CẢM BIẾN VÀ ỨNG DỤNG

Th.s Nguyễn Thị Thuỳ

 Nội dung học phần

 Chương 1: Các khái niệm và đặc trưng cơ bản

 Chương 2: Cảm biến xác định vị trí.
 Chương 3: Cảm biến quang.
 Chương 4: Cảm biến áp điện.
 Chương 5: Cảm biến gia tốc, vận tốc.
 Chương 6: Cảm biến độ ẩm.
 Chương 7:Cảm biến thông minh.

2
 Giới thiệu tổng quan, cấu trúc và ứng
dụng của cảm biến trong thực tế

-Cảm biến có vai trò quan trọng trong kỹ thuật và công

nghiệp đặc biệt là trong lĩnh vực đo lường, điều khiển và
tự động hóa.
-Ứng dụng: sử dụng trong nhiều lĩnh vực của đời sống
xã hội như: trong sinh hoạt, trong kinh doanh thương
mại, trong bảo mật, trong vận tải hàng không, trong công
nghiệp sản xuất…
Sử dụng cảm biến ở trường hợp nào cũng đem lại lợi ích
thiết thực cho người sử dụng như tiết kiệm được chi phí,
3 bảo vệ thiết bị điện an toàn, nâng cao tuổi thọ của chúng.
4
 Chương 1. Các khái niệm và đặc trưng cơ bản.

 1.1. Khái niệm và phân loại cảm biến.

 1.2. Đường cong chuẩn của cảm biến.
 1.3. Các đặc trưng cơ bản.
 1.4. Nguyên lý chung chế tạo cảm biến.

5
1.1. Khái niệm và phân loại cảm biến.

1.1.1. Khái niệm.

6
• -Cảm biến là thiết bị dùng để cảm nhận, biến đổi
các đại lượng vật lý và các đại lượng không có tính
chất điện cần đo thành các đại lượng điện có thể đo
và xử lý được.

7
• - Mối quan hệ đầu ra và vào cảm biến: s= F(m)
Trong đó: s: đầu ra cảm biến mang tính chất điện.
m: đầu vào cảm biến mang tính phi điện.
Thông qua đo đạc s thì có thể nhận biết giá trị m

8
1.1.2. Phân loại cảm biến.
• Theo nguyên lý chuyển đổi giữa đáp ứng và kích
thích: hiện tượng vật lý, hóa học, sinh học…
• Theo dạng kích thích: âm thanh, điện, từ, quang,
cơ, nhiệt, áp suất….
• Theo tính năng bộ cảm biến.
• Theo phạm vi sử dụng.
• Theo thông số mô hình mạch thay thế:
• + Có đầu ra tích cực là nguồn áp hay nguồn dòng.
• + Cảm biến được đặc trưng bằng các thông số
R,L,C… tuyến tính hoặc phi tuyến.
9
1.2. Đường cong chuẩn.

• 1.2.1 Khái niệm.

- Chuẩn cảm biến: Chuẩn cảm biến là phép đo nhằm
diễn giải tường minh, dưới dạng đồ thị hoặc đại số,
mối quan hệ giữa giá trị m của đại lượng đo và giá
trị s đo được của đại lượng điện ở đầu ra có tính
đến các thông số ảnh hưởng.
- Đường cong chuẩn cảm biến sẽ biểu diễn sự phụ
thuộc của đại lượng điện ở đầu ra s của cảm biến
vào đại lượng đo m ở đầu vào.

10
• Đường cong chuẩn cảm biến sẽ biểu diễn sự phụ
thuộc của đại lượng điện ở đầu ra s của cảm biến
vào đại lượng đo m ở đầu vào.

11
1.2.2. Phương pháp chuẩn cảm biến
• Khi chuẩn cảm biến, với một loạt các giá trị đã biết
chính xác mi của m, đo giá trị tương ứng si của s và
dựng đường cong chuẩn.

12
1.2.2. Phương pháp chuẩn cảm biến
• 1. Chuẩn đơn giản:
• Chuẩn đơn giản là phép đo trong đó chỉ có một đại
lượng vật lý duy nhất tác động lên một đại lượng
đo xác định và sử dụng một bộ cảm biến không
nhạy với các đại lượng và không chịu tác động của
kích thích này.

13
Chuẩn đơn giản cảm biến theo một trong hai cách:

• Chuẩn trực tiếp:Các giá trị khác nhau của đại

lượng đo lấy từ các mẫu chuẩn hoặc các phần tử so
sánh có giá trị biết trước có độ chính xác cao.

• Chuẩn gián tiếp : Sử dụng kết hợp cảm biến cần

chuẩn với một cảm biến so sánh đã có sẵn đường
cong chuẩn, cả hai cùng đặt trong cùng điều kiện
làm việc.

14
2. Chuẩn nhiều lần.

• Khi cảm biến có chứa những phần tử có độ trễ (trễ

cơ hoặc trễ từ), giá trị đo được ở đầu ra phụ thuộc
không những vào giá trị tức thời của đại luợng cần
đo ở đầu vào mà còn phụ thuộc trước đó của đại
lượng này. Trong những trường hợp như vậy cần
phải áp dụng phương pháp chuẩn nhiều lần.

15
1.3. Các đặc trưng cơ bản.

• 1.3.1. Độ nhạy của cảm biến.

Δs = S.Δm
S: Độ nhạy của cảm biến.
S: phụ thuộc vào:
+ Giá trị đại lượng cần đo, tần số thay đổi của nó.
+ Thời gian sử dụng.
+ Ảnh hưởng của các đại lượng vật lý khác.

16
a. Độ nhạy trong chế độ tĩnh, tỷ số chuyển đổi tĩnh.

• Đặc trưng tĩnh: là đường chuẩn cảm biến của đại

lượng đo khi đại lượng này đạt đến chế độ làm việc
danh định. Một điểm Q1(m1, s1) trên đặc trưng tĩnh
xác định một điểm làm việc của cảm biến ở chế độ
tĩnh.
• Nếu đặc trưng tĩnh không tuyến tính thì độ nhạy S
phụ thuộc vào điểm làm việc.

17
Tỷ số chuyển đổi tĩnh (ri):

18
c. Độ nhạy trong chế độ động.

• Được xác định khi đại lượng đo biến thiên tuần

hoàn theo thời gian.

19
1.3.2. Độ tuyến tính.

a. Khái niệm:
- Một cảm biến được gọi là tuyến tính trong một dải
đo nếu trong dải chế độ đó, độ nhay không phụ thuộc
vào đại lượng đo .

20
• Trong chế độ tĩnh: độ tuyến tính là sự không phụ
thuộc của độ nhạy cảm biến vào đại lượng đo thể
hiện bởi các đoạn thẳng trên đặc trưng tĩnh của
cảm biến.
• Trong chế độ động: Độ tuyến tính bao gồm sự
không phụ thuộc của độ nhạy ở chế độ tĩnh vào đại
lượng đo và cả các thông số quyết định sự hồi đáp
cũng không phụ thuộc vào đại lượng đo.

21
b. Đường thẳng tốt nhất

-Đường thẳng được xây dựng trên cơ sở các số liệu

thực nghiệm cho sai số là nhỏ nhất, biểu diễn sư
tuyến tính của cảm biến được gọi là đường thẳng tốt
nhất.

22
b. Độ lệch tuyến tính.

-Được xác định bằng độ lệch cực đại giữa đường

cong chuẩn và đường thẳng tốt nhất, tính bằng %
trong dải đo.

23
1.3.3. Sai số và độ chính xác.

24
Phân loại:

-Sai số hệ thống: là sai số không phụ thuộc vào số

lần đo, có giá trị không đổi hoặc thay đổi chậm theo
thời gian đo và thêm vào độ lệch không đổi giữa giá
trị thực và giá trị đo.
- Sai số ngẫu nhiên: là sai số xuất hiện có độ lớn và
chiều không xác định, có thể dự đoán nguyên nhân
gây ra nhưng không dự đoán được độ lớn và dấu của
nó.

25
1.3.4. Độ nhanh và thời gian hồi đáp.

-Độ nhanh là đặc trưng của cảm biến cho phép đánh
giá khả năng theo kịp về thời gian của đại lượng đầu
ra khi đại lượng đầu vào biến thiên.
- Thời gian hồi đáp  là khoảng thời gian từ khi kích
thích bắt đầu tác động cho đến khi biến thiên của đáp
ứng chỉ còn khác giá trị cuối một giới hạn quy định
% . Thời gian hồi đáp càng nhỏ chứng tỏ bộ cảm
biến đáp ứng càng nhanh.

26
Khi kích thích có dạng bước nhảy đơn vị thì đặc tính
của đáp ứng của bộ cảm biến có thể có những dạng
sau đây
KÝch thÝch

• Đáp ứng tức thời (A)

• Đáp ứng trễ theo hàm mũ (B) C¸c ®¸p øng
A

• Đáp ứng tức thời và suy giảm (C)

• Đáp ứng trễ và suy giảm (D) B

• Đáp ứng cộng hưởng dải hẹp (E) C

27
1.3.5. Giới hạn sử dụng của cảm biến.

-Vùng làm việc danh định: Là vùng làm việc tương

ứng với những điều kiện sử dụng bình thường của
cảm biến.
- Vùng không gây nên hư hỏng.
- Vùng không phá hủy.

28
1.4. Nguyên lý chung chế tạo cảm biến.
• Cảm biến chế tạo trên cơ sở các hiện tượng vật lý
gồm hai loại:
• +Cảm biến tích cực: là loại hoạt động như một
maý phát, đáp ứng (s) là điện tích, dòng, hay điện
áp.
• + Cảm biến thụ động: hoạt động như một trở kháng
trong đó đáp ứng (s) là điện trở, độ tự cảm hoặc
điện dung.

29
1.4.1. Nguyên lý chế tạo cảm biến tích cực.

-Hiệu ứng nhiệt điện.

- Hiệu ứng hỏa điện.
- Hiệu ứng áp điện.
- Hiệu ứng cảm ứng điện từ.
- Hiệu ứng quang điện.
- Hiệu ứng quang điện từ.
- Hiệu ứng Hall.

30
Hiệu ứng nhiệt điện

(M1)
T1

(M2) e  T1
00C
(M1)
øng dông hiÖu øng nhiÖt ®iÖn

31
Hiệu ứng hỏa điện.

32
Hiệu ứng áp điện.

33
Hiệu ứng cảm ứng điện từ.

34
Hiệu ứng quang điện
I
A

Rm

35
Hiệu ứng quang điện từ

B R U 

H×nh 4.9. HiÖu øng quang ®iÖn tõ

36
Hiệu ứng Hall

B R U 

H×nh 4.9. HiÖu øng quang ®iÖn tõ

37
1.4.2. Nguyên lý chế tạo cảm biến thụ động.
- Được chế tạo từ một trở kháng có thông số chủ yếu
nhạy với đại lượng cần đo, giá trị của trở kháng phụ
thuộc vào kích thước hình học, tính chất điện của vật
liệu chế tạo ( điện trở suất, độ từ thẩm, hằng số điện
môi…)
- Sự thay đổi thông số hình học của trở kháng gây ra do
chuyển động của phần tử chuyển động hoặc phần tử
biến dạng của cảm biên.
- Sự thay đổi tính chất điện của cảm biến phụ thuộc vào
bản chất vật liệu chế tạo trở kháng và yếu tố tác động.
38
Cảm biến từ đàn hồi

39
CẢM BIẾN VÀ ỨNG DỤNG

Th.s Nguyễn Thị Thuỳ

2
 Chương 2. Cảm biến xác định vị trí và dịch chuyển

 2.1. Nguyên lý đo vị trí và dịch chuyển.

 2.2. Điện thế kế điện trở
 2.3.Cảm biến điện cảm.
 2.4. Cảm biến điện dung.
 2.5.Cảm biến quang .
 2.6.Cảm biến đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi

3
Ứng dụng của cảm biến vị trí và dịch chuyển

4
y

5
2.1. Nguyên lý đo vị trí và dịch chuyển.

• Có hai phương pháp cơ bản để xác định vị trí và dịch

chuyển:
- Phương pháp 1: Bộ cảm biến cung cấp tín hiệu là hàm
phụ thuộc vào vị trí của một trong các phần tử của
cảm biến, phần tử này có liên quan đến vật cần xác
định dịch chuyển.
- Phương pháp 2: Ứng với một dịch chuyển cơ bản, cảm
biến phát ra một xung, việc xác định vị trí và dịch
chuyển được tiến hành bằng cách đếm số xung phát ra.
- Một số phương pháp khác.
6
2.2. Điện thế kế điện trở.
• Ưu điểm: Là loại cảm biến có cấu tạo đơn giản, tín
hiệu đo lớn và không cần mạch điện đặc biệt để xử
lý tín hiệu.
• Nhược điểm: điện thế kế điện trở có con chạy cơ
học có sự cọ xát gây ồn và mòn, số lần sử dụng
thấp và chịu ảnh hưởng của môi trường có khí bụi
và ẩm.

7
Có hai loại
- Điện thế kế dùng con chạy cơ học.
- Điện thế kế không dùng con chạy cơ học.

8
2.2.1. Điện thế kế dùng con chạy cơ học.

• A. Cấu tạo và nguyên lý làm việc.

- Gồm một điện trở cố định Rn trên đó có một tiếp
xúc điện có thể di chuyển được gọi là con chạy.
Con chạy được liên kết với vật chuyển động cần
khảo sát.
- Giá trị của điện trở Rx giữa con chạy và một đầu
của điện trở Rn là hàm phụ thuộc vào vị trí con
chạy ( vị trí của vật chuyển động).

9
y

10
• Các điện trở được chế tạo dưới dạng cuộn dây hoặc
băng dẫn.
• + Điện trở chế tạo dưới dạng cuộn dây thường
được chế tạo từ các hợp kim : Ni-Cr, Ni-cu, Ni-Cr-
Fe, Ag –Pd quấn thành vòng xoắn dạng lò xo trên
lõi cách điện, giữa các vòng dây cách điện bằng
emay hoặc lớp oxid bề mặt.
• + Điện trở dạng băng dẫn được chế tạo bằng chất
dẻo trộn bột dẫn điện là cacbon hoặc kim loại cỡ ~
10-2μm
• Các điện trở được chế tạo với các giá trị Rn nằm
trong khoảng 1kΩ đến 100kΩ, đôi khi đạt M Ω
b. Các đặc trưng:
• Khoảng chạy có ích: là khoảng thay đổi của x mà
trong khoảng đó Rx là hàm tuyến tính của dịch
chuyển.

12
 Năng suất phân giải
• Độ phân giải của điện trở dây cuốn: là độ phân giải
được xác định bởi lượng dịch chuyển cực đại cần
thiết để đưa con chạy từ vị trí tiếp xúc hiện tại sang
vị trí tiếp xúc lân cận tiếp theo.
• Độ phân giải của điện trở dạng dây phụ thuộc vào
hình dạng và đường kính của dây điện trở, vào
khoảng ~10 μm.
• Độ phân giải của điện trở kiểu băng dẫn phụ thuộc
vào kích thước hạt, thường vào khoảng ~ 0,1 μm
13
Thời gian sống:

• Là số lần sử dụng của điện thế kế.

• Thời gian sống của điện thế kế dạng dây dẫn vào
khoảng 106 lần.
• Thời gian sống của điện thế kế dạng băng dẫn vào
khoảng 108 lần.

14
2.2.2. Điện thế kế không sử dụng con chạy cơ
học.
• -Điện thế kế liên kết quang.
• -Điện thế kế liên kết từ.

15
a. Điện thế kế dùng con trỏ quang

• Cấu tạo:
• 1. Điốt phát quang.
• 2. Băng đo.
• 3. Băng tiếp xúc.
• 4. Băng quang dẫn.

16
b. Điện thế kế dùng con trỏ từ.

Cấu tạo:
- Hai điện trở R1 và R2 mắc nối tiếp.
- Một nam châm vĩnh cửu ( gắn với trục quay của
điện thế kê)

17
Điện áp đo được xác định bởi công thức:

18
• Điện thế kế có điện áp đo chỉ tuyến tính trong một
khoảng gần 900 đối với điện thế quay, điện kế dịch
chuyển thẳng khoảng tuyến tính chỉ khoảng vài
mm.

19
2.3. Cảm biến điện cảm.

-Nguyên lý: dựa trên hiện nguyên lý cảm ứng điện

từ, vật cần đo vị trí hoặc dịch chuyển được gắn vào
một phần tử của mạch từ gây nên sự biến thiên từ
thông qua cuộn đo.
- Có hai loại:
+ Cảm biến tự cảm.
+ Cảm biến hỗ cảm.

20
2.3.1. Cảm biến tự cảm.

a. Cảm biến tự cảm có khe từ biến thiên.

* Cảm biến tự cảm đơn:

21
 L L0
S  
    
 0 1   
  0 
Độ nhạy của cảm biến khi tiết diện không khí thay
đổi:

22
Tổng trở của cảm biến:
 W 2 0 s
Z  L 

Tổng trở Z của cảm biến là hàm tuyến tính với tiết
diện không khí và tỉ lệ nghịch với chiều dài khe hở
không khí.

23
• Đặc tính của cảm biến tự
cảm đơn Z=f(Δδ) là hàm phi
tuyến và phụ thuộc vào tần
số nguồn kích thích, f càng
lớn thì độ nhạy cảm biến
càng cao.

24
* Cảm biến tự cảm kép
• Để tăng độ nhay và tăng đoạn đặc tính tuyến tính người ta
thường dùng cảm biến tự cảm kép kiểu vi sai.

25
Đặc tính của cảm biến tự cảm kép vi sai:

26
b. Cảm biến tự cảm có lõi từ di động
• Cảm biến gồm một cuộn dây bên trong có lõi từ di
động được:

• 1. Cuộn dây
• 2. Lõi từ di động.

27
2.3.2. Cảm biến hỗ cảm
Cấu tạ cảm biến hỗ cảm giống như cảm biến tự cảm,
chỉ khác là có thêm một cuộn dây đo.

28
• -Các cảm biến đơn khi chiều dài khe hở không
khí(a) hoặc tiết diện khe hở không khí (b) hoặc tổn
hao do dòng điện xoáy thay đổi(c) sẽ làm cho từ
thông của mạch từ biến thiên kéo theo sức điện
động trong cuộn đo thay đổi.

29
• Từ thông tức thời: iW1 iW10 s
t  
R 
i: giá trị dòng điện tức thời trong cuộn kích thích W1
Sức điện động cảm ứng trong cuộn dây đo W2:
dt W2W10 s di
e   W2 
dt  dt
s 
E  k  ks
0  0   
2

Với k= W2W1μ0s 30
• Độ nhạy cảm biến với sự thay đổi chiều dài khe hở
không khí (s=const)
E ks E0
S   
  2 (1   )    
2

0
0  0 1  
ks0   
E0  : sức điện động hỗ cảm ban đầu trong
0
cuộn W2 khi Xv=0
Độ nhạy cảm biến với sự thay đổi tiết diện không khí
(δ=const) :
E k E0
Ss   
s  0 s0
31
Nhận xét
• Công thức xác định độ nhạy của cảm biến hỗ cảm
tương tự như cảm biến tự cảm, chỉ khác nhau ở giá
trị của E0 và L0, độ nhạy của cảm biến hỗ cảm
cũng tăng khi tần số nguồn cấp tăng.

32
Cảm biến vi sai
• Cấu tạo:

• Để tăng độ nhạy và độ tuyến tính của cảm biến, khi

mắc sơ đồ theo kiểu này thì độ nhạy tăng gấp đôi
và phạm vi làm việc tuyến tinh tăng đáng kể.

33
Biến thế vi sai có lõi từ.

• Cấu tạo:
- Gồm 4 cuộn dây ghép đồng
Trục tạo thành hai cảm biến
đơn đối xứng (1: sơ cấp,2: thứ cấp)
3: lõi từ.
Cuộn thứ cấp nối ngược nhau sao cho sức điện động
của chúng bị triệt tiêu.

34
Cảm biến tiệm cận kiểu điện cảm

35
36
 2.4. Cảm biến điện dung
• Ứng dụng:

37
38
39
40
2.4.1. Cảm biến tụ điện đơn
- Cấu tạo và nguyên lý làm việc: Cảm biến tụ điện đơn
là một tụ phẳng hoặc hình trụ có một bản cực gắn cố
định ( bản tĩnh) và một bản cực di chuyển ( bản động)
liên kết với vật cần đo. Khi bản cực động di chuyển sẽ
kéo the sự thay đổi điện dung của tụ điện.

41ực
42
43
* Nếu tính theo dung kháng:

44
Nhận xét
- Biến thiên điện dung của cảm biến tụ điện là hàm
tuyến tính khi hằng số điện môi và diện tích thay đổi,
và phi tuyến khi khoảng cách hai bản cực thay đổi.
- Biến thiên dung kháng của cảm biến tụ điện là hàm
tuyến tính khi khoảng cách hai bản cực thay đổi và phi
tuyến khi điện tích và hằng số điện môi thay đổi.
- Chú ý: Giữa hai bản cực khi có điện áp đặt vào sẽ
phát sinh lực hút, lực này cần nhỏ hơn đại lượng đo.

45ực
2.4.2. Cảm biến tụ kép vi sai.
- Cấu tạo và nguyên lý làm việc:

- Bản cực động A1 dịch chuyển giữa hai bản cực cố định
A2 và A3 tạo thành cùng hai bản cực này hai tụ điện có
điện dung C21 và C31 biến thiên ngược chiều.
46ực
- Độ nhạy và độ tuyến tính của cảm biến tụ kép vi sai
cao hơn tụ đơn và lực tương tác giữa các bản cực triệt
tiêu lẫn nhau do ngược chiều nhau.

47ực
2.4.3. Mạch đo:
- Mạch đo dùng với cảm biến điện dung là các mạch
cầu không cân bằng cung cấp bằng dòng xoay chiều.
Mạch đo thỏa mãn điều kiện:
+ Tổng trở của đường chéo cầu lớn.
+ Các dây dẫn được bọc bằng kim loại để tránh ảnh
hưởng của điện trường ngoài.
+ Không mắc điện trở song song với cảm biến.
+ Chống ẩm tốt.

48ực
49
2.5. Cảm biến quang.
- Cảm biến đo vị trí và dịch chuyển theo phương pháp
quang học gồm nguồn phát ánh sáng kết hợp với một
đầu thu quang ( tế bào quang điện)
- Tùy theo cách bố trí đầu thu quang, nguồn phát và
thước đo, cảm biến được chia thành hai loại:
+ Cảm biến quang phản xạ.
+ Cảm biến quang soi thấu.

50ực
51
 Tế bào quang điện
• Cấu tạo: là bình thạch anh đã hút hết không khí,
bên trong có hai điện cực:
• +Anot: Vòng dây kim loại.
• +Katot: có dạng chỏm cầu kim loại

52
2.5.1. Cảm biến quang phản xạ
- Cấu tạo và nguyên lý hoạt động:
+ 1: Nguồn phát.
+2: Thước đo.
+3: Đầu thu quang.
Nguyên lý: đầu thu đặt cùng phiá với nguồn phát. Tia
sáng từ nguồn phát qua thấu kính hội tụ đập tới thước đo
chuyển động cùng vật cần khảo sát ( trên thước đo có
những vạch chia phản quang và không phản quang kế
tiếp nhau), khi tia sáng gặp vạch chia phản quang sẽ
phản xạ lại đầu thu quang.
53ực
Nhận xét
- Không cần dây nối qua vùng cảm nhận nhưng cự ly
cảm nhận thấp và chịu ảnh hưởng của ánh sáng từ
nguồn sáng khác.

54ực
2.5.2.Cảm biến quang soi thấu.
- Cấu tạo:

1. Nguồn sáng, 2. Thấu kính hội tụ, 3. Thước đo,

4. Lưới chia, 5. Tế bào quang điện, 6. Mã chuẩn.

55ực
Nhận xét
- Ưu điểm: Cự ly cảm nhận xa, có khả năng thu được
tín hiệu mạnh và tỉ số độ tương phản sáng tối lớn.
- Nhược điểm: khó bố trí và chỉnh thẳng hàng nguồn
phát và đầu thu.

56ực
Cảm biến hồng ngoại

57
2.6. Cảm biến đo dịch chuyển bằng sóng đàn
hồi.
1. Nguyên lý đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi.
Tốc độ truyền sóng đàn hồi v trong vật rắn vào khoảng
103m/s, thời gian truyền sóng giữa hai điểm trong vật rắn
cách nhau một khoảng l xác định bởi biểu thức : l
tp 
v
Nếu biết tốc độ truyền sóng v và thời gian truyền sóng tp
có thể xác định được khoảng cách l cần đo: l=v.tp

58ực
Sơ đồ khối của một thiết bị đo dịch chuyển
sóng đàn hồi.

59ực
Gọi số xung đếm được là N và chu kỳ của xung đếm là
tH, ta có : tp = N.tH
Khi đó l= v. N.tH

60ực
2.6.1. Cảm biến sử dụng phần áp tử điện
1. Hiệu ứng áp điện:
-Là hiện tượng khi một tấm vật liệu áp điện bị biến dạng
dưới tác dụng của lực cơ học có chiều cố định trên các
mặt đối diện của tấm xuất hiện lượng điện tích bằng
nhau nhưng trái dấu và ngược lại dưới tác động của điện
trường có chiều thích hợp thì vật liệu áp điện bị biến
dạng.

61ực
Sử dụng hai loại sóng đàn hồi:
-Sóng khối: dọc và ngang.
- Sóng bề mặt.

62ực
Sóng khối dọc
-Sóng khối dọc truyền cho các phần tử vật rắn dịch
chuyển dọc theo phương truyền sóng tạ nên sự nén rồi
lại giãn nở của các lớp vật rắn, sóng này được kích thích
bằng phần tử áp điện rung theo bề dày.

63ực
Sóng khối ngang
- Sóng khối ngang dịch chuyển vuông góc với phương
truyền sóng tạo ra sự chuyển động trượt tương đối giữa
các lớp của vật rắn. Sóng này được kích thích bằng một
phần tử áp điện rung theo mặt cắt.

64ực
Sóng bề mặt
- Gồm một thành phần sóng dọc và một thành phần sóng
ngang, sóng bề mặt truyền trong lớp bề mặt của vật rắn
biên độ gần như bằng 0 ở độ sâu 2λ dưới bề mặt.

65ực
2.6.2. Cảm biến âm từ
- Sóng đàn hồi phát ra nhờ hiệu ứng Wiedemam: hiện
tượng xoắn một ống trụ sắt từ khi nó chịu tác dụng
đồng thời của một từ trường dọc và một từ trường
ngang.
- Sóng đàn hồi được thu trên cơ sở sử dụng hiệu ứng
Vilara: sức căng cơ học làm thay đổi khả năng từ hóa
và độ từ thẩm của vật liệu sắt từ.

66ực
Cấu tạo và nguyên lý hoạt động
- Gồm: ống sắt từ 1, nam châm di động 2 trượt dọc ống
gắn với vật cần xác định vị trí, dây dẫn 3 nằm giữa trục
ống và nối với máy phát xung 4, máy thu 5 có lõi từ nối
cơ học với ống.

67ực
2.6.2. Cảm biến âm từ
- Gọi tp là thời gian từ khi phát xung đến khi nhận được
xung hồi đáp:
l
tp 
v

- L: khoảng cách từ nam châm đến đầu thu, tp đo được

bằng phương pháp đếm xung.

68ực
CẢM BIẾN VÀ ỨNG DỤNG

Th.s Nguyễn Thị Thuỳ

 Chương 3. Cảm biến quang

 3.1. Tính chất và đơn vị đo sáng.

 3.2. Cảm biến quang dẫn.
 3.3.Cảm biến quang điện phát xạ.

2
 Cảm biến quang điện là gì?

 Cảm biến quang điện (Photoelectric Sensor) nói một

cách nôm na, thực chất chúng là do các linh kiện
quang điện tạo thành. Khi có ánh sáng thích hợp
chiếu vào bề mặt của cảm biến quang, chúng sẽ thay
đổi tính chất. Tín hiệu quang được biến đổi thành tín
hiệu điện nhờ hiện tượng phát xạ điện tử ở cực catot
(Cathode) khi có một lượng ánh sáng chiếu vào. Từ
đó cảm biến sẽ đưa ra đầu ra để tác động theo yêu cầu
công nghệ.
3
 Ứng dụng

 Ứng dụng chủ yếu của cảm biến quang là dùng để

phát hiện nhiều dạng vật thể khác nhau, phát hiện đo
lường khoảng cách hay phát hiện tốc độ của đối
tượng,…ví dụ: phát hiện một chai nhựa trên băng
chuyền hoặc kiểm tra xem tay robot đã gắp linh kiện ô
tô để lắp đặt hay chưa?
 Cảm biến quang đóng vai trò rất quan trọng trong lĩnh
vực công nghiệp tự động hóa.

4
 Ứng dụng cảm biến quang

5
 Ứng dụng

6
7
8
 Ưu điểm của việc sử dụng cảm biến
quang.

 - Phát hiện vật thể nhưng không cần tiếp xúc với vật
thể đó (Phát hiện từ xa)
 - Phát hiện được từ khoảng cách xa
 - Ít bị hao mòn, có tuổi thọ và độ chính xác, tính ổn
định cao
 - Phát hiện nhiều vật thể khác nhau
 - Thời gian đáp ứng nhanh, có thể điều chỉnh độ nhạy
theo ứng dụng.
9
3.1. Tính chất và đơn vị đo sáng.
3.1.1. Tinh chất của ánh sáng

• Ánh sáng là một dạng của sóng điện từ, vùng sáng
nhìn thấy có bước sóng ~0,4 ÷ 0,75μm.

10
Vận tốc truyền ánh sáng

c


v



11
• Ánh sáng gồm các hạt nhỏ là photon, các hạt này
mang năng lượng phụ thuộc vào tần số ánh sáng:
• WФ= h.ν
• Trong đó : h là hằng số Planck ( h= 6,6256.10-34Js)

12
Nhận xét:

• Ánh sáng mang tính chất sóng và tính chất hạt.

• Bước sóng của bức xạ ánh sáng càng lớn thì tính
chất sóng thể hiện càng rõ và ngược lại khi bước
sóng càng ngắn thì tính chất hạt thể hiện rõ.

13
3.1.2. Các đơn vị đo quang

• a. Đơn vị đo năng lượng:

-Năng lượng bức xạ Q (J).
- Thông lượng ánh sáng Ф (W).
- Cường độ ánh sáng I ( W/Steriadian).
- Độ chói năng lượng L (W/Steriadian.m2)
- Độ rọi năng lượng E ( W/m2)

14
• B . Đơn vị đo thị giác :
-Độ nhạy của mắt người với ánh sáng có bước sóng
khác nhau là khác nhau.

15
3.2. Cảm biến quang dẫn

3.2.1. Hiệu ứng quang dẫn:

-Khái niệm: là hiện tượng giải phóng các hạt tải điện
trong vật liệu dưới tác dụng của ánh sáng làm tăng độ
dẫn điện của vật liệu

16
- Hạt dẫn được giải phóng do chiếu sáng phụ thuộc
vào bản chất vât liệu được chiếu sáng.
- Các chất bán dẫn tinh khiết các hạt dẫn là cặp điện
tử- lỗ trống.
- Các chất bán dẫn tạp chất: hạt dẫn được giải phóng
là điện tử nếu là pha tạp dono hoặc là lỗ trống nếu là
pha tạp acxepto.

17
18
3.2.2. Tế bào quang dẫn.
1. Vật liệu chế tạo.
- Tế bào quang dẫn được chế tạo từ các bán dẫn đa
tinh thể đồng nhất hoặc đơn tinh thể, bán dẫn riêng
hoặc bán dẫn pha tạp.
- Đa tinh thể : CdS, CdSe, CdTe, PbS, PbSe…
- Đơn tinh thể Ge, Si tinh khiết
- hoặc pha tạp Au, Cu, Sb, In..

19
2. Các đặc trưng.

a. Điện trở.
-Điện trở trong tối lớn ( từ 104 đến 109 ở 250C với các
chất PbS, CdS, CdSe) và giảm nhanh khi độ rọi tăng
lên.

20
- Độ nhạy: I V  1
S  
 a
Trong đó: γ - hệ số có giá trị từ 0,5 - 1.
a - hệ số phụ thuộc vào bản chất vật liệu, nhiệt độ, phổ
bức xạ.
- Nhận xét:
+ Tế bào quang dẫn là một cảm biến không tuyến tính,
độ nhạy giảm khi bức xạ tăng ( trừ γ =1)
+ Độ nhạy giảm khi tăng nhiệt độ, điện áp đặt vào lớn.
+ Độ nhạy phụ thuộc vào bước sóng ánh sáng.
21
22
 3. Đặc điểm và ứng dụng.
* Đặc điểm:
- Tỷ lệ chuyển đổi tĩnh cao.
- Độ nhạy cao.
- Hồi đáp phụ thuộc không tuyến tính vào thông lượng.
- Thời gian hồi đáp lớn.
- Độ nhạy phụ thuộc vào nhiệt độ, một số đòi hỏi làm
nguội.
- Các đặc trưng không ổn định do già hóa.

23
 *Ứng dụng:
- Điều khiển role: Khi có ánh sáng chiếu lên tế bào quang
dẫn, điện trở của nó giảm, cho dòng điện chaỵ qua đủ lớn,
được dùng trực tiếp hoặc qua khuếch đại để đóng mở
role.

24
- Thu tín hiệu quang: dùng tế bào quang dẫn để thu và
biến tín hiệu quang thành xung điện.

25
26
3.2.3. Photodiot
• a. Cấu tạo và nguyên lý hoạt động

27
28
29
• Số hạt dẫn được giaỉ phóng phụ thuộc vào thông
lượng ánh sáng đạt tới vùng nghèo và khả năng
hấp thụ của vùng naỳ, thông lượng ánh sáng chiếu
tới vùng nghèo phụ thuộc đáng kể vào chiều dày
lớp vật liệu mà nó đi qua.

30
* Khả năng hấp thụ ánh sáng phụ thuộc nhiều vào bề
rộng vùng nghèo, để tăng khả năng mở rộng vùng nghèo
người ta sử dụng điot PIN, lớp bán dẫn riêng I kẹp giữa
hai lớp bán dẫn P và N.

31
32
33
34
* Sơ đồ ứng dụng của photodiot.

35
3.3. Cảm biến quang điện phát xạ.

3.3.1. Hiệu ứng quang điện phát xạ.

- Khái niệm: Là hiện tượng các điện tử được giải
phóng khỏi bề mặt vật liệu tạo thành dòng khi
chiếu vào chúng một bức xạ ánh sáng có bước
sóng nhỏ hơn một ngưỡng nhất định và có thể thu
lại được nhờ tác dụng của điện trường.

36
Cơ chế phát xạ điện tử khi chiếu sáng vật liệu
xảy ra theo ba giai đoạn:
-Hấp thụ photon và giải phóng các hạt điện tử
bên trong vật liệu.
-Điện tử vừa được giải phóng di chuyển đến bề
mặt.
- Điện tử thoát khỏi bề mặt vật liệu.

37
- Số điện tử phát xạ trung bình khi một photon
bị hấp thụ thường nhỏ hơn 10% và ít vượt quá
30%.

38
Vật liệu chế tạo: phụ thuộc vào bước sóng ánh
sáng có thể chọn trong các loại sau:
- AgOCs nhạy ở vùng hồng ngoại.
• Cs3Sb, (Cs)Na2KSb và K2CsSb: nhạy với ánh
sáng nhìn thấy và vùng tử ngoại.
• - Cs2Te, Rb2Te và CsTe chỉ nhạy trong vùng
tử ngoại.
• Hiệu suất lượng tử của các vật liệu trên
khoảng 1÷30%
39
3.3.2. Tế bào quang điện chân không.

-Cấu tạo: gồm một ống hình trụ có một cửa sổ

trong suốt, hút được chân không, trong ống đặt
một catot có khả năng phát xạ khi được chiếu
sáng và một anot.

40
Sơ đồ tương đương và sự sự thay đổi của dòng
anot Ia phụ thuộc vào điện thế anot - catot Vak

41
• Đặc trưng I - V có hai vùng rõ rệt:
• + Vùng điện tích không gian đặc trưng bởi sự
tăng mạnh của dòng khi điện áp tăng.
• + Vùng bảo hoà đặc trưng bởi sự phụ thuộc
không đáng kể của dòng vào điện áp.

42
• Độ nhạy phổ của tế bào quang điện được
biểu diễn thông qua giá trị của dòng anot
trong vùng bão hoà, thường vào cỡ 10 - 100
mA/W.

43
3.3.3. Tế bào quang điện dạng khí

-Cấu tạo: Tương tự tế bào quang điện chân

không, chỉ khác ở chỗ thể tích bên trong của
đèn được điền đầy bằng khí ( acgon) dưới áp
suất 10-1- 10-2mmHg

44
Đặc trưng và độ nhạy của tế bào quang điện
dạng khí.

45
Một số ứng dụng

46
CẢM BIẾN VÀ ỨNG DỤNG

Th.s Nguyễn Thị Thuỳ

 Chương 4. Cảm biến lực

 4.1. Nguyên lý đo lực

 4.2. Cảm biến áp điện.
 4.3.Cảm biến từ giảo.
 4.4. Cảm biến dựa trên phép đo dịch chuyển.
 4.5. Cảm biến xúc giác.

2
4.1. Nguyên lý đo lực.

3
4
4.2. Cảm biến áp điện.

5
Hiệu ứng áp điện

6
7
8
9
4.2.2. Cảm biến thạch anh kiểu vòng đệm.
• Cấu tạo: Các vòng đệm 1, các tấm đế 2, đầu nối
dây 3.

-Gồm các phiến cắt hình vòng đệm ghép với nhau
và chỉ nhạy với lực nén tác dụng dọc trục.
-Giới hạn trên dải đo cỡ từ vài kN ( với đường
kính ~ 1cm) đến 103 kN ( với đường kính ~10cm)
10
4.2.3. Cảm biến thạch anh nhiều thành phần
• Cảm biến loại này có các vòng đệm thạch anh
được cắt theo các hướng khác nhau, chúng chỉ
nhạy với một hướng xác định của lực.

11
Ứng dụng

12
4.2.4. Sơ đồ mạch đo.
• Sơ đồ tương đương của cảm biến:

13
4.3. Loadcell
• Load cell là thiết bị cảm biến dùng để chuyển
đổi lực hoặc trọng lượng thành tín hiệu điện.

14
15
Cấu tạo
• Loadcell được cấu tạo bởi hai thành phần, thành
phần thứ nhất là “Strain gage” và thành phần còn
lại là “Load“.
• Strain gage là một điện trở đặc biệt chỉ nhỏ bằng
móng tay, có điện trở thay đổi khi bị nén hay kéo
dãn và được nuôi bằng một nguồn điện ổn định,
được dán chết lên “Load”
• Load – một thanh kim loại chịu tải có tính đàn hồi

16
17
18
Nguyên lý hoạt động.
• Hoạt động dựa trên nguyên lý cầu điện trở cân
bằng Wheatstone. Giá trị lực tác dụng tỉ lệ với sự
thay đổi điện trở cảm ứng trong cầu điện trở, và do
đó trả về tín hiệu điện áp tỉ lệ.

19
20
21
22
• Sự thay đổi của điện áp đầu ra của loadcell là rất
nhỏ, do đó cần có bộ khuếch đại nhiều lần trước
khi đưa vào vi điều khiển để xử lý tín hiệu (
khuếch đại thuật toán hoặc IC khuếch đại chuyên
dụng cho loadcell: INA125, INA128)
• Sơ đồ khối:

23
a

24
4.4. Cảm biến từ giảo
• 4.4.1. Hiệu ứng từ giảo.
- Dưới tác động của từ trường, một số vật liệu sắt
từ thay đổi tính chất hình học hoặc tính chất cơ
học gọi là hiện tượng từ giảo.
- Khi có tác dụng của lực cơ học gây ra ứng lực
trong vật liệu sắt từ làm thay đổi đường cong từ
hóa của chúng thì dựa vào sự thay đổi của độ từ
thẩm hoặc từ dư xác định độ lớn của lực gọi là
hiệu ứng từ giảo nghịch.
25
* Cơ chế từ hóa:

• Dưới tác dụng của từ trường ngoài, sự phân bố của

các điện tử (ở đây là momen quỹ đạo) sẽ quay theo
sự quay của moomen từ từ hướng này sang hướng
khác và từ giảo được tạo ra do sự thay đổi tương
ứng của tương tác tĩnh điện giữa điện tử từ và điện
tích của môi trường.
26
* Hiện tượng từ trễ.
• Sau khi từ hóa lần đầu đến bão hòa (H=Hm)
nếu vẫn giữ nguyên phuơng từ trường và thực
hiện một chu trình khép kín ( Hm,0,- Hm,0) ta
nhận được đường cong từ hóa gọi là đường
cong từ trễ với độ từ dư Br và độ kháng từ Hc.

27
*Hiện tượng từ giảo nghịch

Sự biến dạng của đường cong từ hóa dưới

tác dụng của lực kéo
28
4.4.2. Cảm biến từ thẩm biến thiên
• Cấu tạo:
- Cuộn dây có lõi sắt từ hợp với
khung sắt từ thành mạch kín.
- Hoạt động:
Dưới tác dụng của F làm lõi từ biến dạng dẫn
đến sự thay đổi của từ thẩm làm cho từ trở mạch
từ thay đổi → độ tự cảm cuộn dây thay đổi.
Sự thay đổi của L, R hoặc μ tỉ lệ với ứng lực σ:
 R L
   K
 R L 29
4.5. Cảm biến đo lực dựa trên phép đo dịch
chuyển.
• Cơ chế: Lực cần đo tác dụng lên vật trung gian
và gây nên sự thay đổi kích thước ΔL của nó, sự
thay đổi này được đo bằng cảm biến dịch
chuyển, khi đó tỷ Vm Vm l
 .
F l F

• Vm/Δl: tỷ số truyền đạt của cảm biến.

• Δl/F: độ mềm vật liệu trung gian.

30
4.6. Cảm biến xúc giác.
• Cấu tạo:

31
CẢM BIẾN VÀ ỨNG DỤNG

Th.s Nguyễn Thị Thuỳ

 Chương 5. Cảm biến vận tốc và gia tốc

 5.1. Cảm biến đo vận tốc.

 5.2. Cảm biến đo rung và gia tốc.

2
5.1. Cảm biến đo vận tốc
5.1.1 Nguyên lý đo vận tốc

3
1. Đo vận tốc tuyến tính.

4
- Hiện tượng cảm ứng điện từ.

5
6
7
-Chuyển từ vận tốc tuyến tính sang vận tốc góc

8
2. Nguyên lý đo vận tốc góc

• Thường ứng dụng các phương pháp sau:

- Sử dụng tốc kế vòng kiểu điện từ: dựa trên hiện
tượng cảm ứng điện từ.
- Sử dụng tốc độ kế vòng loại xung: Làm việc theo
nguyên tắc đo tần số chuyển động của phần tử
chuyển động tuần hoàn.

9
5.1.2. Tốc độ kế điện từ
1. Tốc độ kế dòng một chiều.
- Cấu tạo:
+ Stato 1, roto 2, cổ góp 3, chổi quét 4.

10
• Nguyên lý hoạt động:
• Khi rô to quay, sức điện động xuất hiện trong
một dây dẫn xác định theo biểu thức:
d i
ei  
dt
trong đó Ф là từ thông mà dây dẫn cắt qua
trong thời gian dt:
d i  d Sc d Bi  dSc BiN
• dSc là tiết diện bị cắt trong khoảng thời gian
dt. 11
2. Tốc độ kế xoay chiều

• a. Kiểu máy phát đồng bộ.

• -Cấu tạo: stato 1(phần ứng gồm các cuộn dây bố trí
cách đều trong mặt trong stato), phần roto 2 (là một
nam châm hoặc tổ hợp của nhiều nam châm)

12
Nguyên lý hoạt động
• Phần ứng gồm các cuộn dây bố trí cách đều
trên mặt trong của stato là nơi cung cấp suất
điện động cảm ứng hình sin có biên độ tỉ lệ
với tốc độ quay của roto.
e  E sin t
• trong đó E = K1, Ω = K2 , K1 và K2 là các
thông số đặc trưng cho máy phát.

13
*Xác định từ biên độ sức điện động
• Cuộn cảm ứng có trở kháng trong:
Zi  Ri  jLi ; 

• Điện áp hai đầu cuộn dây ứng với tải R:

RE R.K1.
U 
( R  Ri )2  ( Li ) 2 ( R  Ri ) 2  ( K 2 Li ) 2

• Điều kiện để sử dụng máy phát như một cảm

biến vận tốc là R>> Zi để sao cho U E

14
* Xác định bằng cách đo tần số của sức điện động

• Ưu điểm của phương pháp này là tín hiệu có

thể truyền đi xa mà sự suy giảm tín hiệu
không ảnh hưởng tới độ chính xác của phép
đo.

15
c. Máy phát không đồng bộ
• Cấu tạo: tương tự như động cơ không đồng bộ
hai pha: Cuộn kích 1, roto 2, cuộn đo 3.
• Cuộn dây thứ hai là cuộn dây đo. Giữa hai
đầu ra của cuộn này
• xuất hiện một sức điện
động em có biên độ tỉ lệ
với tốc độ góc cần đo:
em  Em cos(e t   )  k..V e cos(e t   )
16
5.1.3. Tốc độ kế xung.
• Ưu điểm: Cấu tạo đơn giản, chắc chắn, chịu đựng
tốt trong môi trường độc hại, khả năng chống nhiễu
và chống suy giảm tín hiệu cao để biến đổi tín hiệu
sang dạng số.

17
Tùy thuộc vào bản chất vật quay và dấu hiệu mã
hóa trên vật quay sử dụng các loại cảm biến sau:
+ Cảm biến từ trở biến thiên: sử dụng khi vật
quay là sắt từ.
+ Cảm biến từ điện trở: khi vật quay là một hay
nhiều nam châm nhỏ.
+ Cảm biến quang cùng vài nguồn sáng: khi trên
vật quay có các lỗ, đường vát, mặt phản xạ.

18
* Tốc độ kế từ trở biến thiên.
• Cấu tạo: cuộn dây 2 quấn quanh lõi sắt từ chịu
tác động của nam châm vĩnh cửu 3, được đặt
đối diện với một đĩa quay làm bằng vật liệu sắt
từ 1.

19
Tần số suất điện động trong cuộn dây được xác
định bởi: f=p.n với p là số lượng răng trên đĩa.

20
*Biên độ E của sức điện động trong cuộn dây phụ
thuộc hai yếu tố:
• Khoảng cách giữa cuộn dây và đĩa quay: khoảng
cách càng lớn E càng nhỏ.
• Tốc độ quay: Tốc độ quay càng lớn, E càng lớn.
Khi tốc độ quay nhỏ, biên độ E rất bé và khó phát
hiện, do vậy tồn tại một vùng tốc độ quay không
thể đo được, người ta gọi vùng này là vùng chết.

21
• Dải đo của cảm biến phụ thuộc vào số răng
của đĩa. Khi p lớn, tốc độ nmin đo đ−ợc có giá
trị bé. Khi p nhỏ, tốc độ nmax đo đ−ợc sẽ lớn.
Thí dụ với p = 60 răng, dải tốc độ đo đ−ợc n
= 50 - 500 vòng/phút, còn với p =15 răng dải
tốc độ đo đ−ợc 500 -10.000 vòng/phút.

22
2. Tốc độ kế quang.

Cấu tạo :1) Nguồn sáng 2) Thấu kính hội tụ 3)

Đĩa quay 4) Đầu thu quang.

23
• Kết quả là khi đĩa quay, đầu thu quang nhận
được một thông lượng ánh sáng biến điệu và
phát tín hiệu có tần số tỉ lệ với tốc độ quay
nhưng biên độ không phụ thuộc tốc độ quay.

24
25
• Phạm vi tốc độ đo được phụ thuộc vào hai
yếu tố chính:
• Số lượng lỗ trên đĩa.
• Dải thông của đầu thu quang và của mạch
điện tử.
• Để đo tốc độ nhỏ (~ 0,1 vòng/phút) phải
dùng đĩa có số lượng lỗ lớn (500 - 1.000 lỗ).
Trong trường hợp đo tốc độ lớn ( ~ 105 - 106
vòng/phút) phải sử dụng đĩa quay chỉ một lỗ,
khi đó tần số ngắt của mạch điện xác định tốc
độ cực đại có thể đo được. 26
5.1.4. Máy đo góc tuyệt đối.
• Cấu tạo: gồm phần động gắn với trục quay chứa
cuộn sơ cấp, phần tĩnh có hai dây quấn thứ cấp đặt
lệch nhau 900.

27
Nguyên tắc hoạt động:
• Khi trục quay, ở đầu ra của hai dây quấn thứ
cấp ta thu được hai tín hiệu điều biên
UU0sintsin và UU0sintcos.
• Đường bao của biên độ kênh tín hiệu ra chứa
thông tin về vị trí tuyệt đối ( góc ) của roto
máy đo tức là vị trí tuyệt đối của trục quay.

28
Xử lý thông tin:
• Cách 1: Hiệu chỉnh sửa sai góc thu được trên
cơ sở so sánh góc với một số vi mạch sẵn có.
Các vi mạch này cho tín hiệu góc dạng số với
độ phân giải 10-16bit/vòng và một tốc độ
quay dạng tương tự. Độ phân giải phụ thuộc
vào thông số mạch điều chỉnh.

29
Cách 2:
• Dùng hai bộ chuyển đổi tương tự- số để lấy
mẫu trực tiếp từ đỉnh tín hiệu điều chế, cần
đồng bộ giữa thời điểm lấy mẫu và khâu tạo
tín hiệu kích thích 2-10kHz sau đó dùng bộ
lọc để chuyển xung chữ nhật thành tín hiệu
kích thích hình sin.
• Độ phân giải phụ thuộc vào độ phân giải của
bộ chuyển đổi tương tự-số.
30
 5.2. Cảm biến rung và gia tốc.
• 5.2.1. Khái niệm cơ bản.

31
• Độ rung động và độ sốc luôn hiện diện khắp nơi
trong cuộc sống hằng ngày của chúng ta. Chúng
được tạo ra hoặc được truyền qua động cơ, tua bin,
máy móc, cầu đường, tháp, hoặc cơ thể chúng ta,…
• Một số trong chúng là có ích, nhưng một số là tác
nhân gây ảnh hưởng xấu, thậm chí phá hoại. Do
đó, chúng ta cần phải hiểu rõ nguyên nhân dẫn tới
rung động để phát triển các phương pháp đo và
ngăn chặn rung động.
• Các cảm biến giá tốc được sử dụng để làm điều
này, chúng là liên kết giữa cấu trúc rung và thiết bị
điện tử đo rung. 32
* Ứng dụng cảm biến rung và gia tốc.

33
34
35
Trong các công trình xây dựng

36
37
38
• Phép đo gia tốc có thể thực hiện qua việc đo lực
(cảm biến áp điện, cảm biến cân bằng ngẫu lực)
hoặc đo gián tiếp thông qua sự biến dạng hay di
chuyển của vật trung gian.

39
1. Dải gia tốc và phương pháp đo gia tốc.
• Đo gia tốc chuyển động của một khối lượng nào
đó, trong đó chuyển động của trọng tâm luôn giữ ở
tần số tương đối thấp (từ 0 đến vài chục Hz), giá trị
của gia tốc nhỏ. Các cảm biến thường dùng là các
cảm biến gia tốc đo dịch chuyển và cảm biến gia
tốc đo biến dạng.
• Đo gia tốc rung của các cấu trúc cứng hoặc cấu
trúc có khối lượng lớn, tần số rung đạt tới hàng
trăm Hz. Cảm biến gia tốc thường dùng là cảm
biến từ trở biến thiên, đầu đo biến dạng kim loại
hoặc áp điện trở. 40
• Đo gia tốc rung mức trung bình và dải tần tương
đối cao (~10kHz), th−ờng gặp khi vật có khối
lượng nhỏ. Cảm biến gia tốc sử dụng là loại áp trở
hoặc áp điện.
• Đo gia tốc khi va đập, thay đổi gia tốc có dạng
xung. Cảm biến gia tốc sử dụng là các loại có dải
thông rộng về cả hai phía tần số thấp và tần số cao.

41
• Cảm biến đo gia tốc là cảm biến chuyển động
không cần có điểm mốc, chúng khác với các cảm
biến dịch chuyển bởi vì khi đo dịch chuyển của
một vật phải đo chuyển động tương đối của vật đó
so với một vật khác cố định lấy làm mốc.

42
2. Chuyển động rung và phương pháp đo.
• Độ rung được đặc trưng bởi độ dịch chuyển, tốc độ
hoặc gia tốc ở các điểm trên vật rung.
• Cảm biến rung có thể là cảm biến dịch chuyển,
cảm biến tốc độ hoặc cảm biến gia tốc.

43
Nguyên lý hoạt động của cảm biến rung.
• Cấu tạo: 1. Khối rung, 2. Vỏ hộp
• 3. Phần nhạy cảm, 4. Giảm chấn.

• Chuyển động rung của khối lượng M tác động lên

phần tử nhạy cảm của cảm biến và được chuyển
thành tín hiệu điện ở đầu ra.

44
• Phương trình cân bằng lực có dạng:
d 2 h0 d 2z dz
 M 2  M 2  F  Cz
dt dt dt

• Cấu tạo của cảm biến để đo đại lượng sơ cấp m1

(độ dịch chuyển h0, vận tốc dh0/dt hoặc gia tốc
d2h0/dt2) phụ thuộc vào đại lượng được chọn để
làm đại l−ợng đo thứ cấp m2 (z, dz/dt hoặc d2z/dt2)
và dải tần số làm việc.

45
Trên thực tế cảm biến thứ cấp thường sử dụng
là:
• Cảm biến đo vị trí tương đối của khối lượng rung
M so với vỏ hộp.
• Cảm biến đo lực hoặc cảm biến đo biến dạng.
• Cảm biến đo tốc độ tương đối.

46
Độ nhạy của cảm biến:

s m2 s
S  .  S1.S2
m1 m1 m2
m2 s
Trong đó: S1  và S2 
m1 m1

47
5.2.2. Cảm biến đo tốc độ rung.
• Cấu tạo: 1) Vỏ hộp 2) Khối rung 3) Lõi nam châm
4) Cuộn dây 5) Lò xo 6) Giảm chấn

48
• Độ nhạy sơ cấp được tính bởi biểu thức:
m2 z  p / 02
S1    2
m1 ph0 p p
 2 1
2
0 0
• Tốc độ đo dịch chuyển tương đối dz/dt là đại lượng
đo thứ cấp m2.

49
• Phản ứng của cảm biến thứ cấp đối với chuyển
động của khối lượng rung thể hiện thông qua phản
lực f = i.l.B tác động lên cuộn dây khi cuộn dây
chuyển động trong từ trường cảm ứng.
• Giả thiết bỏ qua trở kháng của cuộn dây Lω, khi đó
phản lực f tỉ lệ với tốc độ tương đối: 2 1 dz
f  ( Bl)
R dt
• Lực này chống lại chuyển động của khối lượng
rung, làm thay đổi hệ số tắt dần của chuyển động.
50
5.2.3. Gia tốc kế áp điện.
• Cấu tạo và nguyên lý hoạt động:
-Gồm một khối lượng rung, một phần tử áp điện đặt
trên giá đỡ cứng, toàn bộ được đặt trong một vỏ hộp
kín.
-Đo gia tốc theo hai hướng dọc theo trục nhạy cảm,
phụ thuộc vào bản chất lực tác dụng( nén, kéo, cắt)
trong bộ cảm biến có phận cơ khí tạo ứng lực cơ học
đặt trước phần tử áp điện để mở rộng dải đo gia tốc
theo hai chiều.
51
Gia tốc áp kế kiểu nén:

1) Khối lượng rung 2) Phiến áp điện 3) Đai ốc 4) Đế 5) Vỏ hôp

- Cảm biến này có tần số cộng hưởng cao, kết cấu
chắc chắn, nhạy với ứng lực của đế.

52
Gia tốc kế kiểu uốn cong.

• Phần tử áp điện của cảm biến gồm hai phiến áp

điện mỏng dán với nhau, một đầu gắn cố định lên
vỏ hộp cảm biến, một đầu gắn với khối lượng
rung. Cảm biến loại này cho độ nhạy rất cao nhưng
tần số và gia tốc rung đo được bị hạn chế.

53
Đặc trưng của cảm biến.
• Độ nhạy được biểu diễn bởi biểu thức:
Q
S   S1.S 2
a
• Trong đó:
a - gia tốc của cảm biến.
Q - điện tích được tạo ra khi cảm biến rung với gia
tốc a.
S1 - độ nhạy cơ của hệ thống khối lượng rung.
S2 - độ nhạy điện của cảm biến.
54
• Giá trị S1 và S2 được tính :
z 1
S1  
a 2  2
02 (1  2 )  (2 )
0 0
Q 1
S2   dC
z 0
02 1 ( )2


55
CẢM BIẾN VÀ ỨNG DỤNG

Th.s Nguyễn Thị Thuỳ

 Chương 6. Cảm biến đo độ ẩm

 6.1. Định nghĩa độ ẩm.

 6.2. Phân loại cảm biến độ ẩm.
 6.3. Phương pháp đo độ ẩm.

2
6.1. Định nghĩa độ ẩm.
-Độ ẩm : là khối lượng hơi nước có trong 1m3 không
khí. Độ ẩm càng cao, hơi nước trong môi trường
càng nhiều.

3
*Ảnh hưởng của độ ẩm.

• Con người:
- Độ ẩm cần duy trì để đảm bảo cảm giác dễ chịu cho
con người là 35%- 70%, thấp hơn 30% bộ máy tiêu
hóa bị kích thích, lớn hơn 70% thì sự ra mồ hôi bị
suy giảm nghiêm trọng.

4
* Trong công nghiệp.

• Sự có mặt của hơi nước ở một lượng đáng kể có

thể gây nên phản ứng phụ hoặc gây nên quá trình
ngưng tụ làm ảnh hưởng trực tiếp đến các thiết bị,
máy móc nhất là các thiết bị điện, điện tử gây ra sai
số, ăn mòn hóa học, ảnh hưởng đến độ cách điện..
Vì vậy xác định độ ẩm rất cần thiết để có biện pháp
chống ẩm.

5
• Điểm sương: là nhiệt độ mà ở đó hơi nước trong
không khí ở một áp suất xác định ngưng đọng
thành chất lỏng. Khi hơi nước bão hòa cũng có
nghĩa khí và hơi nước đạt tới điểm sương.
• Độ ẩm tuyệt đối: là lượng hơi nước tồn tại trong
một thể tích nhất định, được tính bằng tỷ số khối
lượng hơi nước trên thể tích khối không khí chứa
nó. Độ ẩm tuyệt đối thay đổi khi áp suất không khí
thay đổi.

6
• Độ ẩm tương đối %: là tỷ số giữa áp suất riêng
phần của hơi nước và áp suất hơi bão hòa ở nhiệt
độ T: p
%  h
.100%
pbn
• Áp suất hơi bão hòa: là áp suất hơi nước ở trạng
thái cân bằng với nước ở nhiệt độ T, đây là giá trị
lớn nhất mà áp suất riêng phần có thể đạt được ở
nhiệt độ T.

7
• Nhiệt độ hóa sương Td (0C): là nhiệt độ cần phải
làm lạnh không khí ẩm xuống tới đó để đạt được
trạng thái bão hòa, độ chứa hơi không thay đổi
trong quá trình làm việc.

8
6.2.Phân loại:

9
6.2.1.Cảm biến điện ly
• Cấu tạo và nguyên lý hoạt động:
Ống cách điện 1, điện cực xoắn 2 và 3 giữa chúng
được phủ một lớp màng mỏng P2O5, màng có điện
trở lớn ở dạng khô và điện trở giảm hút ẩm.

10
6.2.1.Cảm biến điện ly
• Nguyên lý hoạt động: Không khí ẩm cần đo được
đưa qua ống với tốc độ không đổi, khi đó liên tục
diễn ra hai quá trình: sự hút ẩm của màng để tạo ra
HPO3 và điện phân nước để tái sinh P2O5.

11
6.2.1.Cảm biến điện ly
• Phương trình hóa học:

12
6.2.1.Cảm biến điện ly
• Thực hiện đo dòng điện điện phân, dòng điện này
tỉ lệ với độ ẩm tuyệt đối của không khí:
I= (F..Qv.U)/M
F: hằng số Faraday (96500/9.10-3)
: Hệ số giữ phân tử nước trong lớp P2O5 không đổi.
Qv: lưu lượng khí đi qua đầu đo (m3/s)
M: trọng lượng phân tử nước.
U: Độ ẩm tuyệt đối (g/m3)
• Với thể tích khí cho trước,dòng điện phân tỷ lệ với
độ ẩm tuyệt đối biểu diễn bằng g hơi nước/m3
13
không khí
6.2.2.Ẩm kế điện trở.

14
15
6.2.3. Ẩm kế tụ điện

16
* Ẩm kế tụ điện kiểu Al2O3

17
* Ẩm kế tụ điện kiểu Al2O3

18
19
 *Một số các thiết bị đo độ ẩm khác
• Máy đo độ ẩm của gỗ:

20
21
*Cảm biến đo độ ẩm đất

22
23
• Đo độ ẩm không khí

24
CẢM BIẾN VÀ ỨNG DỤNG

Th.s Nguyễn Thị Thuỳ

 Chương 7. Cảm biến nhiệt độ

7.1. Khái niệm cơ bản

7.2. Cảm biến nhiệt điện trở
7.3. Cảm biến cặp nhiệt ngẫu.
7.4. Đo nhiệt độ bằng điôt và transistor.
7.5. Cảm biến quang đo nhiệt độ.
7.6. Cảm biến siêu âm nhiệt độ

2
7.1. Khái niệm cơ bản.

-Nhiệt độ là đại lượng có thể đo gián tiếp dựa vào sự

phụ thuộc của tính chất vật liệu vào nhiệt độ.

3
7.1.1 Thang đo nhiệt độ.

- Để đo được nhiệt độ cần thiết lập thang nhiệt độ,

thang nhiệt độ tuyệt đối được xác định dựa trên tính
chất của khí lý tưởng.

4
Định luật Carnot

• Theo định luật Carnot hiệu suất của một động cơ

thuận nghịch hoạt động giữa hai nguồn có nhiệt độ
1 và 2 trong một thang đo bất kỳ chỉ phụ thuộc
vào 1 và 2:  =F(1)/F(2)
• Nếu chọn dạng hàm F quyết định thang đo nhiệt
độ, đặt F()=T, khi đó hiệu suất động cơ nhiệt
thuận nghịch được tính: =1-T1/T2
T1 và T2 là nhiệt độ nhiệt học tuyệt đối của hai nguồn

5
Thang nhiệt độ Kevin

• Thang Kevin: Thang nhiệt độ động học tuyệt đối,

đơn vị : K.
• Trong thang này người ta gán cho nhiệt độ của
điểm cân bằng của ba trạng thái nước- nước đá-
hơi một giá trị số bằng 273,15K.

6
Thang Celsius:

• Thang Celsius: Thang nhiệt độ bách phân, đơn vị

đo nhiệt độ là 0C, một độ Celsius bằng một độ
Kevin.
• Quan hệ nhiệt độ Celsius với nhiệt độ Kevin:
T(0C)= T(K)-273,15

7
Thang Fahrenheit

• Thang Fahrenheit: thang nhiệt độ có điểm nước đá

tan là 320 và sôi ở 2120
• Đơn vị nhiệt độ : 0F
• Quan hệ nhiệt độ Fahrenheit và nhiệt độ Celsius:
T(0C)= T(0F)-32.5/9
T(0F)= 9/5T(0C)+32

8
7.1.2. Nhiệt độ đo được và nhiệt độ cần đo.

• Nhiệt độ đo được bằng cảm biến T phụ thuộc vào

nhiệt độ của môi trường Tx và sự trao đổi nhiệt
trong đó.
• Để đo đúng hiệu số Tx- T phải cực tiểu.

9
Có hai cách để nâng cao độ chính xác đo :

-Tăng cường trao đổi nhiệt giữa bộ cảm biến và môi

trường cần đo.
- Giảm trao đổi nhiệt giữa bộ cảm biến và môi trường
bên ngoài.

•10
• Lượng nhiệt truyền từ môi trường vào bộ cảm
biến tính theo công thức:
dQ=A(Tx-Tc)dt
Lượng nhiệt cảm biến hấp thụ: dQ= mCdTc
Nghiệm của phương trình cân bằng nhiệt là :
Tc=Tx-k.e-t/

11
• Để tăng cường trao đổi nhiệt giữa cảm biến với
môi trường có nhiệt độ cần đo ta phải dùng cảm
biến có phần tử cảm nhận có tỉ nhiệt thấp, hệ số
dẫn nhiệt cao.
• Để hạn chế tổn thất nhiệt từ cảm biến ra bên ngoài
thì các tiếp điểm dẫn từ phần tử cảm nhận ra mạch
đo bên ngoài phải có hệ số dẫn nhiệt thấp

12
7.1.3. Phân loại cảm biến đo nhiệt độ

Chia làm 2 nhóm:

-Cảm biến tiếp xúc: cảm biến tiếp xúc với môi
trường đo:
+Cảm biến điện trở ( nhiệt điện trở)
+Cặp nhiệt ngẫu.
+Cảm biến giãn nở.
+Cảm biến đo nhiệt độ bằng điôt và transistor
-Loại không tiếp xúc: cảm biến quang đo nhiệt độ.
13
14
7.2. Nhiệt kế giãn nở.

• Nguyên lý hoạt động: dựa vào sự giãn nở của vật

liệu khi tăng nhiệt độ.
• Nhiệt kế giãn nở có 2 loại: Nhiệt kế giãn nở chất
rắn và nhiệt kế giãn nở chất lỏng.

15
Nhiệt kế giãn nở chất rắn
• Có hai loại: gốm-kim loại ( a), kim loại-kim loại ( b)
*Loại kim loại-kim loại:
• Cấu tạo: gồm 2 thanh kim loại có hệ số giãn nở nhiệt khác
nhau liên kết với nhau theo chiều dọc.
• Nguyên lý: Nếu hệ số giãn nở 1> 2 thì khi giãn nở nhiệt
hai thanh kim loại cong về phía thanh có hệ số giãn nở
nhỏ. Dựa vào độ cong của thanh kim loại để xác định nhiệt
độ.
• Thường sử dụng đo nhiệt độ dưới 7000C

16
 Ứng dụng
• Thường sử dụng chế tạo rơle nhiệt:

17
Nhiệt kế giãn nở chất lỏng
• Cấu tạo:

18
 Ứng dụng
• Trong y học: Nhiệt kế thủy ngân được sử dụng để đo thân nhiệt của
người bệnh, giúp các bác sĩ có thể nắm bắt tình trạng sức khỏe của
người bệnh để đưa ra phương thức chữa bệnh chính xác.
• Trong công nghiệp: Nhiệt kế thủy ngân được ứng dụng nhiều
trong lĩnh vực sản xuất như kiểm soát nhiệt độ lò hơi, chất lỏng,
khí…để quá trình sản xuất được diễn ra chính xác hơn.
• Trong ẩm thực: Nhiệt kế thủy ngân cũng được sử dụng trong việc
kiểm soát nhiệt độ nấu ăn để các đồ ăn có độ thơm ngon nhất có thể.
Hoặc nhiệt kế thủy ngân với chất dãn nở là rượu cũng được dùng để
đo độ cồn trong rượu…

19
7.3. Nhiệt kế điện trở
• Nguyên lý: dựa vào sự phụ thuộc điện trở suất của
vật liệu theo nhiệt độ.
• Hiện nay thường sử dụng ba loại điện trở đo nhiệt
độ: điện trở kim loại, điện trở silic và điện trở chế
tạo bằng hỗn hợp các oxit bán dẫn.

20
Nhiệt kế điện trở kim loại
*Yêu cầu chung với vật liệu làm điện trở
• Có điện trở suất đủ lớn để điện trở ban đầu R0 lớn mà kích thước
nhiệt kế vẫn nhỏ.
• Hệ số nhiệt điện trở luôn không đổi dấu, không bị triệt tiêu.
• Có đủ độ bền cơ, hóa ở nhiệt độ làm việc.
• Dễ gia công và có khả năng thay thế.
• Thường được chế tạo bằng Platin, Niken hoặc Cu, Vônfram

21
Cấu tạo nhiệt kế điện trở

- Điện trở R ở 00C có giá trị khoảng 100 ( điện trở Platin
có đường kính dây cỡ vài m và dài khoảng 10cm, quấn lại
sẽ được nhiệt kế có chiều dài khoảng 1cm)
- Các loại khác có điện trở 00C là 50 , 500 , 1000 , các
điện trở lớn thường dùng để đo ở dải nhiệt độ thấp.

22
Nhiệt kế công nghiệp

• Nhiệt kế có vỏ bọc tốt chống được va chạm mạnh

và rung động, điện trở kim loại được cuốn và bao
bọc trong thủy tinh hoặc gốm và đặt trong vỏ bảo
vệ bằng thép.

23
• 1. Dây Platin, 2. Gốm cách điện , 3. Ống Platin, 4.Dây nối, 5. Sứ
cách điện, 6. Trục, 7. cách điện, 8. Vỏ bọc, 9. Xi măng

24
Nhiệt kế bề mặt.
• Nhiệm vụ: để đo nhiệt độ trên bề mặt chất rắn.
• Vật liệu: Ni, Fe-Ni, Pt.
• Kích thước: chiều dày lớp kim loại
Khoảng vài m, kích thước cỡ 1cm2
• Độ nhạy:
-Ni và Fe-Ni: 5.10-3/0C; Pt: 4.10-3/0C
• Dải nhiệt sử dụng:
-Ni và Fe-Ni: -1950C260 0C; Pt: -2600C1400 0C

25
 * Nhiệt kế điện trở silic

• Silic tinh khiết hoặc đơn tinh thể silic có hệ số

nhiệt điện trở âm, nhưng nếu được kích tạp loại n
thì trong khoảng nhiệt độ thấp chúng có hệ số nhiệt
điện trở dương ( 0,7%/0C ở 25 0C).
• Phần tử cảm nhận nhiệt của cảm biến silic có kích
thước 500 x 500 x240m được mạ kim loại ở một
phía và phía còn lại là mặt tiếp xúc

26
*Nhiệt kế điện trở oxit bán dẫn

• Cấu tạo: Được làm từ hỗn hợp oxit bán dẫn đa tinh
thể: MgO, MgAl2O3, Mn2O3, Fe3O4, NiO, ZnTiO4.
• Nhiệt điện trở được chế tạo dưới dạng bột oxit trộn
với nhau theo tỉ lệ nhất định sau đó nén định dạng
và thiêu kết ở nhiệt độ 10000C.
• Dây nối kim loại được hàn tại hai điểm trên bề mặt
và được phủ bằng lớp kim loại, mặt ngoài có thể
bọc bởi vỏ thủy tinh

27
• Độ nhạy : rất cao, có thể sủ dụng phát hiện những
biến thiên nhiệt độ rất nhỏ cỡ : 10-4- 10-3K.
• Có thể sử dụng đo nhiệt độ từng điểm.
• Dải nhiệt: thay đổi từ vài độ tuyệt đối đến khoảng
3000C Màng kim
loại

Phiến bán dẫn Dây nối

Cấu tạo nhiệt điện trở có vỏ bọc thủy tinh

28

7.4. Cảm biến nhiệt ngẫu

• Hiệu ứng nhiệt điện:

Khi hai dây dẫn chế tạo từ vật liệu có bản chất hóa
học khác nhau được nối với nhau bằng mối hàn
thành một mạch kín và nhiệt độ hai mối hàn là t và
t0 khác nhau thì trong mạch khép kín sẽ có dòng
điện chảy qua.
Chiều của dòng điện sẽ phụ thuộc vào nhiệt độ
tương ứng của mối hàn, nghĩa là t>t0 thì dòng điện
chạy theo hướng ngược lại, nếu để hở một đầu thì
giữa hai cực suất hiện sức điện động nhiệt.

29
30
Cấu tạo cặp nhiệt

• Vật liệu chế tạo: có thể dung nhiều kim loại và hợp
kim khác nhau đảm bảo yêu cầu:
+ Sức điện động đủ lớn.
+ Đủ độ bền cơ học và hóa học ở nhiệt độ làm việc.
+Dễ kéo sợi.
+Có khả năng thay lẫn
+ Giá thành rẻ.

31
• Vật liệu:
- Cặp Platin- Rodi/Platin: cực dương là hợp kim Rodi(90%)và Platin
(10%), cực âm là Platin sạch. Nhiệt độ làm việc ngắn hạn cho phép
16000C và ngắn hạn là 13000C, E=16,77mV. Thường được sử dụng
làm cặp nhiệt chuẩn, =0,5mm.
- Cặp nhiệt Chromel/Alumel: cực dương là Chromel, hợp kim gồm
80%Ni+10%Cr+10%Fe, cực âm là Alumel, hợp kim gồm
95%Ni+5%(Mn+Cr+Si), nhiệt độ làm việc ngắn hạn là gần 11000C,
dài hạn <900 , E=46,16mV, =3mm
- Cặp nhiệt Chromel/Coben: Cực dương là Chromel, cực âm là Coben
( hợp kim gồm 56%Cu+44%Ni), nhiệt độ làm việc ngắn hạn là
8000C, dài hạn là <6000C, E=66mV

32
 Quan hệ giữa sức điện động và nhiệt độ của
các vật liệu chế tạo điện cực:

• E-Chromel/Constantan
• R- Platin-Rodi (13%)/Platin
• J- Fe/Constantan
• S- Platin-Rodi (10%)/Platin
• K- Chromel/Alumel
• B-Platin-rodi (30%)/ Platin-rodi
(6%)

33
• Cấu tạo của cặp nhiệt điện công nghiệp:

1. Vỏ bảo vệ; 2. Mối hàn; 3. Dây điện cực; 4. Sứ cách điện; 5. Bộ phận
lắp đặt; 6. Vít nối dây; 7. Dây nối ; 8 đầu nối dây

34
Mạch đo và dụng cụ thứ cấp

• Đảm bảo độ chính xác đo nhiệt độ:

-Giảm thiểu tác động của môi trường lên nhiệt độ
đầu tự do.
-Giảm thiểu sự sụt áp do dòng điện chạy qua các
phần tử của cảm biến và mạch đo

35
Sơ đồ mạch đo dung milivon kế

• Sơ đồ đo thông dụng dung milivon kế từ điện:

36
Bù nhiệt độ đầu tự do

• Bù nhiệt độ đầu tự do bằng dây bù

37
• Bù nhiệt độ bằng cầu bù:

38
7.4. Đo nhiệt độ bằng điôt và transistor

• Linh kiện điện tử nhạy cảm với nhiệt độ nên có thể sử

dụng một số linh kiện bán dẫn như điot hoặc transistor nối
theo kiểu điôt ( nối B và C) phân cực thuận có dòng điện
không đổi, khi đó điện áp giữa hai cực là hàm của nhiệt
độ.

39
• Độ nhạy nhiệt của điôt hoặc transistor mắc theo
kiểu điốt được xác định theo biểu thức: S= dV/dT
• Dải nhiệt độ làm việc bị hạn chế trong khoảng
-500C đến 1500C do giới hạn chịu nhiệt của phần
tử bán dẫn.

40
• + Cảm biến nhiệt độ Diode, Cảm biến IC nhiệt LM35
• + Cảm biến nhiệt độ DS18B20: Đây là loại cảm biến nhiệt
độ cao cấp khi nó tích hợp cả chuẩn truyền thông DS
18B20.
• + Những loại cảm biến thường dùng ngoài Pt 2000 đó là:
LM 335, LM 35, LM45.

41
 *Chú ý:
• Tất cả các cảm biến nhiệt bán dẫn đều có độ bền
không cao và không thể chịu được nhiệt độ lớn.
Nếu nhiệt độ của môi trường đo ngày càng tăng và
vượt ngưỡng làm việc của thiết bị mà hãng sản
xuất khuyến cáo thì nó sẽ bị hỏng.
• Vì thế mà nó không thích hợp cho những môi
trường, công việc khắc nghiệt.

42
7.5. Cảm biến quang đo nhiệt độ

• Cảm biến quang đo nhiệt độ thuộc loại cảm biến không

tiếp xúc gồm hỏa kế bức xạ và hỏa kế quang học.

43
7.5.1 Hỏa kế bức xạ

• Dụng cụ đo nhiệt độ vật thể bằng bức xạ nhiệt gọi là hỏa

kế bức xạ ( hỏa kế).
• Dùng chủ yếu đo nhiệt độ từ 3000C đến 60000C và cao
hơn.
• Thường sử dụng các bức xạ nhìn thấy và hồng ngoại.

44
• Cơ sở lý thuyết: dựa trên cơ sở các quy luật với vật đen
tuyệt đối (vật hấp thụ tất cả các bức xạ truyền tới thì hệ số
hấp thụ =ht/  =1, VD: bồ hóng dầu mỏ, nhựa đen,
nhung đen)
• Bề mặt của vật không chỉ hấp thụ mà còn phát ra bức xạ
phụ thuộc vào nhiệt độ.

45
Hỏa kế bức xạ toàn phần

• Nguyên lý hoạt động: theo định luật năng lượng bức xạ toàn
phần của vật đen tuyệt đối tỉ lệ với lũy thừa bậc 4 của nhiệt
độ tuyệt đối của vật.
E=.T4
: là hằng số, T: nhiệt độ tuyệt đối của vật đen tuyệt đối

46
• Thường có hai loại: hỏa kế bức xạ có thấu kính hội tụ (h.a)
và hỏa kế bức xạ có thấu kính phản xạ (hình b)

1. Nguồn bức xạ; 2. Thấu kính; 3. Gương phản xạ; 4. Bộ phận thu năng lượng;
5. Dụng cụ đo thứ cấp

47
• Bộ phận thu năng lượng có thể là vi
nhiệt kế điện trở hoặc một tổ hợp
cặp nhiệt và thỏa mãn yêu cầu:
-Có thể làm việc trong khoảng nhiệt độ
1000C-1500C.
-Có quán tính nhiệt đủ nhỏ và ổn định
sau 3-5 giây.
Bộ thu năng lượng
-Kích thước đủ nhỏ để tập trung năng 1. Cặp nhiệt; 2. Lớp phủ Platin
lượng vào bức xạ đo.

48
• Hỏa kế dùng gương phản xạ tổn thất năng lượng thấp (
khoảng 10%), hỏa kế dùng thấu kính hội tụ tổn thất lên tới
30-40%.
• Đo nhiệt độ bằng hỏa kế bức xạ sai số < 27% với điều kiện:
+ Vật đo có độ đen gần bằng 1.
+Tỉ lệ đường kính vật bức xạ và khoảng cách đo không nhỏ
hơn 1/16.
+Nhiệt độ môi trường 20 20C.

49
7.5.2. Hỏa kế quang học

• Dùng để đo nhiệt độ hơn 8000C

• Nguyên lý: dựa trên cơ sở so sánh độ chói quang hổ của vật
đo với độ chói chuẩn bằng mắt thường để xác định sự trùng
của độ chói đo với độ chói chuẩn.
• Phổ biến là hỏa kế quang học dây tóc.
• Dây tóc bóng đèn làm bằng sợi vonfram có thể chịu được
nhiệt độ cao hơn 14000C.

50
Sơ đồ của hỏa kế quang học

1. Nguồn bức xạ; 2. Vật kính; 3. Kính lọc ; 4 và 6. Thành ngăn; 5. Bóng đèn mẫu; 7.
Kính lọc ánh sang đỏ; 8. Thị kính.

51
Đo nhiệt độ bằng tia hồng ngoại.
• Tia hồng ngoại là một loại bức xạ điện từ, có bước sóng dài
hơn bước sóng của ánh sáng khả kiến (ánh sáng nhìn thấy).
• Mọi vật có nhiệt độ trên 0oK đều phát ra bức xạ điện từ.

52
• Từ nguyên lý này, cảm biến
hồng ngoại trên súng bắn
nhiệt độ hồng ngoại sẽ thu
được bức xạ điện từ từ vật
đo (nguồn nhiệt), sau đó
truyền dữ liệu về cho vi xử
lý để tính toán, xác định
nhiệt độ của vật đo. Kết quả
cuối cùng sẽ được hiển thị
trên màn hình của máy. 53
7.6. Cảm biến siêu âm nhiệt độ

• Trong một số các môi trường khó đo nhiệt độ như: khu vực
nhiệt độ thấp, vùng có mức bức xạ cao trong lò phản ứng hạt
nhân hoặc trong khu vực hoàn toàn kín, không bố trí cảm
biến được thường sử dụng phương pháp âm thanh để đo
nhiệt độ.

54
• Nguyên lý: Dựa trên quan hệ giữa nhiệt độ và môi trường
truyền âm.
• VD: trong không khí khô, ở áp suất khí quyển thông thường
quan hệ vận tốc truyền âm và nhiệt độ:
𝑇
𝐶 = 331,5 (m/s)
273,15

C: vận tốc truyền âm

T: nhiệt độ tuyệt đối

55
• Cấu tạo: máy phát siêu âm, máy thu siêu âm và ống kín chứa
khí khô. Máy phát và máy thu siêu âm là các tấm gốm áp
điện và có liên hệ về âm thanh qua ống chứa chủ yếu là
không khí khô.

Máy T0
Không khí khô
phát

Bộ khống Đồng
chế hồ

Máy thu

56
• Nguyên lý hoạt động: Đồng hồ tần số thấp (gần 100Hz)
khởi động máy phát siêu âm và máy thu. Tinh thể áp điện
dao động truyền song siêu âm dọc theo ống. Tinh thể thu
song tới bề mặt của nó và biến đổi thành tín hiệu điện, tín
hiệu này được khuếch đại tới mạch điều khiển.
• Mạch điều khiển tính toán tốc độ truyền âm trong ống và
dựa theo quan hệ giữa nhiệt độ và vận tốc để xác định
nhiệt độ.

57
CẢM BIẾN VÀ ỨNG DỤNG

Th.s Nguyễn Thị Thuỳ

 Chương 8. Cảm biến thông minh

 8.1. Khái niệm về cảm biến thông minh

 8.2. Cấu trúc của một cảm biến thông minh.
 8.3. Các khâu chức năng.
 8.4. Các thuật toán xử lý.

2
8.1. Khái niệm cảm biến thông minh.
-Cảm biến thông minh là một thiết bị phát hiện và
đáp ứng với một số loại đầu vào từ môi trường vật
lý. Đầu vào cụ thể có thể là ánh sáng, nhiệt, chuyển
động, độ ẩm, áp suất hoặc bất kỳ một trong số các
hiện tượng môi trường khác. Đầu ra thường là một
tín hiệu được chuyển đổi kết hợp với vi xử lý, vi
điều khiển để thực hiện các nhiệm vụ tiếp theo.
- Cảm biến thông minh tích hợp các thuật toán xử lý
tín hiệu số bên trong.

3
Các chức năng cảm biến thông minh

• Chức năng thu thập dữ liệu đo từ nhiều đại lượng

đo khác nhau với các khoảng đo khác nhau.
• Chức năng chương trình hoá quá trình đo, tức là đo
theo một chương trình đã định sẵn, chương trình
này có thể thay đổi bằng thiết bị lập trình.
• Có thể gia công sơ bộ kết qủa đo theo các thuật
toán đã định sẵn và đưa ra kết quả (hiển thị trên
màn hình) hoặc máy in.

4
• Có thể thay đổi tọa độ bằng cách đưa thêm các
thừa số nhân thích hợp.
• Tiến hành tính toán đưa ra kết quả đo khi thực hiện
các phép đo gián tiếp hay hợp bộ hay đo thống kê.
• Hiệu chỉnh sai số của phép đo.
• Bù các kết quả đo bị sai lệch do ảnh hưởng của
môi trường đo như: nhiệt độ, độ ẩm, v.v…
• Điều khiển các khâu của dụng cụ đo cho phù hợp
với các đại lượng đo.

5
• Mã hóa tín hiệu đo.
• Ghép nối các thiết bị ngoại vi: màn hình, máy in,
bàn phím, với các kênh liên lạc để truyền đi xa
theo chu kỳ hay theo địa chỉ.
• Có thể ghép nối với các bộ nhớ, để nhớ số liệu kết
quả đo hay các giá trị tức thời của tính hiệu đo.
• Có khả năng tự động khắc độ.

6
• Sử dụng vi xử lý có khả năng thực hiện các phép
tính: như cộng, trừ, nhân, chia, vi phân, tích phân,
phép tuyến tính hoá các đặc tính phi tuyến của cảm
biến, điều khiển qúa trình đo, điều khiển sự làm
việc của các khâu khác nhau như : chuyển đổi
tương tự số (A/D) hay các bộ dồn kênh MUX
v.v…
• Sử dụng vi điều khiển có khả năng phát hiện
những hỏng hóc trong thiết bị đo và đưa ra thông
tin về chúng nhờ cài đặt chương trình kiểm tra và
chuẩn đoán kỹ thuật về sự làm việc của thiết bị đo.
7
8.2.Cấu trúc của một cảm biến thông minh.

8
Các phương pháp thực hiện
• Cách 1:Nếu bộ cảm biến ở đầu vào là loại cảm biến
thông thường thì đầu ra của chúng được đưa vào
một vi mạch công nghệ lai, bao gồm các CĐCH,
MUX, A/D và trong một khối có đầu ra qua bộ
ghép nối để đưa thông tin đi xa hay vào máy tính
hay bộ ghi chương trình cho EPROM.
• Cách 2: Nếu bản thân cảm biến là vi mạch (ví dụ
như cảm biến nhiệt độ) thì cả cảm biến lẫn những
thiết bị sau đều được để trong một khối công nghệ
mạch lai.
9
Các chương trình phần mềm gồm:
• Chương trình thu thập dữ liệu: Khởi động các thiết
bị như ngăn xếp, cổng thông tin nối tiếp, đọc số
liệu từ cổng vào ADC, điều khiển hoạt động của
MUX.
• Chương trình biến đổi và xử lý thông tin: Biến đổi
các giá trị đo được thành mã BCD, mã 7 thanh, mã
ASCII, các chương trình xử lý số liệu đo.
• Chương trình giao diện: Đưa hiển thị ra LED hay
màn hình, máy in, đọc bàn phím và xử lý chương
trình bàn phím, đưa kết quả ra cổng thông tin hay
truyền vào mạng, hay gửi cho máy tính cấp trên. 10
8.3. Các khâu chức năng của cảm biến thông
minh
• Ngoài các cảm biến sơ cấp, cảm biến thông minh
gồm các khâu cơ bản: các bộ chuyển đổi chuẩn
hóa, bộ dồn kênh, bộ chuyển đổi tương tự- số, bộ
vi xử lý.

11
8.3.1. Bộ chuyển đổi chuẩn hóa
-Chuyển đổi chuẩn hóa làm nhiệm vụ biến đổi tín
hiệu điện sau cảm biến thành tín hiệu chuẩn thường
với áp là 0-5V hoặc 0-10V, với dòng là 0-20mA hay
4-20mA.
- Khi qua CĐCH tín hiệu được biến đổi tỷ lệ, nếu tín
hiệu vào x nằm trong khoảng X1-X2 thì tín hiệu ra y
nằm trong khoảng 0-Y

x CĐCH
Y

12
• Chuyển đổi chuẩn hóa có đầu ra là tín hiệu một
chiều ( là dòng hay áp) được thực hiện qua hai
bước:
+ Bước 1: trừ đi giá trị ban đầu x= X1, để tạo ra ở
đầu ra của CĐCH giá trị y=0.
+ Bước 2: thực hiện khuếch đại (K>0) hay suy giảm
(K<0).
Để thực hiện việc trừ tín hiệu ban đầu thường sử
dụng khâu tự động bù tín hiệu ở đầu vào hoặc thay
đổi hệ số phản hồi của bộ khuếch đại.
13
VD:
• Ph¶i t¹o ®ưîc ®iÖn ¸p – U0 ®Ó bï l¹i b»ng mét cÇu mµ
mét nh¸nh bï nhiÖt ®iÖt trë Rt khi nhiÖt ®é ë ®Çu tù do t0
thay ®æi, U0 thay ®æi theo, nhiÖt ®iÖn trë Rt còng thay ®æi,
xuÊt hiÖn ®iÖn ¸p – U0 (ngîc dÊu víi U0) ë ®Çu ra cña cÇu
vµ bï l¹i. kÕt qu¶ ®iÖn ¸p ë ®Çu vµo khuÕch ®¹i b»ng 0 khi
ë nhiÖt ®é b×nh thưêng.

tx U0 Ura= 0 - Ux
-U0

C-K

C-A R1 Rt

P-P
R4 R3
14
• S¬ ®å nguyªn lý chuyÓn ®æi chuÈn hãa ®Çu ra lµ
dßng mét chiÒu

4mA 4 - 20mA
æn ¸p
0 -16mA

S CĐCH

15
8.3.2. Bộ dồn kênh Mux
• Nhiệm vụ: dồn kênh, biến tín hiệu song song từ các
cảm biến thành nối tiếp để đưa vào bộ chuyển đổi
A/D và μP.
• Thực hiện việc đổi nối không tiếp xúc nhờ các
khóa điện tử.

16
 §Çu ra

23 7

22 ….
2 Thanh ghi
Bé biÕn ®æi
møc logic
21 1

20 0
BÝt ®iÒu
khiÓn tõ vi
xö lý 0 1 2 …. 7
§Çu vµo

17
Có hai chế độ làm việc:

• Chế độ chu trình : các cảm biến sẽ lần lượt đưa vào
A/D theo một chu trình. Tần số lặp lại của tín hiệu
sẽ được lựa chọn tuỳ thuộc sai số của phép đo cho
trước.
• Chế độ địa chỉ : bộ đổi nối làm việc theo một chu
trình đã định trước.

18
8.3.3. Bộ chuyển đổi tương tự- số A/D.

• Nhiệm vụ: chuyển tín hiệu tương tự thành tín hiệu

số trước khi đưa thông tin vào μP

19
 * Các phương pháp tạo bộ chuyển đổi A/D

• Phương pháp song song.

• Phương pháp trọng số.
• Phương pháp số.

20
8.4. Các thuật toán sử dụng trong cảm biến
thông minh.
• Tự động khắc độ.
• Xử lý tuyến tính hóa từng đoạn.
• Gia công kết quả đo.
• Sai số của kết quả các phép đo gián tiếp.
• Bù sai số.

21
8.5. Ví dụ về bộ cảm biến thông minh đo nhiệt
độ.

22
*Đầu vào

• Các dầu vào (2)
• Hợp kênh MUX (3)
• Khuếch đại (4)
• Nguồn dòng dùng để đo nhiệt độ
• Nhiệt điện trở (1)
• Mạch khắc độ (9)
• Vi điều khiển(10)
• Bộ biến đổi tương tự số (5)
• Lọc thông thấp để là bằng kết quả (6)
• Khối tuyến tính hoá phục vụ cho các đặc tính phi tuyến
của cảm biến (7)
• Bộ điều chế độ rộng xung đầu ra (8)
23
*Đầu ra

• Bộ cách ly về điện (13)
• Bộ ra với tín hiệu xung điều chế độ rộng (17) và bộ biến
đổi số tương tự.
• Đầu ra để kiểm tra để theo dõi tín hiệu ra (18)
• Cảm biến phụ, rơle (14)

24
*Đầu ra


• * Kiểm tra và hiển thị

• Giao diện nối tiếp (11) để hỏi đáp và đặt các thông số.
• Nút ấn để kiểm tra cho nhiệt điện trở hay để khắc độ các
cảm biến điện trở.
• Đầu báo (làm việc và có sự cố)
• * Nguồn cung cấp. 24V một chiều nối vào lưới điện.

25