You are on page 1of 28

CHƯƠNG 4.

TRUYỀN DẪN HẠT TẢI


Carrier transport

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường

Trường Đại học Công nghệ - ĐHQGHN


Email: cuongnd@vnu.edu.vn

Ngày 21 tháng 12 năm 2022

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 1 / 28
NỘI DUNG

1 CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 2 / 28
Sự dẫn điện - Mô hình cổ điển của Drude

Sự trôi (drift) của điện tử trong vật dẫn dưới tác dụng của điện trường.
Sự dẫn điện bằng điện tử: sự dịch chuyển tự do của các điện tử (trong vùng dẫn), gần
giống với các hạt tự do.
Sự dẫn điện bằng lỗ trống: sự dịch chuyển của các điện tích dương trong vùng hóa trị.
Độ dẫn điện:
σ = enµe + epµh
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 3 / 28
Sự dẫn điện - Mô hình cổ điển của Drude

(b) Khi có điện trường ngoài Ex , xuất hiện


(a) Một electron dẫn điện di chuyển một cách
dòng trôi thực sự của điện tử dọc theo phương
ngẫu nhiên trong kim loại (với tốc độ trung
x. Chuyển động đó chồng chập với chuyển
bình u), bị tán xạ thường xuyên và ngẫu nhiên
động ngẫu nhiên của electron. Sau nhiều lần bị
bởi dao động nhiệt của các nguyên tử. Khi
tán xạ, các electron bị dịch chuyển một khoảng
không có điện trường ngoài, không có sự trôi
cách thực sự là ∆x, từ vị trí ban đầu của nó về
thực sự theo bất kỳ hướng nào.
phía cực dương.
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 4 / 28
Sự dẫn điện - Mô hình cổ điển của Drude

Vận tốc trôi:


N
1 X
vdx = vxi , với N ≈ 1028 m−3
N
i=1

Mật độ dòng điện theo phương x:


∆q enAvdx ∆t
Jx = = = envdx , với n là mật độ điện tử trong vật dẫn
A∆t A∆t
Điện trường ngoài phụ thuộc thời gian: E = E (x) → Jx (t) = envdx (t).
Trong kim loại, các điện tử hóa trị dễ dàng bứt ra khỏi liên kết và trở thành điện tử tự
do, tạo thành các đám mây (hay khí) điện tử. Các điện tử đó được gọi là điện tử dẫn, có
thể chuyển động dễ dàng dưới tác dụng của điện trường ngoài, tạo thành dòng điện Jx .

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 5 / 28
Sự trôi của hạt tải dưới tác dụng của điện trường - Độ linh động

Cho uxi là vận tốc theo phương x của điện tử thứ i ngay sau va chạm (tại thời điểm ti ).
Giả sử trong khoảng thời gian từ ti đến t, điện tử không chịu va chạm. Vận tốc của điện
tử tại thời điểm t là:
eEx
vxi = uxi + ∗ (t − ti )
me
Từ đó:
N
1 X eEx eEx
vdx = vxi = ∗ (t − ti ) = ∗ τ
N me me
i=1

Trong đó τ = (t − ti ) là thời gian tự do trung bình của N điện tử giữa các va chạm.
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 6 / 28
Độ linh động của hạt tải
Độ linh động trôi (drift mobility): µd = eτ /me∗ , từ đó:
vdx = µd Ex và Jx = enµd Ex
Độ dẫn:
σ = enµd
1/τ được gọi là tuần suất va chạm trung bình.
Trong chất bán dẫn, cả điện tử và lỗ trống đều tham gia và quá trình dẫn điện:
eτe eτh
µde = ∗ và µdh = ∗
me mh
σ = enµe + epµh
e 2 nτe e 2 pτh
σ= +
me∗ mh∗
Lưu ý: me∗ và mh∗ là khối lượng hiệu dụng của điện tử và lỗ trống trong vật liệu.
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 7 / 28
Điện trở suất của kim loại

Khi nhiệt độ tăng, các ion kim loại dao động càng mạnh,
khiến điện trở kim loại tăng. Ở nhiệt độ cao (>100 K),
điện trở suất của kim loại phụ thuộc nhiệt độ theo
phương trình:
ρ ≈ AT + B

Ở nhiệt độ thấp (<100 K), thời gian tự do trung bình τ


của điện tử dài hơn và phụ thuộc mạnh vào nhiệt độ,
dẫn đến điện trở suất của kim loại thấp hơn và điện trở
suất của kim loại là (theo quy tắc Matthiessen, tức
quy tắc cộng điện trở):

ρ = DT 5 + ρR

với ρR là điện trở suất dư, do sự tán xạ của các nguyên


tử tạp chất, khuyết tật trong tinh thể, hoặc biên hạt
tinh thể.
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 8 / 28
Độ dẫn điện của chất bán dẫn

Độ dẫn điện:
e 2 nτ
ρ−1
n = σn =
m∗
Nồng độ hạt tải và độ dẫn điện phụ thuộc vào nhiệt độ theo hàm mũ. Đối với chất bán
dẫn thuần:
e 2 nτ h Eg i
ρ−1
n = σ n = = constant × exp −
m∗ 2kT
Đối với chất bán dẫn pha tạp:

e 2 nτ h (E − E ) i
g F
ρ−1
n = σn = = constant × exp −
m∗ 2kT

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 9 / 28
Sự phụ thuộc vào nhiệt độ của nồng độ hạt tải
T < Ts : mật độ điện tử bị chi phối bởi sự
ion hóa của donor.
1 1/2  ∆E 
n= Nc Nd exp −
2 2kB T

Ts < T < Ti : nồng độ điện tử bằng nồng


độ donor Nd do tất cả donor đã bị ion
hóa.
T > Ti : số điện tử sinh ra do nhiệt vượt
quá số điện tử sinh ra từ quá trình ion hóa
donor, bán dẫn thể hiện giống như loại
thuần (dấu ∝ là dấu tỉ lệ thuận).
 Eg 
n ∝ T 3/2 exp −
2kB T
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 10 / 28
Sự phụ thuộc vào nhiệt độ của nồng độ hạt tải

Sự phụ thuộc vào nhiệt độ của nồng độ điện tử bên trong bán dẫn loại n.
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 11 / 28
Các cơ chế tán xạ điện tử - Quy tắc Matthiessen

Sự tán xạ của điện tử bởi dao động nhiệt của mạng tinh thể (dưới) và tương tác Coulomb với
các nguyên tử tạp chất đã ion hóa (trên).
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 12 / 28
Các cơ chế tán xạ điện tử - Quy tắc Matthiessen

Thời gian tương ứng giữa hai lần tán xạ liên tiếp là τT và τI . Xác suất tán xạ tương ứng
là 1/τT và 1/τI . Vì vậy, với τ là thời gian tán xạ hiệu dụng, ta có hệ thức về tổng xác
suất tán xạ:
1 1 1
= +
τ τT τI
Do µd = eτ /me , µL = eτT /me và µI = eτI /me nên:
1 1 1
= +
µd µL µI

Quy tắc Matthiessen:


1 1 1
ρ= = + hay ρ = ρT + ρI
enµd enµL enµI

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 13 / 28
Sự phụ thuộc vào nhiệt độ của độ linh động

Độ linh động giới hạn bởi sự tán xạ do dao động của mạng tinh
thể:
µL ∝ T −3/2 , dấu ∝ là dấu tỉ lệ thuận

Độ linh động giới hạn bởi sự tán xạ trên nguyên tử tạp chất đã
ion hóa với nồng độ NI :

T 3/2
µI ∝
NI
Tán xạ của điện tử bởi nguyên
Theo quy tắc Matthiessen:
tử tạp chất đã ion hóa với thế
1 1 1 năng Coulomb:
= +
µe µI µL
e2
|PE | =
Ở nhiệt độ thấp, µI chiếm ưu thế, còn ở nhiệt độ cao thì µL chiếm 4πε0 εr r
ưu thế.
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 14 / 28
Sự phụ thuộc vào nhiệt độ của độ linh động

Sự phụ thuộc vào nhiệt độ của độ linh động trôi bên trong bán dẫn Si và Ge loại n.

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 15 / 28
Sự phụ thuộc vào nồng độ dopant của độ linh động

Sự phụ thuộc vào nồng độ dopant của độ linh động trôi đối với điện tử và lỗ trống bên trong
bán dẫn Si ở 300 K.
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 16 / 28
Sự phụ thuộc vào nhiệt độ của độ dẫn điện

Sự phụ thuộc vào nhiệt độ của độ dẫn điện bên trong bán dẫn loại n.
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 17 / 28
Sự khuếch tán của hạt tải trong chất bán dẫn

Hạt tải có xu hướng khuếch tán từ nơi có nồng độ cao sang nơi có nồng độ thấp. Ở Hình (b),
tại tọa độ x0 , số điện tử đi sang bên phải nhiều hơn số điện tử đi sang bên trái.
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 18 / 28
Sự khuếch tán của hạt tải trong chất bán dẫn
Mật độ dòng điện do sự khuếch tán J = QΓ với Γ là mật độ dòng hạt và Q là điện tích
của hạt tải (−e đối với điện tử và +e đối với lỗ trống):
∆N
Γ= với ∆N là số hạt qua tiết diện A trong thời gian ∆t
A∆t
Đối với điện tử (` và τ là quãng đường và thời gian tự do trung bình):
1
n1 A` − 12 n2 A` ` `2  dn 
Γe = 2 = − (n2 − n1 ) = −
Aτ 2τ 2τ dx
Định luật Fick thứ nhất:
dn
Γe = −De với De = `2 /2τ là hệ số khuếch tán
dx
Dòng điện do sự khuếch tán của điện tử:
dn
JD,e = −eΓe = eDe
dx
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 19 / 28
Sự khuếch tán của hạt tải trong chất bán dẫn

Dòng điện do sự khuếch tán của lỗ trống:


dp
JD,h = eΓh = −eDh
dx

Dòng toàn phần:


dn
Dòng điện tử: Je = enµe Ex + eDe
dx
dp
Dòng lỗ trống: Jh = enµh Ex − eDh
dx
Hệ thức Einstein:
De kT Dh kT
= và =
µe e µh e
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 20 / 28
Hiệu ứng Hall trong kim loại

Điện tử chuyển động theo chiều âm trục x và có


vận tốc trôi là vdx . Nó chịu tác dụng của lực
Lorentz:
F~ = q~v × B
~

Lực Lorentz kéo điện tử về phía chiều âm trục y ,


tạo nên sự tập trung của điện tích âm ở phía đáy
của mẫu và điện tích dương ở phía đỉnh của mẫu
(các ion dương, ví dụ Cu+ ). Sự tập trung điện tích
trái dấu ở 2 phía tạo nên Điện trường Hall EH và
hiệu điện thế VH giữa phía đỉnh và phía đáy của
mẫu. Ở trạng thái cân bằng:
1
eEH = evdx Bz → EH = Jx Bz
en
Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 21 / 28
Hiệu ứng Hall trong kim loại

Hệ số Hall:
Ey 1
RH = =−
Jx Bz en

Hiệu ứng Hall dùng để đo nồng độ hạt tải n (khi Bz đã biết) hoặc đo Bz (khi n đã biết),
với từ trường nhỏ nhất có thể là 10 nT.
Thông thường khó có thể đo được một cách chính xác giá trị điện thế nhỏ (để xác định
điện trường Ey ), nên trong các cảm biến Hall, khi cần xác định cùng một giá trị từ
trường Bz , thì cần sử dụng vật liệu có hệ số Hall RH lớn. Vì vậy bán dẫn thường được
dùng phổ biến hơn kim loại trong cảm biến Hall nhằm tăng độ nhạy.

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 22 / 28
Hiệu ứng Hall trong kim loại

Bảng: Hệ số Hall (RH ) và độ linh động Hall (µH = |σRH |) của một số kim loại

Kim loại Hóa trị RH (m3 A−1 s−1 ) RH (m3 A−1 s−1 ) µH = |σRH |
(thực nghiệm) ×10−11 (lý thuyết) ×10−11 (cm2 V−1 s−1 )
Na 1 -24.8 -24.6 50.8
K 1 -42.8 -47.0 57.9
Ag 1 -9.0 -10.7 53.9
Cu 1 -5.4 -7.4 31.6
Au 1 -7.2 -10.6 31.9
Mg 2 -8.3 -7.2 18.5
Al 3 -3.4 -3.5 12.6
Co 2 +36
Be 2 +24
Zn 2 3.3

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 23 / 28
Hiệu ứng Hall trong bán dẫn

Vận tốc trôi của điện tử:


µe µe
ve = Fth = eE
e e

Dòng điện tổng hợp theo trục y bằng 0:

Jy = Jh + Je = epvhy + envey = 0
→ pvhy = −nvey

Lực tác dụng theo phương y lên các hạt tải:

Fhy = eEy − evhx Bz và − Fey = eEy − evex Bz

Sử dụng Fhy = evhy /µh và −Fey = evey /µe

evhy evey
= Ey − µh Ex Bz và = Ey + µe Ex Bz
µh µe

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 24 / 28
Hiệu ứng Hall trong bán dẫn
Thay pvhy = −nvey :
pµh Ey − pµ2h Ex Bz = −nµe Ey − nµ2e Ex Bz
Hay
Ey (pµh + nµe ) = Bz Ex (pµ2h − nµ2e )
Dòng điện tổng hợp theo phương x:
Jx = epvhx + envex = (pµh + nµe )eEx
Do đó:
eEy (nµe + pµh )2 = Bz Jx (pµ2h − nµ2e )
Hệ số Hall RH = Ey /Jx Bz :

pµ2h − nµ2e p − nb 2
RH = = , với b = µe /µh
e(nµe + pµh )2 e(p + nb)2

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 25 / 28
Kết luận

Các hạt tải được truyền dẫn trong chất bán dẫn bằng 2 cơ chế: cơ chế trôi hay cuốn
(drift) bởi điện trường, và cơ chế khuếch tán (diffusion).
Hiệu ứng Hall là hệ quả của sự tương tác giữa từ trường và các hạt tải. Hiệu ứng Hall
được sử dụng để xác định loại hạt tải, nồng độ hạt tải, và trong cảm biến từ trường độ
nhạy cao.

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 26 / 28
Ví dụ
Ví dụ 1 - Hệ số Hall trong bán dẫn Si thuần
Tại nhiệt độ phòng, một tinh thể Si tinh khiết có nồng độ điện tử và lỗ trống là n = p = ni = 1.0 × 1010
cm−3 . Độ linh động trôi của điện tử và lỗ trống tương ứng là µe = 1350 cm2 V−1 s−1 và µh = 450
cm2 V−1 s−1 . Hãy tính hệ số Hall và so sánh kết quả với một kim loại điển hình.
Lời giải
Với các số liệu đã cho, ta có:
µe 1350
b= = =3
µh 450
Từ đó:
(1.0 × 1016 m−3 ) − (1.0 × 1016 m−3 )(3)2
RH =
(1.6 × 10−19 C)[1.0 × 1016 m−3 ) + (1.0 × 1016 m−3 )(3)]2
= −312 m3 A−1 s−1

Giá trị này lớn hơn 1 bậc so với của kim loại, vì vậy bán dẫn được sử dụng phổ biến hơn kim loại trong
các linh kiện sử dụng hiệu ứng Hall.

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 27 / 28
The End

Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 4. TRUYỀN DẪN HẠT TẢI Ngày 21 tháng 12 năm 2022 28 / 28

You might also like