AFM(Atomic Force Microscopy)

재료의 나노 표면구조, 극 미세구조, 표면 거칠기 분석에 이용

- 물리적(Topology·마찰·정전 상호 작용·도전률·자력), 전기적 특성(bias 인
가하면) 분석 가능

실험방법
- 탐침(Probe = 캔틸레버, cantilever = 일반적으로 Si나 Silicon nitride로
이루어짐) 이용해 스캔하는 SPM(Scanning Probe Microscope)의 일종.
- 반데르발스 힘으로 탐침을 움직임(탐침, 시료간 간격이나 상호작용에 의해
달라짐)
=> 절연된 탐침을 절연 시료 표면 매우 근접(원자단위까지)하면 원자간 힘
작용, 휘어지는 캔틸레버를 레이저가 인식함. (=시료 표면 면적을 스캔하면
서 표면의 높낮이 구조를 영상으로 재구성) 힘을 측정하는 방식으로 원자 구
조, 형태 측정함.
= 휘어지는 정도를 측정하기 위하여 레이저를 캔틸레버에 비추고 반사된 각
도를 포토다이오드를 사용하여 측정 => 0.01nm의 미세움직임까지 측정가능
측정방법

1. 샘플을 긁을 수 있어, 반데르발스 힘이 크게 작용하는 구간 안으로 들어

가 측정
1) 시료와 탐침 사이의 거리가 가까울 때 작용하는 반발력 사용,
2) 탐침과 시료 사이의 거리가 가까우므로 수평분해능이 좋다,
3) 탐침이 시료에 positive force를 인가하므로 시료가 손상될 수 있다.

2.Resolution(해상도)이 좋지 않아, 반데르발스 힘이 적게 작용하는 구간에서

샘플로부터 떨어져서 측정
1) 인력이 너무작아 캔틸레버가 휘는 각도를 직접 잴 수없다.
2) 전기력이나 자기력이 원자간 인력보다 크면 순수한 표면 현상을 관찰하
기 힘듦
측정원리
1. 캔틸레버를 고유 진동수 부근에서 기계적으로 진동시킴
2. 시료 표면에 다가가면 원자간의 인력으로 인하여 고유 진동수가 변함
3. 진동수 변화를 lock-in amp로 측정

3. 둘의 단점을 어느정도 보완한 방법. 특정 힘과 주파수로 샘플을 tapping

하는 방법. 팁과 샘플 사이에 상호작용하는 힘으로 인한 진폭의 변화를 가져
와 데이터를 보여준다. 주로 샘플의 두께(높이)와 phase(표면 물성에 따른
변화)에 대한 정보를 다룬다. Piezo shaker를 사용해서 특정 진동수로
tapping

배율 : 수천만ㅁ배

Factor
표면 거칠기

표면 측정뿐 아닌
LFM (Lateral Force Microscope) – 마찰력 분석 (상하가 아닌 좌우로 비비
어서)

Force Modulation (힘 변조) – 경도 분석 (시료가 물렁한 부분에서는 캔틸

레버의 진폭이 크고 단단한 부분에서는 진폭이 감소. 각 접촉 지접에서 힘의
크기를 변화 시켰을 때 그에 대한 시료의 반응에 따라 시료의 경도 측정)
Phase Image (위상이미지) – 탄성 분석