và chỉnh sửa, trực quan hóa, S.-CW, B.-RX; giám

sát, quản lý dự án, mua tài trợ, S.-MH Tất cả các tác giả đã đọc và đồng ý với phiên bản đã xuất bản của bản thảo.

Fundin: Nghiên cứu này không nhận được tài trợ từ bên ngoài.
Machine Translated by Google

Cảm biến 2022, 22, 7444 10 trên 10

Đóng góp của tác giả: Khái niệm hóa, phương pháp luận, S.-CW; phần mềm, xác nhận, phân tích chính thức, điều tra, tài

nguyên, quản lý dữ liệu, B.-RX; viết—chuẩn bị bản thảo gốc, viết— đánh giá và chỉnh sửa, trực quan hóa, S.-CW và B.-RX;

giám sát, quản lý dự án, mua tài trợ, S.-MH Tất cả các tác giả đã đọc và đồng ý với phiên bản đã xuất bản của bản thảo.

Kinh phí: Nghiên cứu này không nhận được tài trợ từ bên ngoài.

Tuyên bố của Ủy ban Đánh giá Thể chế: Không áp dụng.

Tuyên bố đồng ý có hiểu biết: Không áp dụng.

Tuyên bố về tính khả dụng của dữ liệu: Không áp dụng.

Lời cảm ơn: Các tác giả xin chân thành cảm ơn sự hỗ trợ tài chính do Công ty Hiwin cung cấp cho nghiên cứu này.

Xung đột lợi ích: Các tác giả tuyên bố không có xung đột lợi ích.

Người giới thiệu

1. Kurose, H.; Miyagi, D.; Takahashi, N.; Uchida, N.; Kawanaka, K. Phân tích dòng xoáy 3-D của thiết bị gia nhiệt cảm ứng xem xét sự tỏa nhiệt, dẫn nhiệt và

sự phụ thuộc nhiệt độ của các đặc tính từ tính. IEEE Trans. Magn. 2009, 45, 1847–1850. [Tham khảo chéo]

2. Xue, X.; Đồng, Y.; Wu, X. Cảm biến dòng xoáy cảm ứng chuyển động để đo độ rung không hướng dẫn. IEEE Sens.J. 2019, 20,

735–744. [Tham khảo chéo]

3. Roach, SD Thiết kế và chế tạo cảm biến vị trí dòng điện xoáy. J. Sens.Technol. 1998, 15, 56–74.

4. Nabavi, ÔNG; Nihtianov, SN Các chiến lược thiết kế để đánh giá và đề xuất hệ thống cảm biến dịch chuyển dòng xoáy.
IEEE Sens.J. 2012, 12, 3346–3355. [Tham khảo chéo]
5. Thiên, X.; Chen, H.; Gao, W. Nghiên cứu thực nghiệm về vật liệu đo cảm biến dòng xoáy chuẩn hóa. Trong Kỷ yếu của Hội nghị Quốc tế lần thứ hai về Công

nghệ Điện toán Thông minh và Tự động hóa, Trường Sa, Trung Quốc, 10–11 tháng 10 năm 2009; Tập 2, trang 450–453.

6. Yên, Z.; Trương, Y.; Kan, T.; Lu, F.; Trương, K.; Bài hát, B.; Mi, CC Tối ưu hóa tần số của hệ thống truyền tải điện không dây dưới nước được kết hợp

lỏng lẻo có tính đến tổn thất dòng điện xoáy. IEEE Trans. Ấn Độ điện tử. 2018, 66, 3468–3476. [Tham khảo chéo]

7. Koibuchi, K.; Sawa, K.; Honma, T.; Hayashi, T.; Ueda, K.; Sasaki, H. Ước tính tổn thất và tăng cường tính chất cảm biến cho

cảm biến tiệm cận kiểu dòng điện xoáy. IEEE Trans. Magn. 2006, 42, 1447–1450. [Tham khảo chéo]

8. Vương, H.; Lưu, Y.; Lý, W.; Feng, Z. Thiết kế hệ thống cảm biến dịch chuyển dòng xoáy siêu ổn định và độ phân giải cao. Trong Kỷ yếu Hội nghị Thường niên

lần thứ 40 của Hiệp hội Điện tử Công nghiệp IEEE, Dallas, TX, Hoa Kỳ, ngày 29 tháng 10–1 tháng 11 năm 2014; trang 2333–2339.

9. Mizuno, T.; Enoki, S.; Hayashi, T.; Asahina, T.; Shinagawa, H. Mở rộng phạm vi tuyến tính của cảm biến dịch chuyển dòng xoáy

với dây mạ từ. IEEE Trans. Magn. 2007, 43, 543–548. [Tham khảo chéo]

10. Vương, K.; Tạ, Y.; Sun, L. Nghiên cứu bù phi tuyến cảm biến dòng xoáy dựa trên máy vector hỗ trợ. Trong Kỷ yếu của Hội thảo Quốc tế IEEE về Điện tử Công

nghiệp, Seoul, Hàn Quốc, ngày 5–8 tháng 7 năm 2009; trang 133–137.

11. Trịnh, S.; Vương, Y.; Ren, H. Bù nhiệt độ đồng thời và loại bỏ lỗi đồng bộ cho chuyển vị dọc trục

cảm biến sử dụng một đầu dò phụ trợ. IEEE Trans. Ấn Độ điện tử. 2016, 63, 3179–3186. [Tham khảo chéo]

12. Trịnh, S.; Lưu, X.; Trương, Y.; Hân, B.; Shi, Y.; Xie, J. Bù độ lệch nhiệt độ cho các đặc tính trễ hàm mũ của

cảm biến dịch chuyển dòng điện xoáy nhiệt độ cao. IEEE Sens. J. 2019, 19, 11041–11049. [Tham khảo chéo]

13. Vương, H.; Feng, Z. Cảm biến dịch chuyển dòng xoáy siêu ổn định và có độ nhạy cao sử dụng khả năng tự bù nhiệt độ. giác quan.

Hành động. Một vật lý. 2013, 203, 362–368. [Tham khảo chéo]

14. Trịnh, Y.; Ngô, J.; Yang, Y. Bù nhiệt độ của cảm biến dòng xoáy dựa trên mô hình nhiệt độ-điện áp. Trong Kỷ yếu của Đại hội Thế giới lần thứ 12 về Điều

khiển Thông minh và Tự động hóa (WCICA), Quế Lâm, Trung Quốc, 12–15 tháng 6 năm 2016; trang 438–441.

15. Ritou, M.; Garnier, S.; Furet, B.; Hascoet, JY Phương pháp tiếp cận góc kết hợp với mô hình cơ học để phát hiện gãy dụng cụ bằng cách

cảm biến dòng xoáy. Máy móc. hệ thống. Quá trình tín hiệu 2014, 44, 211–220. [Tham khảo chéo]

16. Zhao, Z.; Lưu, Z.; Lưu, Y.; Gao, Y. Nghiên cứu thử nghiệm cảm biến cảm ứng chịu nhiệt độ cao để đo độ hở của đầu lưỡi cắt. Cảm biến 2018, 19, 61.
[CrossRef] [PubMed]

17. Vương, K.; Trương, L.; Hân, B.; Chen, S. Phân tích và thử nghiệm cảm biến dịch chuyển dòng xoáy tự vi sai cho AMB

dùng trong bơm phân tử. IEEE Trans. nhạc cụ. Sởi. 2018, 67, 1815–1824. [Tham khảo chéo]