KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ - QUÉT

(Scanning Electron Microscopy)

Kính hiển vi điện tử quét SEM tạo hình ảnh có độ phóng đại lớn (hàng
chục nghìn, hàng trăm nghìn lần), độ phân giải cao (nm).
CẤU TẠO
- Nguồn phát điện tử/ súng phóng điện tử: tạo ra điện tử dùng để
quan sát mẫu
- Đĩa anode: Đĩa kim loại nhiễm điện dương hút các electron để tạo
thành chùm tia

- Chùm tia điện tử.

- Hệ thống thấu kính từ: làm từ một cuộn dây mang điện và tạo ra lực
từ định hướng đường đi của chùm tia điện tử. Khi chúng ta cho
dòng điện chạy qua một cuộn dây, trung tâm sẽ chứa một lực mạnh
gọi là lực từ. Lực này đẩy chùm tia điện tử vào trong. Thiết bị này
được gọi là thấu kính từ tính vì nó bẻ cong chùm electron giống như
cách thấu kính thủy tinh bẻ cong chùm ánh sáng. Kính hiển vi điện
tử quét thường có nhiều hơn một thấu kính.
- Buồng chứa mẫu:

+ Điện tử tán xạ ngược: là chùm điện tử ban đầu khi tương tác với
bề mặt mẫu bị bật ngược trở lại, do đó chúng thường có năng
lượng cao. Sự tán xạ này phụ thuộc rất nhiều vào thành phần hóa
học ở bề mặt mẫu, do đó ảnh điện tử tán xạ ngược rất hữu ích
cho phân tích về độ tương phản thành phần hóa học.
+ Điện tử thứ cấp (Secondary electrons): Chùm điện tử thứ cấp có
năng lượng thấp (thường nhỏ hơn 50 eV) phản xạ ra khỏi mẫu
vật khi chiếu chùm electron vào mẫu vật.
+ Máy dò điện tử thứ cấp: hút các electron bật ra khỏi mẫu và biến
chúng thành dòng điện. Các electron thoát ra khỏi mẫu bị hút bởi
máy dò, biến thành dòng điện được đo bằng máy tính. Sau đó
biến dòng điện thành hình ảnh trên màn hình.
+ Bàn để mẫu vật: dùng để đặt mẫu vật lên.
- Hệ thống hình ảnh: Máy tính: Đo dòng điện từ máy dò và biến nó
thành hình ảnh trên màn hình. Hình ảnh được tạo ra bằng cách:
Chùm tia điện tử di chuyển theo đường ngang tới lui trên mẫu. Mỗi
dòng là một chuỗi các bước. Tùy thuộc vào chiều cao và hình dạng
 của mẫu ở mỗi bước chúng ta có các chấm đen, xám hoặc trắng
tạo nên hình ảnh trên màn hình. Màu đen xảy ra khi không có
electron chạm vào máy dò. Màu trắng là khi tất cả các electron
chạm vào máy dò. Màu xám là 1 phần trong số các electron chạm
vào máy dò.

- Bộ điều khiển: gồm núm, cần điều khiển, bi theo dõi và bàn phím
được sử dụng để di chuyển mẫu và điều khiển kính hiển vi để đạt
được hình ảnh rõ nhất.
Ảnh SEM chụp bề mặt màng mỏng ZnO (chế tạo bởi Khoa Vật lý, Đại
học Khoa học Tự nhiên Hà Nội) ở các độ phóng đại khác nhau: (a)
5000 lần, (b) 25000 lần, (c) 100000 lần và (d) 200000 lần chụp trên
thiết bị FEI Nova Nanolab200 tại Glasgow, UK.

Tài liệu tham khảo

Savile Bradbury, David C. Joy, Brian J. Ford. (2024) scanning electron
microscope. Truy xuất từ
https://www.britannica.com/technology/field-emission-microscope
Các Loại Kính Hiển Vi Thông Dụng (2021). Truy xuất từ
https://mstek.vn/kinh-hien-vi-dien-tu-quet-sem-la-gi/

Nguyên lý hoạt động của kính hiển vi điện tử quét (SEM) (2023). Truy
xuất từ https://mstek.vn/kinh-hien-vi-dien-tu-quet-sem-la-gi/

How does an sem work?(n.d). Truy xuất từ https://myscope-

explore.org/2_5_magneticlens.html