Trường Đại Học Bách Khoa TP HCM

Khoa Kỹ Thuật Hóa Học

Bộ Môn Quá Trình & Thiết Bị

TIỂU LUẬN:

BƠM KHUẾCH TÁN

Giảng viên hướng dẫn : Hoàng Minh Nam

Nhóm 6
NGUYỄN THỊ KIM THƠ 1613408

LÊ CÁC PHƯỢNG 1612745

1
 Ngày 26/02/201

MỤC LỤC

NỘI DUNG
I ĐỊNH NGHĨA CHÂN KHÔNG................................................................................................................4
1 Chân không là gì?..................................................................................................................................4
2 Mục đích của việc tạo môi trường chân không.....................................................................................5
3 Cách tạo môi trường chân không...........................................................................................................6
II BƠM CHÂN KHÔNG.............................................................................................................................6
1 Khái niệm về bơm chân không..............................................................................................................6
2 Nguyên lí hoạt động..............................................................................................................................6
3 Phân loại................................................................................................................................................6
a/ Bơm đẩy...........................................................................................................................................6
b/ Bơm hấp phụ....................................................................................................................................9
4 Hệ thống bơm chân không...................................................................................................................10
III BƠM KHUẾCH TÁN...........................................................................................................................12
1 Lịch sử phát triển.................................................................................................................................12
2 Giới hạn hoạt động..............................................................................................................................13
3 Nguyên lí hoạt động............................................................................................................................14
a) Bơm khuếch tán thủy ngân:........................................................................................................14
b) Bơm khuếch tán dầu:......................................................................................................................16
3 Ưu nhược điểm chung của bơm khuếch tán........................................................................................20
4 Ứng dụng:............................................................................................................................................21

2
 LỜI NGỎ

Đầu thế kỉ XX, nghiên cứu và ứng dụng kĩ thuật chân không chỉ giới hạn trong phạm vi
phòng thí nghiệm. Khi bơm khuếch tán ra đời, kỹ thuật chân không cao mới bắt đầu xâm
nhập khắp mọi ngành. Trong công nghiệp, kĩ thuật chân không được dùng rộng rãi để sản
xuất đèn thắp sáng, đèn điện tử. Sau đó người ta dùng nó trong kỹ thuật luyện kim, chế
tạo máy, công nghiệp hóa chất, công nghiệp quang học, công nghiệp nhẹ, công nghệ thực
phẩm, trong y dược học và trong kỹ thuật làm lạnh. Ngày nay, các hệ chân không đã đóng
vai trò đặc biệt quan trọng trong các công trình nghiên cứu khoa học như máy gia tốc, lò
phản ứng nhiệt hạch, buồng giả không gian vũ trụ…Chính vì những ứng dụng trên mà
bơm khuếch tán đóng vai trò hết sức tiêu biểu trong công nghiệp hiện nay.

Bài tiểu luận dưới đây sẽ trình bày rõ hơn về bơm khuếch tán và những ứng dụng của nó
trong công nghiệp hiện nay.

Bên cạnh đó, chúng em xin gởi lời cảm ơn chân thành đến thầy Hoàng Minh Nam, về
những góp ý, chỉnh sửa cũng như bổ xung phần kiến thức thiếu để chúng em có thể hoàn
thành bài tiểu luận về bơm khuếch tán một cách đầy đủ và chính xác.

Chúng em chân thành cảm ơn.

3
I ĐỊNH NGHĨA CHÂN KHÔNG

1 Chân không là gì?

Chân không, theo lí thuyết cổ điển, là khoảng không gian không chứa vật chất. Như vậy,
chân không có thể tích khác không nhưng có khối lượng ( hay năng lượng) bằng không.
Do không có vật chất bên trong, nên chân không là nơi không có áp suất.

Theo một số lí thuyết lượng tử cho biết khái niệm chân không theo nghĩa cổ điển không
tồn tại, do vi phạm nguyên lí bất định.

Chân không là trạng thái khí ở trong một thể tích nhất định có áp suất nhỏ hơn áp suất khí
quyển trung bình chuẩn và được chia thành:

1. Chân không thấp (p>100 Pa)

2. Chân không trung bình (100Pa>p>0.1Pa)
3. Chân không cao (0.1Pa>p>10−5Pa)
4. Chân không siêu cao (p<10−5Pa)

Hình 1 : Mô tả chiếc bình được tạo môi trường chân không và được đo bằng đồng hồ áp
suất.

4
2 Mục đích của việc tạo môi trường chân không.
Tùy thuộc vào mục đích khác nhau mà người ta tạo chân không ở mức độ khác nhau.

Trong công nghiệp, việc tạo môi trường chân không giúp giảm thiểu nhiệt độ cần thiết
trong các quá trình công nghệ, tăng cường khả năng bay hơi, tạo các kết cấu ổn định và
bền vững nhằm giảm hư hại, tăng giá trị sản phẩm, …

Trong nghiên cứu khoa học, chân không là môi trường thử nghiệm, áp dụng các định luật
vật lí nhằm nghiên cứu tìm hiểu và thỏa mãn sự tò mò của con người trong công cuộc
vươn ra ngoài vũ trụ.

Hình 2 : Mô tả những ảnh hưởng của con người ra ngoài vũ trụ.

Ngày nay, với sự tiến bộ của khoa học kỹ thuật, công nghệ bơm hút chân không được ứng
dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực: y tế, hóa dầu, gỗ, công nghệ thực phẩm…

5
3 Cách tạo môi trường chân không.
Kỹ thuật chân không là các tính chất liên quan đến:

 Tạo chân không

 Ổn định chân không
 Sử dụng chân không trong kỹ thuật
 Đo và kiểm soát chân không

Người ta thường sử dụng các thiết bị điển hình là bơm chân không, để tạo môi trường
chân không bằng cách hút, đẩy , loại bỏ vật chất tạo một môi trường gần như không có gì.

“ Gần như” được sử dụng để nói lên việc tạo nên môi trường chân không tuyệt đối là điều
không thể.

II BƠM CHÂN KHÔNG

1 Khái niệm về bơm chân không

Bơm chân không là thiết bị chuyên dùng để loại bỏ các chất khí, chất lỏng , hơi nước ra
khỏi một phạm vi không gian giới hạn, khép kíp nhầm tạo ra một môi trường chân không

2 Nguyên lí hoạt động

Nguyên lý hoạt động chung của bơm chân không là sử dụng lực cơ học hoặc hoạt động
dựa vào các định luật vật lí như khuếch tán, lôi cuốn, hấp thu, hấp phụ… để đẩy, hút, lôi
kéo vật chất ra khỏi vùng cần tạo chân không.

3 Phân loại
Tùy thuộc vào cấu tạo và nguyên lý hoạt động của bơm mà người ta chia bơm ra làm
nhiều loại khác nhau.

Tạm thời chia làm hai loại: bơm đẩy và bơm hấp phụ.

a/ Bơm đẩy
Tạo môi trường chân không bằng cách lôi cuốn khí ra khỏi thể tích thiết bị.

6
 Hoạt động dựa trên nguyên tắc thây đổi thể tích:

 Bơm pittông
 Bơm roto ( Thủy ngân,…)
 Bơm cánh gạt( cố định, di động)
 Roto lệch tâm
 Máy Roots

Hoạt động dựa trên nguyên tắc lôi cuốn:

 Bơm phân tử
 Ejector
 Bơm khuếch tán

Dưới đây là một số hình ảnh về bơm chân không đẩy.

Hình 3 : Bơm pittong

7
Hình 4 : Bơm khuếch tán

8
Hình 5 : Bơm roto

9
 Hình 6 : Bơm Roto Root

b/ Bơm hấp phụ

Tạo chân không bằng cách hấp phụ khí có trong thể tích

 Bơm hấp phụ bề mặt

 Bơm Kriogen
 Bơm Zeolite
 Bơm ion

Hình 7 : Bơm hấp thụ

Nguồn năng lượng cung cấp cho bơm hoạt động cũng rất đa dạng tùy thuộc vào cấu trúc
và nguyên lí hoạt động của bơm.

4 Hệ thống bơm chân không

10
Để tạo chân không sâu, bơm chân không đơn độc sẽ khó có thể thực hiện được. Do vậy,
người ta sử dụng nhiều bơm chân không để thực hiện, tạo nên hệ thống bơm chân không
nhiều cấp, nên ta có thuật ngữ : bơm sơ cấp và bơm thứ cấp.

Bơm sơ cấp là bơm được sử dụng để tạo độ chân không ban đầu cho thể tích cần hút chân
không, thường là bơm cơ học.

Bơm thứ cấp là loại bơm dùng để tạo chân không sâu hơn, thường là bơm phân tử.

Sơ đồ nguyên tắc

Đây là sơ đồ hệ thống tạo chân không

thấp.

11
1 . Bơm chân không

2. van cân bằng áp suất

3. van an toàn

4,9,12. áp kế

5. van chặn

6. thể tích cần tạo chân không

7,8.thiết bị gắn vào thể tích

13. thiết bị phân tích

Đây là sơ đồ hệ tạo chân không

trung bình – cao.

III BƠM KHUẾCH TÁN

1 Lịch sử phát triển

Bơm khuếch tán ( Diffusion
Pump – DP) là phát minh của
Wolfgang Gaede vào năm
1915 dựa trên nguyên tắc dòng
khí ở chế độ chảy phân tử
không thể khuếch tán qua dòng
hơi mà bị cuốn theo dòng chảy
của hơi đó. Tuy nhiên, mô hình
bơm khuếch tán sử dụng hơi
thủy ngân của Irving Langmuir
vào năm 1916 thường được
đem ra so sánh hơn của Gaede.

12
Một số tài liệu cho rằng phát minh của Gaede và Langmuir độc lập nhau nhưng cũng có
một số tài liệu cho rằng phát minh của Langmuir là cải tiếng cho phát minh của Gaede.

Wolfgang Gaede
Irving Langmuir

Thời gian kế tiếp, bơm khuếch tán với lưu chất là thủy ngân được không ngừng nghiên
cứu và phát triển. Tuy nhiên, do tính chất độc hại của thủy ngân và ngành khoa học ứng
dụng phát triển đã thay thế thủy ngân bằng những loại lưu chất khác, mà phổ biến nhất
hiện nay là dầu.

2 Giới hạn hoạt động

Với vật lý chân không, theo quan điểm khoa học thì bơm chân không gồm 5 nhóm:

+Bơm làm việc dựa trên cơ sở định luật Boi-Mariot.

+Bơm làm việc trên cơ sở định luật ma sát nội trong không khí.

+Bơm phân tử: cơ và khuếch tán.

13
 + Bơm làm việc nhờ ion hóa chất khí.

+Bơm bề mặt.

Mỗi loại bơm sẽ hoạt động sẽ có khả năng làm việc trong miền áp suất giới hạn nhất
định. Trong đó bơm khuếch tán thuộc loại bơm phân tử.

Bơm có khoảng hoạt động từ 10-1 -10-10 torr vì thế rất thích hợp để tạo môi trường
chân không từ trung bình đến chân không cao và cận siêu cao. Khoảng không gian làm
việc của bơm khuếch tán rộng hơn so với các loại bơm cùng độ chân không như: bơm
ngưng tụ, bơm ion,..

3 Nguyên lí hoạt động

Hệ thống bơm phải có bơm sơ cấp hỗ trợ giúp tại môi trường chân không ban đầu và
định hướng dòng khí thoát ra khỏi thiết bị cần tạp chân không trung bình – cao.

Hai loại dưới đây quan tâm đến là loại sử dụng lưu chất bằng thủy ngân và dầu.

a) Bơm khuếch tán thủy ngân:

Nguyên tắc cơ bản của bơm khuếch tán là dựa trên cơ sở truyền xung lực. Các phân tử
khí được nhận xung lực theo một hướng nhất định, đó là hướng của các phân tử của
luồng hơi chất lỏng chảy với tốc độ siêu âm.
Nguyên lý hoạt động của bơm khuếch tán có thể được giải thích thông qua mô hình ().

14
 Hình 8: Mô hình bơm chân không thời kì đầu ( Hg).
 Dựa trên mô hình, nguyên lý hoạt động của bơm như sau:
Trong buồng đốt (1) chứ một lượng thủy ngân nhất định. Thủy ngân ở đây được cấp
nhiệt thông qua bếp điện và bay hơi lên. Hơi bốc lên đi theo hướng dọc theo của ống (6)
đi đến miệng phun 2 và phun ra. Lớp cách nhiệt (6) với mục đích hạn chế sự ngưng tự
hơi thủy ngân trong suốt quãng đường di chuyển đến miệng phun để lượng hơi được
phun ở miệng (2) lớn nhất có thể. Dòng hơi thủy ngân được phun ra từ miệng (2) với tốc
độ siêu âm ( tốc độ di chuyển lớn hơn vận tốc âm thanh trong cùng điều kiện môi trường)
vì thế áp suất xung quanh dòng hơi thấp hơn áp suất trong không gian cần hút chân
không vì thế các phân tử khí sẽ di chuyển từ vùng cần hút chân không đến luồng hơi theo
quy tắc di chuyển từ vùng có áp cao sang vùng có áp thấp hơn. Các phân tử khí va chạm
với luồng hơi nhận được xung lực theo hướng của dòng hơi và di chuyển cùng hướng với
luồng hơi. Hơi thủy ngân sau khi đập vào thành bình (3) được làm lạnh thì ngưng tụ và
chảy về bình chứa (1), còn các phân tử khí sẽ được bơm sơ cấp hút ra ngoài.

15
Nếu theo cơ chế như trên thì khí cần hút vào để va chạm với dòng hơi cần chảy theo chế
độ phân tử vì trong chế độ chảy nội ma sát số va chạm giữa các phân tử khí với nhau lớn
và luồng hơi khó giản nở tự do xuống phía dưới. Do đó cần thiết tạo chân không ban đầu.

 Vì sao chọn chất lỏng khuếch tán là thủy ngân?

Chất lỏng trong bơm khuếch tán thời kì đầu là thủy ngân, vì nó có những ưu điểm sau:
-Ở nhiệt độ phòng và áp suất thường, thủy ngân ở trạng thái lỏng; khi áp suất môi trường
bằng 1 tor thì thủy ngân sôi ở t=1200C.
-Thủy ngân là chất rất nặng, không dính ướt, do đó dễ dàng quay về bơm và không làm
bẩm bơm.
- Là chất lỏng có độ dẫn nhiệt cao nên bộ phận làm bay hơi có cấu tạo đơn giản.
-Nhiệt tạo thành oxit của thủy ngân thấp nên oxit dễ tạo thành trong quá trình phân ly
trong chân không: bơm sẽ không bị hỏng khi có không khí vào. Và có thể sử dụng lại
nhiều lần mà không bị bẩn.
-Hơi thủy ngân ngưng tụ ở t=200C với áp suất hơi bão hòa là 10-3 tor. Đó là áp suất cần
thiết cho nhiều trường hợp trong kỹ thuật.

Muốn đạt được độ chân không cao, cần có thêm “bấy lạnh” giữa bơm với bình cần hút để
ngưng tụ hơi thủy ngân. Thông thường bẫy lạnh bằng N2 lỏng và khi đó áp suất tới hạn từ
10-3 tor đạt tới 10-6 tor. Áp suất tới hạn là áp suất cực tiểu mà bơm có thể đạt được khi
không hút buồng chân không và được xác định bởi sự nhả khí của vật liệu chế tạo bơm,
bởi sự lọt khí quan khe và các hiện tượng khác trong quá trình bơm.

Nhược điểm cơ bản của bơm khuếch tán thủy ngân là vận tốc hút khi thấp, buộc phải
dùng bẫy lạnh nếu muốn hạ chân không sâu hơn. Quan trọng nhất là thủy ngân rất độc
hại, ô nhiễm cao nếu xảy ra sự cố. Ngoài ra thủy ngân còn dễ phản ứng với đồng thau,
nhôm, … tạo thành hỗn hợp hỗn hóng vì thế gây khó khăn khi chọn kim loại dùng trong
hệ thống chân không.

16
b) Bơm khuếch tán dầu:
Để khắc phục một số nhược điểm của bơm thủy ngân, sau này người ta đã nghiên cứu và
thiết kế thay chất lỏng thủy ngân bằng dầu chân không khuếch tán. Loại dầu này có áp
suất khá nhỏ ở nhiệt độ thường.
Dầu chân không khuếch tán cần có những tính chất sau:

Dù rằng bơm khuếch tán dầu có nguyên tắc làm việc cơ bản giống với bơm khuếch tán
thủy ngân nhưng do tính chất hóa lý của dầu khác với thủy ngân nên cấu tạo bơm khác
nhau.

-Dầu có tính chất dẫn nhiệt kém hơn nên buồng đốt phải có bề mặt đủ lớm và dầu phải
được phân bố khắp bề mặt đáy.

-Dầu có mật độ nhỏ hơn so với Hg nên cần có màng chắn dầu bắn lên hệ chân không cần
hút. Màng chắn này không làm ảnh hưởng nhiều đến vận tốc hút khí.

-Dầu là hợp chất phức tạp hơn, dưới tác dụng đồng thời của áp suất thấp, nhiệt độ cao và
khí hoạt động hóa học, dầu có thể trở thành chất có áp suất bão hòa lớn dẫn đến tăng áp
suất tới hạn của bơm. Để ngăn chặn sự phân hủy đó thì cần môi trường chân không ban
đầu tốt ( 10-1-10-2 tor). Trong quá trình bơm hoạt động, tức là khi bơm đang ở nhiệt độ
cao, tuyệt đối không để không khí lọt vào.

17
 Hình 9: Bơm khuếch tán dầu bằng kim loại.

Bơm có không gian làm việc là một đoạn hình trụ tròn( có đường kính bằng nhau hoặc
đường kính thay đổi). Bên trong là một ống phun có kích thước thay đổi: phần đáy tiếp
xúc với buồng chứa dầu có khích thước lớn giúp thu được toàn bộ hơi dầu bốc hơi khi gia
nhiệt cho buồng , kích thước ống phun càng lên cao càng giảm dần nhằm mục đích đảm
bảo áp suất khi càng lên cao không bị giảm đi do cách xa nguồn nhiệt. Việc đảm bảo áp
suất trong ống phun được duy trì ở mức cao nhất có thể để hơi phun ra đạt được vận tốc
siêu âm. Trên đỉnh của ống phun được gắn với chuông hình nón như hình () có màng chắn
dầu không bắn vào hệ chân không cần hút và có khe nhỏ để hơi phun ra ngoài. Phễu với
khe nhỏ xem như màng chắn giúp định hướng dòng hơi cũng như tăng vận tốc của chúng.

18
 Hình 10: Đáy chứa dầu của bơm có các thanh gia nhiệt.

Bộ phận làm mát là một ống đồng hình xoắn bao quanh thành bơm. Dòng nước lạnh luôn
chảy trong ống đồng khi bơm làm việc.

Hình 10: Ảnh thực tế bên trong bơm và hệ thống làm mát lúc hoạt động.

Bơm khuếch tán kim loại cho phép nhận áp suất tới hạn 10-6-10-7 torr và có áp suất không
đổi trong miền áp suất rộng 10-3-10-6 torr. Vận tốc hút phụ thuộc vào kích thước bơm, từ

19
40-50 l/s đến 2.104 l/s. Công suất đốt của bơm có kích thước nhỏ nhất khoảng 100W, lớn
nhất khoảng 6 KW.

Hình 11:Một số bơm thực tế với các hình dáng khác nhau

 Yêu cầu chất lượng của dầu chân không khuếch tán là gì?

20
 - Áp suất hơi bão hòa ở 200C phải nhỏ để không cần dùng bẫy lạnh. Tuy nhiên áp
suất hơi bão hòa ở nhiệt độ làm việc của bình bay hơi phải đặc biệt lớn để tăng áp
suất khởi động và giảm công suất đốt.
-Để dầu không bị phân hủy và bị oxi hóa khi làm việc làm thường xuyên với nhiệt
độ cao thì dầu chân không khuếch tán cần có độ bền nhiệt cao.
-Khả năng hấp thụ khí phải nhỏ và độ trơ hóa học phải lớn để dầu và hơi dầu
không tương tác với vật liệu của bơm và hệ chân không.
-Độ nhớt của dầu ở trạng thái lỏng không lớn để khi ngưng tụ nó dễ dàng chảy về
đáy bơm. Tuy nhiên điều kiện này là trái với yêu cầu áp suất hơi bão hòa ở 20 0C
nhỏ bởi vì dầu có độ nhớt càng lớn thì áp suất hơi càng nhỏ
Ba nhóm dầu chân không khuếch tán thường dùng là dầu khoáng vật, Apiezon;
este của một số acid hữu cơ; chất lỏng silic hữu cơ…

3 Ưu nhược điểm chung của bơm khuếch tán

 Ưu điểm:
-Bơm chân không khuếch tán là loại bơm có thể tạo được môi trường chân không từ
trung bình đến cận siêu cao, một giới hạn làm việc rộng và áp suất đạt được có ý nghĩa
lớn vì việc tạo môi trường chân không là khó.
-Dễ dàng tạo chân không công suất lớn và tốc độ nhanh (vài chục M3/s).
Do quá trình hoạt động của bơm chỉ gồm các quá trình đun nóng, bay hơi, ngưng tụ và
khuếch tán khí hoàn toàn không có động cơ hoạt động nên bơm hoạt động ổn định,êm
ả và gây ôn tiếng ồn. Điều đó rất hữu ích cho các hệ chân không cần yên tĩnh (ví dụ
trong các kính hiển vi điện tử, nơi các nhiễu cơ học cần được loại bỏ).
Cấu tạo bơm đơn giản chỉ nên dễ dàng thay các thanh gia nhiệt trong nồi đun cũng
như thay dầu và vệ sinh không gian bên trong bơm. Điều có chi phí bảo dưỡng bơm
không quá tốn kém và khó khăn.
 Nhược điểm:
Bơm chân không cần có không gian chân không ban đầu từ 10-1-10-2 torr và chỉ có thể
là bơm thứ cấp nên cần dùng bơm trong một hệ thống với các bơm sơ cấp khác. Vì thế

21
 loại bơm này chỉ có thể sử dụng cho quy mô sản xuất lớn vì chi phí đầu tư ban đầu
lớn.
So với các loại bơm khác, điều quan trọng nhất đối với sự an toàn và hiệu suất của
bơm chân không là nước làm mát. Hệ thống nước làm mát cần thiết kế tốt, chính xác
và lượng nước khá lớn và liên tục trong quá trình bơm hoạt động.
So với các loại bơm như vòng nước, bơm piston, … thì bơm khuếch tán cần dùng
nguồn hơi là thủy ngân hay dầu. Dù thủy ngân hay dầu thì đều cần xử lý để thải ra
ngoài vừa tốt cho phí xử lý và ô nhiễm môi trường. Trong khi trong các bơm khác chỉ
dùng nước hoặc khí,… dễ dàng xử lý và rất ít ảnh hưởng đến môi trường.

4 Ứng dụng:
Vì bơm khuếch tán chân không có khả năng tạo môi trường chân không từ 10-1- 10-10
tor thuộc chân không cao và rất cao nên thường ít được dùng rộng rãi trong đời sống,
chủ yếu là:
- Phục vụ cho việc nghiên cứu chân không và vật lý phân tử.
- Ứng dụng tạo chân không trong công nghệ sản xuất màng mỏng cho nghiên cứu và
sản xuất.
- Công nghệ mạ PVD.
- Luyện kim và lò nung,..
 Công nghệ màng mỏng: là một trong những ứng dụng nổi bật của loại bơm chân
không khuếch tán.
Màng mỏng (tiếng Anh: Thin film): là một hay nhiều lớp vật liệu được chế tạo sao
cho chiều dày nhỏ hơn rất nhiều so với các chiều còn lại (chiều rộng và chiều dài).
Khái niệm "mỏng" trong màng mỏng rất đa dạng, có thể chỉ từ vài lớp nguyên tử,
đến vài nanomet, hay hàng micromet. Trong các kỹ thuật tạo màng mỏng thì có 2
phương pháp cần đến bơm khuếch tán đó là phương pháp bay bốc nhiệt và Epitaxy
chùm phân tử (MBE).
-Bay bốc nhiệt hay bay bốc nhiệt trong chân không là kỹ thuật tạo màng mỏng
bằng cách bay hơi các vật liệu cần tạo trong môi trường chân không cao và ngưng

22
 tụ trên đế( được đốt nóng hoặc không đốt nóng). Bộ phận chính của thiết bị là
buồng chân không được hút chân không cao( 10-5 – 10-6 tor) nhờ bơm chân không
( bơm khuếch tán,…).
-Kỹ thuật MBE chỉ có thể thực hiện được trong môi trường chân không siêu cao
(áp suất thấp hơn 10−9 Tor), do đó cho phép tạo ra các màng mỏng vật liệu có độ
tinh khiết rất cao.
 Công nghệ mạ PVD là phương pháp bay hơi lắng đọng vật lý, được thực hiện dưới
điều kiện chân không (10-2 đến 10-4 Tor). Đây là ứng dụng dễ dàng thấy được
trong cuộc sống của bơm khuếch tán.
-Quá trình PVD (physical- vapor- deposition) được diễn ra qua 4 giai đoạn : bốc
hơi –vận chuyển –phản ứng và lắng đọng, Quá trình này diễn ra trong môi trường
chân không , plasma. Đây được coi là công nghệ mạ tiên tiến nhất hiện nay trên thế
giới và không gây ô nhiễm môi trường. Tuổi thọ vật liệu sau khi phủ lớp PVD
thường cao gấp 2-3 lần so với khi không phủ. Đặc biệt, trong một số trường hợp
tuổi thợ còn có thể tang lên gấp 10 lần.
-Công nghệ mạ chân không ứng dụng mạ trên các dòng sản phẩm: Phụ tùng cho
xe ôtô, xe máy, phụ tùng cho thiết bị điện tử, linh kiện điện thoại, đồ dùng trong
nhà, khoá cửa, lan can, tay vin cầu thang, đồ chơi, sản phẩm mỹ nghệ, sản phẩm
trang trí nội ngoại thất, thiết bị nhà bếp, thiết bị nhà tắm,…

Hình 12: Một số sản phẩm mạ

23
24