2013 년 전남대학교 여수캠퍼스

위상배열 초음파 탐촉자의 특성

전남대학교 중화학설비안전진단센터

연구교수 이정기
 목차
I. 복합 압전 소자 재료
II. 배열 탐촉자 형식
III. 1 차원 배열 탐촉자
IV. 배열 탐촉자의 다른 특성
V. 배열 탐촉자 시간 - 주파수 응답 특성
VI. 배열 탐촉자 허용 오차
 복합압전소자재료 (PiezoComposite Materials)

 1-3 구조 (Smith 의 유효매질 이론 )

 원래의 PZT 에 비하여 높은 d33g33 값을
지님

1-3 PZT– 폴리머 모체 조합 d33g33 (10-15 N/m)

PZT + silicon rubber 190,400

PZT rods + Spurs epoxy 46,950
PZT rods + polyurethane 73,100
PZT rods + REN epoxy 23,500
 복합압전소자재료의 장점

 매우 낮은 lateral-mode 진동

 낮은 Q 값 -- 주파수 대역 폭 증가 (70%~100%)

 높은 전기 - 기계 결합 상수 값을 지님

 높은 감도와 향상된 SNR

 진동자 간의 간섭 (cross-talk) 진폭을 크게 감소시킴 (≤-30 dB)

 넓은 온도범위에 걸쳐 일정한 특성을 지님

 속도 , 임피던스 , 유전상수 , 전기 - 기계 결합 상수를 변경할 수 있음

 제조 비용을 저렴하게 함
 위상배열 탐촉자의 형식

형식 빔 조사 방향 빔 형상
고리형 (Annular) 깊이 - 구형 (spherical)
1 차원 선형 평면 깊이 , 각도 타원형 (Elliptical)
2 차원 행렬형 깊이 , 입체 각 타원형 (Elliptical)
반경 - 각도형 (2 차원 나뉜
깊이 , 입체 각 구형 또는 타원형
고리형 )
1.5 D 행렬형 깊이 , 작은 입체 각 타원형 (Elliptical)

고리형
(Annular)
 위상배열 탐촉자의 형식

1 차원
(Linear)

2 차원 행렬형
(2-D Matrix)

1.5 차원 행렬형
(1.5D Matrix)
 위상배열 탐촉자의 형식

2 차원 나뉜 고리형
(Rho-theta Annular)

1 차원 원형
(Daisy Probes)
 위상배열 탐촉자의 형식

2 차원 나뉜 고리형
(Rho-theta Annular)

1 차원 원형
(Daisy Probes)
 위상배열 탐촉자의 형식
(R/D Tech. US 특허 10-209,298)
 위상배열 탐촉자의 집속 형상

고리형 위상배열 탐촉자에 1 차원 위상배열 탐촉자의 원통형 집속 형태

대한 초음파 빔의 시뮬레이션 (2-D: 깊이와 각도 )
 위상배열 탐촉자의 집속 형상

나뉜 고리형 위상배열 탐촉자의 구형 / 타원형 집속 형태 (3 차원

입체각 )

Grating lobe( 그레이팅 로브 ) 에 의한 잡음이 증가함

 1 차원 배열 탐촉자의 특성

1 차원 배열 탐촉자의 장점

 손 쉽게 설계함
 제조 과정이 간단함
 시뮬레이션이 간편함
 Wedge, 직접 접촉 , 수침식에 손 쉽게 적용됨
 상대적으로 낮은 가격임
 다용도로 적용이 가능함
 1 차원 배열 탐촉자
1) 활성 구경 (Active Aperture) : 탐촉자의 총 동작 길이

A  ne  g ( n  1)
 1 차원 배열 탐촉자
2) 유효 활성 구경 (Effective Active Aperture)
: 굴절각을 따라 보여진 투시된 구경

cos  R
Aeff A
cos  I

실제 집속 깊이와
집속 강도 조향에
영향을 미침
 1 차원 배열 탐촉자
3) 최소 활성 구경 (Minimum Active Aperture)
: 최대 굴절각에서 유효한 집속을 얻을 수 있는 구경
0.5
 F (vR2  vI2  sin 2  R ) 
Amin  2 2 
 f  v R  cos  R 

선형 위상배열 탐촉자
p = 1.0mm,
굴절각 = 70o.
유효 집속 최대 깊이 z
=88mm
 1 차원 배열 탐촉자
4) 수동적 구경 (Passive Aperture : Elevation)
: 진동 소자의 길이 또는 탐촉자의 폭

W  1.4[ ( Fmin  Fmax )]0.5

집속을 하지 않는 경우 수동적 구경에 의한 근거리 음장은

( A2  W 2 )(0.78  0.27W / A)
N0 

활성 구경과 수동적 구경의 크기가 거의 비슷한 경우

N 0  A 2 / 4
집속하지 않는 탐촉자로서 사용 가능하도록

Wpassive / p  10 또는 Wpassive  (0.7 to 1.0) A

 1 차원 배열 탐촉자
5) 최소 수동적 구경 (Minimum Passive Aperture)

수동적 구경이 클수록

1) 더 깊은 범위의 집속 효과를 지님
2) 더 협소한 빔 길이
 1 차원 배열 탐촉자
6) 진동 소자 피치 (Elementary Ptich) : 두 인접한 진동 소자간
중심거리 p  e g

7) 진동 소자간 틈새 (Element Gap)

: 인접한 소자간 간섭을 막기 위한 틈새

8) 진동 소자 폭 (Element Width)
 Element size e  λ, Side Lobes 가 생성됨
 e < λ/2, Side Lobes 없음
 λ/2 < e < λ, 조향 각에 의존하여 Lobe 가
생성될 수가 있음 .

 일반적으로 e < 2λ/3

 1 차원 배열 탐촉자
9) 최대 진동 소자 크기 (Maximum Element Size) : 최대 굴절각에 의존
0.514
emax 
sin  R max
10) 최소 진동 소자 크기 (Minimum Element Size) :

 진동 소자 크기를 제한하는 요소
 크기 ↓ ☞ 감도 ↓ ( 전기적 임피던스 ↑ )
 크기 ↓ ☞ 인접 진동자 간 간섭 (Cross-talk) ↑
 특정 진동 모드에 요구되는 최소 면적
 1 차원 배열 탐촉자
 1 차원 배열 탐촉자
11) 빔 조사 범위 (Sweep Range) : 집속 빔의 최대 굴절각과 최소 굴절각 차이


sin  st  0.5 
e

그레이팅 로브가 만들어 지지 않는 범위로 제한하는 것이 좋음

 1 차원 배열 탐촉자
12) 조향 집속력 (Steering Focus Power)
: 빔 조사 각에 의존하는 집속 깊이의 상대 값
0.5
F (  r )  cos  r 
  
F0  cos  0 

45o 조사 각 : 1/2 로 감소
60o 조사 각 : 1/4 로 감소
 1 차원 배열 탐촉자
13) 게인 보상 (Gain Compensation)
: 빔 조사 각에 의존하는 집속 깊이의 상대 값

종파 (-60o~+60o) 의 진폭 변화 45o 의 중심 굴절 각에서 30o~70o

의 빔 조사 범위의 횡파의 진폭
변화
 1 차원 배열 탐촉자
14) 빔 길이 Y
(  6 dB : Beam Length) 와 빔 폭X( 6 dB : Beam Width)
: 빔 길이는 FBH 의 동적 반사 신호를 기반으로 평가함
빔 폭은 SDH 의 동적 반사시호를 기반으로 평가함

0.9 UTpath  0.9 UTpath 

Y6 dB  X 6 dB 
Wpassive A cos 
 1 차원 배열 탐촉자
빔 폭은 집속 깊이 , 굴절각 , 가상 탐촉자 구경 , 탐촉자 주파수에 의존함
 1 차원 배열 탐촉자
탄소강에서 F =20 mm 이고 0o 종파의 빔 폭의 주파수 의존성
 1 차원 배열 탐촉자

진동 소자 수에 의존하는 빔 폭의 예

8MHz, F=30 mm 10 MHz, F =20 mm

 1 차원 배열 탐촉자
15) 집속 깊이 (Focal Depth)
: 최대 진폭을 이루는 초음파 축을 따른 거리
집속되지 않았을 때에는 근거리 음장임

16) 음장 깊이 (Depth of Field or Focal Length)

: 집속 길이라고도 하며 , 최대 진폭 값에서 6 dB 떨어진 지점의 거리
 1 차원 배열 탐촉자
17) 집속 범위 (Focal Range)
: 여러 개의 집속 법칙에 대해 빔 조사 각을 사용한 스캔 거리
 1 차원 배열 탐촉자
18) 축 상 분해능 (Axial Resolution)
: 같은 각도에서 다른 깊이에 있는 두 개의 인접한 결함을
구분할 수 있는 초음파 축 상의 최소 거리
 -20 dB [ s] PL
z  vtest piece [mm/s]  or [mm]
2 2

펄스 지속 시간이 짧을수록 ( 대역 폭과 주파수 ↑ ) 축상 분해능은 증가함

 1 차원 배열 탐촉자
19) 측면 분해능 (Lateral Resolution)
: 같은 깊이에 있는 두 개의 인접한 결함을 구분할 수 있는 최소
거리
수동적구경에 대한
측면 분해능
Y- 6 dB
d y 
4
 1 차원 배열 탐촉자
X -6 dB 0.11vtest piece
활성구경에 대한 측면 분해능 d x  
4 f sin( / 2)
 1 차원 배열 탐촉자
간격이 1 mm 인 3 개의 노치를 VPA=10 mm 이고 8 MHz 횡파로서
분해한 위상배열 데이터의 예 0.5 mm 떨어진 두 개의 결함을 검출한
예
 1 차원 배열 탐촉자
20) 각도 분해능 (Angular Resolution)
: 같은 깊이에 있는 두 개의 인접한 결함을 구분할 수 있는 최소
각도

0.8 mm 와 1.2 mm 떨어진 직경 0.5 mm 측면 드릴 구멍의 검출과 각도

분해능
 1 차원 배열 탐촉자
21) 주 로브 (Main Lobe) : 프로그램 된 각도로 향하는 음장

22) 측면 로브 (Side Lobe) : 주 로브와 다른 각도로 향하는 음장

회절 효과에 의한 것으로 진동자에서 옆쪽으로 누설되는 음장에 의해
형성됨
23) 그레이팅 로브 (Grating Lobe) : 규칙적인 배열에 의한 회절 간섭 효과
회절 효과에 의한 것으로 진동자에서 옆쪽으로 누설되는 음장에 의해
형성됨
 m 
 grating 1
 sin   [rad] m  1,  2,  3,
 p 
 1 차원 배열 탐촉자
배열 탐촉자에 의한 음장의 형성 상태

M= 주 로브 ;
S= 측면 로브 ;
G= 그레이팅 로브

그레이팅 로브는 활성 구경이 작을수록 피치가 클 수록 잘 나타남

 1 차원 배열 탐촉자

그레이팅 로브  lobe  
p
A

e
p
탐촉자 최적 설계 고려 사항
• 주 로브 폭의 최소화
Z • 측면 로브 억지
• 그레이팅 로브 제거
Fourier Transform
sinc(ex/z) sinc(Ax/z)

-z/p z/p
 1 차원 배열 탐촉자
그레이팅 로브

주파수가 감소하면 P 가 작아지고 , n 이 증가하면

lobe 거리가 증가함 . lobe 거리가 증가함 .
lobe 진폭은 감소함 lobe 진폭은 감소함
 1 차원 배열 탐촉자
1 MHz 탐촉자 , 그레이팅 로브에 미치는 대역 폭의 영향 ( 집속 깊이 60
mm)
 1 차원 배열 탐촉자
그레이팅 로브를 줄이는 방안
주파수 감소
피치 크기 축소
활성 구경 크기 ( 활성 진동 소자의 수 ) 증가 ( 아래 그림 참조 )
대역 폭 증가 ( 그레이팅 로브를 더 퍼지게 하여 줄임 )
빔 조사 각도 축소 (wedge 를 사용 )
Subdicing ( 더 작은 진동 소자로 진동 소자를 절단함 )
진동 소자 간격을 임의적으로 함
( 그레이팅 로브를 깨뜨리기 위해 진동 소자 위치를 불규칙하게 배치 )
 1 차원 배열 탐촉자
24) Wedge 지연과 인덱스 지점 길이
 1 차원 배열 탐촉자
25) 인덱스 지점 이동

굴절 각 변화에 따른 인덱스 지점 이동
 1 차원 배열 탐촉자
26) 곡률 대상체 위에서 탐촉자와 Wedge

A (B)  0.05 D part

A : 방위각 조사에 대한 wedge 의 크기
B : 옆쪽 조사에 대한 wedge 의 크기
Dpart : 시험 대상체 직경

틈이 0.5 mm 이상이면 wedge 는 대상체 곡률에 맞춤

 배열 탐촉자의 다른 특성
1) 감도 : 특정한 설정에 대한 입력전압과 출력 전압의 비
V 
Se  20 log10  out  [dB]
 Vin 
2) 임피던스 : 중심주파수 ( 공진 값 ) 에서 측정된 임피던스
KLM 모델에 의해 평가가 가능함

3) Cross-Talk : 인접 진동 소자 간의 간섭
허용 값 ☞ -30 dB ~ -40 dB

4) 신호 대 잡음 비
A 
SNR  20 log10  defect  [dB]
 Anoise 
Adefect
= 결함 신호 진폭
Anoise = 잡은신호 진폭
 배열 탐촉자 시간 - 주파수 응답 특성

• 피크 - 피크 진폭V(P-P ) : RF 신호의 가장 높은 진폭과 가장 낮은 진폭 사이의 최대

편차  -20 dB

• 펄스 지속 시간 또는 파형 길이 ( ) : -20 dB 떨어질 때까지의 파형 지속 시간

d A : 펄스 지속 시간 동안에 나타나는 RF 신호의 피크 수
• 피크 수 (PN)
• 댐핑 인자 ( f Peak
) : 최대 진폭과 다음 가장 높은 + 진폭의 비
• 피크 주파수 ( f L)-6 dB: FFT 결과 가장 큰 값을 갖는 주파수

• 낮은 쪽 주파수 (f U-6 dB ) : 피크 주파수에서 -6 dB 떨어진 지점의 낮은 쪽 주파수 값

fc (
• 높은 쪽 주파수 ) : 피크 주파수에서 -6 dB 떨어진 지점의 높은 쪽 주파수 값
• 중심 주파수 ( ) : 낮은 쪽 주파수와 높은 쪽BWrel  ( f U대수
주파수의 - 6 dB 평균
f L - 6 dB또는
) / f c기하 평균 값
• 대역 폭 : -6 dB 값에 포함되는 주파수 범위 ( )
 배열 탐촉자 허용 오차
특징 항목 허용 오차 비고
중심 주파수  10% 다른 평가 방법 .
대역 폭  20% 설정에 의존함 .
펄스 폭  20% 설정에 의존함 .
펄스 길이  1 / 2 설정에 의존함 .
굴절 각  2o 65o 이상일 때에는 더 클 수 있다 ( 3o ~  5o).
집속 깊이 30% 측정 방법에 의존함 .
인덱스 위치  2 mm 굴절 각에 따라 이동함 .
임피던스  30% 설정에 의존함 .
진동 소자 감도  2 dB 가장자리 진동 소자는 더 큰 값을 가질 수 있다 .

인접 소자 간 간섭 진폭  40 dB 진동 소자 위치와 굴절 각에 의존함 .

10 dB
경청해 주셔서 감사합니다 !