Chương 2: Cảm biến đo lường

2.1. Khái niệm chung

2.2. Cảm biến nhiệt độ
2.3. Cảm biến quang
2.4. Cảm biến đo biến dạng, lực trọng lượng và áp suất
2.5. Cảm biến đo dịch chuyển
2.6. Cảm biến đo lưu lượng, vận tốc chất lưu và mức
2.7. Cảm biến đo gia tốc và độ rung
2.8. Cảm biến thông minh

1
 Khái niệm chung
Phân loại dụng cụ đo

• Theo cách biến đổi

- Dụng cụ đo biến đổi thẳng, đại lượng X biến đổi thành Y theo đường thẳng không có khâu
phản hồi

- Dụng cụ đo kiểu bù, có mạch phản hồi với các biến đổi ngược biến đại lượng Y thành Xk để
bù (so sánh với tín hiệu đo X)

• Theo phương pháp so sánh

- Dụng cụ đo đánh giá trực tiếp: dụng cụ được khắc độ theo đơn vị đo từ trước. Đại lượng
đo được so sánh và cho ra kết quả đo

- Dụng cụ đo kiểu so sánh: dụng cụ so sánh trực tiếp đại lượng đo với mẫu trong quá trình
đo. Sơ đồ đo là sơ đồ kiểu biến đổi bù
2
 Khái niệm chung
Phân loại dụng cụ đo

• Theo phương pháp đưa ra thông tin đo

- Dụng cụ đo tương tự

- Dụng cụ đo chỉ thị số

• Theo đại lượng đo

- Volt kế

- Ohm kế

- Ampe kế,…
3
 Sơ đồ cấu trúc thiết bị đo
Chỉ thị kim tương tự

Chỉ thị tự ghi

Chỉ thị số

• Chuyển đổi sơ cấp: làm nhiệm vụ biến đổi các đại lượng đo thành tín hiệu
điện. Đây là khâu quan trọng nhất của thiết bị đo

• Mạch đo: là khâu thu thập gia công thông tin đo sau chuyển đổi sơ cấp,
làm nhiệm vụ tính toán và thực hiện các phép tính trên sơ đồ mạch

• Cơ cấu chỉ thị: là khâu cuối cùng của dụng cụ thể hiện kết quả đo dưới
dạng con số so với đơn vị. Có các loại chỉ thị cơ bản: chỉ thị bằng kim,
chỉ thị bằng thiết bị tự ghi, và chỉ thị số
4
 Sơ đồ cấu trúc thiết bị đo
• Dụng cụ đo biến đổi thẳng

• Dụng cụ đo kiểu so sánh

5
 Cảm biến đo lường
• Phần tử nhạy: là khâu đầu tiên của thiết bị đo, nhận tác động trực tiếp
của đại lượng đo. Phần tử nhạy không có đặc tính riêng. Sai số được hạn
chế bởi sai số của thiết bị mà nó tham gia

• Chuyển đổi đo lường: Là một khâu của TB đo, chuyển đổi đại lượng cần
đo sang đại lượng phù hợp hơn (chuyển đổi từ dạng năng lượng này
sang dạng năng lượng khác)

• Cảm biến đo lường: là phương tiện hoặc thiết bị thực hiện biến đổi tín
hiệu ở đầu vào thành tín hiệu thuận lợi cho việc biến đổi tiếp theo hoặc
truyền đạt, gia công hoặc lưu trữ (nhưng không quan sát được). Cảm
biến có đặc tính đo lường học, thực hiện ở dạng độc lập, có độ chính xác
nhất định
6
 Phân loại cảm biến
Phân loại theo đại lượng vào - ra Cảm biến

Cảm biến Cảm biến Cảm biến

điện - điện Không điện - điện Khí nén - điện

Phân loại theo tính chất nguồn điện

Cảm biến

Cảm biến Cảm biến

tích cực thụ động
7
 Phân loại cảm biến
Phân loại theo tính chất vật lý Cảm biến

Cảm biến Cảm biến Cảm biến Cảm biến Cảm biến Cảm biến Cảm biến
điện trở điện từ tĩnh điện Nhiệt điện điện tử - ion hoá điện Y - sinh

Phân loại theo phương pháp đo

K
Y= X
X 1 − βK
K + K
X Y = K.X

Cảm biến biến đổi trực tiếp Cảm biến kiểu bù

8
𝛃
 Đặc tính cơ bản của cảm biến
I. Đặc tính tĩnh
Các đặc tính chung

• Hàm chuyển đổi: là biểu thức mô tả quan hệ giữa đại lượng ra Y và

đại lượng vào X. Các giá trị X và Y là giá trị đo thực

Y = F(X)

• Hệ số biến đổi: là tỉ số giữa đại lượng ra Y và đại lượng vào X

Y F(X)
K(X) = =
X X
9
 Đặc tính cơ bản của cảm biến
I. Đặc tính tĩnh
Các đặc tính chung

• Độ nhạy:
dY dF(X)
được biểu diễn bởi S= =
dX dX
ΔY
Với hàm tuyến tính độ nhạy S là một hằng số S=
ΔX
• Ngưỡng nhạy: là giá trị nhỏ nhất X0 của đại lượng đo tác động ở
đầu vào để cảm biến có tín hiệu ra (làm việc) với độ chính xác yêu
cầu

10
 Đặc tính cơ bản của cảm biến
I. Đặc tính tĩnh

Sai số
Phân loại giống như với sai số của thiết bị đo

Sai số thiết bị đo
Theo cách
thể hiện
Tuyệt đối Quy đổi Tương đối

Sai số thiết bị đo
Theo mức
độ không
xác định Hệ thống ngẫu nhiên

11
 Đặc tính gần đúng
Để thuận tiện cho mô tả và phân tích cảm biến, có thể thay thế hàm quan hệ thực
bằng hàm gần đúng (xấp xỉ)

xấp xỉ
Y = F(X) Y = F(X, ai)

2 n
Y = F(X, ai) = a0 + a1x + a2x + . . . + anx
chuỗi Marloren

12
13
 Đặc tính cơ bản của cảm biến
II. Đặc tính động
Đặc tính động là đặc tính được xác định ở chế độ động, trong đó các đại lượng biến thiên
theo thời gian

• Biểu diễn dưới dạng phương trình vi phân

n n−1 m m−1
d y d y d y d y
an n + an−1 n−1 + a0 y = bm m + bm−1 m−1 + b0 x
dt dt dt dt

• Biểu diễn dưới dạng toán tử Laplace

(ans + an−1s + . . . + a0) Y(s)(bms + bm−1s + . . . + b0) X(s)

n n−1 m m−1

• Biểu diện dạng hàm truyền

Y(s)
W(s) =
X(s)
14
Đặc tính động của một số cảm biến bậc 1

15
 Đặc tính cơ bản của cảm biến
II. Đặc tính động
Sai số động Y(s)
ΔXd(s) = − X(s) Wdm(s) hàm truyền chế độ định mức
Wdm(s)

Wd(s)X(s)
ΔXd(s) = − X(s) Wd(s) hàm truyền chế độ động
Wdm(s)

Wd(s)
ΔXd(s) = WΔ(s) . X(s) Trong đó WΔ(s) = −1
Wdm(s)
Nếu tín hiệu vào x(t) = Xm sin( t+ ) thì sai số động

ΔXd(t) = ΔXm(ω) . sin[ωt + φ + φΔ(ω)] Trong đó φΔ(ω) = argWΔ( jω)

16
𝛚
𝛗
 Đặc tính cơ bản của cảm biến
II. Đặc tính động
Hiệu chỉnh đặc tính động

Khi làm việc, đặc tính cảm biến bị lệch so với đặc tính định mức Sai số động

Wdm(s)
hiệu chỉnh bằng khâu phụ có hàm truyền Wk(s) Wk(s) =
Wd(s)
Wdm

X Y
Wd Wk

Đặc tính biên tần

Sơ đồ hiệu chỉnh đặc tính động bằng
Wd(j ) và Wk(j ) khi
cách mắc khâu phụ
hiệu chỉnh
17
𝛗
𝛗
 Đặc tính cơ bản của cảm biến
II. Đặc tính động
Nhiễu trong cảm biến

• Nhiễu nội tại: sinh ra do quá trình thiết kế, do công nghệ chế tạo không hoàn thiện, vật
liệu không phù hợp

• Nhiễu trên các mạch truyền dẫn: từ cảm biến đến thiết bị đo và thu thập số liệu

Các nhiễu thường gặp

- Nguồn cung cấp không ổn định, không chính xác

- Từ trường và điện trường ngoài, nhiệt độ, độ ẩm, bức xạ, tác nhân hoá học
18
 Đặc tính cơ bản của cảm biến
II. Đặc tính động

Làm sao để chống nhiễu

- Tăng độ lớn của tín hiệu đo

- Dùng màn chắn từ và điện trường

- Lọc các tần số nhiễu

- Sử dụng cảm biến kiểu vi sai

Sử dụng biện pháp nào thì tuỳ thuộc từng loại cảm biến

19
Chương 2: Cảm biến đo lường
2.1. Khái niệm chung
2.2. Cảm biến nhiệt độ
2.3. Cảm biến quang
2.4. Cảm biến đo biến dạng, lực trọng lượng và áp suất
2.5. Cảm biến đo dịch chuyển
2.6. Cảm biến đo lưu lượng, vận tốc chất lưu và mức
2.7. Cảm biến đo gia tốc và độ rung
2.8. Cảm biến thông minh

20
Cơ sở vật lý và tính toán cảm biến nhiệt độ

• Nguyên lý: Dựa trên quá trình nhiệt (đốt nóng, làm lạnh và trao đổi nhiệt),
đại lượng đo là nhiệt độ.

• Nhiệt độ thay đổi làm tính chất vật lý của vật thể thay đổi theo

21
Cơ sở vật lý và tính toán cảm biến nhiệt độ

• Quan hệ giữa nhiệt độ - áp suất - khối lượng

( V)
a1 p - áp suất R - hằng số khí lý tưởng
p+ ( V − b1) = R . T
V - thể tích T - nhiệt độ tuyệt đối

Phương trình Van der Waals a1, b1 - hằng số xác định bằng thực nghiệm

• Quan hệ giữa nhiệt độ - áp suất - khối lượng khi áp suất hoặc khối lượng
không đổi
R.T a
p= −
V − b T . V2
Phương trình Berthelot
22
 Cơ sở tính toán
• Phương trình cân bằng nhiệt

Qv = Qt + Qc
Nhiệt lượng đưa vào cảm biến = Nhiệt lượng toả ra ngoài môi trường + nhiệt lượng duy trì ở cảm biến

• Nhiệt lượng toàn phần qt = nhiệt lượng do nhiệt dẫn qn + nhiệt lượng do đối
lưu qk + nhiệt lượng do bức xạ qb

qt = qn + qk + qb

23
 Cơ sở tính toán
• Nhiệt lượng do nhiệt dẫn qn γn - hệ số dẫn nhiệt của môi trường

1 Rn - độ cản nhiệt của môi trường

qn = γnΔT = ΔT
Rn ΔT - chênh lệch nhiệt độ của vật và môi trường
• Nhiệt lượng do đối lưu qk
αk - hệ số dẫn nhiệt
qk = αk . S . ΔT = γkΔT S - Tiết diện bề mặt
γk - hệ số dẫn nhiệt do đối lưu
• Nhiệt lượng do bức xạ nhiệt qb

αk - hệ số bức xạ nhiệt khối

qb = αb . S . ΔT = γbΔT
γk - hệ số bức xạ nhiệt dẫn
24
 Cảm biến nhiệt điện trở
• là cảm biến chế tạo từ vật liệu có điện trở thay đổi theo nhiệt độ

• Phân thành 2 loại:

- Nhiệt điện trở không đốt nóng: dòng điện cung cấp chạy qua nhỏ, nhiệt
độ bằng nhiệt độ môi trường

- Nhiệt điện trở đốt nóng: nhiệt độ lớn hơn nhiệt độ môi trường. Trao đổi
nhiệt với môi trường thông qua đối lưu, nhiệt dẫn hoặc bức xạ. Ứng
dụng chủ yếu là đo lưu tốc, nồng độ hoặc đo mật độ khí

25
 Nhiệt điện trở kim loại
• Đặc điểm

- Chế tạo từ dây kim loại hoặc màng mỏng Platin, Niken, đồng,
Vonfram,….

- Chiều dài lớn hơn đường kính khoảng 200 lần

- Đường kính 0,02 - 0,06 mm, chiều dài từ khoảng 10 đến 1000 mm

- Điện trở từ vài chục đến vài kΩ, điện trở suất lớn

- Hệ số nhiệt lớn, chịu được nhiệt độ cao

26
𝛂
 Nhiệt điện trở kim loại
• Nhiệt điện trở đồng
Rt Điện trở của linh kiện tại nhiệt độ t
- Dải làm việc từ 50 - 180 oC R0 Điện trở của linh kiện tại 0 độ C
α −3 o
Rt = R0(1 + α . t) α = 3,9.10 [1/ C]
- Phương trình nhiệt hệ số nhiệt

• Nhiệt điện trở Niken

- Dải làm việc từ 195 - 260 oC

- Độ nhạy nhiệt cao, điện trở suất cao

- Hệ số nhiệt lớn cho phép chế tạo cảm biến có kích thước nhỏ

27
 Nhiệt điện trở kim loại
• Nhiệt điện trở Platin
- Dải làm việc từ 0 - 650 oC
- Chịu được nhiệt độ cao lên tới 1200 oC

2 3
Rt = R0(1 + At + Bt + C(t − 100) ) ở dải đo 0 - 200 oC

2
Rt = R0(1 + At + Bt ) ở dải đo 0 - 650 oC

Rt Điện trở của linh kiện tại nhiệt độ t A, B, C - Các hệ số

R0 Điện trở của linh kiện tại 0 độ C

28
 Nhiệt kế điện trở dây
• Được chế tạo bằng cách

- Quấn dây trên lõi cách điện chịu nhiệt cao

- Dưới dạng điện trở dán (hình vẽ)

• Nhiệt điện trở bề mặt có

- Dải đo -195 đến 260 oC với vật liệu Ni và Fe-Ni, -260 đến 1400 oC
với vật liệu Pt

- Độ nhạy nhiệt ~5.10-3 1/oC với Ni và Fe-Ni, ~ 4.10-3 1/oCvới Pt

29
 Bảng thông số một số nhiệt điện trở
Hệ số Đồng (Cu) Nikel (Ni) Platin (Pt) Wonfram (W) Ghi chú

Tc (oC) 1083 1453 1769 3380 Tc - nhiệt độ nóng chảy

t (W/oC.m) 400 90 73 120 t - độ dẫn nhiệt

l (1/oC) 16,7. 10-6 12,8. 10-6 8,9. 10-6 6. 10-6 l - hệ số dãn nở tuyến tính

( m) 1,72. 10-8 10. 10-8 10,6. 10-8 5,52. 10-8 - điện trở suất ở 20oC

- hệ số nhiệt của điện trở ở

(1/oC) 3,9. 10-3 3,9. 10-3 4,7. 10-3 4,5. 10-3
20 oC

C (J/oCkg) 400 450 135 125 C- nhiệt dung riêng ở 20oC

30
𝜌
𝛂
𝛂
𝛌
𝛌
𝛂
𝛂
𝜌
𝝮
 Nhiệt điện trở bán dẫn(Thermistor)
• Được chế tạo từ MgO, MgAl2O4, Mn2O3, Fe3O4, Co2O3, NiO, ZnTiO4,…

R0 - điện trở ở nhiệt độ tuyệt đối T0

( T T0 )
1 1
RT = R0 . exp β − β - hệ số nhiệt độ phụ thuộc bản chất vật liệu

T1 - Nhiệt độ tương ứng với R1

1 R1
⇒β= ln T2 - Nhiệt độ tương ứng với R2
1
− 1 R2
T1 T2
β
• Độ nhạy nhiệt của cảm biến αR = − 2
T
• Độ nhạy nhiệt cao, dải đo từ vài độ K đến khoảng 300 oC
31
Thông số một số nhiệt trở bán dẫn
Loại nhiệt điện Hệ số nhiệt điện trở Điện trở ban Nhiệt độ làm việc Hằng số thời
Lĩnh vực ứng dụng
trở (%/1 oC) đầu lớn nhất (oC) gian (s)

MMT-1;4
-2,4 đến 3,4 1 - 200 200 85 - 115 Đo nhiệt độ
KHT-1;4

MMT-9 -2,4 đến 3,4 0,01 - 5 120 85 - 115 Hiệu chỉnh nhiệt độ

KMT-10 -4,5 đến 60 0,5 - 3 120 - Đo nhiệt độ

32
Mạch điện ứng dụng Nhiệt điện trở
• Mạch cầu 3 dây

- Các điện trở R1, R2, R3 cố định.

- Ri điên trở nhiệt thay đổi theo nhiệt độ.

- Cầu được chỉnh cân bằng tại nhiệt độ chuẩn to.

- Cầu mất cân bằng khi nhiệt độ thay đổi.

- Điện áp ra biểu thị mức mất cân bằng, tỷ lệ với

nhiệt độ

33
 Mạch điện ứng dụng Nhiệt điện trở
• Mạch cầu tự động ghi
- Các điện trở Mangan R2, R3, R4 cố định.

- Ri điên trở nhiệt thay đổi theo nhiệt độ.

- Cầu được chỉnh cân bằng tại nhiệt độ chuẩn to.

Khi R′1 = R′1′ thì UDC = 0

- Cầu mất cân bằng khi nhiệt độ thay đổi, điện áp

ra qua bộ khuếch đại điều khiển động cơ quay
kéo con chạy dịch chuyển làm R′1 ≠ R′1′

- Mạch tự động cân bằng trở lại

- Chỉ thị được khắc độ theo nhiệt độ hoặc tự ghi

trên băng giấy. Sai số đạt ± 0.5 %
34






Mạch điện ứng dụng Nhiệt điện trở
• Mạch sử dụng khuếch đại thuật toán

- Nhiệt điện trở Platin được sử dụng trong mạch phản hồi

- Khi nhiệt độ thay đổi, nhiệt điện trở thay đổi và điện áp ra cũng thay đổi trong khoảng 0
đến 1,8 V tương ứng với nhiệt độ từ 0 đến 266 oC
35
Mạch điện ứng dụng Nhiệt điện trở
• Mạch sử dụng KĐTT hiệu chỉnh được điện áp ra

36
 Cặp nhiệt điện trở
• Nguyên lý
là cảm biến nhiệt hoạt động trên hiệu ứng Peltier, Thomson và Seebek

• Hiệu ứng Peltier

Hai dây dẫn A và B khác loại tiếp xúc với nhau có cùng nhiệt độ sẽ
có hiệu điện thế tiếp xúc phụ thuộc bản chất vật liệu và nhiệt độ

UA/B = VM − VN

37
 Cặp nhiệt điện trở
• Hiệu ứng Thomson

Hai điểm M và N có nhiệt độ khác nhau sẽ có suất điện động phụ

thuộc bản chất của vật dẫn và nhiệt độ tại 2 điểm
TM

∫T
EA = σAdT
N
σA - hệ số Thomson

• Hiệu ứng Seebek

Tồn tại suất điện động Seebek là
kết quả của hiệu ứng Peltier và hiệu
ứng Thomson trong cặp nhiệt điện
EAB(T1, T2) = EAB(T1) − EAB(T2)
38
 Cặp nhiệt điện trở
• Hiệu ứng Seebek

Khi một đầu tiếp xúc giữ nhiệt độ ổn định (T2) và đầu kia (T1) đặt
ở môi trường có nhiệt độ thay đổi

EAB(T1, T2) = EAB(T1) + C

39
 Vật liệu chế tạo cặp nhiệt điện
• Cần có đặc điểm

- Sức điện động nhiệt lớn

- Chịu được nhiệt độ cao, dẫn nhiệt lớn, hệ số nhiệt nhỏ, tính chất nhiệt ổn định

Loại Cặp nhiệt Dải nhiệt độ làm việc Sức điện động (mV) Độ chính xác

Đồng/Constantan (-40 đến 100oC) ±0,8%

T -270 đến 370 -6,25 đến 19
= 1,63 mm (100 đến 350oC) ±0,75%
Cromel/Alumel (0 đến 400oC) ±3%
K 0 đến 1350 -5,35 đến 50,63
= 3,25 mm (400 đến 800oC) ±0,75%
Cromel/Constantan (0 đến 400oC) ±3%
E -270 đến 870 -9,8 đến 66,4
= 3,25 mm (400 đến 870oC) ±0,75%
Platin-Rodi(10%)/Platin (0 đến 600oC) ±2,5%
S -50 đến 1500 -0,23 đến 15,5
= 1,51 mm (600 đến 1500oC) ±0,4%
Platin-Rodi/Platin-Rodi (30/6)
B -0 đến 1700 0 đến 12,42 (870 đến 1700oC) ±0,5%
= 1,51 mm
40
𝚽
𝚽
𝚽
𝚽
𝚽
 Mạch ứng dụng cặp nhiệt điện
• Đo sức điện động dùng mV kế
- Mạch gồm có ba nhánh điện trở cố định không thay
đổi theo nhiệt độ thường bằng mangan.
- Nhánh thứ 4 là nhiệt điện trở (RT)
- Mạch cầu cân bằng ở 0oC và mắc với đầu tự do
của cặp nhiệt.
- Khi nhiệt độ môi trường thay đổi, điện trở nhiệt thay
đổi, cầu mất cân bằng, đường chéo cầu xuất hiện Nhiệt điện trở
điện áp chênh lệch bù cho chênh lệch điện áp do Bù nhiệt độ môi trường
nhiệt độ môi trường thay đổi

Eab
Điện áp đo ở mV kế UV = RV Eab Điện áp nguồn sinh ra cấp vào điểm ab
Rt + Rd + RV
Rt, Rd Điện trở cặp nhiệt điện và dây dẫn tín hiệu

Yêu cầu RV > > Rt + Rd RV Điện trở của mV kế

41
 Mạch ứng dụng cặp nhiệt điện
• Đo bằng phương pháp bù A

- Điện áp Uk sinh ra bởi dòng điện nuôi bằng

nguồn E chạy qua Rk

- Ấn khoá K để bắt đầu đo. Điều chỉnh Rdc để

điện thế kế G = 0

- Khi đó Uk bằng giá trị của điện áp sinh ra bởi cặp

nhiệt điện, tương ứng với nhiệt độ cần đo

- Rk là điện trở mẫu có độ chính xác cao, Uk sẽ được tính

từ Rk và giá trị dòng điện I đọc trên đồng hồ đo

42
 Mạch ứng dụng cặp nhiệt điện
• Sơ đồ mạch đo nhiệt độ với cặp nhiệt sắt - constantan

Bù nhiệt độ bởi mạch AD590 trong dải

nhiệt độ môi trường 15 đến 35oC

Sai số đạt tới ± 0,5oC

43
 Cảm biến vi mạch bán dẫn
• Điện áp rơi trên diode hoặc transistor là một đại
lượng nhạy cảm với nhiệt độ

• Trong mạch IC đo nhiệt độ

K . T Ic1
Ud = U1 − U2 = ln
q Ic2
Ic1
• Nếu
Ic2
= const thì Ud tỉ lệ với nhiệt độ T

d(U1 − U2)
• Độ nhạy S=
dT

44
 Cảm biến vi mạch bán dẫn
• Đo nhiệt độ có bù bằng IC LM335

45
 Cảm biến vi mạch bán dẫn
• Nhiệt kế Fahrenheit ứng dụng LM 335 và LM 336

R2 - điều chỉnh cho điện áp rơi trên

LM336 là 2,554 V

R1 - điểu chỉnh để Ura đạt độ chính xác

46
 Sử dụng IC vi mạch với PC

LM34/35 dễ sử dụng, độ chính xác ±1,2oC, dòng nhỏ 70µA, điện áp làm việc từ 5V-30V
47
 Đo nhiệt độ không tiếp xúc
• Hoả kế Quang học

- Dựa trên định luật bức xạ của vật đen tuyệt đối

- Bức xạ của vật được đặc trưng bởi mật độ phổ E , là năng lượng bức xạ trong một
đơn vị thời gian với một đơn vị diện tích xảy ra trên một đơn vị độ dày bước sóng

( λT )
−5
C2 λ - bước sóng
Eλ = C1λ exp −
T - nhiệt độ tuyệt đối
C1, C2 - hằng số

48
 Đo nhiệt độ không tiếp xúc
Chỉ thị

bộ lọc ánh
kính vật sáng đỏ
thị kính

sợi đốt Vật sáng hơn Vật tối hơn sợi Vật sáng bằng
sợi đốt đốt sợi đốt
(nóng hơn) (lạnh hơn) (Nhiệt độ bằng
Đối tượng đo
nhau)
nhiệt độ 2 - lọc ánh sáng 3 - chắn Quang học

49