⑧

论文作者签名：

指导教师签名：

论文评阅人１：

评阅人２：

评阅人３：

评阅人４：

评阅人５：

答辩委员会主席： 迕蛊邀 塾拯 逝洹太堂丝退王猩堂睦

委员１： 鱼ｌ逡 麴拯逝洹太堂狃越王猩堂医
委员２： 医瞳壅 塾拯逝洹太堂狃撼王猩堂睦
委员３： 龚国羞 数量逝洹太堂扭越王猩堂瞳
委员４： 狃麴 到熬拯逝婆太堂扭撼王猩堂睦
委员５：

答辩日期： ２０１７—３—１６

万方数据
 ＩＪＨＩＩ Ｉｆ］ｌ ｌ ｌ ｌ ｌ １］ｌｌＪｌｉｉｌｌｌｌＵｌｌｉｌｉｌｌｉｌ ｆｌ
Ｙ３１ ８８２３２

浙江大学研究生学位论文独创性声明

本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成

果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的
研究成果，也不包含为获得浙鎏太堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。
与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢
意。

签字日期．劢，７年弓月 ７日
学位论文作者签

学位论文版权使用授权书

迸婆太堂 有权保留并向国家有关部门或机构送交
本学位论文作者完全了解

本论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权滥洹太堂可以将学位论
文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播，可以采用影印、缩印或扫描等复

制手段保存、汇编学位论文。
（保密的学位论文在解密后适用本授权书）

学位论文作者签名：
．孙令
签字慨弦Ｊ ７年３月叩日 月∞日
／

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 致谢

致谢

本文在傅新老师与陈文昱老师的悉心指导下完成。感谢傅老师给予我进入流

体传动与机电系统国家重点实验室学习的机会，傅老师学识渊博、治学严谨，为

我的学习与人生点明了方向。感谢陈老师给予我学习以及生活上点点滴滴的指导

和栽培，陈老师聪明睿智、务实求真，其治学、处世之道将让我终生学习。

感谢课题组的阮晓东老师，刘伟庭老师和胡亮老师，感谢你们在我的硕士研

究生期间给予的全力支持，在你们的课程中我时刻激励着自己不断提升。感谢在

课题组工作的雷万里、朱玲、傅红莉、黄艺媛等，你们在课题开展过程中的积极

配合使我的课题顺利开展，加快了实验平台的搭建。

感谢我的师兄杨凯、张志杰，感谢你们将我领进机电系统软件开发的领域；

感谢我的师弟曾强辉，感谢你在系统控制中给予界面开发的帮助；感谢赵艺文和

贾森波，感谢你们在浸没系统状态控制上的指导和建议；感谢姚晓阳和马颖聪，

感谢你们使我明确了职业规划与发展方向。

感谢在两年半中与我一同开展科研工作的其他课题组成员们，感谢光刻浸没

系统前端系统研制的邵佳浩、冯浩、卞行健、刘东阳、叶龙义、许研、凌杰、李

文斌、于志伟，张明，感谢你们的合作使我的课题研究顺利开展；感谢浸没系统

流体研究的徐宁、简勇华、虞谦、梁键彬、韩婷婷、王培磊、奚云飞、袁含晨、

刘同焰等，感谢你们的工作为我的课题开展提供了良好环境。感谢文化建设的负

责人徐婵娜，感谢你的言传身教使我懂得工作负责与良好沟通。感谢同届的同学

们，感谢张亚、赵炜炜，感谢你们的陪伴使我的研究生生活如此充实与快乐。

感谢我的父母，感谢你们多年来的辛苦培育和无私付出，感谢你们坚定不移

地给予我支持和鼓励。感谢我的亲朋好友们，感谢你们的关心和理解，感谢你们

在我不擅长的领域带我开拓眼界。感谢在最美的年华遇到的你，感谢你曰常生活

的陪伴与人生苦乐的分享，与你的相识是我的荣幸。

萝飞飞

２０１７年１月于浙江大学求是园

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 摘要

摘 要

浸没式光刻机浸没系统包含水处理系统（Ｐｕｒｅ Ｗａｔｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ，ＰＷＳ）、注液系统

（Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ Ｗａｔｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ，Ｈｅｗｓ）、注气系统（Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ Ａｉｒ

Ｓｙｓｔｅｍ，ＣＡＳ）、气液回收单元；（Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ Ａｉｒ Ｗａｔｅｒ Ｅｘｔｒａｃｔｉｏｎ，ＨＡＷＥ）、温控模块

（Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｍｏｄｕｅｌ，ＴＣＭ）及位姿调节分系统等各分系统，分别涉及气液

纯化、流体、温控等多个领域，运行时序复杂，控制流程差异大，本文涉及的总

控通讯模块（Ｍａｉｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｍｏｄｕｅｌ，ＭＣＭ）负责各系统的协调控制，实现参量监测

与设定，接口通讯，逻辑控制，数据存储，人机交互等功能。

本文旨在对浸没式光刻机中浸没系统控制模块在领域专家和软件程序员之

间建立一套领域特定语言（Ｄｏｍａｉｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｌａｎｇｕａｇｅ，ＤＳＬ），以便浸没系统中流体、

气液纯化、温控领域专家与总控软件人员的沟通与流程设计。针对当前浸没系统

总控与各分系统间的逻辑控制及自动化要求，开展如下工作。

１．介绍课题研究背景，分析浸没分系统组成及基本原理，阐述ＭＣＭ总控

通讯系统整体方案，提出课题研究内容。

２．设计ＭＣＭ总控通讯系统硬件平台，搭建逻辑架构，对关键元器件选型

分析，完成模型设计与实物组装。

３．基于ＤＳＬ进行ＭＣＭ控制系统软件分析并进行设计，包括浸没系统中各

系统执行过程，状态切换，事件触发，系统数据等内容。采用服务器／

客户端一体化方案，明确通讯机制的实现方式。

４．基于ＤＳＬ状态控制语言设计，包括数据交互的ＸＭＬ和浸没式光刻机浸

没系统控制流程专用ＤＳＬ。建立适用的逻辑控制及系统数据ＤＳＬ文本，

通过相应词法及语法规则分析，生成抽象语法树，并组装语义模型，供

目标操作及代码生成。

５．测试系统功能，实现浸没系统协调控制各项功能，验证数据交互ＸＭＬ

与逻辑控制ＤＳＬ的有效性。

关键词：浸没式光刻、时序控制、状态切换、ＤＳＬ、领域特定语言

万方数据
 Ａｂｓｔｒａｃｔ

Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ ｉｎ ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ，ｗｈｉｃｈ ｒｅｆｅｒｓ ｔｏ ａｉｒ ａｎｄ

ｗａｔｅｒ ｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎ，ｈｙｄｒｏｄｙｎａｍｉｃｓ ａｎｄ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｃｏｎｔｒｏｌ ｆｉｅｌｄ，ｉｎｃｌｕｄｅｓ Ｐｕｒｅ

Ｗａｔｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ（ＰＷＳ），Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ Ｗａｔｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ（ＨＣＷＳ），

Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ Ａｉｒ Ｓｙｓｔｅｍ（ＣＡＳ），Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ Ａｉｒ Ｗａｔｅｒ Ｅｘｔｒａｃｔｉｏｎ（ＨＡＷＥ），

Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｍｏｄｕｌｅ（ＴＣＭ） ａｎｄ Ｍａｇｎｅｔｉｃ－ｌｅｃｉｔａｔｉｏｎ Ｇｒａｖｉｔｙ

ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ ｃｏｎｔｒｏｌ ｄｉｆｆｅｒ ｆｒｏｍ

Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ（ＭＧＣ）．Ｔｈｅｓｅ ｌｉｑｕｉｄ ｓｙｓｔｅｍｓ

ｉｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ａｎｄ ｏｐｅｒａｔｉｏｎ ｗｉｔｈ ｃｏｍｐｌｉｃａｔｅｄ・ｐｒｏｃｅｓｓ．Ｔｈｅ Ｍａｉｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ

Ｍｏｄｕｌｅ（ＭＣＭ）ｉｎ ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ ｔａｋｅｓ ｔｈｅ ｃｈａｒｇｅ ｏｆ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｉｏｎ ｃｏｎｔｒｏｌ，ｌｉｋｅ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ

ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ ａｎｄ ｓｅｔｔｉｎｇ，ｉｎｔｅｒｆａｃｅ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ，ｌｏｇｉｃ ｃｏｎｔｒｏｌ，ｄａｔａ ｓｔｏｒａｇｅ ａｎｄ

ｍａｎ—ｍａｃｈｉｎｅ ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ．

Ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ ｄｅｓｉｇｎｅｄ ａ ｓｕｉｔａｂｌｅ Ｄｏｍａｉｎ－Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｌａｎｇｕａｇｅ（ＤＳＬ）ｏｎ ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ

ｓｙｓｔｅｍ ｉｎ ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｂｅｔｗｅｅｎ ｄｏｍａｉｎ ｓｐｅｃｉａｌｉｓｔ ａｎｄ ｓｏｆｔｗａｒｅ

ｐｒｏｇｒａｍｍｅｒ，ｉｎ ｏｒｄｅｒ ｔｏ ｉｍｐｒｏｖｅ ｔｈｅ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ ｐｒｏｃｅｓｓ ｄｅｓｉｇｎ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｅ ｏｎ

ａｉｒ ａｎｄ ｗａｔｅｒ ｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎ，ｈｙｄｒｏｄｙｎａｍｉｃｓ ａｎｄ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｃｏｎｔｒｏｌ ｆｉｅｌｄ．Ｉｎ ｏｒｄｅｒ ｔｏ

ｒｅａｃｈ ｔｈｏｓｅ ｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ，ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ ａｃｃｏｍｐｌｉｓｈｅｄ ｔａｓｋｓ ａｓ ｂｅｌｏｗ．

Ｆｉｒｓｔｌｙ，ｔｈｅ ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ ｏｆ ｐｒｏｊｅｃｔ ｗａｓ ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ．Ｔｈｅ ｂａｓｉｃ ｔｈｅｏｒｙ ｏｆ ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ

ｓｙｓｔｅｍ ｃｏｎｓｔｉｔｕｔｅ ｉｓ ａｎａｌｙｓｅｄ．Ｔｈｅ ｇｅｎｅｒａｌ ｓｃｈｅｍｅ ｏｆ ｍａｉｎ ｃｏｎｔｒｏｌ ｍｏｄｕｌｅ ｉｓ

ｅｘｐｌａｉｎｅｄ ａｎｄ ｔｈｅ ｐｒｏｊｅｃｔ ｃｏｎｔｅｎｔｓ ａｒｅ ｐｒｏｐｏｓｅｄ．

Ｓｅｃｏｎｄｌｙ，ａｃｃｏｒｄｉｎｇ ｔｏ ｔｈｅ ｌｏｇｉｃ ｆｒａｍｅｗｏｒｋ ａｎｄ ｓｏｍｅ ｋｅｙ ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ，ｗｅ

ｄｅｓｉｇｎｅｄ ｔｈｅ ＭＣＭ ｈａｒｄｗａｒｅ ｐｌａｔｆｏｒｍ ａｎｄ ａｃｃｏｍｐｌｉｓｈｅｄ ｔｈｅ ｓｙｓｔｅｍ ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ ａｎｄ

ａｃｃｅｍｂｌｉｎｇ．

Ｔｈｅｎ，ｔｈｅ ｃｏｎｔｒｏｌ ｓｙｓｔｅｍ ｓｏｆｔｗａｒｅ ｆｒａｍｅｗｏｒｋ，ｗｈｉｃｈ ｃｏｎｔａｉｎｓ ｅｘｅｃｕｉｎｇ ｐｒｏｃｅｄｕｒｅ，

ｓｔａｔｕｓ ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ，ｅｖｅｎｔ ｔｒｉｇｇｅｒ ａｎｄ ｓｙｓｔｅｍ ｄａｔａ，ｉｓ ａｎａｌｙｓｉｅｄ ａｎｄ ｄｅｓｉｇｎｅｄ．Ｔｈｅ

ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ ｍｅｃｈａｎｉｓｍ，ｓｅｒｖｅｒ ｃｌｉｅｎｔ ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ ｓｃｈｅｍｅ，ｉｓ ｃｏｎｆｉｒｍｅｄ．

Ｔｈｅｎ，ｗｅ ｄｅｓｉｇｎｅｄ ｔｈｅ ｓｕｉｔａｂｌｅ ＤＳＬ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｓｔａｔｕｓ ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍ

ｄａｔａ ＸＭＬ ａｎｄ ｌｏｇｉｃ ｃｏｎｔｒｏｌ ＤＳＬ ｉｎ ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ．Ｉｔ ｃａｎ ｃｒｅａｔｅ ｔｈｅ ａｂｓｔｒａｃｔ

ｍｏｄｅｌ ｌｅｘｉｃａｌ ａｎｄ

ｓｙｎｔａｘ ｔｒｅｅ（ＡＳＴ）ａｎｄ ｓｅｍａｎｔｉｃ ａｃｃｏｒｄｉｎｇ ｔｏ ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ

ｇｒａｍｍａｔｉｃａｌ ｒｕｌｅｓ．Ｉｔ ｃａｎ ｅｖｅｎ ｃｒｅａｔｅ ｔｈｅ ｐｒｏｇｒａｍ ｃｏｄｅ ｉｎ ｔｈｅ ｐｒｏｊｅｃｔ．

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 Ａｂｓ仃ａｃｔ

Ｆｉｎａｌｌｙ，ｔｈｅ ｂａｓｉｃ ｆｕｎｃｔｉｏｎｓ ｏｆｍａｉｎ ｃｏｎｔｒｏｌ ｍｏｄｕｌｅ ｉｎ ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ ｉｓ ｔｅｓｔｅｄ．

Ｔｈｅ ｅｆｆｅｃｔｉｖｅｎｅｓｓ ｏｆ ｓｙｓｔｅｍ ｄａｔａ ＸＭＬ ａｎｄ ｌｏｇｉｃ ｃｏｎｔｒｏｌ ＤＳＬ ｉｓ ｖｅｒｉｆｉｅｄ．

Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ，ｓｅｑｕｅｎｔｉａｌ ｃｏｎｔｒｏｌ，ｓｔａｔｕｓ ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ，ＤＳＬ，

Ｄｏｍａｉｎ－Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｌａｎｇｕａｇｅ

ＩＶ

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 目录

目录
致ｉ射…………………………………………………………………………………………………………………Ｉ
摘 要…………………………………………………………………………………………………………．．１ｌ
Ａｂｓｔｒａｃｔ…．………．…．…．．……．……………．…．…．…．………．……………．…．．．………．………．…．…．…ｌＩｌ

目录………………………………………………………………………………………………………………．．Ｖ
第１章 绪论………………………………………………………………………１
１．１ 研究背景及意义…………………………………………………………１
１．１．１光刻技术原理及发展现状…………………………………………ｌ
１．１。２浸没光刻技术概述…………………………………………………２
１．２ 浸没分系统组成及基本原理……………………………………………４
１．２．１ＰＷＳ水传输系统……………………………………………………４
１．２。２ ＨＣＷＳ注液系统……………………………………………………．６
１．２．３ ＣＡＳ注气系统………………………………………………………一７
１．２。４ ＨＡＷＥ气液回收单元………………………………………………８
１．２．５ ＴＣＭ温控模块……………………………………………………．１０
１，２，６浸没分系统整体方案……………………………………………。。１１
１．３ 课题研究内容…………………………………………………………．１３
１．４ 本章小结…………………………………………………………………１６
第２章 ＭＣＭ控制系统硬件平台设计…………………………………………１７
２．１ 浸没系统逻辑架构……………………………………………………．１７
２．２ ＭＣＭ控制系统关键硬件选型…………………………………………１８
２。２．１可编程控制器分析与选型………………………………………．．１８
２，２．２工控机分析与选型………………………………………………．．２０
２．２．３交换机分析与选型………………………………………………．．２０
２．３ 浸没系统总控端硬件平台……………………………………………．２１
２。３．１浸没系统总控台…………………………………………………．．２１
２３。２浸没分系统控制架………………………………………………．。２２
２．４ 本章小结………………………………………………………………．２３
第３章 基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统软件分析与设计………………………．．２４
３．１ 浸没系统控制模块分布………………………………………………．２４
３．２ 浸没系统业务逻辑模型建立…………………………………………．２５
３．２．１浸没系统状态流程分析…………………………………………．．２５
３．２．２浸没系统状态机模型建立………………………………………．．３３
３．２．３逻辑控制ＵＭＬ时序图分析………………………………………３５
３．３ 浸没系统通讯机制……………………………………………………．３７
３．３．１通讯组网及方案设计……………………………………………．．３７
３．３．２通讯协议及消患调度……………………………………………．．４０
３。３．３ 网络心跳检测………………………………………………………………………．４１
３．４ 本章小结………………………………………………………………．４３
第４章 基于ＤＳＬ的状态控制语言设计………………………………………．４５
４．１ 浸没系统关联性说明…………………………………………………．４５
４．２ 浸没系统数据交互ＤＳＬ设计…………………………………………．４７
４．２．１系统数据交互分析………………………………………………．．４７

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 目录

４．２．２系统数据ＸＭＬ语言配制…………………………………………４８
４．２．３系统数据ＸＭＬ读写存储…………………………………………５１
４．３ 浸没系统控制流程ＤＳＬ设计…………………………………………．５３
４．３．１逻辑控制ＸＭＬ语言配制…………………………………………５３
４．３．２逻辑控制ＤＳＬ语言定制…………………………………………．．５４
４．３．３ ＤＳＬ词法语法分析…………………………………………………５６
４．３．４语义模型组装……………………………………………………．．５８
４．４ 本章小结………………………………………………………………．５９
第５章 基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统运行和测试……………………………．．６０
５．１ 下位机模式选择………………………………………………………．６０
５．２ 局域网连接……………………………………………………………．６１
５．３ 人机交互界面…………………………………………………………．６２
５．４ 日志信息………………………………………………………………．６５
５．５ 网站数据查询…………………………………………………………．６６
５．６ 本章小结………………………………………………………………．６９
第６章 总结和展望……………………………………………………………．７０
６．１ 总结……………………………………………………………………………．７０
６．２ 展望……………………………………………………………………．７１
参考文献……………………………………………………………………………．．７２

Ｖｌ

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

第１章绪论

１．１研究背景及意义

１．１．１ 光刻技术原理及发展现状

集成电路制造产业在国家经济建设、社会发展和国防安全中占据着重要地位

【１｜，其发展大体经历了如表１—１所示的几个阶段【２１。集成在单位面积上的元器件的

数量的不断增多意味着元器件的线宽的不断减小，目前半导体芯片的特征线宽已

经达到４５ｎｍ以下１３１１剐。而不断进步的光刻技术是保证ＩＣ产业不断向前发展的基

础。集成电路制造业的发展遵循摩尔定律，即当芯片价格不变，集成芯片上可容

纳的晶体管数目，约每隔１８个月增加一倍，其性能也提高一倒５１。
表１－１集成电路发展的几个阶段
发展阶段 每个芯片元件数 发展时间表
单个元器件 ｌ 上世纪六十年代之前
小规模集成 ２～５０ 上世纪六十年代前几年
中规模集成 ２０～５０００ 上世纪六十年代至七十年代前几年
大规模集成 ５００肚１ ０００００ 上世纪七十年代前期至七十年代后期
超大规模集成 １０００００－１００００００ 上世纪七十年代后期到八十年代后期
极大规模集成 ＞１００００００ 上世纪九十年代后期至今

表１—２是国际半导体组织（ＩＴＲＳ）在２００５年预测２０年内将会出现的芯片特征

线宽【６１。最小特征尺寸能否遵循摩尔定律实现向前发展，其中光刻技术发挥着至

关重要的作用【引。
表１－２国际半导体组织预测的芯片特征线宽

年份 ２００４ ２００８ ２０１ １ ２０１６ ２０２０ ２０２２ ２０２４ ２０２６

笋爰
｛ｎｍ Ｊ
６５ ４５ ３２ ２２ １６ １ ｌ ８ ６

光刻机是实现光刻技术不可或缺的复杂精密设备，它涵盖了当今世界上在众

多领域如光学、机械、材料、控制等学科最先进的技术水平，也成为衡量一个国

家制造业水平的标志【８１。其作为半导体行业高精度的自动化设备，采用众多领域

的尖端、复杂技术，共同实现光刻中数字信号的控制精度【９】【１０】【ｌｌ】。

光刻技术是集成电路ＩＣ制造业的核心技术【１２ｌ，是应用于集成电路芯片制造

的理论依据［１３］１１４］，是制造大规模集成电路的关键工艺，工艺流程一般分为硅片

的预处理、涂胶、前烘、曝光、显影、后烘、刻蚀和去胶等过程，各工艺环节互

相影响，互相制约【１５Ｊ。它是通过曝光的方法将掩膜上的图形转移到涂覆于硅片表

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第ｔ章绪论

面的光刻胶上，然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上，主要的工艺步

骤【１６】ｆ１７】ｆ１８】【１９】如图１—１所示。它直接决定了大规模集成电路的特征尺寸，而光刻

刍
机就是完成这一工艺的主要设备。

澎荨
＼ ◆毒毒◆◆◆◆０
－——【＝】＿・＿—亡＿匕＝】＿【＝一

Ｃ）曝光

删Ｓｉ０２层
Ｅ竺
显影的图形

已三］
刻蚀的区域
Ｉ

ｄ）显影 ｅ）刻诎 ｆ）去胶

图１．１光刻工艺的主要步骤图

当前采用更短光刻波长或技术改良的方式已然遇到巨大挑战【２０ｌ，ＩＣ制造领

域就如何继续提升光刻分辨率以提高芯片性能，在行业内发起针对下一代重点发

展光刻技术的研究和讨论，提出主要的技术方案：极紫外光刻技术、无掩模光刻

技术、纳米压印以及浸没式光刻技术１２１１【２ ２１。

截止目前，浸没式光刻技术制造工艺经过几代技术的积累和发展，已经推进

到９０纳米以下【ｚ３１，如图１．２ １２４１，其实现途径主要是利用液体的折射率高于气体

的特性来提高分辨率。相较于其他光刻技术，浸没式光刻良好继承了传统干式光

刻，同时对提高分辨率有明显效果，而受到业界的高度关注【ｚ引。

图１．２ Ｎｉｋｏｎ公司采用１９３ｒｉｍ波长光源的浸没光刻效果图

１．１．２ 浸没光刻技术概述

浸没式光刻机是极大规模集成电路制造技术最为先进的关键设备，是当前

４５纳米以下ＩＣ生产线上唯一实际应用的光刻设备［２ ６１，对于集成电路的研发有着

极为关键的影响作用【２７１。继承传统干式光刻技术的同时，其本质区别１２８１１２９１在于

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

通过在投影物镜和硅片之间填充高折射率液体［３０］［３１１，以达到提高光刻分辨率的

目的。

根据２００９年发布的国际半导体技术蓝图，浸没光刻技术已成为３２纳米工艺

节点最佳候选技术，并有望延伸至１６纳米工艺节剧３２】【３３１。由于光的衍射行为，
光学系统的分辨率在物理上将受到衍射的限制，根据瑞利公式［３４】【３５１，光学系统

所能达到的理论最小分辨率如式（１．１）所示：

Ｒ＝墨番＝墨志＝岛盏 （１．１）

焦深是光焦点周围的一个范围，在这个范围内图像可以连续的保持清晰，焦

深ＤＯＦ如式（１．２）所示。因此在集成电路制造中，既要保证更好的分辨率来形成

特征尺寸的图形，又要保持合适的焦深。

脚＝乞可与＝ｋ２南≈也彘＝如去 ＼２ Ｊ
江２，

式中，

ｋ１、ｋ２～工艺因子；

Ａ一光在真空中的波长；

ＡＰ厂厂一有效曝光的波长；

ｎ一硅片与透镜之间介质的折射率；
ＮＡ一数值孔径，代表着透镜收集衍射光的能力；
臼一半孔径角；
尺一光学系统所能达到的理论最小分辨率；
Ｄ叩一光学系统焦深。
工艺因子是与系统相关的数值，通过降低工艺因子可以增大分辨率，但工艺

因子有下限，实际生产中通常在３．０以上【３引。减小曝光波长可以提高分辨率，但

当波长进一步减小到１５７纳米时，光波衰减非常严重。增大半孔径角可以提高分

辨率，但同时会减小焦深，造成成像不清晰，进而影响曝光质量【３７】【３ ８１。

应用浸没光刻技术，填充具有良好通透性和均匀性的浸没液体以提高折射率

从而获得更小光刻分辨率将成为唯一可行的实现途径。如图１－６所示，浸没液体

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第ｌ章绪论

将被保持在投影物镜与硅片之间。然而在光刻曝光过程中，光刻胶经过刻蚀将会

产生杂质，造成流场的区域污染，影响浸没液体的通透性和均匀性。

投影物镜

图１．３浸没光刻机原理示意图

为解决该问题，目前应对的方法是采用动态流场形式，即让浸没流场中的液

体不断流动带走各类杂质及曝光温升。但与此同时，动态流场有使物镜变形的风

险，而且其通透性也不如静态流场。因此需要优化注液控制，提高液体更新效率

［３９１。

１．２浸没分系统组成及基本原理

在浸没式光刻机中，浸没系统是相对独立又非常重要的分系统，其主要功能

是实现浸没液体的制备、注液形成稳定流场，注气形成流场密封，气液回收，温

度控制及系统状态控制。在硅片高速扫描的情况下，必须保证曝光的一致性和均

匀性，这对各浸没分系统如何协调控制提出了严峻的挑战，必须高效协调各分系

统的运行。以下部分对５个浸没分系统进行简要说明。

１．２．１ ＰＷＳ水传输系统

ＰＷＳ水传输系统处于供水系统第一级，入口直接连接厂务水，在水处理模块，

实现脱气、杀菌、ＴＯＣ浓度控制、颗粒浓度控制、硅浓度、离子浓度控制功能。

形成符合硅片曝光要求的流体介质，即式（１．１）中所述的高折射率液体超纯水，超

纯水处理指标要求如表１—３所示。

表１．３超纯水处理指标要求

参量 指标性质 指标要求
电阻率值 检测指标 电阻率＞１８．２Ｍｏｈｍ—ｃｍ
溶氧值 检测指标 溶氧＜１０ ｐｐｂ

ＴＯＣ值 检测指标 ＴＯＣ＜１．０ｐｐｂ

颗粒值 检测指标 颗粒（＞５０ｎｍ）＜６００／Ｌ

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第ｌ章绪论

硅浓度值 检测指标 总硅（以Ｓｉ０２计）：＜１．Ｏｐｐｂ

细菌浓度 检测指标 细菌浓度：＜ＩＣＦＵ／Ｌ
脱气功能 功能指标 ＵＰＷ必须经过脱气控制后才能供给浸没单元Ｈ
清洗液供给功能 功能指标 实现向水平、垂直注液口在线供给清洗液

超纯水处理系统原理图主要分为五个处理模块：脱气模块、ｕｖ杀菌模块、

去硅模块、去离子模块、去颗粒模块。各个模块分别实现各项指标要求，如下图

所示，图１．５为ＰＷＳ水传输系统组装图。

图１４超纯水处理原理示意图

图１．５超纯水处理组装图
５

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

１。２．２ ＨＣＷＳ注液系统

ＨＣＷＳ注液系统处于供水系统第二级，入口连接ＰＷＳ超纯水系统，出口连

接浸没单元。在浸没式光刻系统中，维持浸没流场的有效更新和动态平衡至关重

要，而这就要求浸没液体在提供的过程中，需要保持注液流量以及压力稳定，符

合系统相关指标要求，注液系统指标要求如表１．４所示。

表１４注液系统指标要求

参量 指标性质 指标要求
流量 检测指标 ０一Ｏ．２Ｌ／ｍｉｎ可调
流量范围 检测指标 Ｏ．４．２．０Ｌ／ｍｉｎ精度可控
流量波动 检测指标 ＜４％

流量稳定性 检测指标 ＜２．０％／５ｍｉｎ

压力 检测指标 ＜０．５Ｂａｒ可调
流量波动 检测指标 ≤２ＮＬ／ｍｉｎ
压力范围 检测指标 ０．３ｂａｒ～０．５ｂａｒ

压力波动 检测指标 ≤２００Ｐａ

根据注液系统指标要求，ＨＣＷＳ需要提供合理的浸液供给流量值，保证流量

的供给稳定性，限制超调量和响应时间，图１－６为注液系统原理示意图。

图１－６注液系统原理示意图

１．手动开关阀；２．气动开关阀；３．离心式纯水泵；４．压力变送器；５．流量调节单元

６．气动二维三通阀；７．单相截止阀；８．热交换器

图１．７为ＨＣＷＳ注液系统中注液通道部分模型图，对应图１－６中５号流量调

节单元，６号气动二维三通阀部分。

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第ｌ章绪论

图ｌ一７注液系统模型图

１．２．３ ＣＡＳ注气系统

ＣＡＳ注气系统为浸没单元提供稳定洁净湿空气，用于流场气密封，入口气

体来自厂务气体，主要实现四部分的功能：１．压缩空气污染物的处理，包括颗粒

物浓度以及ＮＨ３、Ｓ０２浓度达标；２．动力学参数的调制，包括流量、压力的控制，
主要以流量控制为主，在一定的流量条件下，压力要在给出的范围内；３．洁净空

气的加湿，需要使经过净化处理后的空气加湿到相对湿度大于８５％；４．洁净湿空

气的温度控制，需要使洁净湿空气的温度以及温度的波动稳定在一定的范围内。

各个参数的具体要求为：

表１—５注气系统指标要求

指标 数值 装置
湿度范围 Ｉｍ＞８５％ 加湿器
洁净度 ＩＳＯＣｌａｓｓ １ 过滤器

ＮＨ３浓度 ＜０．５ｐｐｂ
纯化器
Ｓ０２浓度 ＜０．１ｐｐｂ
流量范围 ３０－８０ＮＬ／ｍｉｎ
气体流量控制器
流量波动 ≤２ＮＬ／ｍｉｎ
压力范围 ０．３ｂａｒ－０．５ｂａｒ
手动减压阀和精密调压阀
压力波动 ≤２００Ｐａ

根据注气系统指标要求，ＣＡＳ需要实现微环境气体污染物的控制、湿度的控

制以及系统出口流量、压力的实时稳定控制。根据各项指标的控制方案以及控制

顺序，设计微环境气体参数控制及制备系统的总的工艺原理图。

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

图１—８ ＣＡＳ方案原理图

图１－９注气系统组装图

１．２．４ ＨＡＷＥ气液回收单元

ＨＡＷＥ气液回收单元通过一定负压，抽吸浸没单元中曝光后产生的含有曝光

杂质的流体，保证浸没单元曝光环境的清洁，同时需要保持原有的稳定流场，不

破坏注气注液的调整值。因此气液回收单元在进行气液回收过程中流量与压力调

节至关重要，表１－６为气液回收单元指标要求。

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

表１—６气液回收单元指标要求

参量 指标性质 指标要求
ＨＷＥ流量范围 检测指标 ０－３Ｌ／ｍｉｎ（ｗａｔｅｒ）
ＨＷＥ压力范围 检测指标 －２０００＜一１００００Ｐａ

ＨＷＥ压力波动 检测指标 ＜２００Ｐａ／Ｓｍｉｎ

ＡＷＥ流量范围 检测指标 ３０—８０Ｌ／ｒａｉｎ（ｇａｓ）
ＡＷＥ流量波动 检测指标 ≤２Ｌ／ｍｉｎ／５ｍｉｎ（ｇａｓ）
ＡＷＥ压力范围 检测指标 ．．３３９００～．．７００００Ｐａ

ＡＷＥ压力波动 检测指标 ≤２００Ｐａ／５ｍｉｎ

根据注液单元流场稳定的设计方案，气液回收采用水平回收与垂直回收，分

别为ＨＷＥ和ＡＷＥ。两路回收分别需要进行气液分离，液路部分通过水泵排入

水箱，气路部分通过真空泵排入大气，ＨＡＷＥ方案原理如图１－９所示。

山 气卸戴口山液卸载口
一气体
图１—１０ ＨＡＷＥ方案原理图

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

图１．１ １ ＨＡＷＥ组装图

１．２．５ ＴＣＭ温控模块

ＴＣＭ控温模块分布于ＰＷＳ，ＨＣＷＳ和ＣＡＳ的物理部分，在浸没系统中温度

要求指标分为液体温控与气体温控，厂务水与厂务气体温度波动大，在液体温控

部分设定为两级调节，在ＰＷＳ水处理系统中进行一级温控粗调，在ＨＣＷＳ注液

系统中进行二级温控精调；在气体温控部分进行直接调节，由于在温度调节过程

中涉及热量交换，引用ＰＷＳ水处理系统中已完成粗调的超纯水供ＣＡＳ系统调节

气体温度。ＴＣＭ温控模块方案原理如图所示。

表１．７温控模块指标要求

参量 指标性质 指标要求
流体温度稳定度 检测指标 ２２±０．０ｌｏｃ＠３０ｍｉｎ

冷启动温度稳定所需时间 检测指标 ＜４ｈ

热启动温度稳定所需时间 检测指标 ＜３ｒａｉｎ

表中冷启动表示从最初状态进入温度稳定，所需时间长；热启动表示待机状

态进入工作状态，所需时间短。

万方数据
 浙江大学硕士学位论壅 ．。 ＿！ 蔓！垩丝笙

图１．１２ＴＣＭ方案原理图

图１—１３ ＴＣＭ组装模型图

１．２．６ 浸没分系统整体方案

ＭＣＭ为总控模块，负责各子系统信号数据的处理反馈，指令发布，处于浸

没式分系统逻辑最高层。在论述ＭＣＭ控制系统总体方案之前，首先明确ＭＣＭ

在光刻机控制系统中所处的位置，如图１．１４所示。

图１—１４ ＭＣＭ控制原理框图
１ｌ

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

由控制原理框图可知，ＭＣＭ控制系统隶属光刻机控制系统中的分系统控制

层，上端与光刻机之间采用ＶＭＥ工业总线进行连接，下端与水处理分系统（ＰＷＳ）、

注液单元（ＨＣＷＳ）、注气单元（ＣＡＳ）、气液回收单元（ＨＡＷＥ）、温控模块（ＴＣＭ）及

位姿调节分系统（ＭＧＣ）之间采用以太网与通信协议进行数据交换。ＴＣＭ温控为

共用模块，其物理层分别依附于ＰＷＳ，ＣＡＳ及ＨＣＷＳ，不单独设立空间，ＣＡＳ

与ＨＡＷＥ安装在同一个控制柜中，ＨＣＷＳ安装在光刻机内部，与ＰＷＳ水处理

部分相距距离为２０米，ＭＧＣ为位姿调节分系统，属于浸没分系统后端模块。图

示ＭＣＭ控制系统处于光刻机与子系统之间，仅为逻辑关系上的划定，在物理关

系上，ＭＣＭ控制系统依托各个子系统执行。

在浸没式分系统中，部分子系统之间在物理层面上具有先后关系，以浸没单

元为中心，将各个子系统展开，对系统物理层面的逻辑关系进行剖析，可得浸没

式分系统整体原理图。先由厂务水通过ＰＷＳ进行水质处理，生成达标的超纯水，

由ＨＣＷＳ控制流量、压力等注液参数，将符合要求的超纯水注入浸没单元，用

于浸没单元内形成流场。同时厂务气通过ＣＡＳ进行多层气体处理，生成达标的

洁净气，注入浸没单元用于液体流场的密封。温度控制分布于ＰＷＳ，ＨＣＷＳ，ＣＡＳ

各系统中，用于控制注入浸没单元流体的温度参数。浸没单元处排出的流体为气

液两相流，ＨＡＷＥ用于回收浸没单元中的流体，并以一定方式将气液分离。功

能部分，在各子系统能单独运行的基础上，ＭＣＭ总控系统需统筹各个分系统的

状态、时序及流程，保证各个子系统能相互配合协调工作，整体功能示意如图

１．１５所示。

１２

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

匪圃●二曛麒卜…圈
ＨＣＷＳ

匡Ｈ：画匾｝懂墅垂国ｉ

图１－１５浸没式分系统功能示意图

在性能部分，各个子系统自身会结合直接检测显示用于调式，在线监测保存

数据等方式确认子系统正常工作时，本身参数的指标符合标准。ＭＣＭ总控系统

针对各个子系统参数指标，在有相关性参数协调时，需统筹处理。如注液单元流

量、注气单元压力与气液回收单元之间的参数需以一定关系式控制，保证浸没单

元内流场平稳有效，浸没式分系统性能检测模型如图１—１６所示。

图１．１６浸没式分系统性能检测模型

１．３课题研究内容

本课题旨在对浸没式光刻机中浸没系统控制模块在领域专家和软件程序员

之间建立一套领域特定语言，以便浸没系统中流体、气液纯化、温控领域专家与

总控软件人员的沟通与流程设计。本课题现阶段对于浸没系统控制模块的主要指

标来源于国家重大专项，针对当前浸没系统总控与各分系统间的逻辑控制及自动

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

化要求，研究内容主要如下：

浸没系统控制逻辑及系统数据的ＤＳＬ模型研究。浸没系统中服务器与客户

端间信息交互主要表现为客户端检测现场设备运行参数作为系统数据提供给服

务器， 服务器进行相应算法得出客户端状态关系，发送命令至客户端进行系统

逻辑控制。交互过程中的数据及命令为系统接口，都可以通过建模以ＤＳＬ方式

实现，过程为：

１）研究浸没式光刻机浸没系统中总控模块的元模型表示法。包括浸没系统

中各系统执行过程，状态切换，事件触发，系统数据等模型。

２）建立适用的逻辑控制及系统数据ＤＳＬ文本，生成语义模型。根据系统模

型，定制ＤＳＬ文本，以相应词法及语法规则分析，生成抽象语法树，并

组装语义模型，供目标操作及代码生成。

进行浸没系统的状态切换控制系统研究。通过定制的ＤＳＬ文本及组装的语

义模型，与业务逻辑核心应用程序无缝对接，基于ＤＳＬ实现浸没系统的状态逻

辑控制及自动化控制，主要内容为：

１）研究基于ＤＳＬ的状态切换方案下浸没系统的控制逻辑关系。浸没系统中

以总控为服务器，各分系统为客户端，采用Ｌｉｎｕｘ系统为开发平台，Ｃ＋＋

为开发语言，基于ＤＳＬ脚本实现逻辑控制功能。

２）设计基于ＤＳＬ的数据通讯实现的浸没系统自动化控制算法。服务器端读

取客户端的系统数据，解析处理并存储。客户端数据基于跨平台的外部

ＤＳＬ语言ＸＭＬ表示，采用ＤＯＭ节点模型及成熟的工具包解析。

浸没分系统总控的作用是实现光刻机和浸没分系统之间指令和数据信息的

相互传递，同时实现对浸没分系统的周期性维护。结合浸没系统内部项目情况，

根据光刻机与浸没分系统之间的通讯和浸没分系统接口的设计需求，将总控通讯

的功能需求整理归纳。由浸没系统总控与各分系统间协调关系，浸没式光刻机浸

没系统控制的设计与实现具有如下功能目标：

１）参量监测与设定模块

功能：参量监测模块负责接收现场设备中传感器检测到的数据，通过控制器

将处理结果上传至总控模块。参量设定模块由主控模块负责，先通过人机交互设

定相关参数，再由主控模块反馈至现场设备中的执行器。

１４

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

２）接口和通讯模块

功能：接口和通讯模块负责接收由光刻机传递来的指令和数据信息，将指令

和数据传递给主控模块进行识别和分析，并将处理结果及时反馈给光刻机；接口

和通讯模块负责将主控模块对浸没分系统的处理指令和数据信息及时、有效的传

递给浸没分系统，并接收浸没分系统的反馈信息；同时，接收浸没分系统的异常

指令和数据，并将指令和数据传递给主控模块分析和处理；接口和通讯模块负责

向光刻机发送浸没分系统异常请求指令，并接收响应指令。

３）主控模块

功能：主控模块包括业务处理和时序控制，接收接口和通讯模块传递的指令

和数据信息，对指令和数据信息进行识别，通过调用数据存储模块的数据信息对

指令进行分析和处理，对接口和通讯模块传递的数据信息进行及时存储，同时，

主控模块通过相应算法进行业务逻辑处理，完成时序控制，实现将指令和数据信

息处理结果反馈到接口和通讯模块。

４）数据存储模块

功能：数据存储模块对主控模块负责，能够为主控模块从接口和通讯模块传

入的指令的处理提供所需数据信患；同时，对通过接口和通讯模块传递的数据，

经过主控模块处理之后，进行及时有效的存储。
。

５）人机交互模块 ・

功能：人机交互模块对主控模块负责，能够对主控模块从接口和通讯模块中

接收的数据提供界面显示，并将其绘制动态图表。同时，可通过人机交互模块设

定系统初始参数，供主控模块处理。

图１．１７总控通讯模块功能框图
表ｌ一８总控模块硬件对应

１５

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第１章绪论

参量检测 传感器／控制器 传感器检测数据，并上传给控制器

数据通讯 控制器／上位机／交换机 控制器及上位机端设定通讯接口，连至交换机
业务处理
控制器／上位机 以处理器等为程序运行载体
时序控制
人机交互 显示器 用于人机交互，便于信息显示及参量设定
信患存储 存储设备 使用上位机中的硬盘作为存储设备

针对如上功能目标，确定开发模式。系统控制软件以工控机为载体，采用

Ｌｉｎｕｘ ＣｅｎｔＯＳ ７为开发平台，Ｃ／Ｃ＋＋为开发语言。对通讯与数据交互部分采用服

务器／客户端模式，通过ＴＣＰ／ＩＰ协议和ｓｏｃｋｅｔ通讯方式实现；对数据存储部分使

用轻量化ＳＱＬｉｔｅ数据库，人机界面交互部分使用Ｑｔ４开发，并实现业务逻辑和

界面层隔离，在纯命令行模式下不启用界面，仅采用控制台输入输出，在桌面模

式下使用人机图形界面。由于分系统各状态及逻辑关系及其复杂，领域专家与软

件开发人员对数据交互部分采用ＸＭＬ与ＤＳＬ领域特定语言进行约定，定制适

用于浸没式光刻机浸没分系统控制的ＤＳＬ脚本。开发模式列表如表１・９所示：
表１—９开发模式

１．４本章小结

本章介绍了光刻技术的基本原理及发展现状，并阐述了浸没式光刻技术的基

本内容。在浸没系统中分别从系统概要，功能指标，基本原理和组装模型介绍了

ＰＷＳ水处理系统，ＨＣＷＳ注液系统，ＣＡＳ注气系统，ＨＡＷＥ气液回收单元和

ＴＣＭ温控模块，并根据浸没系统、状态控制的基本要求描述了分系统间相互关系，

提出课题的研究内容与开发模式。

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第２章ＭＣＭ控制系统硬件平台设计

第２章ＭＣＭ控制系统硬件平台设计
前述章节描述了光刻技术的原理及发展现状，阐述了浸没光刻技术的相关内

容。对浸没系统中ＰＷＳ水传输系统、ＨＣＷＳ注液系统、ＣＡＳ注气系统、ＨＡＷＥ

气液回收单元、ＴＣＭ温控模块以及ＭＣＭ总控通讯模块与这几个浸没分系统之

间的相互关系进行了分析。本章将会针对ＭＣＭ总控通讯的硬件平台及核心硬件

选型进行说明。

２．１浸没系统逻辑架构

由于光刻机浸没系统研发流程及操作限制，研发样机不能确定浸没系统在生

产环境下在何时何处协调子系统状态信息，使用集中控制式网络拓扑结构会暴露

控制模式单一，故障维护难等问题，无法满足系统需要。因此要求总控端软件不

独立运行，而是将服务器客户端集成，根据现场环境，任意系统都具备兼容服务

器功能，可会转变为服务器状态。由此整合服务器与客户端应用软件，采用任意

主机可申请服务器模式，依托子系统端ＰＣ机运行监控，包括服务器及客户端，

实现子系统间数据传输与通讯功能。

根据物理空间模型，将子系统罗列，图中以虚线框表示；根据逻辑控制形式，

将应用模块划分独立，以现场级中的传感器、执行器为一层，控制级中的ＰＬＣ

为一层，监视操作级中工业ＰＣ机为一层，组建现场网络、控制网络及管理网络，

其中管理级不单独设立空间，运行环境依托于监视操作级。现场网络中使用信号

线连接，控制网络及管理网络中使用双绞线，物理接口为ＲＪ４５，采用ＴＣＰ／ＩＰ协

议，如下图所示：
二二＝篇≯”。“

ｊｊ量困。。

＠囤避．：！＠圃匦：：．＠囹匦｛：＠圆圈
§医垂戛垂圊匦壅；；雪避匝甄ｉ！Ｑ圃匝塑：！鱼里型一．ｉ堕夔
图２—１浸没式分系统逻辑架构图

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第２章ＭＣＭ控制系统硬件平台设计

结合ＭＣＭ控制系统与架构图中每个分系统的功能，如图１．１ ７所示的模块

功能框图，包括接口通讯模块、下位机参量检测与控制、上位机人机交互显示、

存储模块和系统控制模块等。其中接口通讯部分通过网络交换机，上位机的系统

控制、人机交互和存储模块使用工控机，下位机的参量检测与控制使用控制器。

监视操作级部分采用星型网络拓扑结构，便于集中控制，并且端用户设备故

障不会影响其他端用户间的通信，具有网络延迟时间小，系统可靠性高等优点。

但如果中心系统一旦损坏，整个系统将趋于瘫痪，因此中心系统必须具有极高的

可靠性。张志杰使用一种冗余双绞线方案［４０１，利用辅助通道从物理层面提高通

讯稳定性；ＪｏｚｅｆＰｅｔｒｅｋ和Ｖｏｌｋｅｒ Ｓｌｅｄｔ提出过一种高层次的星型拓扑设计算法【４１１，

在算法上可以解决集线器数量和部署问题。本文中提到的模型为通用星型网络拓

扑结构，如图２—２所示。

图２—２星型拓扑结构

２．２ ＭＣＭ控制系统关键硬件选型
图２—２对网络交换机、工控机和控制器三种硬件搭建局域网，组成浸没分系

统控制和通讯基础模型。其中交换机的网络吞吐量、传输速率，工控机的扩展接

口及数据处理能力，控制器的类型与控制精度为关键指标，需对选型过程进行说

明。

２．２．１ 可编程控制器分析与选型

根据ＨＣＷＳ及温控模块需要调控的精度指标，可编程控制器采购点主要体

现在流量控制器的流量控制精度为０．１％，温度部分检测分辨率需达到０．１℃。可

编程控制器及其扩展模块需满足分系统元器件各项功能。综合可编程控制器ＰＬＣ

的控制性能、通讯功能及项目匹配性等部分，选择西门子系列可编程控制器。

ＳＩＭＡＴＩＣ Ｓ７—１２００具有集成ＰＲＯＦＩＮＥＴ接口、强大的集成工艺功能和灵活的可

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第２章ＭＣＭ控制系统硬件平台设计

扩展性等特点，为各种工艺任务提供了简单的通讯和有效的解决方案，尤其满足

多种应用中完全不同的自动化需求【。ｚ－，验算控制器扩展模块精度控制达标过程：

—（０．０２－Ｏ．０ ４）×（ａｃｔ—ｕａｌｓｐａｎ－ｍｉｎｓｐａｎ）＋ｏ．０ ４
以ｃｆ“以瓜ｐ口玎：—（ｍａｘｓｐａｎ－ｍｉｎｓｐａｎ）（ａ—ｃｔｕａｌｃｕｒ ｅｎｔ－０．０ ４）＋，竹ｆｎｓ矽乜＂
图２—３可编程控制器流量控制数模转换图

（２．１）
ｍａｘｓｐａｎ——ｍｉｎｓｐａｎ

１ ４ （２．２）
’

０．０２—０．００４

根据可编程控制器流量控制数模转换图，对以４－２０ｍＡ控制的流量控制器按

０．１％精度计算，Ｏ．１％精度对应的控制电流最低分辨率可由下式得知。由ＰＬＣ模

拟量扩展模块精度分辨率为１３位计算实际可控的电流最小分辨率如式所示，由

ＡＤ转换满量程０－２７６４８信息计算数字增长识别率，在数模转换过程中要求识别

量如下：
２０—４ｘ０．１％＝０．０１６ｍＡ （２．３）

—２０矿－４：０．００１９５ｍＡ＜０．０１６ｍＡ （２．４）

可２７６４８：３．３７５＞１
，’１２，
（２．５）

即在数字量０－２７６４８范围内，只有增长量大于３．３７５，电流信号才能识别，理

论增长量３．３７５对应的电流分辨率为０．００１９５ｍＡ，２５。Ｃ时误差为士０．１％，０－５５。Ｃ

内不超过土０．２％，硬件ｌ电，流分辨率符合流量控制器０．１％精度要求。

图２＿４可编程控制器及扩展模块
１９

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第２章ＭＣＭ控制系统硬件平台设计

２．２．２ 工控机分析与选型

根据客户端数量ｎ＝５台，以每台数据包整包ＸＭＬ文件ｑ＝ｌＯｋｂ计，收发频
率ｆ＝１ ｐｓ，则需求传输速率ｖ和每个客户端７天数据存储量Ｑ分别如下，工作

过程中按照保留７天ＸＭＬ包数据文件，硬件选型的传输速率及容量要求如下：

ｖ：等：半：５０ｋｂｐｓ
厂 ｌ
（２．６）
’ ’

Ｑ：—ｑ ６—０ｘ ７：！堕坐型：５．７７Ｇｂ

、
ｘ ６０ｘ

厂Ｘ１０２４Ｘ１０２４
２４ｘ

１×１０２４×１０２４
（２．７）
‘ ’

下图为上位机控制系统中的硬件选型，其中工控机采用研华ＡＲＫ．３５１０，接

口参数中具备串行端口ＲＳ２３２及ＲＳ４８５各２个，以太网ＬＡＮｌ口１０／１００／１０００Ｍｂｐｓ

Ｉｎｔｅｒｌ８２５７９ＬＭ，以太网ＬＡＮ２口１０／１００／１０００Ｍｂｐｓ Ｉｎｔｅｌ １－２１０Ｔ，硬盘容量标配

５００Ｇ。

图２—５工控机选型

２．２．３ 交换机分析与选型

根据以上工控机选型及式（２．６）表示的包转发信息，网络交换机选用思科

ＳＦ３００—０８，关键参数中包转发率为１．１９Ｍｂｐｓ，传输速率为１０／１００Ｍｂｐｓ。

图２－６网络交换机选型

总控系统工作时，需不断读取各个子系统的数据并处理，映射相应指令，并

将指令分别传达至子系统，供其调用执行。将图中的ＰＬＣ控制器及以下的现场

执行器、传感器作为子系统，将监视操作级中多个工业处理器作为信号处理模块，

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第２章ＭＣＭ控制系统硬件平台设计

以其中一台工业处理器为平台运行总控服务端，可将ＭＣＭ总控系统信息流原理

框图列出，下图为ＰＷＳ的工业处理器作为服务器时信息流原理框图。

——＇指令流一一—｝数据流Ｇ二令子系统控制装誉；譬ｉ舒袭嚣德；薯蒹；彗盏妻塞荤釜蕃ｉ：搿萎蠢警萼毳亲
图２—７ ＭＣＭ总控系统信息流原理框图

２．３浸没系统总控端硬件平台
由于ＭＣＭ总控系统需要完成各浸没分系统的统筹协调，且不单独设立服务

器硬件，可将上位机部分局域网搭建分为两种方案，一是设置浸没系统总控台，

将监视操作级和管理级物理端都安装在总控台；二是配置各分系统控制架，将监

视操作级安装个在每个分系统边上。

２．３．１ 浸没系统总控台

方案一，搭建浸没系统总控台。主要包括控制台桌面，一套网络机柜及其内

部的交换机等设备，两套可调整电脑支架及工控机显示器，以及其他配件等，浸

没系统转移位置临时调试时可采用便捷移动架供各系统调试。因调试使用的浸没

式控制台位置固定，如下部分需要考虑：

１．其中工控机显示器连接线、网络连接线需分别与各子系统连接。

２．在完成的浸没式控制台中计划使用一套外设设备，利用工控机局域网控

制所有系统主机，由于ＰＷＳ使用工控一体机，显示器部分不连接至控制

台。外设设备控制接口连接至与浸没式控制台距离最近的一套系统的工

控机主机。

３．调试控制台具备灵活的控制方案，在控制台处可完成所有分系统的运行

控制。如下图所示的浸没系统控制台虚拟组装中提供了便捷移动架，可

供系统单独调试使用，整体调试时可转至控制台。

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第２章ＭＣＭ控制系统硬件平台设计

一
图２－８浸没系统控制台虚拟组装

网络机柜中放置用于组建局域网的交换机，用于浸没系统与光刻机主机连接

的含ＶＭＥ接口机箱，提供系统Ｉ＇日－Ｊ相互通讯的网络环境。与各系统独立的单项调

试相比，使用控制台具有集成性高，调试切换便捷等优势，但同时也存在空间占

用大，移动不够灵活等问题。

２．３．２ 浸没分系统控制架

方案二，配置各分系统控制架。针对每一个分系统分别使用一套移动架，连

接系统中的处理器，将监视操作级安装个在每个分系统边上，其他网络组建等信

息不变，如图２－９所示。该方案更注重于各系统独立的单项调试，其中一台客户

机运行服务器程序时，可在服务器界面查询到浸没系统整体状态。

图２－９浸没系统虚拟组装

与方案一使用总控台相比，该方案灵活性大，浸没分系统物理完整性好，符

合当前系统迭代开发现状，因此选用配置各分系统控制架方案搭建浸没系统总控

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第２章ＭＣＭ控制系统硬件平台设计

端硬件平台，浸没系统总控组装如图２—１０所示。

图２—１０浸没系统总控组装

由于各分系统间隔远，区域跨度大，无法直接展现，图中使用虚线表示网络

等连接线连接各分系统。其中ＴＣＭ温控模块分布于ＰＷＳ，ＨＣＷＳ和ＣＡＳ中，

图２—１０使用虚拟模型替代。

２．４本章小结

本章根据浸没系统的物理空间模型与逻辑控制形式介绍了浸没系统的逻辑

架构，对系统进行分层，组建现场网络、控制网络和管理网络。采用了服务器／

客户机一体化方案，任意一台主机在系统启动前会检测网络服务器是否开启，在

服务器未开启情况下可选择兼容服务器模式，该主机同时运行服务器与当前分系

统客户端软件。系统启动过程中一旦检测到网络中存在服务器，则直接进行网络

连接，作为当前分系统客户机使用，不再具备服务器／客户机模式选择功能。

通过逻辑架构的搭建，进行控制系统关键硬件的选型，设计符合逻辑架构的

物理方案，并根据各分系统与浸没系统总控端相互关系搭建了硬件平台。

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第３章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统软件分析与设计

第３章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统软件分析与设计
前述章节描述了浸没系统总控部分的硬件平台，对关键部件的选型进行了研

究分析，对控制平台的搭建进行了说明。本章中，在浸没系统控制逻辑架构的基

础上，通过软件控制模块划分，将总控模块分为表现层、业务逻辑层和数据层。

对软件中业务逻辑提到的状态定位、时序控制等部分采用有限状态机进行分析，

确定ＭＣＭ控制系统中的相互关系。

３．１浸没系统控制模块分布
ＭＣＭ控制系统与上层光刻机及下层浸没分系统之间的联系紧密。浸没分系

统将传感器数据与控制器信号存储在数据文件中，作为数据接口供ＭＣＭ客户端

读取解析。总控模块客户端则将数据传送至服务器，通过服务器数据解析得知各

分系统运行情况，提供时序控制指令，并将信号传达给客户端。因人机交互及调

试需要，ＭＣＭ控制中加入界面显示，实际生产环境中显示部分由上层光刻机执

行，各功能分层结构如下图所示。
●一‘‘‘。’‘‘’’’’’’‘‘‘‘’‘‘‘‘‘‘’‘’‘‘‘‘。。‘‘‘‘’’‘’’‘‘‘‘。’’‘’。‘．
ｊ ！ 默认使用ｃ一语言在Ｌｉ ｎｕｘ．系统下编码

上层光刻机主机 交付部分（交付给上层系统的内容）
；
：
；（：；≥
：’：：：：： 系统部分（ＭｅＭ包括服务嚣和客户端）

图３－１浸没系统控制模块分布

在给定系统的拓补结构，任务集，通讯路径集合处理单元集的情况下，以及

在规定的任务时间内，系统完成处理所有任务的能力，其概率度量称为分布式系
２４

万方数据
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统的可靠度【４３１，包含了分布式投票技术等容错方法【４４１。课题中的最终软件集成

为一个整体程序，整体程序包含ＭＣＭ服务器子程序与５个分系统客户端子程序，

执行时会根据选择情况只运行整体程序中的一项子程序。每个分系统都需要运行

与之对应的客户端程序，其中一个分系统工控机上运行ＭＣＭ服务器程序，这取

决于登陆情况，原理上任意一台工控机都可作为服务器使用。

３．２浸没系统业务逻辑模型建立
３。２．１ 浸没系统状态流程分析

通过浸没分系统的整体功能分析，将各子模块划分后，各子模块间存在独立

的状态切换流程，又具有一定逻辑关联性。现将整体功能分割，以不可再分的原

子处理方式，考虑各子模块的运行状态并完成状态切换。

采用归类法对ＭＣＭ控制系统的状态进行分析，结合整个系统的功能将

ＭＣＭ控制系统的状态划分为６种：脱机状态、停机状态、待机状态、工作状态、

故障状态和切换状态。各状态表述说明如下：

湖黼麓 表３—１光刻机与ＭＣＭ的状态共识
ｇ鐾麓§ｉ黟：ｉ冀罐翁薹ｉ｜露瓣ｌ鬻ｒ蠹纛瓣鬻§瓣ｉ囊篓ｌ｜纂藏豢黪澍凌辫蘩鬃酷鬟彰蠖鬟鬟黼§戮ｉ荔繁鳞瓣鬻耄ｌ｜麟鬻溪｜｜｜｜｜囊鎏蕤鬻鬟ｌ黪麓黼ｉ蘩

ｉ瓣麓嚣麓憨纛 控制系统与光刻机通信未连接，光刻机整机不进行任何工作
滋纛蘩
穗缴慧 控制系统只通电，仅与被控子系统建立通信连接

漆缫糕
控制系统完成形成浸没流场的准备工作

垦
控制系统实现符合要求的稳态缝隙流场
控制系统监测一个或多个被控子系统有故障，或检测到被控子系
统存在时序故障
骥蘸 正常运行中，有一个被控子系统处于状态的转移过程中

根据ＭＣＭ控制系统的功能描述，结合被控子系统状态正交分解结果，可以

得出ＭＣＭ与被控子系统的状态对应关系，见表３．２所示：
表３．２ ＭＣＭ状态与被控子系统状态对应表
粼稿忿Ⅳ鼷戮： 鬟篓！霪毯滗《蘩蒸 獭灏舞鬟熬 薰重Ｇ嚣麓藿鬻
溺缫麟
鬻懑媛鬻戮ｌ 蘩囊黧ｌ鞠麓Ｓ黧；囊蘩

缝瓣瓣
脱机状态 脱机状态 脱机状态 脱机状态 脱机状态
停机状态 停机状态 停机状态 停机状态 停机状态
澜黛瓣鬃
戮黼麟
工作状态 待机状态 待机状态 待机状态 工作状态
工作状态 工作状态 工作状态 工作状态 工作状态
溺瓣麟麟
戮戮蕤≤
有一个子系统处于状态转移中
至少一个子系统故障，或者多个子系统存在时序故障
表３．２所示中，ＭＣＭ控制系统的状态是ＰＷＳ、ＨＣＷＳ、ＣＡＳ、ＨＡＷＥ、ＴＣＭ、

ＭＧＣ状态组合，其未涵盖状态部分体现在ＭＣＭ状态切换过程中，即ＭＣＭ控

万方数据
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制系统的切换状态和故障状态，会包含所有表格中未出现的ＰＷＳ、ＨＣＷＳ、ＣＡＳ、

ＨＡＷＥ、ＴＣＭ、ＭＧＣ状态组合。

ＭＣＭ控制系统的切换状态是其两个固定状态之间转移，这种转移过程根据

正交性分析也可以由６个子系统的状态转移过程所构成。因此，分析被控子系统

的状态转移也是关键，根据ＭＣＭ控制系统的实际运行过程，为便于时序辨别，

将状态进行编号，如表３—３所示，ＭＣＭ控制系统的切换状态可以进行如下分解，

具体见表３．４：
表３－３ ＭＣＭ状态编号
鬣鬟ｉ豢ｉ鎏型藿粪爨豢囊黧脱机状态 停机状态 待机状态 工作状态 故障状态ｌ
隧鬻溺鼷繁㈡ ④ ② ③ ④ ⑤

蒺艨瓣 ｌ麟麓勰ｌ霪蕤
表３４ＭＣＭ切换状态分解表
鬓麓黼麓缀 瓣獭麟｜１ 缀徽＠鬃羹麓 鬻鬻霪忿磁ｉｉｌ 荔鬻ｌ磁心ｅｉ｜｜｜｜｜◇
①专② ①专② ①专② ①专② ①专② ①专② ①专②
②专③ ②专③专④ ②专③ ②专③ ②专③ ②专③专④ ②专③
③专④ ④ ③专④ ③专④ ③专④ ④ ③专④专③

④专③ ④ ④专③ ④专③ ④专③ ④ ④专③

③专② ④专③专② ③专② ③专② ③专② ④专③专② ③专②
②专① ②专① ②专① ②专① ②专① ②专① ②专①
⑤专③ 故障系统物理断电，非故障系统由停机专脱机
③专⑤ 故障系统处于故障状态，非故障系统处于安全状态
④专⑤ 故障系统处于故障状态，非故障系统处于安全状态
②专⑤ 故障系统处于故障状态，非故障系统处于停机状态
⑤专② 故障系统重新建立连接或重启，非故障子系统停机

状态转移中每“＿”代表一次状态转移。安全状态时会根据各子系统状态排列

组合的情况设立链接，令浸没分系统中各子系统出现的状态组合都出现在分解表

中，当出现不符情况时，将物理后方的子系统按一定链接关系转移至相应状态。

当ＭＣＭ总控系统主动状态切换时，需在子系统间建立状态转移优先级，只有在

物理前列完成状态切换后才能在物理后放进行状态切换，如只有在ＰＷＳ水处理

系统正常工作时才能进行ＨＣＷＳ注液。优先级相同或不影响时，ＭＣＭ控制系统

的时序控制过程可以存在着两个或以上的被控子系统同时运行的情况，但会对运

行情况进行监测处理。

将状态转化列表图形化，考虑各浸没分系统状态切换及时序关系，进一步生

成浸没系统状态切换总模型。

３．２．１．１ ＰＷＳ水处理系统状态分析

２６

万方数据
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根据浸没分系统运行过程中可能出现的不同情况，将浸没分系统各运行状态

划分。为便于后期ＭＣＭ总控系统对各子系统控制，建立ＭＣＭ总控系统与各子

系统间的状态共识，子系统与子系统之间的状态协定由ＭＣＭ总控系统通过发布

状态指令切换，实现浸没分系统整机协同工作。其中总控系统与各子系统间达成

的状态共识如表３．５和表３．７所示。
表３．５ ＭＣＭ与ＰＷＳ的状态共识

｜｜｜｜糕瓣蒸蒸麓 豢絮麟藏潺㈡麓黼獭ｉ瀵粼戮麓獭瓣震澜鬻黼懑戮鬻溱戮渊羹鋈懑憨
灏麓溺麓黼燃
鬻藕鳞懋麟
初始情况下，ＰＷＳ系统未与总控进行通讯连接

圈
ＰＷＳ系统与总控连接，通讯正常，但是仪表和元器件未通电
ＰＷＳ系统元器件、水质仪表电源关闭，入口、排水口、水质仪表
检测口电磁阀开启一段时间，使整个系统充满超纯水后，入口和

黧鍪
排水口电磁阀关闭
ＰＷＳ系统元器件、水质仪表电源打开，入口、排水口、水质仪表
检测口电磁阀开启，用水Ｉ：Ｊ电磁阀关闭

ｌ鬃黼羹
ＰＷＳ系统元器件、水质仪表电源打开，入口、用水口、水质仪表

纛
检测口电磁阀开启，排水口电磁阀关闭
ＰＷＳ系统某元器件发生故障，不能正常工作，此时ＰＷＳ系统元器
件电源、水质仪表电源、入口电磁阀、排水口电磁阀、水质仪表

捌麓
检测口电磁阖均关闭
ＰＷＳ系统在正常工作情况下，手动控制入口、用水口、排水口、
水质仪表检测口电磁阀开闭
菱麟黼糍鋈囊缫ｌ ＰＷＳ系统处在供水状态情况下，清洗单元开启进水电磁阀

ＰＷＳ水处理系统是浸没单元工作的始端，属于最基础部分。负责提供达标的

超纯水及清洗液，后期子系统必须在ＰＷＳ水处理系统正常工作时才可能开始工

作，故该环节的工作稳定性会影响到后续子系统的工作状态。ＰＷＳ刚启动连接

时系统由脱机状态进入待机状态，管道口进液而不排液，等待液体充满水处理内

部管道，完成准备工作。之后打开执行器及传感器元件，启动系统内部水循环，

进入预备供水状态，此时排液１：１依然关闭，由水质处理模块不断对水质加工，令

液体达到指标需求。切换至供水状态时，系统与ＨＣＷＳ注液单元等模块联调，

实现浸没式分系统整体工作，清洗状态时ＰＷＳ系统元器件运行模式不变，只是

将清洗浓缩剂注入超纯水中形成清洗液，清洗完成时停止提供清洗浓缩剂后一段

时间可返回供水状态，水处理系统状态流程图如图３．２所示。

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图３．２ ＰＷＳ系统状态流程图

３．２．１．２ ＨＣＷＳ注液单元状态分析

ＨＣＷＳ注液单元是浸没单元工作之前最重要的部分，与ＰＷＳ，ＴＣＭ关系非

常紧密，在注液单元由仅与服务器通讯连接的停机状态转向工作状态的过程中，

需先考虑其前端ＰＷＳ水系统是否已正常工作，将判断并等待ＰＷＳ系统正常工

作的过程定义为准备状态。
表３－６ＭＣＭ与ＨＣＷＳ的状态共识
瓣鞣攀簦簸溪 舞燃嚣鬟蔫蒜嚣蒜纛ｉ囊囊薹垂藏ｉ强薯囊鳞ｌ雯羹ｉｌ零；黛ｉ囊羹鬟舞蘩鬻鬻蘩囊麓鬻疆ｊ囊鬻嚣黪蒸蘸群蕤鬻蠹ｉ耋囊ｉ≯ｉ蔫ｊ蓦赣一１鬻鬻囊ｉｉ，纛麓ｉ篓嚣
ｉ礅麟慧霪囊雾麟
鬻羹
初始情况下，ＨＣＷＳ单元未与总控进行通讯连接
ＨＣＷＳ单元与总控系统保持通信，其工作部件未工作，即无流体
流动
颡戮辫麟鬓霪鬟
攀羹
ＨＣＷＳ单元等待ＰＷＳ系统完成待机状态并准备供水。
ＨＣＷＳ单元内部循环部件正常工作，调节到固定流量以完成温控

麓羹
系统对浸没液体的温度调控
ＨＣＷＳ单元在温控调节完成后，开始调节进入浸没单元的浸液流

豢鬻
量和跟踪压力，以满足浸没单元对浸没液体的要求
ＨＣＷＳ单元实现向浸没单元提供满足要求的流量和压力稳定的浸
没液体

麓辇
鏊糕麓麓慧蕤霾纛 ＨＣＷＳ单元配合浸没单元在硅片换片过程中的浸液状态保持
ＨＣＷＳ单元在总控要求下，对浸没单元提供稳定流量和压力的清

鞭赣
洗液，用于对长时间工作之后的浸没单元的清洗工作
ＨＣＷＳ单元在完成清洗状态之后通入浸没液体以实现对残留清洗
液的冲刷，实现浸没单元流场内流体的单一性
ＨＣＷＳ单元在总控下达停机指令后为实现浸没流场的消除而对注
蔫型麓
黧荔熏
液通道进行切换，转为ＨＣＷＳ单元内部循环状态
ＨＣＷＳ单元与总控系统保持通信，其工作部件未工作，即无流体
流动

注液单元刚启动时流体不通入浸没单元，通过两位三通阀控方式将流体引入

废液容器，预先模拟流体运动状态，在此过程中ＴＣＭ温控模块会调节流体温度

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以达到标定值，称此过程为热启动状态。水温达标后，将两位三通阀重新变位，

开通浸没单元通道，流体流量及压力，直到参数达到指标，流场稳定工作，注液

单元稳定工作前的状态流程如图３．３所示。注液单元在稳定工作过程中同样会遇

到各种情况，扰乱稳态流场的维持，如换片状态时注液发生变化，设备的更换维

护状态时需要重新开启废液排出通道。清洗状态则为ＰＷＳ系统中的超纯水更换

为清洗液，清洗工作台中因硅片曝光可能残留的影响物，该情况下注液单元本身

元器件并不发生工作改变，但内部流体种类不同，且工作模式与其他子系统协同

方式有变，将其单独划分为清洗状态和冲刷状态，可实现稳定工作小循环。

图３．３ ＨＣＷＳ注液单元状态流程图

３．２．１．３ ＴＣＭ温控模块状态分析

ＴＣＭ温控部分可分为气体温控与液体温控，其中液体温控部分又分为调节

ＰＷＳ部分的一级温控与调节ＨＣＷＳ部分的二级温控。
表３．７ ＭＣＭ与ＴＣＭ的状态共识
戮蕊黧菇灞鬻霆 溯蘩麓潮篱潮蘩鬻鬻｜｜｜鬟｜勰瓣鍪霪薹囊ｉ潲黧添鬃纛戮缫黧鬻蒸鬻荔慧一一鬻豢鎏㈥；懑麓鬻鬻㈧黼豢嚣篓鬻鏊

黼
１｜｜｜ｌ麓蕊溪蹩懑１１瀵粪篓 初始情况下，ＴＣＭ未与总控进行通讯连接
蠢粼｜｜｜｜渤繇需蓊｜ｉ｝薹鬻篓 只通电保持连通，ＴＣＭ不反馈，不进行温度调节
温控系统主控制器与一级温控ＰＬＣ，二级温控ＰＬＣ以及气体的ＰＬＣ
正常通信，与温度采集设备１５８６Ａ正常通信，系统开始监测冷却
鬻Ｉ｜｜Ｉ霪鬟黧露蓦ｉ囊冀鬻鬣ｉ Ｉ｜；｝
水的入口温度和ＵＰＷ的入口温度
利用ＰＷＳ系统的热交换器来对ＵＰＷ的温度进行一个初步的控制，
｜｜｜｜｜薹囊囊鎏篓粪鐾鬻蒸囊雾霪攀１｜｜｜ 精度达到小于±０．１的波动，为下一步的二级温控微调和气体温
缫ｉ雾雾黍魏ｉ嚣錾鬟羹鬻戮．ｊ 控做准备

鬟德糍淡羹豢篓爨繁蒺 ＴＣＭ各部件正常工作，进行测量，反馈数据但不进行温度调节

万方数据
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因ＰＷＳ部分的超纯水与注液单元及气体温控调节都有联系，故一级温控为

ＴＣＭ后续部分的前提条件，一级温控完成后才可进行二级温控与气体温控。二

级温控调节前，ＨＣＷＳ通过二位三通阀的调节打开废液通道，进入热启动状态，

在此模式下调节流体温度直到温度达标，并稳定工作，ＴＣＭ系统状态的流程如

图３．４所示。

图３－４ＴＣＭ系统状态流程图

３．２．１．４ ＣＡＳ注气单元状态分析

ＣＡＳ注气单元与ＨＣＷＳ注液单元为进入浸没单元的两条不同管道，ＣＡＳ需

要提供一定要求的气体对浸没单元中流场气密封。
表３－８ ＭＣＭ与ＣＡＳ的状态共识

麓赣赣瓣躐鼷 涮溪潲羹耄霪？鬻篓蒸ｉ鬻蒸鬻囊繁ｊ囊黍鬻鬻戮蒸 ‘一添露一溱

垂栽糕粪羹囊囊鬻《ｌ 初始情况下，ＣＡＳ未与总控进行通讯连接
鬻藤巍霰漉瞪囊§露ｉ霪熏鬻鍪 ＣＡＳ与总控系统保持通信，ＨＣＷＳ各个部件不工作
ｉ罐慈囊舞蠢囊霾§ ＣＡＳ等待ＰＷＳ系统完成待机状态并准备供气
潮霪ｌ瓣溉髓蕊霪糕囊 ＣＡＳ各个部件正常工作，出气口指标达标，反馈数据但不出气

ｉ曩徽雾譬鬻畿；壤 ＣＡＳ各个部件正常工作，注气单元正常工作
赣醺糕糕鬟㈧ ＭＣＭ与ＣＡＳ通讯无法连接或者能通讯，ＣＡＳ自身部件有故障

准备状态为气体处理过程，此时处理的气体还未达到相应指标，不向浸没单

元注气。至待机状态时，气体处理已经完成，需求指标已经达到，但仍不向浸没

单元注气，时刻等待浸没单元与其他系统状态，满足供气条件时可迅速打开气体

处理元器件最末端的开关阀，进入气体供给状态。

３０

万方数据
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脱机状态
ｌ
停机状态 Ｈ故障状态
ｌ
准备状态

待机状态 Ｈ维护状态
ｒ磊—赢丢ｌ
ｌ稳定工作状态ｌ ｆ
’

ｌ ｆ
手动调试状态
Ｌ………………………一一．．’
图３—５ ＣＡＳ注气单元状态流程图

３．２．１．５ ＨＡＷＥ气液回收模块状态分析

ＨＡＷＥ气液回收模块在浸没单元工作后端，维持浸没单元中流体容量，保

证硅片曝光正常工作。为确保浸没单元中流场不出现破坏性错误，在调试过程中

需先开启ＨＡＷＥ气液回收模块，再进行ＨＣＷＳ注液操作。

图３－６ ＨＡＷＥ系统状态流程图

当ＭＣＭ总控系统工作时，需协调各个子系统的工作状态，根据其不同工作

状态可得多种整机状态组合，有效组合才能令浸没分系统正常运行，由此定义浸

没分系统整机工作的状态与各子系统状态协定如下。
表３－９ ＭＣＭ与浸没分系统的状态定义
溺爨鎏《留瀑隆囊魏錾霪 囊溯※醛ｊ曹蒸湖甏懑戮｜雯｜｜糕浚燃囊囊薹羹ｉ鬻黪豢蘩§妻ｌ｜｜蒸测渗鬻蕈鬟鬻麓｜薹ｉ§薹｜｜｜ｌ鬻蘩《！鬻缫戮熏鬟§鼗鬟篓簇翳
溯ｇ渊ｌ溯黪蒸霹囊ｉｉ麟 初始情况下，ＭＣＭ控制系统与各分系统未进行通讯连接

黧羹
溯囊蘸麓Ｉ｜羹麓※ｌ簇 各系统只通电保持连接，各系统部件不工作
ＰＷＳ水处理系统开始注入初级水，其他系统等待水处理系统供

黧羹
水
ＰＷＳ水处理系统进行水质调节，ＴＣＭ进行一级温控，其他系
统等待水处理系统供水

ｉ菱鬈蒺鬟鬻蒸震ｉ ＰＷＳ水处理系统开始供水，ＨＣＷＳ注液单元及ＴＣＭ液体温控
鬃涎瓣粪《震 进入热启动状态，ＴＣＭ气体温控开始调节，ＣＡＳ与ＨＡＷＥ部
鬻ｌｉ羹羹霪§！§鋈戆纛蒸 件启动但还未稳定工作
ｉｉ瓣｜ｌ§麟魏麓囊鬟ｉ霎戮黼 ＴＣＭ，ＣＡＳ，ＨＡＷＥ已进入稳定工作状态，ＨＣＷＳ进行注液参数调

万方数据
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蕤鬻鍪粪嚣蘩簸ｊｉ囊鍪 节
ｉ溺瑟壕懑甏麓悫§ 所有子系统都稳定工作，可进行光刻、换片等操作

黧
獭委羹羹缀麓蒸 ＰＷＳ中ＯＣＵ在线清洗模块工作，流场液体为清洗液
ＨＣＷＳ进行注液转换，ＴＣＭ，ＣＡＳ，ＨＡＷＥ进入待机状态，ＰＷＳ进
入预备供水状态，待以上步骤完成后，所有子系统进入停机
状态

如下图为浸没系统逻辑状态切换流程，其中白色框内为正常启停时都会涉及

的主线状态，灰色框内为可能涉及的支线状态，包括温控校准、清洗、异常、故

障、维护。图中纵向为时间进度，表示浸没式分系统从启动到工作到停机的过程，

横向为系统进度，可在同一时间进度上查看各系统状态信息。将ＭＣＭ总控与通

讯模块分为脱机状态、停机状态、准备状态、预备供水状态、启动状态、注液调

节状态、流场稳定状态、光刻状态、清洗状态和紧停关机状态。

ＰＷＳ Ｉ＇ＩＣＷ￥ＴＯＭ

！脱机状峦Ｉ Ｌ旦

地。ｌ停蘸Ｊ ｒ雨
墼一ｊ
切挽｜待爿裘吝Ｉ厂百
完成ｔ

－切－抉－－．；颈备赫鸯ｌ
墅一．卜
臁ｌ供森态ｈ＿ ｌ热ｆ

－——

完ｂ譬Ｔ。

切换
ｌ注液
完成’

切挠

完成。
曛
切拽

ｆ翼ｉ蒲 螂 基ｉＩ
完或ｔ

— ｌ
＊自：扶；ａ§．Ｍ自；‘＆日＃；＊｛

广———１ ｆ￥Ｔ＊＾＾；＊４Ｇ々ｎ

ｔ日＋一ｔ±￡硝《§ ｉ预备供承抗毒ｊ
＊ｍＴ｛｜Ｒ＾：ｔ“ｔ日十
Ｆｉ■ｊ■ｌ
‰“。一 ≈§＊ＲＨ｛ｉ＾的＃女
≈拧拭§∞Ⅳ∞＊Ｈｄ∞§＃｝冀≈ｅ
Ⅺ＃￥∞竞＾Ｒ＆＃Ⅱ｝《＃￥日＊￡＾ ｌ状器进度ｌ

图３．７浸没系统逻辑状态切换流程

其中脱机状态与停机状态时，各个子系统状态保持一致，从准备状态开始，

浸液分系统最始端ＰＷＳ水处理系统开始进水，ＨＡＷＥ气液回收单元元器件不启

动，维持停机状态，其他系统进入准备状态，等待ＰＷＳ迸水完成。ＰＷＳ进水完

成后切换至预备供水状态，开始进行水处理，调节ＰＷＳ各项参数以满足指标需

求，同时ＴＣＭ温控模块一级温控工作，其他分系统继续保持原状态不变。ＰＷＳ
１７

万方数据
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进入工作状态后，正常供水，此时ＨＣＷＳ注液单元及温控部分前提条件已达到，

分别切换至热启动状态和气体温控状态，ＣＡＳ注气单元与ＨＡＷＥ气液回收单元

部分进入待机状态，元器件开始工作，但未形成正常工作的稳态模式。ＴＣＭ二

级温控调节完成后，与之相关的ＨＣＷＳ可切换至注液调节状态，开始调节注液

流量与压力，一旦调节完成，且其他分系统都已做好进入稳定工作状态准备，则

ＨＣＷＳ注液单元开始注液，形成稳定流场，光刻机可以光刻。在此过程中在流

场及注液部分会有稳定工作状态、换片状态和注液调节状态的小循环，可不断往

复。

支线部分，及日常启停过程中不一定会涉及的状态，主要有温控校准，清洗

状态，冲刷状态，异常状态，故障状态，维护状态。在特殊情况下会进入，以完

成相应功能。其中在异常部分需判断系统是否可正常调节，如某参数偏高、受外

界干扰引起的数据波动等因素在与器件正常的情况下能回复稳定，并转换至原工

作状态。在相关重要数据持续无法检测、后续参数明显异常且不断恶化形式下，

异常状态需切换至故障状态，并使所有子系统进入自身故障状态，等待维护，以

确保整机系统运行安全。

３．２．２ 浸没系统状态机模型建立

根据浸没系统逻辑状态切换流程，取ＭＣＭ总控系统为主要分析点，以ＭＣＭ

总控系统正常执行状态为主干，辅助工作状态为分支构建状态机模型。有限状态

机（Ｆｉｎｉｔｅ Ｓｔａｔｅ Ｍａｃｈｉｎｅ，ＦＳＭ）相当于离散信息传感器的模型【４５１，运作过程中反

应语言语义学的原始对象［４６】，将系统状态切换过程的控制变成不同状态转移条

件的控制，增强系统的灵活性、稳定性以及自动控制能力，对软件系统的健壮性

和可控性都有显著的提高［４７１。有限状态机是为研究有限状态的计算过程和某些

语言类而抽象出的一种计算模型。包括三部分【４８］【４９】：一个包含有限个状态的集

合，用于描述系统运行过程中可能出现所有状态；一个输入集合，用于描述系统

在运行过程中接收的输入信息；一个状态变迁规则集合，用于描述系统在运行过

程中接收输入信息时从一个状态变迂到另一个状态的过程。其中一类有限接收器

（Ｄｅｔｅｒｍｉｎｉｓｔｉｃ ＦｉｎｉｔｅＡｃｃｅｐｔｅｒ，ＤＦＡ）可以由一个五元素表示【５０］【５ｌ】：

Ｍ＝｛Ｑ，∑，６，ｑｏ，Ｆ｝ （３．１）

其中：

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（１）．Ｑ＝｛ｑｏ，ｑ１，ｑ２，…，ｑｍ）：表示系统的有限状态集合。系统在运行过

程中只能处于某一个已知的确定状态ｑｉ；

（２）．∑＝（Ｃｔ。，０【２，ｃ【３，…，Ⅸｍ】：表示系统的输入集合。系统在运行过程中

只接收某一确定的输入值Ⅸ；；

（３）．６：表示系统的状态变迁规则。某一时刻，系统处于状态ｑｉ∈Ｑ，同时

接收到某一确定的系统输入值仅ｊ∈∑，则通过６规则可以获知系统下一

时刻状态为ｑｊ＝６（ｑｉ，Ｏ【ｉ）Ｅ Ｑ；

（４）．ｑｏ∈Ｑ：表示系统运行的初始状态；

（５）．Ｆ－ＣＱ：表示系统运行的最终状态集合。

浸没系统逻辑控制状态机模型如图３．８所示：

图３—８浸没系统逻辑控制状态机模型

图３－８从起始点开始下至ｗｏｒｋｉｎｇ为主线部分，根据内部属性不同的状态对

于外界刺激的不同响应方式，利用状态机来澄清系统的内部状态，并描述不同状

态下的响应及系统迁移的触发因素。在每个状态上定义多个状态的迁移，其中每

个迁移都由事件触发，之后状态机将迁移至目标状态。事件迁移通过ＭＣＭ总控

发送的命令触发，因后期代码需要，使用英文表示状态机事件及迁移的说明文本。

状态机模型与浸没系统逻辑状态切换流程间关联如下：

３４

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３．２．３ 逻辑控制ＵＭＬ时序图分析

状态机把对象的行为划分成一组状态，用时间触发行为，根据对象所处的状

态，事件会使对象从当前状态转换到另一个状态。其核心元素包括状态、时间和

转换，根据浸没系统逻辑控制状态机模型绘制ＵＭＬ时序图。ＵＭＬ是面向对象

系统中使用图形建模的一种符号【５２１。如图３－９为ＭＣＭ总控系统与浸没分系统

通讯连接及参数设置ＵＭＬ时序图，对应状态机模型部分ＢｕｉｌｄＣｏｎｎｅｃｔｉｏｎ事件迁

移，ＭＣＭ作为服务器开启后，通讯连接由浸没分系统主动向服务器发送连接请

求，连接顺序无特别要求。

圈匿圈圈囡圆圈
，Ｍｏｃ…。。‘ｉｏ“土
ＢｕｉｌｄＣ ０ｎ ｉｉｃｃ｜ｌｏｎ
厂

ＢｕｉｌｄＣｏｎｎｅｃｔｉｏｎ

ＢｕｉｌｄＣ ｎｃｃｔｌｏｎ

ＢｕｉｌｄＣｏｎｎｅｃｔｉｏｎ

ＳｅｔＰａｒａｍｅｎｔ

ＳｅｔＰａｒａｍｅｎｔ

ＳｅｔＰａｒａｍｅｎｔ

ＳｅｔＰａｒａｍｅｎｔ

ＳｅｔＰａｒａｍｅｎｔ

图３－９通讯连接ＵＭＬ时序图

如图３—１０为纯水处理ＵＭＬ时序图，对应浸没系统准备及预备供水状态，即
ＰＷＳ水处理系统进行超纯水处理，ＴＣＭ温控系统进行一级温控调节的过程。由

服务器发送命令触发ＰＷＳ进入ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ准备状态，进行初级注水，完成初级

万方数据
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注水后开始纯水处理，ＴＣＭ进行一级温控调节。

Ｉ圈一圈圈一
ＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ

—、）Ｐｆｏｃｅｓｓ
．．—／
ＦｉＩＩｉ如Ｆｅｅｄｂａｃｋ

ＰｕｒｅＷａｔｅｒＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎ

——）Ｐｒｏｃｅｓｓ
．＿—／ Ｔｅｍｐｅｒａｔｍ ｅＡｄｊｕｓｔｍｅｎｔ
．ｒ

Ｆｊ撕ｓｈＦｅｃｄｂａｃｋ
ＦｉｈｉｓｈＦｅｃｄＢａｃｋ

图３．１０纯水处理ＵＭＬ时序图

如图３．１１为热启动ＵＭＬ时序图，对应浸没系统ａｃｔｉｖｅ启动状态，ＰＷＳ开

始向外供水，其他分系统运行条件满足，等待服务器命令。图中所示为ＨＣＷＳ

调节阀口方向，切换管道流体直接流向出口时ＴＣＭ二级温控及气体温控调节过

程。

Ｉ固一圈圈圄

图３—１１热启动ＵＭＬ时序图

如图３—１２为注液形成流场ＵＭＬ时序图，对应浸没系统ａｊｕｓｔｍｅｎｔ注液状态。

其中ＣＡＳ注气单元保持运行，提供高湿度纯化气体，用于流场密封，ＨＡＷＥ气

液回收单元保持运行，提供一定负压，用于浸没单元流体回收。二级温控及气体

温控完成后，ＨＣＷＳ重新调节阀口方向，切换管道流体流向浸没单元，同时进

行流量压力调节，直至形成满足光刻要求的稳定流场。

万方数据
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圈囡圈圈圆圈 Ｒｕ“

Ｆｌａｇ
、

Ｒ Ｄｎ

Ｆｌａｇ

ＦｌｕｉｄＴｅｍｐｅｒａｍｒｅＣｏｎｔｒｏｌ——

Ｆｌａｇ

ＧａｓＴｅｍｐｅｒｔｕｒｅＣｏｎｔｒｏｌ
＼

Ｆｌａｇ

蹦ｄＡｄｊ“５１“。“
Ｌ
．ｒ

，
ＦｉｎｉｓｌｌＦｅｅｄｂａｃｋ
Ｉ，）ｍ“３

图３—１２注液形成流场ＵＭＬ时序图

由于ＵＭＬ没有形式化的动态语义，不利于对其所描述的需求进行形式化验

证和证明，蒋慧等将ＵＭＬ状态机中的状态映射到一种项代数上，归纳的状态项

表示状态机的状态【５３１。本文提出的基于ＤＳＬ的浸没式光刻机浸没系统控制的设

计采用ＤＳＬ文本表示法，将ＵＭＬ状态机中的状态以ＤＳＬ语言进行抽象，进行

后期代码生成及测试。

３．３浸没系统通讯机制

在第２章浸没系统逻辑架构部分已经介绍了浸没系统中的控制使用客户端／

服务器集成模式。总控端软件不独立运行，而是将服务器客户端集成，根据现场

环境，任意系统都具备兼容服务器功能，可会转变为服务器状态。由此整合服务

器与客户端应用软件，采用任意主机可申请服务器模式，依托子系统端ＰＣ机运

行监控，包括服务器及客户端，实现子系统间数据传输与通讯功能。下面是浸没

系统中客户端／服务器之间通讯机制的说明。

３．３．１ 通讯组网及方案设计

目前以太网中的网络拓扑结构主要有星型结构、环型结构、总线型结构、分

布式结构、树型结构、网状结构等ＩＳ４１。ＭＣＭ控制系统硬件平台设计中图２．２说

明浸没系统所用的星型拓扑结构，便于集中控制，并且端用户设备故障不会影响

其他端用户间的通信，具有网络延迟时间小，系统可靠性高等有限，框架模型如

下所示。实际应用经验表明，对于共享式以太网来说，当通信负荷在２５％以下

万方数据
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时，可保证通信畅通；当通信负荷在５％左右时，网络上碰撞的概率几乎为零［５５１。

ＴＣＭ

广田
Ｉ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．Ｊ
剖…揪换机
囡匡
ＲＪ４５ ＲＪ４５

ＲＪ４５ ＲＪ４５

ｎ两
Ｉ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．一
几ｉｊ订
１．．．．．．．．．．．，．．．．．．．．．一
ｎ面１
１．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．＿｜
ＰＷＳ ＨＣＷＳ ＨＡⅥ吧

图３—１３星型拓扑结构

系统通讯采用ＴＣＰ／ＩＰ协议，从协议分层模型来讲，ＴＣＰ／ＩＰ有四个层次【５６】组

成，分别为网络接口层、网络层、传输层和应用层。传输层及其以下的机制将数

据通过特定路径从一台计算机发送到另一台；应用层由用户进程提供，对通讯数

据的含义进行解释。应用层数据通过协议栈发到网络上时，首先由每层协议加上

一个数据首部（封装），如图中的各类首部；然后数据封装成以太网帧，并发送

至传输介质上；在到达目标主机时完成封装的相反顺序，对每层协议剥掉相应的

首部，将应用层数据交给应用程序处理。数据进入协议栈的封装过程【５７】如图所示：

圜
Ａｐｐｌ
用户数据
；首部

ＴＣＰ酋部 应用数据

ｌＰ首部 ＴＣＰ首部 应用数据

图３．１４数据进入协议栈封装过程

取ＰＷＳ水处理系统部分在开启客户端的同时开启服务器，则在图３．１３中每

一条ＲＪ４５接口之间客户端与服务器之间网络节点关系如图３．１６所示。节点Ａ

万方数据
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与节点Ｂ可分别表示服务器ＭＣＭ与客户端，节点Ａ信息传送至节点Ｂ过程中

分别经过本节点四层模型，中间节点的网络层、网络接口层和对方节点的四层模

型，反之相同。

节点Ａ 节点Ｂ

应用层 Ｉ 应用层
Ｉ
传输层 传输层
中间节点 Ｉ
确廿目
网络层
，。…７“Ｉ ｌ 网络层

网络接１３ ｜‘ 网络接１３层 ｌ Ｉ Ｂ 『络接口层

曼
茁

～ Ｊ ｌ
通 信 ７＿
遥 自 介 质

图３—１５ ＴＣＰ／ＩＰ四层模型

ＴＣＰ／ＩＰ协议分层实现有以下几点好处【ｓ８】：

（１）便于上层应用程序与ＴＣＰ／ＩＰ协议栈分开，ＴＣＰ／ＩＰ协议栈处理网络通信细

节，提供网络通信服务；上层应用程序建立在ＴＣＰ／ＩＰ协议栈提供的通用

接口之上，处理用户需求，提供应用服务。

（２）在网络级互连中，协议栈分层便于异构网络的互连。

（３） 在网络通信中可能出现下列问题：硬件故障、网络拥塞、分组延迟或丢失、

数据损坏和数据重复或失序。对于上述问题，ＴＣＰ／ＩＰ协议栈受限必须能

够检测到，其次必须能够纠正，是问题简化，便于实现和调试。

对应用层部分详细设计。发送部分包含指令状态及数据信息，在通信模块与

其他数据首部共同组成数据包；接收部分通过通信模块解析，获取指令及数据信

息。在ＴＣＰ／ＩＰ四层模型基础上的通讯模型图３—１６所示。

万方数据
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总控分系统 功能分系统
（服务器） （客户端）

应
用
层
实
现

底
层
协
议

硬
件

图３．１６浸没系统通讯模型

３．３．２ 通讯协议及消息调度

通讯程序部分使用ｓｏｃｋｅｔＡＰＩｓ，ｓｏｃｋｅｔＡＰＩｓ是建立ＴＣＰ／ＩＰ应用程序的标准

接口，也是影响ＴＣＰ／ＩＰ应用程序通信方式的几个主要ＡＰＩｓ，不同ＡＰＩｓ组合再

结合系统调用可以实现不同方式的应用。

总控与通讯系统中客户端与服务器连接后收发的数据主要为：客户端解析

ＸＭＬ文档发送给服务器的数据，服务器完成算法发送给客户端的状态切换命令。

在浸没式光刻机中的ＰＷＳ水处理系统、ＨＣＷＳ注液单元、ＣＡＳ注气单元、ＨＡＷＥ

气液回收单元及ＴＣＭ温控模块分别建立客户端，ＭＣＭ总控系统需完成与５个

子系统的通讯连接。为保证程序简洁可读，便于移植，建立服ｓｏｃｋｅｔ通讯公共模

块，生成共享文件，在客户端使用统一的ｓｏｃｋｅｔ连接模式。

服务器客户端端需经过ｓｏｃｋｅｔ建立、绑定监听、连接与数据发送接收的过程，

服务器保持一直运行，客户端连接与数据接收部分不断循环。由于客户端连接部

分ａｃｃｅｐｔ及数据接收部分ｒｅｃｖ函数本身为阻塞模式，在执行过程中程序会停留

在该处，直到连接完成或有数据接收，为保证程序流畅性，降低系统ＣＰＵ使用

万方数据
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率，采用ｓｅｌｅｃｔ选择模型，对系统连接ａｃｃｅｐｔ及数据接收ｒｅｃｖ部分做非阻塞处理，

以相应设定时间为限，在设定时间内保持阻塞，等待系统连接或数据接收，达到

设定时间后程序继续执行其他工作，再次循环到系统连接ａｃｃｐｅｔ及数据接收ｒｅｃｖ

时，重复操作，如图３．１７是ｓｏｃｋｅｔ套接字原理说明。

Ｓｅｒｖｅｒ Ｃｌｉｅｎｔ

ｓｏｃｋｅｔＯ

ｌ
ｂｉｎｄＯ

Ｊ’
ｌｉｓｔｅｎＯ ｓｏｃｋｅｔＯ

ｌ
ａｃｃｅｐｔＯ －

５５‘８ ）ｌｉｓｈ ｃｏｎｎｅｃｌ １０ｎ

ｂｌｏｃｋ ｌ。 ｃｏｎｎｅｃｔＯ

ｊ
Ｒｅｑｕｅｓｔ
ｒｅａｄ（），ｒｅｃｖ（） ｗｒｉｔｅ（），ｓｅｎｄＯ

／一—土—、 ——Ｌ、
（Ｐｒｏｃｅｓｓ ）
＼～～一一７／ —Ｐ．ｒ～ｏ，ｃ—ｅ—ｓ—ｓ—＿夕
Ｒｅｓｐｏｎｓｅ
１
ｗｒｉｔｅＯ，ｓｅｎｄＯ ｒｅａｄＯ，ｒｅｃｖＯ

ｉ
ｃｌｏｓｅＯ
ｃｌｏｓｅＯ

图３．１７ ｓｏｃｋｅｔ套接字

３．３．３ 网络心跳检测

为提高系统在网络节点服务及通信的稳定性，软件部分设置心跳包检测，判

断网络节点间的连接状况，根据不同状况采取相应措施。心跳模型旨在让网络节

点获取对方节点状态，以保证通信服务正常工作。它按照心跳机制发送心跳数据

包，通过判断是否接收到一个相应数据包，来判断数据通信是否正常［５９】。

系统设定通讯连接时每隔１秒客户端向服务器发送一次心跳包，在服务器客

户端通讯过程中，如果服务器ＭＣＭ在设定时间内顺利接受客户端发送的心跳包，

则判定网络正常；如果服务器ＭＣＭ未能顺利接受对应客户端发送的心跳包，则判

定服务器与该客户端之间网络异常中断，需采取现场数据保存，提醒操作人员等

措施，并尝试自动连接。

心跳包收发模型如图３．１８所示，通讯中断部分表示通讯未连接，可为初始
４１

万方数据
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情况或因网络不稳定通讯断开情况，此时尝试建立连接，连接成功则进入通讯部

分。在通讯部分以一定间隔持续发送心跳包，发送接收正常情况下表示通讯正常，

网络连接稳定。心跳包发送失败时，由通讯正常转为通讯中，并尝试自动连接，

如连接成功，表示当前网络为短暂性不稳定，对后期通讯影响较小；如连接失败，

则表示通讯中断，网络已断开或即不稳定。

图３．１８心跳包收发模型

胡志坤等提出过一种基于ｓｏｃｋｅｔ的心跳包机制，并将其应用于一个基于Ｃ／Ｓ

模式的远程监控系统。在客户机与服务器两端设计不同的心跳机制，通过在服务

器与客户机之间传递心跳包数据，判断服务器与客户机之间的连接状况，并在网

络堵塞时通过连续请求连接来实现重新连通，从而保证系统在网络堵塞时能够有

效连通，在网络断开时提示用户［６０ｌ。

如图３．１９为改进的网络心跳包流程图，网络检测过程中使用特殊测试位，

连接标志位及连接次数上限等信息用于判断心跳包是否成功发送与接收，从而反

馈网络连接状况。

４２

万方数据
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图３—１９网络心跳包流程图

３．４本章小结

本章在浸没系统逻辑架构的基础上将总控模块分为表现层、业务逻辑层和数

据层。对软件中业务逻辑提到的状态流程、模型建立和时序控制进行分析，确定

ＭＣＭ控制系统中的逻辑关系。

状态定位中使用了图表说明，将浸没分系统整体分为脱机状态、停机状态、

待机状态、工作状态、故障状态和切换状态６种大类，并对各分系统间的状态进

４３

万方数据
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行分析，确立定位关系。模型建立中使用有限状态机，表现总控部分的状态关系

和切换流程，反应语言语义学的原始对象，将系统状态切换过程的控制变成了不

同状态转移条件的控制。逻辑控制时序中使用ＵＭＬ图说明，对通讯连接、纯水

处理、热启动及注液形成流场几个重要交互关系进行阐述，用于ＤＳＬ语言模型

建立和语言定制。

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第４章基于ＤＳＬ的状态控制语言设计

第４章基于ＤＳＬ的状态控制语言设计
前述章节中，对浸没系统分别进行状态流程、模型建立和时序控制部分进行

分析，确定ＭＣＭ控制系统中的逻辑关系。通过有限状态机反应语言语义学的原

始对象，将系统状态切换过程的控制变成了不同状态转移条件的控制；逻辑控制

时序图用于ＤＳＬ语言模型建立和语言定制。以上分析对浸没分系统和ＭＣＭ控

制系统之间的ＤＳＬ语言定制奠定了基础，提高浸没流场控制的领域专家和软件

开发人员之间的沟通效率。下面就浸没系统数据交互和逻辑控制部分进行领域特

定语言设计，令时序流程脚本化，便于程序的开发与注入。

４．１浸没系统关联性说明

浸没系统数据部分建立在总控通讯系统（ＭＣＭ）－与水处理分系统（ｐｗｓ），注液

单元（ＨＣＷＳ），注气单元（ＣＡＳ），气液回收单ｙ无５（ＨＡＷＥ）和温控模块（ＴＣＭ）各个部

分的交互中。为尽量避免系统数据交互过程中各模块复用率低、黏度过高、灵活

性差等弊端，考虑通过封装、继承、多态把程序的耦合度降低，并采用设计模式

的方式，用于解决经常出现的设计问题【６１１。

如下是ＭＣＭ系统关于系统数据及通讯部分绘制的ＵＭＬ类图示例样图，其

中Ｓｅｒｖｅｒ端及Ｃｌｉｅｎｔ端分别继承ＭＣＭ类，Ｓｅｒｖｅｒ ＭＣＭ继承Ｓｅｒｖｅｒ类，

Ｃｌｉｅｎｔ ＰＷＳ等各子系统继承Ｃｌｉｅｎｔ类，同时增加了简单工厂类，依赖于Ｃｌｉｅｎｔ，

方便后期客户端调整时的代码整改，两端通讯实现接口分别为ＳＯＣ ｓｅｒｖｅｒ及

ｓｏｃ ｃｌｉｅｎｔ，用于数据对接。在下述继承、依赖、聚合、关联、实现等交互中，每

一个矩形框代表一个类（ｃｌａｓｓ），类图分三层，第一层显示类的名称，如果是抽

象类，则用斜体显示。第二层是类的特性，通常是字段和属性。第三层是类的操

作，通常是方法和行为。前面的符号，‘＋’表示ｐｕｂｌｉｃ，‘．’表示ｐｒｉｖａｔｅ，‘拌’表示

ｐｒｏｔｅｃｔ。浸没分系统中主要数据为不同位置，水平垂直分布的流量、压力、液体

温度，水处理部分的溶解氧、ＴＯＣ、硅浓度、电阻率及注气单元部分的气体湿度、

氨气浓度等。使用简单工厂模式时，需在代码中增加分支判断，有新类加入的情

况下，需要修改代码中的分支代码。简单工厂模式可以对抽象产品进行扩充而不

用对以前的抽象类和具体类进行修改，符合开闭原则［６２１。

４５

万方数据
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模式选择

（＜ｉｎｔｅｒｆａｃｅ＞＞
ＳＯＣ ｃｌｉｅｎｔ
Ｃ１ｉｅｎｔ 工厂类 Ｓｅｒｖｅｒ
ｓｏｃｋｅｔ（） 、、、、实现接口 依赖关系
ｃｏｎｎｅｃｔ ０
ｓｅｎｄ０ 、、ｓｏｃ—ｃｌｉｅｎｔ（） ＋ｓｅｎｄＴｏＳｅｒｖｅｒ０：ｓｔｒｉｎｇ ｓｔａｒｔＳｅｒｖｅｒ ０
ｒｅｃｅｉｖｅ ０ ｌ—ｓｔａｒｔＣｌ ｉ ｅｎｔ０ ＋ｃｌｉｅｎｔＲｅｔＢｕｆ０：ｓｔｒｉｎｇ ｒｕｎＳＯＬ（）
ＳＯＣ ｓｅｒｖｅｒ０

实现接口／

（＜ｉｎｔｅｒｆａｃｅ＞＞
Ｃｌｉｅｎｔ ＨｅＷＳ Ｃ１ｉｅｎｔ ＨＡＷＥ
ＳＯＣ ＳｅｒＶｅｒ

流量：ｄｏｕｂｌｅ 一水平流量：ｄｏｕｂ
—ｓｏｃｋｅｔ（）
压力：ｄｏｕｂｌｅ 一水平压力：ｄｏｕｂ
一ｂｉｎｄ（）
液体温度：ｄｏｕｂｌｅ 一垂直流量：ｄｏｕｂ
一ｌｉｓｔｅｎ（）
ｅｎｄＴｏＳｅｒｖｅｒ（）：ｓｔｒｊｎｇ 一垂直压力：ｄｏｕｂ
一ａｃｃｅｐｔ（）
１ｉｅｎｔＲｅｔＢｕｆ０：ｓｔｒｉｎｇ ＋ｓｅｎｄＴｏＳｅｒｖｅｒ（）：ｓｔｒｉｎｇ
一ｓｅｎｄ（）
＋ｃｌｉｅｎｔＲｅｔＢｕｆ（）：ｓｔｒｉｎｇ 一ｒｅｃｅｉｒｅ（）

Ｃｌｉｅｎｔ ＰＷＳ Ｃ１ｉｅｎｔ ＣＡＳ Ｃｌｉｅｎｔ ＴｃＭ Ｓｅｒｖｅｒ ＭＣＭ

一溶解氧：ｄｏｕｂｌｅ 湿度：ｄｏｕｂｌｅ 液体温度：ｄｏｕｂｌｅ －ｄａｔａＮｕｍｂｅｒ：ｉｎｔ

—ＴＯＣ：ｄｏｕｂｌｅ 氨气浓度：ｄｏｕｂｌｅ 气体温度：ｄｏｕｂｌｅ —ｓｔａｔｅ：ｉｎｔ

一硅浓度：ｄｏｕｂｌｅ 流量：ｄｏｕｂｌｅ ｅｎｄＴｏＳｅｒｖｅｒ０：ｓｔｒｉｎｇ —ｓｔｒＩｎＳｅｒｖｅｒ：ｓｔｒｉｎｇ

一电阻率：ｄｏｕｂｌｅ 压力：ｄｏｕｂｌｅ ｌｉｅｎｔＲｅｔＢｕｆ（）：ｓｔｒｉｎｇ ＋ｓｅｎｄＴｏＣｌｉｅｎｔ０：ｓｔｒｉｎｇ

＋液体温度：ｄｏｕｂｌｅ 气体温度：ｄｏｕｂｌｅ ＋ｓｅｒｖｅｒＲｅｔＢｕｆ０：ｓｔｒｉｎｇ
＋ｓｅｎｄＴｏＳｅｒｖｅｒ（）：ｓｔｒｉｎｇ ｅｎｄＴｏＳｅｒｖｅｒ０：ｓｔｒｉｎｇ
＋ｃｌｉｅｎｔＲｅｔＢｕｆ０：ｓｔｒｉｎｇ ｌｉｅｎｔＲｅｔＢｕｆ０：ｓｔｒｉｎｇ

图４—１数据传输简单工厂ＵＭＬ示例图

如图４－２由简单工厂模式升级为工厂方法模式，符合开放一封闭原则，即外

界需求变化，客户端需要增改时，无需修改原代码内容，只需增改现有客户端类

即可。各个模块数据交互采用工厂方法模式，不再由单个工厂类决定实例化子类，

而是将决定推迟到每个子类中完成【６ ３ｌ。图中工厂类分为ＰＷＳ＿Ｔ－Ｖ类，ＨＣＷＳ工

厂类，ＣＡＳ工厂类，ＨＡＬＶＥ工厂类和ＴＣＭ工厂类５个部分，当系统模块变更，

如考虑浸没单元位姿调节机构ＭＧＣ时，可通过变更工厂类实现灵活对接。

＋攘式选择

依帧关系 凄琨接口，，７

￥ｏｃ ｃＩｉｅｎｌ｛）
ｓｔａｒｔＣｌ ｉＰｎｔ（）

篇一器一
实现接口，，

流量：ｄｏｕｂｌ 术平箍量：＆＿ｌｕｂｌｅ

压力：ｄｏｕｂｌ ｅ 才【平压力ｄｏｕｂｌＰ

等戮
最体温暖：ｄｅｕｂｌＰ 垂直灌置：ｄｏｕｂｌｅ
ｓｅｎｄＴｏＳｅｒｖｅｒ（） 差矗压力：抽ｕｂｌｅ
ｃｌｉｅｎｔＲｅｔＢｕｆ０ ｄ Ｔ＿ｏＳｅｒｖｅｒ《）
ｅｎｔＲｅｔＢｕｆ（）

落解氧：ｄ删ｂｌｅ 灌廑：ｄｏｕｂＩｅ 讯俸盖度：ｄｏｕｂｌＰ 曲ｔａＮｕｍｂｅｒ’ｉｎｔ

一氯气浓度ｄ删ｂｌｅ 气体盏班．ｄｏｕｂｌＰ

硅浓廑：ｄｏｕｂｌ ｅ 一淀最ｄｏｕｂｌｅ ｓｅｎｄＴｏＳｅｒｖＰｒ（）：ｓｔｒｉ ｎｇ

￥”‘Ｔ．ＳｅｒｖｅｒⅢｔ １ｎｇ

电阻丰：ｄｏｕｂｌｅ 一压力：ｄｏｕｂｌｅ ｃＩ ｉｅｎｔＲｅｔＢｕｒＯ±ｔｒｉ“ｇ ｓｅｍｌＴｏＣｌ ｉｅＢＬ ０ ｓｔｌ ｉｎｇ

渣体温度：ｄｏｕｂｌｅ ＋气体盖度ｄ叫ｂｌｅ ｓｅｒｖｅｒＲｅｌＢｕＩ【）ｓ”ｉｎｇ

＋ｓｅｎｄＴｏＳｅｒＹｅｒ（）ｎｒｌｎ￡

ｓ。ｅｌｎｌｄ。Ｔ。０１
ｃｌｉｅｎｌ ＲｃＳｅｒｔＢｖｕｅｒ“Ｏ）：：ｓ：”ｔｒｉｌｎｎ：
ＲｃｔＢｕ“）：ｓ”ｌｎ２ ＋ｃｌｉ ｅｎｌＲｅｔＢｕｆ（）￥ｔｒ】ＪｌＢ

图４－２数据传输工厂方法ＵＭＬ示例图

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第４章基于ＤＳＬ的状态控制语言设计

如图４．３是业务逻辑处理中关于状态转换的ＵＭＬ示例样图，采用状态模式，

各状态类都继承自抽象状态类，状态间切换由每个状态类执行。状态模式把所研

究的对象的行为包装在不同的状态对象里，每一个状态对象都属于一个抽象状态

类的子类，让一个对象在内部状态改变时，其行为也随之改变［６４１１６５１。图中聚合

表示一种弱的拥有关系，状态划分中的停机、准备、预备供水、启动、注液、流

场稳定、清洗、紧停关机和异常状态与上一章所述状态切换流程、状态机模型对

应，通过把各种状态转移逻辑分布到Ｓｔａｔｅ的子类之间，减少相互间的依赖，简

化判断逻辑［６６Ｊ。

浸没系统工作模式
策旨天糸
状态 ∈ ◇ ＋ＰＷＳ Ｓｔａｔｅ：ｉｎｔ

＋ＨＥＷＳ Ｓｔａｔｅ：ｉｎｔ
＋ＭＣＭ—Ｓｔａｔｅ：ｉｎｔ
＋ＣＡＳ Ｓｔａｔｅ：ｉｎｔ
＋ｈａｎｄｌｅ ０
一ｌ

＋ＨＡＷＥ Ｓｔａｔｅ：ｉｎｔ
么∑ 依赖关系
、
＋ＴＣＭ Ｓｔａｔｅ：ｉｎｔ

＋ｓｅｔＳｔａｔｅ（）：ｉｎｔ
＋ｈａｎｄｌｅ ０

停机状态 预备供水状态 注液状态 清洗状态 异常状态

＋ｈａｎｄｌｅ（） ＋ｈａｎｄｌｅ（） ＋ｈａｎｄｌｅ（） ＋ｈａｎｄｌｅ ０ ＋ｈａｎｄｌｅ ０

准备状态 启动状态 流场稳定状态 紧停关机

＋ｈａｎｄｌｅ ０ ＋ｈａｎｄｌｅ ０ ＋ｈａｎｄｌｅ（） ＋ｈａｎｄｌｅ（）

图４—３状态切换类ＵＭＬ不例图

状态切换流程中通过纵向时间进度，表示浸没式分系统从启动到工作到停机

的过程，通过横向系统进度，在同一时间进度上查看各系统状态信息。图３．８浸

没系统逻辑控制状态机模型取ＭＣＭ总控系统为主要分析点，形成图４．３状态模

式代码结构图的基础。可通过以上内容创建适用于浸没式光刻机浸没系统中数据

交互及状态控制的ＤＳＬ。

４．２浸没系统数据交互ＤＳＬ设计

４．２．１ 系统数据交互分析

因通讯部分使用ＴＣＰ／ＩＰ协议，自身的连接式通讯模式带有数据自校验功能，

故在封装的数据包中去处校验位，使用结束符，以便在数据粘包时配合数据长度

分包操作。另对指令头与共享数据做整合，客户端与服务器之间的数据通讯以共

４７

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第４章基于ＤＳＬ的状态控制语言设计

享数据反应现场设备实际运行参数，如图４．４和图４—５为客户端发向服务器数

据的单包及整包图解说明。

图４４数据包单包封装

整包信息

图４．５数据包整包封装

发送方统一使用系统缩略语，占４个符号位，不足４位的在起始端添加‘Ｈ’，

分系统名称和数据包系统缩写对应关系如下：
表４—１状态机模型说明

醐夕
一一
㈣ 一眦 一一一 骷徽觥

一一
一一一一一一一～～
一 一黜衄一㈣
一一龇

揣瓣一一 一一一一
酬掰嗽㈣
怖端
ｉ｜ 一～～
万方数据
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Ｌａｎｇｕａｇｅ）为数据接口，通过一合服务器处理五台客户端数据，分析客户端分系
统所处状态，控制浸没系统逻辑运行。ＸＭＬ指可扩展标记语言，采用Ｗ３Ｃ的

推荐标准，ＸＭＬ标签没有被预定义，可自行定义并具有自我描述性。这是一种

元标记语言，可用来设计与特定专业领域有关的标记语言【６７１。ＸＭＬ是ＤＳＬ的一

种形式，被设计为传输和存储数据，焦点是数据的内容，旨在传输信息。多数语

言都对解释ＸＭＬ和获取该语言领域中模型对象的内容提供了很好的支持，并存

在现有读写ＸＭＬ的ＡＰＩ库，不需要自行设定解析ＸＭＬ模式。本课题中大部分

系统数据内容属于传感器采集项，数据来源无需人工输入，使用的ＤＳＬ模式不

会体现在人员实际操作中，因此直接将ＸＭＬ脚本引入使用。

帆枞惴

一，腾

一～ 煳一～一 ～一 ～一
万方数据
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＜／ＤａｔａＲｅｃｏｒｄ＞

＜ＣｏｎｔｒｏｌＳｉｇｎａｌ＞

＜Ｆｌｏｗ Ｓｅｎｓｏｒ＝”Ａ４．ＰＷＳ．０４”Ｕｎｉｔ＝”Ｌ／ｍｉｎ”＞４＜／Ｆｌｏｗ＞
＜Ｆｌｏｗ Ｓｅｎｓｏｒ＝”Ａ４．ＰＷＳ．３６”Ｕｎｉｔ＝”Ｌ／ｍｉｎ”＞８＜／Ｆｌｏｗ＞
＜Ｓｐｅｅｄ Ｓｅｎｓｏｒ＝”ＵＮＫＮＯＷ”Ｕｎｉｔ＝”ｒ／ｍｉｎ”＞４ ０００＜／Ｓｐｅｅｄ＞

＜Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｅｎｓｏｒ＝”Ａ４．ＰＷＳ．０２”Ｕｎｉｔ＝”ＮＵＬＬ”＞ｌ＜／Ｄｉｇｉｔａｌ＞

＜Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｅｎｓｏｒ＝”Ａ４．ＰＷＳ．２８”Ｕｎｉｔ＝”ＮＵＬＬ”＞１＜／Ｄｉｇｉｔａｌ＞

＜Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｅｎｓｏｒ＝”Ａ４．ＰＷＳ．３１”Ｕｎｉｔ＝”ＮＵＬＬ”＞１＜／Ｄｉｇｉｔａｌ＞

＜／ＣｏｎｔｒｏｌＳｉｇｎａｌ＞
＜／ｒｏｏｔ＞

以上部分包括了客户端、系统时间、运行状态、参数、单位、传感器和器件

编号等信息，ｒｏｏｔ标签中的属性设置分别为分系统名称及当前时间戳，时间戳长

度为１４位，格式为Ｙｅａｒ－Ｍｏｎｔｈ．Ｄａｙ－Ｈｏｕｒ－Ｍｉｎｕｔｅ．Ｓｅｃｏｎｄ，实际时间戳不使用’．’
连接符，如信息中提到的２０１５０４２８１６２８５２；。一级节点信息中包含系统负责人员

及当前系统运行状态，将ＸＭＬ节点信息分为２个主模块，分别为数据采集模块

和控制信号模块，对应＜ＤａｔａＲｅｃｏｒｄ＞和＜ＣｏｎｔｒｏｌＳｉｇｎａｌ＞标签，数据采集模块部分

的数据来自浸没式分系统架构图中的现场级传感器，子节点中设定各项参数及数

据，属性部分包含采集数据的传感器编号与单位；控制信号模块部分的数据来自

浸没式分系统架构图中的控制级控制器，本课题中采用图２—４可编程控制器及

扩展模块提到的西门子Ｓ７．１２００，子节点中设定与数据采集模块格式相同，包括参

数及执行的控制信号，属性部分包含接收控制信号的执行器编号与单位，数字量

信号使用单位ＮＵＬＬ。

懑圈翮隰煎然添麟礴黼罂圈璺——豳豳朦 圈
图４—７ ＰＷＳ系统数据接收

５０

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第４章基于ＤＳＬ的状态控制语言设计

浸没系统中客户端以每秒一次的频率加载ＸＭＬ解析数据，封装数据包并送

给服务器。ＭＣＭ总控通讯服务器与各分系统客户端数据交互过程中，为提高领

域专家与软件开发人员的沟通效率，降低系统数据交互部分的软件模块耦合度，

采用保留数据交互现场文件，定期清理模式。如图２—５工控机相关硬件选型中

说明了保留７天数据方案。

４．２．３ 系统数据ＸＭＬ读写存储

由于服务器与子系统间的数据交互采用ＸＭＬ读写方式，读写之间存在锁机

制。在一个系统正在刷新ＸＭＬ过程中，另一个系统如果读取该ＸＭＬ数据，可

能会产生读取失败或数据错误。为防止ｘｍｌ文件在读取过程中发生原子操作冲突，

服务器中读取的ｘｍｌ文件名统一为Ａ４ Ｃｌｉｅｎｔ Ｄａｔａ，即读取文件名不带时间戳。

以１次／秒的存储频率，一天需产生２４＊３６００＝８６４００份文件，一份文件以１０ＫＢ

统计，则一天产生数据量为８６４Ｍ，设定每天建立一个文件夹，并清理一次７天

前的数据文件，如表４．２所示。
表４－２ ＭＣＭ与子系统数据接口协定

溯湖湖糕阚阚
存储类型 ＸＭＬ 控制器保存数据为ＸＭＬ格式
存储位置 客户端运行当前文件夹
存储名字 Ａ４ Ｃｌｉｅｎｔ Ｄａｔａ Ｔｉｍｅ．ｘｍｌ Ｃｌｉｅｎｔ为当前系统名称
存储频率 １次／秒 存储数据频率可灵活设置
存储格式 参数名＋属性＋文本 见下方详细说明

客户端中生成的ｘｍｌ文件名分三个阶段，在数据生成过程中，采取文件名保

护，文件名与服务器读取的文件名无匹配关系；在数据生成过程结束后，将刚生

成的ｘｍｌ文件名重命名为Ａ４ Ｃｌｉｅｎｔ Ｄａｔａ，即与服务器需要读取的文件名匹配，

供服务器读取；在存储频率指定的定时时间到时，客户端将ｘｍｌ文件名重命名为
Ａ４ Ｃｌｉｅｎｔ Ｄａｔａ Ｔｉｍｅ，Ｔｉｍｅ即现有时间戳，之后开始循环重新生成新文件。如

下信息为Ａ４ ＣｌｉｅｎｔＤａｔａ ＸＭＬ文件夹中的分类，各项文件夹分别存储对应分系

统文件，Ａ４ ＭＣＭ Ｄａｔａ．ｘｍｌ为当前数据文件。

［ｃａｏｆｅｉｆｅｉ＠ｌｏｃａｌｈｏｓｔ Ａ４一ＣｌｉｅｎｔＤａｔａ—ＸＭＬ］￥ｉｓ—ｌ
ｔｏｔａｌ １６

ｄｒｗｘｒ—ｘｒ—ｘ．２ ｃａｏｆｅｉｆｅｉ Ａ４ＩＭ ２８ Ｎｏｖ ｉ０ ２０１５

Ａ４一ＣＡＳ—Ｄａｔａ
ｄｒｗｘｒ—ｘｒ—ｘ．２ ｃａｏｆｅｉｆｅｉ Ａ４ＩＭ ２９ Ｎｏｖ ｉ０ ２０１５
Ａ４一ＨＡＷＥ—Ｄａｔａ
ｄｒｗｘｒ—ｘｒ—ｘ． ２ ｃａｏｆｅｉｆｅｉ Ａ４ＩＭ ２９ Ｎｏｖ １０ ２０１５
Ａ４一ＨＣＷＳ—Ｄａｔａ
１５ ０９：４４

—ｒｗ—ｒ…ｒ一．１
ｄｒｗｘｒ—ｘｒ—ｘ．２ ｃａｏｆｅｉｆｅｉ Ａ４ＩＭ ８１９２ Ｄｅｃ
Ａ４一ＭＣＭ—Ｄａｔａ
ｃａｏｆｅｉｆｅｉ Ａ４ＩＭ １３８ Ｄｅｃ １５ ０９：４ ４
Ａ４一ＭＣＭ—Ｄａｔａ．ｘｍｌ
ｄｒｗｘｒ—ｘｒ—ｘ．２ ｃａｏｆｅｉｆｅｉ Ａ４ＩＭ ５４ Ｎｏｖ １０ ２０１５
Ａ４一ＰＷＳ—Ｄａｔａ
ｄｒｗｘｒ—ｘｒ—ｘ．２ ｃａｏｆｅｉｆｅｉ Ａ４ＩＭ ２８ Ｎｏｖ １０ ２０１５
Ａ４一ＴＣＭ—Ｄａｔａ

５１

万方数据
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所有系统都具备所述的避免文件原子操作冲突功能，以ＭＣＭ系统为例。如

图４．８是ＭＣＭ系统执行生成ＸＭＬ程序后的结果，ＭＣＭ系统每隔指定周期存

储一份带时间戳的ＸＭＬ文件，作为后期查询文档。最新文件不带时间戳，供服

务器读取。同样的，服务器生成的最新ＸＭＬ文件不带时间戳，供其他子系统解

析，根据状态切换命令执行后续操作。

【ｃａｏｆｅｌ ｆｅｌ窟１．ｏｃａｌ．ｈｏｓｔ Ａ４ ｔ，１ＣＭ Ｏａｔａ Ｊ￥ｐｗｄ

／ｈｏｍｅ／ｐｕｂｌ．ｉＣ／Ｄｏｃｕｍｅｎｔｓ／Ａ４ＺＭｄｅｒｎｏ／Ａ４ Ｃ１．ｉｅｎｔＤａｔａ ＸＭＬ／Ａ４ ＨＣＨ Ｄａｔａ

【ｃａｏｆｅｌｆｅｌ＠Ｌｏｃａ］．ｈｏｓｔ Ａ４眦Ｈ Ｄａｔａ Ｊ￥１ｓ
Ａ４ Ｉ＂ＩＣＨ Ｄａｔａ ２１３１６・１２・１５ ０９：４２：４９ ＡＨ．ｘｎｌＬ Ａ４ ＭＣＨ Ｄａｔａ ２０１６一１２・１５ ０９：４３：２６ ＡＨ．ＸＩｌｌＬ
＾４ ＨＣＨ Ｄａｔａ ２Ｄ１６—１２一１５ ｏｇ：４２：５０ ＡＨ．ＸＩＴＩ Ｌ Ａ４ ＭＣｔ．１ Ｄａｔａ ２０１６—１２一１５ ０９：４３：２７ ＡＩ，ＩＩ．ＸＩＴＩ【
Ａ４ ＭＣＨ Ｄａｔａ ２Ｄ１６－１２．１５ ０９：４２：５１ ＡＭ．ｘｍＬ Ａ４ ＭＣＨ Ｄａｔａ ２０１６—１２．１５ ０９：４３：２８ ＡＭ．ｘｍＬ
Ａ４ ＨＣＨ Ｄａｔａ ２０１６－１２－１５ ０９：４２：５２ ＡＨ．Ｘ１１１Ｌ Ａ４ Ｍ。１ Ｄａｔａ ２０１６－１２－１５ ０９：４３：２９删．ｘ ｒ１１Ｌ
Ａ４ Ｈ０１ Ｄａｔａ ２０１６－１２．１５ ０９：４２：５３ ＡＨ．ＸｍＬ Ａ４ ＩＷｌＣ．Ｍ Ｄａｔａ ２０１６－１２－１５ ０９：４３：３０ ＡＭ．ｘｍＬ
Ａ４ ｔ，１ａｑ Ｄａｔａ ２０１６．１２－１５ ０９：４２：５４ ＡＨ．Ｘ ｒｎＬ Ａ４ ＭＣＭ Ｄａｔａ ２０１６－１２－１５ ０９：４３：３１ ＡＭ．ＸＩＴＩＬ
Ａ４ ＨＣ２．１ Ｄａｔａ ２０ｉ６．１２—１５ ０９：４２：５５ ＡＨ．ｘ１１１Ｌ Ａ４ ＨＣＨ Ｄａｔａ ２０１６．１２－１５ ０９：４３：３２ ＡＭ．１（１１１Ｌ
Ａ４ ＮＣ．Ｍ Ｄａｔａ ２０１６—１２．１５ ０９：４２：５６ ＡＨ．ｘ１１１Ｌ Ａ４ ｔ．１ＣＭ Ｄａｔａ ２０１６—１２．１５ ０９：４３：３３ ＡＨ．ｘｍＬ
Ａ４ ＨＣＨ Ｄａｔａ ２０１６．１２．１５∞：４２：５７ ＡＨ．ＸｍＬ Ａ４ ＩＷｌＣＨ Ｄａｔａ ２０１６．１２．１５ ０９：４：３：３４ ＡＨ．ＸＩＴＩＬ
Ａ４ ＭＣＭ Ｄａｔａ ２０１６．１２．１５ ０９：４２：５８ ＡＨ．ｘｍＬ Ａ４ ＭＣ．ｒ，Ｉ Ｄａｔａ ２Ｄｉ６－１２－１５ ０９：４３：３５ ＡＨ．ｘｍＬ
Ａ４ ＭＣＭ Ｄａｔａ ２０１６－１２．１５ ０９：４２：５９ ＡＨ．Ｘｉ＇ｒｌＬ Ａ４ ｔ，１ＣＨ Ｄａｔａ ２０１６－１２－１５ ０９：４３：３６ ＡＭ．ｘｎｌ Ｌ
Ａ４ ｒ．１ＣＭ Ｄａｔａ ２０１６－１２．１５ ０９：４３：００ ＡＨ．ｘｍＬ Ａ４ ｔ．１ＣＭ Ｄａｔａ ２０１６－１２－１５ ０９：４３：３７ ＡＭ．ｘｍＬ
Ａ４ ＭＣＨ Ｄａｔａ ２０１６－１２－１５ ０９：４３：０ｌ ＡＨ．ｘ１１１Ｌ Ａ４ ＨＣＭ Ｄａｔａ ２０１６－１２－１５ ０９：４３：３９ ＡＭ．ｘｍＬ
Ａ４ Ｐ１Ｃ＿．．Ｍ Ｄａｔａ ２０１６—１２一１５ ０９：４３：０２ ＡＨ．ＸｍＬ Ａ４ ＨＣＭ Ｄａｔａ ２０１６—１２．１５ ０９：４３：４０ ＡＨ．ｘｍＬ
Ａ４ ＨＣＭ Ｄａｔａ ２０１６—１２一１５ ０９：４３：０３ ＡＨ．ｘ１１１Ｌ Ａ４ Ｍａｑ Ｄａｔａ ２０１６－１２—１５ ０９：４３：４ｉ Ａｒｌｌ．ｘｌ＇ｎＬ
Ａ４ ＨＣＨ Ｄａｔａ ２０１６—１２一１５ ０９：４３：０４ ＡＨ．ｘＩ＂１１Ｌ Ａ４ ＨＣＭ Ｄａｔａ ２０１６一１２．１５ ０９：４３：４２ ＡＭ．ｘｍＬ

Ａ４—．ＰＷＳ—．Ｄａｔａ Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ Ａ４ ＰⅦ－ｓ Ｄａｔａ Ａｔｌ Ｐ＇Ｗ＇Ｓ Ｄａｔａ Ａ４ ｐＷＳ Ｄａｔａ
Ａ４一ＰＷＳ—Ｄａｔａ一
ｘｍＩ ２０１５－１２．１５ １５ ２０１５．１２－１５ １５． ２０１５・１２－１５ １５ ２０１５・１２・１５ ｌＳ ２０１５・１２－１Ｓ １５
４７：１６，ＸｍＩ ４７：１８．ｘｍｌ ４７：２０．ｘｍｌ ４７：２２．ｘｍＩ ４７：２４．ｘｍＩ

Ａｔｌ ｐＷＳ Ｄａｔａ Ａ４ ｐＷＳ Ｄａｔａ Ａ４ ＯＷＳ Ｄａｔａ Ａｔｌ Ｐ、幅Ｄａｔａ Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ
２０１５－１２－１５ １５ ２０１５．１２．１５ １５ ２０１５－１２－１５ １５ ２０１５－１２．１５ １５ ２０１５．１２．１５ １５ ２０１５—１２—１５ １Ｓ
４７：２６．ｘｍＩ ４７：２８．ｘｍＩ Ｓ１：４４．ｘｍＩ ５１：４６．ｘｍＩ ５１：４８３＜ｍｌ ５１：５０．ｘｍＩ

Ａ４ Ｐ、惦Ｄａｔａ Ａ４ ｐＷＳ Ｄａｔａ Ａ４研＾，Ｓ Ｄａｔａ Ａ４ ｐＷＳ Ｄａｔａ Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ
２０１５．１２．１５ １５ ２０１５．１２．１５ １５ ２０１５．１２．１５ １５： ２０１５－１２－１５ １５ ２０１５．１２－１５ １５ ２０１５．１２．１５ １５
５１：５２．ｘＰｔ＇ｌＩ ５８：３０ａｒｍＩ ５８：３２．ｘｍＩ ５８：３４．ｘｍＩ ５８：３６．ＸＦＴｌＩ ５８：３８．ｘｍＩ

Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ Ａ４ Ｐ＇Ｕ／Ｓ Ｄａｔａ Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ Ａｔｌ ＰｋｑＳ Ｄａｔａ Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ
２０１５．１２．１５ １６ ２０１５－１２－１５ １６ ２０１５－１２－１Ｓ １６： ２０１５－１２—１５ １６ ２０１５・１２・１５ １６ ２０１５－１２・ｌＳ １６
００：０５．ｘＦｎＩ ００：０７，ｘｍＩ ００：０９．ｘｍＩ ００：１１．ｘｍＩ ００：１３．ＸｍＩ ００：１５．ｘｍＩ

Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ Ａ４ ＰＷＳ Ｄａｔａ

２０１５—１２－１５ １６ ２０ｌＳ－１２．１５ １６
００：１７．ｘｍＩ ００：１９．ｘｍＩ

图４－９ ＰＷＳ系统ＸＭＬ文件
５２

万方数据
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４．３浸没系统控制流程ＤＳＬ设计

４．３．１ 逻辑控制ＸＭＬ语言配制

在上一章业务逻辑分析中提出了状态机模型，图３．８分析了浸没系统逻辑状

态切换流程，去除始末位置，异常情况和状态切换触发条件，其流程简化版如图

４．１０所示；上一节浸没系统数据交互部分提出了ＤＳＬ的一种外部语言ＸＭＬ，图

４－６阐述了ＸＭＬ语言的树模型。使用ＸＭＬ作为语言领域中模型对象的内容具有

良好的支持性，浸没系统控制流程部分先配置ＸＭＬ语言进行说明。

ＢｕｉｌｄＣｏｒｍｃｅｔｉｏｎ ＰｕｒｅＷａｔｅｒＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ＰａｒａＱｕａｌｉｆｉｅｄ

ＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ ＰｕｒｅＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ ＣｏｎｄｉｔｉｏｎＱｕａｌｉｆｉｅｄ

图４—１０逻辑状态切换流程简化版

将每一项切换关系定义为事件ｅｖｅｎｔ，该事件节点包含切换条件ｎａｍｅ及切换

代码ｃｏｄｅ，开启启动过程中所有流程组合为ｅｖｅｎｔｓ，关机过程组合为ｒｅｓｅｔＥｖｅｎｔｓ，

表现形式如下：
＜ｅｖｅｎｔ ｓ＞

＜ｅｖｅｎｔ＞

＜ｎａｍｅ＞ｗａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ＜／ｎａｍｅ＞
＜ｃｏｄｅ＞ＰＷＳＯＰ＜／ｃｏｄｅ＞

＜／ｅｖｅｎｔ＞

＜ｎａｍｅ＞ＰｕｒｅＷａｔｅｒＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎ＜／ｎａｍｅ＞
＜ｃｏｄｅ＞ＰＷＳＲＵＮ＜／ｃｏｄｅ＞

＜／ｅｖｅｎｔ＞

＜／ｅｖｅｎｔｓ＞

＜ｒｅｓｅｔＥ］ｖｅｎｔｓ＞

＜ｅｖｅｎｔ＞

（ｎａｍｅ＞ｓｈｕｔｄｏｗｎ＜／ｎａｍｅ＞

＜ｃｏｄｅ＞ＭＣＭＣＬ＜／ｃｏｄｅ＞

＜｛ｅｖｅｎｔ＞

＜／ｒｅｓｅｔＥｖｅｎｔｓ＞

在逻辑状态切换流程总图中阐述了总控ＭＣＭ与各浸没分系统的状态协调关

系，其中每一项总控ＭＣＭ端的状态切换都可分解为每一项客户端的状态切换。

结合图４．１０状态切换与上述事件ｅｖｅｎｔｓ表现代码，将ＭＣＭ端状态ｓｔａｔｅ的切换

过程ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ进行分割，分别以ｆｒｏｍ和ｔｏ表示分割下的状态过渡，如ｒｅａｄｙ预

备供水状态下进入ａｃｔｉｖｅ启动状态时，分别经历ＰｕｒｅＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ超纯水供应，

ＦｌｕｉｄＷａｒｍＵｐ热启动，ＦｌｕｉｄＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌＷａｒｍＵｐ温度控制过程，ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ的过

渡表现形式如下：

万方数据
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＜ｓｔａｔｅ ｎａｍｅ＝“ｒｅａｄｙ”＞

＜ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ＞

＜ｆｒｏｍ＞ＰｕｒｅＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ＜／ｆｒｏｍ＞
＜ｔｏ＞ＷａｔｉｎｇＦｏｒＦｌｕｉｄＷａｒｍＵｐ＜／ｔｏ＞
＜／ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ＞
＜ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ＞

＜ｆｒｏｍ＞ＦｌｕｉｄＷａｒｍＵｐ＜／ｆｒｏｍ＞

＜ｔｏ＞ＷａｔｉｎｇＦｏｒＦｌｕｉｄＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌＷａｒｍＵｐ＜／ｔｏ＞
＜／ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ＞

＜ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ＞

＜ｆｒｏｍ＞ＦｌｕｉｄＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌＷａｒｍＵｐ＜／ｆｒｏｍ＞
＜ｔｏ＞ａｃｔｉｖｅ＜｜ｔｏ＞
＜／ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ＞
＜／ｓｔａｔｅ＞

由于浸没分系统中的数据部分是通过检测获得，不需要人工输入等操作部分，

使用定制的ＤＳＬ与现有的ＸＭＬ在上层反应中差别不大。而状态切换属于控制

部分，前期需要流体、气液纯化、温控领域专家与软件开发人员的进行良好协调，

ＸＭＬ语言中的“＜”等噪音杂项很多，脚本冗长，不适用与浸没系统的状态控制，

因此需要定制一项适用的ＤＳＬ语言。

４．３．２ 逻辑控制ＤＳＬ语言定制

使用模型建模本身就可以提高生产力，模型建模不但通过将公共代码聚合在

一起的方法避免重复，而且提供一个高层抽象使得让人更容易理解内部到底发生

了什么，而使用ＤＳＬ能够将这个抽象变得更具可读性和可操作性【６９１。以注入上

模型驱动开发方式将系统功能的规约部分（平台无关模型ＰＩＭ）与功能的实现部

分（平台相关模型ＰＳＭ）分离【７０１。以浸没式光刻机浸没系统主控模块与分系统

模块的逻辑控制为特定领域，结合上述模型，识别和捕获特定领域中的信息进行

领域分析。将有限状态机中表述的状态迁移条件为事件对象，结合对应命令构造

表述脚本，在主程序设计语言之外，通过外部ＤＳＬ语言为浸没系统控制逻辑部

分配置特定控制器，表现形式如下：
ｖＪ

代．１ ｌ ；ｄ

ｔ ｅ ｒＳ
Ｃ ｏｎ

Ｕ ｐｐｌ ｙ
ｎ ｅＣ ｔ ｉ ｏｎ

ＰＷＳ ＯＰ
Ｍ
一 Ｍ０Ｐ

ｒｅ ａｔ ｅｒＰ ｒ ｐ ａ ｒａ ｔ ｏｎ ＰＷ

ｒＳ Ｔ ｍｐＡ ｄ ｕ Ｓ ｔ ｍｅ ｔ ＴＣＭ

ｒ Ｗ七Ｗ ａ ｒＳ Ｕ ｅ．］ｐｐ ｌ ｙ Ｐ ＳＷ Ｋ

ｕ ｄＷ ｅ七ａ ｍＵ ｐ Ｈ ＣＷ Ｓ Ｏ

ｕ ｅ．１，１ ｄＴ ｅｅ目ｍｐＣ０ ｎｔ ｒｏ ｌＷ ｒ ｍＵ ｐ

ｓＴ ｅ ｐＣ ｏｎ ｔ ｒｏ ｌ ＴＣ ３Ｗ Ｋ

Ｕ ｍ ｎ Ｋ

～一 ，昌
ｓ．ｕ Ａ■ ］ “ １

ｈ一ｄ收．ｖ ｂ义 Ｍ 一一

～一 Ｐ一 眦一～一
ｈ¨ｋｍ．］¨们如×艮ｋ ｓ孔如ｒ— ｔ瞳ｑ．”＝； ｅ“ｒｖ丸 ¨ ｔ“Ｈ张Ｍ Ｃ■义¨ Ａ．］妇： Ｓ“Ｌ｝ Ｎ孙 ●孙妊盯虻弛Ⅶ撕她Ⅱ册≮

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第４章基于ＤＳＬ的状态控制语言设计
●——————————————————————————————●————————————————＿—－———————＿＿－＿－＿－－＿—＿———－—－＿＿＿—————————＿————————●＿－＿—————————＿＿＿——————＿●＿－＿——————●＿＿－——————＿＿—一

ｒｅＳｅＣ匕Ｖｅｎ【ｓ

ｓｈｕｔｄｏｗｎ ＭＣＭＣＬ

ｅｎｄ

以ＭＣＭ总控端为服务器，各浸没分系统为客户端，事件触发采用执行命令

模式，通过ＭＣＭ总控端向浸没分系统发送命令信号，触发分系统状态切换事件。

在有限状态机中命令信号与系统状态对应，在ＤＳＬ语言中为事件的迁移，表现

形式如下：
ｃｏｍｍａｎｄｓ

ｔｏＷａｔｅｒＳｕｐｐｌＹ ＴＯＰＣＳＯＰ

ｔｏＰｕｒｅＷａｔｅｒＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ＴＯＰＷＳＲＵＮ

ｔｏＦｉｒｓｔＴｅｍｐＡｄ’ＵＳｔｍｅｎｔ ＴＯＴＣＭｌＯＰ

ｔｏＰｕｒｅＷａｔｅｒＳｕｐｐｌＹ ＴＯＰＷＳＷＫ

ｔｏＦｌｕｉｄＷａｒｍＵｐ ＴＯＨＣＷＳＯＰ

ｔｏＦｌｕｉｄＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌＷａｒｍＵｐ ＴＯＴＣＭ２０Ｐ

ｔｏＧａｓＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌ ＴＯＴＣＭ３ＷＫ

ｔｏＧａｓＡｄｊｕｓｔｍｅｎｔ ＴＯＣＡＳＷＫ
ｔｏＡｉｒＴｅｍｐＥｘｔｒａｃｔｉｏｎ ＴＯＨＡＷＥＷＫ

ｔｏＦｌｕｉｄＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌ ＴＯＴＣＭ２ＷＫ

ｔｏＦｌｕｉｄＡｄｊｕｓｔｍｅｎｔ ＴＯＨＣＷＳＷＫ

ｅｎｄ

由图３．８浸没系统逻辑控制状态机模型可知，各主状态名称分别为ｉｄｌｅ（脱

机状态），ｓｔａｙ（停机状态），ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ（准备状态），ｒｅａｄｙ（预备供水状态），

ａｃｔｉｖｅ（启动状态），ａｄｊｕｓｔｍｅｎｔ（注液状态），ｗｏｒｋｉｎｇ（流场稳定状态）。以ＤＳＬ

脚本表示各状态，内容为如上所述的事件与事件的迁移，作为消息输入输出。基

于ＤＳＬ的服务组合语言在设计时还需考虑组合流程中服务之间传递的消息存在

异构的现象【７１１。简化版信息如下：
ｓｔａｔｅ ｉｄｌｅ

ａｃｔｉｏｎｓ｛ｕｎＣｏｎｎｅｃｔｅｄＳｙｓｔｅｍｓ｝

ＢｕｉｌｄＣｏｎｎｅｃｔｉｏｎ＝＞ｓｔａｙ
ｅｎｄ

ｓｔａｔｅ ｓｔａｙ

ＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ＝＞ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ
ｅｎｄ

ｓｔａｔｅ ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ

ＰｕｒｅｗａｔｅｒＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎ＝＞ＷａｔｉｎｇＦｏｒＦｉｒｓｔＴｅｍｐＡｄｊ ｕｓｔｍｅｎｔ
ＦｉｒｓｔＴｅｍｐＡｄｊｕｓｔｍｅｎｔ＝＞ｒｅａｄｙ
ｅｎｄ

ｓｔａｔｅ ｒｅａｄｙ

ＰｕｒｅＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ＝＞ＷａｔｉｎｇＦｏｒＦｌｕｉｄＷａｒｍＵｐ

ＦｌｕｉｄＷａｒｍＵｐ＝＞ＷａｔｉｎｇＦｏｒＦｌｕｉｄＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌＷａｒｍＵｐ

ＦｌｕｉｄＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌＷａｒｍＵｐ＝＞ａｃｔｉｖｅ
ｅｎｄ

ｓｔａｔｅ ａｃｔｉｖｅ

ＧａｓＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌ＝＞ＷａｔｉｎｇＦｏｒＡｉｒＷａｔｅｒＥｘｔｒａｃｔｉｏｎ

ＡｉｒＷａｔｅｒＥｘｔｒａｃｔｉｏｎ＝＞ＷａｔｉｎｇＦｏｒＰａｒａＱｕａｌｉｆｉｅｄ

ＰａｒａＱｕａｌｉｆｉｅｄ＝＞ａｄｊｕｓｔｍｅｎｔ
ｅｎｄ

ｓｔａｔｅ ａｄｊ ｕｓｔｍｅｎｔ

５５

万方数据
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ＦｌｕｉｄＡｄｊ ｕｓｔｍｅｎｔ＝＞ｗｏｒｋｉｎｇ
ｅｎｄ

ｓｔａｔｅ ｗｏｒｋｉｎｇ

ＳｈｕｔＤｏｗｎ＝＞ｓｔａｙ
ｅｎｄ

４．３．３ ＤＳＬ词法语法分析

通过ＤＳＬ封装层次，解析ＤＳＬ文本，组装语义模型，作为引擎提供状态机

行为，以此推究状态机的运作机制，对其进行增强和测试。使用适应性模型，得

到模糊代码和数据之间的差异系统，确定对象实例的连接方式。

图４—１１ ＤＳＬ脚本生成代码中间过程

处理ＤＳＬ脚本输入和生成必要输出所需的全部工作由语法分析基础设施执

行，现将语法分析基础设施拆封成三个抽象，分别为语法分析器，抽象语法树和

语义模型。语法分析器负责核心的语法分析，语义模型作为一层完美的抽象，分

离了输入的语法导向的脚本结构与另一边的目标操作，独自充当所有必要领域功

能的供应仓库【７２】，预备提交给后续负责生成目标操作的设施。以如下事件和命

令为例：
ｅｖｅｎｔＳ

ＢｕｉｉｄＣｏｎｎｅｃｔｉｏｎ ＭＣＭＯＰ

ＰＷＳＯＰ
ＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ
＃…
ｅｎｄ

ｃｏｍｍａｎｄｓ

ＴＯＰＷＳＯＰ
ｔｏＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ

ｔｏＰｕｒｅＷａｔｅｒＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ＴＯＰＷＳＲＵＮ

＃…
ｅｎｄ

所定制的ＤＳＬ遵循一种层次化结构，为描述如上语言的元素分解为元素，

需定义文法（一种定义语言合法语法的方式）翻译原文本，并使用该文法让翻译

过程结构化。以ＢＮＦ（Ｂａｃｋｕｓ．Ｎａｕｒ Ｆｏｒｍ）解释和驱动语法指导翻译，设定Ｎａｍｅ

为浸没系统中事件流程名称，Ｃｏｄｅ为对应代码，使用如下文法定义：
ｄｅｃｌａｒａｔｉｏｎｓ：ｅｖｅｎｔＢｌｏｃｋ ｃｏｍｍａｎｄＢｌｏｃｋ；

ｅｖｅｎｔＢｌｏｃｋ ：Ｅｖｅｎｔ—ｋｅｙｗｏｒｄ ｅｖｅｎｔ＋Ｅｎｄ—ｋｅｙｗｏｒｄｊ

ｅｖｅｎｔ ：Ｎａｍｅ Ｃｏｄｅｊ

ｃｏｍｍａｎｄＢｌｏｃｋ：Ｃｏｍｍａｎｄ—ｋｅｙｗｏｒｄ ｃｏｍｍａｎｄ＋Ｅｎｄ—ｋｅｙｗｏｒｄ；

ｃｏｍｍａｎｄ ：Ｎａｍｅ Ｃｏｄｅ；

语法指导翻译需区分词法分析器（１ｅｘｅｒ）和解析器，词法分析器将输入字符

万方数据
 如下：

ｅｖｅｎｔ－ｋｅｙｗ。ｒｄ：、ｅｖｅｎｔＳ＇；

万方数据
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ＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ ＰＷＳＯＰ

ｅｎｄ

词法规则将其转换成一系列标记
【Ｅｖｅｎｔ—ｋｅｙｗｏｒｄ：”ｅｖｅｎｔｓ”］
［Ｎａｍｅ：”ＢｕｉｉｄＣｏｎｎｅｃｔｉｏｎ”】
［Ｃｏｄｅ：”ＭＣＭＯＰ”】
［Ｎａｍｅ：，，ｗａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ，，】
［Ｃｏｄｅ：”ＰＷＳＯＰ”】
［Ｅｎｄ—ｋｅｙｗｏｒｄ：”ｅｎｄ”］

４．３．４ 语义模型组装

根据标记流，进行解析器操作。将解析器的行为分为语法分析和动作，语法

分析接收标记流，组织成语法分析树。动作部分接受语法树，进行组装语义模型

等更多处理。如下部分关注语法分析，构建只包含语法的解析器，表示输入语法

是否匹配语法，即解析器识别输入。对于所述文本，有如下文法：
ｄｅｃｌａｒａｔｉｏｎｓ：ｅｖｅｎｔＢｌｏｃｋ ｃｏｍｍａｎｄＢｌｏｃｋ；

ｅｖｅｎｔＢｌｏｃｋ ：Ｅｖｅｎｔ—ｋｅｙｗｏｒｄ ｅｖｅｎｔ＋Ｅｎｄ—ｋｅｙｗｏｒｄ；

ｅｖｅｎｔ ：Ｎａｍｅ Ｃｏｄｅ；

ｃｏｍｍａｎｄＢｌｏｃｋ：Ｃｏｍｍａｎｄ—ｋｅｙｗｏｒｄ ｃｏｍｍａｎｄ＋Ｅｎｄ—ｋｅｙｗｏｒｄ；
ｃｏｍｍａｎｄ ：Ｎａｍｅ Ｃｏｄｅ；

由简化后的事件输入模型，词法分析器将其分解出的标记流，语法分析拿到

标记和语法，过滤不必要的部分，组织成抽象语法树（Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｓｙｎｔａｘ Ｔｒｅｅ，ＡＳＴ），

结构如下：

图４—１３ ＤＳＬ生成的抽象语法树

通过遍历ＡＳＴ抽象语法树可组装语义模型，对应状态机模型。语义模型是

指一种表现形式，如内存对象模型，本文所述的ＤＳＬ描述的是浸没系统流程切

换的一种状态机，由状态、事件等类组成，作为代码生成的基础。

根据图４—１３ ＤＳＬ生成的抽象语法树，组装语义模型如图４．１４所示。通过

ｒｅａｄｙ状态的ＰＷＳＲｕｎ，，ＨＣＷＳＳｔａｒｔ和ＴＣＭ２Ｓｔａｒｔ命令触发浸没系统状态切换，

中间过程由Ｅｖｅｎｔ说明事件类型，模型中分别为ＰｕｒｅＷａｔｅｒＳｕｐｐｌｙ超纯水供水，

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第４章基于ＤＳＬ的状态控制语言设计

ＦｌｕｉｄＷａｒｍＵｐ注液单元热启动及ＦｌｕｉｄＴｅｍｐＣｏｎｔｒｏｌＷａｒｍＵｐ二级温控模块热启动。
通过该语义模型，将浸没系统的控制输入集成到核心应用程序，实现服务器与客

户端在事件触发与逻辑控制的对接。

图４．１４ ＤＳＬ生成的语义模型

４．４本章小结

本章针对ＭＣＭ控制系统中的状态流程和数据交互两部分进行了ＤＳＬ设计，

其中数据交互部分使用了现有的外部ＤＳＬ语言ＸＭＬ，状态流程部分使用了定制

的ＤＳＬ，使得流体、气液纯化、温控领域专家和软件程序员都能快速读懂与沟

通。本课题使用的ＸＭＬ文本具备服务器与客户端解耦作用，通过读写文本操作

损失一定的运行性能，提高浸没分系统各人员的开发效率。

５９

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第５章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统运行和测试

第５章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统运行和测试
根据前述几个章节说明，浸没式光刻机浸没系统的状态控制理论模型已经搭

建，但理论分析中提出的业务逻辑，状态流程，通讯机制，领域特定语言设计等

过程都可能存在疏漏环节。浸没分系统间的逻辑关系正确性与系统控制中的技术

环节可行性都需要进行测试。

５．１下位机模式选择

浸没分系统下位机控制器执行过程中分为人工模式，半自动模式，全自动模

式。人工模式表示该分系统独立运行，不受总控端控制，不受分系统上位机控制，

通过按钮影响可编程控制器程序运行；半自动模式表示该分系统独立运行，不受

总控端控制，但受到分系统上位机控制，通过上位机命令影响可编程控制器程序

运行；全自动模式表示该分系统协调运行，受到总控端控制，通过总控端命令影

响可编程控制器程序运行。

如图５—１所示，程序采用系统自动模式标记及系统联调标记两部分作为开关，

选择流程稳定状态运行条件，标记开关在数据初始化过程中设定，运行时保持不

变。与ＭＣＭ总控部分连接时，选择全自动模式，即Ｍ３．５与Ｍ３．４在数据初始

化中设置为０，ＰＬＣ程序片段中启用通道１，状态切换命令来源于接收数据库数

据，接收数据库中数据内容来自总控端。

蠡黥完
一￡雕露ｊ嚣Ｅ＠——一
一ｌ“ｊ。鬻。鬻熏蠢啪旧
ｉ蠢鏊塞ｌｉｉ糕一‘系统切换拭态。

图５．１ ＰＬＣ程序片段
６０

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第５章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统运行和测试

５．２局域网连接

图２—１０浸没系统总控组装图表现出各分系统组装成了一个小型局域网，手

动配置分系统工业控制器中的ＩＰ地址、子网掩码及网关，为便于管理，设定各

分系统ＩＰ地址仅最后一段不同，封闭的小型局域网网关可忽略，如表５．１所示。
表５．１局域网信息
名称 ＩＰ 子网掩码 网关
网络机 １９２．１６８．０．１１０ ２５５．２５５．２５５．０ １９２．１６８．０．１１０

ＰＷＳ １９２．１６８．０．１１１ ２５５．２５５．２５５．０ １９２．１６８．０．１１０

ＨＣＷＳ １９２．１６８．０．１ １２ ２５５．２５５．２５５．０ １９２．１６８．０．１１０

ＣＡＳ １９２．１６８．０．１１３ ２５５，２５５．２５５．０‘ １９２．ｔ６８．０．１１０

ＨＡＷＥ １９２．１６８．０．１ １４ ２５５．２５５．２５５．０ １９２．１６８．０．１１０

ＴＣＭ １９２．１６８．０．１１５ ２５５．２５５．２５５．０ １９２．１６８．０．１１０

使用ＰＷＳ和ＨＣＷＳ进行局域网连接测试，查看本机信息如下：
ＰＷＳ：
［ＰＷＳ＠ｌｏｃａｌｈｏｓｔ一］￥ｉｆｃｏｎｆｉｇ

ＫＤＥＮＥＴ：ｆｌａｇｓ＝４１６３＜ＵＰ，ＢＲＯＡＤＣＡＳＴ，ＲＵＮＮＩＮＧ，ＭＵＬＴＩＣＡＳＴ＞ｍｔｕ １５００

ｉｎｅｔ １９２．１６８．０．１ｌｌ ｎｅｔｍａｓｋ ２５５．２５５．２５５．０ ｂｒｏａｄｃａｓｔ １９２．１６８．０．１ｌＯ

ＨＣＷＳ：
［Ｈｅｗｓ＠ｌｏｃａｌｈｏｓｔ一１￥ｉｆｃｏｎｆｉｇ

ＫＤＥＮＥＴ：ｆｌａｇｓ＝４１６３＜ＵＰ，ＢＲＯＡＤＣＡＳＴ，ＲＵＮＮＩＮＧ，ＭＵＬＴＩＣＡＳＴ＞ｍｔｕ １５００

ｉｎｅｔ １９２．１６８．０．１１２ ｎｅｔｍａｓｋ ２５５．２５５．２５５，０ ｂｒｏａｄｃａｓｔ １９２．１６８．０．１１０

为测试组建的局域网配置无误，使用ｐｉｎｇ方式查询对方ＩＰ地址，查看是否

可以连接。通过如下查询信息可知，２台系统可互相ｐｉｎｇ通，网络环境良好。
ＰＷＳ（ＩＰ为１９２．１６８．Ｏ．１１ １）：
ｆＰＷＳ０ｌｏｃａｌｈｏｓｔ一］￥ｐｉｎｇ １９２．１ ６８．０．１１２

Ｐ［ＮＧ ｏｆ ｄａｔａ，
１９２．１６８．０．１１２（１９２．１６８．０．１１２）５６（８４）ｂｙｔｅｓ

６４ ｂｙｔｅｓ ｆｒｏｍ １９２．１６８．０．１１２：ｉｃｍｐ—ｓｅｑ＝ｌ ｔｔｌ＝６４ ｔｉｍｅ＝Ｏ．３２２ ｍｓ

６４ ｂｙｔｅｓ ｆｒｏｍ ｔｔｌ＝６４ ｔｉｍｅ＝０．２３５ ｍｓ

１９２．１６８．０．１１２：ｉｃｍｐ—ｓｅｑ＝２

６４ ｂｙｔｅｓ ｆｒｏｍ １９２．１６８．０．１１２：ｉｃｍｐ—ｓｅｑ＝３ ｔｔｌ＝６４ ｔｉｍｅ＝０．２５６ ｍｓ

ＨＣＷＳ（ＩＰ为１９２．１６８．Ｏ．１１２）：
【ＨＣＷＳ＠ｌｏｃａｌｈｏｓｔ～］￥ｐｉｎｇ １９２．１６８．０．１１１

ＰＩＮＧ １９２．１６８．０．１１ｌ（１９２．１６８．０．１１１）５６（８４）ｂｙｔｅｓ ｏｆ ｄａｔａ．

６４ ｂｙｔｅｓ ｆｒｏｍ １９２．１６８．０．１１１．ｉｃｍｐ—ｓｅｑ＝ｌ ｔｔｌ＝６４ ｔｉｍｅ＝Ｏ．２８８ ｍｓ

６４ ｂｙｔｅｓ ｆｒｏｍ １９２．１６８．０．ｉｉｉ：ｉｃｍｐ＿ｓｅｑ＝２ ｔｔｌ＝６４ ｔｉｍｅ＝Ｏ．３０２ ｍｓ

６４ ｂｙｔｅｓ ｆｒｏｍ ｔｔｌ＝６４ ｔｉｍｅ＝０．３３９ ｍｓ

１９２．１６８．０．１ｉｉ：ｉｃｍｐ—ｓｅｑ＝３

迸一步测试几台系统工控机组建的局域网，使用Ｌｉｎｕｘ平台下ｉｐｔｕｘ软件通

讯测试，结果良好，信息收发正常。此时，通讯功能硬件部分已搭建，环境配置

良好，软件测试时如出现问题可直接锁定代码错误。

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 蔓！兰苎三里！兰！！坚竺坚望堂！墨竺垩堡塑型堕

５．３人机交互界面

分系统设定全自动模式后，浸没控制系统可通过运行程序与各分系统对接，

获取系统运行参数并进行相应时序状态控制。各分系统上位机代码集成，运行模

式统一，通过服务器／客户端入口选择自身运行部分。从各分系统的操作看，如

图５—２为浸没分系统在局域网中使用统一外设设备的排布图，系统工控机共用一

套外设设备，以图中排序顺序，服务器／客户端集成情况下，可选择其中一台工

控机运行ＭＣＭ服务端程序后，再分别运行各项客户端。

图５－２统一外设设备排布

ｉ
ｄｅｍｏ：ＭＣＭｄｅｍｏ—Ｋｏｎｓｏｌｅ 、蠢

熏
蔓，”、；＿＿、。ｊｊ７ ｉ
．

ｎｇｓ。奠卿曼煮纛ｉ。一 ｊ。１Ｉ｝ｊ鬟薹豢凌蠹囊囊霪囊
溪鬻鬻 鬻添
ｄａｔａ
＿越裂 一瓣№ Ｉｓ

ＭＣＭｄｅｍｏ．Ｐｒｏ
ＭＣＭｄｅｍｏ ｒｅａｄｍｅ
ｒｅａｄＸＭＬ．ｃｐｐ
ｃｌｉｅｎｔＣＡＳ。ｃｐｐ
ｆｒ｝ＣｍＵｌ．Ｏ ｒｅａｄＸＭＬ．ｏ
ＣｌｉｅｎｔＣＡＳ．ｏ ｇＩｏｂａｌＤｅ｛ｉｎｅ．ｈ
ｃｌｉｅｎｔＨＡＷＥ。ｃｐｐ ｇｌｏｂａｌＶａ ｒｉ ａｂｌｅｓ．ｈ ＭＣＭ ｖａｒｌａｂ Ｌｅｓ ｃｐｐ ｓｅｒｙｅｒ删．ｃｐｐ
ＰＥＭ ｖａｒｌａｂｌｅｓ ｈ ｓｅｒｖｅｒＭＧＭ．ｏ
ＣｌｉｅｎｔＨＡｗＥ．ｏ １ｍａｇｅ
ｃｌｉ ｅｎｔＨＧＶＳ．ｃｐｐ １０ｘｍＬ．ｎ ＭＣＭ ｖａｒｌａｂｌｅｓ ｏ ｓｅｒｙｅｒｓｏｃｋｅｔ．ｃｐｐ
Ｓｅｒｖｅｒｓｏｃｋｅｔ．ｏ
ｃｌｉｅｎｔＨＣＷＳ．ｏ ｌｉｂｘｍｌ ｍｅｃ ｍｃｍｕｌ．ｃｐｐ
ｍａｌｎＭＣＭ．ｃｐｐ ｓｏｃｋｅｔＦｕｔｉｃ．ｈ
ｅｌｉｅｎｔＰＷＳ．ｃｐｐ ｍＯＣ—ｍｃｍｕｌ－ｏ

ｃｌｉｅｎｔＰＷＳ．ｏ ｍａｌｎ№Ｍ．ｏ ｍｏｃ—Ｕｌ ｍｌｃｍ・ｃｐｐ ｓｑｌｉ ｔｅＦｕｎｃ．ｃｐｐ

Ｍａｋｅｆｉｌｅ ｍｏｄｅＦｕｎｃ・ｈ ｓｑｌｉｔｅＦｕｎｃ．ｏ
ｃｌｉｅｎｔｓｏｃｋｅｔ。ｃｐｐ
Ｕｌ
ｃｌｉｅｎｔｓｏｃｋｅｔ．ｏ ＭｃＭ．ｃｒｅａｔｅＸＭＬ．ｃｐｐ ｑｔＵＩＦｕｎｃ・ｃｐｐ
ｑｔＵＩＦｕｎｃ－ｏ ｕｉ ｍｃｍｕｉ．ｈ
ｃｌｉｅｎｔＴＣＭ．ｃｐｐ ＭＣＭ—ｃｒｅａｔｅＸＭＬ．ｏ
【ｃａｏｆｅｉｆｅｉ＠ｌｏｃａｌｈｏｓｔ丽ＥＭｄｅｍｏ】￥．／ＭＣＭｄｅｍｏ
ｕｉＰ伯ｆｒｅｓｈＲｅｔ ｃｒｅａｔｅｄ！
Ｐｌｅａｓｅ ｅｎｔｅｒ Ｍ／Ｐ／Ｈ／Ｃ／Ａ／Ｔ ｔｏ ｃｈｏｏｓｅ ｏｎｅ ｍｏｄｅ
Ｈ：ＭＣＭ Ｐ：ＰＷＳ Ｈ：ＨＣＷＳ Ｃ：ＣＡＳ Ａ：ＨＡＷＥ Ｔ：ＴＣＭ
ａｎｄ ｌｏｗｅｒ—ｃａｓｅ ａｒｅ ｂｏｔｈ ａ Ｌ Ｌｏｗｅｄ
Ｕｐｐｅｒ．ｃａｓｅ
ｍ

ｔｈｒｄ ｓｅｒｖｅｒ ｃｒｅａｔｅｄ！

ｔｏ Ｌｚｅｎｔ
Ｉｎｐｕｔ ｔｈｅ １ｎｆｏｒｍａｔｌｏｎ ｓｅｎｄ ｃ

Ｓｅ’ｒｖｅｒ ａｄｄｒ Ｓｏｃｃｅｓｓｅｄ…

Ｓｅｒｖｅｒ ｓｏｃｋｅｔ ｓｏｃｃｅｓｓｅｄ．．．
Ｓｅｒｖｅｒ ｂｉｎｄ Ｓｏｃｃｅｓｓｅｄ．．．
ｓｅｒｖｅｒ ｌｉｓｔｅｎ Ｓｏｃｃｅｓｓｅｄ，ｌｉｓｔｅｎ ｐｏｒｔ ５８９３
ｎｅｗ ｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ ｃｌｉｅｎｔ【ｉ】１２７．０．０．ｉ：３８０６０
ｓｔｒＦｒｏｍＣｔｉｅｎｔＶｅｃｔｅｒ：ＰＷＳ

图５－３服务器启动信息

６２

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第５章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统运行和测试

图５－３列出了代码编译后生成的可执行文件ＭＣＭｄｅｍｏ，在ＰＷＳ系统的工

控机中运行ＭＣＭｄｅｍｏ并根据入口信息选择 服务器客户端信息，启动ＭＣＭ服

务器，创建ｓｏｃｋｅｔ套接字，绑定监听端口， 等待客户端连接，ＰＷＳ客户端连接

后显示当前连接信息并进行通讯控制，如有其它客户端接入，则立即进行连接

如图５—４为客户端连接信息。在上述章节中，图４．７已经描述了客户端连接后，

舞蠢蒸鬣滋遴警蕊蕊 麓
ＭＣＭ总控端接收ＰＷＳ分系统数据信息，解析字符串数据的内容。

［ｃａｏｆ ｅｉ ｆ ｅｉ ９１－ｏｃａｌ－ｈｏｓｔ ＭＣＨｄｅｎ硷】￥．／ｌ唯ＴＭｄｅｍｏ

ｕ１Ｒｅｔ ｒｅｓｈＲｅｔ Ｃ ｒｅａｔｅｄ
ｐｌｅａｓｅ ｅｎｔｅ ｒ ＭＩＰＩＨＩＣＩＡＩＴ ｔｏ ｃｈｏｏｓｅ ｏｎｅ ｍｏｄｅ
Ｍ：ＨＣＭ Ｐ：～Ｓ Ｈ：Ｈ例Ｓ Ｃ：ＣＡＳ Ａ：ＨＡ惟Ｔ：ＴＣＭ
Ｕｐｐｅｒ．ｃａｓｅ ａｎｄ Ｉｏｗｅｒ．ｃａｓｅ ａｒｅ ｂｏｔｈ ａｌｌｏｗｅｄ
Ｐ
ｔｈｒｄ ｃｔｉｅｎｔ Ｃｒｅａｔｅｄ ｌ
Ｍｅｓｓａｇｅ：０ １
Ｃｒｅａｔｅ Ｓｏｃｋｅｔ Ｓｕｃｃｅｓｓｅｄ ｌ
ｓｅｒｙｅｒ ＩＰ ａｄｄｒ Ｓｕｃｃｅｓｓｅｄ！
Ｃｏｎｎｅｃｔ ＳＵＣＣｅｓｓｅｄ ｉ
Ｘ陀：附ｓ术
ｘｍｌＤａｔａＮｕｍｂｅ ｒ：０
Ｘ｝，Ｌ：Ｓｔａｒｔ木
ｘｍｌＤａｔａＮｕｍｂｅ ｒ：Ｉ
×Ｍ一：Ｉ。１１木
ｘｍ［ＤａｔａＮｕｍｂｅ ｒ：２

图５＿４客户端连接信息

浸没系统的控制平台人机交互界面采用Ｑｔ５．１代码模式编写。界面采用服务

器与客户端想结合的形式，以Ｔａｂ页面分隔，首页为模式选择页，提供程序模式

为ＭＣＭ，ＰＷＳ，ＨＣＷＳ，ＣＡＳ及ＴＣＭ的模式选择

图５－５人机界面模式选择页

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第５章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统运行和测试

其中模式选择部分ＭＣＭ为服务器，其他选项为客户端。在服务器设置中，

包含各个客户端ＩＰ地址，默认显示采用了本机ＩＰ地址：１２７．０．０．１；客户端设置

中包含ＭＣＭ服务器ＩＰ地址及ＸＭＬ存储路径，待服务器启动后可进行通讯连接。

软件启动时，按常规顺序先启动ＭＣＭＭｏｄｅ服务器，再启动客户端进行连接。

服务器启动后，如在局域网内再有选择服务器启动时将弹出警告信息，以保证服

务器唯一性。在服务器未启动的情况下，先启动客户端，则启动的客户端会按指

定ＭＣＭ服务器ＩＰ进行连接，直到局域网中有服务器启动，客户端连接成功。

通讯连接参数设置中，ＩＰ参数仅针对当前选中的模式有效，服务器设置中的ＩＰ

信息仅为显示内容，有客户端成功连接后，在对应位置显示连接客户端的ＩＰ信

息。客户端设置中的ＩＰ参数需手动输入，用于连接当前服务器。ＸＭＬ存储路径

默认为根目录下Ａ４ＩＭｄｅｍｏ，如图４－９中文件路径所示。

图５－６人机界面数据信息页

图５．７系统数据指标
６４

万方数据
 浙江大学硕士学位论文 第５章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统运行和测试

在人机界面ＭＣＭ总控页中，主要显示各个客户端的系统状态及指标数据，

设置状态切换的手动按钮，供手动测试使用，设置需求指标及数据库的查看按钮，

作为ＭＣＭ总控页的功能扩展。系统信息部分显示需求指标及系统关键数据，正

常运行过程中数据符合图５．７需求指标面板信患，异常数据用红色标记。

５．４日志信患

前期运行测试主要使用控制台中，可于后台查询当前信息。使用界面模块后，

无法得知程序运行状态，为排查运行过程中可能出现的出错，找到解决方法。本

课题中引入Ｌ０９４ｃｐｌｕｓ日志库，ｌ０９４ｃｐｌｕｓ是Ｃ＋＋编写的开源的日志系统，具有线

程安全、灵活以及多粒度控制的特点，通过将日志划分优先级使其可以面向程序

调试、运行、测试、和维护等全生命周期【７４】。可将日志输出到屏幕、文件等。

将配置语句中的输出格式自定义，日志级别划分为ＥＲＲＯＲ、ＷＡＲＮ、ＩＮＦＯ、

ＤＥＢＵＧ和ＴＲＡＣＥ五类。其中ＥＲＲＯＲ与ＷＡＲＮ信息都表示业务处理上的失败

项，ＥＲＲＯＲ影响软件正常运行，ＷＡＲＮ作为警告信息。正常情况下日志信息为

ＩＮＦＯ和ＤＥＢＵＧ，作为运行信息记录。

表５－２日志级别划分

ＬｏＧ 使用场景
ＥＲＲＯＲ 问题已经影ａ向到软件的正常运行，并且软件不能自行恢复到正常的运行
状态，此时需要输出该级别的错误日志。
ＷＡＲＮ 与业务处理相关的失败，此次失败不影响下次业务的执行，通常的结果
为外部的输入不能获得期望的结果。
ＩＮＦＯ 系统运行期间的系统运行状态变化，或关键业务处理记录等用户或管理
员在系统运行期间关注的一些信息。
ＤＥＢＵＧ 软件调试信息，开发人员使用该级别的日志发现程序运行中的一些问
题，排除故障。
ＴＲＡＣＥ 基本同上，但显示的信息更详尽。

以默认路径的方式安装完ｌ０９４ｃｐｌｕｓ日志库后，在代码使用时需要添Ｔ

头文件，并使用对应的命名空间：
＃ｉｎｃｌｕｄｅ＜ｌ０９４ｃｐｌｕｓ／ｌｏｇｇｅｒ．ｈ＞

｛｝ｉｎｃｌｕｄｅ＜ｌ０９４ｃｐｌｕｓ／ｆｉｌｅａｐｐｅｎｄｅｒ．ｈ＞

＃ｉｎｃｌｕｄｅ＜ｌ０９４ｃｐｌｕｓ／１ａｙｏｕｔ．ｈ＞

＃ｉｎｃｌｕｄｅ＜ｌ０９４ ｃｐｌｕｓ／ｎｄｃ．ｈ＞

＃ｉｎｃｌｕｄｅ＜ｌ０９４ｃｐｌｕｓ／ｈｅｌｐｅｒｓ／ｌｏｇｌｏｇ．ｈ＞
｝｝ｉｎｃｌｕｄｅ＜ｌ０９４ｃｐｌｕｓ／ｈｅｉｐｅｒｓ／ｐｒｏｐｅｒｔＹ．ｈ＞

｛｝ｉｎｃｌｕｄｅ＜ｌ０９４ｃｐｌｕｓ／ｌｏｇｇｉｎｇｍａｃｒｏｓ．ｈ＞

ＵＳｉｎｇ ｎａｍｅｓｐａｃｅ ｌ０９４ｃｐｌｕｓ；

日志类别分为操作记录和内容记录两类，内容记录的日志布局器Ｌａｙｏｕｔ部分

６５

万方数据
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如图５—８所示，分别记录了信息事件，代码文件与代码行号，便于追踪与排查。

麓溪瑟瑟瑟蒸囊蒸熏瑟≥蕊霾渊浚滋溅黼㈧麓躺
０５：０７：４５．９８３．５７７ ．ｆ州，’州．ｓｔｒＦｒｏｍＣｌｌｅｎｔ：ｐｗＳ’Ｓｔａｒｔ０１．ｉ１’Ｕ啦Ｎ咿Ａ４．ｎ６ ２４叫）ｐｂ’ｉ８．２３’
０５：０７：４ｓ．９６３．６８２ ｓｕｂｔｅｓｔ％～・ －ｓｔｒＦｒｏｍＣｈｅｎｔＴｅＭ ３：Ｆ惦＊Ｓｔａｒｔ’ｌ ｉｉｑＪ州ｎ，０ｗ＋Ａ４．Ｆ粥．２４‘ｐＰｂ＊ｉ８．２３’ｕＮ
０５：０７：４５．９８３．７００ ｓｕｂｔｅｓｔ’＾・ ・ＴＯｃ：１．１１ Ｌ５ｅ ｒｖｅｒｐ●讲．ｃｐｐ：１２３ Ｊ
０６：０７：４５．９Ｑ３．７８４ —ｒｅｓｌＳｔｌｖｌｔＹ：１８．２３【ｓｅｒｖｅｒ｝忙Ｈ．ｃＰＰ：１３１ｊ
０５：０７：５２．１９３．１４９ ｓｕｂｔｅｓｔｎ・ ・ｍｙＭ（ｘ．ｓｔｒＦｒｏｍＣ Ｌ１ｅｎｔ：ＦＥＷＳ＋Ｓｔａｒｔ＊Ｏ．ｓ１叶１０ｒ１２０ｎｔａｌ＇Ａ４．Ｈ０４Ｓ．０２３＊ｂａｒ
０５：０７：５２，１９３．ｉｇＯ ｓｕｂｔｅｓｔ‰． —ｓｔｒＦｒｏｍＣｌｉｅｎｔＴｅｍＤ：ＨＣＷＳｌＳｔａｒｔ’０．Ｓｉｏ帆ｏｒｌｚｏｎｔａｌ’Ａ４ Ｐ●ＣｗＳ．０２３’ｂａｒ’２
０５：０７：５２．１９３．２５０ ｓｕｂｔｅｓｔＨ． ．ｈｏｒｌｚｏｎｔａｌＰｒｅｓｓｕｒｅ：０．５Ｉ【ｓｅｒｖｅ ｒＨ州．ｃＰＰ：１４６】
０５：０７：５２．１９３ ２西 ｓｕｂｔｅｓｔ栈－ －ｈｏｒｌＺＯＲｔａ ＬＦ Ｌｏｗ：２｝ｓｅｒｖｅｒＨＣＨ．ｃｐＰ：１５４ Ｊ
０５：０７：５４．５１９．６９４ ｓｕｂｔｅｓｔ‰一 —ｍｙＭＣＭ．ｓｔｒＦｒｏｍＣ Ｌ１ｅｎｔ：Ｐ”ｓ’Ｓｔａｒｔ‘１ ｉｌｏＬ●ＫＮｃ俨＾４．Ｆ惦．２４Ｍ，Ｐｂ－ｉ８．Ｚｐ
０５：０７：５４．５１９．７３５ ｓｕｂｔｅｓｔ辘－ －ｓｔｒＦｒｏｍＣｌｉｅｎｔＴｅＭ：ｐ■巧’Ｓｔａｒｔ’１ １Ｉ＂ｑＪＮＫ＾ＪＯＷｏ＾４．ＰＷＳ．２４‘ｐｐｂ’１８．Ｚ｝’ｔ且
０５：０７：５４．５１９．７８０ ｓｕｂｔｅｓｔ辘一 －Ｔｏｃ：ｌ，１１ ｉｓｅｒｖｅｒＨｄ．ｃｐｐ：ｉ２３Ｊ
０６：０７：５４．５１９．７９５ ．ｒｅ￥１ｓｔｌｖｌｔＹ：１８．２３【ｓｅｒｖｅｒＭＣＨ．ＣＰＰ：１３１ Ｊ
０５：０７：５５＿．０９４．８１８ ｓｕｂｔｅｓｔ智～一 —ｍｙＭＧＭ．ｓｔｒＦｒｏｎｃ Ｌ１ｅｎｔ：ＨＣＷｓ’Ｓｔａｒｔ’０．５１嘶ｏｒｌｚｏｎｔａ Ｌ＊Ａ４．ＨＣ蚂．０２３＊ｂａｒ
０５：０７：５５－，０９４．８７０ —ｓｔｒＦｒｏｍＣ Ｌ１ｅｎｔＴｅｎ：ＨＣＷＳ＂Ｓｔａｒｔ’０．５ｉ。朴ｏｒｌｚｏｎｔａＩ－Ａ４ Ｐ●ｃｗｓ．０２３＋ｂａｒ’２
０５：０７：５５．０９４．９３６ ｓｕｂｔｅｓｔ辘一 －ｈｏｒｌｚｏｎｔａＬｐｒｅｓｓｕｒｅ：０．５１ ｌｓｅｒｖｅｒＭＥＭ．ｃｐｐ：１４６ｊ
０５：０７：５５．００４．９６４ ｓｕｂｔｅｓｔ铺－ －ｈｏｒｌｚｏｎｔａ ＬＦ【ｏｖ：２｝ｓｅｒｙｅｒ｝Ｉ。．．ｃＰＰ：１５４ Ｊ
Ｃ６：０７：５７．９７３．９６７ ｓｕｂｔｅｓｔ％、． ・ｍｙＨ国．ｓｔｒＦｒ口『１１Ｃ Ｌ１ｅｎｔ：Ｐ～，ｓ’Ｓｔａｒｔ’１．ｉ１＾Ｊ咀＾●０Ｗ’＾４．Ｐ幅．２４叫）Ｐｂ０１８．Ｚｊ’
ＯＳ：０７：４５＿．９８３．６８２ ｓｕｂｔｅ５ｔ‰． 一ｓｔｒＦｒｏｆｌｃｌｉｅｎｔＴｅＭ：日伊Ｓｔａｒｔ’１．１１ｑ州＾●Ｄｗ‘Ａ４．ＰｄＳ．２４‘ｐＰｂ＋ｉ日．２３’ｕｑ
０Ｓ：０７：４５ｈ９∞．７６０ —ＴＯｃ：１．１１ ｌｓｅｒｖｅｆ十’州ｃｐｐ：１２３】
ＯＳ：０７：４５・．９８３．７８４ ．ｒｅｓｌＳｔｌｖｌｔＹ：１日．２３【ｓｅｒｖｅｒＨｃＨ．ｃＰＰ：１３１ Ｊ
０Ｓ：０７：５２’．１９３．１４９ ｓｕｂｔｅｓｔ辘一 —ｍｙＭｃＭ．ｓｔｒＦｒｏｒ『ｃＬｌｅｎｔ：Ｈ剁争Ｓｔａ ｒｔ‘０．５１嘶ｏｒｌｚｏｎｔａ Ｌ’＾４．｝ｌＷＳ．０２３＊ｈａｒ
０５：０７：５２’，１９３．ＩｇＯ ．ｓｔｒＦｒｏ暖ｔｉｅｎｔＴｅｎ：ＰＬ＇ｖＳ＊Ｓｔａｒｔ４０．５１４ｈｏｒｌｚｏｎｔａｌ＊Ａ４．｝１３Ｆｓ．０２３吨ａｒ＋２
ｓｕｂｔｅｓｔ聃－ Ｉｓｅｒｖｅ ｒＨ洲．ｃｐｐ：１４６Ｊ

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－ｈｏｒｌｚｏｎｔａＩＰｒｅＳＳＵｒｅ：Ｏ．５１

誉ｌｉ ｌ ｉ ｌ 嚣ｉｌ ｉｌ ｉｌ 戤 苗嚣滚港嚣滨滚凄器滚葚凄兰

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图５－－８自定义ｐａｔｔｅｒｎ日志文件

５．５网站数据查询

数据库是在结构化格式内组织的数据集合［７引，ＳＱＬｉｔｅ是一款嵌入式数据库，

它没有独立运行的进程，它与所服务的应用程序在应用程序进程空间内共生内存

【，６１。具有零配置，移植性，紧凑性，简单性等特点，其局限性主要为并发与网络。

ＳＱＬｉｔｅ的锁机制是粗粒度的，支持同时存在多个读的情况，但只支持一个写。

写的过程中产生的写锁会锁定数据库，在此期间不允许数据库访问；虽然ＳＱＬｉｔｅ

数据库可以通过网络文件系统共享，但是与这种文件系统相关的潜在延时会导致

性能受损。

由于系统中存储的大部分为运行数据，存储各个客户端检测到的传感器数据

及控制器的控制信号，当前仅为储存查看使用，数据库为ＸＭＬ表的集成版，系

统中ＸＭＬ表的更新采用新建文档形式，不同数据分散在不同ＸＭＬ文档中，可

作为接口数据进行数据标记，但存在数据查询等操作弊端，集成数据库可实现所

有数据整合归档功能，便于后期查询，尤其是能对系统联调过程中出现的错误进

行查询。查看实时性要求低，但要求操作便捷。数据库查询功能集成于软件后，

如需在局域网中其他附属及其中仅查询当前数据情况，则需再打开软件查询，灵

活性较差。如图５－９使用ＳＱＬｉｔｅＳｔｕｄｉｏ直接操作查看，但在局域网中也需访问到

服务器中的ｄｂ文件，且ＳＱＬｉｔｅＳｔｕｄｉｏ受操作系统限制，局限性较大。

万方数据
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图５－９工具数据查询

本课题采用ｈｔｔｐ传输系统数据，在ＭＣＭ服务器端开启网站服务器，通过网

站服务器后台读取ＭＣＭ保存的ｄｂ数据，再传输至用户浏览器。

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图５．１０网站数据查询
６７

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 浙江大学硕士学位论文 第５章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统运行和测试

图５—１ ０所示为通过网站进行系统数据查询的页面信息，数据内容与图４－６

提到的ＸＭＬ数据传输文件一一对应，ＸＭＬ数据文件分布于各分系统客户端，

系统ｄｂ数据存储于启动的ＭＣＭ服务器，数据存储表字段信息如表５—３所示。

使用该表管理系统运行的基本信息，包括客户端、系统状态、系统参数位置、传

感器编号、参数数值和参数单位等内容，ＩＤ字段为表中数据内容唯一标识，是

数据操作与其他扩展表查询的重要依据。

表５—３ ＭＣＭ数据存储表字段

为兼容各项屏幕分辨率，尤其是移动端与ＰＣ端的页面显现效果，数据查询

的ｗｅｂ前端采用了响应式设计，解决针对ＰＣ端设计的页面在移动端打开，需要

不断局部放大的情况。如下是通过移动终端的浏览器访问浸没系统数据库查看到

的数据，移动端连接工控机开启的无限网后，与工控机处于同一网段，访问局域

网网络，实现浸没系统数据移动终端访问功能。

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图５一ｌｌ浸没系统网站手机模式
６８

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 浙江大学硕士学位论文 第５章基于ＤＳＬ的ＭＣＭ控制系统运行和测试

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图５—１２浸没数据查询手机模式

５．６本章小结

本章通过下位机全自动模式、后台运行与人机界面交互、日志追踪信息与网

站数据查询等方面进行阐述，表示ＭＣＭ控制系统的启动准备，稳定运行，维护

记录与数据查询，整体功能符合本课题需求指标，实现基于ＤＳＬ的浸没式光刻

机浸没系统状态控制。本章运行与测试过程也发现了一些问题，人机交互功能不

够完善，数据查询的表现性不高，缺少图表曲线的直观展现等内容。

６９

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 浙江大学硕士学位论文 第６章总结和展望

第６章总结和展望

６．１总结

本课题为高效协调各分系统的运行，实现ＭＣＭ总控端的状态控制，于浸没

式光刻机浸没系统控制模块中，在领域专家和软件程序员之间建立了一套领域特

定语言，便于浸没系统中流体、气液纯化、温控领域专家与总控软件人员的沟通

与流程设计。本文的具体工作内容如下所示：

１１介绍了浸没分系统中ＰＷＳ水传输系统，ＨＣＷＳ注液系统，ＣＡＳ注气系

统，ＨＡＷＥ气液回收单元和ＴＣＭ温控模块的基本原理和相互关系，由

ＭＣＭ总控与各分系统间协调关系，提出浸没系统控制需要实现的参量

监测与设定模块，接口和通讯模块，主控模块，数据存储模块和人机交

互模块功能。

２）根据浸没系统的物理空间模型与逻辑控制形式介绍了浸没系统的逻辑

架构，采用了服务器／客户机一体化方案对系统进行分层，组建现场网络、

控制网络和管理网络。在整体方案的框架下，进行了ＭＣＭ控制系统关

键硬件可编程控制器、工控机等元器件的选型，完成了控制系统硬件平

台的搭建与组装。

３）在浸没系统逻辑架构的基础上将总控模块分为表现层、业务逻辑层和数

据层。对软件中业务逻辑提到的状态流程、模型建立和时序控制进行分

析，将浸没分系统整体分为脱机状态、停机状态、待机状态、工作状态、

故障状态和切换状态６种大类，并对各分系统间的状态进行分析，确立

定位关系。模型建立中使用有限状态机，表现总控部分的状态关系和切

换流程，将系统状态切换过程的控制变成了不同状态转移条件的控制。

逻辑控制时序中使用ＵＭＬ图说明，对通讯连接、纯水处理、热启动及

注液形成流场几个重要交互关系进行阐述，用于ＤＳＬ语言模型建立和

语言定制。

４１针对ＭＣＭ控制系统中的控制流程和数据交互两部分进行了ＤＳＬ设计，

建立浸没系统特定的领域语言，浸没流场控制的领域专家和软件程序员

都能快速读懂设计的ＤＳＬ语言。其中数据交互部分使用了现有的外部

ＤＳＬ语言ＸＭＬ，状态流程部分使用了定制的ＤＳＬ，使得流体、气液纯
７０

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 浙江大学硕士学位论文 第６章总结和展望

化、温控领域专家和软件程序员都能快速读懂与沟通。

５）浸没系统控制逻辑及系统数据的ＤＳＬ模型研究。研究浸没式光刻机浸

没系统中总控模块的元模型表示法。包括浸没系统中各系统执行过程，

状态切换，事件触发，系统数据等模型。建立适用的逻辑控制及系统数

据ＤＳＬ文本，生成语义模型。根据系统模型，定制ＤＳＬ文本，以相应

词法及语法规则分析，生成抽象语法树，并组装语义模型，通过定制的

ＤＳＬ文本及组装的语义模型，与业务逻辑核心应用程序无缝对接，基于

ＤＳＬ实现浸没系统的状态逻辑控制及自动化控制。

６．２展望

虽然本课题完成的浸没系统状态控制系统满足了系统运行过程中通讯连接、

状态切换、时序控制、数据交互等基本功能，但在运行与测试过程也发现了一些

问题，主要内容如下：

１）人机交互功能不够完善，目前的人机界面部分只有基本的数据信息，没

有相关参数设置与变动的功能，参数设置使用默认值居多。图表曲线的

直观性不高，对系统运行的数据趋势没有记录，对短时间内刚接触系统

运行的管理人员来说操作不够友好。

２）数据查询的表现性不高，系统数据利用率低。当前系统运行的数据存于

数据库后没有有效利用，人员查看的意义不大。

３）故障定位与恢复能力薄弱，对方案中设计的异常状态与故障状态切入切

出功能没有全面覆盖，单个分系统的故障错误对整体系统命令优先级影

响未做划分，浸没系统总控端出现故障情况后，各分系统紧急进入独立

控制的环节需要优化。

以上内容需要在课题后期研究的过程中不断迭代完善，另外系统运行的稳定

性和实时性等性能方面的控制需要逐渐加入到需求指标当中。

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