Machine Translated by Google

Trang chủ Tìm kiếm Bộ sưu tập Tạp chí Giới thiệu Liên hệ với chúng tôi IOPscience của tôi

Micromixers-một đánh giá

Bài báo này đã được tải xuống từ IOPscience. Vui lòng cuộn xuống để xem toàn bộ đoạn văn.

2005 J. Vi cơ. Microeng. 15 R1

(http://iopscience.iop.org/0960-1317/15/2/R01)

Xem mục lục của số này, hoặc vào trang chủ của tạp chí để biết thêm

Tải chi tiết:

Địa chỉ IP: 131.104.62.10

Bài viết được tải về ngày 16/07/2012 lúc 10:10

Xin lưu ý rằng các điều khoản và điều kiện áp dụng.

Machine Translated by Google

VIỆN XUẤT BẢN VẬT LÝ TẠP CHÍ VI CƠ VÀ KỸ THUẬT VI MÔ

J. Vi cơ. Microeng. 15 (2005) R1–R16 doi:10.1088/0960-1317/15/2/R01

ĐÁNH GIÁ CHỦ ĐỀ

Micromixers-một đánh giá

Nam-Trung Nguyen và Zhigang Wu

Trường Kỹ thuật Cơ khí và Sản xuất, Đại học Công nghệ Nanyang,
50 Đại lộ Nanyang, Singapore 639798, Singapore

E-mail: mntnguyen@ntu.edu.sg

Nhận ngày 15 tháng 7 năm 2004, ở dạng cuối cùng Ngày 11 tháng 10
năm 2004 Xuất bản ngày 8 tháng 12 năm 2004 Trực tuyến tại

stacks.iop.org/JMM/15/R1

Tóm tắt
Đánh giá này báo cáo tiến trình phát triển gần đây của máy trộn vi mô.
Đánh giá đầu tiên trình bày các loại và thiết kế micromixer khác nhau.
Máy trộn vi mô trong bài đánh giá này được phân loại thành máy trộn vi
mô thụ động và máy trộn vi tích cực. Do công nghệ chế tạo đơn giản và việc
triển khai dễ dàng trong một hệ thống vi lỏng phức tạp, các máy trộn vi lượng
thụ động sẽ là trọng tâm của đánh giá này. Tiếp theo, bài đánh giá thảo luận
về các điểm hoạt động của bộ trộn vi mô dựa trên các số không thứ nguyên đặc
trưng như số Reynolds Re, số Peclet Pe và trong trường hợp động là số
Strouhal . Công nghệ chế tạo cho các loại bộ trộn khác nhau cũng được phân
tích. Các kỹ thuật định lượng để đánh giá hiệu suất của máy trộn vi lượng sẽ
được thảo luận. Cuối cùng, bài đánh giá đề cập đến các ứng dụng điển hình của
máy trộn vi mô.

danh pháp 1. Giới thiệu

Thu nhỏ là xu hướng gần đây trong hóa học phân tích và khoa

ν học đời sống. Trong hai thập kỷ qua, việc thu nhỏ xử lý chất
độ nhớt động học (m2 s 1 )
θ lỏng và phân tích chất lỏng đã xuất hiện trong lĩnh vực
nồng độ góc (rad) của một
c nghiên cứu liên ngành về vi chất lỏng. Các ứng dụng vi lỏng
loài (kg m 3)
c nồng độ không thứ nguyên
bao gồm mảng vi mô, giải trình tự DNA, chuẩn bị và phân tích
mẫu, tách và phát hiện tế bào, cũng như giám sát môi trường.
Đ. hệ số khuếch tán (m2 s 1 )
Việc sử dụng vi lỏng trong các ứng dụng này thu hút sự quan
đường kính thủy lực (m) tần
tâm của cả ngành công nghiệp và học viện, vì tiềm năng và
dhf số nhiễu (Hz) chiều cao kênh
lợi thế của nó: lượng mẫu và thuốc thử nhỏ, tiêu tốn ít thời
h (m) hàm Bessel biến đổi loại
gian hơn, chi phí thấp hơn và thông lượng cao. Số lượng các
Kn thứ hai
bài báo tạp chí lưu trữ về vi lỏng đã tăng gần như theo cấp
thứ tự n
số nhân. Gần đây cũng có một vài cuốn sách dành riêng cho
L đường trộn (m)
vi lỏng [1–3].
tôi số giai đoạn trộn nối tiếp số
N laminae
Bên cạnh máy bơm siêu nhỏ, máy trộn vi lượng là một thành
Lưu lượng Q1, Q2 (m3 s 1 )
phần quan trọng khác trong hệ thống vi lỏng. Nguyen và cộng sự [4],
r bán kính của vòi phun (m) tỷ lệ
và gần đây là Laser và Santiago [5] cũng như Woias [6], đã dành
r pha trộn bán kính không thứ những đánh giá của họ cho máy bơm siêu nhỏ. Ngược lại, không có
r nguyên vận tốc dòng chảy trung
đánh giá sâu rộng nào về máy trộn vi mô. Kakuta và cộng sự đã đưa
bạn bình (m s 1 ) chiều rộng kênh (m) ra đánh giá ban đầu về máy trộn vi lượng [7]. Một phần trong cuốn
W sách của Nguyen và Wereley [1] chỉ dành riêng cho một vài loại máy
số hạt
Thể dục
trộn vi lượng. Một số tài liệu tổng quan về hệ thống phân tích
Lại số Reynolds tổng vi mô (microTAS) của Reyes và cộng sự [8], Auroux và cộng sự
đường phố số strhal [9], Vilkner và cộng sự [10] và Erbacher và cộng sự [11] cũng đã đề cập ngắn gọn

0960-1317/05/020001+16$30.00 © 2005 IOP Publishing Ltd In tại Vương quốc Anh R1

Machine Translated by Google
Đánh giá chuyên đề
máy trộn vi mô
thụ động
tiêm
Mũi
nước
giọt
màng
cán
Điện
di
loạn
Tiến
hỗn
bộ
động
thủy
điện
học
lực
nhiễu
suất
loạn
áp
nối tiếp
song song, tương đông
Hình 1. Sơ đồ phân loại cho máy trộn vi lượng.
với micromixer. Trước đây, tầm quan trọng của máy trộn vi lượng không
được công nhận rõ ràng và chỉ có một số nhóm nghiên cứu tập trung
vào lĩnh vực này. Gần đây, một số máy trộn vi lượng mới đã được công
bố rộng rãi trên các tạp chí nghiên cứu. Trên thực tế, hầu hết các
công trình được xem xét trong bài viết này đã được xuất bản trong 3
năm qua. Sự xuất hiện gần đây của các máy trộn vi lượng xứng đáng
được xem xét một cách có hệ thống, điều này có thể mang lại lợi ích
cho cộng đồng vi lỏng.
Trộn nhanh là điều cần thiết trong nhiều hệ thống vi lỏng
được sử dụng trong phân tích hóa sinh, phân phối thuốc và giải
trình tự hoặc tổng hợp axit nucleic. Các quá trình sinh học như
kích hoạt tế bào, phản ứng enzyme và gấp nếp protein thường liên
quan đến các phản ứng đòi hỏi phải trộn các chất phản ứng để bắt
đầu. Việc trộn cũng cần thiết trong các nền tảng phòng thí nghiệm
trên chip (LOC) cho các phản ứng hóa học phức tạp. Máy trộn vi
lượng có thể được tích hợp trong một hệ thống vi lỏng hoặc hoạt
động như một thiết bị độc lập. Hơn nữa, việc điều tra các máy trộn
vi mô là cơ sở để hiểu các hiện tượng vận chuyển ở cấp độ vi mô.
Trước đây, việc chế tạo máy trộn siêu nhỏ dựa trên công nghệ
của hệ thống cơ điện vi mô (MEMS)
[12]. Vật liệu nền cơ bản là silicon và thủy tinh.
Gần đây, xuất phát từ nhu cầu về chi phí thấp và khả
năng tương thích sinh học, các polyme đã được sử dụng rộng rãi để
chế tạo máy trộn vi lượng. Một số kỹ thuật chế tạo polyme có sẵn.
Vi gia công số lượng lớn polyme như dập nổi nóng, ép phun, đúc và
cắt bỏ bằng laser, tạo ra các cấu trúc trong chất nền polyme,
trong khi vi gia công bề mặt polyme tạo ra các vi cấu trúc polyme
có thể di chuyển bằng cách sử dụng một lớp hy sinh.
Nói chung, máy trộn vi lượng có thể được phân loại thành máy
trộn vi tính thụ động và máy trộn vi tích cực (hình 1). Máy trộn
vi lượng thụ động không yêu cầu năng lượng bên ngoài, quá trình
trộn hoàn toàn dựa vào sự khuếch tán hoặc chuyển động hỗn loạn.
Máy trộn thụ động có thể được phân loại thêm bằng cách sắp xếp các
pha hỗn hợp: cán song song, cán nối tiếp, tiêm, chuyển động hỗn
loạn và giọt. Máy trộn vi mô hoạt động sử dụng nhiễu do trường bên
ngoài tạo ra cho quá trình trộn. Như vậy, máy trộn tích cực có thể
được phân loại theo các loại tác động xáo trộn bên ngoài như áp
suất, nhiệt độ,
R2
điện thủy động lực học, điện môi, điện động học, từ thủy động lực
học và âm học. Với các trường bên ngoài và các thành phần tích hợp
tương ứng, cấu trúc của các bộ trộn vi mô hoạt động thường phức
tạp và đòi hỏi các quy trình chế tạo phức tạp. Hơn nữa, các nguồn
tích cực
năng lượng bên ngoài là cần thiết cho hoạt động của các bộ trộn vi
mô đang hoạt động. Do đó, việc tích hợp các bộ trộn hoạt động trong
một hệ thống vi lỏng vừa khó khăn vừa tốn kém. Ngược lại, máy trộn
vi lượng thụ động không yêu cầu bộ truyền động bên ngoài ngoại trừ
những bộ truyền động để phân phối chất lỏng. Các cấu trúc thụ động
học
Âm nhiệt
đơn giản thường mạnh mẽ, hoạt động ổn định và dễ dàng tích hợp
trong một hệ thống phức tạp hơn. Trong bài đánh giá này, người ta
động
điện
học
chú ý nhiều hơn đến các bộ trộn vi lượng thụ động.
động
thủy
học
lực
Đối với các tài liệu tham khảo chung về pha trộn, có sẵn một
số sách và bài đánh giá tuyệt vời. Thuyết chuyển động nhiệt của
các phân tử của Einstein [13] là nền tảng cho thuyết khuếch tán.
Để trộn trên thang vĩ mô, độc giả có thể tham khảo bài đánh giá
của Ottino [14]. Trên quy mô vĩ mô, các phương pháp trộn phổ biến
là tạo ra nhiễu loạn [15] và chuyển động hỗn loạn [16, 17]. Trong
dòng chảy rối, các chuyển động của chất lỏng thay đổi không đều do
đó các đại lượng như vận tốc và áp suất cho thấy sự thay đổi ngẫu
nhiên theo thời gian và không gian. Chuyển động ngẫu nhiên nhanh
chóng phân tán các thành phần hỗn hợp.
Sự tiến lên hỗn loạn có thể được tạo ra bằng cách khuấy dòng chảy,
điều này rất hiệu quả đối với các số Reynolds nhỏ. Các khái niệm
tách, kéo dài, gấp và chia nhỏ rất quan trọng đối với chất lượng
trộn. Đối với các nguồn phức tạp hơn về lý thuyết khuếch tán, độc
giả có thể tham khảo cuốn sách của Cussler [18] hoặc của Cunningham
và William [19]. Một cuốn sách giáo khoa khác về tất cả các hiện
tượng vận chuyển được viết bởi Bird và cộng sự [20], cuốn sách này
rất hữu ích để hiểu hành vi dòng chảy trong máy trộn vi mô.
Đánh giá này trước tiên xem xét các loại micromixer khác nhau.
Các điều kiện hoạt động của các máy trộn vi mô được xem xét sau đó
sẽ được thảo luận. Người ta chú ý đến một số thông số vận hành như
số Reynolds Re, số Peclet Pe và số Strohal St. Số Reynolds:
UDh
lại = (1)
ν
đại diện cho tỷ lệ giữa động lượng và ma sát nhớt.
Số Reynolds cao trên giá trị tới hạn (khoảng 2300 trên thang vĩ
mô) biểu thị dòng chảy hỗn loạn. Trong hầu hết các trường hợp vi
lỏng, số Reynolds thấp và dòng chảy tầng có thể xảy ra. Số Peclet:
UL
pe = (2)
Đ.
đại diện cho tỷ lệ giữa vận chuyển khối lượng do đối lưu và khuếch
tán. Đối lưu chiếm ưu thế ở số lượng Peclet cao hơn. Số Strhal: f
Dh St =
(3)
bạn
biểu thị tỷ lệ giữa thời gian cư trú của một loài và khoảng thời
gian xáo trộn của nó trong một máy trộn vi mô đang hoạt động.
2. Máy trộn vi lượng thụ động
Do khái niệm đơn giản của nó, máy trộn thụ động là một trong những
thiết bị vi lỏng đầu tiên được báo cáo. Do dòng chảy tầng chiếm ưu
thế trên kính hiển vi, việc trộn trong các máy trộn vi mô thụ động
chủ yếu dựa vào sự khuếch tán phân tử và chuyển động hỗn loạn.
Machine Translated by Google

Đánh giá chuyên đề

một
( )
b
( )
(b)

vỏ bọc dòng chảy

vỏ bọc dòng chảy

c
( ) đ
( )

Hình 2. Bộ vi trộn cán song song: (a) bộ trộn chữ T cơ bản và (b) bộ trộn chữ Y, (c) khái niệm về cán song song và (d ) khái niệm
về tập trung thủy lực.

Việc tăng bề mặt tiếp xúc giữa các chất lỏng khác nhau và giảm Vì bộ trộn T cơ bản hoàn toàn phụ thuộc vào sự khuếch tán phân

đường khuếch tán giữa chúng có thể cải thiện quá trình khuếch tán tử, nên cần có một kênh trộn dài. Bên cạnh khái niệm cán nhiều

phân tử. Sự tiến bộ hỗn loạn có thể được thực hiện bằng cách điều luồng đã đề cập ở trên, việc trộn ở số Reynolds cực cao cũng có thể

khiển dòng chảy tầng trong các vi mạch. Mô hình dòng chảy kết quả dẫn đến thời lượng trộn ngắn [26, 27]. Dự kiến sẽ có một dòng chảy

rút ngắn đường khuếch tán và do đó cải thiện quá trình trộn.
2.1. Máy trộn cán song song
Như đã đề cập ở trên, có thể đạt được sự trộn nhanh bằng cách giảm
đường trộn và tăng bề mặt tiếp xúc giữa hai pha. Cán màng song song
chia các luồng đầu vào thành n luồng con, sau đó nối chúng thành
một luồng dưới dạng laminae. Thiết kế cơ bản là một vi kênh dài với
hỗn loạn ở những số Reynolds cao này. Các xoáy cảm ứng tăng cường
đáng kể hiệu quả trộn. Trong nghiên cứu của Yi và Bau [26], máy
trộn chữ Y làm bằng băng gốm đồng nung với độ uốn 90 có thể tạo
ra các xoáy ở số Reynolds trên 10. Ở số Reynolds cao hơn 30, quá
trình trộn đạt được ngay sau khi uốn . Wong và cộng sự [27] đã báo
cáo một T-mixer được chế tạo từ thủy tinh/silicon. Máy trộn này sử
dụng số Reynolds lên đến 500, trong đó tốc độ dòng chảy có thể cao
tới 7,60 m s 1 ở áp suất điều khiển lên tới 7 bar. Dưới các số
Reynolds cực cao (Re = 245, 45 m s 1 ), dòng chất lỏng cũng có thể
tạo ra lực cắt cao để thúc đẩy sự lưu thông rất nhanh trong khoang

hai đầu vào (n = 2) theo hình dạng của nó; những thiết kế này hình thoi gần với một vi kênh thẳng [28]. Các xoáy nhanh được tạo

thường được gọi là T-mixer hoặc Y-mixer [21–23] (hình 2(a) và (b)). ra để tăng cường trộn với nhiều luồng đầu vào tập trung trong một

Đối với kênh trộn phẳng (WH ), sự phân bố nồng độ trong kênh trộn buồng tròn theo báo cáo của Bohm¨ et al [29]. Trong các bộ trộn vi

có thể được xác định bằng phương pháp phân tích, (hình 3(a)). Giả mô này, vận tốc cao theo thứ tự 1ms 1 (7,6 ms 1 in [27]), 10 ms

sử độ nhớt như nhau trong mỗi dòng và do đó vận tốc dòng chảy đồng 1 [29] hoặc thậm chí cao hơn (lên đến 45 ms 1 in [28]) yêu cầu

đều U, sự phân bố nồng độ không thứ nguyên c = c/C0 trong vi kênh áp lực cung ứng cao. Áp suất cao (1,0 bar đến 5,5 bar trong [27]

cho tỷ lệ pha trộn tùy ý giữa chất tan (c = C0) và dung môi (c = và 15 bar trong [29]) có thể là một thách thức nghiêm trọng đối
với các công nghệ liên kết và kết nối. Thiết kế chữ T cơ bản có thể
0) của r : (1 - r) là
được cải thiện bằng cách làm nhám thành kênh [30] hoặc điều chỉnh
lối vào kênh [31]. Ở số Reynolds cao, bộ trộn T cơ bản có thể được
sửa đổi thêm với các chướng ngại vật, tạo ra các xoáy và chuyển
∞
sin nrπ động hỗn loạn. Những loại này được xử lý sau trong phần 2.4.1.
2 c (x , y ) = r + cos(nπy )
π N
n=1

2n2π2
× điểm kinh nghiệm - x n = 1, 2, 3,...
Pe + √ Pe2 + 4n2π2

(4)
trong đó x = x/W, y = y/W là tọa độ không thứ nguyên, Pe = UW/D
là số Peclet, W là độ rộng kênh và D là hệ số khuếch tán (hình
3(b)). Giải pháp (4) (hình 3(c)) có thể mở rộng cho trường hợp ghép
nhiều luồng song song (hình 3(d )). Các dòng đầu vào của máy trộn
chữ T có thể được xoắn và ép thành hai tấm chất lỏng mỏng để giảm
đường trộn [24]. Là một thiết kế cơ bản, T-mixer lý tưởng cho việc
nghiên cứu các hiện tượng vận chuyển cơ bản ở cấp độ vi mô, chẳng
hạn như định luật tỷ lệ, hiệu ứng cánh bướm [21, 23] và các hiệu
Một phương pháp đơn giản để giảm đường trộn là tạo một kênh
trộn hẹp [32], thực hiện ghép song song với nhiều luồng [33–35]
(hình 2(c)) hoặc với các luồng trộn kỹ thuật số 3D [36]. Bessoth
và cộng sự đã báo cáo một bộ trộn ghép song song với 32 luồng có
thể đạt được hiệu quả trộn hoàn toàn trong 15 ms [37]. Loại máy
trộn này đã được sử dụng thành công trong phân tích thực tế [38].
Dòng chảy trong các máy trộn vi lượng dựa trên quá trình cán màng
song song thường được điều khiển bởi áp suất, nhưng cũng có thể
được tạo ra bởi quá trình thẩm thấu điện như báo cáo của Fluri và
cộng sự [39], Hadd và cộng sự [40] và Jacobson và cộng sự [41].

ứng phi tuyến tính khác [25]. Một khái niệm khác về giảm đường trộn cho các máy trộn vi mô
cán song song là tập trung thủy động lực học [42]. Các

R3
Machine Translated by Google

Đánh giá chuyên đề

c
0
y=0
c0 ξ c/ =0

0
rW x
bạn W
χ¶x(x= ,y)=0 ¥

y
0
c/ y=0
y y=W
x=0
một
( )
c*
1 0 y*=0
c*/ y*=0
x*
0 r
1
c*/¶ξ*(x*= ,y*)=0 ∞
Thể dục

y*
y* c*/ y*=0
y*=1
x*=0
b
( )

1
1

c*
c*

0
0
1
30
y* 20 30
10 x* 20
0 0 y* 10 x*
0 0

( )
c (đ )

Hình 3. Phân bố nồng độ trong máy trộn vi lượng cán song song: (a) mô hình 2D, (b) mô hình 2D không thứ nguyên, (c) kết quả cho
máy trộn chữ T cơ bản (n = 1, r = 0,5) và (d ) kết quả với nhiều luồng (n = 5, r = 0,5).

một
( )
( )
b

c
( )
đ
( )

Hình 4. Bộ trộn ghép nối tiếp: (a) nối–tách–nối, (b) tách–nối [45], (c) tách–tách–nối [48] và (d ) nhiều vi kênh giao
nhau [49].

thiết kế cơ bản để lấy nét thủy động là một vi kênh dài với ba vài micro giây [43]. Walker và cộng sự đã báo cáo việc sử dụng

đầu vào. Đầu vào ở giữa dành cho dòng chảy mẫu, trong khi các phương pháp tập trung và trộn thủy động lực để lây nhiễm tế bào [44].

dòng dung môi nối qua hai đầu vào còn lại và hoạt động như dòng Bảng 1 so sánh các máy trộn song song ở trên.

chảy của vỏ bọc (hình 2(d )). Lấy nét thủy động làm giảm độ rộng

luồng và do đó làm giảm đường trộn.

2.2. Bộ vi trộn cán nối tiếp
Knight và cộng sự [42] đã báo cáo một nguyên mẫu có kênh trộn có

tiết diện ngang 10 µm x 10 µm. Chất lỏng mẫu có thể được tập trung Tương tự như các bộ trộn vi lượng ghép lớp song song, các bộ trộn vi

vào một chiều rộng hẹp bằng cách điều chỉnh tỷ lệ áp suất giữa trộn nhiều lớp nối tiếp cũng tăng cường khả năng trộn thông qua việc

dòng mẫu và dòng vỏ bọc. Trong các thí nghiệm được báo cáo, thời tách và sau đó nối các luồng (hình 4(a)) [45–48]. Các luồng đầu vào đầu

gian trộn có thể được giảm xuống tiên được nối theo chiều ngang và sau đó ở giai đoạn tiếp theo theo chiều dọc.

R4
Machine Translated by Google

Đánh giá chuyên đề

Bảng 1. Máy trộn vi lượng cán song song.

Kênh Width Kênh Vận tốc chiều cao

Đầu tiên
điển hình (mm (µm)
s 1 )
tác giả tham khảo Loại năm (µm) Lại Thể dục Vật liệu

[21, 22] Máy trộn chữ T Kamholz 1999 550 25 0,3 725 thủy tinh silicon

[23] [24] Máy trộn chữ Y Ismagilov 2000 90 90 0,4 240 PDMS-kính
Máy trộn chữ Y Hinsmann 2001 1000 20 6 7 83 1,7 830 CaF2–SU8–kim loại–thủy

tinh
[25] Ngô 2004 Máy trộn chữ Y 900 50 0,27 0,02 150 PMMA 80 000

[26] Yi 2003 Máy trộn chữ Y 200 200 50–200 80 Gốm sứ

[27] Vương Máy trộn chữ T 2004 100 50 7000 500 70 0000 Silicon–thủy tinh
¨
[29] Bohm 2001 Xoáy nước 20 200 10000 200 200 000 Silicon–thủy tinh
[30] Vương 2003 Hình chữ thập 30 40 5000–10 000 170–340 150 000 Gốm sứ 0,3 0,17 0,7

[31] cá bống Máy trộn chữ T 2001 500 300 0,1 150 không có

[32] Veenstra 1999 Máy trộn chữ T 100 200 0,023 170 thủy tinh silicon

[35] Koch 1999 song song 85 cán 5 0,0035 60 thủy tinh silicon

[37] Bessoth 1999 Cán màng song 20 50 1,5 0,07 60 Thủy tinh

song

[40] đã có Máy trộn chữ T 1997 35 0,014 35 Thủy tinh

[42] Hiệp sỹ 1998 tập trung 10 9 10 1 50 0,5 500 Silicon–PDMS– thủy

tinh
[44] người đi bộ 2004 tập trung 200–1000 150 1 0,15 200 PDMS-kính

n/a: không áp dụng.

Sau m công đoạn tách và nối, 2m lớp chất lỏng có thể được dát 10

mỏng. Quá trình này giúp cải thiện thời gian trộn 4m 1 lần.
y
Máy trộn (hình 4(b)) được báo cáo bởi Branebjerg và cộng sự Hỏi , u, c=0
1
5
[45], Schwesinger và cộng sự [46] và Gray và cộng sự [47]
được chế tạo bằng silicon bằng cách sử dụng kỹ thuật khắc
quý 2
θ
x
0,5
ướt trong KOH hoặc kỹ thuật khắc ion phản ứng sâu (DRIE). . 0 0.
6
y/R 0,4 0,3
Gần đây, phương pháp tương tự đã được sử dụng bởi Munson và r

Yager bằng cách sử dụng cán mỏng nhiều lớp polyme [48] (hình 4(c)). 0,2
-5
Khái niệm về bộ vi trộn cán nối tiếp cũng có thể được áp 0,1
10
b
dụng cho các dòng điện động học như báo cáo của He và cộng sự ( )

[49] (hình 4(d )). Sử dụng dòng thẩm thấu điện giữa nhiều vi ( )
một
-10
-10 -5 0 5 10
kênh giao nhau, quá trình trộn được tăng cường rõ ràng. Melin x/r
và cộng sự [50] đã báo cáo một thiết kế tương tự cho dòng chảy
có áp suất . Tuy nhiên, thiết kế này chỉ hoạt động đối với một Hình 5. Máy trộn tiêm: (a) mô hình hai chiều và (b) phân bố nồng độ
không thứ nguyên điển hình của vi chùm lông (Pe = 1).
phích cắm của hai chất lỏng hỗn hợp. Bảng 2 liệt kê các thông
số điển hình của máy trộn vi mạch ghép nối tiếp.

2.3. máy trộn vi tiêm trong đó K0 và K1 là các hàm Bessel đã sửa đổi của loại thứ
hai. Số Peclet và không thứ nguyên
Khái niệm về máy trộn phun [51–55] tương tự như máy trộn nồng độ được định nghĩa là
cán song song. Thay vì chia cả hai dòng đầu vào, loại máy
trộn này chỉ chia dòng chất tan thành nhiều dòng và bơm Pe = 2UR/D
chúng vào dòng dung môi. Trên cùng của một dòng là một dãy
các vòi tạo ra một số vi chùm chất tan. Những chùm này làm và
tăng bề mặt tiếp xúc và giảm đường trộn. Hiệu quả trộn có c
thể được cải thiện đáng kể. c =
2Q˙ 2/(πH ),

Hình 5(a) mô tả mô hình hai chiều của microplume từ một

tương ứng [56].
vòi tròn duy nhất của máy trộn phun.
Miyake và cộng sự [51, 52] đã báo cáo một máy trộn siêu
Buồng trộn có chiều cao H và tốc độ dòng chảy của dung môi và
nhỏ dạng phun với 400 vòi phun được sắp xếp thành một mảng hình
chất tan lần lượt là Q˙ 1 và Q˙ 2. nhất
đồng Giả sử vậnQ˙tốc
U và dung
1 Q˙ 2, môi
nồng
vuông. Mảng vòi được đặt trong buồng trộn, được chế tạo từ
độ không thứ nguyên trong tọa độ hình trụ (θ, r = r/R) là
silicon bằng DRIE. Larsen và cộng sự [53] đã báo cáo một khái
niệm tương tự với hình dạng vòi phun khác. Seidel và cộng sự
K0(Pe r /4)/Pe
c (r ,θ) = [54] và Voldman và cộng sự [55] đã sử dụng lực mao dẫn để tạo
K1(Pe/4) K0(Pe/4) cos θ ra các vi chùm. Máy trộn sử dụng van thụ động để giải phóng một
cosθ
× {exp[Pe(r 1)/4]} , (5) trong hai chất lỏng hỗn hợp. Bảng 3 so sánh các máy trộn vi tiêm ở trên.

R5
Machine Translated by Google

Đánh giá chuyên đề

Bảng 2. Máy trộn vi mạch ghép nối tiếp.

Kênh Kênh Vận tốc độ cao điển

Đầu tiên chiều rộng số hình (mm s 1 (µm)
) Re
tác giả tham khảo Năm giai đoạn (µm) Thể dục Vật liệu

[45] Branebjerg 1996 3 300 30 1–22 0,03–0,66 15–330 Silicon–thủy tinh 0,072
[46] Schwesinger 1996 5–20 400 400 1.8 Silicon–thủy tinh
72 Silicon–thủy tinh
Quartz Mylar
Silicon–
[47] Xám 1999 6 200 100 n/r n/r n/r PDMS
[48] Munson 2004 6 600 100 0,5 0,05 50

[49] Anh 2001 1 100 10 0,25 0,0025 25

[50] Melin 2004 16 50 50 2 0,1 14

n/r: không báo cáo.

Bảng 3. Máy trộn vi tiêm.

Vòi phun kênh Kênh Vận tốc chiều

Đầu tiên Số kích thước chiều rộng cao điển hìnhs (mm
1 )
tác giả tham khảo Năm vòi phun (µm) (µm) Re (µm) vật liệu pe

[51, 52] Miyake 1993 400 2000 330 15 × 15 1,2 50 0,018 18 0,1 thủy tinh silicon

[53] [54] Larsen 1999 10–20 n/r Ø100 280–600

135– n/r 0,1 100 Silicon–kính n/r
[55] Seidel 1999 1 175 20–43 820 1 n/ Silicon–kính
Voldman 2000 1 7 70 r 15 105 Silicon–thủy tinh

n/r: không báo cáo.

2.4. Micromixers dựa trên tiến bộ hỗn loạn

Bên cạnh sự khuếch tán, sự thăng tiến là một hình thức truyền khối

quan trọng khác trong các dòng có số Reynolds thấp. Tuy nhiên, dòng

chảy đối lưu thường song song với hướng dòng chảy chính và không hữu

ích cho quá trình trộn ngang. Cái gọi là tiến bộ hỗn loạn có thể cải
( )
một b
( )
thiện đáng kể việc trộn.

Nói chung, sự tiến bộ hỗn loạn có thể được tạo ra bởi các dạng hình

học đặc biệt trong kênh trộn hoặc do ngoại lực gây ra. Trong khi

loại đầu tiên là một micromixer thụ động, thì loại thứ hai thuộc về

loại tích cực và sẽ được thảo luận sau trong phần 3.

Khái niệm thiết kế của các máy trộn vi lượng dựa trên sự tiến

bộ hỗn loạn tương tự như các đối tác vĩ mô của chúng, được nghiên c
( )

cứu kỹ lưỡng và tóm tắt trong cuốn sách của Ottino [17].
Hình 6. Các thiết kế phẳng để trộn với dòng tiến hỗn loạn ở số
Ý tưởng cơ bản là sửa đổi hình dạng kênh để tách, kéo dài, gấp và
Reynolds cao: (a) chướng ngại vật trên tường [30], (b) chướng
phá vỡ dòng chảy. Sau đây, các bộ trộn vi lượng cho các phạm vi khác ngại vật trong kênh [72, 58] và (c) kênh hình zig-zag [59 ].
nhau của số Reynolds được thảo luận riêng lẻ. Mặc dù không có phạm

vi cố định cho một thiết kế cụ thể, đánh giá này coi phạm vi Re >
chướng ngại vật có thể làm thay đổi hướng dòng chảy và buộc các chất
100 là cao, 10 < Re < 100 là trung bình và Re < 10 là thấp.
lỏng hợp nhất và tạo ra sự vận chuyển khối lượng ngang. Lin và cộng

sự [58] đã sử dụng các xi lanh đặt trong một kênh hẹp để tăng cường

trộn. Buồng trộn 50 µm × 100 µm x 100 µm được chế tạo bằng công nghệ

silicon tiêu chuẩn. Bảy xi lanh có đường kính 10 µm được bố trí

2.4.1. Tiến hỗn loạn ở số Reynolds cao. Phương pháp đơn giản nhất để trong buồng trộn. Bộ trộn vi mô hoạt động với các số Reynolds từ 200
có được sự tiến bộ hỗn loạn là chèn các cấu trúc chướng ngại vật vào đến 2000 và thời gian trộn là 50 µs.
kênh trộn. Wang và cộng sự đã báo cáo một cuộc điều tra bằng số về

các chướng ngại vật ở số Reynolds cao [57]. Kênh trộn mô phỏng có
chiều rộng 300 µm, chiều sâu 100 µm và chiều dài 1,2–2 mm và đường
kính của chướng ngại vật là 60 µm (hình 6(b)). Nhiều cách sắp xếp
chướng ngại vật đã được điều tra. Mô phỏng giả định số Peclet là
200. Công trình này phát hiện ra rằng các chướng ngại vật trong vi
kênh ở số Reynolds thấp không thể tạo ra các xoáy hoặc tuần hoàn.
Tuy nhiên, kết quả đã chứng minh rằng các chướng ngại vật có thể cải
thiện hiệu suất trộn ở số Reynolds cao. Trong điều kiện này, sự sắp
xếp bất đối xứng
Phương pháp tiếp theo để tạo ra sự chuyển động hỗn loạn là sử
dụng các vi kênh zig-zag để tạo ra sự tuần hoàn xung quanh các ngã
rẽ ở số Reynolds cao. Dựa trên một cuộc điều tra bằng số, Mengeaud
và cộng sự [59] đã thảo luận về các bước định kỳ của hình dạng zig-
zag như là tham số tối ưu hóa (hình 6(c)). Máy trộn vi lượng được
chế tạo bằng cách sử dụng tia laser excimer trên chất nền poly
ethylene terephthalate (PET).
Vi kênh có chiều rộng 100 Pha, chiều sâu 48 Pha và chiều dài 2 mm.
Trong mô phỏng, số Peclet được cố định ở 2600 và số Reynolds dao

động từ

R6
Machine Translated by Google
một
( )
b
( )
e
( )
f
( )
Hình 7. Thiết kế máy trộn vi mô để trộn với dòng tiến hỗn loạn ở số Reynolds trung gian: (a) cấu trúc Tesla đã sửa đổi, (b)
hình chữ C [61], (c) hình chữ L [62], (d ) kết nối ngoài mặt phẳng hình chữ L [63], (e) vi kênh xoắn [64] và ((f ), (g), (h)) các thiết
kế khác của kênh xoắn [66].
0,26 đến 267. Một số Reynolds quan trọng là 80 đã được quan sát.
Dưới con số này, quá trình trộn hoàn toàn dựa vào sự khuếch tán
phân tử. Ở các số Reynolds cao hơn, quá trình trộn được cải
thiện nhờ các vòng tuần hoàn được tạo ra ở các lượt.
2.4.2. Sự tiến bộ hỗn loạn ở các số Reynolds trung gian.
Như đã đề cập ở trên, các bộ trộn vi mô dựa trên sự đối lưu hỗn
loạn có thể bắt nguồn từ các thiết kế quy mô lớn với các ống
dẫn xoắn ba chiều. Tuy nhiên, Hong và cộng sự [60] đã trình
diễn một bộ trộn vi lượng trong mặt phẳng với cấu trúc Tesla
được sửa đổi hai chiều (hình 7(a)). Hiệu ứng Coanda trong cấu
trúc này gây ra sự chuyển động hỗn loạn và cải thiện đáng kể sự
pha trộn. Máy trộn được làm bằng chất đồng trùng hợp olefin
tuần hoàn (COC) bằng phương pháp dập nổi nóng và liên kết trực
tiếp bằng nhiệt. Bộ trộn hoạt động tốt ở số Reynolds cao hơn
(Re > 5). Liu và cộng sự [61] đã báo cáo một kênh trộn ngoằn
ngoèo ba chiều được chế tạo bằng silicon và thủy tinh. Kênh
được xây dựng như một loạt các đoạn hình chữ C nằm trong các
mặt phẳng vuông góc với nhau (hình 7(b)). Bộ trộn vi mô bao gồm
hai kênh đầu vào được nối với nhau theo hình chữ T, một kênh
thẳng dài 7,5 mm và một chuỗi gồm sáu phân đoạn trộn. Tổng chiều
dài trộn là khoảng 20 mm. Một quan sát thú vị về máy trộn vi mô
là quá trình trộn nhanh hơn ở số Reynolds cao hơn. Nó chỉ ra
rằng sự tiến lên hỗn loạn chỉ xảy ra ở các số Reynolds tương
đối cao (Re = 25–70).
Vijayendran và cộng sự [62] đã báo cáo một kênh trộn ngoằn
ngoèo ba chiều được chế tạo trong PDMS. Kênh được thiết kế như
một loạt các đoạn hình chữ L trong các mặt phẳng vuông góc (hình
7(c)). Kênh có chiều rộng 1 mm và độ sâu 300 µm. Tổng chiều dài
của kênh trộn là khoảng 30 mm. Máy trộn đã được thử nghiệm ở
các số Reynolds là 1, 5 và 20. Kết quả thử nghiệm cũng chỉ ra
rằng đạt được khả năng trộn tốt hơn ở các số Reynolds cao hơn.
Một thiết kế phức tạp khác trên PDMS đã được báo cáo bởi
Chen và Meiners [63]. Bộ trộn, được các tác giả gọi là 'cấu
trúc tô pô gấp dòng chảy', được hình thành bởi hai hình chữ L
nằm ngoài mặt phẳng được kết nối với nhau (hình 7(d )). Bộ trộn
vi mô này cũng được chế tạo trong PDMS. Vi kênh có chiều rộng
100 µm và chiều sâu 70 µm. Một bộ trộn đơn có kích thước khoảng
400 µm x 300 µm. Với thiết kế này, có thể đạt được sự pha trộn
hiệu quả trên các thang đo chiều dài ngắn với dòng chảy tầng
hoàn toàn (Re = 0,1–2).
Park và cộng sự đã báo cáo một máy trộn vi ba chiều phức
tạp hơn [64]. Công trình này vận dụng đầy đủ lý thuyết về hỗn loạn đến 50 mm s
Đánh giá chuyên đề
c
( ) (đ )
(g ) h
( )
đề xuất trong cuốn sách của Ottino [17] để cải thiện quá trình
trộn ở cấp độ vi mô với hình dạng kênh ba chiều phức tạp và
mịn. Kênh quay và phân tách hai chất lỏng bằng các vách ngăn và
tạo ra các đốm màu nhỏ hơn theo cấp số nhân (hình 7(e)). Cấu
trúc này được chế tạo bằng PDMS trên kính. Jen và cộng sự đã đề
xuất các thiết kế khác của vi kênh xoắn trong [66]. Những thiết
kế này không được xác minh bằng các nguyên mẫu chế tạo. Kênh có
chiều rộng và chiều cao lần lượt là 500 µm và 300 µm. Việc trộn
metanol và oxy ở các vận tốc khác nhau (0,5 m s 1 đến 2,5 m
s 1 ) đã được xem xét trong mô phỏng (hình 7( f)–(h)).
Một hệ thống chìm nguồn xung phẳng cũng có thể gây ra sự
tiến bộ hỗn loạn trong buồng trộn [67]. Máy trộn được chế tạo
bằng silicon trên diện tích 1 cm2. Buồng trộn có kích thước
1500 µm × 600 µm với chiều cao 100 µm. Chi tiết về nguyên lý
hoạt động này độc giả có thể tham khảo tại [68].
2.4.3. Tiến bộ hỗn loạn ở số Reynolds thấp. Tương tự như bộ
trộn vĩ mô, các vết rách (hình 8(a)) hoặc rãnh (hình 8(b) và
(c)) trên thành kênh có thể tạo ra sự tiến lên hỗn loạn.
Johnson và cộng sự [69] là những người đầu tiên điều tra hiện tượng này.
Trong công việc của họ, các rãnh được mài mòn ở thành dưới bằng
tia laser. Cấu trúc này cho phép dòng điện động học trộn với
vận tốc tương đối chậm là 300 µm s 1 Các bộ trộn siêu nhỏ này .
được chế tạo bằng phương pháp cắt bỏ laser excimer trên một tấm
polycarbonate (PC) được phủ poly ethylene terephthalate glycol
(PETG). Kênh trộn rộng 72 µm ở phía trên, rộng 28 µm ở phía
dưới và sâu 31 µm.
Chiều rộng của rãnh đã mài mòn là 14 µm và khoảng cách từ tâm
đến tâm giữa các rãnh là 35 µm. Chiều dài của khu vực chiếm bởi
các giếng từ ngã ba là 178 µm.
Gần như cùng lúc đó, Stroock và cộng sự đã điều tra hiệu
ứng này và công bố kết quả của họ trên tạp chí Science [70].
Hai mẫu rãnh khác nhau đã được xem xét (hình 8(b) và (c)). Cái
gọi là bộ trộn xương cá so le (hình 8(b)) có thể hoạt động tốt
ở phạm vi số Reynolds từ 1 đến 100. Khái niệm này có thể được
áp dụng cho dòng điện động học bằng cách thay đổi điện tích bề
mặt [71]. Hiệu ứng của sự tiến bộ hỗn loạn với kênh bị xé toạc
đã được điều tra bằng số bởi Wang và cộng sự [72]. Chiều dài,
chiều rộng và chiều sâu của các kênh lần lượt là 5 mm, 200 Pha
và 100 Pha. Vận tốc trung bình nằm trong khoảng từ 100 µm s 1
1 Các rãnh cũng. được mài mòn trên
R7
Machine Translated by Google
Đánh giá chuyên đề
một
( ) (b )
(đ ) e
( )
Hình 8. Sửa đổi kênh trộn để chuyển động hỗn loạn ở số Reynolds thấp: (a) gân nghiêng, (b) rãnh nghiêng [70, 71], (c) rãnh xương
cá so le [70, 71] và (d)–( f ) các mẫu để sửa đổi bề mặt trong máy trộn vi mô với các dòng điện động học [74].
chất nền PDMS bằng laser [73]. Trộn điện động học [74] chỉ với một
sửa đổi bề mặt theo khuôn mẫu cũng có thể tăng cường trộn (hình 8(d)
và ( f )). Với cường độ trường từ 70– 555 V cm 1 dọc theo vi kênh dài
1,8 mm, Biddiss và cộng sự đã báo cáo hiệu quả trộn được cải thiện từ
22– 68% ở các số Peclet nằm trong khoảng từ 190 đến 1500. Có thể tìm
thấy khái niệm biến đổi bề mặt trong bài báo của Hau et al [75].
Kim và cộng sự [76] đã cải thiện thiết kế của Stroock và cộng sự
[70] với các rào cản nhúng song song với hướng dòng chảy. Kênh trộn
của thiết kế này có chiều rộng 240 µm, chiều sâu 60 µm và chiều dài
21 mm. Các thanh chắn có tiết diện 40 µm × 30 µm. Rào cản nhúng này
thay đổi mô hình trộn elip ban đầu [70] thành mô hình hypebol [76].
Một phiên bản thu nhỏ của một máy trộn thông thường với
phần tử xoắn ốc đã được báo cáo bởi Bertsch et al [77]. Bộ trộn tĩnh
thông thường này với các phần tử xoắn ốc còn được gọi là
máy trộn tĩnh Kenics [78]. Khái niệm này đã thay đổi bề mặt bên trong
ba chiều của kênh trộn hình trụ.
Hai thiết kế đã được báo cáo cho loại máy trộn này. Thiết kế đầu tiên
được hình thành bởi bốn yếu tố trộn, được làm bằng 24 thanh hình chữ
nhật được đặt ở 45 . Bốn yếu tố trộn được sắp xếp ở 45 trong kênh.
Thiết kế thứ hai bao gồm các phần tử xoắn ốc thuận tay phải và thuận
tay trái chứa sáu cấu trúc xoắn ốc nhỏ. Máy trộn vi mô được chế tạo
bằng kỹ thuật chụp ảnh siêu nhỏ âm thanh nổi, tạo nên cấu trúc phức
tạp theo từng lớp. Bảng 4 tóm tắt các thông số quan trọng nhất của
các máy trộn tiến bộ hỗn loạn ở trên.
2.5. máy trộn nhỏ giọt
Một giải pháp khác để giảm đường trộn là tạo thành các giọt chất lỏng
hỗn hợp. Chuyển động của một giọt tạo ra một trường dòng chảy bên
trong và làm cho việc trộn bên trong giọt có thể xảy ra. Nói chung,
các giọt nhỏ có thể được tạo ra và vận chuyển riêng lẻ bằng cách sử
dụng áp suất [79] hoặc các hiệu ứng mao dẫn như mao dẫn nhiệt [80] và
thấm điện [81].
Hơn nữa, các giọt nhỏ có thể được tạo ra do sự khác biệt lớn của các
lực bề mặt trong một kênh nhỏ với nhiều pha không thể trộn lẫn như
dầu/nước hoặc nước/khí [82].
Hosokawa và cộng sự [79] đã báo cáo về máy trộn vi giọt sớm nhất,
được chế tạo trong PDMS và được bao phủ bởi một tấm PMMA. Ý tưởng này
sử dụng một lỗ thông hơi vi mao quản kỵ nước, nối hai giọt ban đầu.
R8
( )
c
f
( )
Bằng cách đơn giản hóa phương trình vận chuyển khối lượng và đưa
ra một hệ số phân tán hiệu quả cho một kênh hình chữ nhật, Handique
và Burns đã báo cáo một mô hình phân tích cho quá trình trộn giọt
được kích hoạt bởi mao dẫn nhiệt [80].
Bộ trộn vi thể dạng giọt cũng có thể được vận chuyển bằng cách
làm ướt bằng điện. Paik và cộng sự [81] đã báo cáo các sơ đồ pha trộn
khác nhau với khái niệm điện thấm. Các giọt có thể được hợp nhất và
chia nhỏ nhiều lần để tạo ra kiểu trộn.
Các giọt hợp nhất sau đó có thể được vận chuyển xung quanh bằng cách
sử dụng điện thấm.
Thiết kế micromixer dạng giọt khác sử dụng sự bất ổn định dòng
chảy giữa hai chất lỏng không thể trộn lẫn [82, 83]. Sử dụng chất lỏng
mang như dầu, các giọt mẫu nước được hình thành. Trong khi di chuyển
qua vi kênh, lực cắt giữa chất lỏng mang và mẫu đã đẩy nhanh quá trình
trộn trong giọt. Bảng 5 liệt kê một số thông số của máy trộn giọt trên.
3. Máy trộn hoạt động
3.1. nhiễu loạn trường áp suất
Sự xáo trộn trường áp suất đã được sử dụng trong một trong những hoạt động sớm nhất
micromixers. Deshmukh và cộng sự [84] đã báo cáo một máy trộn chữ T
bị nhiễu áp suất (hình 9(a)). Bộ trộn được tích hợp trong một hệ thống
vi lỏng, được chế tạo bằng silicon bằng DRIE. Một máy bơm siêu nhỏ
phẳng tích hợp dẫn động và dừng dòng chảy trong kênh trộn để chia
chất lỏng hỗn hợp thành các phân đoạn nối tiếp và làm cho quá trình
trộn không phụ thuộc vào đối lưu (hình 9(a)). Hiệu suất của bộ trộn
vi mô này sau đó đã được Deshmukh và cộng sự thảo luận trong bài báo
khác của họ [85]. Sự xáo trộn áp suất cũng có thể được tạo ra bởi một
máy bơm siêu nhỏ bên ngoài [86].
Một phương pháp thay thế khác đối với nhiễu loạn áp suất là tạo
ra vận tốc xung [87, 88] (hình 9(b)).
Glasgow và Aubry [87] đã trình diễn một T-mixer đơn giản và mô phỏng
của nó với một dòng chảy xung ở một số Reynolds nhỏ là 0,3. Bài báo
không giải thích thêm về việc tạo ra dòng xung. Trong công trình của
Niu và Lee [88], sự xáo trộn áp suất đã đạt được bằng cách giới thiệu
một hệ thống nguồn-sink được điều khiển bằng máy tính. Thiết kế này
một phần giống với thiết kế của Evans và cộng sự [67]. Hiệu suất của
quá trình trộn có liên quan đến tần số xung và số lượng đơn vị trộn.
Okkels và Tabeling đã báo cáo một mô hình khác về nhiễu loạn áp suất.
Machine Translated by Google

Đánh giá chuyên đề

một
( )
b
( )

GND

~
c
( )
đ
( )

Phong pha chê Phong pha chê

GND

~
e f
GND
( ) ( )

~ (g )

Hình 9. Bộ trộn vi mô hoạt động: (a) phân đoạn nối tiếp, (b) nhiễu loạn áp suất dọc theo kênh trộn, (c) bộ trộn vi mô tích hợp trong kênh trộn,
(d ) nhiễu loạn điện thủy động, (e) nhiễu loạn điện môi, (f ) nhiễu loạn điện động học trong buồng trộn và (g) nhiễu loạn điện động trong kênh
trộn.

Bảng 4. Máy trộn vi lượng tiến bộ hỗn loạn.

Chiều Kênh Vận tốc chiều

Đầu tiên rộng cao điển hình
(mm(µm)
tác giả tham khảo Loại năm kênh (µm) s 1 ) Re Thể dục Vật liệu

[57] Vương 2002 chướng ngại 300 100 0,17 0,25 51 không có

vật hình trụ

[58] Lâm 2003 Chướng ngại 10 100 20 0,2 200 thủy tinh silicon
vật hình trụ
[59] Mengeaud 2002 Hình chữ chi 100 48 1,3–40 0,26–267 130–4000 Mylar 104 6,2 COC 9000–
[60] Hồng 2004 2D Tesla 200 90 5 30– tinh 2000–(4 × 104)
104 PDMS
6–70 1–20
Silicon–thủy
0,1–2 200
10–

[61] Lưu 2000 con rắn 3D 300 150 350 2– 48 0,36 n/r n / r
PDMS
0,024
1–50
150,015–0,7
0,01 30000,0013–6,65
PDMS
[62] Vijayendran 2003 3D ngoằn ngoèo 1000 300 40 1–20 20–104 190–1500 2784
[63] Trần 2004 3D ngoằn ngoèo 100 70 n/r
[64] Công viên
2004 3D rắn 100 50 2000 n/
[66] Jen 2003 3D ngoằn ngoèo 500 300 r 0,6 không có

[67] Evans 1997 Nguồn–chìm 1500 × 600 100 15 0,1– thủy tinh silicon

[69] Johnson 2002 Tường hoa văn 72 31 50 0,01– PC-PETG

[70, 71] Stroock 2002 Vách hoa văn 200 70 0,09 PDMS
[72] [74] Vương 2003 Tường hoa văn 200 100 0,08– PDMS
[76] giá thầu 2004 Vách hoa văn 200 8 60 0,7 11,6 0,5 PDMS
Kim 2004 Vách hoa văn 240 PDMS

n/r: không báo cáo; n/a: không áp dụng.

Bảng 5. Máy trộn vi giọt nhỏ giọt.

Kênh Kênh
Đầu tiên
Gây xúc động mạnh Kích thước chiều rộng chiều cao
tác giả tham khảo loại năm giọt (nl) (µm) (µm) Vật liệu

[79] Hosokawa 1999 Điều khiển bằng áp lực 10 100 PDMS/PMMA 150
[81] Paik 2003 Điện nhúng 1600 2480 600–1000 kính
[82] Bài hát 2003 Nhiều giai đoạn 75–150 20–100 n/r PDMS

n/r: không báo cáo.

R9
Machine Translated by Google
Đánh giá chuyên đề
[89]. Tuy nhiên, phân tích chỉ tập trung vào mô hình trộn trong buồng.
Suzuki và Ho [90] đã báo cáo một máy trộn vi mô có dây dẫn tích
hợp. Các dây dẫn điện tạo ra một từ trường, từ đó làm di chuyển các
hạt từ tính có đường kính từ 1–10 µm. Sự xáo trộn gây ra bởi các hạt
từ tính giúp cải thiện đáng kể khả năng trộn. Sự xáo trộn cũng có thể
được tạo ra bởi một máy khuấy vi từ tính tích hợp như báo cáo của Lu
và cộng sự [91] (hình 9(c)). Máy khuấy vi gia công được đặt ở mặt phân
cách giữa hai chất lỏng trong máy trộn chữ T. Một từ trường bên ngoài
điều khiển máy khuấy ở tốc độ từ 100 vòng / phút đến 600 vòng / phút.
3.2. nhiễu loạn điện động lực học
Cấu trúc của bộ trộn vi lượng với sự xáo trộn điện thủy động [92]
tương tự như khái niệm được báo cáo bởi Niu và Lee [88]. Thay vì các
nguồn áp suất, các điện cực được đặt dọc theo rãnh trộn (hình 9(d )).
Kênh trộn dài 30 mm, rộng 250 µm và sâu 250 µm. Một loạt các dây titan
được đặt theo hướng vuông góc với kênh trộn. Bằng cách thay đổi điện
áp và tần số trên các điện cực, sự hòa trộn tốt đã đạt được sau chưa
đầy 0,1 giây ở số Reynolds thấp là 0,02.
3.3. Rối loạn điện di
Điện di (DEP) là sự phân cực của một hạt so với môi trường xung quanh
nó trong một điện trường không đồng nhất. Hiệu ứng này làm cho hạt di
chuyển đến và đi từ một điện cực. Deval và cộng sự [93] và Lee và cộng
sự [94] đã báo cáo về một máy trộn vi lượng điện di. Sự chuyển động
hỗn loạn được tạo ra bởi các hạt nhúng với sự kết hợp giữa truyền động
điện và biến đổi kênh hình học cục bộ (hình 9(e)).
3.4. rối loạn điện động học
Như đã đề cập ở trên, dòng điện động học có thể được sử dụng để vận
chuyển chất lỏng trong máy trộn siêu nhỏ như một giải pháp thay thế
cho dòng chảy điều khiển bằng áp suất. Jacobson và cộng sự [41] đã báo
cáo quá trình trộn được điều khiển bằng điện động học trong máy trộn
chữ T thông thường. Lettieri và cộng sự đã đề xuất việc sử dụng hiệu
ứng điện động học để làm xáo trộn dòng chảy do áp suất trong máy trộn
vi lượng [95]. Trong một trường hợp khác [96], dòng điện thẩm thấu dao
động trong buồng trộn là do điện áp xoay chiều gây ra. Dòng chảy do áp
suất điều khiển trở nên không ổn định trong buồng trộn (hình 9( f ))
hoặc trong kênh trộn (hình 9(g)).
Tang và cộng sự cũng sử dụng dòng điện động học để cải thiện quá
trình trộn [97]. Tương tự như phương pháp điều khiển áp suất trước
đây [84], việc bật hoặc tắt điện áp cung cấp cho dòng chảy sẽ tạo ra
các phân đoạn chất lỏng trong kênh trộn. Sơ đồ điều chế dòng chảy này
có khả năng bơm các phân đoạn chất lỏng ổn định và có thể tái tạo vào
các vi kênh ở tần số từ 0,01 Hz đến 1 Hz.
3.5. Rối loạn thủy động lực học
Hiệu ứng thủy động từ [98] đã được sử dụng trong máy trộn vi mô. Với
sự có mặt của từ trường bên ngoài, điện áp một chiều được áp dụng trên
các điện cực sẽ tạo ra lực Lorentz, từ đó tạo ra chuyển động trộn
trong buồng. Các
R10
Lực Lorentz có thể cuộn và gấp các chất lỏng trong buồng trộn.
Khái niệm này chỉ hoạt động với dung dịch điện phân. Máy trộn của Bau
và cộng sự [98] được chế tạo từ băng gốm đồng nung. Các điện cực được
in bằng một miếng dán vàng.
3.6. nhiễu loạn âm thanh
Thiết bị truyền động âm thanh được sử dụng để khuấy chất lỏng trong máy trộn vi mô.
Bằng chứng về khái niệm trộn âm đã được báo cáo bởi Moroney và cộng
sự [99] với thiết bị sóng tấm linh hoạt (FPW).
Zhu và Kim [100] đã đưa ra một phân tích về mô hình sóng
âm hội tụ trong buồng trộn.
Họ đã trình diễn một máy trộn vi âm thanh được chế tạo bằng silicon.
Buồng trộn có kích thước 1 mm × 1 mm × 10 µm. Một màng
oxit kẽm được đặt ở dưới cùng của buồng trộn. Rung động có thể được
kiểm soát bằng cách thay đổi tần số và điện áp của tín hiệu đầu vào.
Khái niệm về dòng âm thanh cảm ứng, hoặc dòng âm thanh, cũng được sử
dụng như một sơ đồ trộn tích cực [101]. Dòng âm thanh tập trung với
các mẫu điện cực khác nhau được sử dụng để trộn [102]. Bên cạnh thiết
kế tích hợp, việc khuấy ở tần số cao cũng có thể được thực hiện bằng
một máy bơm bên ngoài [103].
Trộn siêu âm có thể có vấn đề trong các ứng dụng phân tích sinh
học và hóa học. Lý do là sự gia tăng nhiệt độ do năng lượng âm thanh
gây ra. Nhiều chất lỏng sinh học rất nhạy cảm với nhiệt độ.
Hơn nữa, sóng siêu âm khoảng 50 kHz có hại cho các mẫu sinh học do có
thể tạo ra các lỗ hổng. Máy trộn vi âm thanh được báo cáo bởi Yasuda
[104] đã sử dụng sóng âm thanh tập trung lỏng lẻo để tạo ra các chuyển
động khuấy. Sóng được tạo ra bởi một màng mỏng oxit kẽm áp điện. Bộ
truyền động được điều khiển bởi một sóng hình sin có tần số tương ứng
với cộng hưởng ở chế độ độ dày (ví dụ: 240 MHz và 480 MHz) của màng
áp điện. Máy trộn hoạt động mà không có bất kỳ sự gia tăng nhiệt độ
đáng kể nào và có thể được sử dụng cho chất lỏng nhạy cảm với nhiệt
độ. Các thiết bị âm thanh khác để trộn nước và ethanol cũng như nước
và uranine đã được báo cáo bởi Yang và cộng sự [105, 106].
Liu và cộng sự [107, 108] đã sử dụng dòng âm thanh tạo ra xung
quanh bong bóng khí để trộn. Trong máy trộn này, các túi khí có đường
kính 500 µm và chiều sâu 500 µm được sử dụng để bẫy bọt khí. Dòng âm
thanh được tạo ra bởi trường được tạo bởi bộ truyền động PZT tích hợp.
Yaralioglu và cộng sự [109] cũng sử dụng dòng âm thanh để làm xáo trộn
dòng chảy trong máy trộn chữ Y thông thường. Trong khi kênh được làm
bằng PDMS, bộ truyền động âm thanh được tích hợp vào tấm wafer thạch
anh bao phủ.
Một lớp oxit kẽm dày 8 µm với các điện cực vàng đóng vai trò là bộ
truyền động.
3.7. nhiễu loạn nhiệt
Do hệ số khuếch tán phụ thuộc nhiều vào nhiệt độ nên năng lượng nhiệt
cũng có thể được sử dụng để tăng cường quá trình trộn [110, 111]. Mao
và cộng sự [110] đã tạo ra một gradient nhiệt độ tuyến tính trên một
số kênh song song để nghiên cứu sự phụ thuộc nhiệt độ của thuốc nhuộm
huỳnh quang. Cách tiếp cận này có thể có thể được sử dụng để trộn vi
mô. Thiết kế khác [111] sử dụng bong bóng nhiệt để tạo nhiễu loạn
trong kênh trộn. Bảng 6 so sánh các máy trộn vi lượng đang hoạt động
ở trên.
Machine Translated by Google

Đánh giá chuyên đề

1000000
[27]

Máy trộn chữ T song song thụ động

Máy trộn nối tiếp thụ động [29]

[30]
100000
Máy trộn phun thụ động [26]
Chất lỏng (Pe=1000Re)
Máy trộn hỗn loạn thụ động

máy trộn hoạt động

[60]
[104]
10000
[61]
[76]
[70] [62]
[107]
[96] [74] [101]
[92]
1000 [21]
[108]
[89]
[42]
[87] [103] [109] Khí (Pe=Re)
hạt
Pe
Số
[97] [23] [58] [59]
[32]
[31][44]
[91] [25] [94]
100 [46]
[53]

[57]
[35] [37]
[40]

[49] [51]
[72] [45] [50]
10 [69]
[63]

1
[66]

0,1 0,001 0,01 0,1 1 10 100 1000

số Reynolds Lại

Hình 10. Phạm vi hoạt động điển hình của máy trộn vi lượng. Số Reynolds biểu thị phạm vi lưu lượng trong kênh trộn, trong khi số Peclet biểu
thị tỷ lệ giữa đối lưu và khuếch tán. Phạm vi lưu lượng phổ biến trong các thiết bị vi lỏng là Re < 1. Các điểm dữ liệu được xác định dựa trên
dữ liệu hình học và dữ liệu vận tốc (tốc độ dòng chảy) được báo cáo. Nếu độ nhớt động học ν và hệ số khuếch tán D không xác định, các giá trị
đặc trưng cho chất lỏng ν = 1 × 10 6 m2 s 1 và D = 1 × 10 9 m2 s 1 được giả định. Hai đường đặc trưng Pe = 1000 Re và Pe = Re lần lượt cho
chất lỏng và chất khí được giải thích trong văn bản.

Bảng 6. Máy trộn vi lượng hoạt động.

Kênh Kênh Chiều rộng tiêu biểu

Đầu tiên Chiều cao Vận
(mmtốc
s Tần
1 ) số (µm)
(Hz) (µm)
tác giả tham khảo Năm Loạn Tái Pê đường phố Vật liệu

[85] Áp suất Deshmukh 2001 400 78 0,09 1 0,01 36 4.4 Silicon–thủy

tinh
[86] Phú Sĩ 2003 áp lực 150 150 0,9 100 0,13 133 17 PDMS
[87] Áp suất Glasgow 2003 200 120 2 0,3 0,3 400 0,03 n/a
[89] Okkels 2004 áp lực 200 26 1,6 0,85 0,04 321 0.11 PDMS 4
[90] suzuki 2002 áp lực 160 35 0,3 0,02 0,05 48 Silicon–

thủy
[91] Lữ 2002 áp lực 750 70 0,14 5 0,01 105 tinh n/a PDMS–
thủy
[92] El Moctar 2003 Điện thủy động 250 250 4,2 0,5 tinh 0,02 1050 0,03 n/a 0,02 25
[93] Deval 2002 Điện di 50 25 0,5 1 0,1 Si–SU8– thủy tinh
0,4 n/a
0,010,15
100 1050

20 PDMS–
[94] Lee 2001 Điện động học 200 25 0,5 thủy tinh 0,09 PDMS–
Gốm thủy tinh n/r
[96] lạ lùng 2001 Điện động học 1000 300 0,5 1 10

[97] đường 2002 Điện động học 500 35 1 0,17 0,04 509

[98] Bầu 2001 Magneto thủy 4700 1000 n/r n/r n/r n/r
động lực học
[99] Âm Thanh Moroney 1991 1000 400 1600 0,5 10 0,15 1050 20 Si–thủy tinh n/r n/r
[101] đầy rẫy 2000 âm thanh 1600 2000 2000
6000 1
n/r 12 800 n/r Si–thủy1,6
tinh
1600
n/r12,8
Si–
[104] Yasuda 2000 âm thanh 60 15 000 300
300 6,4 n/r thủy tinh 0,03 30 1,5 1500 n/r Si–
[106] Dương 2001 âm thanh 50 0,5 n/r PDMS– 0,86 300 thạch
thủyanh
tinh n/r
[107] Lưu 2002 âm thanh 5 1 n/r
[109] Yaralioglu 2004 Acoustic n/r

n/r: không báo cáo; n/a: không áp dụng.

R11
Machine Translated by Google

Đánh giá chuyên đề

1000000 20

Trộn thụ động ở Re cao [96]

100000
18 rối loạn áp lực

rối loạn điện động học

16 [86]
10000
Advection chiếm ưu thế

14
1000
hạt
Pe
Số

12
Khuếch tán chiếm ưu thế
100

Strohal
St
số
10

Nhiều luồng
10 Chất lỏng (Pe=1000Re) Khí (Pe=Re)
số 8

1
6

Trộn thụ động ở Re thấp

4
0,1 0,001 0,01 0,1 1 10 100 1000 [84,85]
[90]
số Reynolds Lại
2
[94]
Hình 11. Giản đồ Pe–Re . Máy trộn vi lượng thụ động hoặc hoạt [93][97][89]
động ở số Reynolds thấp và số Peclet thấp (góc dưới bên trái) 0 0,00 0,02 0,04 0,06 0,08 0,10 0,12 0,14 0,16
hoặc ở số Reynolds cao trong chế độ chuyển tiếp sang nhiễu loạn
số Reynolds Lại
(góc trên bên phải). Các điểm hoạt động của bộ trộn thụ động dựa
trên sự tiến bộ hỗn loạn và bộ trộn tích cực có thể được phân bố
Hình 12. Biểu đồ St–Re . Số Strohal biểu thị tỷ lệ giữa thời
xung quanh các đường đặc tính cho chất lỏng và khí cho một loạt
gian cư trú và khoảng thời gian xảy ra nhiễu loạn.
các số Reynolds. Bộ vi trộn cán màng thụ động với nhiều luồng
Dữ liệu chỉ ra rằng số Reynolds cao hơn (tốc độ dòng chảy cao)
thường có số Peclet nhỏ (Pe < 100). Trong phạm vi (Pe < 1000), bộ
yêu cầu số Strohal lớn hơn (tần số xáo trộn cao hơn).
trộn có thể được coi là dựa trên sự khuếch tán.

thường đại diện cho đường trộn, lớn hơn nhiều so với chiều cao
4. Thảo luận kênh, thường gần với giá trị của đường kính thủy lực. Hình 11
mô tả các đặc điểm quan trọng nhất của sơ đồ Pe–Re .
4.1. điều kiện hoạt động
Hình 12 mô tả số Strohal điển hình của các máy trộn vi mô
Các điều kiện hoạt động của máy trộn vi mô có thể được xác
đang hoạt động có nhiễu áp suất và nhiễu điện động học. Chúng
định bằng các số không thứ nguyên đặc trưng như số Reynolds
ta có thể quan sát rõ ràng rằng số Reynolds cao hơn đòi hỏi
Re và số Peclet Pe. Từ các định nghĩa (1) và (2), mối quan hệ
số Strohal cao hơn. Dòng chảy nhanh có thời gian lưu lại ngắn
giữa Pe và Re có thể được suy ra là
trong kênh trộn, do đó cần khoảng thời gian ngắn hơn hoặc tần
L ν
số nhiễu cao hơn để trộn hoàn toàn. Do tần số nhiễu phụ thuộc
Thể dục

= .
Lại đh Đ.
Đường kính thủy lực Dh và đường trộn L thường cùng bậc
nên có thể giả sử L/Dh ≈ 1.
Độ nhớt động học và hệ số khuếch tán của chất lỏng theo
thứ tự ν = 10 6 m2 s 1 và D = 10 9 m2 s 1
tương ứng. Do đó, dựa trên (6) mối quan hệ giữa số Peclet và
số Reynolds có thể được ước tính cho chất lỏng là Pe ≈ 1000
Re. Trên sơ đồ Pr–Re , quan hệ Pe = 1000Re biểu thị một đường
thẳng. Điểm hoạt động của các máy trộn vi lượng đối với chất
lỏng dự kiến sẽ nằm xung quanh đường này. Tương tự, đối với
các khí có độ nhớt động học điển hình và hệ số khuếch tán ν =
10 5 m2 s 1 và D = 10 5 m2 s
quanh đường Pe = Re.
Hình 10 mô tả các điểm hoạt động của bộ trộn được xem xét
trong bài báo này với hai đường đặc trưng cho chất khí và chất
lỏng. Các số Reynolds và Peclet được tính toán dựa trên các
giá trị điển hình của độ nhớt động học và hệ số khuếch tán
được đề cập ở trên, nếu không có thêm dữ liệu nào được cung
cấp trong công việc cụ thể.
Các điểm dữ liệu trong hình 10 cho thấy hai khu vực hoạt
động rõ ràng đối với chất lỏng và chất khí. Nhiều điểm nằm
trên đường Pe = 1000 Re , do tỷ lệ giữa đường trộn L và đường
kính thủy lực Dh lớn hơn nên trong hầu hết các trường hợp đều
bằng nhau. Trong một hệ thống vi lỏng phẳng, chiều rộng kênh,
(6)
vào động lực học của bộ truyền động bên ngoài, nên số Reynolds
hoặc tốc độ dòng chảy của bộ trộn phải được thiết kế để phù
hợp với tần số nhiễu nhất định.
,
4.2. phương pháp chế tạo
Một loạt các kỹ thuật chế tạo đã được sử dụng để chế tạo máy
trộn vi mô. Các kỹ thuật khác nhau có thể được phân loại là
vi cơ silicon và vi cơ polyme.
Hầu hết các máy trộn vi mô đầu tiên được làm bằng silicon.
Các kênh trộn được khắc ướt bằng KOH [21, 35, 45, 46, 51, 61]
1 , điểm vận hành có thể nằm
, hoặc khắc khô bằng phương pháp khắc ion phản ứng sâu (DRIE)
[27, 29, 32, 37, 47, 55, 58, 84] . Một nắp thủy tinh được liên
kết anốt trên đầu kênh cung cấp cả khả năng bịt kín và tiếp
cận quang học. Máy trộn vi lượng thụ động có thể được làm hoàn
toàn bằng thủy tinh [39–41]. Trong một số ứng dụng như trộn
các dòng điện động học, silicon không thể được sử dụng do tính
chất dẫn điện của nó. Hầu hết các máy trộn vi lượng tích cực
với bộ truyền động tích hợp được chế tạo bằng silicon do các
công nghệ đã được thiết lập [90, 99, 103, 106] chẳng hạn như
phún xạ kim loại và vật liệu áp điện.
Bên cạnh những lợi thế của một công nghệ đã được thiết
lập, các máy trộn vi mô dựa trên silicon tương đối đắt tiền
do bề mặt lớn cần thiết cho các vi kênh và

R12
Machine Translated by Google
thiết bị phòng sạch cần thiết. Hơn nữa, các thiết bị silicon không
phải lúc nào cũng tương thích về mặt hóa học và sinh hóa.
Công nghệ vi cơ polyme cung cấp chi phí chế tạo thấp hơn và chu
kỳ tạo mẫu nhanh hơn. Một cách tiếp cận đơn giản được thiết lập
bởi nhóm của Whitesides [112] tại Đại học Harvard gần đây đã được
lặp lại bởi nhiều nhóm khác [28, 44, 70, 71, 96, 97].
Phương pháp chi phí thấp này sử dụng mặt nạ in thạch bản được in
từ máy in laser có độ phân giải cao. Sau đó, mặt nạ này được sử
dụng cho quá trình quang khắc tiếp theo của điện trở âm màng dày
SU-8 trên một tấm wafer silicon. SU-8/tấm wafer silicon hoạt động
như một khuôn cho một chất đàn hồi như polydimethylsiloxane (PDMS).
Sau khi xử lý bề mặt trong plasma oxy, phần PDMS với các vi kênh
có thể được bao phủ bởi một tấm kính, cung cấp cả độ trong suốt
quang học và độ cứng cơ học cho thiết bị. Một số lớp PDMS có thể
được chế tạo theo cùng một cách và được liên kết trực tiếp để tạo
thành một cấu trúc ba chiều phức tạp [62–64, 76]. Để liên kết trực
tiếp, metanol được sử dụng để tự liên kết giữa các lớp PDMS. Do
đặc tính bịt kín của nó, PDMS cũng có thể được sử dụng làm lớp bám
dính giữa thủy tinh và silicon [42].
Điện trở màng dày SU-8 có thể được sử dụng trực tiếp để chế
tạo máy trộn vi mô. Các vi kênh SU-8 được hình thành trên đế
silicon hoặc thủy tinh [33, 93]. SU-8 có ưu điểm là vi cơ đơn
giản. Các cấu trúc có thể di chuyển như van siêu nhỏ [113] và kẹp
siêu nhỏ [114] đã được chế tạo với cái gọi là vi gia công bề mặt
polyme. Cách tiếp cận này chứng minh tính khả thi của việc tạo ra
một hệ thống vi lỏng phức tạp với các cấu trúc có thể di chuyển
được trong SU-8.
Các kênh trộn cũng được chế tạo bằng cách dập nóng với khuôn
cứng, có thể được vi gia công bằng silicon [69], thủy tinh hoặc
kim loại như niken [60]. Cách tiếp cận này được giới hạn trong
cấu trúc kênh hai chiều nhưng hứa hẹn một phương pháp đơn giản để
sản xuất hàng loạt. Tạo mẫu nhanh có thể đạt được bằng công nghệ
vi gia công laze của polyme mỏng và các tấm dính [25, 48]. Tuy
nhiên, độ phân giải của phương pháp này bị giới hạn bởi bước sóng
của tia laser.
4.3. kỹ thuật mô tả đặc tính
Mặc dù có rất nhiều công trình gần đây về máy trộn vi mô, nhưng
việc mô tả đặc tính của máy trộn vi mô vẫn còn là một thách thức.
Việc định lượng mức độ trộn là rất quan trọng để đánh giá hiệu
suất cũng như tối ưu hóa thiết kế của máy trộn vi mô.
Kỹ thuật định lượng phổ biến là sử dụng sự pha loãng của
thuốc nhuộm đánh dấu để xác định mức độ pha trộn. Để đo độ ồn
thấp, cần có thuốc nhuộm huỳnh quang và kính hiển vi tương ứng với
bộ lọc. Hình ảnh cường độ sau đó có thể được ghi lại và đánh giá.
Vì nồng độ của
thuốc nhuộm tỷ lệ thuận với cường độ của hình ảnh được ghi, tính
đồng nhất của hình ảnh tập trung có thể được định lượng bằng cách
xác định độ lệch chuẩn của các giá trị cường độ pixel [61, 70].
Trong một số trường hợp, nếu độ lệch chuẩn của các giá trị cường
độ không thể giải quyết được sự khác biệt giữa các vùng trong ảnh,
thì có thể sử dụng các hàm mật độ xác suất không gian (PDF) của
các cường độ được tích hợp trên các vùng hữu hạn để định lượng sự
pha trộn [96]. Hơn nữa, phổ công suất hai chiều của ảnh cường độ
cũng có thể được coi là một phương pháp định lượng khác [96, 88].
Các kỹ thuật trên là phương pháp thống kê, phụ thuộc vào
hướng của chất lỏng hỗn hợp so với
Đánh giá chuyên đề
hướng hình ảnh. Nếu hướng hình ảnh vuông góc với các lớp chất lỏng
như trong trường hợp máy trộn được báo cáo bởi Hinsmann và cộng sự
[24], thì hai lớp, ngay cả ở lối vào kênh, dường như được trộn lẫn
hoàn toàn. Trong những trường hợp như vậy, cần có một hệ thống
hình ảnh với kính hiển vi đồng tiêu để phân bố không gian ba chiều
của trường nồng độ [23, 42].
Một phương pháp định lượng khác là đo sản phẩm huỳnh quang
của phản ứng hóa học [21]. Cường độ của sản phẩm là thước đo trực
tiếp mức độ pha trộn. Thông thường, quy trình này là phản ứng axit–
bazơ với thuốc nhuộm có năng suất lượng tử huỳnh quang phụ thuộc
vào độ pH. Gần đây, Munson và Yager [48] đã báo cáo một khái niệm
mới về định lượng trộn. Phương pháp này dựa vào sự gia tăng cường
độ của fluorescein ở pH cơ bản. Trong phương pháp này, cả hai chất
lỏng đều được pha loãng với fluorescein. Chúng chỉ có các bộ đệm
khác nhau với các giá trị pH khác nhau. Sự tăng huỳnh quang trong
dung dịch axit ban đầu lấn át sự giảm nhẹ huỳnh quang của dung
dịch kia. Tổng huỳnh quang
tăng theo hệ số 2 và có thể hoạt động như một thước đo cho mức độ
pha trộn [48].
4.4. Ứng dụng của micromixer
Micromixers được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực phân tích hóa
học, sinh học và y tế. Hầu hết mọi xét nghiệm hóa học đều yêu cầu
trộn thuốc thử với mẫu.
Máy trộn T cơ bản đã được sử dụng trong công việc của Kamholz
et al [21] để đo nồng độ chất phân tích của dòng chảy liên tục.
Nồng độ của chất phân tích mục tiêu được đo bằng cường độ huỳnh
quang của vùng mà chất phân tích và chất chỉ thị huỳnh quang đã
khuếch tán xen kẽ [21, 23]. Máy trộn vi lượng do Hinsmann và cộng
sự báo cáo [24] đã được sử dụng để nghiên cứu các phản ứng hóa học
nhanh trong dung dịch với quang phổ hồng ngoại biến đổi Fourier
phân giải theo thời gian dừng (TR-FTIR). Wu và cộng sự [25] đã sử
dụng máy trộn Y để điều tra hành vi khuếch tán phi tuyến tính của
huỳnh quang. Máy trộn vi lượng có thể được sử dụng làm cảm biến
trong giám sát môi trường như phát hiện amoniac trong dung dịch
nước [32]. Thời gian trộn nhanh trong máy trộn vi mô mang lại lợi
ích cho phép đo động học phản ứng được giải quyết theo thời gian
bằng cách sử dụng cộng hưởng từ hạt nhân (NMR) [38]. Fluri và cộng
sự [39] kết hợp quá trình phân tách điện di mao quản (CE) với máy
trộn T như một lò phản ứng sau cột. Máy trộn T chạy bằng điện động
học đã được sử dụng trong [40] để thực hiện các thử nghiệm enzyme.
Thời gian trộn ngắn của máy trộn chéo với sự tập trung thủy động
lực làm cho virus có thể lây nhiễm nhanh vào tế bào [44]. Trộn
nhanh bằng máy trộn siêu nhỏ được sử dụng trong kỹ thuật đông
lạnh–làm nguội, rất hữu ích để giữ lại các chất trung gian siêu ổn
định được sinh ra trong các phản ứng hóa học hoặc sinh hóa nhanh
[58]. Trong [62], máy trộn siêu nhỏ được sử dụng để chuẩn bị mẫu
cho bộ cảm biến sinh học trên bề mặt.
Bên cạnh các ứng dụng cảm biến và phân tích như đã thảo luận
ở trên, máy trộn micom được sử dụng như một công cụ để phân tán
các chất lỏng không thể trộn lẫn và tạo thành các giọt siêu nhỏ [36].
Hơn nữa, máy trộn vi lượng hoạt động như một thiết bị phân tách
các hạt dựa trên các hệ số khuếch tán khác nhau của chúng [115,
116] hoặc như một bộ tạo gradient nồng độ [118–122].
R13
Machine Translated by Google
Đánh giá chuyên đề
5. Tóm tắt
Sự phát triển của micromixers đã được tiến triển nhanh chóng
trong những năm gần đây. Từ những thiết bị ban đầu làm bằng
silicon và thủy tinh, một số máy trộn vi lượng polyme đã
được chế tạo và thử nghiệm thành công. Do thiết kế đơn giản,
máy trộn vi lượng thụ động có nhiều ứng dụng nhất trong hóa
học phân tích. Trong khi máy trộn nhiều lớp song song thông
thường hoạt động tốt ở số Reynolds thấp và số Peclet thấp,
máy trộn vi mô dựa trên sự tiến bộ hỗn loạn có thể được
thiết kế để phù hợp với nhiều loại số Reynolds. Hòa âm tiến
hỗn loạn không phụ thuộc vào số Peclet. Bài đánh giá này đã
thảo luận về các thiết kế khác nhau của máy trộn vi lượng và
điều kiện hoạt động của chúng. Với xu hướng sử dụng các hệ
thống vi lỏng polyme, một bộ vi trộn thụ động đơn giản nhưng
hiệu quả là sự lựa chọn cho nhiều ứng dụng trong phân tích
hóa học và sinh hóa.
Người giới thiệu
[1] Nguyễn NT và Wereley ST 2002 Nguyên tắc cơ bản và
Các ứng dụng của Microfluidics (Boston: Artech House)
[2] Oosterbroek RE và van den Berg A 2003 Lab-on-a-Chip:
Hệ thống thu nhỏ để phân tích sinh học (hóa học) và
Tổng hợp (Amsterdam: Elsevier)
[3] Hệ thống vi mô Geschke O, Klank H và Telleman P 2004
Kỹ thuật thiết bị Lab-on-a-Chip tái bản lần 2 (Mới
York: Wiley)
[4] Nguyễn NT, Huang XY và Toh KC 2002 MEMS–
máy bơm siêu nhỏ : đánh giá ASME Trans.—J. Chất lỏng Eng. 124 384–
92
[5] Laser DJ và Santiago JG 2004 Đánh giá về máy bơm siêu nhỏ J.
Micromech. Microeng. 11 R35–64 [6] Woias P 2004 Micropumps-quá
khứ, tiến bộ và tương lai
triển vọng Cảm biến Thiết bị truyền động B tại báo chí
[7] Kakuta M, Bessoth FG và Manz A 2001 Microfabricated
thiết bị trộn chất lỏng và ứng dụng của chúng trong tổng hợp hóa
học Chem. Ghi âm 1 395–405 [8] Reyes DR và cộng sự 2002 Các hệ
thống phân tích tổng vi mô:
1. Giới thiệu, lý thuyết và công nghệ Anal. hóa học. 74 2623–36
[9] Auroux PA và cộng sự 2002 Hệ thống phân tích vi mô tổng thể:
2. Hoạt động chuẩn phân tích và ứng dụng Anal.
hóa học. 74 2637–52
[10] Vilkner T và cộng sự 2004 Hệ thống phân tích tổng vi mô. Diễn biến
gần đây Anal. hóa học. 76 3373–86 [11] Erbacher C et al 1999
Hướng tới các lò phản ứng hóa học dòng chảy liên tục tích hợp Mikrochim.
Acta 131 19–24 [12] Madou MJ 2002 Nguyên tắc cơ bản của chế tạo
vi mô: Khoa học thu nhỏ tái bản lần 2 (Boca Raton: Nhà xuất bản CRC)
[13] Einstein Một cuộc điều tra năm 1956 về lý thuyết về chuyển
động Brown (New York: Dover)
[14] Ottino JM 1990 Sự pha trộn, chuyển động hỗn loạn và nhiễu loạn Annu.
Rev. Chất lỏng Mech. 22 207–53 [15] Brodky RS 1975 Turbulence in
Mixing Operations (New York: Học thuật)
[16] Ottino JM 1989 Sự pha trộn của chất lỏng Sci. Là. Tháng Một 55–67
[17] Ottino JM 1989 Động học của Trộn: Kéo dài,
Sự hỗn loạn và Vận chuyển (Cambridge, New York: Cambridge
Báo chí trường Đại học)
[18] Cussler EL 1984 Truyền khối khuếch tán trong hệ thống chất lỏng
(New York: Nhà xuất bản Đại học Cambridge)
[19] Cunningham RE và William RJJ 1980 Sự khuếch tán trong khí và môi trường
xốp (New York: Plenum)
[20] Bird RB et al 2002 Hiện tượng vận chuyển (New York:
Wiley)
R14
[21] Kamholz AE et al 1999 Phân tích định lượng tương tác phân tử trong
kênh vi lỏng: Hậu môn cảm biến T.
hóa học. 71 5340–7
[22] Kamholz AE và Yager P 2002 Các định luật chia tỷ lệ khuếch tán phân tử
trong các kênh vi lỏng điều khiển bằng áp suất: sai lệch so với
các phép tính gần đúng một chiều của Einstein Cảm biến Thiết bị
truyền động B 82 117–21 [23] Ismagilov RF và cộng sự 2000 Chia tỷ
lệ lý thuyết và thực nghiệm định luật mở rộng khuếch tán ngang trong dòng
chảy tầng hai pha trong vi kênh Appl. vật lý.
Hãy để. 76 2376–78
[24] Hinsmann P và cộng sự 2001 Thiết kế, mô phỏng và ứng dụng thiết bị trộn
vi lượng mới cho quang phổ hồng ngoại phân giải thời gian của các
phản ứng hóa học trong dung dịch Lab on a Chip 1 16–21 [25] Wu Z,
Nguyen NT and Huang XY 2004 Trộn khuếch tán phi tuyến tính trong vi
kênh: lý thuyết và thí nghiệm J. Micromech. Microeng. 14 604–11 [26] Yi M và
Bau HH 2003 Động học của quá trình trộn do uốn cong trong vi ống dẫn
Int. J. Heat Fluid Flow 24 645–56 [27] Wong SH, Ward MCL và Wharton
CW 2004 Micro
Máy trộn T như một máy trộn siêu nhỏ trộn nhanh Cảm biến Bộ truyền
động B 100 365–85 [28] Lim DSW và cộng sự 2003 Sự hình thành động
của các mẫu hạt keo hình vòng trong hệ thống vi lỏng Appl. vật lý. Hãy để.
83 1145–7 [29] Bohm S et al Một máy trộn siêu nhỏ xoáy nhanh để
nghiên cứu các phản ứng hóa học tốc độ cao Technical Proc. Micro
¨
Total Analysis Systems
và cộngMicroTAS
sự 2003 2001
Điều (Monterey, CA, trộn
tra về sự pha USA) trong
25–7 [30]
một Wong SH
máy trộn vi lượng hình chữ thập với các phần tử trộn tĩnh để
nghiên cứu động học phản ứng Cảm biến Bộ truyền động B 95 414–24
[31] Gobby D, Angeli P và Gavriilidis A 2001 Đặc tính trộn của
máy trộn vi lỏng loại T J.
vi cơ. Microeng. 11 126–32
[32] Veenstra TT 1999 Phương pháp đặc trưng cho một
máy trộn khuếch tán áp dụng trong các hệ thống phân tích tiêm vi
dòng chảy J. Micromech. Microeng. 9 199–202
[33] Jackman RJ và cộng sự 2001 Hệ thống vi lỏng với tia cực tím trực tuyến
phát hiện được chế tạo trong epoxy có thể xác định
quang học J. Micromech. Microeng. 11 263–9 [34]
Mobius ¨ et al 1995
biến Một quylò
trong trình
phản được điều
ứng vi mô khiển bằng
hóa học cảm Đầu dò '95, 8th
Proc.
Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators (Stockholm, Thụy
Điển) trang 775–8 [35] Koch M et al 1999 Cải tiến kỹ thuật mô tả
đặc tính cho máy trộn vi mô J. Micromech. Microeng. 9 156–8 [36]
Haverkamp V và cộng sự 1999 Khả năng tiếp xúc của các máy trộn vi lượng đối
với các pha lỏng phân tán Fresenius' J. Anal.
hóa học. 364 617–24
[37] Bessoth FG, de Mello AJ và Manz A 1999 Cấu trúc vi mô để trộn dòng chảy
liên tục hiệu quả Anal. cộng đồng. 36 213–5
[38] Kakuta M và cộng sự 2003 NMR được giải quyết theo thời gian dựa trên
micromixer: các ứng dụng cho cấu trúc protein ubiquitin Hậu môn.
hóa học. 75 956–60
[39] Fluri K và cộng sự 1996 Thiết bị điện di mao quản tích hợp với lò phản
ứng sau cột hiệu quả trong thạch anh phẳng và chip thủy tinh Anal.
hóa học. 68 4285–90 [40] Hadd AG và cộng sự 1997 Thiết bị vi mạch
để biểu diễn
xét nghiệm enzyme Hậu môn. hóa học. 69 3407–12
[41] Jacobson SC, McKnight TE và Ramsey JM 1999
Các thiết bị vi lỏng để trộn song song và nối tiếp được điều
khiển bằng điện động học Hậu môn. hóa học. 71 4455–9 [42]
Knight JB, Vishwanath A, Brody JP và Austin RH 1998 Tập trung vào thủy động
lực học trên chip silicon: trộn nanolit trong micro giây Phys.
Mục sư Lett. 80
3863–6
[43] Jensen K 1998 Động học hóa học: hóa học nhỏ hơn, nhanh hơn
Tự nhiên 393 735–6
Machine Translated by Google
[44] Walker GM, Ozers MS và Beebe DJ 2004 Sự lây nhiễm tế bào trong
thiết bị vi lỏng bằng cách sử dụng độ dốc của vi-rút Cảm biến
Thiết bị truyền động B 98 347–55 [45] Branebjerg J và cộng sự
1996 Trộn nhanh bằng cán màng Proc.
MEMS'96, 9 IEEE Int. Hội thảo Hệ thống cơ điện
vi mô (San Diego, CA) trang 441–6 [46] Schwesinger N et al
1996 Một hệ thống vi lỏng mô-đun với bộ trộn vi mô tích hợp J. Micromech.
Microeng. 6 99–102 [47] Grey BL và cộng sự 1999 Các công nghệ
kết nối mới cho các hệ thống vi lỏng tích hợp Cảm biến Thiết bị
truyền động A 77 57–65
[48] Munson MS và Yager P 2004 Phương pháp quang học định lượng đơn
giản để theo dõi mức độ pha trộn được áp dụng cho máy trộn vi
lỏng mới Anal. Chim. Acta 507 63–71 [49] He B et al 2001 Máy
trộn thể tích picoliter cho vi lỏng
hệ thống phân tích Anal. hóa học. 73 1942–7
[50] Melin J et al 2004 Một mẫu chất lỏng phẳng và thụ động nhanh
micromixer Lab on a Chip 4 at press [51]
Miyake R et al 1993 Bộ trộn vi mô với khả năng khuếch tán nhanh Proc.
MEMS'93, 6th IEEE Int. Workshop Micro
Electromechanical System (San Diego, CA) trang 248–53 [52]
Miyake R và cộng sự 1997 Một hệ thống phân tích hóa học kiểu dòng chảy
nhỏ và có độ nhạy cao với vi-flowcell đo độ hấp thụ tích hợp
Proc. MEMS'97, 10 IEEE Int. Hội thảo Hệ thống cơ điện vi mô
(Nagoya, Nhật Bản) trang 102–7 [53] Larsen UD, Rong W và Telleman
P 1999 Thiết kế máy trộn vi lượng nhanh sử dụng CFD Proc. Đầu
dò'99, 10th Int.
Conf. on Solid-State Sensors and Actuators (Sendai, Japan)
trang 200–3 [54] Seidel RU et al 1999 Thiết bị trộn lực
mao dẫn làm mô-đun lấy mẫu cho phân tích hóa học Proc.
Đầu dò'99, 10th Int. Conf. trên Cảm biến và Bộ truyền động thể
rắn (Sendai, Nhật Bản) trang 438–41 [55] Voldman J, Grey ML và
Schmidt MA 2000 Một van/máy trộn chất lỏng tích hợp J. Microelectromech.
hệ thống. 9 295–302 [56] Nguyễn NT 2004 Mikrofluidik: Entwurf,
Herstellung und Charakterisierung (Stuttgart: Teubner Verlag)
[57] Wang H et al 2002 Tối ưu hóa cách bố trí chướng ngại vật cho
tăng cường trộn trong các vi kênh Smart Mater. cấu trúc. 11 662–
7 [58] Lin Y et al 2003 Máy trộn vi lỏng cực nhanh và
đóng băng-dập tắt thiết bị Anal. hóa học. 75 5381–6
[59] Mengeaud V, Josserand J và Girault HH 2002 Quá trình trộn trong
vi kênh ngoằn ngoèo: mô phỏng phần tử hữu hạn và nghiên cứu
quang học Anal. hóa học. 74 4279–86 [60] Hong CC, Choi JW
và Ahn CH 2004 Tiểu thuyết trên máy bay
máy trộn vi lỏng với cấu trúc tesla đã sửa đổi Lab on a Chip 4
109–13 [61] Liu RH et al 2000 Trộn thụ động trong vi kênh ngoằn
ngoèo ba chiều J. Microelectromech. hệ thống. 9 190–7
[62] Vijiayendran et al 2003 Đánh giá bộ trộn vi ba chiều trong bộ cảm
biến sinh học dựa trên bề mặt Langmuir 19
1824–28
[63] Chen H và Meiners JC 2004 Trộn cấu trúc liên kết trên chip
vi lỏng Appl. vật lý. Hãy để. 84 2193–5
[64] Park SJ và cộng sự 2004 Bộ vi trộn xoay thụ động ba chiều nhanh sử
dụng quy trình phân tách J. Micromech.
Microeng. 14 6–14
[65] Mizuno Y và Funakoshi M 2002 Trộn hỗn loạn do dòng chảy ba chiều
tuần hoàn không gian Fluid Dyn. độ phân giải 31 129–49 [66] Jen
CP và cộng sự 2003 Thiết kế và mô phỏng máy trộn vi mô với sự
tiến bộ hỗn loạn trong các vi kênh xoắn Lab trên Chip 3 77–81 [67] Evans
J, Liepmann D và Pisano AP 1997 Máy trộn nhiều lớp phẳng Proc.
MEMS'97, 10 IEEE Int. Hội thảo Hệ thống cơ điện vi mô (Nagoya,
Nhật Bản) trang 96–101
[68] Johnes S và Aref H 1988 Sự tiến bộ hỗn loạn trong các hệ thống
nguồn-sink xung Phys. Chất lỏng 31 469–85
Đánh giá chuyên đề
[69] Johnson TJ, Ross D và Locascio LE 2002 Hậu môn trộn vi
lỏng nhanh. hóa học. 74 45–51
[70] Stroock AD et al 2002 Bộ trộn hỗn loạn cho vi kênh
Khoa học 295 647–51
[71] Stroock AD và Whitesides GM 2003 Kiểm soát dòng chảy trong vi kênh
với điện tích bề mặt và địa hình theo khuôn mẫu Acc. hóa học.
độ phân giải 36 597–604
[72] Wang H và cộng sự 2003 Điều tra số lượng trộn trong vi kênh với
các rãnh có hoa văn J. Micromech.
Microeng. 13 801–8
[73] Lim D và cộng sự 2003 Chế tạo máy trộn vi lỏng và mạch máu nhân
tạo sử dụng phương pháp ghi trực tiếp bằng laser Nd:YAG
được bơm đi-ốt độ sáng cao Lab on a Chip 3 3 318–23 [74] Biddiss
E, Erickson D và Li D 2004 Điện tích bề mặt không đồng nhất tăng
cường micromixing cho dòng điện động Anal. hóa học. 76 3208–13 [75] Hau WI
et al 2003 Công nghệ hóa học bề mặt cho vi lỏng J. Micromech.
Microeng. 13 272–8 [76] Kim DS và cộng sự 2004 Máy trộn vi hỗn
loạn nhúng rào cản J. Micromech. Microeng. 14 798–805 [77] Bertsch A và
cộng sự 2001 Máy trộn vi mô tĩnh dựa trên hình học máy trộn công
nghiệp quy mô lớn Lab on a Chip 1 56–60 [78] Bertsch A và cộng sự 1998
Dòng chảy tầng trong máy trộn tĩnh với các phần tử xoắn ốc trực
tuyến tại http: //www.bakker.org/ cfmbook/lamstat.pdf [79] Hosokawa K,
Fujii T và Endo I 1999 Dựa trên giọt nước
bộ trộn nano/picoliter sử dụng lỗ thông hơi vi mao quản kỵ
nước Proc the IEEE International Workshop Micro
Electromechanical System (Piscataway, NJ, USA) trang 388–93
[80] Handique K và Burns MA 2001 Mô hình toán học của quá
trình trộn giọt trong vi kênh loại khe J. Micromech .
Microeng. 11 548–54
[81] Paik P, Pamula VK và Fair RB 2003 Máy trộn giọt nhanh cho các hệ
thống vi lỏng kỹ thuật số Lab on a Chip 3 253–9 [82] Song H và
cộng sự 2003 Thử nghiệm thử nghiệm quy mô trộn bằng chuyển động hỗn loạn
trong các giọt di chuyển qua các kênh vi lỏng ứng dụng vật lý.
Hãy để. 83 4664–6 [83] Tice JD, Lyon AD và Ismagilov RF 2003 Ảnh
hưởng của
độ nhớt khi hình thành giọt và trộn trong các kênh vi lỏng Hậu
môn. Chim. Acta 507 73–7
[84] Deshmukh AA, Liepmann D và Pisano AP 2000
Máy trộn vi lượng liên tục với máy bơm siêu nhỏ dạng xung
Thông báo kỹ thuật về cảm biến trạng thái rắn IEEE và
Xưởng truyền động (Đảo Hilton Head, SC) trang 73–6
[85] Deshmukh AA, Liepmann D và Pisano AP 2001
Đặc tính của hệ thống trộn, bơm và định giá vi mô Proc. Đầu
dò'01, 11th Int. Conf. về Cảm biến và Thiết bị truyền động thể
rắn (Munich, Đức) trang 779–82
[86] Fujii và cộng sự 2003 Một thiết bị vi lỏng cắm và chạy Lab trên Chip
3 193–7 [87] Glasgow I và Aubry N 2003 Tăng cường trộn vi lỏng
bằng xung thời gian Lab trên Chip 3 114–20 [88] Niu XZ và Lee YK 2003 Trộn
hỗn loạn không gian-thời gian hiệu quả trong vi kênh J. Micromech.
Microeng. 13 454–62
[89] Okkels F và Tabeling P 2004 Cộng hưởng không gian thời gian trong
việc trộn chất lỏng nhớt mở Phys. Mục sư Lett. 92 038301 [90]
Suzuki H và Ho CM 2002 Máy vi trộn hỗn loạn điều khiển bằng lực từ Proc.
MEMS'02, 15 IEEE Int. Workshop Micro Electromechanical System
(Las Vegas, Nevada) trang 40–3 [91] Lu LH, Ryu KS và Liu C 2002
Máy khuấy vi từ tính và mảng để trộn vi lỏng J. Microelectromech.
hệ thống. 11 462–
9 [92] El Moctar AO, Aubry N và Batton J 2003 Máy trộn vi chất
lỏng điện-thủy động Lab on a Chip 3 273–80 [93] Deval J,
Tabeling P và Ho CM 2002 Máy trộn hỗn loạn điện di Proc.
MEMS'02, 15 IEEE Int. Xưởng
R15
Machine Translated by Google
Đánh giá chuyên đề
Hệ thống cơ điện vi mô (Las Vegas, Nevada) trang 36–9 [94] Lee
YK và cộng sự 2001 Trộn hỗn loạn trong các dòng vi mô điều
khiển bằng áp suất và điện động học Proc. MEMS'01, 14 IEEE Int. Workshop
Micro Electromechanical System (Interlaken, Thụy Sĩ) trang 483–6
[95] Lettieri GL và cộng sự 2000 Hậu quả của việc đối lập dòng
điện động học và áp suất trong các vi mạch có hình dạng khác nhau
Proc. Hệ thống phân tích tổng vi mô (Enschede, NL) trang 351–4 [96] Oddy
MH, Santiago JG và Mikkelsen JC 2001
Micromixing mất ổn định điện động Hậu môn. hóa học. 73 5822–32
[97] Tang Z và cộng sự 2002 Kiểm soát dòng điện động học cho
điều chế thành phần trong vi kênh J. Micromech. Microeng. 12 870–7
[98] Bau HH, Zhong J và Yi M 2001 Bộ trộn thủy động từ tính (MHD) phút A
cảm biến Bộ truyền động B 79 207–15
[99] Moroney RM, White RM và Howe RT 1991
Siêu âm cảm ứng microtransport Proc. MEMS'91, 3th IEEE Int. Hội
thảo Hệ thống cơ điện vi mô (Nara, Nhật Bản) trang 277–82 [100]
Zhu X và Kim ES 1997 Máy trộn chất lỏng sóng âm Hệ thống vi cơ
điện tử (MEMS) Hiệp hội kỹ sư cơ khí, Hệ thống động lực và Bộ phận điều
khiển Hoa Kỳ (Ấn phẩm) DSC tập 62 ( ASME, Fairfield, NJ, USA)
trang 35–8 [101] Rife JC et al 2000 Máy bơm siêu âm không van thu
nhỏ và
máy trộn Cảm biến Thiết bị truyền động A 86
135–40 [102] Vivek V, Zeng Y và Kim ES 2000 Máy trộn vi sóng âm thanh mới
Proc. MEMS'00, 13 IEEE Int. Hội thảo Hệ thống cơ điện vi mô
(Miyazaci, Nhật Bản) trang 668–73 [103] Woias P, Hauser K và
Yacoub-George E 2000 Một bộ trộn vi lượng silicon hoạt động cho
các ứng dụng mTAS Micro Total Analysis Systems 2000 (Boston, MA) trang 277–
82 [104 ] Yasuda K 2000 Xử lý không phá hủy, không tiếp xúc
phương pháp cho vật liệu sinh học trong vi buồng bằng sóng siêu âm
Cảm biến Bộ truyền động B 64 128–35
[105] Yang Z và cộng sự 2000 Máy trộn vi thể hoạt động cho chất lỏng vi lỏng
các hệ thống sử dụng rung động siêu âm do chì-zirconate-titanate
(PZT) tạo ra Electrophoresis 21 116–9
[106] Yang Z và cộng sự 2001 Máy trộn vi lượng siêu âm cho hệ thống vi lỏng
Cảm biến Thiết bị truyền động A 93 266–72
R16
[107] Liu RH và cộng sự 2002 Phòng thí nghiệm vi trộn âm thanh do bong
bóng gây ra trên chip 2 151–7 [108] Liu RH và cộng sự 2003 Tăng
cường lai hóa bằng cách sử dụng phân luồng vi mô cavitation Anal. hóa học.
75 1911–7 [109] Yaralioglu GG et al 2004 Trộn siêu âm trong các
kênh vi lỏng sử dụng đầu dò tích hợp Anal. hóa học. 76 3694–8 [110] Mao H,
Yang T và Cremer PS 2002 Một thiết bị vi lỏng với gradient nhiệt
độ tuyến tính cho phép đo song song và tổ hợp J. Am. hóa học. Sóc.
124 4432–5 [111] Tsai JH và Lin L 2002 Bộ trộn vi lỏng chủ động và bộ lọc bọt
khí được dẫn động bởi bơm bong bóng nhiệt Cảm biến Thiết bị truyền
động A 97–98 665–71 [112] Duffy D, McDonald J, Schueller O và
Whitesides G 1998 Rapid tạo mẫu hệ thống vi lỏng trong
poly(dimethylsiloxane) Anal. hóa học. 70 4974–84
[113] Nguyen NT et al 2003 Micro checkvalve for integration into polymeric
microfluidic devices J. Micromech.
Microeng. 14 69–75
[114] Nguyen NT et al 2004 Một microgripper polymer với
bộ truyền động nhiệt tích hợp J. Micromech. Microeng. 14 969–74
[115] Brody JP và Yager P 1997 Chiết xuất dựa trên khuếch tán
trong thiết bị vi chế tạo Cảm biến Bộ truyền động A 58 13–8 [116] Weigl B và
Yager P 1999 Khoa học phát hiện và phân tách dựa trên khuếch tán
vi lỏng 283 346–7 [ 117] Hatch A et al 2001 Xét nghiệm miễn dịch khuếch tán
nhanh trong một
Cảm biến chữ T Nat. công nghệ sinh học. 19 461–5
[118] Burke BJ và Regnier FE 2003 Thử nghiệm enzyme dòng chảy dừng trên chip
bằng máy trộn vi chế tạo Anal. hóa học. 75 1786–91 [119] Dertinger
SKW et al 2001 Tạo gradient có hình dạng phức tạp bằng cách sử dụng
mạng vi lỏng Anal. hóa học. 73 1240–6 [120] Holden MA và cộng sự 2003 Tạo dãy
nồng độ cố định trong thiết bị vi lỏng Cảm biến Thiết bị truyền động
B 92 199–207
[121] Holden MA et al 2003 Chất pha loãng khuếch tán vi lỏng:
sự phồng lên của các vi kênh PDMS dưới dòng chảy điều khiển bằng
áp suất J. Micromech. Microeng. 13 412–8 [122] Yang M và cộng
sự 2002 Tạo gradient nồng độ bằng phân phối dòng có kiểm soát và trộn khuếch
tán trong chip vi lỏng Lab on a Chip 2 158–63