Auger Electron Spectroscopy AES

BÁO CÁO SEMINAR

MÔN: QUANG PHỔ ỨNG DỤNG

Học viên: Tô Lâm Viễn Khoa

Khóa 19

AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY (AES)

Phổ điện tử Auger (AES) là phổ dùng để nghiên cứu thành phần cấu tạo và
định lượng các chất ở bề mặt với độ nhạy rất cao với lớp bề mặt khoảng 0.5 -10
nm.

1. LỊCH SỬ AES:
• 1923, Pierre Auger phát hiện ra phổ điện tử. Phổ này được đặt theo tên của
ông.
• 1953, J.J.Lander thu được phổ điện tử Auger (AES) trong lúc nghiên cứu về
phổ điện tử thứ cấp.
• 1967, Larry Harri bắt đầu ứng dụng phổ điện tử Auger để nghiên cứu bề
mặt. Sau 1970, AES còn được dùng trong nghiên cứu chế tạo màng mỏng nano.

2. CƠ SỞ LÝ THUYẾT:
Dựa trên thuyết electron theo mô hình nguyên tử Bohr:
• Một nguyên tử được cấu tạo gồm hạt nhân và các electron xung quanh. Các
electron này được phân bố ở nhiều mức năng lượng khác nhau, trong đó lớp K
được gọi là lớp cơ bản.
• Dùng một chùm electron bên ngoài bắn vào nguyên tử sẽ làm cho các điện
tử ở lớp K (hoặc các lớp khác) bị bứt ra khỏi nguyên tử, tạo thành các electron
thứ cấp. Vị trí của electron ở các lớp này sẽ chỉ còn lại lỗ trống.
• Các điện tử ở các mức có năng lượng cao hơn sẽ nhảy xuống lấp vào các lỗ
trống đó. Quá trình này bức xạ ra tia X.
• Tuy nhiên, không phải tia X nào phát ra cũng thoát ra ngoài được. Một số
điện tử khi nhảy xuống mức thấp hơn phát xạ ra năng lượng dùng để kích thích
các điện tử ở các lớp ngoài. Nếu mức năng lượng này đủ lớp hơn công thoát cả
Auger Electron Spectroscopy AES

các điện tử lớp ngoài này thì nó sẽ thoát ra khỏi nguyên tử. Đây chính là các điện
tử Auger.

Hình 1. a. Phát xạ tia X-ray. b. Điện tử Auger thoát ra.

• Mỗi một mức năng lượng của 1 nguyên tố có một công thoát khác nhau, do
vậy các điện tử Auger thoát ra sẽ mang theo những năng lượng khác nhau. Đo
các thông tin về năng lượng điện tử Auger sẽ cho chúng ta biết được thành phần
cấu tạo của mẫu.

Hình 2. Sơ đồ dịch chuyển của các điện tử trong nguyên tử Al

khi có chùm điện tử kích thích chiếu vào.

3. PHƯƠNG PHÁP ĐO:

Cấu tạo chính của AES gồm các thành phần:
• Bộ phận phát dòng electron (súng điện tử)
• Bộ phận gia tốc electron
• Thấu kính từ
• Detector và máy tính
a.Bộ phận phát dòng electron:
Tác dụng: phát ra chùm điện tử bay đến kích thích mẫu.
Cấu tạo:
Auger Electron Spectroscopy AES

Hình 3. Cấu tạo súng bắn electron

• Một dây tóc được nung nóng đặt trong chân không làm điện tử phát ra
ngoài.
• Một điện cực Wehnett có tác dụng tăng tốc và định hướng chuyển động của
chùm tia điện tử theo một phương nhất định.
b.Bộ phận gia tốc electron:
c.Thấu kính từ:
Tác dụng: định hướng cho chùm electron sinh ra từ súng điện tử.
Cấu tạo: là một nam châm điện có cấu trúc là một cuộn dây cuốn trên lõi làm
bằng vật liệu từ mềm. Điện tử sẽ chạy qua một khe từ nằm ở giữa. Khi đó, cuộn
dây đúng vai trò như một thấu kính. Tiêu cự thấu kính này được điều chỉnh thông
qua điều chỉnh cường độ dòng điện chạy qua cuộn dây, sao cho chùm điện tử đi
qua có độ lệch thích hợp.
d.Detector:
Tác dụng: ghi nhận năng lượng của các điện tử Auger. Các thông tin này sẽ
được dẫn đến máy tính, xử lý rồi xuất ra dạng phổ.
Auger Electron Spectroscopy AES

e.Hoạt động:

Súng điện tử

Chùm electron

chùm điện tử thứ cấp, điện tử

Bộ phận gia tốc truyền qua, điện tử phản xạ, tia X
+ thấu kính từ
Chùm electron kích thích

ĐIỆN TỬ AUGER

Mẫu

Detector và máy tính xử lý PHỔ

Hình 4. Sơ đồ mô tả hoạt động của AES.

Súng điện tử phát ra chùm điện tử. Chùm này sau khi được gia tốc và định
hướng với thấu kính từ thì bắn vào mẫu. Khi đó, tại mẫu sẽ có những hiện tượng
như chùm điện tử truyền qua, chùm điện tử phản xạ cùng lúc đó sẽ sinh ra chùm
điện tử thứ cấp, tia X và điện tử Auger.

Hình 5. Sơ đồ mô tả một máy đo AES

Điện tử Auger được dẫn qua hệ thống từ trường để đến detector. Detector ghi
nhận các dữ liệu về năng lượng của chùm điện tử Auger ở dạng động năng, gửi
đến máy tính để xử lý. Trên máy tính sẽ hiện ra phổ năng lượng của chùm điện tử
này.
Auger Electron Spectroscopy AES

Do điện tử Auger thường nằm ở các lớp ngoài nên phương pháp này dùng để
phân tích ở lớp bề mặt thì rất tốt và nhạy. Thông thường, độ sâu đạt đến có thể ở
mức 1nm.
Bề mặt mẫu mỗi lần phân tích nhỏ nhất có thể đạt đến vài nm.

4. PHÂN TÍCH PHỔ:

• Phổ Auger có 2 trục: trục ngang là năng lượng điện tử Auger, trục dọc là số
lượng điện tử mang năng lượng tương ứng.
• Vị trí của đỉnh quang phổ Auger cho chúng ta biết các mức năng lượng của
chùm điện tử Auger. Do mỗi lớp điện tử sẽ có một mức năng lượng khác nhau
nên từ đây, ta có thể suy ra các điện tử này phát ra từ lớp nào của nguyên tố
nào. Từ đó ta sẽ biết được thành phần của mẫu.

Hình 6. Quang phổ Auger niken oxit.

• Mỗi nguyên tố khi ở trong các hợp chất hóa học khác nhau lại có những mức
năng lượng điện tử Auger khác nhau (thường là dịch chuyển một ít so với mức
chuẩn). Ghi nhận sự dịch chuyển này cũng giúp chúng ta xác định được thành
phần hóa học của mẫu.

5. ĐÁNH GIÁ:
a.Ứng dụng:
• Nghiên cứu bề mặt mẫu
• Phát hiện các nguyên tố ở mức định tính; xác định hàm lượng gần đúng có
trong mẫu.
• Cho biết thông tin hóa học, nồng độ nguyên tố có trong mẫu.
Auger Electron Spectroscopy AES

a.Ưu điểm:
• Có thể phát hiện tất cả các nguyên tố (trừ H và He do có 1 lớp năng lượng
duy nhất)
• Không phá hủy bề mặt mẫu
• Độ nhạy cao (0,1 ÷ 1%)
• Phân tích bề mặt với độ sâu từ 0,5 ÷ 1 nm.
• Phân tích mẫu có độ rộng lớn nhất là 50 x 10 mm.
b.Hạn chế:
• Mẫu phải đặt trong môi trường chân không cao.
• Phải chuẩn bị mẫu kĩ và làm sạch bề mặt mẫu.
• Cường độ chùm Auger rất yếu nên detector phải nhạy. Detector còn phải
được đặt vào sâu trong máy để tránh các chùm điện tử thứ cấp, tán xạ, phản xạ
có cường độ manh có thể phá hủy detector.