ỐNG DẪN SÓNG

HÌNH CHỮ NHẬT VÀ ỨNG

Sinh viên thực hiện: DỤNG
Nhóm 8
Vũ Thị Ngọc Ánh 20185650
Nguyễn Thị Minh Châu 20185654
Nguyễn Ngọc Chuyển 20185658
Bùi Quốc Việt 20185731
 MỤC LỤC

ỐNG DẪN SÓNG HÌNH 1 ỐNG DẪN SÓNG HÌNH

CHỮ NHẬT CHỮ NHẬT
20
22

VẬT LIỆU CHẾ TẠO

TRUYỀN DẪN
SÓNG
THIẾT LẬP PHƯƠNG
TRÌNH TRƯỜNG
TRONG ỐNG DẪN
ỨNG DỤNG 2 SÓNG
1.1. ỐNG DẪN SÓNG HÌNH CHỮ NHẬT

• Định nghĩa: Một ống kim loại rỗng có tiết diện đều để truyền sóng điện từ do phản xạ liên
tiếp từ các bức tường bên trong của ống được gọi là ống dẫn sóng.

• Cấu tạo ống dẫn sóng hình chữ nhật:

- Lớp vỏ bọc (Cladding)
- Lớp lõi (Core)

Cấu trúc ống dẫn sóng chữ nhật cơ bản

4
1.1. ỐNG DẪN SÓNG HÌNH CHỮ NHẬT

Một số ống dẫn sóng hình chữ nhật đặc trưng:

• Buried channel waveguide

• Strip-loaded waveguide

• Ridge waveguide

• Rib waveguide

• Diffused waveguide

5
1.1. ỐNG DẪN SÓNG HÌNH CHỮ NHẬT

• Ví dụ: Ống dẫn sóng quang silicon (dây nanophotonic)

6
1.1. ỐNG DẪN SÓNG HÌNH CHỮ NHẬT

Xét ống dẫn sóng hình chữ nhật có kích thước trong a x b: (2b = a)
• Trong ống dẫn sóng, sóng sẽ ở mode TE hoặc TM.
• Mode truyền hình thành trong ống dẫn sóng quy định cho cấu hình trường trong ống dẫn
sóng và được ký hiệu qua 2 chỉ số: Temn và TMmn.
- m: chỉ số lượng nửa bước sóng dọc theo trục x
- n: chỉ số lượng nửa bước sóng dọc theo trục y
• Khi tần số lớn hơn tần số cắt của nó, sóng lan truyền không tổn hao.

7
1.1. ỐNG DẪN SÓNG HÌNH CHỮ NHẬT

Bảng 1. Một số ống dẫn sóng hình chữ nhật tiêu chuẩn

Loại ống dẫn Phạm vi

a (in) b (in) t (in) (GHz)
sóng (GHz)
WR975 9.750 4.875 0.125 0.605 0.75 – 1.12
WR650 6.500 3.250 0.080 0.908 1.12 – 1.70
WR430 4.300 2.150 0.080 1.375 1.70 – 2.60
WR284 2.84 1.34 0.080 2.08 2.60 – 3.95
WR187 1.872 0.872 0.064 3.16 3.95 – 5.85
WR137 1.372 0.622 0.064 4.29 5.85 – 8.20
WR90 0.900 0.450 0.050 6.56 8.2 – 12.4
WR62 0.622 0.311 0.040 9.49 12.4 – 18

8
1.2. VẬT LIỆU CHẾ TẠO ỐNG DẪN SÓNG

Ống dẫn
Ống dẫn Công nghệ
sóng thủy Ống dẫn Ống dẫn
sóng điện Silicon trên
tinh: sóng bán sóng
quang: chất cách
(SiO2) dẫn polyme
LiNbO3 điện
hoặc SiON

9
1.2. VẬT LIỆU CHẾ TẠO ỐNG DẪN SÓNG
Một số công nghệ khác nhau được sử dụng để chế tạo các thiết bị tích hợp silica trên
silicon bao gồm:

Ngọn lử thủy
phân

Phún xạ, trao Lắng đọng

đổi ion và cấy hơi hóa chất
ion áp suất thấp

Sự lắng đọng
Kỹ thuật hơi hóa chất
tăng cường
sol-gel trong huyết
tương
10
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp
Ống dẫn sóng silica (SiO2) (Flame Hydrolsis)
• Lõi: silica pha tạp; lớp phủ: silica (n = 1,45)
• Ưu điểm: công nghệ hoàn thiện, suy hao lan truyền cực thấp, suy hao ghép
sợi thấp, điều chỉnh bằng hiệu ứng nhiệt
• Nhược điểm: bán kính uốn lớn (thiết bị kích thước lớn), độ phi tuyến yếu,
không tích hợp với thiết bị hoạt động

11
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp

Ống dẫn sóng Lithium niobate (LiNbO3)

• Lõi: Titan khuếch tán trong LiNbO3; ốp: LiNbO3, không khí
• Ưu điểm: công nghệ hoàn thiện, hiệu ứng điện quang cao (bộ điều biến điện
quang Mach-Zehndermodulators), ghép nối hiệu quả với sợi quang.
• Nhược điểm: mật độ tích hợp thấp, phụ thuộc phân cực, không sản xuất hàng
loạt.

12
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp
Công nghệ Silicon trên chất cách điện
• Lớp lõi dẫn sóng được làm bằng Si (n1 = 3,45).
• Một lớp silica dưới lớp lõi được sử dụng để ốp dưới.
• Phần không khí đóng vai trò là lớp ốp trên cùng.
• Chế độ ống dẫn sóng hạn chế chặt chẽ vì chênh lệch chiết suất lớn.
• Lớp silica hình thành bằng cách cấy oxy, sau đó ủ.

13
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp

Ống dẫn sóng bán dẫn

• Hữu ích cho laser bán dẫn, bộ điều biến
và bộ tách sóng quang.
• Chất bán dẫn cho phép chế tạo các thiết
bị hoạt động bằng điện.
• Chất bán dẫn thuộc nhóm III-V thường
dùng.
• Cần dùng hai chất bán dẫn có chiết suất
khác nhau.
• Chúng phải có các dải thông khác nhau
nhưng cùng một hằng số mạng.
• Thiên nhiên không cung cấp chất bán dẫn
như vậy.

14
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp
Ống dẫn sóng Silicon Oxynitride
• Sử dụng Si nền nhưng sử dụng SiON cho lớp lõi.
• Hợp kim SiON được tạo ra bằng cách kết hợp SiO2 với Si3N4, hai chất điện
môi có chiết suất 1,45 và 2,01.
• Chiết xuất của lớp SiON có thể thay đổi từ 1,45 - 2,01.
• Màng SiON lắng đọng bằng cách sử dụng quá trình lắng đọng hơi hóa chất
tăng cường plasma (SiH4 kết hợp với N20 và NH3).
• Cũng dùng hóa chất lắng đọng áp
suất thấp (SiH2Cl2 kết hợp với O2
và NH3).
• Hình ảnh quang khắc hình thành trên
lớp crom dày 200 nm.
• Suy hao lan truyền thường <0,2 dB /
cm.

15
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp
Dây silicon (ống dẫn sóng dải)
• Lõi: Silicon (n = 3,5); lớp phủ: silica, không khí
• Ưu điểm: Tích hợp điện tử / quang tử trên chip, sản xuất hàng loạt, mật độ
tích hợp cao, hạn chế mạnh
• Nhược điểm: suy hao lan truyền (> 1dB / cm), độ phi tuyến yếu, hiệu ứng
quang điện không đáng kể, ghép nối không hiệu quả

16
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp
Ống dẫn sóng khắc laser
• Sóng liên tục (CW) hoặc ánh sáng xung từ tia
laser được sử dụng để “khắc" ống dẫn sóng
trong silica và các loại kính khác.
• Độ nhạy quang của silica pha tạp germani
được khai thác để nâng cao chiết xuất trong
vùng tiếp xúc với tia laser UV.
• Sự hấp thụ ánh sáng 244 nm từ laser KrF làm
thay đổi chiết xuất ~ 10^-4 chỉ trong vùng tiếp
xúc với tia UV.

• Thay đổi chỉ số> 10^-3 có thể được thực hiện bằng laser ArF 193-nm.
• Một ống dẫn sóng phẳng được hình thành đầu tiên thông qua CVD, nhưng lớp lõi được
pha tạp chất germania.
• Chùm tia UV hội tụ đến ~ 1 µm được quét từ từ để tăng cường tính chọn lọc. Mẫu UV
sau đó được ủ ở 80 ° C.
• Xung Femtosecond từ tia laser Ti: sapphire có thể được sử dụng để viết ống dẫn sóng
trong kính số lượng lớn.
• Xung cường độ mạnh thay đổi cấu trúc của silica thông qua sự hấp thụ đa photon.
• Có thể thay đổi chiết xuất ~ 10^-2.

17
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp

Ống dẫn sóng polyme

• Các polyme như acrylate halogen hóa, polyimide flo hóa, và
polymethylmethacrylate deute hóa (PMMA) đã được sử dụng.
• Màng polyme có thể được chế tạo trên bề mặt của Si, thủy tinh, thạch anh,
hoặc nhựa thông qua lớp phủ spin.
• Lớp cản quang ở trên dùng để phản ứng khắc ion của lớp lõi qua bình quang.

18
 1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp
Ống dẫn sóng Silicon Rib
• Lõi: Silicon (n = 3,5); lớp phủ: silica, không khí.
• Ưu điểm: ghép nối hiệu quả (kích thước chế độ lớn), tổn hao thấp, chế độ
đơn (mặc dù kích thước lõi lớn), tích hợp nguyên khối với thiết bị điện tử.
• Nhược điểm: độ phi tuyến yếu, kích thước lớn (uốn cong), không phù hợp
với tích hợp mật độ cao.

19
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp
Ống dẫn sóng tinh thể quang tử
• Lõi có thể có chỉ số thấp hoặc cao
• Chất liệu: giống như trong ống dẫn sóng quang dựa trên TIR
• Ánh sáng không thể thoát ra khỏi ống dẫn sóng vì nó không được phép trong
lớp phủ do tồn tại một dải cấm quang tử
• Khả năng uốn cong mạnh mẽ với tổn thất thấp

20
1.2.1. Ví dụ về ống dẫn sóng tích hợp

Ống dẫn sóng plasmonic

• Định hướng plasmon (photon + electron)
• Giao diện kim loại / điện môi
• Tổn thất khá cao
• Khu vực trường siêu cao trong giao diện.

21
 1.2.2. Chiết xuất của một số vật liệu
Chiết xuất của một số vật liệu được sử dụng để chế tạo ống dẫn sóng quang học

22
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Sóng lan truyền trong ống dẫn sóng theo nguyên tắc
phản xạ qua lại giữa các thành ống (phản xạ trên bề
mặt kim loại hay phản xạ toàn phần trên bề mặt
điện môi), khiến cho năng lượng sóng điện từ được
dẫn truyền trong lòng ống.

23
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Sóng TEM: cả và đều vuông góc với phương

truyền.
Giả sử trường điện từ điều hòa có các vector:

Áp dụng HPT Maxwell dạng phức:

24
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Thiết lập Hệ phương trình

25
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Khử

Khử

26
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Khử

Khử

27
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Biểu diễn , , , theo , :

Sóng TEM:
=0; =0
Suy ra
=0; =0; =0; =0

Không có sóng TEM lan truyền

trong ods hình chữ nhật

28
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Thay Ex, Ey, Hx, Hy vào (3) & (6)

ta có các pt :

Như vậy, sóng điện từ trong ods chữ nhật tổng quát là tổng của:
a) Sóng điện ngang TE (Transverse Electric) : = 0 ; 0
b) Sóng từ ngang TM (Transverse Magnetic ) : 0 ; = 0

29
 1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Sóng truyền theo 2 kiểu:

 Sóng TE: sóng điện trường ngang
( vuông góc với phương truyền)
 Sóng TM: sóng từ trường ngang
( vuông góc với phương truyền)

30
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Mode truyền hình thành trong ống dẫn sóng quy định cho
cấu hình trường trong ống dẫn sóng, và được ký hiệu qua
2 chỉ số: và .
- m chỉ số lượng nửa bước sóng dọc theo trục x
- n chỉ số lượng nửa bước sóng dọc theo trục y

31
 1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Để sóng điện từ trong ods không bị suy hao đáng kể sau nhiều lần phản xạ và giao thoa, tần số
sóng phải lớn hơn một giới hạn nào đó gọi là tần số cắt:
• Tần số cắt được tính bởi:

=
u= = = =

• Trong không khí: = 1 và = 1

Tần số cắt:
=>
với c = 3. m/s

32
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

Kích thước của ống dẫn sóng xác định dải tần số hoạt động:
Kích thước ‘a’ bằng một nửa bước sóng ở tần số hoạt động thấp nhất hay tần số cắt
Ở tần số dưới hoặc bằng tần số cắt , ods sẽ không truyền năng lượng. Ở tần số trên tần số cắt,
ods sẽ truyền năng lượng

Tần số thấp

Tần số trung bình

Tần số cao

Tần số cắt

33
1.3. Truyền dẫn sóng trong ods hình chữ nhật

• Phân bố trường trong ống dẫn sóng chữ nhật, mode đây là mode cơ bản
• Nó duy trì tần số thấp nhất trong các mode của ống dẫn sóng.

34
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

1.4.1. Thiết lập phương trình và điều kiện biên

Xét ống dẫn sóng: tiết diện hình chữ nhật (axb), chiều dài rất lớn đặt
dọc theo trục z , không tổn hao , trường điện từ biến thiên điều hòa

35
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

Ta có :

𝜕𝐻˙ 𝑦 𝜕𝐻 ˙ 𝑥 ˙ 𝑧 𝜕2 𝐸
𝜕2 𝐸 ˙𝑧
˙ 𝑧 (3 ) + + 𝐾
2
˙
𝐶 𝐸 𝑧 =0
− = 𝑗𝑤 𝜀 𝐸 𝜕𝑥 2
𝜕𝑦 2
𝜕𝑥 𝜕𝑦
˙ 𝑦 𝜕𝐸
𝜕𝐸 ˙ 𝑥 ˙ 𝑧 𝜕2 𝐻
𝜕2 𝐻 ˙ 𝑧
− = 𝑗𝑤 𝜇 𝐻˙ 𝑧 (6) + + 𝐾
2
˙
𝐶 𝐻 𝑧 =0
𝜕𝑥 𝜕𝑦 𝜕𝑥
2
𝜕𝑦
2

36
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

• Điều kiện biên :

{
𝐷1 𝑛 − 𝐷 2𝑛 =0
𝐸1 𝑡 − 𝐸 2𝑡 =0
chọn
𝐵1 𝑛 − 𝐵2 𝑛 =0
𝐻 1𝑡 − 𝐻 2 𝑡 = 𝐽 𝑠
𝜕 𝜌𝑠
{ 𝐸1 𝑡 − 𝐸2 𝑡 =0
𝐵1𝑛 − 𝐵2 𝑛=0 { 𝐸 𝑡 =0
𝐵𝑛=0
𝐽 1 𝑛 − 𝐽 2 𝑛=−
𝜕𝑡

Ví dụ : ống dẫn sóng hcn

37
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

1.4.2 Kiểu sóng TM

˙ 𝑧 𝜕2 𝐸
𝜕2 𝐸 ˙𝑧
• Ta có Hz = 0 xét phương trình : 2
+ 2
2
˙ 𝑧 =0
+𝐾𝐶 𝐸
𝜕𝑥 𝜕𝑦

• Có thể viết = X(x).Y(y) và thay vào phương trình trên ta

+ − 𝑀 2 − 𝑁 2 + 𝐾 2𝐶 =0
có :
1 𝜕2 𝑋 2 1 𝜕2 𝑌 2
=− 𝑀 , =− 𝑁
𝑋 𝜕𝑥 2
𝑌 𝜕 𝑦2

{
𝑋 = 𝐴 1 sin − ( 𝑀𝑥 )+ 𝐵1 cos ( 𝑀𝑥 )
• Ta được hệ phương trình : Y = 𝐴 2 sin − ( 𝑁𝑦 ) + 𝐵2 cos ( 𝑁𝑦 )
2
M 2  +  N 2  = 𝐾 𝐶

38
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

1.4.2 Kiểu sóng TM

• Áp dụng điều kiện biên cho Ez :

• Từ các kết quả trên ta có :

39
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

1.4.2 Kiểu sóng TM

• Các thành phần ngang :

40
3. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

1.4.2 Kiểu sóng TM

• Từ các kết quả trên ta rút ra được phương trình mô tả cho kiểu sóng TM :

k ± 𝛽𝑚𝑛
𝜂 𝑇𝑀 = =
𝑗 𝜔𝜀 𝜔𝜀

• Nhận xét : có vô số kiểu sóng TM tồn tại trong ống dẫn song hình chữ nhật TM 11 , TM22 ,

TM33 nhưng không tồn tại kiểu TMm0 , TM0n

41
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

1.4.3 Kiểu sóng TE

• Giải tương tự như kiểu sóng TM ta thu được được phương trình mô tả cho kiểu sóng TE :

𝑗 𝜔𝜇 𝜔𝜇
𝜂𝑇 𝐸 = =
𝑘 ± 𝛽𝑚𝑛

• Nhận xét : có vô số kiểu sóng TE tồn tại trong ống dẫn song hình chữ nhật TE 10 , TE01 ,

TE32 nhưng không tồn tại kiểu TE00 .

42
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

• Ví dụ : sóng TEmn
Với m là nửa số bước
sóng trong [0,a]
n là nửa số bước
sóng trong [b,0]

c)

a) Mode TE20 b) Mode TE11 c) Mode TE10

43
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

1.4.4. Các đại lượng đặc trưng

• Tần số tới hạn : sóng truyền không tổn hao khi

Mỗi một kiểu sóng có một tần số cắt , kiểu sóng có tần số cắt nhỏ nhất gọi là kiểu cơ bản .
Một kiểu muốn tồn tại trong ống dẫn sóng thì tần số sóng phải lớn hơn tần số cắt của kiểu
đó

• Hệ số pha :

44
1.4. Thiết lập phương trình trong ống dẫn sóng

1.4.4. Các đại lượng đặc trưng

• Vận tốc pha :
, 𝜈=1/ √ 𝜀𝜇

• Bước sóng :
, 𝜆=𝑣 / 𝑓

• Trở sóng :
𝜔𝜇
Mode TE : 𝜂 𝑇𝐸 =
𝛽 √ 2
=𝜂 0 / 1− ( 𝑓 𝑐 / 𝑓 ) ( 𝛺 )
𝛽
𝜂0 =√ 𝜇 /𝜀
Mode TM :
𝜂 𝑇𝑀 =
𝜔𝜀 √ 2
¿ 𝜂 0 1− ( 𝑓 𝑐 / 𝑓 ) ( 𝛺 )

45
2. Ứng dụng

2.1. Ưu điểm và nhược điểm của ống dẫn sóng

Ưu điểm Nhược điểm

Ống dẫn sóng rất khó lắp đặt và cần phải có

Khả năng truyền với công suất cao.
các khớp nối đặc biệt.

Suy hao thấp. Kích thước vật lý trở thành một hạn chế.

Chống nhiễu khá tốt Giá thành cao.

Do đặc điểm phân tán sóng, chúng được sử

Không truyền được sóng TEM
dụng trong thiết kế bộ lọc Ống dẫn sóng.

46
2. Ứng dụng

2.2. Một số ứng dụng của ống dẫn sóng:

Ống dẫn sóng được sử dụng trong truyền thông cáp quang.

Sử dụng trong mạch tích hợp quang tử.

Sử dụng rộng rãi trong lò vi sóng.

Sử dụng trong thiết bị radar.

47
2. Ứng dụng

• Trong lò vi sóng
Ống dẫn sóng (Waveguide): Làm nhiệm vụ điều hướng cho chuyển động của các
tia vi sóng. Giúp làm chin thức ăn một cách nhanh chóng và đồng đều

48
2. Ứng dụng

• Trong Radar (truyền sóng vô tuyến)

Ống dẫn sóng: Các ống dẫn sóng là đường truyền để truyền tín hiệu RADAR.

49
THANK YOU !

50