Nguyên lý hoạt động:

Trong quá trình gia công này khi chùm tia laze chiếu vào bề mặt phôi, năng lượng nhiệt từ
chùm tia laze được truyền tới phôi. Năng lượng nhiệt được hấp thụ này sẽ làm nóng chảy và
làm bay hơi vật liệu khỏi phôi. Chùm tia laser yêu cầu nguồn điện từ 1 đến 10 KW.
Bảng hệ thống đặc tính các loại laser

Loại laser Chiều dài bước sóng(nm) Đặc điểm công suất
Dạng rắn Buri 694 5W
Nd-YAG 1064 1-800W
Nd-Thủy tinh 1064 2mW
Dạng lỏng GaAs 800-900 2-10mW
Phân tử CO2 10,6 μm <15kW
Ion Ar 1W-5kW
Excimer
Khí He-Ne 633 30mW

Nguồn điện cao áp được sử dụng để tạo ra ánh sáng trong đèn pin (flash lamps) . Đèn flash
(flash lamps) được sử dụng để sạc các electron của các nguyên tử trong tinh thể(ruby
crystal. Tụ điện( Capacitor) được sử dụng để vận hành máy chùm tia laser theo xung. Môi
trường bơm trong trường hợp này là tinh thể ruby (ruby crystal) có số lượng lớn nguyên tử
mà khi hấp thụ năng lượng, các electron của chúng sẽ tạo ra proton hoạt động.
Khi công tắc được bật, nguồn điện áp cao được cấp qua đèn pin hoặc ống đèn nháy
bao quanh môi trường bơm trong trường hợp trên đó là tinh thể hồng ngọc. Khi đèn được
bật, nó phát ra các proton năng lượng cao. Các proton này được hấp thụ bởi tinh thể ruby.
Năng lượng hấp thụ này làm cho hầu hết các electron có trong nguyên tử của tinh thể ruby
bị kích thích ở mức năng lượng cao so với trạng thái cơ bản của nó. Sau một thời gian ngắn,
khi các electron từ mức năng lượng cao chuyển sang trạng thái cơ bản, chúng phát ra các
proton , , các proton phát ra này kích thích các electron bị kích thích quay trở lại trạng thái cơ
bản, do đó tạo ra nhiều proton hơn khi chúng trở về trạng thái cơ bản.

Vì vậy, quá trình này được gọi là khuếch đại ánh sáng bằng cách sử dụng bức xạ kích thích.
Khi nồng độ của photon tăng lên, tia laser được hình thành.
Một gương phản chiếu 100% được sử dụng để phản xạ tất cả các proton trở lại tinh
thể, trong khi đó, gương bán phản xạ phản chiếu một số proton trở lại và các proton thoát ra
qua gương bán phản xạ tạo thành chùm tia laser năng lượng cao.
 Sau đó, một thấu kính được sử dụng để tập trung chùm tia laser vào phôi cần gia công. Sự
tương tác giữa tia laser và phôi tạo ra một lượng nhiệt lớn, do đó làm bay hơi bề mặt phôi,
do đó cắt các rãnh có hình dạng khác nhau hoặc cắt phôi.