TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI

Viện Cơ khí

THIẾT KẾ HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ

Mechatronic Systems Design
Giảng viên: GVCC.TS. NGUYỄN TRỌNG DOANH
Đơn vị: Bộ môn Cơ điện tử, C8-106
Điện thoại: 0949292259
Email: doanhnt159@gmail.com
doanh.nguyentrong@hust.edu.vn
Hà Nội, 04/2016 1
 Nội dung học phần

1. Tổng quan về Cơ điện tử 7. Hệ thống điều khiển số

2. Mô hình hóa các hệ thống kỹ 8. Thiết kế hệ thống điều

thuật khiển số

3. Các chỉ tiêu chất lượng của hệ 9. Hệ thống điều khiển lô

thống tự động gics

4. Cảm biến 10. PLC

5. Cơ cấu chấp hành 11. Vi điều khiển

6. Thiết bị điều khiển 12. Ứng dụng

2
 Chương 4 – Cảm biến

NỘI DUNG
4.1. Khái niệm và phân loại cảm biến
4.2. Các chỉ tiêu kỹ thuật của cảm biến
4.3. Cảm biến vị trí, dịch chuyển và mức
4.4. Cảm biến vận tốc và gia tốc
4.5. Cảm biến đo nhiệt độ
4.6. Cảm biến đo áp suất, lưu lượng
4.7. Cảm biến lực, biến dạng

3
 4.1. Cảm biến và phân loại cảm biến

Cảm biến là thiết bị biến đổi tử tín hiệu vật lý sang đại lượng mang tính
chất điện.
Physical Signal
Physical Variable Sensor Variable
Process s S=f(s) S

𝑆
  ( 𝑡 ) =𝑎+𝑏𝑠 (𝑡 )

Mô hình bậc không:   𝑑𝑆(𝑡 ) +𝑏 𝑆 ( 𝑡 ) =𝑠 (𝑡 )

𝑏 1 0
𝑑𝑡
Mô hình vi phân bậc nhất:
2
 𝑏 𝑑 𝑆(𝑡 ) +𝑏 𝑑𝑆 (𝑡 ) + 𝑏 𝑆 (𝑡 ) =𝑠 (𝑡 )
2 0
𝑑2 1
𝑑𝑡
Mô hình vi phân bậc hai:

4
 4.1. Cảm biến và phân loại cảm biến
Phân loại theo đại lượng cần đo:
Hiện tượng Đại lượng cần đo
Cơ học - Vị trí
- Lực, áp suất
- Gia tốc, vận tốc
- Ứng suất, độ cứng, mô men
- Khối lượng, tỉ trọng
- Vận tốc chất lưu, độ nhớt ...
Nhiệt - Nhiệt độ
- Nhiệt dung, tỉ nhiệt ...
Điện - Điện tích, dòng điện
- Điện thế, điện áp
- Điện trường (biên, pha, phân cực, phổ)
- Điện dẫn, hằng số điện môi ...
Quang - Biên, pha, phân cực, phổ, tốc độ truyền
- Hệ số phát xạ, khúc xạ, hấp thụ, hệ số bức xạ ...

5
 4.1. Cảm biến và phân loại cảm biến
Phân loại theo nguyên lý chuyển đổi giữa đáp ứng và
kích thích:
Hiện tượng Chuyển đổi đáp ứng và kích thích
Vật lý - Nhiệt điện
- Quang điện
- Quang từ
- Điện từ
- Quang đàn hồi
- Từ điện
- Nhiệt từ...
Hóa học - Biến đổi hoá học
- Biến đổi điện hoá
- Phân tích phổ ...
Sinh học - Biến đổi sinh hoá
- Biến đổi vật lý
- Hiệu ứng trên cơ thể sống ...

6
 4.1. Cảm biến và phân loại cảm biến

Phân loại theo nguồn năng lượng tiêu thụ:

Phân loại cảm biến Một hiệu ứng được sử dụng

Cảm biến chủ động - Hiệu ứng nhiệt điện: Cặp nhiệt điện, Can nhiệt…
- Hiệu ứng cảm ứng điện từ: Cảm biến đo tốc độ…
- Hiệu ứng áp điện: Cảm biến lực, áp suất, gia tốc…
Cảm biến bị động - Cảm biến biến trở, cảm biến tiệm cận…

7
 4.2. Các chỉ tiêu kỹ thuật của cảm biến

 Miền đo
 Độ nhạy
 Độ phân giải
 Độ chính xác – độ chính xác lặp
 Độ tuyến tính
 Tốc độ đáp ứng

8
 4.2. Các chỉ tiêu kỹ thuật của cảm biến

Miền đo là giới hạn bởi miền giá trị cực đại và giá trị
cực tiểu của đại lượng cần đo mà cảm biến có thể phân
biệt được.

150°C

-55°C

Cảm biến nhiệt độ LM35

9
 4.2. Các chỉ tiêu kỹ thuật của cảm biến

Độ nhạy là tỷ số giữa sự thay đổi của đầu ra và đầu vào

của cảm biến.

  ∆𝑌
𝑆=
∆𝑋

10
 4.2. Các chỉ tiêu kỹ thuật của cảm biến
Độ phân giải là sự thay đổi lớn nhất của các giá trị đo
mà không làm thay đổi giá trị đầu ra của cảm biến.

1
  𝑟𝑒𝑣 360
× =0.087 9°
Encoder số sử dụng IC AS5045 2
12
1𝑟𝑒𝑣

11
 4.2. Các chỉ tiêu kỹ thuật của cảm biến

Độ chính xác được đánh giá bằng sự sai khác lớn nhất
của giá trị đo được và giá trị thực của đại lượng cần đo.
Độ chính xác lặp là mức độ mà cảm biến cho ra cùng
giá trị đo với cùng điều kiện đo.

∆
𝛿  𝑟= × 100 %
𝐹𝑆

12
 4.2. Các chỉ tiêu kỹ thuật của cảm biến
Độ tuyến tính:  𝑆 ( 𝑡 ) =𝑎+𝑏𝑠 (𝑡 )

• Cảm biến dạng tuyến tính:

2
 𝑎= ∑ 𝑆 ∑ 𝑆 − ∑ 𝑠 ∑ 𝑠𝑆   𝑛 ∑ 𝑠𝑆 − ∑ 𝑠 ∑ 𝑆
2 2 𝑏= 2
𝑠 ∑ 𝑠 −( ∑ 𝑠) 𝑛 ∑ 𝑠 2 −( ∑ 𝑠)

13
 4.2. Các chỉ tiêu kỹ thuật của cảm biến
Tốc độ đáp ứng
 Thời gian tăng tốc
 Hằng số thời gian
 Thời gian xác lập  Hz= RPM/60

 Đáp ứng tần

Đáp ứng động lực học Đáp ứng tần số

14
 4.3. Cảm biến vị trí, dịch chuyển và mức

4.3.1. Công tắc hành trình

4.3.2. Cảm biến con chạy
4.3.3. Biến áp vi sai biến đổi (LVDT/RVDT)
4.3.4. Encoder gia tăng
4.3.5. Encoder tuyệt đối
4.3.6. Encoder tuyến tính
4.3.7. Cảm biến cảm ứng điện từ
4.3.8. Cảm biến điện cảm
4.3.9. Cảm biến điện dung
4.3.10. Cảm biến siêu âm
4.3.11. Cảm biến quang

15
4.3.1. Công tắc hành trình

16
4.3.2. Cảm biến con chạy

  𝑜𝑢𝑡 =𝑉 𝑟𝑒𝑓 𝜃
𝑑 𝑉
𝑉  =𝐸 𝜃𝑚𝑎𝑥
𝐿

17
4.3.3. Biến áp vi sai biến đổi tuyến tính
(LVDT)

18
4.3.3. Biến áp vi sai biến đổi quay (RVDT)

19
4.3.4. Encoder gia tăng

  𝜃= 360
∆
4×𝑛

20
4.3.4. Encoder gia tăng

21
4.3.4. Encoder gia tăng

Đọc tín hiệu từ Encoder gia tăng

22
 4.3.5. Encoder tuyệt đối
Binary Gray Góc
0000 0000 0°
0001 0001 22.5°
0010 0011 45°
0011 0010 67.5°
0100 0110 90°
0101 0111 112.5°
0110 0101 135°
0111 0100 157.5°
1000 1100 180°
1001 1101 202.5°
1010 1111 225°
1011 1110 247.5°
1100 1010 270°
1101 1011 292.5°
1110 1001 315°
1111 1000 337.5°

  𝜃= 360°
∆ 𝑛
2
Mã binary Mã Gray
23
4.3.5. Encoder tuyệt đối

24
4.3.6. Encoder tuyến tính

25
4.3.7. Cảm biến cảm ứng điện từ
Lorentz’s law

𝑉  𝐻 = ⃗𝐼 × ⃗
⃗ 𝐵

26
4.3.7. Cảm biến cảm ứng điện từ

27
4.3.8. Cảm biến điện cảm

28
4.3.9. Cảm biến điện dung

  𝑠= 𝑘𝐴
𝐶
𝑥

𝑣  𝑟𝑒𝑓 𝐶 𝑠 +𝑣 0 𝐶 𝑟𝑒𝑓 =0

 𝑣 =− 𝑣 𝑟𝑒𝑓 𝐶 𝑟𝑒𝑓 𝑥
0
𝑘
Charge Amplifier Circuit

29
4.3.9. Cảm biến điện dung

30
 4.3.9. Cảm biến điện dung

  𝑠=𝐶 𝑎 +𝐶 𝑙 = 1 ( 𝑘 𝑎 𝐴𝑎 + 𝑘 𝑙 𝐴 𝑙 )= 𝑏 (𝑘 𝑎 × ( h − 𝑦 ) +𝑘 𝑙 𝑦)
𝐶
𝑥 𝑥

𝑥 𝐶𝑠 h
 𝑦= −
𝑏( 𝑘 𝑙 − 𝑘 𝑎 ) 𝑘
( 𝑙 −1)
h𝑎

𝐶𝑠
𝑣  0 =− 𝑣 𝑟𝑒𝑓 = 𝐾𝑦 +𝑐
𝐶 𝑟𝑒𝑓

31
4.3.9. Cảm biến điện dung

𝐶
  𝑠=𝐾 𝜃

ALTER

  𝑣 𝑑 𝐶𝑠 𝑑𝜃
𝑖= 𝑟𝑒𝑓 = 𝑣 𝑟𝑒𝑓 𝐾 = 𝑣 𝑟𝑒𝑓 𝐾 𝜔
𝑑𝑡 𝑑𝑡

32
 4.3.10. Cảm biến siêu âm

20kHz

  = 𝑣𝑡𝑐𝑜𝑠 ( 𝜑 )
𝐿 0
2

v=343 m/s

33
4.3.10. Cảm biến siêu âm

34
4.3.11. Cảm biến quang

Cảm biến đầu thu, đầu phát

Cảm biến dạng phản xạ

Cảm biến khuếch tán

35
4.3.11. Cảm biến quang

36
4.3.11. Cảm biến quang

37
 4.4. Cảm biến vận tốc và gia tốc
4.4.1. Cảm biến đo tốc độ quay
4.4.2. Cảm biến gia tốc
4.4.3. Gyroscopes

38
 4.4.1. Cảm biến đo tốc độ quay
Máy phát Tachometer

𝑣  0 =( 2 𝑛h𝑟 𝛽 ) 𝜔 𝑐 = 𝑘 𝜔

39
4.4.1. Cảm biến đo tốc độ quay

40
 4.4.2. Cảm biến gia tốc
2
 𝑚 𝑑 𝑧 +𝑐 𝑑 𝑧 + 𝑘𝑧=𝑚𝑔 − 𝑚 𝑑 𝑥 1
2

𝑑𝑡 2 𝑑𝑡 𝑑𝑡 2

𝑧=
  𝑥 2 − 𝑥1

41
 4.4.2. Cảm biến gia tốc
Hiệu ứng áp𝑞=𝑑𝐹=𝑑𝑀𝑎
  điện thuận

  𝑞𝑖𝑛 𝑑𝑀𝑎
𝑉 𝑜𝑢𝑡 = =
Điện áp mạch đo 𝐶𝑓 𝐶𝑓

42
4.4.2. Cảm biến gia tốc

43
4.4.3. Gyroscopes

𝐻=𝐽
  𝜔

2𝑅
  𝐾 𝜃+ 𝐵 𝜃˙ ∆  𝜔= Ω
Ω= 𝜆
𝐽𝜔

44
 4.5. Cảm biến nhiệt độ
4.5.1. Cặp nhiệt điện (Thermocouple)
4.5.2. Nhiệt điện trở kim loại (RTD)
4.5.3. Thermistor
4.5.4. IC nhiệt độ
4.5.5. Nhiệt kế hồng ngoại

45
 4.5.1. Cặp nhiệt điện
• Hiệu ứng Seebeck:
2 2
 𝑉 =𝛼 ( 𝑇 − 𝑇 0 ) + 𝛾 ( 𝑇 − 𝑇 0 )

Cặp nhiệt điện

46
4.5.2. Nhiệt điện trở kim loại (RTD)
• Điện trở kim loại thay đổi theo nhiệt độ
 𝑅= 𝑅 0 ( 1 −𝛼 𝑇 )

Nhiệt điện trở (RTD)

47
 4.5.3. Cảm biến đo nhiệt độ
• Thermistor
  1 1
(
𝑅=𝑅 0 𝑒𝑥𝑝 𝛽 ( − )
𝑇 𝑇0 )
• Ký hiệu:

NTC Thermistor PTC Thermistor

48
 4.5.4. Nhiệt kế hồng ngoại
• Năng lượng của vật phát ra
  =𝜎 𝑇 4
𝑊

49
4.5.4. Nhiệt kế hồng ngoại

50
 4.5.5. IC nhiệt độ

• Dải đo < 250

• Một số IC nhiệt độ khác
• LM20, LM135, LM235, LM335, LM34:

51
 Cảm biến đo lưu lượng
• Laze Doppler

  𝑓= 2 𝑉𝑐𝑜𝑠 (𝜃)
∆
𝑐

• Sự thay đổi về tần số:

52
Cảm biến đo lưu lượng

2Δ𝑝
 
Q=𝑐 𝑑 𝐴
√ 𝜌
τ  =𝜔 𝑟 2 𝑄 𝑚

53
 Cảm biến đo lưu lượng

  𝑑 = 1 𝐶𝑑 𝜌 𝑔 𝑣 2 𝐴
𝐹 𝑄=𝑘𝑛
2  

Cảm biến lưu lượng lực cản Cảm biến dạng tua bin

54
 Cảm biến đo lưu lượng
500 kHz

1.87
  𝐾 𝑑𝑄 1
  𝑓 =𝑓 − 𝑓 ≈ ±
∆ 𝑠 𝑟
2𝑓 𝑠𝑣
𝑐
𝑣=
(
𝜌 𝑑𝑡 𝑇 𝑠 −𝑇 0 )
Cảm biến siêu âm Cảm biến khuếch tán nhiệt

55
Cảm biến áp suất

2 4
 𝑧 = 3 (1− 𝜐 )𝑟 𝑝
𝑚𝑎𝑥 3
16 𝐸 𝑔

56
Cảm biến lực, biến dạng

∆
  𝑅 =𝑆 𝑔 𝜀
𝑅

Cảm biến điện trở lực căng

57
Cảm biến lực, biến dạng

 ∆ 𝑅 =𝑆 𝜀
𝑔
𝑅

  𝑅1 𝑅3
𝑉 0=
( −
𝑅1 + 𝑅 2 𝑅 3 + 𝑅 4)𝑉𝑠

 𝛿 𝑉 0 𝑅 2 𝛿 𝑅 1 − 𝑅 1 𝛿 𝑅 2 𝑅 4 𝛿 𝑅 3 − 𝑅 3 𝛿 𝑅4
𝑉𝑠
=
(( 𝑅1 + 𝑅 2)
2
−
( 𝑅3 + 𝑅 4 )
2
)
58
Cảm biến lực, biến dạng
 𝛿 𝑉 0 𝑅 𝛿 𝑅+ 𝑅 𝛿 𝑅 𝛿𝑅
𝑉𝑠
=
( (2 𝑅)
2 ) =
2𝑅

𝛿  𝑉 0 𝛿 𝑅
=
𝑉𝑠 𝑅

𝛿  𝑉 0 𝛿 𝑅
=
𝑉𝑠 𝑅

59