CẢM BIẾN

Chương 3
Cảm biến đo vị trí, vận
tốc và gia tốc

Cảm Biến
2
Nội dung

01 Cảm biến đo vị trí 02 Cảm biến đo vận tốc

2.1 Khái niệm

1.1 Nguyên lý do
2.2 Đo vận tốc tuyến tính
1.2 Cảm biến điện trở
2.3 Đo vận tốc góc
1.3 Cảm biến điện dung
03 Cảm biến đo gia tốc
1.4 Cảm biến điện cảm (LVDT)
3.1 Nguyên lý do về gia tốc
1.5 Cảm biến quang học (Encoder)
3.2 Gia tốc kế
1.6 Các loại cảm biến mới 3.3 Ứng dụng gia tốc kế

3
1. Cảm biến đo vị trí

4
1.1. Nguyên lý đo vị trí
A. Một số khái niệm

▪ Vị trí là thuật ngữ chỉ tọa độ của một đối tượng với chuẩn

chọn trước

▪ Dịch chuyển là sự chuyển động của đối tượng từ vị trí này

sang vị trí khác với một khoảng cách hoặc một góc nào đó

5
1.1. Nguyên lý đo vị trí
B. Phân loại đo vị trí
1. Tiếp xúc: Bộ cảm biến cung cấp tín hiệu là hàm phụ
thuộc vị trí của một trong các phần tử của cảm biến,
đồng thời phần tử này có liên quan đến vật cần xác định
dịch chuyển
2. Phát xung: Ứng với một dịch chuyển cơ bản, cảm biến
phát ra một xung. Việc xác định vị trí và dịch chuyển
được tiến hành bằng cách đếm số xung phát ra
6
1.1. Nguyên lý đo vị trí
B. Phân loại đo vị trí
▪ Một số cảm biến không đòi hỏi liên kết cơ học giữa cảm
biến và vật cần đo vị trí hoặc dịch chuyển.
▪ Mối liên hệ được thực hiện thông qua điện trường, từ
trường hoặc điện từ trường, ánh sáng
▪ Các loại thông dụng:
1. Cảm biến điện trở
2. Cảm biến điện dung
3. Cảm biến điện cảm
4. Cảm biến quang
7
1.2. Cảm biến điện trở
A. Nguyên lý hoạt động
▪ Cảm biến gồm một điện trở cố định, trên đó có một tiếp
xúc điện có thể di chuyển gọi là con chạy. Con chạy được
liên kết cơ học với vật chuyển động cần khảo sát

8
1.2. Cảm biến điện trở
B. Cảm biến điện trở chuyển động tịnh tiến (linear-motion)

l
Rx = Rn
L

9
 1.2. Cảm biến điện trở
C. Cảm biến điện trở chuyển động tròn/xoắn
(rotary potential meter)


R = Rn
n

M < 3600 (tròn)

M > 3600 (xoắn)

10
1.2. Cảm biến điện trở
D. Ví dụ
Cảm biến điện trở được sử dụng để đo góc của cánh tay như
hình vẽ. Tính góc quay của cánh tay khi áp ra Vout = 2.34V. Biết
tầm đo của cảm biến là 3500 ứng với 10V

11
1.2. Cảm biến điện trở
D. Ví dụ Tìm vị trí con trượt để  lớn nhất. Tính max

Chiết áp đo dịch chuyển Mạch tương đương

vm − v0
Công thức tính sai số tương đối:  =
v0 12
1.3. Cảm biến điện dung

A. Nguyên lý
▪ Cảm biến điện dung thực chất là một tụ điện gồm 2 điện
cực (một tụ phẳng có tiết diện bản cực S và khoảng cách
giữa 2 bản cực ), giữa chúng chứa chất điện môi .

S
▪ Điện dung của tụ điện là: C=


▪ Cảm biến thực hiện ở dạng đơn hoặc dạng kép (vi sai)
13
1.3. Cảm biến điện dung

B. Phân Loại:
▪ Cảm biến điện dung chia thành 2
nhóm lớn:
1. Cảm biến máy phát: đại
lượng ra là điện áp U, loại này
dùng đo các đại lượng cơ
2. Cảm biến thông số: có đầu
vào là độ dịch chuyển của bản
14
cực, tín hiệu ra là điện dung C
1.3. Cảm biến điện dung
▪ Điện dung là một chỉ số về vị trí của mục tiêu
➢ Tạo ra điện áp đầu ra tương ứng với sự thay đổi khoảng
cách giữa đầu dò và mục tiêu

Cảm biến có thể được

sử dụng với các mục
tiêu không dẫn điện.

15
1.4. Cảm biến điện cảm (LVDT)

A. Nguyên lý hoạt động:

▪ Cảm biến điện cảm hoạt động dựa trên nguyên lý cảm
ứng điện từ
▪ Dưới tác động của đại lượng đo phần ứng dịch
chuyển làm cho khe hở không khí thay đổi kéo theo
từ trở và điện cảm L cũng thay đổi.
➢ Linear variable displacement transducer - Biến áp vi
sai thay đổi tuyến tính - LVDT
16
1.4. Cảm biến điện cảm (LVDT)

B. Biến áp vi sai thay đổi tuyến tính – LVDT:

LVDT là cảm biến vị trí có độ phân giải cao, ngõ ra là điện áp
AC có biên độ tỉ lệ với vị trí tuyến tính

17
1.4. Cảm biến điện cảm (LVDT)
B. Biến áp vi sai thay đổi tuyến tính – LVDT:

18
1.4. Cảm biến điện cảm (LVDT)

B. Biến áp vi sai thay đổi tuyến tính – LVDT:

19
1.4. Cảm biến điện cảm (LVDT)

B. Biến áp vi sai thay đổi tuyến tính – LVDT:

20
1.4. Cảm biến điện cảm (LVDT)

C. Ứng dụng:

21
1.4. Cảm biến điện cảm (LVDT)

C. Mạch đo:

22
1.5. Cảm biến quang (Encoder)

A. Nguyên lý
Encoder quang tạo ra vị trí góc ở dạng số → không cần bộ ADC.
Có 2 loại Encoder quang:
1. Encoder tuyệt đối
2. Encoder loại tăng

23
1.5. Cảm biến quang (Encoder)

B. Absolute Encoder:

24
1.5. Cảm biến quang (Encoder)

B. Absolute Encoder Độ phân giải 3600/16 = 22.50

Binary Code Grey Code

Sai số không bao giờ lớn hơn

giá trị 1LSB
25
1.5. Cảm biến điện quang (Encoder)

C. Incremental Encoder:

▪ Vị trí được xác định

bằng cách đếm số rãnh
đi qua tế bào quang
điện, mỗi rãnh biểu diễn
một góc đã biết

➢Encoder loại tăng dùng 2 tế bào quang 26

1.5. Cảm biến điện quang (Encoder)

C. Incremental Encoder:

27
1.5. Cảm biến quang (Encoder)

C. Incremental Encoder:

28
1.5. Cảm biến điện quang (Encoder)

Mạch đếm

29
1.5. Cảm biến quang (Encoder)

D. Ứng dụng:

30
1.5. Cảm biến quang (Encoder)

D. Ứng dụng:

31
1.5. Cảm biến điện quang (Encoder)

Ví dụ:
Encoder loại tăng có 360 rãnh. Bắt đầu từ vị trí chuẩn, tế
bào quang điện đếm được 100 rãnh theo chiều kim đồng
hồ, 30 rãnh ngược chiều kim, sau đó 45 rãnh cùng chiều
kim. Hỏi vị trí hiện tại?

32
1.5. Cảm biến điện quang (Encoder)

Ví dụ:
Encoder loại tăng có 250 rãnh. Giá trị hiện tại của bộ đếm là
00100110. Hỏi góc quay là bao nhiêu?

33
1.5. Các loại cảm biến khác

A. SONAR - Sound Navigation Ranging:

1. SONAR thụ động lắng nghe âm thanh do tàu thuyền tạo ra
2. SONAR tích cực phát ra các xung âm thanh và lắng nghe
tiếng vang

34
1.5. Các loại cảm biến khác

A. SONAR - Sound Navigation Ranging:

▪ Ứng dụng: xác định vị trí "mục tiêu" trong nước

35
1.5. Các loại cảm biến khác

B. Radar (Radio Detection And Ranging):

▪ Ra-đa là hệ thống phát hiện sử dụng
sóng vô tuyến để xác định vị trí, góc
hoặc vận tốc của mục tiêu.

36
1.5. Các loại cảm biến khác

B. Radar (Radio Detection And Ranging):

▪ Ứng dụng: Hàng không, hàng hải, quân sự, ...

37
1.5. Các loại cảm biến khác

C. LIDAR - Light Detection And Ranging:

▪ Đo khoảng cách bằng cách chiếu sáng
mục tiêu bằng ánh sáng laze và đo độ
phản xạ bằng cảm biến

38
1.5. Các loại cảm biến khác

C. LIDAR - Light Detection And Ranging:

39
2. Cảm biến đo vận tốc

40
2.1. Khái niệm

Khái niệm đại lượng:

1. Vận tốc (tuyến tính/dài): Thể hiện mức
độ thay đổi vị trí của đối tượng
▪ Là một đại lượng vectơ: có hướng và độ
lớn
▪ Đơn vị đo: chiều dài/thời gian (km/h)
2. Vận tốc góc: Thể hiện mức độ thay đổi
góc
▪ Là đại lượng vectơ
▪ Đơn vị đo: góc quay/thời gian (vòng/phút) 41
2.2. Đo vận tốc tuyến tính

A. Cảm biến vận tốc điện từ

▪ Khi cuộn dây di chuyển hoặc nam châm di chuyển thì từ
trường biến thiên trong cuộn dây và sinh ra một hiệu điện
thế cảm ứng

e0 = BLV

B: Cường độ từ trường
L: Chiều dài cuộn dây
V: vận tốc di chuyển
42
2.2. Đo vận tốc tuyến tính

B. Linear velocity transducer:

▪ Linear velocity transducer (LVT) là là một thiết bị cảm
ứng về nguyên tắc tương tự Linear displacement
variable transducer (LVDT)

➢ LVDT đo khoảng cách,

LVT đo vận tốc

43
2.2. Đo vận tốc tuyến tính

C. Radar Doppler:
▪ Radar Doppler là một loại radar chuyên dụng sử dụng
hiệu ứng Doppler để tạo dữ liệu vận tốc về các vật thể
ở khoảng cách xa.

44
2.2. Đo vận tốc tuyến tính

Cách hoạt động của Radar Doppler:

▪ Phát sóng vô tuyến tới đối tượng chuyển động
▪ Máy dò thu được sóng phản xạ từ vật thể chuyển
động, đo tần số của tia phản xạ
▪ Bộ phận so sánh tần số của chùm tia truyền và phản
xạ => tính ra vận tốc

45
2.2. Đo vận tốc tuyến tính

Công thức :

v = fd c / (2 fo)

fo= Tần số phát; fd = Tần số dịch chuyển Doppler

v = vận tốc chuyển động
46
c = vận tốc ánh sáng
2.3. Đo vận tốc góc

A. Tốc độ kế xung – Từ trở biến thiên:

▪ Khi đĩa quay → từ trở mạch từ biến
thiên → trong cuộn dây xuất hiện
suất điện động cảm ứng (E) có tần
số (f) tỉ lệ với tốc độ quay (n):
f=n.p
(p: số răng trên đĩa)

47
2.3. Đo vận tốc góc

B. Tốc độ kế xung – Encoder:

48
2.3. Đo vận tốc góc

B. Tốc độ kế xung – Encoder:

49
2.3. Đo vận tốc góc

C. Resolver:
▪ Một máy biến áp điện được dùng để đo góc quay.
▪ Thường sử dụng cuộn dây đồng trong stato và rôto kim
loại được gia công.

RESOLVER

50
2.3. Đo vận tốc góc

C. Resolver:
▪ Cảm ứng giữa các cuộn dây thay đổi theo vị trí góc của rôto.
▪ Đầu vào là dòng điện AC và đầu ra là điện áp thu được từ
các cuộn dây tỷ lệ với góc.

−1 𝑉𝑠
𝜃=tan 51
𝑉𝑐
2.3. Đo vận tốc góc

D. Gyroscope:
▪ Một khối quay được treo sao cho
trục quay có thể thay đổi tự do.
Theo định luật bảo toàn moment
động lượng, khối lượng có xu
hướng giữ nguyên vị trí.
▪ Con quay hồi chuyển cơ khí là
một cảm biến điều hướng
52
(navigation) cổ điển.
2.3. Đo vận tốc góc

D. Gyrospoce MEMS:
▪ MEMS = Microelectromechanical systems
▪ Xác định tốc độ quay (°/s) mà không có điểm tham
chiếu cố định.
Phần tử đo gia tốc góc MEMS

53
2.3. Đo vận tốc góc

E. Tachometer:
▪ Máy đo tốc độ vòng quay: thiết bị dùng để đo tốc độ
vòng quay mỗi phút (RPM hay revolutions per minute)
của một vật thể đang di chuyển.
▪ Phân loại:
1. Máy đo tốc độ vòng quay tiếp xúc
2. Máy đo tốc độ vòng quay không tiếp xúc
3. Máy đo tốc độ tần số chớp
54
 2.3. Đo vận tốc góc

Máy đo tốc độ vòng quay được dùng để đo tốc độ 55

vòng quay của động cơ trong máy móc, thiết bị
 2.3. Đo vận tốc góc

Máy đo tốc độ vòng quay tiếp xúc

.
▪ Đầu đò cảm biến tiếp xúc trực tiếp trên bề mặt thiết bị
▪ Máy đo được những thiết bị có tốc độ vòng quay thấp từ
20 rpm - 20.000 rpm

56
 2.3. Đo vận tốc góc

Máy đo tốc độ vòng quay không tiếp xúc

.
▪ Một miếng phản quang được gắn
lên bề mặt thiết bị.
▪ Đầu đo cảm biến sẽ phát nguồn
sáng hồng ngoại lên miếng phản
quang => đo thời gian của chùm
tia phản xạ tại vật cần đo
▪ Đo được phạm vi từ 20rpm lên tới
100.000 rpm

57
2.3. Đo vận tốc góc

➢ 2 loại trên đo thời gian chuyển động quay lặp lại

58
 2.3. Đo vận tốc góc

Máy đo tốc độ tần số chớp ( đo trực tiếp)

.
▪ Đầu cảm biến chiếu nguồn sáng
vào thiết bị đang quay
▪ Đầu đo cảm biến sẽ thực hiện đo
dựa vào số lần đếm tần số chớp
trên thiết bị
▪ Đo được tới 10000 rpm

59
3. Gia Tốc

60
3.1. Phương pháp đo gia tốc

A. Khái niệm:
▪ Tốc độ là đạo hàm bậc nhất của vị trí theo thời gian.
Gia tốc là đạo hàm bậc hai.
▪ Tuy nhiên, các toán tử vi phân và tích phân làm tăng
sai số đo lường của cảm biến.
1. Đối với các chuyển động dưới 10 Hz, việc sử dụng cảm biến vị
trí là đủ chính xác.
2. Đối với chuyển động từ 10 Hz – 1 kHz, cảm biến tốc độ chính
xác hơn.
3. Với chuyển động trên 1 kHz, cần đo gia tốc trực tiếp 61
3.1. Phương pháp đo gia tốc

B. Nguyên tắc đo gia tốc:

▪ Tất cả các cảm biến gia tốc đều hoạt
động theo nguyên tắc của một khối
lượng trên một lò xo
▪ Khi vật gắn vào chúng tăng tốc thì
khối lượng muốn đứng yên do quán
tính của nó
▪ Lò xo bị kéo giãn hoặc nén lại tạo ra một lực được phát
hiện và tương ứng với gia tốc được áp dụng.
62
3.1. Phương pháp đo gia tốc

B. Nguyên tắc đo gia tốc:

▪ Hệ thống lò xo – tải khối lượng (spring – mass)
▪ Gia tốc a (ví dụ: gia tốc trọng trường) liên quan đến vị trí x
▪ Hàm chuyển động

(m: khối lượng tải; k: hệ số lò xo; 𝜆: hệ số ma sát)

▪ Gia tốc không đổi, vị trí cân bằng

𝑑2 𝑥 𝑑𝑥
tức là = =0
𝑑𝑡 2 𝑑𝑡
63
3.1. Phương pháp đo gia tốc

B. Nguyên tắc đo gia tốc:

▪ Nếu hệ thống không có ma sát
▪ Ta có tần số cộng hưởng của khối khi vật chuyển động

64
3.1. Phương pháp đo gia tốc

C. Cảm biến đo gia tốc:

▪ Gia tốc kế áp trở (Piezoresistive Acceleration)
▪ Gia tốc kế áp điện (Piezoelectric Acceleration)
▪ Gia tốc kế 3D
▪ Gia tốc kế MEMS (Microelectromechanical
systems)

65
3.2. Gia tốc kế

B. Gia tốc kế áp điện:

▪ Tinh thể áp điện nối mass
▪ Thay đổi gia tốc/lực tạo ra điện tích trong tinh thể.
o Không thể dùng để đo gia tốc tĩnh.

66
3.2. Gia tốc kế

Phương pháp đo của cảm biến

67
3.2. Gia tốc kế

Gia tốc kế áp điện - Dạng Nén

68
3.2. Gia tốc kế

Gia tốc kế áp điện - Dạng Uốn

69
3.2. Gia tốc kế
Gia tốc kế áp điện - Dạng Cắt

70
3.2. Gia tốc kế

B. Gia tốc kế áp trở:

▪ Các phần tử áp trở được gắn
trên khối lượng
▪ Có thể hoạt động trong dải tần
0 – 13 kHz.
▪ Cảm biến có thể chịu được gia
tốc cao tới 10 000 g => giới hạn
quá sốc (tham số quan trọng)
▪ Nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt
độ. 71
 3.2. Gia tốc kế

Một số cấu hình khác.

(3)
(1)

(2)

72
 3.2. Gia tốc kế

So sánh giữa hai cảm biến

Gia tốc kế áp điện Gia tốc kết áp trở
(Piezoelectric) (Piezoresistive)

+ Tần suất tự nhiên cao + Dải tần rộng

+ Dải nhiệt độ hoạt động rộng + Độ bền chống sốc

- Không vận hành với gia tốc tĩnh - Nhạy cảm với nhiệt độ

73
 3.2. Gia tốc kế

C. Gia tốc kế 3D:

▪ Gia tốc kế 3D đo cả độ lớn và hướng của gia tốc.
▪ Gia tốc kế hình vẽ được gắn 4 phần tử áp trở => đo độ uốn
của cấu trúc.
1. Trục z của gia tốc kế di chuyển khối
lượng (lên/xuống) gây ra sự uốn
cong đối xứng của cấu trúc.

2. Các thành phần gia tốc x và y gây ra sự

uốn cong không đối xứng của cấu trúc. 74
3.2. Gia tốc kế

Các cấu hình gia tốc 3D khác

75
3.2. Gia tốc kế

D. Gia tốc kế MEMS:

▪ MEMS = Microelectromechanical
systems
▪ Gia tốc kế MEMS đo chuyển động
tuyến tính (gia tốc tuyến tính) của 3
trục x - y - z mà không cần tham chiếu
cố định

Phần tử
đo gia tốc
76
3.2. Gia tốc kế

Gia tốc MEMS - Nguyên lý hoạt động:

▪ Khi cảm biến chịu gia tốc
tuyến tính dọc theo trục của
phần tử đo, các ngón tay
khối lượng dịch chuyển.
▪ Tạo ra một điện dung chênh
lệch giữa các ngón tay silicon
đang di chuyển và cố định, tỷ
lệ thuận với gia tốc.
77
3.3. Ứng dụng gia tốc kế

Thường tích hợp cả hai cảm biến

78
3.3. Ứng dụng gia tốc kế

Ứng dụng thực tế

79
3.3. Ứng dụng gia tốc kế

Accelerometer
+
Gyroscope
80
KẾT THÚC

8
1