TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI

VIỆN CƠ KHÍ

BỘ MÔN CƠ KHÍ CHÍNH XÁC VÀ QUANG HỌC

****

BÀI TẬP LỚN

KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG VÀ CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

Đề tài: Thiết kế hệ chân không và công nghệ phủ

bề mặt trong chế tạo kính xây dựng

Giảng viên hướng dẫn: PGS.TS Nguyễn Thị Phương Mai

Nhóm sinh viên thực hiện: Nguyễn Văn Thành 20150930

Chu Quý Anh 20141982

Nguyễn Văn Thao 20163667

1
Mục Lục
PHẦN I-THIẾT KẾ HỆ CHÂN KHÔNG...............................................................................................4
I. Yêu cầu tính toán...........................................................................................................................4
II. Cơ sở tính toán...........................................................................................................................4
1. Lý thuyết rút khí trong kỹ thuật chân không..........................................................................4
2. Tính toán....................................................................................................................................6
3. Chọn bơm cơ học..........................................................................................................................6
4. Chọn bơm Turbo...........................................................................................................................9
5. Tính toán buồng...........................................................................................................................13
6. Nguyên lý làm việc.......................................................................................................................18
7. Sơ đồ điều khiển...........................................................................................................................18
PHẦN 2: PHỦ MÀNG MỎNG QUANG HỌC BỀ MẶT KÍNH XÂY DỰNG...................................20
2.1 Kính Low-E là gì............................................................................................................................20
2.2 Kính phủ mềm Low-E...............................................................................................................20
2.3 Ưu điểm của kính Low-e...............................................................................................................22
2.4 Tình toán chiều dày lớp phủ.........................................................................................................23
I. Quy trình công nghệ....................................................................................................................25
2. Hút chân không........................................................................................................................25
3. Gia nhiệt vật liệu phủ..............................................................................................................26
4. Làm sạch chi tiết phủ bằng bắn phá ion Ar+..........................................................................26
6. Chờ nguội và xả khí lấy sản phẩm..........................................................................................26
II. Chế tạo lớp phủ........................................................................................................................26
1. Sơ đồ gá đặt..............................................................................................................................26
III. Kiểm tra – đánh giá.................................................................................................................26
TÀI LIỆU THAM KHẢO.......................................................................................................................28

2
Lời Nói Đầu
Kỹ thuật chân không ngày nay gắn liền với nhiều lĩnh vực và đã trở thành một
bước trong quy trình công nghệ gia công của các chi tiết máy và sản phẩm công
nghiệp bao gồm cả cơ khí chính xác và máy công cụ.
Qua môn học Kỹ thuật chân không và công nghệ về mặt đã giúp chúng em tìm
hiểu, làm quen và tự thiết kệ một “ Hệ chân không và công nghệ phủ bề mặt kính
xây dựng ”.
Chúng em xin cảm ơn cô Nguyễn Thị Phương Mai đã nhiệt tình chỉ bảo giúp đỡ
chúng em hoàn thành bài báo cáo này. Bài cáo cáo còn những sai sót, chúng em rất
mong nhận được sự đóng góp của cô để bài báo cáo được hoàn chỉnh.
Chúng em xin chân thành cảm ơn!

3
PHẦN I-THIẾT KẾ HỆ CHÂN KHÔNG

I. Yêu cầu tính toán

- Thiết kế hệ chân không đạt áp suất 10-5 Torr.
- Kính xây dựng có khả năng cách nhiệt.
- Kích thước : Kính xây dựng 500 x 1000 x 0,5 m
II. Cơ sở tính toán
1. Lý thuyết rút khí trong kỹ thuật chân không
1.1. Các định luật của khí lý tưởng

- Khí lý tưởng: ở trạng thái này các phân tử kí hoàn toàn độc lập với nhau.
- Khí thực: giữa các phân tử khí có lực tương tác.
- Định luật Boyle – Mariotte đối với khí lý tưởng:
PV = const
Định luật này coi hệ là đẳng nhiệt. Nếu biết thể tích, theo phương trình trên ta
có thể xác định được áp suất của chất khí.
- Định luật Charles – Gay Lussac đối với khí lý tưởng.
- Định luật chung: Xét khí lý tưởng được đặc trưng bởi tính chất nhiệt động P-
0, V0, T0.

Biến đổi riêng biệt đầu tiên giữ cho áp suất không đổi, hệ được biểu diễn tại tọa
độ P1, V1, T1; sau đó giữ cho nhiệt độ của hệ không đổi, được biểu diễn tại tọa
độ P2, V2, T2 thì ta có:
P0V0/T0 = P2V2/T2
Hay PV/T = R0 là một hằng số.
- Mật độ phân tử : Mọi thể tích bằng nhau của chất khí ở cùng điều kiện về
nhiệt độ và áp suất, đều chứa cùng một số phân tử. Số phân tử trong 1 mol
số Avogadro NA = 6,023.1023
- Số phân tử trong một đơn vị thể tích :
n = (NA/R0) (P/T)
- Phương trình trạng thái của khí thực :

4
 [P + (A/V2)](V – b) = R0T

1.2. Chuyển động của các phân tử khí rút khí ra

 Động năng của các phân tử
- Trong khi các phân tử chuyển động, chúng va chạm với nhau và va chạm
vào thành bình.
- Động năng trung bình của các phần tử là như nhau đối với mọi loại khí và tỷ
lệ thuận với nhiệt độ tuyệt đối.
 Vận tốc phân tử
- Hai phân tử có vận tốc v1 và v2 va chạm với nhau, động năng tổng cộng
m(v12 + v22)/2 vẫn không thay đổi như trước khi va chạm, ngay cả khi v1 và
v2 thay đổi.
1.3. Áp suất và quãng đường tự do trung bình
 Quãng đường tự do trung bình
- Trong khi chuyển động các phân tử luôn va chạm với nhau. Khoảng cách
của một phân tử giữa 2 va chạm liên tiếp là quãng đường tự do của phân tử
đó. Do giá trị của khoảng cách này là một hàm số của vận tốc phân tử nên
thường sử dụng khái niệm quãng đường tự do trung bình λ: Đó là khoảng
cách trung bình của tất cả các phân tử di chuyển được giữa các va chạm liên
tiếp với mỗi phân tử, hoặc là giá trị trung bình của khoảng cách di chuyển
được giữa các va chạm liên tiếp của cùng một phân tử trong một đơn vị thời
gian.
1.4. Hiện tượng truyền trong trạng thái nhớt
 Độ nhớt chất khí
- Hệ số nhớt η là lực tiếp tuyến trên một đơn vị diện tích cho một đơn vị giảm
vận tốc theo khoảng cách.
 Hiện tượng khuếch tán chất khí
- Thí nghiệm đã chỉ ra rằng 2 chất khí cho vào cùng một bình sẽ khuếch tán
vào nhau cho đến khi nồng độ tương đối là như nhau ở mọi nơi trong bình.
1.5. Hiện tượng truyền trong trạng thái phân tử
 Trạng thái nhớt và trạng thái phân tử
- Ở áp suất thấp, khi quãng đường tự do trung bình của chất khí trở lên lớn so
với kích thước của buồng chân không, năng lượng truyền từ thành này sang

5
 thành kia không bao gồm các va chạm giữa các phân tử, do vậy nó không
còn là hàm của độ nhớt.
 Lực kéo phân tử
- Trong trạng thái nhớt, tất cả các va chạm đều được coi là đàn hồi, các phân
tử va chạm với bề mặt sẽ bị bật ra như quả bóng cao su. Ở áp suất thấp, các
kết quả thí nghiệm không chỉ mô tả được bằng hình ảnh này. Thí nghiệm đã
cho thấy hiện tượng mà chỉ có thể giải thích bằng hình ảnh: Phân tử “ngưng
tụ” lên bề mặt, ở lại đó trong một khoảng thời gian và sau đó “bốc hơi lại”
theo hướng hoàn toàn độc lập với hướng đã tới.
2. Tính toán
2.1. Buồng chân không
- Dựa vào yêu cầu tính toán ta chọn buồng chân không hình hộp chữ nhật có
kích thước:
 Chiều dài L = 3500 mm
 Chiều rộng B = 2000 mm
 Chiều cao H = 100 mm
Vậy thể tích buồng chân không là: Vb = L.B.H = 3,5.2.0,1 = 0,7 (m3 )
- Để đạt được áp suất 10-5 Torr ta cần thực hiện theo 2 giai đoạn:
Trước hết sử dụng bơm cơ học để đưa áp suất trong buồng chân không từ áp
suất khí quyển ( 760 Torr ) đến 10-2 Torr.
Khi không khí ở áp suất 10-3 – 10-5 Torr, các phân tử khí định xứ trên bề mặt,
quãng đường tự do trung bình bằng hoặc lớn hơn kích thước buồng chân không
ta thiết kế. Do đó ta cần sử dụng bơm Turbo để đưa áp suất xuống 10-5 Torr.
2.2. Tính chọn bơm
 Bơm cơ học
- Ta sử dụng bơm cơ học để đạt áp suất 10-2 Torr trong buồng chân không.
3. Chọn bơm cơ học
- Xác định tốc độ bơm cơ học:
- Chọn thời gian bơm là 30 phút
760 760
σ =ln =ln −2 =11,24
p 10

6
 V 0,7
S= . σ= .11,26=15,736 m 3
t 0,5

- Chọn bơm cơ học có tốc độ bơm có C ≥ 15,736 m3

Dựa theo điều kiện làm việc , tốc độ bơm chọn bơm chân không Busch R5 0025F

Hình 1. Thông số kỹ thuật bơm chân không Busch R5 0025F

7
 Hình 2. Bơm chân không Busch R5 0025F

Hình 3. Kích thước bơm chân không Busch R5 0025F

8
 Hình 4. Đường cong đặc tính bơm chân không Busch R5 0025F

4. Chọn bơm Turbo

- Xác định tốc độ bơm cơ học
- Chọn thời gian bơm là 5 phút
V Pv 700 10−2
S= . ln = . ln =14,5 l/s
t p 300 2. 10−5

Chọn bơm khuếch tán có tốc độ bơm có C ≥ 14,5 l/s

- Ta sử dụng bơm Turbo để đạt được áp suất 10-5 trong buồng chân không
Chọn bơm Turbo TG50F của hãng OSAKA với các thông số kỹ thuật:
- Tốc độ bơm S = 51 l/s (Khí N 2)
- Kích thước hút xả: CF63/KF16

9
Hình 5. Bơm Turbo TG50F

10
Hình 6. Thông số kỹ thuật bơm Turbo TG50

11
 Hình 7. Kích thước bơm
4.1 Tính toán đường ống
 Từ buồng chân không đến bơm Turbo và từ bơm Turbo đến bơm cơ học:
- Với kích thước đường ống hút/xả là : CF63/KF16
 Đường kính ống từ buồng chân không đến bơm Turbo là D1 = 66 (mm)
Chiều dài L1 = 30 (cm)
 Đường ống từ bơm Turbo đến bơm cơ học là D2 = 24 (mm)
Chiều dài L2 = 40 (cm)
 Từ buồng chân không đến bơm cơ học:
- Với kích thước đường ống hút/xả là : KF25
 Đường kính ống là : D3 = 40 (mm)
L3 = 100 (cm)
Xác định lại thời gian bơm cơ học :

12
 Tra toán đồ thời gian bơm hình 3.15/T174 – Kỹ thuật chân không và công nghệ
bề mặt – Nguyễn Thị Phương Mai, NXB Khoa học và Kỹ thuật (2014), ta được:
Thời gian bơm để áp suất từ 760 Torr xuống 10-2 Torr là t 1 ≈ 103 s=16 p 40 s
Xác định lại thời gian bơm Turbo :
Thời gian bơm để áp suất từ 10-2 Torr xuống 10-5 Torr : t=¿ 260s = 4p20s
Thời gian khởi động bơm là 1p 30s
 t 2=5 p 20 s
Tổnng thời gian bơm :
t = 16p20s + 4p20s = 20p40s

5. Tính toán buồng

- Tổng lưu lượng khí trong hệ chân không

13
QG = QL + QD + QP +QV ( [I] tr.147 )
QL : Rò rỉ
QD : Khí nhận được từ các vật liệu không ở dạng khí trong hệ .
QP : Thấm khí qua thành buồng chân không, cửa sổ.
QV :Khí do vật liệu thoát ra ( do vật liệu bị bay hơi và thoát, nhả khí ).
 Đánh giá khí nạp và các yêu cầu về bơm

Khí nạp là kết quả của một quá trình (ví dụ như làm khô bằng chân không, loại khí,
…) hoặc là sản phẩm của buồng chân không và các chi tiết (vật liệu) sử dụng.
Trong mọi trường hợp khí nạp là tổng của khí dư còn lại của không khí ban đầu,
hơi của vật liệu đang có mặt trong buồng chân không, rò khí, nhả khí và thấm khí
Áp suất sau cùng của buồng chân không biểu diễn bằng biểu thức:
PU =PL + PD + PP ( 3.11[I] tr.159)
QL QD QP
Với : PL = V ¿ τ; PD = V ¿ τ; PP = V ¿ τ

Toán đồ xác định tốc độ rò rỉ

14
 ∆( p.V ) R.T ∆m '
Q L= = =q l . L ¿
∆t M ∆t
Q1 L
Lại có : P L= .τ = q ' l . V .τ (3.13[I] tr160)
V

q’L - là tốc độ rò khí trên một đơn vị chiều dài của mặt bích
(Torr.lít/giây.cm), L là chu vi mặt bích (cm). Kết quả là :
Ql L
PL= V ¿ τ = q’L ¿ V ¿ τ
Sử dụng bơm nhanh ta chọn τ= 0,1
Với buồng chân không hình hộp có chiều dài L = 3,5 m và chiều cao H = 0,1
m chiều rộng B = 2 m. Mặt bích có tỷ số chiều cao trên thể tích H/V cực tiểu có
một mặt bích ở một trong hai đầu:
H H 1 1
= = =
V L.B. H B. L 7

Buồng chân không hình trụ có chiều dài L = 3,5 m và chiều cao H = 0,1 m chiều
rộng B = 2 m được rút khí bằng bơm nhanh τ = 0,1
Áp suất sau cùng được thiết kế, do rò khí pL=10-5 Torr. Đường nằm ngang đi qua
điểm đó cho thấy khí nạp do rò khí phải nhỏ hơn 10-1 Torr.lit/sec.cm. Giới hạn từ
bơm buồng này sẽ có tốc độ áp suất tăng ( do rò khí) là 5. 10-1 Torr/h
Tốc độ rò đòi hỏi trên một đơn vị chiều dài của mặt bích có được là:
qL' = 6.10-6 Torr.lit/sec.cm
Tốc độ rò này có thể thiết lập bằng mặt bích đàn hồi. Do mặt bích đòi hỏi chịu
nhiệt, nên chọn mặt bích dạng dây, độ rộng bề mặt giả thiết h= 8 mm khi đó qL=
8.10-3 ( Torr.lit/sec.cm), bề mặt gia công cần có độ nhám bề mặt A= 5.10-3 mm. Vật
liệu dây chọn là thép không gỉ ( stainless) khi đó lực tác dụng lên mặt bích Ph=
150 kg/cm. Mặt bích này hoàn toàn có thể đóng được bằng áp suất khí quyển nếu
vì vậy d = 4.Ph= 4. 100= 400 cm. Do mặt bích có đường kính 15 cm, nó phải làm
khít một cách cơ khí bởi lực 15 .150= 7069kg.
 Nhả Khí
- Khí nạp do nhả khí được biểu diễn bởi phương trình:

QD =qD s ( [I] tr.163)

15
- Trong đó, qD là tốc độ thải khí đặc trưng (Torr.lít/giây.cm2); s là diện tích bề
mặt nhả khí (cm2).
s
- Ta có: PD = qD V . τ

- Sử dụng bơm chậm ta chọn τ= 1( nhả khí)

- Làm cơ sở cho việc đánh giá, bề mặt nhả khí được coi là bằng bề mặt trong của
buồng chân không, hình dạng buồng là hình hộp
- hình hộp có chiều dài L = 3,5 m và chiều cao H = 0,1 m chiều rộng B = 2 m. Tỷ
số bề mặt trên thể tích trong trường hợp hình trụ 1 đầu hở:
s L . B .2+ L . H .2+B . H .2
=
V L. B . H
- Buồng chân không hình hộp có chiều dài L = 3,5 m và chiều cao H = 0,1 m
chiều rộng B = 2 m được rút khí bằng bơm chậm τ = 1
- Áp suất sau cùng được thiết kế, do nhả khí p D= 10-5 Torr. Đường nằm ngang đi
qua điểm đó cho thấy khí nạp do nhả khí

QDv phải nhỏ hơn 10-2 Torr.lit/sec.cm. Giới hạn từ bơm buồng này sẽ có tốc độ áp
suất tăng ( do rò khí) là 5. 10-5 Torr/h. Tốc độ nhả khí đặc trưng qD = 2.10-7
Torr.l/s.m2. Điều này có nghĩa toàn bộ bề mặt bên trong của buồng chân không có
thể thiết lập bởi bất kì vật liệu nào, ở bất kì trạng thái xử lí nào khi căt bởi đường
thẳng nằm ngang qua điểm qD = 2.10-7 , hoặc nằm dưới đường thẳng này. Ở đây ta
sẽ xử dụng vật liệu thép không gỉ
 Thấm khí
- Lưu lượng thấm khí QP được biểu diễn qua công thức: Qp = qP

qP: là độ thấm [tức là (Torr.lít/giây). (mm/cm2)], s là diện tích thấm, h là chiều dày
của thành buồng (mm)
Pp = τ

16
17
 6. Nguyên lý làm việc

- Bơm cơ học được nối với buồng chân không thông qua đường, khi bơm bắt
đầu ở áp suất khí quyển 1at bơm cơ học hoạt động, van V3 mở, V2 vẫn đóng.
- Khi áp suất trong buồng chân không đạt 10−2 Torr khóa V3, V2 mở bơm cơ
học thực hiện hút khí trong bơm Turbo từ áp suất 1 at xuống 10-2 Torr
- Khi áp suất bơm khuếch tán đạt 10−2Torr, V1 mở bơm Turbo bắt đầu hoạt
động hút chân không trong bường từ 10 -2 Torr xuống 2.10-5 Torr, bơm cơ
học vẫn hoạt động
- Khi áp suất trong buồng chân không đạt 2. 10−5Torr, V1 đóng chuyển sang
quá trình làm công nghệ phủ màng mỏng

7. Sơ đồ điều khiển.

V1 - Van nối giữa bơm Turbo và buồng chân không.

V2 - Van nối giữa bơm cơ học và bơm Turbo.
V3 - Van nối giữa bơm cơ học và buồng chân không.
Van xả
A1 - Áp suất buồng chân không
A2 - Áp suất tại cổ bơm Turbo
B1 - Bơm cơ học
B2 - Bơm Turbo
 Sơ đồ thuật toán

18
 Bắt đầu

V3 mở,V1,V2,Van S
xả đóng , B2 đóng
B1 mở

−5 −2
2. 10 ≤ A 1 ≤10

V3 đóng, V2 mở
S

−5 −2
2. 10 ≤ A 2 ≤10

V1 mở, B2 mở
S

A2 =2.10−5

V1 đóng ,V2 đóng,B1

đóng, B2 đóng

Kết thúc

19
PHẦN 2: PHỦ MÀNG MỎNG QUANG HỌC BỀ MẶT KÍNH XÂY
DỰNG
* Yêu cầu thiết kế và lựa chọn công nghệ phủ
Yêu cầu: Tạo lớp phủ màng mỏng quang học, cách nhiệt , chống tia UV,
chống xước.
Lựa chọn công nghệ phủ bề mặt
Theo yêu cầu chế tạo kính ta lựa chọn công nghệ phủ mềm Low-E.
2.1 Kính Low-E là gì
Kính Low-E (viết tắt của Low Energy) là loại kính được phủ lên bề mặt một loại
hợp chất đặc biệt. Chất này giúp kính có tính năng phát xạ nhiệt chậm, làm giảm
sự phát tán, hấp thụ nhiệt lượng chậm. Nó làm chậm quá trình truyền tải nhiệt
nhưng vẫn đảm bảo độ sáng trong căn phòng. Điều này khẳng định tính năng ưu
việt của sản phẩm. Giúp cho căn phòng ấm áp vào mùa đông và mát mẻ vào mùa
hè. Ngoài ra còn tiết kiệm tối đa chi phí cho công viêc giữ nhiệt trong phòng mà
vẫn giữ được độ sáng và nét thẩm mỹ tối đa.

2.2 Kính phủ mềm Low-E

Phủ mềm là phương pháp phủ lên mặt kính một loại hợp chất đặc biệt chọn lọc, có
tính năng kiểm soát nhiệt tốt, với công nghệ kỹ thuật điện giải trong chân không
(phủ mềm). Là quá trình gia công kính người ta phủ lên bề mặt kính hợp chất kiểm
soát nhiệt, thành phẩm kính Low-E phủ mềm là hai hay nhiều lớp.

Tính năng và công dụng của kính phủ mềm Low-E

20
  Mức độ phản chiếu ánh sáng cao.
 Thích hợp với mọi cách sử dụng và thiết kế kiến trúc.
 Giá cả vừa phải phù hợp với mọi sự lựa chọn.
 Mặt phủ mềm dễ bị trầy sước, không thể gia công tôi uốn.
 Màu sắc chủng loại đa dạng và phong phú (thường là màu xanh đậm)
 Sử dụng kính đơn làm kính mờ ở các mặt dựng với lớp phủ quay vào trong.
 Hiệu năng tốt

– Tính năng cách nhiệt: Làm giảm Tỷ lệ nhiệt xuyên qua tấm kính (W/m2.K). Tỷ
lệ nhiệt xuyên qua chính là lượng nhiệt di chuyển qua kính từ vùng có nhiệt độ cao
sang vùng có nhiệt độ thấp. Tỷ lệ này càng nhỏ thì tính năng cách nhiệt càng cao.

– Tính năng chặn nhiệt: Làm giảm Tỷ lệ thẩm thấu nhiệt qua kính vào trong
phòng (%). Tỷ lệ này càng nhỏ thì tính năng ngăn chặn nhiệt càng cao.

2.3 Ưu điểm của kính Low-e

Kính là loại vật liệu xây dựng quan trọng. Cùng với nhu cầu trang trí các công
trình kiến trúc ngày một nâng cao thì việc sử dụng kính trong các công trình kiến
trúc cũng không ngừng gia tăng. Tuy nhiên, ngày nay khi mọi người lựa chọn cửa
kính cho căn nhà của mình thì ngoài việc phải xét đến yếu tố đặc trưng bên ngoài
và mỹ quan ra thì bạn cũng không thể không quan tâm tới một số vấn đề khác của
kính. Kính low-e đáp ứng đầy đủ các tiêu chí trên:

21
  Khả năng khống chế nhiệt lượng, giúp giảm giá thành làm lạnh đặc
biệt khi sử dụng kết hợp cho kính hộp. Lớp phủ Low-E phản xạ nhiệt trở
lại nguồn của nó sẽ giúp ngôi nhà của bạn mát hơn vào mùa hè và ấm hơn
vào mùa đông.
 Khả năng làm cân bằng ánh sáng mặt trời chiếu vào trong nhà. Điều
này sẽ bảo vệ sức khỏe đôi mắt của chúng ta tốt hơn.
 Không gây chói mắt khi nhìn từ ngoài vào như kính phản quang nên hiệu
quả thẩm mỹ cao
 Nó giúp bảo vệ chống lại tia UV sự phai màu đồ nội thất.

Công nghệ phủ mềm Low-e:

Kính low e thụ động được phủ metalic siêu mỏng như hình minh họa bên dưới có
thể 2 lớp hoặc nhiều hơn… Lớp bạc Ag có tác dụng như giảm sự truyền nhiệt qua
kính nó chính là hệ số U-Value hệ số này rất quan trọng ở các nước có khí hậu giá
lạnh, nó ngăn nhiệt truyền từ trong nhà ra ngoài, trong những năm gần đây dòng
sản phẩm của châu âu có thể dùng 1 lớp bạc Ag hay 2 lớp Ag làm tăng lớp phủ lên
6-7 lớp nhằm giảm hệ số U-Value xuống mức thấp nhất có thể. Nếu bạn quan sát
các vật liệu như ruột phíc nước sẽ thấy có lớp tráng màu trắng bạc rất dày chính là
lớp Ag, lớp này giúp chúng ta giữ nhiệt cho nước suốt nhiều giờ trong ngày.

Dựa theo hình trên ta lựa chọ các lớp phủ bề mặt kính là:
22
 Stt Lớp Tên n Tác dụng
1 Lớp phủ chống ăn mòn SiO2 1,46 Giảm tỷ lệ phản xạ và làm
tăng tỷ lệ xuyên ánh sáng của
bạc đồng thời sinh ra màu
sắc phản xạ.
2 Lớp hấp thụ Cr --- Hấp thụ
3 Lớp oxit kim loại TiO2 2,35 Làm giảm tỷ lệ phản xạ và
làm tăng tỷ lệ xuyên ánh
sáng của bạc đồng thời sinh
ra màu sắc phản xạ
4 Lớp bảo vệ và phủ nền MgF2 1,38 Cách li và bảo vệ lớp bạc
kim loại bạc
5 Kim loại bạc Ag --- ---
6 Kính quang học BK7 BK7 1,52 ---
2.4 Tình toán chiều dày lớp phủ
- Chiều dày quang có tính chất quang ứng với bước sóng ánh sáng trong vùng
nhìn thấy là λ=560 nm
- Sản phẩm sau chế tạo phải đạt những tiêu chuẩn sau: giảm phản xạ, tăng tỷ lệ
truyền ánh sáng, chống tia UV, cách nhiệt.
- Chiều dày quang L = n1 . d
- Với d là chiều dày thực tế của màng , n là chiết suất vật liệu tạo màng.
- Chiều dày quang khi chế tạo lớp phủ đảm bảo mắt kính làm việc với ánh sáng
trong vùng nhìn thấy là nhìn thấy λ =550 nm

+ Do n 4=1,38< n6=1,52
 Chiều dày quang học của lớp phủ MgF2 là:
λ 560
L4 = n 4.d 4 = = 4 = 140 nm
4

 Chiều dày thực của lớp phủ:

d 1 = 101 nm

+ Do n 4=1,38< n3=2,35

23
  Chiều dày quang học lớp phủ TiO2 là :
λ 560
L3 = n3 .d 3 = = = 280 nm
2 2

 chiều dày thực của lớp phủ: d 3 = 119 nm

+ Ta phủ Cr với chiều dày thực là 40 nm
+ Ta phủ SiO2 với chiều dày thực là 40 nm
+ Ta phủ Ag với chiều dày thực là 30 nm

Phủ mềm là phương pháp phủ lớp điện tử thấp metalic siêu mỏng theo công nghệ
điện giải ở trong môi trường chân không (MSVD Process).

Ở quá trình này các hạt kim loại được phủ lên bề mặt của thủy tinh bên trong
buồng chân không .Vật liệu phủ lên kính quang học được được kết nối với mạch
điện cao thế , sau đó đưa khí xử lý vào buồng chân không nơi plasma hình thành .
Sự phóng điện ion diễn ra bên trong buồng, những ion tích điện dương của vật liệu
phủ này bị tách ra bắn ra va chạm và bám vào tấm kính . Quá trình này xảy ra ở tốc
độ rất cao kết quả thu được lớp phủ bề mặt vật liệu.

24
Ưu điểm :
 Sản xuất đơn giản.
 Dễ dàng kiểm soát độ dày các lớp điện tử thấp.
 Mật độ các điện tử phân bố đều, chiều dày các lớp phân tách rõ ràng.
Nhược điểm:
 Lớp điện tử này rất dễ bị xước.
 Khó vận chuyển và bảo quản.
I. Quy trình công nghệ
1. Gia công làm sạch đưa kính vào buồng chân không
Quy trình làm sạch này diễn ra bên ngoài buồng chân không. Lựa chọn và
loại bỏ tấm kính bị lỗi khuyết tật ,cắt phù hợp với kích thước yêu cầu sau đó
làm sạch và đưa vào buồng chân không
2. Hút chân không
- Thực hiện quá trình hút chân không để tạo môi trường chân không nhờ hai
bơm cơ học và bơm Turbo tính toán ở phần trước.
- Bơm cơ học được nối với buồng chân không thông qua đường ống, khi bơm
bắt đầu ở áp suất khí quyển 1atm bơm cơ học hoạt động, van V1 mở, van V2
đóng.
- Khi áp suất trong buồng chân không đạt 10-2 Torr, bơm theo đường 2, van V1
khóa, van V2 mở đồng thời bật bơm Turbo.
- Khi áp suất đạt 10-5 tắt bơm Turbo.

3. Gia nhiệt vật liệu phủ

- Vật liệu phủ được gia nhiệt thông qua thiết bị nung và điều khiển nhiệt độ
đế. Thông qua đồng hồ đo nhiệt ta xác định được khi nào chi tiết đạt đến
nhiệt độ cần thiết để tiến hành các bước tiếp theo.
4. Làm sạch chi tiết phủ bằng bắn phá ion Ar+
- Trước khi thực hiện quá trình tạo lớp phủ ta cần làm sạch lần cuối bề mặt chi
tiết phủ bằng cách bắn phá ion Ar+ loại bỏ các tạp chất tế vi trên bề mặt chi
tiết.
5. Phủ bằng công điện giải ở trong môi trường chân không (MSVD
Process)
Vật liệu phủ được nối với nguồn điện cao áp khi này các ion bị tách ra và
bắn phá vào tấm kính với động năng lớn trong thời gian rất ngắn , đồng thời

25
 do lực hút giữa ion trái dấu các ion này bám chặt và thẩm thấu bề mặt kính
=> tạo ra lớp phủ bề mặt
6. Chờ nguội và xả khí lấy sản phẩm
- Sau khi thực hiện xong công nghệ, ta đợi chi tiết nguội sẽ lấy sản phẩm ra
khỏi buồng chân không.
II. Chế tạo lớp phủ
1. Sơ đồ gá đặt
- Sử dụng đồ gá chuyên dụng để chế tạo dụng cụ cắt với mâm quay để dẫn
động trung tâm, có 6 trục quay vệ tinh đảm bảo độ đồng đều của lớp phủ
trên các chi tiết có hình dạng chốt dài hoặc mũi khoan.

III. Kiểm tra – đánh giá

- Kiểm tra độ dày của lớp phủ

- Kiểm tra độ bám dính của màng và đế chi tiết và giữa các lớp phủ

- Kiểm tra sự đồng nhất của lớp phủ

- Kiểm tra sự đồng đều của lớp phủ tại vị trí biên và tâm đế

26
 TÀI LIỆU THAM KHẢO

[1].Nguyễn Thị Phương Mai – Kỹ thuật chân không và công nghệ bề mặt – Nhà
xuất bản khoa học kỹ thuật.

27