You are on page 1of 191

MKROYAPISAL GRNTLEME

&
TANI
PROF. DR. AD KARAGZ
KO
METALURJ & MALZEME MHENDSL
ERK
III. METALOGRAF
III.1. Metalografi Teknikleri
III.1.1. Numune Hazrlama Yntemi
III.1.2. Numune Hazrlama
III.1.3. Dalama ve Dalama Ayralar
III.1.4. Renkli Metalografi
III.1.5. Makro ve Mikro nceleme
ERK
IV. IIK MKROSKOBU
IV.1. Ik Mikroskobisinde Esaslar
IV.2. Donanm
IV.2.1. Objektif ve Okular
IV.2.2. Mercek Hatalar
IV.2.3. Aydnlatma
IV.3.Kontrast Oluumu ve Grntleme
IV.3.1. Aydnlk alan aydnlatmas ile kontrast
IV.3.2. Karanlk alan aydnlatmas ile kontrast
IV.3.3. Polarize k kontrast
IV.3.4. Faz kontrast yntemi
IV.3.5. Enterferans kontrast
ERK
V. TARAMA ELEKTRON MKROSKOBU
V.1. Elektron Mikroskobisinde Esaslar
V.2. Elektron-Numune Etkileimi
V.3. Optik Dzenek ve Mercek Hatalar
V.4. Donanm
V.5. Kontrast Oluumu
V.6. Elektronmetalografik Uygulamalar
V.6.1. Fraktografik Uygulamalar
V.6.2. Dier Uygulamalar
ERK
VI. GRNT ANALZ
VI.1. Grnt Analizinin Temelleri
VI.2. Grnt Analiz Yntemleri
VI.3. Otomatik Grnt Analiz Cihazlar
VI.4. Numune Alma ve Hazrlama
VI.5. Malzeme Biliminde Uygulamalar
Metalografi

Malzemelerin tm fiziksel, kimyasal, elektronik ve mekanik zellikleri, bileimlerinin
yansra i yaplar ile dorudan ilgilidir.

Bu nedenle, retimde kalite kontrol, yeni malzemelerin gelitirilmesi, dayankllk,
hasar ve kazalarn nedenini aratrma gibi olaylarla karlaldnda, malzemelerin i
yaps hakknda bilgi sahibi olmak gerekmektedir.

Metallerin mikroyapsn inceleyen bu bilimdalna METALOGRAF denir.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Numune Alma

Metalografik incelemede seilen numunenin bir deer tayabilmesi iin bu numunenin
gerek fiziksel zellik ve gerekse kimyasal bileim ynnden esas malzemeyi tam olarak
temsil etmesi gerekmektedir.

Metalografik inceleme iin numune alnmasnda belirli kurallar olmayp, baz genel
prensipler mevcuttur ve yerine gre kii zeka ve bilgisini kullanr.

Numunenin nereden alnaca saptandktan sonra en uygun bir kesici alet ile numune
kesilir. Bunlar testere, keski, torna, kesici ta, ekile krma ve oksiasetilen ile ergitme
olabilir. Baz hallerde bunlarn birka birden kullanlr. Burada dikkat edilecek nokta,
minimum yap deimesini salayacak yntemin seimidir.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kalplama

ncelenecek numuneler ayet kk veya biimsiz ekilli ise zmparalama ve parlatma
esnasnda elde tutmak glk yaratr. Bu durumda numuneler genellikle kalplanr.
Ayn amala bazen metal kelepeler de kullanlr. Tel, sa v.b numuneler kelepelere
tutturularak parlatma yaplabilir
ekil 3.1. a) Kalplanm numune, b) kelepelerle tutturulmu numune.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kalplama

Numuneyi kalplarken iki farkl yntemden biri uygulanabilir.

(1) Scakta ve basn altnda (compression)

(2) Soukta (cold moulding)
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kalplama
ekil 3.2. Eik kesiti alnan numunenin ince kenar
blgesinin incelenme yzeyi.
ekil 3.3. Bir numuneden alnan boyuna ve
enine kesit.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Numune Hazrlama
Parlatma
Numuneler kesildikten ve kalba alndktan sonra mikroskobik inceleme iin
parlatlmalar gerekir.
Parlatma ilemi, eitli parlatma kademeleri ierir.
Her kademede, bir evvelki kademede kullanlan andrclardan daha ince andrc
kullanlr ve bylece her kademenin numune yzeyinde yaratt deformasyon ve izik
minimuma indirilir.
Numunelerin parlatlmasndaki baar, parlatlacak malzemeye uygun yntem ve
andrcnn seimine baldr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Parlatma Aralar

eitli parlatma aralar aada belirtilmitir.

(1) Andrclar

(2) Kaba ve nihai parlatmada kullanlan andrclar
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Andrclar / Silisyum Karbr (SiC)

Sentetik andrc olup, kum ve kokdan elde edilir. Mohs sertlii 9,5 dir ve
hegzagonal yapdadr.

SiC taneleri hem toz, hem de kat veya kuma zerine bir balayc ile sabitlenerek
zmpara eklinde kullanlr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Andrclar / Zmpara Kad

Zmparalar SiC taneleri veya genellikle doal %55-75 Al2O3 (korindon) ve magnetit tozu
ihtiva ederler.

Bazen korindon yerine boksitin elektrikli frnda ilemlenmesinden elde edilen alumina
(Al2O3) da kullanlr.

800 veya 0000 (4/0) numara zmpara kad ok ince olduundan her zaman kullanlamaz.

Dier zmpara katlar da numunenin cinsine gre seilir.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Andrclar / Zmpara Kad


Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kaba & Nihai Parlatmada Kullanlan Andrclar

Kaba ve nihai parlatma iin genellikle AI2O3, Cr2O3, MgO, Fe2O3 veya elmas tozu gibi
andrclar kullanlr.

Bunlardan elmas tozu, macun veya sprey eklinde, dierleri ise toz veya damtk su ile
sspansiyon halinde kullanlr.

Parlatlan numune eer sudan etkileniyorsa bu durumda etilen, glikol, alkol, kerosen
veya gliserin kullanlr.

MgO, Mg, Al ve alamlarnn parlatlmasnda nihai parlatma kademesinde tavsiye
edilir.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kaba & Nihai Parlatmada Kullanlan Andrclar


Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kaba & Nihai Parlatmada Kullanlan Andrclar

Metalografi
Metalografi Teknikleri
Parlatma Diskleri

aplar 8 10 in olup, pirin, bronz veya sert plastikten yaplr. Genellikle birka tanesi
beraberce bir parlatma seti meydana getirirler.

Aluminyum, magnezyum ve alamlarnn parlatlmasnda aluminyumca zengin
alamlardan yaplm diskler kullanlr.

Parlatma disklerinin hzlar 150 350 devir/dak. arasnda deiir. Yksek devir, kaba
parlatma kademesinde kullanlr.

Disklerin zeri, parlatma kademesine ve numune karakteristiklerine gre sert uha,
flanel, naylon, poplin, koton kadife gibi parlatma kumalar ile kaplanr.

Parlatma kumalarnda aranlan zellikler, dokularnn sk ve homojen olmasdr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Mekanik Parlatma Teknii

Numunenin yzeyinde, numuneyi kestiimiz aletin izleri bulunur. Ayrca kesme
esnasnda numunenin yzeyi bir miktar deforme olmaktadr.
Numuneyi orjinal yap temsil ettiinden, toplam deformasyona uram yzey
tabakasnn ortadan kaldrlmas parlatmann amacdr. Bu i balca drt kademede
yaplr:
(1) Kaba zmparalama kademesi
(2) nce zmparalama kademesi
(3) Kaba parlatma kademesi
(4) Nihai parlatma kademesi
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kaba Zmparalama Kademesi

Kaba zmparalama kademesinin amac, bir sonraki zmparalama ve parlatma
kademeleri iin gerekli dz yzeyi elde etmektir.

Bu ilemde numune nce numune tana tutulur. Bylece numunedeki apaklar ve
numuneyi kesen aletin izleri ortadan kaldrlm olur.

Arkasndan, srayla 80 ve 150 no.lu zmpara ile zmparalanr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
nce Zmparalama Kademesi

Bu kademede 240, 320, 400, 600 no.lu zmparalar kulanlr.
Mekanik parlatmada numune elle tutulur ve zmpara kada fazla bastrlmadan
zmparalanr.
Bir zmparadan dierine geilecei zaman, bir nceki zmpara tanelerinin,
kendisinden daha ince taneli olan zmparaya gemesini nlemek asndan el ve
numune iyice ykanmaldr.
Bu kademede, atlak ve porozite ieren numunede bu blgelere yerleen zmpara
tanelerinin numuneden ykama ile uzaklatrlmas mmkn deildir.
Bu durumda numunenin ultrasonik temizleyicide temizlenmesi gerekir.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kaba & Nihai Parlatma Kademesi

Her iki kademede numune, parlatma disklerine tabi tutulur. Disklerin zeri parlatlacak
numune iin tavsiye edilen kumalarla kaplanr.
Kaba parlatma kademesinde genellikle adr bezi gibi tysz kumalar seilirken, nihai
parlatma kademesinde ksa tyl kumalar tercih edilir.
Genellikle bu kademede kullanlan andrclar srasyla x-alumina (15-0.3 m) ve
aluminadr (0,05 m). Her ikisi de damtk su ile sspansiyon eklinde kullanlr.
Numune parlatma diskine tutulur ve alumina solusyonu parlatma kumana tatbik edilir.
Burada dikkat edilecek nokta, parlatma kumann nem derecesidir. Minimum nem
miktar, numune parlatma diskinden uzaklatrldnda havada 1-5 saniye ierisinde
hemen kurumasna tekabl eder.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Otomatik Parlatma

Ksa zamanda, ok sayda numune parlatma gerektiren laboratuvarlarda parlatma
genellikle otomatik olarak yaplr.
Baz hallerde ise numunenin zellikleri nedeniyle parlatma ilemi elde yaplamaz ve
bu durumda otomatik parlatma cihazlarndan yararlanlr (rnein, radyoaktif
nmunelerin parlatlmas gibi).
Dier taraftan, kimyasal parlatma gibi zel ortamlarda parlatma gerektiren hallerde
yine otomatik parlatma cihazlarnn seiminde numune eidi ile i hacmi esas alnr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Elmasla Parlatma

Elmasn ok sert veya yumuak ve sert faz bir arada ieren (rnein; kalnt faz bulunan)
numunelerin parlatlmasnda kaba zmparalamadan sonra kullanlmas ksa zamanda ok
baarl neticeler vermektedir.
Bu tr numuneler normal yntemlerle parlatldnda parlatma sreci ok uzamakta ve bu
da zellikle kalnt fazn dklmesine neden olmaktadr.
Elmasla parlatmann dier bir stnl de parlatma sresi ksaldndan numune
yzeyinde meydana gelen deformasyon tabakasnn minimuma inmesidir.
Elmasla parlatma, seramik malzemelerde de baar ile uygulanmaktadr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Elektrolitik Parlatma

600 nolu zmpara ile zmparalanm numune elektrolitik parlatma iin yeterli olduundan,
mekanik parlatmadaki kaba ve nihai parlatma kademeleri ortadan kalkmakta ve bu esnada
numune de dalanm olmaktadr.
Bu nedenle elektrolitik parlatma yntemi zamandan tasarruf salar ve ekonomiktir.
Kaba ve nihai parlatma kademelerinin ortadan kaldrlmas, ayn zamanda numunelerde bu
kademelerin meydana getirecei yzey distorsiyonunu nler.
Bylece, dalama ve parlatma ilemlerinin tekrarlanmasna gerek kalmaz.
Bu zelliinden dolay elektrolitik parlatma, zellikle yumuak malzemelerde, tek fazl
alamlarda, rnein paslanmaz eliklerde, mekanik parlatmaya kyasla daha baarldr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Parlatlm Numunenin Faydalar

Parlatlm numunede, metal ile metal olmayan kalntlarn eitleri, byklkleri ve
miktarlar,

Parlatlm elik numunelerde mangan slfrler, silikatlar ve oksitler,

Parlatlm gri dkme demir numunelerinde grafitler,

Parlatlm bakr numunelerinde bakroksitler,

Parlatlm kurun bronzlarnda kurunlar

Parlatlm Al-Si-Alamlarnda Si-kristalleri,

Parlatlm numunede mikro atlaklar ve mikro poroziteler gibi mikro hatalar
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Dalama

Malzemelerde gerek i yap zelliklerini ortaya karmak iin metalografide ou kez
parlatlm numune yzeyine uygun bir reaktif tatbik edilir.

Bu ileme Kimyasal Dalama veya ksaca Dalama denilmektedir.

Dalama ile parlatma sonucunda grlemeyen mikroyap elemanlar aa kmaktadr.

Dalama, ayrca fazlarn cinsini tayin etmede, dislokasyonlarn yerlerini belirlemede
(etch pitting) ve ynlenme ettlerinde kullanlr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Dalama

Nihai parlatmadan kan numunede kanlmaz olarak parlatlan yzeyde souk
ilenmi bir tabaka bulunmaktadr.

Bu tabaka balca iki ksmdr; st tabakann serbest enerjisi alt tabakaya kyasla daha
fazladr.

Bu nedenle ilk dalama ilemi sonunda st tabaka kolayca reaktifin etkisi ile ortadan
kalkar ve yzeyde alt tabaka kalr.

Bu durumda mikroskopik etd yapldnda orjinal yapya benzemeyen bir yap
grlr.

Bu tabakay ortadan kaldrmak iin parlatma ve dalama ilemi bir daha
tekrarlanmaldr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Dalama

Genel olarak parlatma ve dalama ilemlerinin defa tekrar, bu tabakann tamamen
ortadan kalkmas iin yeterlidir. Bu tabakann mevcudiyeti ve kalnl aada belirtilen
kavramlara baldr.

numunenin yapsna,

uygulanan parlatma yntemine,

numunenin parlatlmas esnasnda uygulanan basma kuvvetine,

parlatmada kullanlan andrcnn karakterine
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Dalama & Dalama Ayralar
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Dalama Ayralar

Genellikle metalografik numunenin dalanmasnda kullanlan reaktifler su, alkol, gliserin,
glikol veya bunlarn karm olan zclerin iinde, organik ve inorganik asitle, eitli
alkalilerin ve dier kompleks bileiklerin eritilmesi ile elde edilir.

Kullanlan reaktiflerin aktivileri ve genel davranlar; hidrojen iyonu konsantrasyonuna,
hidroksit iyonu konsantrasyonuna veya reaktifin bir veya daha fazla yap bileenlerini
karartma yeteneine baldr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Dalama Ayralar
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Dalama Ayralar
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kimyasal Dalama

ok Fazl Alamlarda

ok fazl alamlarn dalanma mekanizmas elektrokimyasal niteliktedir.
Numune reaktif ile temas ettiinde, yap bileenleri (fazlar) arasnda potansiyel fark
doar.
Daha yksek potansiyelli faz, dierine kyasla anodik veya elektropozitifdir ve bu
nedenle dalama esnasnda znmeye balar.
Katodik veya elektronegatif olan dier faz, daha dk potansiyele sahip olduundan
dalama esnasnda herhani bir deiiklie uramaz.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kimyasal Dalama
ekil 3.4. ok fazl yaplardaki dalama mekanizmas.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kimyasal Dalama

Saf Metaller ve Tek Fazl Alamlarda

Homojen tek fazl alamlar ve saf metallerin dalama ilemi ok fazl alamlarnkinden
farkldr.
Burada dalama mekanizmas elektropozitif bir olaya dayanr.
Ana metal ile znmeyen kalntlar ve tane snrlar ile taneler arasndaki potansiyel
fark genellikle o kadar belirsizdir ki dalamann etkisi olsa bile bu ok kktr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Kimyasal Dalama
(a) (b)
ekil 3.5. Tane snrlarnda;
a) dalama sonucu vadi oluumu,
b) mikroskopta grnm.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Elektrolitik Dalama
ekil 3.6. Elektrolitik parlatma dzenei.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Elektrolitik Dalama

ekil 3.7. Elektrolitik parlatma ve dalamada akm younluu-potansiyel erisi.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Renkli Metalografi

Renkli metalografi esasta iki deiik yntemle gerekletirilir:

(1) Dalama ile renkli katman (tabaka) oluumu,

(2) Evaporasyon (buharlatrma) veya sputterlama teknikleriyle renkli giriim
katmanlar oluumu.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Dalama ile Renkli Katman Oluumu
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Enterferans (giriim) Tabakasnn Etkisi
ekil 3.8. Bir dalgann tanm.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Enterferans (giriim) Tabakasnn Etkisi
ekil 3.9. Kaplanm bir metalin yzeyi.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Renk Kontrast

Kaplama sonras fazlarn n aydnlatma dalga boyuna bal olarak karakteristik bir
yansma minimumu bulunmaktadr.

ki fazn yansma minimumlarnn dalga boylar aramesafesi, beyaz k altnda yaplan
incelemede tamamlayc (komplementer) renklerde min olarak grnen- fazlar
arasndaki renk farkn ortaya koymaktadr.

Birok durumlarda renklerin grsel deerlendirmeleri ve genel tanmlar yansma
minimumunun ilgili durumuna ve mesafesine baldr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Ak Koyu Kontrast

Kaplamada ama numunenin iki veya birok fazlar arasndaki kontrast
glendirmektir.

Mikroyapnn kantitatif bir deerlendirmesi iin ak-koyu yani siyah-beyaz kontrast
yeterli gelmektedir.

almalarda renk duyarl sistemlerin kullanmlar, monokromatik k ile alma ile
karlatrldnda hibir avantaj salamamaktadr.

Bunlara benzer sistemler (rnein televizyon) krmz, yeil ve mavi renkden oluan
kanallarla almaktadrlar.

Grnm iin bu renk kartrlmaktadr ve bylece renk alglamas yine
oluturulmaktadr.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Enterferans Katman retimi

ekil 3.10. Buharlatrma cihaznn ematik grnm.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Enterferans Katman retimi
ekil 3.11. Sputterlama sisteminin ematik grnm.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Makro ncelemeler
ekil 3.12. Merkezde karbon segregasyonu sonucu martenzit dnm ve
souk ekillendirmede Chevron atlaklar.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Makro ncelemeler

ekil 3.13. Dkm blounda primer yap, Oberhoffer
ayrac ile dendritler koyu, ak renkli blgeler artk sv.
ekil 3.14. Bir vida ve somun kesitinde deformasyon
izgileri, Oberhoffer ayrac. Vida kafas ve sa somun
dvme, sol somun tornalama ile retilmitir.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Makro ncelemeler

ekil 3.15. V (merkezde, ak renkli) ve A (d blgede)
segregasyonlar, Oberhoffer ayrac.
ekil 3.16. Haddeleme srasnda katlama blgesi,
Oberhoffer ayrac. Deformasyon sonucu lifleme ve kristal
segregasyonlar. Malzemenin plastik deformasyon ile ekil
deitirmesi makro dalama ile grlmektedir.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Mikro ncelemeler
ekil 3.17. Slfr kalntlarnn dkm sonucu oluum ekilleri (sol resimler)
ve plastik deformasyon ile deiimleri (sa resimler).
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Mikro ncelemeler

ekil 3.18. Ray malzemesinde kalnt nedenli atlak oluumu.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Mikro ncelemeler
ekil 3.19. % 0.45 karbon ieren elikte
ferritik-perlitik yap.
ekil 3.20. % 0.8 karbon ieren elikte kaba
perlitik yap.
Metalografi
Metalografi Teknikleri
Mikro ncelemeler

(a) (b)
ekil 3.21. tektoid st % 1.6 karbon ieren elikte perlit ve tane snr sementit
oluumu;
a) % 3 nital ayrac ve b) pikral ayrac.
Ik Mikroskobu
Giri
Mikroskoplarn geliimde aada yer alan grntleme partiklleri nemlilik arz eder.

(1) Ik fotonlar

(2) Elektronlar veya iyonlar
Ik Mikroskobu
Giri
Ik mikroskobisinde k fotonlar grntleme partiklleridir; k fotonlar konvansiyonel
cam merceklerle odaklanr.

Elektron mikroskobisinde ise grntlemede elektronlardan faydalanlr. Elektriksel alanda
ivmelendirilmi elektronlar manyetik alanda saptrlr.Bu dorultuda elektromanyetik
merceklerden geen elektronlar fokuslanr. Elektronlarn yksek enerjisi dorultusunda
birka nm seviyesinde ayrma gc elde edilir.
Ik Mikroskobu
Giri
Enerji tahriine bal olarak kat maddeden drt deiik ekilde elektron eldesi
(koparm) bulunmaktadr:

1. foto-emisyon (fotonlarla bombardman ile koparma)
2. termal emisyon (stma sonucu elektron serbestlemesi)
3. alan emisyonu (gl elektriksel alanla koparma)
4. kinetik emisyon (elektron veya iyon bombardman ile koparma)
Ik Mikroskobu
Giri
Ik Mikroskobu
Giri
ekil 4.1. Ayrma gc ve bytme asndan
numune incelemede kullanlan yntemlerin
karlatrlmas.
Ik Mikroskobu
Esaslar
Mikroskobik cisimler spektrumun grnr blgesindeki absorbsiyon yeteneklerine gre
ikiye ayrlr ve bylece k mikroskoplarnn konstruksiyonunda iki temel tip grlr:

(1) Transmisyon tipi k mikroskobu

(2) Refleksiyon tipi k mikroskobu
Ik Mikroskobu
Esaslar
Transmisyon tipi k mikroskobu

Saydam cisimler, gelen n bir ksmn inceleme yaplabilecek ekilde transmitte
edebilirler.

Bu objelerde alttan gelen k objenin iinden geerek stte bulunan objektife
ular.

Bu tr optik mikroskoplar, rnein biyolojide kullanlr.
Ik Mikroskobu
Esaslar
Refleksiyon tipi k mikroskobu

Saydam olmayan cisimler, gelen n tamamn absorblad iin bunlarn
incelenmesi sadece yansyan n altnda olmaktadr.

Metaller ve alamlar gibi transparan olmayan objelerde metallerin yksek k
refleksiyon katsaysndan faydalanlr.

Bu tr optik mikroskoplar, jeoloji, malzeme bilimi vb. de kullanlr.

Metalografik numune incelemelerinin bu tr k mikrokobunda yaplmas
nedeniyle bu mikroskoplar metal mikroskobu olarak da anlr
Ik Mikroskobu
Esaslar
(a) (b)
ekil 4.2. Ik mikroskop dzenei ve k yolunu gsteren kesit:
a) Kk bir metal mikroskobu (eski model).
b) reflekte ve transmitte k iin modifiye edilmi modern bir mikroskop.
Ik Mikroskobu
Esaslar
ekil 4.3. Bir k mikroskobunda grnt oluumunun
ematik gsterimi (Le Chatelier prensibi).
Ik Mikroskobu
Esaslar
ekil 4.4. tektik alt bir demir-karbon alamnn grnts;
primer kristaller ve ledeburit tektii;
a-c artan bytme oran.
Ik Mikroskobu
Esaslar
ekil 4.4. tektik alt bir demir-karbon alamnn grnts;
primer kristaller ve ledeburit tektii
Ik Mikroskobu
Esaslar
ekil 4.4. tektik alt bir demir-karbon alamnn grnts;
primer kristaller ve ledeburit tektii
Ik Mikroskobu
Esaslar
Dalga optik kuram
sin d n z
z = maksimumun dzen says,
= n dalga boyu (mavi k iin =0,4.10
-3
mm, krmz k iin =0,8.10
-3
mm),
d = iki nokta arasndaki mesafe,
= odak noktasndan llen krlma izgilerinin yar alma as (giri as),
n = cisim veya numune ile optik sistem arasndaki ortamn krlma indisidir.
Ik Mikroskobu
Esaslar
Ayrma Gc
A n
d
sin
sin n A
A : numerik apertr
Ik Mikroskobu
Esaslar
Grntlenecek cisim iin en ksa mesafe

nsin arpm bir k demetinin almn ve tek bytme ile objektifin gcn
karakterize eder.
Bu aklk, objektifin numerik aperturu (AOb) diye adlandrlmaktadr.
Ama zellikle k kaynann aperturu (ABe, diyafram) gibi mikroskobun ayrma
gcn etkileyen baka etkenler de bulunduu iin (ABe genelde AOb ye eit)
grntlenecek cisim iin en ksa mesafe, dmin aadaki gibidir:
genelde 0,5 < k < 1,0 iken
sin
min
n
k
A A
d
Be Ob
Ik Mikroskobu
Esaslar
En byk mikroskobik ayrma gc iin

ksa dalga boylu (dk ) k kullanarak ( apokromat objektifle mavi k)

maksimum krlma indisine sahip ortamda (A=1,66ya sahip monobromnaftalin
daldrma zeltisi) alarak

maksimum alma asnda alarak ( = 72 derece).
Ik Mikroskobu
Esaslar
Netlik Derinlii (T)

Numune yzeyinden hangi derinlie kadar net grntlenebileceini verir.
Cismin optik eksen ynnde grntnn netliinde herhangi bir deiiklik
olmadan kaydrlabilecei mesafedir.
Bu kavram optiin kalitesinden ziyade sadece geerli optik kanunlar tarafndan
belirlenmektedir.
1
1
1
14
1
A
T mm
A = numerik apertur
= grntleme lei
Ik Mikroskobu
Esaslar
Stereo Mikroskop

Bazen mikroyap elerinin hacimsel dzenei, krlma yzeyleri ve benzer
oluumlar fotografik grntleme ile sabitlemek gerekir.

Bu numunenin ayn blgesinin birbirinden ok az sapan iki ynden grntleyerek
baarlmaktadr.

Makro grntlemede birinci grntlemeden sonra kameray biraz kaydrarak ikinci
grnty almak yeterli olmaktadr.

Kk grnt kameralar iin zel stereo paralar bulunmaktadr. Yksek
bytmeler isteniyorsa bir Stereo Mikroskop gerekmektedir.

Burada bytmeler yaklak 1:100e ulamaktadr
Ik Mikroskobu
Esaslar
(a) (b)
ekil 4.5. Stereo mikroskop ile alnm transformatr elii (%4 Si) dkm yapsnn
sahip stereo grnts.
Matriks HBr (hidrojen bromr) ile dalanm. Metalik olmayan kalntlar ile karbrlerin
yaps ve hacimsel konumlar dalamadan etkilenmez.
Ik Mikroskobu
Donanm
Objektif eitleri

akromat (en dk dzeltme seviyeli)

yar apokromat (orta dzeltme seviyeli)

apokromat (en yksek dzeltme seviyeli)
Ik Mikroskobu
Donanm
ekil 4.6. Mikroskopta kullanlan objektifler.
(a) Akromatik objektif,
(b) Fluorit (yar apokromatik) objektif,
(c) Apokromatik objektif,
(d) Objektif zerinde yazl spesifikasyonlar.
Ik Mikroskobu
Donanm
ekil 4.7. Tipik bir okularn boyuna kesiti.
Sabit apertur diyafram, ara grntnn olutuu mercek 1 ve 2 arasnda bulunmaktadr.
Okular, mikroskopla alan kiinin rahata grebilmesi iin korumal bir gzetleme
deliine sahiptir.
Ik Mikroskobu
Donanm
Mercek hatalar

kresel hata (sferik aberrasyon)

kromatik hata (kromatik aberrasyon, en sk gzlenen hata !)

astigmatizm

difraksiyon hatas (difraksiyon aberrasyon)
Ik Mikroskobu
Donanm
Kromatik hata
Bu hata, k krlmasnn dalga boyu ile olan ilikisine dayanmaktadr.
Uzun dalga boyundaki a gre ksa dalga boyundaki kta oluturulan
grnt, grntnn elde edildii mercee daha yakndr.
eitli renklerdeki (dalga boyundaki) nlar bir toplar merceinin ayn odak
noktasnda bulumamaktadr.
Aksine mercee en yakn odak noktasnda mavi nlar, bir uzandakinde
yeil nlar ve en uzanda ise krmz nlar olumaktadr.
Normal beyaz k krmz, turuncu, sar, yeil, mavi, indigo-mavi ve mor gibi
spektral renklerinin karmndan olutuu iin beyaz k mercein arkasnda
bir odak noktasnda bulumayacaktr, aksine mercek dzlemine dik olan bir
izgide toplanacaktr.
Bunun sonucu olarak grnt mercein arkasnda renkli bir ekilde arka
arkaya zlecektir.
Ik Mikroskobu
Donanm
Bir mikroskobun aydnlatma (klandrma) dzeni iin aada verilen koullar
salanmaldr :

(a) Cismin zerindeki k younluu, grntnn hassas bir gz ile hem okularda, hem de
yutan mat bir plaka zerinde gzlenebilmesini salayacak bir ekilde ayarlanmaldr.
Fotografik grnt almada, klandrma sresi olabildiince ksa olmas iin k
younluu yksek tutulmaldr.
(b) Ik demetinden ayrlan ve grntye hi bir ekilde katks olmayan rahatsz edici
refleksler, k giriinden uzak tutulmaldr.
(c) Apertur ve k demetinin dme yn btn inceleme konumlar iin optimal
ayarlanmaldr.
Ik Mikroskobu
Donanm
ekil 4.8. Khler aydnlatma presibinin genel bir dzeneinin ematik gsterimi.
Ik Mikroskobu
Donanm
ekil 4.9. Mikroskopta dz cam ayna ve prizma ile elde edilen k yolu.
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
Cismin ayrntlarn grmek iin yalnzca bunlarn aramesafesinin ayrdedilebilir en
kk mesafeden byk olmas yeterli gelmemektedir.

Ayrca cismin ayrntlarn optik zellikleri asndan ayrdedebilmek, yani grntdeki
yzeyde bulunan gelerin grnebilir kontrastlar vermesi de nemlidir.

Renk ve aydnlk kontrastlar direkt gzle alglanabilir veya fotografik anlamda
grntlenebilir.

Cismi dalama veya enterferans katmanlar ile yzeyde tabaka oluturma gibi eitli
metalografik metotlarla etkileyerek kontrast artrlabilinir.
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
Aydnlk alan aydnlatmas ile kontrast

Grntlemenin cisim tarafndan yansyan (reflekte olan) k tarafndan oluturulmas
durumunda aydnlk alan klandrmas sz konusudur.

Burada optik eksene dik olan dz yzeyler aydnlk grnmektedir.

Bu kontrast standart grntleme modudur
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
Karanlk alan aydnlatmas ile kontrast

Yalnz dank dalm (difuz salm) k grnty oluturuyor ise karanlk alan
klandrlmas sz konusudur.

Bu durumda optik eksene dik olan dz yzeyler karanlk grnmektedir.

Karanlk alan klandrmann avantaj, yaygn k salm nedeni ile cismin d
yzeyindeki rlyef ayrntlarnn kontrasta daha zengin eldesidir
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
(a) (b)
ekil 4.10. Elektrolitik demir, %1 lik nital ile dalanm.
a) aydnlk alan, b) karanlk alan grnts.
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
Polarize k kontrast

Normal beyaz k, ilerleme ynne dik olarak herbir yne salnmaktadr.

Bu tr polarize olmayan bir k, belli ynde birbirine balanm iki kalkspat/kalsit
kristali (Nicol prizmas) iinden geirildiinde yalnzca bir dzlemde titreir; k polarize
olmutur.

Polarize k, ikinci bir Nikol prizmasndan (analizatr) geemez.

Yalnzca eer polarizatr ve analizatr kristalleri arasnda optik aktif (anizotrop) bir
madde bulunduunda polarize k analizatrden de geebilir, nk optik aktif maddeler
polarize n titreim dzlemini deitirir ve bylece nceden karanlk olan
grntleme yzeyi aydnlanr.
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
(a) (b)
ekil 4.11. Saf aluminyum
a) tane snr dalanm, aydnlk alan, b) florobor asitiyle anodik oksidasyon, polarize k.
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
(a) (b)
ekil 4.12. elik ierisindeki silikat tipi kalntlar, parlatlm numune.
a) paralel Nikols ile grntlenmi, b) apraz Nikols ile grntlenmi.
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
Faz kontrast

Faz kontras ynteminde parlatlm numune yzeyinde reflekte olan n mikroyapsal
fazlarn sertliine bal olarak oluan dk ykseklik farklarndan faydalanlr.

Farkl yksekliklerde reflekte olan k faz kaymasna urar.

Gzmzle alglayamadmz bu faz kaymalar, mikroskopta k yolunda fokus dzlemine
sokacamz bir faz plakas ile aydnlk-karanlk efektine dnr.

Bylece 20-50 aras ok kk ykseklik farklar grlebilir.
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
(a) (b)
ekil 4.13. Alaml bir eliin ferrit ve stenit den oluan ift fazl mikroyaps, dalanm.
a. aydnlk alan, b. pozitif faz kontast: ferrit daha aada, sert olan stenit yukarda
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
(a) (b)
ekil 4.14. Alaml elik, sertletirilmi ve temperlenmi; karbr ieren mikroyap.
a) %1 lik nital ile dalanm: aydnlk alan, b) dalanmam: aydnlk alan ve faz kontrast.
Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
Enterferans kontrast

Ik mikroskopisinde enterferans katman yntemi, parlatlan numune yzeyinde
enterferans tabakalarnn oluturulmas ve bylece refleksiyon-enterferans filtrelerinin
oluturulmasna dayanmaktadr.

Byle bir ksmi absorpsiyon gstermeyen tabakann etkisi, numune yzeyine gelen k
dalgalarnn, metal/tabaka ve tabaka/hava arayzeylerinde oklu refleksiyonlar ile
zayflamasna baldr.

Bylece mikroyap eleri arasndaki kontrastn art elde edilir.

Bu kontrast art, iki faz arasnda yansyan n iddet farkllnn artrlmas yansra
renk kontrastnn da artrlmasna bal bir olaydr.

Ik Mikroskobu
Kontrast Oluumu & Grntleme
(a) (b) (c)
ekil 4.15. Yksek hz eliinde deiik kontrast yntemlerinin uygulanmas:
(a) Enterferans kontrast
(b) MC karbrlerin potensiyostatik olarak amonyumasetat ile kaplama dalamas,
(c) Materyal kontrast, SEM.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Mikroskobisinde Esaslar
2 deiik tip elektron mikroskobu gelitirilmitir:

(1) Numune yzeyini tarayarak grntleyen tr: tarama elektron mikroskobu d 10 nm
(2) Numune iinden geerek grntleyen tr: transmisyon elektron mikroskobu; 100 kV
ivmelendirme voltajnda: = 0.037 nm d= 17
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
Elektron Salmas

Katot-anot dzeneinde retilerek numune zerine gnderilen elektron demetindeki
elektronlara birincil elektronlar (primary electrons) denir.

Demetle gelen primer elektronlar numuneye ulatklarnda numune atomlarnn
elektrostatik alanlar ile etkileir ve bu atomlarn yrngelerindeki elektronlarla salr
(arpr).

Primer elektronlar elektrostatik alanla yn deitirirler. Bu durumda primer elektronun
yn deiirken elektron hz deimedii iin enerjisi de deimez. Bu tip elektronlarn
bir ksm bu ekilde numune yzeyinden geri kabilirler.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
Elektron Salmas

Enerjileri primer elektronlarla ayn olan veya enerji kaybetmi ancak primer elektron
enerjisine yakn enerjiye sahip elektronlara geri salm elektronlar (back scattered
electrons, BSE) denir.

Primer elektronlar atom yrngelerindeki elektronlarla da arpabilirler. D yrngedeki
elektronlarn arpma ile atomlardan sklebilmeleri iin az bir enerji yeterlidir. Bu
elektronlara ise ikincil elektronlar (secondary electrons, SE) denir.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
Elektron Salmas

yrngedeki elektronlarla primer elektronlarn arpmas sonucunda bu yrngedeki
elektronlar da yerlerinden sklebilirler. Bu ekilde i yrngede meydana gelen boluklar,
d yrngedeki elektronlar tarafndan doldurulduunda ise iki konum arasndaki fark X-
n olarak yaynr.

Yrngeler aras enerji fark sabit olduu iin ve yrngeler arasnda yksek olaslkl
transferler de kstl olduundan, yaynan X-nlarnn byk bir ksm belirli enerjilerde
yaynr. Bunlara karakteristik X-nlar ad verilir. X-n yaynmas yerine enerji fark d
yrngeden bir elektronun serbest kalmas ile karlanrsa bu elektrona Auger elektronu
(AE) denir.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
Elektron Salmas

Elastik Salma: Numune atomlarnn elektrostatik alanlarnda yanlz ynn
deitiren elektronlarn enerjileri ayn kalr. Hibir enerji transferinin yer almad
bu tip salmalara elastik salma denir. Geri salan elektronlarn bir ksm bu
ekilde oluur.


nelastik Sanma; Primer elektronlar numune elektronlarnn elektrostatik alanlar
ve yrnge elektronlar ile arptklarnda enerjilerinin bir ksm veya tamamn
kaybederler. Bu tip salmaya ise inelastik sanma denir. Geri salan elektronlarn
bir ksm ile ikincil elektronlarn tamam bu ekilde oluur.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
Elektron Salmas


ekil 5.1. Elektron demeti numune etkileimi.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
Karakteristik Oluumlar

Geri Salm Elektronlar (BSE): Atom ekirdeklerindeki bir ve birok elastik
salma ile ieri giren birincil elektronlarn bir ksm tekrar dar kabilir.

enerji kaybetmeden (ilk primer enerjileriyle): elastik salm grup
ksmi enerji kaybyla (nceden inelastik salma): inelastik salm grup
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
Karakteristik Oluumlar

kincil Elektronlar (SE): Madde ii d yrnge elektronlar birincil elektronlarla
inelastik arpmalarla (rnein valans elektronlar) enerji kazanrlar ve bylece kendi
atomunu terkederler.


Auger Elektronlar (AE):Yksek enerjili birincil elektronlar atomun i kabuundan
da elektron dar atlabilir. D kabuktan gelecek bir elektronla bu boluk doldurularak
enerji dengesi salanr. ki kabuk aras enerji fark serbestleir:

Bu enerjiyi alan d bir elekron emitte edilir: bu elektrona Auger elektronu denir.
X-n kuant olarak emitte edilir: bu emisyona karakteristik X-nnn fotonu denir.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
Karakteristik Oluumlar

ekil 5.2. Sekonder (SE) ve Geri Sanan (BSE) elektronlarn belirli enerji aralklarnda
(E) bulunma olaslklar (PE).
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
X-n Oluumu

Bremsstrahlung (Frenleme Inm)

Maddenin atom ekirdeklerinin Coulomb alanna giren birincil elektronlar ynlerinden
saptrlr ve frenlenir (enerji kayb).
Bu kinetik enerji kayb s ve X-n foton oluumuna yolaar.
Ynsel saptrma ve frenleme olduka deiik olutuundan emitte edilen
elektromanyetik nn srekli bir enerji spektrumuna sahiptir.
Bu spektrumun ksa dalga tarafndaki snr tamamen frenlemede elde edilen kinetik
enerji (ki bu primer elektron enerjisi) miktarndadr.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektron Numune Etkileimi
X-n Oluumu

Karakteristik Inm

Elektron st-alt kabuk geii sonucu enerji X-n fotonu olarak gnderiliyorsa buna
karakteristik nm denir.
Bu nm element spesifiktir (her enerji belirli bir elemente ait).
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
ekil 5.3. Ayrma Gc ( ), Netlik Derinlii (T) ve
Bytme (M) asndan Ik Mikroskobu (LM) ile
Tarama Elektron Mikrosko-bunun (SEM) fark.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
ekil 5.4. Tarama Elektron Mikroskobunda
grntnn oluumu.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
Elektron Tabancas
ekil 5.5. Elektron tabancasnn ematik grnm.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
Elektromanyetik Mercekler
ekil 5.6. Elektromanyetik mercek.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
Elektromanyetik Mercekler

ekil 5.7. SE sintilatr ve fotooklayc.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
Kondenser
Mikroskobun iindeki ilk mercekler kondenser (younlatrc) merceklerdir. Kondenser
mercek sistemi bir veya birka mercekten oluabilir. Kondenser mercei kesime
noktasndaki demetin kltlm bir grntsn oluturur.

Objektif
Objektif mercei kondenser mercekten kan demetin, numune zerine odaklanmasndan
sorumludur. Objektif mercekle numune arasndaki uzakla alma aral denir. alma
aral ksa tutulduunda odaklanan demet ap incelir. Dolaysyla ayrma gc ykselir.

Saptrma Bobinleri
Tarama Elektron Mikroskobunda demetin numune zerinde tarama ilemini yapabilmesi
iin demetin periyodik olarak saa sola ve ayn anda yukar aaya kaydrlabilmesi
gerekmektedir. Bu kaydrma ilemi saptrma bobinleri ad verilen sarglarn yaratt
manyetik alanlarla yaplr.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
Mercek Hatalar
ekil 5.8. Elektron Mikroskobunda oluabilecek mercek kaynakl grnt hatalar.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
Kresel Kusur (Sferik Aberrasyon)

Eksene yakn nlarla eksene uzak klar ayr noktalarda odaklandklarndan, grnt
mercek ekseni zerinde ayr ayr noktalarda oluur.
Optik merceklerde oluan bu hata elektromanyetik mercekler iin de ayn prensiple
meydana gelir.
Mercek cidarna yakn yerlerden geen elektronlar mercek ekseninden geenlere oranla
daha fazla sapmaya urarlar.
Sonuta grnt bulanklar ve net bir grnt elde edilemez.
Grntn en kk boyutlarda olduu bir dzlem oluur ve buna karmaklk dzlemi
ad verilir.
Karmaklk dzleminin demet ap ;
3
2
1
d
s
C
as demet yar akln ve Cs ise kresel kusur katsaysn ifade eder.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
Kromatik Kusur

Uyarma gerilimi elektronik kararszlk nedeni ile deiimlere urayabilir.
Uyarma gerilimi Edeki E kadar farkl enerjiler, farkl hzlardaki elektronlarn
mercee girmesine neden olur.
Sonu olarak elektromanyetik mercek bu farkl hzlardaki elektronlar farkl noktalara
fokuslar.
Demet apnn en kk olduu en az karklk dairesinin ap dc ise;
)
E
E
( C d
c c
Burada, Cc kromatik kusur katsays, demet dalm as ve E/E uyarma gerilimindeki
deiim orandr.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
Difraksiyon Kusuru

Elektronlarn dalga zelliinden dolay grnt dzleminde grnt iddeti periyodik
olarak deiir. En parlak grntnn olutuu alana Airy diski ad verilir. Bu diskin ap
dd ise;

1.22 d
d
Bu kusurun engellenmesi iin dalga boyu nn ksaltlmas veya demet dalm as
nn bytlmesi gerekir.
Tarama Elektron Mikroskobu
Optik Dzenek & Mercek Hatalar
Astigmatik Kusur

Merceklerdeki manyetik alann simetrisindeki bozukluk nedeniyle birbirine dik iki eksen
boyunca farkl kuvvette olmas astigmatik kusuru oluturur.
Deiik kuvvetteki alanlardan geen elektronlar iki ayr noktada odaklanrlar. Bunun
sonucu iki fokus alan oluur.
(FS, FM) ve arasnda fokus mesafe fark F gsteren en kk salma dairesi oluur.
Bu kusur iin tanmlanm en az karklk dairesinin ap dg ise
. f D
g
Tarama Elektron Mikroskobu
Donanm
Elektron Gun (Elektron Tabancas):

Elektron tabancas sivri ulu tungstenden yaplm bir filaman, wehnelt silindir ve
anottan oluur.
Grevi kararl bir elektron demeti retmektir. Mikroskobun elektron kaynadr.

Alignment Coil (Ayar Bobinleri):

Elektron tabancas ve kondansr lens (mercek) arasnda bulunur ve saptrc bobinlerden
oluur.
Tarama Elektron Mikroskobu
Donanm
Elektromanyetik Mercekler:

Kondansr Mercekler (Condenser Lens): Kondansr mercek elektromanyetik bir mercek
olup elektron tabancasnn oluturduu kesiim noktasn kltrken (younlatrc)
ayn zamanda numune zerindeki akm kontrol eder. Demetin akm artarken, parlaklk
ve kontrast da artar. Kondansr mercek apertr ince film eklinde olup (ap 0.2 mm)
temizlenme ekli elektron bombardmanyladr.

Objektif Mercek (Objektif Lens): Elektromanyetik mercek olup bulunduu yer hemen
numunenin stdr. Bu mercekte n apn kltrken, grnt netlik ayarnda rol
oynar. Deiken apertrden oluup apertrlerin deiimi kol zerindeki dmenin
evrilmesi ile gerekletirilir.
Tarama Elektron Mikroskobu
Donanm
Stigmator:

Objektif mercein bulunduu dzlemde 8 elektromanyetik bobinden oluan stigmator
astigmatism ayar iin kullanlr.

Scanning Coili (Tarama Bobinleri):

Elektromanyetik sarglardan oluan tarama bobinleri kondansr mercein hemen
altndadr.
Televizyon ekrannda olduu gibi elektron demetinin X ve Y ynlerinde saptrarak
tarama ilemini gerekletirir.
Tarama Elektron Mikroskobu
Donanm
Specimen Chamber (Numune Haznesi):

Blmmzde renci eitimi iin kullanlacak JEOL 50 tipi mikroskopta bulunan
numune haznesi, numunenin zerine yerletirildii kzak ve hazneye bal n
odacktan oluur.

Numune kza (specimen stage) x, y, z ynlerinde hareket edebilir ve ayn zamanda
tilt (eim) yaplabilir.

Numune n odacnn hemen yanndaki krmz dme yardmyla yaplr.

Numune odacnn hemen sa tarafnda bulunan uyar lambas numune kzaknn
(spec. stage) bulunduu pozisyonun 13 mmlik alma aralnda olduunu gsterir.

alma aral 37 mm olduunda da ikaz lambas yanmaktadr.
Tarama Elektron Mikroskobu
Donanm
Alglayclar:

Elektron demetinumune ilikisi sonucunda alglanabilen balca sinyaller; ikincil
elektronlar, geri sanan elektronlar, karakterisitik X-nlar, katodolminesans, Auger
elektronlar, sourulan elektronlar ve endklenen numune gerilimidir.

Her bir sinyal tr iin gelitirilmi zel alglayclar vardr.

Sourulan elektronlar gibi dorudan numune ile temas kurularak alnan sinyaller iin
numunenin pozisyonu nemli deildir.

Ancak geri sanan elektronlar ve karakteristik X-nlar gibi numune evresindeki uzaya
yaylan sinyallerin alglanmasnda numune pozisyonu nemlidir.

Bu nedenle alglayclar numuneye ne kadar yaknsa ve ne kadar geni alglayc yzeye
sahiplerse sinyal toplama verimi o kadar artar.
Tarama Elektron Mikroskobu
Kontrast Oluumu
Topografik Kontrast & Glgeleme Efekti
ekil 5.9. Sekonder ve geri sanan (BSE) elektronlar iin glge efekti oluumu.
Tarama Elektron Mikroskobu
Kontrast Oluumu
Topografik Kontrast & Glgeleme Efekti

ekil 5.10. Ke efekti ile elektron veriminin deiimi.
Tarama Elektron Mikroskobu
Kontrast Oluumu
Materyal Kontrast
ekil 5.11. SE ve BSE elektron verimi ile atom numaras ilikisi, : SE verimi, : BSE
katsays, Ordnungszahl Z: Atom numaras Z.
Tarama Elektron Mikroskobu
Kontrast Oluumu
Materyal Kontrast
Tarama Elektron Mikroskobu
Kontrast Oluumu
Dier Kontrast Mekanizmalar

Oryentasyon kontrast,

Potansiyel kontrast,

Manyetik kontrast
Tarama Elektron Mikroskobu
Kontrast Oluumu
Kontraslama rnekleri
Sekonder Elektron (SE)
Geri Salan Elektron (BSE-kompozisyon)
Tarama Elektron Mikroskobu
Kontrast Oluumu
Kontraslama rnekleri
Karakteristik X-n Haritalama Geri Salan Elektron (BSE-topografi)
Tarama Elektron Mikroskobu
Kontrast Oluumu
Kontraslama rnekleri
Absorbe Edilen Elektron
Potansiyel Kontrast
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Fraktografik Uygulamalar

Krlmalar nce iki gruba ayrlabilir:

(1) Bir kez ar zorlama ile oluan zorunlu krlma,

(2) Zorlamann tekrarlanmas ile oluan yorulma krlmas.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Fraktografik Uygulamalar

Hasar yzeyleri incelenerek atlak yzeyinin son krlma yzeyine gre konumu ve her iki
yzeyin bykl yardmyla krlma nedeni hakknda aadaki ipular elde edilebilir:

Zorlamann tr,

Zorlamann yaklak seviyesi,

Malzemenin entik duyarl.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma

Krlma mekanii aadaki alanlarda uygulanr:

yksek dayanml malzemeler,

byk et kalnlklar,

yksek zorlama hzlar,

dk scaklklar.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma

Gevrek krlmay kolaylatran etkenler unlardr:

Alak scaklk,

ok eksenli gerilme durumu (entikler, ani kesit deiimleri, byk et kalnlklar),

Darbeli zorlama,

Heterojen iyap (hatal sl ilem, kaynak dikii blgeleri),

Yksek dayanml malzemelerin ekil deitirme kabiliyetlerinin dk oluu.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma
ekil 5.13. St 37 eliinde tanelerii gevrek krlmann (yarlma krlmas)
tarama elektron mikroskop fotoraf.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma

ekil 5.14.
a) Taneleraras gevrek krlma,
b) Ortaya kan tane yzeyi (tarama elektron mikroskop fotoraflar).
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma
ekil 5.15. Gevrek krlma
a) makroskopik grnm,
b) mikroskobik grnm (ematik),
sertletirilmi elikten bir deney parasnn krlmas.
ekil 5.16. Tam kayma krlmas
a) makroskopik grnm,
b) mikroskobik grnm (ematik),
AlCuMg 1 alamndan bir deney parasnn krlmas.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma
ekil 5.17. Bzlme krlmas;
a) ematik,
b) elektrolitik bakrdan bir deney parasnn krlmas.
ekil 5.18. anak-koni tipi krlma;
a) ematik,
b) AlMgSi alamndan bir deney parasnn krlmas.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma
ekil 5.19. Ck eliinde krlma yzeyindeki petekli yap (SEM fotoraf).
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma

ekil 5.20. Sertletirilmi ve tavlanm elikten ekme deneyi paralarnn ekil
deitirme ilerinin karlatrlmas (ematik).
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma

Ortasnda 2a uzunluunda bir atlak bulunan sonsuz genilikte bir levhaya, atlak
yzeyine dik dorultuda normal gerilmesinin etkisi, IRWIN e gre bu levha iin
gevrek krlma tehlikesi a. 2 arpm kritik bir deere ulatnda ortaya kar.

Bylece zorlama durumunun belirtilmesi iin gerilme iddeti faktr olarak adlandrlan
bir byklk tanmlanr:
a K
I
. .
I indisi atlan bir ekme gerilmesi ile almaya zorlandn (zorlama tr I) gsterir.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Statik Yk Altnda Krlma
ekil 5.21. Ortasnda bir atlak bulunan sonsuz genilikteki
levha modeli.
ekil 5.22. Zorlama trleri:
I: normal gerilme,
II: atlak ucuna dik kayma gerilmesi,
III: atlak ucuna paralel kayma gerilmesi
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dinamik Yk Altnda Krlma
ekil 5.23. Bir yorulma deney parasnn yzeyindeki kayma bantlar (SEM resmi).
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dinamik Yk Altnda Krlma

ekil 5.24. Girinti ve kntlarn oluumu (1..4 : aktif kayma dzlemleri).
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dinamik Yk Altnda Krlma

Yorulma zorlamalar altnda oluan malzeme hasarnda (yorulma krlmas) iki ayr
aama vardr:

atlak oluumu

atlak ilerlemesi
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dinamik Yk Altnda Krlma

ekil 5.25. Yorulma kr yzeyindeki evrim
izgilerinin (striasyon) SEM resmi.
ekil 5.26. Yorulma krlmas (ematik).
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dinamik Yk Altnda Krlma

ekil 5.27. Bir binek otomobili aksnda yorulma krlmas.
ekil 5.28. Yanl olarak deiken emeye zorlanm bir civatada
yorulma krlmas: dk akma gerilmesi, yksek entik etkisi.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dier Uygulamalar
ekil 5.29. SEM, topografik kontrast, saat vidas.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dier Uygulamalar

ekil 5.30. SEM, topografik kontrast, ine ucu ve ine delii.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dier Uygulamalar

ekil 5.31. SEM, topografik kontrast, fitalik asit kristalleri.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dier Uygulamalar

ekil 5.32. Dkm elik numunede ledeburitik mikroyap, dalanm numune. SEM,
topografik kontrast ve materyal kontrast. Ak/koyu gri: matriks, beyaz/aydnlk: M2C
karbr.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dier Uygulamalar

ekil 5.33. ekil 5.32 deki ayn eliin toz metalurjik retiminden toz tanesi, ar
dalanm numunede karbr iskeleti. SEM, topografik kontrast. Koyu gri/siyah: ar
dalanm matriks, ak gri: M2C karbr.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dier Uygulamalar

ekil 5.34. ekil 5.33 deki eliin toz metalurjik retiminden toz tanesi yzeyinin
morfolojisi; MC karbrlerinde heterojen ekirdeklenme sonucu eeksenli kristal
bymesi. SEM, topografik kontrast.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dier Uygulamalar

ekil 5.35. Ferritik-perlitik mikroalaml yap elii, dalanm mikroyap.
SEM grnts, topografik kontrast.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dier Uygulamalar

ekil 5.36. Sert metal mikroyaps, SEM grnts, materyal kontrast; beyaz/ak
gri: WC, akgri-koyu gri: TiC/TaC/NbC kark karbr, siyah: Co.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
ekil 5.37. 0.89 mm apnda bronz lastik teli numunesinin krlma yzeyinin SEM
grnts.
Tarama Elektron Mikroskobu
Elektronmetalografik Uygulamalar
Dier Uygulamalar

ekil 5.38. 0.89 mm apnda bronz lastik teli numunesinin krlma yzeyinin boyuna
kesitinin Ik mikroskobundaki parlatlm ve dalanm konumdaki grntleri.
Grnt Analizi
Grnt Analizin Temelleri
Grnt analizi optik mikroskop, stereo mikroskop, SEM vb. gibi herhangi bir
kaynaktan elde edilmi grntler zerinde geometrik ve densitometrik lmler
yapan bir bilim daldr.

Bu teknik allagelmi adyla kantitatif metalografi olarak adlandrlr.

Kantitatif Metalografinin amac, retim bilgisi ile mikroyapy dzenlemek ya da
mikroyapdan yola karak, zelliklerin nicel deerlerini formle etmek iin veri
toplamaktr.

Bu ilem optik ve elektron mikrograflar ile baarl bir ekilde gerekletirilir.
Grnt Analizi
Grnt Analizin Temelleri
Mikroyapnn saysal ifadesi iin aadaki olaslklar bulunmaldr :

(1) zgl yzey, ki boyutlu dzlemsel boyut dalm, alansal % dalm gibi iki boyutlu
parametrelerle tanmlama.
(2) ekil ve matematiksel morfoloji parametrelerini ieren kompleks iki boyutlu belirleme.
(3) Steorolojik parametrelerle boyutlu belirleme: ki boyutlu lmlerden dntrlerek
elde edilen Hacm Oran, Uzaysal Boyut Dalm, zgl Yzey Alan gibi parametreler.
(4) Dorudan boyutlu geometriden zel cihaz ve tekniklerle belirleme.
Grnt Analizi
Grnt Analizin Temelleri
Mikrograflardan ya da parlatlm kesitlerden veri temini iin yntem bulunmaktadr.

(1) Nokta Sayma: Belli sayda nokta ieren bir a, numunenin zerine yerletirilerek llen
faz kesen noktalar saylr.
(2) izgisel Analiz: Bir kegen boyunca, kegenin kestii tane ya da faz snrlar saylr.
(3) Alan analizi: Bu yntemde, belirli bir alan ierisinde bulunan faz ya da taneler saylr ya
da alanlar llr.
Grnt Analizi
Grnt Analizin Temelleri
ekil 6.1. Parlatlm yzeylerde grnt analiz veri tanmlanmasnn deiik olanaklar.
Grnt Analizi
Grnt Analizin Temelleri
Grnt analizinde kullanlan kavramlar

V: Hacim (Volume),

S: Yzey, uzaydaki (Surface),

A: Alan, kesitin ya da mikrografn (Area),

L: izgi (Line),

P: Nokta (Point),

N: Say (Number).

Grnt Analizi
Grnt Analizin Temelleri
Grnt analizinde kullanlan kavramlar


0
1
0
0
1
0
0
) (
) (
) (
) (
) (
) (
) (
) (
) (
) (
P
b P
b P
m
A
b N
b N
L
b L
b L
m
V
b S
b S
V
b V
b V
p
L
A
v
v
b faznn hacim oran,


birim numune hacminde b faznn yzey alan,


birim uzunlukta b fazn kesen l krii uzunluu,


birim alanda b faznn says,


birim nokta saysnda b fazna deen nokta says.
Grnt Analizi
Grnt Analizin Temelleri
ekil 6.2. Tek ve ift fazl mikroyaplarda alan l parametreleri.
Grnt Analizi
Grnt Analizin Temelleri
ekil 6.3. Objeye zg birka l parametresi.
Grnt Analizi
Grnt Analiz Yntemleri
Grnt analizinde kullanlan yntemler

(1) Karlatrma yntemleri (standart artlar)

(2) Sayma ve lme teknikleri
Grnt Analizi
Grnt Analiz Yntemleri
Karlatrma Yntemleri

Kalite kontrol, bir malzemenin spesifikasyonlarna haiz olup olmadnn hzla
belirlenmesi kapsar.
Niceliin tahmininde, boyut ve ekil genellikle yeterlidir.
1930larda gelitirilen karlatrma yntemleri mikroskop altnda ya da
mikrograflar zerinde, en nemli yapsal zelliklerin sistematik deikenler
zerinden karlatrlmasn ngrr.
Standart artlar olarak bilinen grnt tablolar iin standartlar, sve (Jern
Kontoret), ABD (ASTM), Almanya (SEP, DIN) ve Rusya (GOST) gibi endstriyel
pek ok lkede hazrlanmtr.
Ayn zamanda ISO ve EURONORM gibi uluslararas standartlar da
bulunmaktadr.
Grnt Analizi
Grnt Analiz Yntemleri
ekil 6.4.Standart bir grnt tablosunda metalik olmayan kalnt karakterizasyonu.
Grnt Analizi
Grnt Analiz Yntemleri
ekil 6.5. Tane boyutu belirlemesi iin l okularlar.
Grnt Analizi
Grnt Analiz Yntemleri
Sayma & lme Teknikleri

Kalitedeki geliimin bir sonucu olarak kaba gradasyonlu standart artlar hassas
sonulardan uzaklamtr.

Veri, grsel olarak ya mikroskoba taklan uygun bir l gz ya da buzlu cam ekran
l-a ile ya da uygun bir l-a kullanlarak bir mikrograftan saptanr.
Grnt Analizi
Grnt Analiz Yntemleri
ekil 6.6. Dz izgili ve dairesel l alar.
Grnt Analizi
Grnt Analiz Yntemleri
ekil 6.7. izgi ve nokta paternli l alar.
Grnt Analizi
Grnt Analiz Yntemleri
ekil 6.8. Dkme demir mikrograf zerinde
dz izgili serili l a.
Grnt Analizi
Otomatik Grnt Analiz Cihazlar
Gnmzde kullanlan grnt analiz cihazlar dijital olarak alr ve grntler
fotorafik noktalardan (pixel) olumaktadr.

Arzu edilen gri seviyenin eldesinden sonra grnt hem beyaz, hem siyah noktalar olarak
saptanr.

Basit otomatik sistemlerde operatr, yapsal bileimde hangi fazlarn bulunduuna karar
verir ve dedeksiyonu ayarlar.

lmlerde, sayma ve kayt etme, bilgilerin ilenmesi ve biriktirilmesi mekanik ve
elektronik ekipmanlarla salanr.

Otomatik grnt analizinin kullanm nedeni, lm hznn yar otomatik cihazlara gre
arttrlmas ve tanecik tanmasnn daha belirgin bir hale getirilmesidir.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
Malzemenin mikroyapsnn incelenen bir kesit zerinde llerek kazanlan
paremetrelerin saptanmas iin n koul, bu kesit dzleminin incelenmekte olan tm
numuneyi temsil etmesidir.

Bu koul sadece allagelen kesit boyutlarndaki homojen malzemeler iin ve onlarn
mikroyaplar iin geerlidir.

Gerekte retime bal olarak malzemeler dikine ve uzunlamasna kesitlerinde, hem
kimyasal analiz hem de mikroyap karakteristii asndan farkllklar gsterirler.

Yeterli bir sonu elde edilmesinin istendii durumda numune almann istatiksel yn
ok nemlidir.

Amaca uymayacak ekilde byk bir paradan rastgele alnm bir numunenin nitel
analizinin doal olarak hi bir deeri yoktur.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
Aada sralanan numune hazrlama ve optimal grnt analizi iin koul ortaya
kar.

(1) Ayrd edilebilen tm fazlar ayn kesit zerinde olmaldr, yani kesit yzeyi boyutlu
yapy temsil edebilecek bir dzlemde hazrlanmaldr.

(2) Kesit hazrlarken mikroyap karateristiinde herhangi bir deiim olmamaldr.

(3) llecek fazlarn kontrast asndan matriksten berlirgin bir ekilde ayrdedilebilmesi
gerekir. 1 eitliine gre bu kontrastn 0.3 daha da iyisi 0.5 olmaldr.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
ekil 6.9. Perlitik yapda dalama sonucu ematik grnm.
a) doru deer,
b) kuvvetli rlyef nedeniyle llen deer.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
ekil 6.10. Dkme demir mikroyaps, metalografik
hazrlamada ksmen krlm grafitler.
ekil 6.11. Dkme demir mikroyapsyla, metalografik
olarak kusursuz hazrlanm.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
ekil 6.12. Otomat eliinde slfr kalntlar.
ekil 6.13. Dk karbonlu eliin mikroyapsnda
metalografik hazrlamadan kaynaklanan izikler.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
ekil 6.14. Polarize k mikroskobu grnts.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
ekil 6.15. Takm elii mikroyaps.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
ekil 6.16. Otomat eliinde renkli metalografi uygulamas.
ekil 6.17. Renkli metalografi uygulamas.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
ekil 6.18. Ar dalanm ferritik-perlitik mikroyap.
ekil 6.19. Dk karbonlu eliin mikroyaps.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
(a) (b)
ekil 6.20. a) yumuak metalde mevcut porlarn metalografik hazrlama aamasnda
klmesi,
b) gevrek malzemelerde metalografik hazrlama esnasnda atlak oluumu.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
ekil 6.21. ok fazl malzemede otomatik analiz iin
ideal mikroyap grnts.
ekil 6.22. ok fazl malzemede otomatik analiz iin
ideal mikroyap grnts.
Grnt Analizi
Numune Alma & Hazrlama
ekil 6.23. ok fazl malzemede otomatik analiz iin ideal mikroyap grnts.
Grnt Analizi
Grnt Oluumu
Grnt oluumunun tipini, llen eklin doas ve uygun parametre belirler.

Ana kural olarak 1 mden byk ekiller optik k mikroskobuyla, 300 nmden byk
ekiller tarama elektron mikroskobuyla ve 20 nmden byk ekiller transmisyon
elektron mikroskobuyla incelenebilir.

Balang mesafelerinde istenen doruluk hangi lm sisteminin seileceini
belirleyecektir.
Grnt Analizi
Deteksiyon
Eer bir mikroyapsal ekil meydana karlacaksa, farkedilebilmesi iin kontrast
yeterli ykseklikte olmaldr. Kontrast (K) aadaki eitlikte tanmlanmtr.
max
R
DR
K
DR iki faz arasndaki yanstclk fark, Rmax da iki fazdan daha parlak yansyandr.
Grnt Analizi
Malzeme Biliminde Uygulamalar
Malzeme bilimi zerine yaplan almalarda, fazlar, dislokasyon younluu ve tane
boyutu gibi mikroyapsal zeliklerin miktarlar ve boyutlaryla malzeme zelikleri
arasndaki ilikilerin aratrlmas nemli bir yer tutmaktadr.

Mikroyapdaki fazlarn boyutlar, ekilleri (morfolojileri) dalmlar, tane boyutlar
gibi zellikler mekanik zellikleri ciddi oranda etkiler.
Grnt Analizi
Malzeme Biliminde Uygulamalar
Mikroyap Fazlarnn Miktarsal Belirlenmesi

Yapda bulunmas muhtemel fazlarn ilgili malzemenin mekanik, fiziksel, vb. gibi eitli
zelikleri zerinde nemli etkisi bulunmaktadr.

Kimyasal bileimine gre veya retim biimine ele alnabilecek btn malzemelerde
mikroyapda bulunmas muhtemel fazlarn o malzemenin zeliklerine etkisi kanlmazdr.
Grnt Analizi
Malzeme Biliminde Uygulamalar
Tane boyutunun belirlenmesi

Tane boyutu veya kabalama miktar ilgili malzemenin mekanik zelikleri zerinde
en etkili olan parametrelerdir.
Metallerde akma mukavemetinin tane boyutu ile olan ilikisi (Hall-Petch bants)
ile perlit lamelleri ara mesafesi olan ilikisi ve sertliin tane boyutu ile olan ilikisi
iyi bilinen bantlardr.
d
K
H H
L
K
d
K
H
s
y
0
0
0
: akma mukavemeti,

0: tane iindeki dislokasyonlarn hareketine kar srtnme gerilimi,

Ky, KH, Ks: sabit deer (eim),

d: tane boyutu,

L: perlit lamelleri ara mesafesidir.

You might also like