Bộ môn Chương 1.

Tổng quan về cảm biến

Kỹ thuật đo
&
Tin học Công nghiệp

1.1. Các khái niệm và định nghĩa

Cảm biến và thiết bị đo 1.2. Phân loại
1.3. Ứng dụng
1.4. Đặc tính chung

Phạm Thị Ngọc Yến

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

1 2

Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ

Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường Chương 1. Tổng quan về cảm biến
§1.1. Đặc điểm của các phương pháp đo các đại lượng 1.2.Phân loại
không điện
X Y Ych
1. Sơ đồ khối CB BĐCH TBĐ

CB- cảm biến

BĐCH – Biến đổi chuẩn hóa
TBĐ- Thiết bị đo điện
▪ Đại lượng không điện X được đưa qua một cảm biến → Y. Thông thường Y là
một đại lượng điện .
▪ Đại lượng điện có thể là U, I, f (cảm biến phát điện), hoặc thông số R, L, C (cảm
biến thông số).
▪ Y được đưa vào bộ chuẩn hoá biến thành Ych tương thích với thiết bị đo TBĐ.
▪ Cảm biến có rất nhiều loại và cấu tạo thay đổi theo tính chất và khoảng đo của X
vào
▪ Khoảng đo của đại lượng không điện trong công nghiệp thường rất rộng, do đó
cảm biến rất lớn về số lượng cũng như chủng loại.

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

3 4

1
 Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
Phân loại cảm biến theo kích thước Khái niệm vi cảm biến

Cảm biến truyền thống

Vi cảm biến Cm

• Vi cảm biến (microsensor) là cảm biến được sản xuất trên cơ sở

công nghệ vi cơ điện tử với kỹ thuật xử lí silicon truyền thống có
kích thước vật lý rất nhỏ (mm, micro, nano..).

5 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

5 6

Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
Phân loại theo phương pháp tiếp xúc
Phân loại theo tính năng
1
2 CHTH
✓Cảm biến tương tự
3
Đối tượng đo ✓Cảm biến thông minh
4 CHTH MUX ADC Vi Xử lí Hiển thị
5

6
Nguồn
ngoài

CB1: đo tiếp xúc với đối tượng và không cần CHTH (chủ động). CB2 đo tiếp xúc
chủ động và cần chuẩn hoá tín hiệu. CB3 đo ko tiếp xúc, ko cần CHTH và chủ
động. CB4 đo ko tiếp xúc, chủ động và cần CHTH. CB5 đo tiếp xúc, thụ động (cần
nguồn ngoài). CB6 đo môi trường.

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

7 8

2
 Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ
Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường
Phân loại theo mô hình tương đương a. Cảm biến thụ động

▪ Cảm biến tích cực : cảm biến phát điện

▪ Cảm biến thụ động: cảm biến thông số
▪ Là các loại cảm biến có trở kháng thay đổi theo sự thay
đổi của đại lượng vật lý cần đo.
▪ Cấu tạo bao gồm một cuộn dây hoặc 1 phần tử có thể
biến dạng được theo tác dụng của đại lượng vật lý cần
đo.
▪ Mỗi một vị trí của cuộn dây tương ứng với một giá trị trở
kháng nhất định.

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

9 10

Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ
Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường
VD Cảm biến thụ động b. Cảm biến tích cực
▪ Là cảm biến có điện áp hay dòng điện thay đổi theo đại lượng
vật lý cần đo.
▪ Hoạt động dựa trên các hiệu ứng vật lý làm biến đổi năng
lượng của đại lượng vật lý cần đo thành năng lượng điện.
▪ Một số hiệu ứng hay được sử dụng:
• Hiệu ứng nhiệt điện
• Hiệu ứng áp điện
• Hiệu ứng cảm ứng điện từ
• Hiệu ứng quang điện
• Hiệu ứng quang điện từ
• Hiệu ứng quang áp
• Hiệu ứng Hall...

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

11 12

3
 Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ
Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường

Hiệu ứng cảm ứng điện từ (do nhà vật

lý Anh M.Faraday phát hiện năm
Hiệu ứng nhiệt điện: Hai dây dẫn có 1831): Khi một thanh dẫn chuyển động
bản chất hoá học khác nhau được trong từ trường sẽ xuất hiện sức điện
hàn kín sẽ xuất hiện sức điện động động tỷ lệ với biến thiên từ thông → tỷ
tỷ lệ với nhiệt độ mối hàn lệ với tốc độ chuyển động của thanh
dẫn.

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

13 14

Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ
Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường
Hiệu ứng áp điện: Năm 1880 nhà vật lý Pháp Pierre Curie phát Hiệu ứng quang điện: Hiệu ứng quang điện do A. Einstein phát
hiện hiệu ứng áp điện. Khi tác động ứng suất cơ lên bề mặt của hiện năm 1905. Hiệu ứng quang điện có nhiều biểu hiện khác
vật liệu áp điện (thạch anh, muối Segnet…) làm vật liệu bị biến nhau nhưng cùng chung một bản chất: đó là việc giảI phóng các
dạng và xuất hiện các điện tích bằng nhau và tráI dấu. hạt dẫn tự do trong vật liệu dưới tác dụng của bức xạ ánh sáng.

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

15 16

4
 Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ Chương 1. Các khái niệm cơ bản của kỹ
Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường Chương 1. Tổng
thuật quan về cảm biến
đo lường
VD Cảm biến tích cực
Hiệu ứng quang điên từ: Do Verdet
phát hiện năm 1863. Khi tác động một
từ trường vuông góc với bức xạ ánh t2
sáng trong vật liệu bán dẫn được
ET = KT (t1 - t2) Et

chiếu sáng sẽ xuất hiện một hiệu điện KT - hÖ sè hiÖu øng nhiÖt ®iÖn
thế theo phương vuông góc với từ t1 - nhiÖt ®é ®Çu nãng
trường B và phương bức xạ ánh sáng.
t2 - nhiÖt ®é ®Çu tù do
t1

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

17 18

Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
1.3. Ứng dụng Các loại cảm biến hay được sử dụng trong công nghiệp và dân dụng
Cảm biến trong hệ thống đo lường và điều khiển

▪ C¶m biÕn ®o nhiÖt ®é (37,29%*)

▪ C¶m biÕn ®o vÞ trÝ (27,12%*)
▪ C¶m biÕn ®o di chuyÓn (16,27%*)
▪ C¶m biÕn ®o ¸p suÊt (12,88%*)
▪ C¶m biÕn ®o lưu lượng (1,36%*)
▪ C¶m biÕn ®o møc (1,2%*)
▪ C¶m biÕn ®o lùc (1,2%*)
▪ C¶m biÕn ®o ®é Èm (0,81%*)

*: Xếp theo số lượng các loại cảm biến bán được tại Pháp năm 2011

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

19 20

5
 Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
Các lĩnh vực ứng dụng Ứng dụng của cảm biến hiện đại

ôtô
▪ Xe h¬i : (38%*) Máy bay
▪ S¶n xuÊt c«ng nghiÖp: (20%*)
▪ §iÖn gia dông : (11%*)
▪ V¨n phßng: (9%*)
▪ Y tÕ: (8%*)
▪ An toµn: (6%*)
▪ M«i trường: (4%*)
▪ N«ng nghiÖp: (4%*)

*: Xếp theo số lượng các loại cảm biến bán được tại Pháp năm 2011
Tàu thuỷ
Nhà thông minh Thiết bị thông minh
Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

21 22

Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
1.4. Đặc tính chung của cảm biến Độ nhạy
- Đáp ứng (response)
Độ nhạy (sensitivity) Y
- K = (S ) =
- Độ lựa chọn (selectivity) X
- Giới hạn phát hiện (detection limit)
- Độ phân giải (Resolution)
- Ngưỡng nhạy
- Tốc độ đáp ứng (speed of response)
- Độ trễ (hysteresic)
- Độ lặp lại (repeatability)
- Độ phi tuyến (Nonlinearity)
- Độ ổn định (stability)
- Khả năng chịu quá tải
- Công suất tiêu thụ, trở kháng, kích thước, trọng lượng của thiết bị …

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

23 24

6
 Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
Y
K = (S ) =
X Ở các lần đo khác nhau, Kx có
thể khác nhau
▪ S cµng lín ®é nh¹y cµng cao. Với c¸c hÖ thèng cã cïng mét biÕn
®éng ®Çu vµo X như nhau, hÖ thèng nµo cã ®é biÕn ®éng ®Çu ra y dK
lín h¬n sÏ cã ®é nh¹y lín h¬n : y t¨ng → S t¨ng.  =
K
▪ NÕu kh«ng xÐt tíi nhiÔu ®Çu vµo :
y =f(x) cho phép đánh giá tính ổn định của
K=const -> X,Y lµ tuyÕn tÝnh. thiết bị đo hay tính lặp lại của TBĐ,
K≠const -> X, Y kh«ng tuyÕn tÝnh sai số lặp lại hay độ tin cậy của thiết
bị đo.
- > sai sè phi tuyÕn.
dS
▪ Sai sè vÒ ®é nh¹y: S = Sai số nhân tính
S
Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

25 26

Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến

▪ HiÖn tượng dư thõa ®é nh¹y: nÕu hÖ sè khuÕch ®¹i lín : Y=KX →chØ cÇn
Miền độ nhạy thấp
mét biÕn ®éng nhá cña ®Çu vµo X sÏ cã mét biÕn ®éng lín cña ®Çu ra Y → gây
bÊt æn ®Þnh hÖ thèng .

☺ ☺ Dùng mạch
Miền độ nhạy trung
bình  Cách khắc phục ??? phản hồi âm để
điều chỉnh sự
thay đổi của tín
hiệu vào
Miền độ nhạy cao
X

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

27 28

7
 Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
X X Y Y S Hệ số phi tuyến
S S = =
X 1 + S ▪ Dïng ®Ó ®¸nh gi¸ tÝnh phi tuyÕn cña hÖ thèng
XK
X max
 K pt =
Xn X

 S =??? Xmax: sai lÖch lín nhÊt gi÷a gi¸ trÞ vµo
cña ®ường cong thùc tÕ vµ gi¸ trÞ vµo Xtt
Xmax
cña ®ường th¼ng tuyÕn tÝnh.
Xpt
Xn: khoảng đo lớn nhất của hÖ thèng
YX Y
Một giá trị vào có thể có
nhiều giá trị ra tương ứng
gây sai số

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

29 30

Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến

X Y X Spt Stt
S Sb
Sb
Tính giá trị Sb để hàm
truyền đạt của ht tuyến
tính
K
Sb = Là hàm ngược của S Y
S

 Y = S  Sb  X = KX
 Đề xuất phương pháp bù
sai số phi tuyến???
Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

31 32

8
 Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
Bù sai số phi tuyến của hệ thống đo Phương ph¸p lËp b¶ng sè + néi suy tuyÕn tÝnh.
▪ §èi víi hÖ thèng tương tù, ®Ó người ®äc dÔ ®äc kÕt qu¶ ®o, LËp mét b¶ng ®o gi¸ trÞ cña hÖ thèng mÉu lý tưởng (cïng
thang ®o trªn hÖ thèng ph¶i ®ược kh¾c ®é ®Òu → ph¶i bï ®Æc tÝnh
chñng lo¹i vµ ®Æc tÝnh kü thuËt ).
phi tuyÕn cña hÖ thèng nÕu hÖ thèng lµ phi tuyÕn. X1 → N 1
▪ §èi víi hÖ thèng sè, b¾t buéc thang ®o ph¶i tuyÕn tÝnh v× X2 → N 2
kho¶ng c¸ch gi÷a c¸c con sè lµ ®Òu . .............
Các phương pháp tuyến tính hoá đặc tính phi tính của hệ thống Xi → Ni
..............
 Phương ph¸p tuyÕn tÝnh ho¸ tõng ®o¹n: sö dông c¸c hÖ Xn → Nn
sè biÕn ®æi kh¸c nhau. Khi ®o gi¸ trÞ mét ®¹i lượng X nµo ®ã, gi¶ sö cã kÕt qu¶ NX,
 Phương ph¸p lËp b¶ng sè + néi suy tuyÕn tÝnh. ph¶i dß NX n»m trong kho¶ng nµo. NÕu : Ni < NX < Ni+1
Ta sÏ cã kÕt qu¶ : X − Xi
X = Xi + i +1 ( N X − Ni )
Ni +1 − Ni

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

33 34

Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
Độ bão hoà và khả năng lặp lại Độ lựa chọn

• Đến một giá trị ngưỡng nào đấy, sự tăng thêm kích thích đầu vào Một vật liệu nhạy có thể đáp ứng đồng thời với nhiều khí trong một hỗn
không tạo ra giá trị ra như mong muốn. hợp khí. Ví dụ với đặc tính trên, thì cảm biến có độ chọn lựa cao với khí
C2H5OH.
Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

35 36

9
 Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
Đặc tính động của cảm biến
Cảm biến và mạch đo
BĐCH
Khi cho tín hiệu đo vào chuyển đổi thường xuất hiện quá trình quá độ. Quá
trình này có thể nhanh hay chậm tuỳ thuộc vào dạng chuyển đổi, Đặc tính
này được gọi là độ tác động nhanh. Độ tác động nhanh của cảm biến có ảnh
hưởng đến sai số của phép đo và ảnh hưởng đến tốc độ của phép đo

Một số dạng đáp ứng ▪ Hoµ hîp t¶i gi÷a c¶m biÕn vµ m¹ch ®o
▪ CÊp nguån cho c¶m biÕn thô ®«ng
▪ TuyÕn tÝnh ho¸ ®Æc tÝnh phi tuyÕn cña c¶m biÕn
▪ TuyÕn tÝnh ho¸ tÝn hiÖu ra cña m¹nh ®o (VD cÇu Wheastone)
▪ KhuyÕch ®¹i tÝn hiÖu ra cña c¶m biÕn
▪ Läc nhiÔu t¸c ®éng lªn tÝn hiÖu ra cña c¶m biÕn
▪ KhuyÕch ®¹i ®o lường ®Ó triÖt tiªu hoÆc lµm gi¶m c¸c nhiÔu t¸c
®éng (®iÖn ¸p ký sinh vµ dßng ®iÖn rß trªn ®ường truyÒn)

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

37 38

Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến

Giới hạn làm việc của cảm biến Chuẩn cảm biến

- Chuẩn trực tiếp: dùng các đại lượng mẫu để kiểm tra cảm biến, từ kết
quả thu được sẻ chỉnh cảm biến
- Chuẩn gián tiếp: dùng cảm biến có đặc tính chuẩn và so sánh kết quả
với bộ cảm biến cần định chuẩn trong cùng một điều kiện
- Chuẩn nhiều lần: khi cảm biến có chứa các phần tử có độ trễ thì giá trị
của đáp ứng của chúng sẽ phụ thuộc vào nhiều yếu tố. Vì vậy phải thực
hiện chuẩn nhiều lần. Thường áp dụng cho cảm biến có độ trễ lớn.

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

39 40

10
 Chương 1. Tổng quan về cảm biến Chương 1. Tổng quan về cảm biến
Các giao thức truyền tín hiệu giữa cảm biến và máy tính
Giao thức Tần số đếm Chu trình đếm Số bít Tốc độ truyền Đặc điểm
(MHz) khi truyền

ISA 8 2-8 16 8MBps Tốc độ thấp

PCI 33 1 32 132MBps Tốc độ cao

264MBps
PCMCIA 33 1 64 132MBps Laptop
USB2.0 480 1 32 480MBps Ngoại vi
IEEE-1394b 800 1 1 800- Ngoại vi
3200MBps (băng thông
lớn)
IEEE-1284 1 1 1 1MBps Máy in

Bps: bytes/s; bps: bits/s

Phạm Thị Ngọc Yến - 2013 Phạm Thị Ngọc Yến - 2013

41 42

11