氣體軸承設計與應用

報告人︰黃韋倫
04-7232105 ext.7283
me8617@gmail.com

國立彰化師範大學機電系
光機電應用實驗室
日期︰2007.09.27

1
 目 錄

一、氣體靜壓軸承系統簡介

二、氣體靜壓軸承與其應用實例
三、氣體靜壓軸承性能分析
-以高速主軸徑向軸承為例

四、結論

五、參考資料

2
一、氣體靜壓軸承系統簡介
滑動、滾動、浮上滑動[5]
很笨重、被地面凹凸牽制、髒污

滑動

稍輕快移動、被地面凹凸牽制、髒污

滾動

很輕快移動、不拘地面凹凸牽制、不髒污

浮上
滑動

3
國外氣體軸承發展史 [2,5]
1. 氣體軸承的發展源自於1854年，法國G.Hirn首先提出以氣體
做為潤滑劑的軸承概念。

2. Kingsbery(美國)於1894年利用空氣為介質製作出氣體軸承。

3. 美英等國自1960年左右開始應用氣靜壓軸承(因應發展國防、
太空、能源等工業，邁入超精密加工之領域，氣靜壓軸承與
氣浮主軸是主要關鍵技術之一)。

4. 日本自1970年起，則以磁碟片、磁頭、感光鼓、塑膠非球面
鏡組之鏡面切削等民生工業用精密元件為起點，開發氣體軸
承技術。

4
我國的發展現況與市場需求

1. 我國工研院於1988年研發氣靜壓超精密車床，目前工研院、精密
機械研發中心均有研發氣浮量主軸實蹟，中山科學研究院則有發
展精密液靜壓軸承系統，國內部分大學也有相關研發成果。

2. 目前國內少數廠商也具備氣浮主軸的維修與氣體軸承的製造能
量，但對高精密與高轉速的氣體主軸等產品，仍欠缺系統化的設
計開發能量。

3. 根據工研院ITIS計畫資訊與相關廠商調查，初估國內氣浮主軸等
產品需求量達10,000支/年以上，相關金額超過10億元，其中需
求最大量的產品為高速PCB鑽孔機主軸。

5
氣體軸承的種類
名稱 圖示 說明
氣體動壓軸承：藉由兩個面相對移動，且間隙呈楔狀，
沿移動方向間隙逐漸變小。由於相對移動，氣體因其粘
性的作用，被拖壓入楔間隙中，從而産生壓力，構成動
動壓型
壓懸浮。這種型式軸承有以下幾特點:
(Aerodynamic) (1) 完全自成系統，無外加壓力源與設備。
(2) 軸承的承載能力低(與潤滑劑黏度成正比)。
(3) 在啓動-停止時存在固體摩擦，精度的保持性較低。

擠壓效應軸承：在兩平面的垂直方向震動時，間
擠壓膜 隙內的潤滑劑(氣體)受到黏滯力的影響，無法迅
(Squeeze film) 速推出軸承間隙，使軸承間隙內壓力分佈平均值
較周圍高，而支撐負載，但由於運動方向必須與
負載方向垂直，因而不易找到應用實例。

靜壓型 氣體靜壓軸承：利用外部加壓，使潤滑劑通過節
(Aerostatic) 流器而導入軸承內產生靜壓力以支持負載。

6
氣體靜壓軸承的工作原理
氣 體 靜壓 平面 軸承 是將 高壓 的氣 體送 入主 軸與軸承的微 小間隙
（Gap）內，由於氣體的黏滯力使軸承內產生的壓力變化(如下圖所示)，
使主軸懸浮於軸承中央。由於主軸與軸承之間有空氣作為介質，所以主軸
在幾乎無摩擦狀態下運轉，如此便可達到高速、高精度運動。
8 W 9
8: 平面止推軸承
9: 氣室

δ
Pa 10: 導軌面

h
r1 11: 軸承面
11 Pi r2 Pa: 大氣壓力
P
10 Pi: 氣室壓力
（節流口出口壓力）
P: 壓力分佈
Pa
r W: 負荷
O
h: 軸承間隙
氣靜壓平面軸承工作原理［1］
7
氣體靜壓徑向軸承的工作原理

(a) (b)
氣體靜壓徑向軸承工作原理［1］

8
氣體靜壓徑向軸承的工作原理(說明)

氣體靜壓徑向軸承的工作原理，如上圖所示，其中在圖(a)中，心
軸受到W的垂直負載時，軸心會從OB變化到OS，產生e的偏位，此時氣體
軸承下端的氣膜間隙(心軸與軸承內孔間的間隙)會減少為C1，而軸承
上端的間隙會就增加為C2。

當在上圖中顯示C1 < C2，軸承面此時會藉由節流器的調壓作用產

生不同的壓力變化，如圖(b)所示。軸承上端的壓力值因為間隙的變
大，使得氣室壓力會變小成為P2 ；反之，軸承下端的壓力值因間隙變
小而變大為P1 。心軸就因為氣室壓力P1 及P2 的壓力差與負荷W相互抵
銷，使軸心重回到OB而穩定下來。

9
氣體靜壓軸承的優點［1,2,6］
(1)磨擦係數及磨擦力矩很小
一般而言，磨擦力矩與流體的黏滯係數成正比，而氣體的黏滯係數為液
體的0.001倍，所以氣體軸承的磨擦力矩為液體0.001倍 。因此氣體軸承
驅動扭矩與摩擦損耗小，非常適合在高轉速下運用。

(2)運動精度高(振動、噪音與溫升小)
以空氣作為介質，作動時不接觸，振動與噪音極小。又因為磨擦係數的
減小，使得氣體軸承相較一般軸承及液體軸承產生的熱量較小，且產生
的熱量又會被流動的氣體帶走，所以材料幾乎不會產生熱變形。且由氣
膜具有『均化效應』，因此氣體軸承會具有較高的運動（迴轉）精度。

(3)壽命長、保養容易
氣體軸承具備磨擦係數很小的優點，且在正常工作情況下幾乎不會產生
金屬間的磨耗，因此軸承的零件就不易損壞，具有較高的壽命。根據文
獻中記載，氣體軸承正常使用時壽命約有20年左右，且幾乎不必維修。

10
氣體靜壓軸承的優點
(4)不受溫度影響(可在很寬的溫度範圍環境工作)
油對溫度很敏感，溫度高時會燃燒；溫度低時會凝固，所以只能用於一般場
所中。而氣體不易受溫度的影響，從低溫到高溫都很穩定，因此軸承在低於
氣體液化溫度到軸承材料可耐溫度都可正常運作。

(5)可在要求潔淨的環境下運轉
一般機械運轉時，常需注入油作為潤滑劑，但是氣體軸承不需要用油作為潤
滑劑，而是利用氣體產生氣膜來潤滑。且氣體可經過濾、乾燥而淨化，不污
染環境，不腐蝕器件，適合需要乾靜的電子機械，食品醫療等無需油潤滑支
承。另外也可採用自身系統內循環的氣體作為潤滑介質，以保持系統內氣體
的純度。

(6)可在要求放射能場、磁場的環境運作
油液會因放射線的照射產生瀝青化而固化，在放射能場的軸承便不能使用一
般軸承及液體軸承，而氣體就沒有上述問題。

11
氣體靜壓軸承的限制［1,2,6］
(1)剛性小
良好的剛性可容許系統承受較大的干擾，但是氣體軸承最大的缺點就是剛
性太小，其主因是流體軸承的剛性是與流體的黏滯係數成正比。即黏滯係
數越大剛性也就越大，而氣體之黏滯係數為液體的0.001，所以剛性低。
(2)成本高(加工精度高)
氣體軸承的間隙約介於5μｍ～30μｍ之間，且形狀公差要求相當嚴謹。一
般的加工設備無法達成，需使用較高精度的工具機，所以成本也相對提昇。
(3)氣體不具防銹之特性
氣體軸承對氣體的品質要求很嚴格，進入軸承的氣體必須要是無油及水分的
存在，所以氣體之中並無潤滑油的存在。因此，軸承零件很容易生銹損壞。
(4)易產生不穩定之現象
氣體軸承若設計不當，容易產生氣鎚現象（air-hammer），此時軸承的主
軸就開始晃動；若晃動的太嚴重時，會使主軸與軸承產生接觸，導致軸承的
損壞。
12
氣體靜壓軸承系統的組成
氣體靜壓軸承系統是由：軸承支承裝置、節流器及供氣系統
所構成。

13
氣體靜壓軸承系統的組成(說明)

(1)供氣系統：供氣系統是產生合乎國際標準的氣體，其中包含：1.空氣
壓縮機、2.冷凍乾燥機、3.精密過濾器、4.蓄壓筒、5.調壓器及6.壓
力錶等零件。使空氣變成潔淨、乾燥之壓縮空氣，供給軸承使用。

(2)節流器：節流器介於氣源與氣膜之間，主要作用是使軸承具有平衡負
載變化之能力。節流器的位置可在軸承本體上，也可以單獨安裝上軸
承外。

(3)支承(軸承)：支承裝置是系統的執行元件，將氣體壓力轉換為支承
力，上圖為氣浮導軌用的圓形軸墊。當氣壓源供給壓力為Ps的壓縮氣
體經節流器進入氣室，沿封氣面11流出，形成氣膜h，而將運動件
8浮起。上面所介紹的系統為平面式的氣體軸承，一般稱之為軸墊
(Pad)，軸墊通常運用在精密量測儀器，如三次元量床的進給系統等。

14
氣體靜壓軸承供氣裝置及要求
氣體靜壓軸承的氣源多數來自大氣中的空氣，由於空氣中含有固體雜質和
水份，而且空氣經由壓縮機壓縮，汽缸的潤滑油蒸汽又帶入壓縮空氣中；同時
活塞式空氣壓縮機所提供的氣體壓力並不穩定，易使軸承的承載能力和剛性產
生波動。因此供給軸承的氣體需進行過濾和穩壓(如:加裝過濾器與儲氣筒)。
軸
承

節流器

壓力表
蓄 壓筒 精密過濾器

調壓器

冷 凍 乾燥 機
G

供氣裝置
空 氣 壓縮 機 示意圖［12］
調壓閥與三點過濾器
※氣體軸承對供氣品質有一定的標準，依據文獻(7)中所指供氣品質的國際標準
規定如下：氣體灰塵濃度≦5mg/m3，灰塵半徑≦5μm，含油量≦1mg/m3。
15
 節流器
節流器是使氣體靜壓軸承具有承載能力的重要壓力補償元件，選用與
計算節流器結構和參數，是氣靜壓軸承設計的重要項目。

◎為何需要使用節流器
－節流器之阻抗會消耗供氣壓力之能量
，使節流器出口壓力小於供氣壓力。
這是必須的，因為氣室壓力必須調整
以平衡軸承外加負荷之變化。

◎節流器之功能
－裝設節流器之後，軸承間隙內的氣膜
就像一個預壓彈簧，負荷大時就縮短
，負荷小時就伸長，氣膜厚度與氣室
壓力之間有一定關係 。
孔式節流器的一些實用型式［3］

16
節流器的工作原理
一般可將氣路中的壓力、流阻及流量分析比擬成電路中的歐姆定
律。圖中Ps為供氣壓力，Pr為節流器出口壓力（或氣室壓力），Pa為環
境壓力，Rex為節流器阻力，Rf為氣膜阻力。Rex及Rf兩者串聯、通過氣
路的流量為q。我們可將此迴路系統比擬成電路。

V (電壓）
利用歐姆定律I（電流）＝
R（電阻）

PS − Pa Pr − Pa
在氣路中可得： q = =
R ex + R f Rf

17
節流器的工作原理(續)

上式經化減︰

Ps − Pa Ps − Pa
Pr = qR f + Pa = R f + Pa = + Pa
Rex + R f Rex
+1
Rf
節流器的工作原理［1］

1.由上式，其中Ps及Pa皆為定值，而節流器的直徑d不變，所以Rex為定
值。在工作過程中，若負載變大為ΔW時，氣膜厚度隨之減小為Δh，
則氣膜阻力Rf變大，比值(Rex / Rf)就會因而減小，所以上式的Pr會增
大，以平衡負載的變化，使主軸回復到平衡的位置。

2.假若不安裝節流器，則Rex為零，上式變成Pr = Ps，當負載增大為ΔW
時，因為Pr不增大，所以無法平衡，氣膜回隨之減小，直至兩個潤滑
面接觸為止，如此一來有可能導致兩潤滑面磨損。
18
 節流器的種類 常用節流器的結構及性能比較［6］
孔式供氣 溝式供氣 多孔軸質承襯供氣 反饋供氣
節流器名稱 周向溝槽 軸向溝槽
小孔節流 自成節流 毛細孔節流 可變節流
節流 節流

結構示意圖

軸 承載能力 高 較低 較高 最低 高 最高
承 剛 性 較大 較小 大 小 大 極大
性 流 量 較小 較小 大 最大 大 大
能 穩 定 性 差 較好 好 最好 好 較差
性
寬徑比 0.5~2 0.5~2 ≦1 ≧2 任意 任意
能
影
比 供氣壓力 大 大 小 小 大 最大
響
較
因 氣體種類
項 有 有 無 無 有 有
和 溫 度
素
目
應 製造難度 困難 困難 困難 困難 困難 困難
用 使用情形 多 多 多 多 極少(昂貴) 極少(昂貴)
備
在相同的供氣壓力下‚可變節流器軸承的剛度比固定節流器軸承大幾倍。常用的可變節流器有:膜片式
註 節流器、自補償節流器和壓變節流器等
19
二、氣體靜壓軸承與其應用實例

1.氣靜壓平面軸(支)承及其應用

2.氣靜壓主軸及其應用

20
氣靜壓軸承在精密加工機的應用

200,000rpm
高速氣靜壓主軸

PCB鑽孔機示意圖

氣靜壓平面軸(支)承
X、Y軸最高速度為40m/min

21
氣壓軸承應用領域
◎超精密加檢測設備
精密量測旋轉平台、氣靜壓進給系統等
◎脆硬材料切割、研磨
晶圓、玻璃(LED、LCD元件)、陶瓷、
石墨、寶石、壓電等脆硬材料
拋光機、精密非球面加工機。
◎微孔精密加工
PCB鑽孔機、薄壁加工、微孔加工機。
◎超精密切削
光學滾筒、超精密車床與銑床、PCB成
型機、難削材銑削(HRC60以上硬材)。
氣靜壓主軸可加工之脆硬材料［2］
◎高速精密的轉子系統
真空泵、高速透平機、牙科手機 …
22
氣靜壓平面軸(支)承

圓形氣靜壓平面軸承圖例

23
氣靜壓平面軸(支)承

圓形氣靜壓平面軸承設計例［16］ 圓形氣靜壓平面軸承壓力分布［1］

24
氣靜壓平面軸(支)承

Feed hole

Groove

方形氣靜壓平面軸承
(ZEISE三次元量床) 方形氣靜壓軸承示意圖與實體圖

25
 氣靜壓平面軸(支)承

d0

a1
A
A視圖放大
a2
a

90° B

B
δ

B-B剖面

b1 b2

方形氣靜壓平面軸承設計例［1］ 方形氣靜壓平面軸承壓力分布［1］

26
 平面軸承的應用例_PCB鑽孔機之導軌
◎鑽孔機之氣靜壓導軌

支撐軸承
引導軸承

PCB鑽孔機氣靜壓導軌系統
27
平面軸承的應用例_PCB鑽孔機之導軌(續)

◎具補償裝置的鑽
孔機氣靜壓導軌

靜壓軸承有溫度補
償機構，使進給軸在 具溫度補償空氣
軸承設計
40m/min快速進給下，
能補償溫度以及製造和
裝配之誤差，軸承與花
崗岩間隙得以保持在
10±1μm的範圍內 。

28
平面軸承的應用例_三次元量床
1:機床吸震塊
2:平台
3:手輪
4:x軸導軌
5:y軸導軌
6:導線座
7:z軸導軌
8:測量頭
9:主柱

小型龍門三次元量床
龍門形三次元量床結構圖[5]
(德國ZEISS）[17]
29
平面軸承的應用例_三次元量床氣浮導軌形式

(a)結構用於中型機
(b)結構用於小型機
(c)結構用於大型機
(d)為y導軌結構
(e)為z導軌結構

30
 液晶面版的氣浮載台

Smart Nozzle Air Float System

長瀨(日本)產業株式會社

本實驗室接受委製的液晶面版
氣浮載台實驗架構
氣浮載台的示意圖
31
氣靜壓主軸_高速PCB鑽孔機氣靜壓主軸
主軸轉速：0 rpm to 125,000rpm

主軸偏擺：<7μm at 125,000 rpm

負載能力：250 N axial (25kg)

200 N radial (20kg)

主軸殼體外徑：61.9 mm

軸承供氣壓力：5.6(kg/cm2)
※ WESTWIND公司PCB系列主軸目前
最高可達300,000rpm

PCB六軸鑽孔機
32
鑽孔機氣靜壓主軸架構

PCB鑽孔機主軸組合示意圖
各部零件名稱表
編號 名稱 編號 名稱
1 空氣軸承心軸 5 軸承間隔環
2 前徑向軸承 6 小孔節流器
3 後徑向軸承 7 軸承內襯套
4 止推軸承 8 軸承殼體外套
主軸實體各部零件[16]
33
氣體靜壓徑向軸承

氣靜壓軸承設計圖例

PCB鑽孔機氣靜壓主軸前頸軸承圖
34
徑向軸承的壓力分佈 W/2 W/2

h m ax
Shaft

ε
h mi n
B ear ing

所模擬的氣體靜壓徑向軸承示意圖［1］
主軸受外力產生(ε＝0.5)的偏心率且不轉動
（rpm=0)，徑向軸承壓力分佈[1]

35
氣體靜壓徑向軸承性能比較
氣體靜壓徑向軸承幾何狀及節流器配置性能比較表［1］

36
氣體靜壓軸向(止推)軸承
節 流器直 徑d0

Da
D0
D
h

氣靜壓止推軸承 止推軸承與間隔環(修配環)實例

雙向止推軸承配置示意圖［6］
37
氣體靜壓軸向軸承的形式

一般常用的氣體靜
壓軸向軸承有兩種
形式： (a) without groove (b) with groove

(a)具配流槽
(b)不具配流槽

止推軸承有無配流槽示意圖［10］
38
軸向軸承壓力的分佈
The pressure-distributiondiagram( 0 rpm, hr=5 um )

不具配流槽 具配流槽

止推軸承不具/具配流槽時，不旋轉時的軸承壓力分佈情形[13]

39
 有無配流槽之軸向軸承的性能比較
25

1.具配流槽的軸承比沒配流槽的軸 Without groove

20 With groove

承有較高的承載力和剛性。 Do=36.0 mm

Load capac ity (kgf)

Di=15.0 mm
15 Dm=25.5 mm
d=0.2 mm
2.增加槽寬和槽深時軸承的承載力必 2
Ps=6 kgf/cm
Gw=0.30 mm
增加，但太大的槽寬和槽深會造成 10
Hg=0.04 mm

不穩定。
5

3.增加軸承環狀面積可提高穩定性。
0
5 10 15 20 25 30 35 40
Film gap (um)

有無配流槽時軸承承載力與間隙關係圖[13]

40
氣靜壓主軸應用例_氣靜壓切削主軸
1.全支撐軸承設計，剛性高於一般氣靜壓主軸。
2.軸承與心軸的間隙為15μm。 3.主軸迴轉精度<1μm，達次微米。
4.主軸轉速DN值達到2×106以上
5.馬達後置式配製，搭配全軸承的冷卻設計，熱影響小。

氣靜壓主軸晶圓切割工作圖
PMC開發之氣靜壓切削主軸結構示意圖 資料來源: Uni-Tek System ,Inc
41
氣靜壓切削主軸
※ 應用
光學鏡片模具等精密零件切削加工

■鑚孔 Drilling ■銑切 Milling

■研磨 Grinding ■雕刻 Engraving
■修整 Dressing

PMC發展的氣靜壓切削主軸實體圖

切割主軸與鑽孔機主軸徑向軸承 切割主軸之心軸
42
氣靜壓主軸應用例_超精密切削加工機主軸

• The type of spindle

bearing：Aerostatic
Bearing
• Low noise and vibration：
80db/ 0.1μm
• High-precision run-out：
0.07μm
• Tremendous reduction
machining time

超精密高速加工機裝配氣靜壓主軸［17］
43
裝配氣靜壓主軸之超高速加工機加工例（1）

精細3D 模具的加工
44
裝配氣靜壓主軸之超高速加工機加工例（2）

微細孔的加工

陶瓷, 矽晶片, 石英的加工

45
氣靜壓主軸應用例_渦輪驅動之氣靜壓主軸
一般氣靜壓主軸都以內藏式馬達驅動，熱源的產生必須使用冷卻
系統來控制溫升，尚需使用變頻器，成本高。本設計以渦輪葉片
驅動代替馬達達到減少熱源，降低成本目的。

1.Housing 4.Rear-thrust bearing

2.Shaft 5.Journal and front-thrust bearing
3.Journal bearing 6.Air turbine set 渦輪驅動主軸組件［16］

46
氣靜壓主軸應用例_氣動高速牙鑽手機
1:徑向軸承
2:渦輪驅動系統
3:主軸
4:O Ring
5:供氣道

※工作轉速約：250,000-350,000rpm

47
氣靜壓主軸應用例_真圓度量測儀

氣體靜壓轉軸
系統

德國Mahr真圓度儀[17]
48
三、氣體靜壓軸承設計與分析
-以高速主軸徑向軸承為例
(軸向止推軸承分析方法亦相同)

1.目的。

2.方法與步驟。

3.理論分析。

4.性能測試

49
氣體靜壓主軸關鍵技術[16]

•氣體靜壓軸承性能計算與分析

•主軸溫升熱抑制技術

•高速轉子動平衡校正技術
高速轉子-軸承系統動平衡校正技術
•精密加工與組裝技術

•拉刀機構設計分析

•內藏式馬達單元

•剛性、迴轉精度、熱變位等檢測

主軸之心軸,與內藏式馬達 50
氣體靜壓軸承設計分析的目的

1.藉由靜態設計分析，確定氣靜壓靜壓軸承之各部份尺寸
與相關參數。

2.利用動態特性分析，了解氣體靜壓軸承的動態特性如轉
速與穩定性的影響。

3.藉由分析測試所得資訊，回饋作為設計修正高精密氣靜
壓主軸之依據。

51
氣靜壓主軸系統 工 作 的 需 求 與 規 格 訂 定

設計流程[16]
軸 與 軸 承 系 統 結 構 設 計 、 配 置

軸 與 軸 承 系 統 的 分 析

選 擇 軸 承 形 式 與 選 用 軸 承 材 料

決 定 軸 承 幾 何
尺 寸 (參 數 )

決 定 節 流 器 的 型 態 與
結 構 尺 寸

相 關 設 計 參 數 選 擇

計 算 分 析

供 氣 系 統 的 設 計
氣靜壓主軸系統設計流程[16]
52
 設計流程說明
氣靜壓主軸系統 1.軸與軸承系統結構設計、配置：可由軸的規格需求、承受
負載大小和方向、轉速高低、迴轉精度、系統剛性和機械
設計流程 空間的大小、裝配位置等條件，決定系統的結構形式。此
(說明) [16] 外須確定主軸工作時的最高轉速。
2.軸與軸承系統分析：由軸的型式、自重、負載大小和方向、
要求的剛性與結構配置，初估出軸承所需的負荷與剛性。
3.選擇軸承的結構型式並決定軸承的結構尺寸與材料：依照
所承受負載的性質，考量設計、製造的條件決定軸承的結
構型式、尺寸(如長寬比)與材料。
4.選擇節流器的結構型式：根據負載、剛性與裝配、製造的
考量，決定節流器形式與尺寸(節流器孔徑或長度等) 。
5.設計參數選定：決定相關之設計參數，如泵供氣壓力 Ps，
氣體黏度η，主軸與軸承間隙(氣膜)h 0 等。
6.性能計算分析：由於氣靜壓軸承的設計參數繁多且參數之
間彼此互相影響，因此在計算分析時可用數值方法求得其
性能參數。而美、日與中國大陸已有文獻將氣靜壓軸承設
計公式化(靜態近似算法)，提供較為簡便的設計途徑。
7.供氣系統設計：依軸承設計得之供氣流量與壓力，且能滿
足氣體乾淨、穩定的要求下，設計所需的供氣系統。
53
分析方法與步驟
1.建立主軸承受外加負載後，較為符合實際情況的軸
承間隙變化模型。

2.應用數值解法求解氣體潤滑雷諾方程式，並考慮其
在高轉速下之動壓效應， 軸承間隙變化情形。
3.模擬軸承相關性能，如負載能力、剛性及動壓效應等
特性。
4.軸承承載力、迴轉精度、溫昇、振動及模態實驗等
測試。
5.比較理論分析與實驗值

54
 軸承間隙的考量
◎軸承間隙會影響到流率及剛性。 h(θ,Z)=ho-S(θ,r,δ,z)+DSP/2
◎好的設計是選擇一個間隙相當
於符合結構限制之最小值。
◎隨著估算所求出的氣體軸承間
隙，通常是被製造出在這個範
圍內有一個氣膜厚度
2 ho
= 0 .0005 ~ 0 .00015 (mm)
D
◎直徑精度及表面粗糙度必須要有精
密的要求。 軸承間隙變化示意圖［1］

55
 軸承間隙變化模擬結果
W /2 W/2
W B ea r ing

h m xa
Sh a ft Sha ft

δ
O

ε
ε
h m ni
Be arin g

2
Variation of clearance (μ m )

1.8

1.6

1.4

1.2

1
360
270 50
180 40
30
90 20
10
Circle direction (°) 0 0
Axis direction (m m)

主軸有偏位(無傾斜)時的間隙 主軸有偏位且發生傾斜時的間隙
計算結果［1］ 計算結果［1］
(δ =0 and ε=0.3) (δ =45＂ and ε=0.3)
56
雷諾方程式(The Reynolds equation)
描述氣體靜壓徑向軸承之雷諾方程式為下：

∂ ∂ p 2
∂ ∂ p 2
∂ ( ph )
(h 3
)+ R 2
(h 3
) = 12 η UR
∂θ ∂θ ∂z ∂z ∂θ

雷諾方程式為二階偏微分方程式，其描述了軸承間隙內氣膜壓
力的分佈情形P(θ、Z) ，則有承載力W

W= ∫∫ (Pi, j − Pa )dA

由於軸承氣膜的承載力與主軸軸心位置有關，因而W是偏心率
ε(ε=e/ho)的函數，而偏心率又表示了軸心位移的關係，所以
W實際上是位移量e的函數，即W=W(e) 。
W
可求得氣膜剛性 K =
e
57
有限插分法計算軸承性能
(1)差分方式解雷諾方程

偏微分方程式可轉換成差分的標準表示式，將各節點的變
量P ij與相鄰各節點變量的關係，這種關係可以寫成

Pi , j = CW Pi +1 , j + CE Pi −1 , j + CN Pi , j + 1 + CS Pi , j −1 + G
其中
A C E
Cw = [ − ] T , G=−
(Δx) 2(Δx)
2
K
A C A B
Ce = [ + ] T , K = 2[ + ]
(Δx) 2(Δx)
2
(Δx ) (Δz )
2 2

B D
Cs = [ − ] T
(Δz ) 2(Δz)
2

B D
Cn = [ 2
+ ] T
(Δz ) 2( Δz)
58
有限插分法計算軸承性能
(2)邊界條件

邊界條件如下圖所示，由圖中可確定各氣室的壓力值為Prn(n代表各氣
室的編號)；而當軸向Z在Z＝0及N時，邊界的壓力值為大氣壓力Pa 。當
∂p
周向θ＝0、M/4時，其壓力分佈是連續函數，所以存在 ∂ θ = 0 關係式，
以上的邊界條件。可描述成：
Z
⎧ for θ = 0, M 4 , ∂∂pθ = 0
⎪
⎪ for Z = 0 , N , P = Pa
⎪ for θ = 0, and Z = b1 , P = Pr1
⎪
⎪ for θ = M 8 , and Z = b1 , P = Pr 2
⎨
b2

⎪ for θ = M 4 , and Z = b1 , P = Pr 3
⎪ for θ = 0, and Z = b 2
b1

, P = Pr 4
M/ 8 θ ⎪
M/ 4
⎪ for θ = M 8 , and Z = b 2 , P = Pr 5
⎪ for θ = M , and Z = b 2 , P = Pr 6
徑向軸承邊界條件示意圖(1/4軸承面) ⎩ 4

59
 開 始

有限插分法計算軸承性能 輸 入 參 數 條 件
h,Ps,M,N,孔口數及
軸承尺寸

(3)計算軸承壓力分布，並可進而求得
假設各氣室初始壓

軸承的承載能力與剛性 力值Pr

計算軸承的壓力分
佈(Mesh P)
a.解先前雷諾方程式的插分
計算軸承的進出口
表示式即可得壓力分布 流量(QI,QO)
Pr=Pr+ΔP

Pr=Pr+ΔP
g1=g1+Δg
No 氣室壓力較小則 判斷 氣室壓力較大則
Yes No
Pr(i)=Pr(i)+0.0001 QI - QO > 0 Pr(i)=Pr(i)-0.0001

b.利用辛普生積分法計算氣
體靜壓徑向軸承之壓力值 計算軸承承載力及
剛性及施力角度g1

總和，以力平衡的關係來
判斷是否收斂

求出軸承的承載力及剛性。 Yes

∫∫ (P − P a )dA
輸出各孔口的氣室

W =
壓力值,承載力,剛
性及流量
i, j
繪出軸承流量,承載
力,剛性及間隙關係圖
W
K = 程式流程圖[1]
e 結 束

60
徑向軸承性能分析結果
(1)徑向軸承壓力分佈
（主軸承受負載產生平移的位移量)
所分析的氣體靜壓軸承示意圖
W/2 W/2

h ma x
Sh aft

ε
h mi n
Bea rin g

主軸不受外力作用（ε＝0）且不轉動 主軸受到外力產生(ε＝0.5)的偏心
率且不轉動（rpm=0)，氣體靜壓徑
（rpm=0)，氣體靜壓徑向軸承壓力分佈［1］
向軸承壓力分佈［1］
61
(2)高轉速時的徑向軸承壓力分佈

高速時_主軸因速度影響產生偏位，而需考慮轉速(動壓效應)的
影響

主軸受外力作用且考慮轉動（rpm=10,0000rpm)時
氣體靜壓徑向軸承壓力分佈[16]
62
(3)徑向軸承承載能力結果
0.3 5
ω=0
ω=1 ,00 0 rpm
ω=5 ,00 0 rpm
0. 3
ω=1 0,0 00 rpm
ω=3 0,0 00 rpm
ω=5 0,0 00 rpm
Dimensionless Load Capacity

0.2 5
ω=8 0,0 00 rpm
ω=1 00 ,00 0 rp m
ω=1 25 ,00 0 rp m
0. 2

0.1 5

0. 1

0.0 5

0
0 0 .1 0. 2 0.3 0. 4 0.5 0 .6 0. 7 0.8 0. 9
Ec cen tric ity Ra tio

徑向軸承在不同轉速下，軸承承載能力與
主軸偏心率(軸承間隙變化)關係圖[16]
63
性能測試(例1)-軸承承載力量測試

主軸軸承的軸向承載力理論與實驗
主軸軸承的軸向承載力檢測架構 結果比對[13]
64
性能測試(例2)-迴轉精度檢測

主軸迴轉精度檢測架構 主軸轉速110000 rpm時迴轉精度檢測結果

平均誤差：0.32μm [16]

65
四、結論

1. 本報告簡要的介紹了氣壓軸承的技術與應用，希望能提
供業界相關的技術資訊，做為未來開發與應用之參考。

2. 氣體軸承是超精密與高速加工、檢測、運轉的關鍵技
術，隨著脆硬材料加工需求使用漸廣泛，其在航太、半
導體與光學等產業具有相當大的市場需求。

3. 氣體軸承具備高精度與高附加價值的特性，也是國內產
業技術升級之必然趨勢。

66
五、參考資料
1.陳育斌，氣體靜壓軸承動態性能分析與實驗研究，大葉大學機械所碩士論文，1998年6月。
2.王維漢，高速精密氣浮主軸技術與應用研討會講義，工研院機械所，2000年9月。
3.Powell,J.W.，Design of Aerostatic Bearings，The Machinery Publishing Co.Ltd，
1970。
4.Alexander H.Slocum，Precision Machine Design，Prentice-Hall, Inc.，1992 。
5.賴耿楊譯，氣體軸承-從設計到製造，復漢出版社，1991年2月。
6.徐灝等，機械設計手冊第四冊，建宏出版社，1998年。
7.黨根茂，氣體潤滑技術，東南大學出版社(中國大陸)，1990年6月。
8.王雲飛，氣體潤滑機理與氣體軸承設計，機械工業出版社(中國大陸)，1999年2月。
9.劉敦等，靜壓氣體潤滑，哈爾濱工業大學出版社(中國大陸)，1990年4月。
10.陳金安，氣靜壓主軸動態特性之研究，彰化師範大學工教系碩士論文，2001年6月。
11.方思巽，氣靜壓主軸之軸承分析與設計，中正大學機械所碩士論文，2000年7月。
12.陳育斌，PCB鑽孔機氣靜壓高速主軸設計，機械月刊，2002年3月。
13.曾釋鋒、陳明飛，氣體靜壓平面止推軸承設計，機械月刊，2002年3月。
14.陳明飛、黃韋倫、陳育斌，精密磨床液靜壓徑向軸承動壓效應之研究，中國機械工程學會
，第十七屆學術研討會論文集，2000年11月。
15.高桑正美等，工作機械的設計學-應用篇(日文)，日本工作機械工業會，2002年。
16.黃韋倫等，氣靜壓軸承技術研討會講義，精密機械研發中心，2003年8月。
17.Westwind等公司網站 http://www.westwindairbearings.co.uk
67
\(^_^)/
Thanks

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