[재료공정실험 예비보고서]

<세라믹 Bulk 공정>

Subject : 재료공정실험
Prof : 이지훈 교수님
Major : 전자재료공학전공
Student ID : 2020116782
TEAM: 7조
Student Name : 박현민

[주제] 고상합성법을 이용한 In2O3 및 ITO Bulk 제조

*고상합성법이란? 여러 가지 조성을 가진 세라믹 분말을 합성할 때 일반적으로 각 조성

의 원소를 포함하는 산화물이나 탄산염 등의 분말을 배합하고 혼합한 후 고온에서 반응시키
는 방법이다.

조성 : In2O3, Sn doped In2O3 (ITO)

실험방법
(1) Weighing
(2) Milling
(3) Grinding
(4) Forming
(5) Sintering (atmosphere : Air)
[1] 세라믹 공정 순서(목적 및 설명)
1. 원료 분말
1-1) 조합 및 분쇄
조합이란 정제된 원료를 물과 유기물인 Binder, Lubricant 등을 섞은후 정해진
시간 동안 혼합하는 공정이다. 분쇄는 Ball-mill에서 행해지며, Balll-mill의 내부는
알루미늄 세라믹으로 코팅이 되어있다. 원하는 재질의 물성을 갖기 위해서는
분쇄된 원료의 입자크기, 크기 분포, 모양 등이 중요하다.

1-2) 조립(Granulation)
조립을 하는 방법 중 일반적으로 Spray Dryer을 사용하는 것이 가장 효과적이고
경제적이다. 평균적인 입자의 크기는 60~80㎛ 관리되고, Power Size Distribution
2-Band Type 이다.
*Spray Dryer에 대해서는 차후 실험노트에 기술

2. 성형
구형으로 만든 Powder를 일정한 형틀에 넣은 후, 압력을 가해 원하는 성형체를
만든다.

3. 하소
350-450℃의 전기로에서 산소를 주입하면서(혹은 대기중에서) 4시간 정도
하소를 시켜준다.

4. 소결
분말체를 적당한 형상으로 가압 성형한 것을 가열하면 서로 단단히 밀착하여 고
결하는 현상이다.
고체의 가루를 틀 속에 넣고 프레스로 적당히 눌러 단단하게 만든 다음 그 물질
의 녹는점에 가까운 온도로 가열했을 때 가루가 서로 접한 면에서 접합이 이루어지
거나 일부가 증착하여 서로 연결되어 한 덩어리로 된다. 이와 같은 방법으로 금속
제품을 만드는데, 원래 녹는점이 높아서 녹이기 어려운 텅스텐에 처음 사용되었다.
적당히 구멍이 있는 고체를 만들거나, 녹였을 때 혼합되지 않는 두 물질의 복합재
료(예를 들면 금속과 세라믹스)를 만드는 데 사용된다.

[2] 밀링의 종류 및 특징
*밀링이란?
원하는 입자 크기분포를 얻을 때, 보통 천연원료를 단순하게 거름하거나 분류하여 얻어질
수 없고 특별한 입자분쇄 단계가 필요하다. 이 단계가 바로 밀링이다. 밀링에서 분쇄기의 종
류나 분쇄조건에 따라서 원료분말의 입자크기, 입도분포, 입자형태 등이 달라진다. 밀링과정
에서 입자는 밀링매체나 다른 입자간의 접촉점에서 생기는 압축, 충격, 전단의 기계적 응력
을 받는다. 이 응력의 크기가 입자의 강도를 초과하면 탄성 또는 비탄성 변형을 유발하고
분쇄가 일어난다. 비중이 큰 매체가 작은 비중의 매체 비하여 더 빠르게 분쇄되고, 보통 분
쇄 시간이 길어지면 입자크기가 고르게 되는 경향이 있지만 이 경우 분쇄장치가 오염될 수
있다.

① Ball-milling(건식, 습식)

볼 밀은 분쇄 통을 회전하면 마찰력과 원심력이 작용해서 원통 속의 내용물이 어느 높이까

지 끌어올려지고, 다음에 중력으로 인해 내용물이 원통 밑바닥으로 떨어지고, 이러한 볼의
낙하에 의한 충격작용, 마찰작용으로 원료를 분쇄하는 방법이다. 볼밀의 회전속도는 마찰력
과 낙하충격을 적절하게 배분하며 분쇄 볼의 마찰력만으로 분쇄를 하게 되므로 볼의 마모가
심하고, 분쇄소요시간도 길어지게 된다.
장비 방식은 습식과 건식으로 분류되며 대부분 습식이지만 특성에 따라 건식사양에 적합하
게 제작도 가능하다.
-습식 : 분체와 희석제(액상)을 혼합한 상태에서 입자를 작게 만드는 것
-건식 : 분말(분체)상태에서 입자를 작게 만드는 것으로 원료를 충분하게 건조하지 않으
면 분쇄를 불가능하게 되고 생성 분말의 입도는 불균일함
② Attrition Mill
Attrition Mill(마찰 밀)은 1차 또는 2차 분쇄용으로 적합하며 매우 간단한 구조를 가지고
있다. 충격과 전단 작용이 동시에 일어나며 대부분의 분쇄매체는 불규칙하게 이동하기 때문
에 입자의 모양이 불규칙하다. 볼 밀보다 분쇄 속도가 빠르고 분쇄 매체의 크기가 작아지므
로 분쇄물과 접촉하는 표면적이 커지므로 분쇄효율이 높아진다. 또한 온도 및 입도의 조절
이 용이하고, 분쇄매체의 마모량이 적고 분쇄물의 오염이 적다.
Batch type과 Circulation type 두 종류가 있다.

③ Vibration Mill
Vibration Mill (진동 밀)은 기계 내부의 모터에 의한 진동 작용을 통해 통 안의 볼, 로드 등
의 진동매체와 원료간의 충돌, 전단 작용에 의해 원료가 분쇄되는 원리를 가진 분쇄기의 한
종류이다. 매체는 밀 전체에서 운동하며 충격을 반복하기 때문에 미분쇄역에서 분쇄속도가
크다. 건식 진동 밀에서는 미분이 용이하나 볼이나 벽에 코팅현상을 일으키므로 주의할 필
요가 있다.
④ Roller Mill
Roller Mill은 분쇄하고자 하는 물체를 2개의 회전체 사이에 공급하면 압축, 전단 및 마찰로
분쇄하는 분쇄기이다. 한쪽 롤 베어링에 강한 스프링을 장치하고 양쪽 롤의 간격을 조정하
여 단단한 물체가 들어왔을 때는 롤이 밀려나 기계가 파손되는 것을 방지하게 되어있다. 두
롤이 같은 속도로 회전하면 압축력 및 전단력이 주된 힘으로 작용한다. 일반적으로 이런 분
쇄기는 롤 표면이 톱니 모양 또는 양각 모양을 가지지만 광물 및 금속 광석에는 매끄러운
직면 롤을 사용하기도 한다. 에너지 효율이 좋고 입자크기가 균일하게 분포하며, 분진 발생
과 소음이 적은 장점이 있다.

[3] 하소의 정의 및 원리
정의 : 광석 원료 등을 고온으로 가열해서 화학적으로 결합해 있는 수분이나 유기
물질(이산화 탄소 등)과 같은 휘발성 또는 가열성 물질을 분해 제거하는 조작이다.

원리 : 공기 중에서 가열하여 휘발성 물질이나 열분해에 의해 발생하는 물질을 제

거하는 조작이다.
[4] 성형의 종류와 원리
정의 : 처리된 공급재료를 일정한 크기, 모양과 표면, 그리고 특정한 밀도와 미세
구조를 가진 생제품으로 만드는 것을 성형이라고 한다.
4-1) 일축가압성형
4-1-1) 건식 가압성형(dry pressing)
성형은 과립의 분쇄와 입자의 기계적인 재배치에 의한 최밀충진으로 이루어진다.
윤활제와 결합제는 이 재배치 과정을 도와주며, 결합제는 입자를 서로 결합시킨다.
건식 가압성형에 의해 과립 분말을 깨뜨리고 균일한 성형이 이루어지도록 일반적으
로 고압이 이용된다.
건식 가압상형으로 생산속도의 증가와 정밀한 공차를 얻을 수 있다. 이 방법으로
약 0.05cm(0.02in) 두께를 지닌 수 백만 개의 유전체가 정밀한 공차와 특별한 전기
적 물성을 갖도록 제조된다. 수 백만개의 전자용 기판, 패키지 및 다양한 소자들도
건식 가압성형으로 제조된다.
4-1-2) 습식 가압성형(wet pressing)
습식 가압성형은 원료로 10~15% 수분이 포함된 분말이 사용되며, 점토를 포함하
는 조성에 자주 이용된다. 가압 성형체는 보통 flash를 소지하며, 주의하여 다루지
않으면 변형될 수도 있다. 이러한 이유로 습식 가압성형은 자동화에는 적합하지 않
으며, 또한 치수 공차도 보통 2% 정도이다.

4-2) CIP (cold isostatic pressing)

냉간 등압성형기는 성형체를 상온에서 높은 유압을 모든 방향에서 같은 압력으
로 가하여 분말체를 성형하기 위한 기기이다. 습식과 건식 두 종류가 있으며, 습식
법은 다품종 소량생산 및 시험품 제작에 적합하고 건식법은 자동화가 용이하여 다
량 생산성이 우수하다

4-3)HIP(hot isostatic pressing)

HIP성형은 압분체를 진공상태의 용기에 넣어 가압 소결하는 방법으로 거의 최종
형상으로 만들 수 있다. 압력매체로는 보통 불활성가스인 Ar을 사용하고 있으며,
HIP는 소결목적으로 이용하기도 하지만 오히려 소결체를 완전 치밀하게 하거나 소
결체 내의 결함을 제거할 목적으로 더 많이 이용하고 있다. HIP의특징으로는 남아
있는 닫힌기공 및 미세균열의 제거하여 강도를 향상 시킨다. 또한 압력이 정수압의
형태로 가하여 지므로, 가압소결에서 볼 수 있는 미세구조의 방향성과 이에 따른
특성의 방향성을 피할 수 있다. 그리고 복잡한 형태의 제품을 균일하게 소결할 수
있고 양산이 가능하다는 장점이 있다.

[5] 소결의 종류와 원리

5-1) 소결(Sintering)
: 열을 가하여 성형체내 분말들을 합치는 공정으로 분말 성형체에 필요한 기계적 및 물
리적 성질을 부여하는 열처리 공정이다.
5-2) 소결의 종류
5-2-1) 고상 소결
소결온도에서 액상이 존재하지 않는 경우로 고상소결체에서는 입자들사이에 입계만 존재
한다. 거의 순수한 원료를 고온에서 처리하여 액상의 생성없이 소결시키는 방법으로 일
반적으로 액상소결체보다 온도강도가 높다.

5-2-2) 액상 소결
액상 소결은 2종류 이상의 성분을 포함한 분말 또는 성형체를 액상이 형성되는 조건에
서 소결하는 것인데 이 방법은 원료에 처음부터 불순물이 약간 함유되어있게 하거나 소
결조제를 원료에 첨가하여 대체로 낮은 온도에서도 액상이 쉽게 생성되도록 하는 방법이
며 일반적으로 온도 강도가 낮다. 자의 크기가 작을수록 모세관압이 증가하며, 이에 따라
높은 에너지를 가지게 되므로 큰 입자들보다 치밀화의 구동력이 더 크다.

5-2-3) 천이 액상 소결
액상소결에서 소결초기에는 액상이 존재하나. 소결이 진행됨에 따라 액상이 없어지고
고상만이 존재하는 상태에서 소결이 완료되는 방법이다.

5-2-4) 반응 소결
금속 규소가루를 아르곤 가스를 통과시키면서 소결한 후 질소가스를 통과시켜 질화규소
로 만드는 공법으로 완전 밀폐되는 가마를 이용한다
5-2-5) 등압 소결
성형체를 불황성기체를 압력매체로 하여 압력을 가하면서 고온으로 가열하여 소결시키는
방법이다.

5-3) 소결의 원리
소결의 구동력은 열역학적으로 시스템 전체의 표면 에너지를 줄이는 것이다. 벌크에 비해
계면에는 잉여에너지가 있으므로 소결 중 표면에너지는 입자들이 치밀화, 조대화되는 과정
에서 감소된다. 소결 공정상 변수에는 온도, 시간, 분위기, 소결 압력 등이 있다. 이번 실험
에서는 atmosphere 분위기로 진행이 된다. 입자가 소결되는 과정은 입자들이 서로 붙어서
목이 형성되는 초기 단계, 기공이 고립되기전까지 상대밀도가 약 93% 가량 되는 중기 단계,
그 이후를 말기 소결이라고 한다.