TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI

VIỆN CƠ KHÍ

Bộ môn Máy chính xác & Quang học

**********

BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN

KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT
ĐỀ BÀI:

TÍNH TOÁN THIẾT KẾ HỆ CHÂN KHÔNG CHẾ TẠO

LỚP PHỦ MÀNG MỎNG QUANG HỌC LÊN THẤU KÍNH
MÁY ẢNH

Giáo viên hướng dẫn : PGS.TS. Nguyễn Thị Phương Mai

Sinh viên thực hiện : Nguyễn Anh Quân 20163363

: Trần Nguyên Sơn 20163573

: Nguyễn Tuấn Anh 20150130

Hà Nội, 1 - 2021
 MỤC LỤC

LỜI NÓI ĐẦU.............................................................................................1

PHÂN CÔNG KHỐI LƯỢNG CÔNG VIỆC CỦA CÁC THÀNH

VIÊN NHÓM I:...........................................................................................2

1 MỞ ĐẦU..................................................................................................3

1.1 Giới thiệu về ống kính máy ảnh......................................................................3

1.2 Đặt vấn đề.......................................................................................................3
2 PHỦ MÀNG MỎNG QUANG HỌC LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH
MÁY ẢNH...................................................................................................6

2.1 Yêu cầu kỹ thuật.............................................................................................6

2.2 Lựa chọn phương án phủ bề mặt:...................................................................7
2.3 Nguyên lý về sự triệt tiêu:...............................................................................8
2.4 Màu sắc của lớp coating của thấu kính...........................................................9
2.5 Tính toán lựa chọn các lớp phủ màng mỏng quang học cho thấu kính máy
ảnh....................................................................................................................... 10
2.5.1Xác định lớp phủ phù hợp...........................................................................10
2.5.2Tính toán chiều dày lớp phủ........................................................................11
2.6 Bảng thông số kỹ thuật của các lớp phủ màng mỏng quang học..................12
3 THIẾT KẾ HỆ THỐNG CHÂN KHÔNG CHẾ TẠO MÀNG
MỎNG QUANG HỌC PHỦ LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH
13

3.1 Nguyên lý làm việc của hệ chân không........................................................13

3.1.1Sơ đồ thuật toán điều khiển hệ chân không.................................................15
3.2 Chọn buồng chân không...............................................................................16
3.3 Tính toán chọn Bơm.....................................................................................16
3.3.1Chọn bơm cơ học........................................................................................16
3.3.2Chọn bơm Turbo.........................................................................................19
3.4 Tính toán đường ống.....................................................................................20
3.4.1Chọn đường ống nối buồng chân không đến bơm Turbo và từ bơm Turbo
đến bơm cơ học...........................................................................................20
3.4.2Chọn đường ống n từ bơm cơ học đến bơm turbo.......................................20
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

3.5 Lựa chọn giá điện trở đựng vật liệu phủ.......................................................20
3.6 Lựa chọn đồ gá:............................................................................................20
4 QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO MÀNG MỎNG QUANG
HỌC PHỦ LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH............................22

4.1 Quy trình làm sạch chi tiết trước khi tạo lớp phủ..........................................23
4.1.1Giai đoạn làm sạch ngoài buồng chân không..............................................23
4.1.2Giai đoạn làm sạch bên trong bồng chân không..........................................23
4.2 Quy trình tạo màng mỏng trong buồng chân không......................................23
4.2.1Chuẩn bị máy..............................................................................................24
4.2.2Gá các thấu kính vào trong buồng chân không............................................24
4.2.3Làm sạch trong buồng chân không..............................................................24
4.2.4Sấy chi tiết trong buồng chân không...........................................................24
4.2.5Tạo lớp phủ MgF2 và ZnS..........................................................................24
4.2.6Làm nguội buồng chân không, xả khí và lấy chi tiết ra...............................25
4.2.7Tạo lớp phủ SiO2 cho 2 mặt tiếp xúc với môi trường bên ngoài của thấu
kính số 1 và 7..............................................................................................25
4.2.8Kiểm tra chất lượng.....................................................................................25
TÀI LIỆU THAM KHẢO........................................................................26
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

LỜI NÓI ĐẦU

Kỹ thuật chân không ngày càng gắn liền với lĩnh vực cơ khí và công nghệ bề mặt
khi các ứng dụng đã trở thành một bước trong quy trình công nghệ gia công chi
tiết máy và sản phẩm công nghệ bao gồm cả cơ khí chính xác và máy công cụ.
Trong quá trình học môn học “Kỹ thuật chân không và công nghệ về mặt”, chúng
em đã có thêm những kiến thức quý giá về các ứng dụng của công nghệ chân
không trong gia công các chi tiết cơ khí, các loại lớp phủ bề mặt như lớp phủ
chống mài mòn, màng mỏng quang học,... Dựa vào những kiến thức quý giá đó
mà chúng em có thể tìm hiểu, tính toán và thiết kế một hệ chân không phục vụ
cho việc chế tạo các màng mỏng quang học phủ lên thấu kính của máy ảnh.
Chúng em xin cảm ơn cô Nguyễn Thị Phương Mai đã nhiệt tình chỉ bảo giúp đỡ
chúng em hoàn thành bài báo cáo này. Bài cáo cáo còn những sai sót, chúng em
rất mong nhận được sự đóng góp của cô để bài báo cáo được hoàn chỉnh.
Chúng em xin chân thành cảm ơn!

1
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

PHÂN CÔNG KHỐI LƯỢNG CÔNG VIỆC CỦA CÁC THÀNH

VIÊN NHÓM I:

STT Họ tên MSSV Vai Nội dung

trò

1 Nguyễn Anh 20163363 Nhóm - Mở đầu.

Quân trưởng
- Chương 1. Lựa chọn màng
mỏng quang học phủ lên bề mặt
thấu kính máy ảnh.

2 Trần Nguyên 20163576 Thành - Chương 2. Thiết kế hệ chân

Sơn viên không.
- Làm Slide thuyết trình.

3 Nguyễn 20150130 Thành - Chương 3. Thiết lập quy trình

Tuấn Anh viên công nghệ.
- Tổng hợp, hoàn thiện báo cáo.

2
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

1 MỞ ĐẦU

1.1 Giới thiệu về ống kính máy ảnh.

Hình1.1: Các loại ống kính máy ảnh thường gặp trên thị trường hiện nay.

Ống kính máy ảnh hay còn gọi là Thấu kính được xem như là một bộ phận không
thể thiếu của chiếc máy ảnh, còn được xem như là “con mắt” của chiếc máy ảnh
hiện nay. Cơ chế hoạt động của nó là khi các tia sáng phải được đi qua ống kính
trước khi chiếu lên kính ngắm máy ảnh, bề mặt tấm phim (của máy chụp phim)
hay cảm biến để tạo nên hình ảnh. Chất lượng của tia sáng và lượng sáng qua ống
kính sẽ quyết định toàn bộ đến chất lượng của hình ảnh.
Vì vậy, ống kính có một vai trò hết sức quan trọng trong việc xử lý hình ảnh
cũng như tạo nên một tấm ảnh vô cùng đẹp.
1.2 Đặt vấn đề.
Khi ánh sáng đi qua môi trường không khí hay một số các môi trường trong suốt
khác, chúng đều bị bẻ cong và phản xạ. Sự phản xạ của ánh sáng là tất cả những
gì ống kính máy ảnh ghi lại. Hãy thử đổ đầy một cốc nước và bỏ một cái thìa vào
đó. Sau đó nhìn cốc nước ấy từ phần cạnh và tìm ra điểm giao giữa thìa và nước.
Điểm đó chính là điểm khúc xạ! 

3
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

Nước là chất lỏng hoàn toàn trong suốt, nhưng chúng vẫn phản xạ một phần ánh
sáng. Tấm kính trên camera cũng hoàn toàn trong suốt, nhưng thường nó thường
phản xạ khoảng 3-4% ánh sáng tới, dù bạn có vệ sinh nó sạch tới thế nào. Khi
một tia sáng xuyên qua thấu kính trên thấu kính, các hiện tượng vật lý tương tự
sẽ xảy ra, và sẽ mất đi một phần ánh sáng khi chụp ảnh.

Hình 1.2: Hình ảnh minh hoạ sự phản quang của thấu kính.
Đối với những chiếc ống kính đơn giản (1 thấu kính), tổng lượng ánh sáng mất đi
sẽ rơi vào khoảng 7%, nghĩa là sẽ chỉ lấy được khoảng 93% lượng ánh sáng thật
sự đi vào thấu kính. Không phải vấn đề gì lớn lắm. Tuy nhiên khoảng 180 năm
về trước, Joesph Petzval đã tạo ra một chiếc ống kính với nhiều lớp kính hơn.
Phát minh của Joesph tạo nên một xu hướng mới, vì nhiều lớp kính hơn cho ra
ảnh nhanh hơn và sắc nét hơn.
Hãy thử xem xét việc mất đi một phần ánh sáng phản xạ có ý nghĩa gì đối với
thấu kính 4 lớp, như minh họa dưới đây. Tỷ lệ ánh sáng truyền đi sẽ là 0,93 x
0,93 x 0,93 x 0,93 = 75%.
Ngày nay, các ống kính zoom có thể có từ 10 – 20 lớp kính và nếu thiếu đi lớp
tráng phủ, lượng ánh sáng đi qua những lớp kính ấy sẽ chỉ còn khoảng 48%. Mất
hơn 1 f/stop (1 đơn vị sáng). Càng thêm thấu kính, mất càng nhiều ánh sáng.

4
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

Có một vấn đề khác. Hầu hết 7% ánh sáng bị phản xạ bật ra ngoài ở mặt trước
của thấu kính, một phần đi vào trong thấu kính tiếp tục bị phản xạ ngược lại ở
mặt sau thấu kính, làm xuất hiện hiện tượng Haze (lóa). Màu đen sẽ không còn là
màu đen nữa, và độ tương phản của hình ảnh sẽ kém đi rất nhiều.

Hình 1.3: Hiện tượng Haze (loá) trong ống kính máy ảnh.

Để khắc phục hiện tượng Haze (loá) và tăng thêm chất lượng của thấu kính,
nhóm chúng em đã tìm hiểu và đưa ra phương án phủ một số lớp màng mỏng
quang học lên bề mặt thấu kính.

5
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

2 PHỦ MÀNG MỎNG QUANG HỌC LÊN BỀ MẶT THẤU

KÍNH MÁY ẢNH

2.1 Yêu cầu kỹ thuật.

 Chi tiết: 7 thấu kính máy ảnh: ∅ 52mm , h=8mm.
 Tạo lớp phủ màng mỏng quang học: Chống phản xạ, chống xước, chống
bám vân.

1 2 3 4 5 6 7

Hình 2.1: Ý tưởng: Phủ MgF2, ZnS trên các bề mặt cong; phủ lớp phủ chống
xước, chống bám vân lên bề mặt đầu tiên và cuối cùng (bề mặt màu xanh).

Hình 2.2: Thấu kính máy ảnh với 7 thấu kính trong thực tế.

6
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

2.2 Lựa chọn phương án phủ bề mặt:

Lựa chọn sử dụng phương pháp bốc bay trực tiếp bằng phương pháp nhiệt điện
trở (Thermal Evaporation) phủ lên bề mặt cong của cả 7 thấu kính Magnesium
fluoride (MgF2) và Zinc sulfide (ZnS) để chống phản xạ; và phủ Silic dioxit
(SiO2) lên bề mặt tiếp xúc với môi trường bên ngoài của thấu kính 1 và thấu kính
7 (hình 2.1) để chống xước và chống bám vân tay.

7
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

Hình 2.3: Sơ đồ nguyên lý của hệ bốc bay nhiệt.

2.3 Nguyên lý về sự triệt tiêu:

Về cơ bản sự phản xạ là 1 tính chất của sóng cho nên nó có thể bị triệt tiêu bằng
cách tạo ra 1 bề mặt phản xạ thứ 2 được đặt khác vị trí với bề mặt phản xạ 1 sao
cho sóng từ bề mặt này có cùng tần số, độ mạnh cùng hướng nhưng ngược pha
để có thể làm triệt tiêu sự phản xạ. Vậy thì dựa vào hình trên ta phải đặt bề mặt 2
này tại vị trí cách bề mặt phản xạ 1(Reflective surface) đúng 1/4 bước sóng từ đó
bước sóng từ bề mặt phản xạ 2 tạo ra sẽ có cùng trị số ½ bước sóng cùng chiều
nhưng ngược pha dẫn đến sự triệt tiêu phản xạ. Và sau đây là sơ đồ để hiễu rõ
hơn :

Hình 2.3: Hình ảnh nguyên lý về sự triệt tiêu.

Sóng từ bê mặt 2 (coating surface) màu xanh dương có cùng tần số độ mạnh
nhưng ngược pha  triệt tiêu phản xạ.
Như vậy việc coating 1 cái thấu kính để nhằm mục đích triệt tiêu sự phản xạ.
Nhưng chúng ta biết rằng lớp coating này thường được làm từ magnesium
fluoride cho nên vấn đề nảy sinh là không phải lớp coating nào cũng có thể làm
triệt tiêu sự phản xạ vì chất liệu kính và magnesium fluoride có trị số tán xạ
(refractive index) khác nhau.
Như vậy 2 trường hợp sau đây lớp coating sẽ không hoạt động :
1. Trị số tán xạ của lớp coating bằng trị số tán xạ của kính (gần bằng 1.6), vậy
thì sóng màu đỏ trong sơ đồ bị triệt tiêu nhưng sóng màu xanh thì vẫn còn
như vậy mặc dù được coating nhưng thấu kính hoạt động như không có lớp
coating vậy.

8
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

2. Trị số tán xạ của lớp coating bằng trị số tán xạ của không khí ( bằng 1), vậy
thì sóng màu đỏ sẽ tồn tại trong khi sóng màu xanh bị triệt tiêu như vậy thì
cũng không triệt tiêu được sự phản xạ.
Vậy thì để triệt tiêu phản xạ thì vật liệu làm coating phải có trị số tán xạ bằng
trung bình giữa trị số tán xạ của kính(~1.6) và không khí (1). Tức là gần bằng
1.3. Trên thực tế thì magnesium fluoride có trị số tán xạ là 1.37.
2.4 Màu sắc của lớp coating của thấu kính.
Màu sắc của thấu kính phụ thuộc vào bước sóng (wavelength) và mỗi bước sóng
thì thể hiện màu sắc khác nhau. Như vậy lớp coating có màu là do chúng ta đã
phủ magnesium fluoride ở những bước sóng khác nhau. Ta biết bước sóng ánh
sáng có khoảng từ 400nm đến 700nm dải từ tím tới đỏ, đó cũng là khoảng màu
mà mắt người nhìn thấy được. Nhưng thực tế là chúng ta không thể đạt được độ
dày lớp phủ bằng đúng ¼ bước sóng. Cho nên những nhà thiết kế thấu kính thông
thường phải chọn một trị số trung bình nằm trong khoảng ta nhìn thấy được vì
như thế tác dụng của lớp coating sẽ trải rộng nhất có thể.

Hình 2.4 Màu sắc của lớp coating của thấu kính.
Như vậy trị số bước sóng thường được chọn là 550nm. Xem sơ đồ trên, khoảng
550nm tương ứng với khoảng màu tím xanh. Vì vậy khi ánh sáng chiếu vào bề
mặt kính được phản chiếu chúng ta thấy được ánh sáng phản xạ có màu xanh tím.
Nhưng dĩ nhiên là nhà thiết kế thấu kính có thể chọn những bước sóng khác để
phủ thì theo sơ đồ trên lớp coating sẽ có màu đó.

9
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

2.5 Tính toán lựa chọn các lớp phủ màng mỏng quang học cho thấu kính
máy ảnh.
2.5.1 Xác định lớp phủ phù hợp.

Hình 2.5: Các lớp coating của thấu kính.

Thiết kế của thấu kính sẽ được phủ 3 lớp màng mỏng quang học như Hình 2.5
với 2 lớp MgF2 và 1 lớp ZnS có tác dụng làm giảm phản xạ của thấu kính (multi
coating) trị số tán xạ sẽ nằm trong 1 dải rộng từ 400nm đến 700nm. Trong những
hệ thống thấu kính phức tạp, khi phủ nhiều lớp màng hơn (Multi coating) sẽ hiệu
quả hơn nhiêu so với phủ 1 lớp (single coating). Và hiệu quả này càng tăng lên
đáng kể tỉ lệ thuận với số lớp (layer) của multi coating thấu kính.
Sau khi phủ xong các lớp chống phản xạ AR, sẽ phủ thêm lớp chống xước, bám
vân SiO2 ở bề mặt trong cùng và ngoài cùng của thấu kính như Hình 2.1 để giảm
chi phí xuống tối thiểu.
Bảng: Lựa chọn các lớp phủ của Thấu kính.

Stt Lớp Tên n Tác dụng

1 Lớp phủ chống xước SiO2 1,46 Chống xước và chống bám vân

2 Lớp phủ giảm phản ZnS 2,35 Làm giảm tỷ lệ phản xạ và làm tăng
xạ hệ số truyền qua đồng thời sinh ra
màu sắc phản xạ

3 Lớp phủ nền giảm MgF2 1,38 Làm giảm tỷ lệ phản xạ và làm tăng
phản xạ hệ số truyền qua đồng thời sinh ra

10
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

màu sắc phản xạ

4 Kính quang học BK7 BK7 1,52 ---

2.5.2 Tính toán chiều dày lớp phủ.

Chiều dày quang có tính chất quang ứng với bước sóng ánh sáng trong vùng nhìn
thấy là: λ=550 nm.

Sản phẩm sau chế tạo phải đạt những tiêu chuẩn sau: giảm phản xạ, tăng tỷ lệ
truyền ánh sáng.
Chiều dày quang: L = n.d
Với d là chiều dày thực tế của màng , n là chiết suất vật liệu tạo màng.
Chiều dày quang khi chế tạo lớp phủ đảm bảo mắt kính làm việc với ánh sáng
trong vùng nhìn thấy là nhìn thấy λ =550 nm.
 Do n3 =1,38<n4 =1,52
Chiều dày quang học của lớp phủ MgF2 là:
λ 550
L1= L3 = n3 .d 3 = = = 137,5 nm
4 4

 Do n3 =1,38<n2=2,35
Chiều dày quang học lớp phủ ZnS là :
λ 550
L2 = n2 .d 2 = = = 275 nm
2 2

 Gọi lớp phủ cứng SiO2 có chiều dày lớp phủ là L5:
λ 550
L5 = n5 .d 5 = = = 137,5 nm
4 4

11
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

2.6 Bảng thông số kỹ thuật của các lớp phủ màng mỏng quang học.
Stt Lớp Tên n Chiều Tác dụng
dày
(nm)

1 Lớp phủ chống SiO2 1,4 137,5 Chống xước và chống bám
xước 6 vân.

2 Lớp phủ giảm ZnS 2,3 275 Làm giảm tỷ lệ phản xạ và

phản xạ 5 làm tăng hệ số truyền qua
đồng thời sinh ra màu sắc
phản xạ.

3 Lớp phủ nền MgF2 1,3 137,5 Làm giảm tỷ lệ phản xạ và

giảm phản xạ 8 làm tăng hệ số truyền qua
đồng thời sinh ra màu sắc
phản xạ.

4 Kính quang BK7 1,5 ---

học BK7 2

12
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

3 THIẾT KẾ HỆ THỐNG CHÂN KHÔNG CHẾ TẠO MÀNG

MỎNG QUANG HỌC PHỦ LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH

3.1 Nguyên lý làm việc của hệ chân không.

Hình 3.1: Sơ đồ cấu tạo của một hệ chân không.

Chú thích: V1 - Van nối giữa bơm Van xả

Turbo và buồng chân
A1 - Áp suất buồng chân không
không.
A2 - Áp suất tại cổ bơm Turbo
V2 - Van nối giữa bơm cơ
học và bơm Turbo. B1 - Bơm cơ học
V3 - Van nối giữa bơm cơ B2 - Bơm Turbo
học và buồng chân không.


13
BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

 Nguyên lý làm việc của hệ chân không:

- Bơm cơ học được nối với buồng chân không thông qua đường, khi
bơm bắt đầu ở áp suất khí quyển 1at bơm cơ học hoạt động, van V 3
mở, V2 vẫn đóng.
- Khi áp suất trong buồng chân không đạt 10−2 Torr khóa V3, V2 mở
bơm cơ học thực hiện hút khí trong bơm Turbo từ áp suất 1 at xuống
10-2 Torr.
- Khi áp suất bơm khuếch tán đạt 10−2Torr, V1 mở bơm Turbo bắt đầu
hoạt động hút chân không trong bường từ 10-2 Torr xuống 2.10-5
Torr, bơm cơ học vẫn hoạt động.
- Khi áp suất trong buồng chân không đạt 2. 10−5Torr, V1 đóng chuyển
sang quá trình làm công nghệ phủ màng mỏng.

14
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

3.1.1 Sơ đồ thuật toán điều khiển hệ chân không.

15
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

3.2 Chọn buồng chân không.

Dựa vào yêu cầu tính toán ta chọn buồng chân không hình trụ có kích thước như
sau:
Ø = 300 mm
Chiều cao: H = 500 mm
Vậy thể tích buồng chân không là: Vb = A=π 1502 x 500 = 35.325 (lít)
Phương pháp bốc bay bằng nhiệt, vật liệu dạng bột nên chọn kiểu thuyền chứa
vật liệu, được thăng hoa hoặc bay bơi bằng nhiệt và ngưng tụ trên bề mặt chi tiết.
Nguồn cung cấp nhiệt có thể là vật liệu có trở kháng cao như vonfram.
Trong buồng bố trí tấm chắn nằm giữa thuyền và chi tiết. trước khi tạo màng cần
làm sạch chi tiết trong buồng chân không. Nguyên lý làm sạch thường sử dụng
phương pháp phóng điện. Khi chi tiết đạt được độ dày cần thiết, tấm chắn sẽ
ngăn không cho vật liệu tiếp tục bốc bay lên chi tiết, đảm bảo độ dày cần đạt
được.

3.3 Tính toán chọn Bơm.

Để đạt được áp suất 10-5 Torr ta cần thực hiện theo 2 giai đoạn:
Trước hết sử dụng bơm cơ học để đưa áp suất trong buồng chân không từ áp suất
khí quyển (760 Torr) đến 10-2 Torr.
Khi không khí ở áp suất 10-3 – 10-5 Torr, các phân tử khí định xứ trên bề mặt,
quãng đường tự do trung bình bằng hoặc lớn hơn kích thước buồng chân không
ta thiết kế. Do đó ta cần sử dụng bơm Turbo để đưa áp suất xuống 10-5 Torr.
3.3.1 Chọn bơm cơ học.
- Xác định tốc độ bơm cơ học:
- Chọn thời gian bơm là 3 phút
760 760
σ =ln =ln −2 =11,24
p 10
V 35.325
S= . σ= .11,24=2.05 l/ s
t 180

- Chọn bơm cơ học có tốc độ bơm có C ≥ 2.05 l/s

- Chọn bơm KINNEY KC-8
o với tốc độ bơm : 8CFM= 3.6 l/s,

16
BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

o áp suất đạt được : 2×10^-4 Torr

o Inlet connection : 1inch = 2.54 cm
o Discharge connection : ¾ inch = 1.905 cm

Hình 3.2: Thông số kỹ thuật của bơm Kinney KC-8

Hình 3.3: Đồ thị tốc độ bơm

17
BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

Hình 3.4: Thông số kích thước

18
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

3.3.2 Chọn bơm Turbo.

- Xác định tốc độ bơm cơ học
- Chọn thời gian bơm là 2 phút
V Pv 35.325 10
−2
S= . ln = . ln −5
=1.829 l/s
t p 120 2. 10

Chọn bơm khuếch tán có tốc độ bơm có C ≥ 1,829 l/s

- Ta sử dụng bơm Turbo để đạt được áp suất 10-5 trong buồng chân không
- Chọn bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110 của hãng Pfeiffer
Turbo Pumps
- Tốc độ hút: Cmax = 10 (lít/s) (N2)
- Độ chân không max: < 5x10-5 (Torr)
- Công suất: 28.8 kW (50 Hz)

Hình 3.5: Bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110

Hình 3.6: Kích thước bao Bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110.

19
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

Hình 3.7: Thông số kỹ thuật của Bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110

Hình 3.8: Đồ thị tốc độ bơm của Bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110

20
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

3.4 Tính toán đường ống.

3.4.1 Chọn đường ống nối buồng chân không đến bơm Turbo và từ bơm
Turbo đến bơm cơ học.
(Tra hình 3.14/T173 – Kỹ thuật chân không và công nghệ về mặt, Nguyễn
Thị Phương Mai (2014), NXB Khoa học và Kỹ thuật)
- Ống từ buồng chân không đến bơm Turbo là:
Đường kính: D1 = 34 (mm)
Chiều dài: L1 = 45 (cm)
- Ống từ buồng chân không đến bơm Cơ học là:
Đường kính : D2 = 25 (mm)
Chiều dài : L2 = 75 (cm)
3.4.2 Chọn đường ống n từ bơm cơ học đến bơm turbo.
+ Tốc độ hút: Cmax = 8.5 (m3/h) = 2.36 (lít/s)
+ Đường kính: D3 = 25 (mm)
+ Chiều dài: L3 = 75 (cm)
3.5 Lựa chọn giá điện trở đựng vật liệu phủ.

Hình 3.9: Các loại “giá điện trở”: dạng dây (a-d), dạng thuyền (e-g) và dạng
chén (h)
Chọn giá điện trở dạng thuyền để đựng vật liệu phủ.
3.6 Lựa chọn đồ gá:
Chi tiết thấu kính d= 52mm, chiều dày 10mm, số lượng: 7.
Sự phân bố hướng của các nguyên tử bốc bay tuân theo định luật phân bố Cosine:
N i=N 0 . cos α i

21
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

Hình 3.10: Sơ đồ định luật phân bố Cosine.

Lựa chọn đồ gá dạng đĩa lõm, trên đĩa có các lỗ kích thước lớn hơn thấu kính
(như hình mô phỏng 3.11), có gioăng cao su chân không. Vật liệu bốc bay, các
đĩa quay để vật liệu phân bố đều trên chi tiết.

Hình 3.11: Hình ảnh mô phỏng đồ gá dạng đĩa lõm có lỗ để đặt thấu kính.

22
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

4 QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO MÀNG MỎNG

QUANG HỌC PHỦ LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH

Dựa vào bảng thông số kỹ thuật ở mục 2.5, chúng ta cần thiết lập một quy trình
công nghệ để thực hiện phủ lần lượt các lớp phủ để đạt được yêu cầu kỹ thuật đặt
ra của sản phẩm.
Do lớp phủ cứng SiO2 chỉ cần lên bề mặt tiếp xúc với môi trường bên ngoài của
thấu kính 1 và thấu kính 7 (hình 2.1) để chống xước và chống bám vân tay, còn
các thấu kính khác thì không cần. Vì vậy, sau khi chúng ta thực hiện quy trình
phủ các lớp Magnesium fluoride (MgF2) và Zinc sulfide (ZnS) để chống phản
xạ, chúng ta sẽ lấy các thấu kính 2,3,4,5,6 ra và thực hiện tiếp quy trình phủ lớp
phủ cứng cho thấu kính 1 và 7.

Hình 4.1: Sơ đồ quy trình công nghệ chế tạo lớp phủ màng mỏng quang học
phủ lên bề mặt thấu kính máy ảnh.

23
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

4.1 Quy trình làm sạch chi tiết trước khi tạo lớp phủ.
Quá trình làm sạch chi tiết bao gồm hai giai đoạn:
- Giai đoạn 1: Làm sạch ngoài buồng chân không (làm sạch chi tiết trước
khi phủ).
- Giai đoạn 2: Làm sạch trong buồng chân không.
4.1.1 Giai đoạn làm sạch ngoài buồng chân không.
Quy trình làm sạch này phụ thuộc vào vật liệu làm sạch thấu kính (kính quang
học BK7) và thành phần của vật liệu làm thấu kính.
Quy trình bao gồm 8 bước:
 Bước 1: Tẩy bẩn thô là quá trình làm sạch sau khi gia công chi tiết theo
hình dạng mong muốn, có thể là sau quá trình mài nghiền.
 Bước 2: Sử dụng nước ấm 70 ~ 80°C để làm sạch lại , sau đó dùng khăn
đã hong khô, lau sạch và đưa sang quy trình làm sạch tiếp theo.
 Bước 3: Ngâm thấu kính trong dung dịch kiềm ( NaOH, Ca(OH)2 nồng độ
5%) trong 10 ~ 15 phút.
 Bước 4: Rửa lại thấu kính dưới dòng chảy của vòi nước lạnh,
 Bước 5: Ngâm thấu kính trong dung dịch axit (HNO3 1% hoặc HCl 2%)
trong 10~ 15 phút.
 Bước 6: Rửa bằng nước cất và đưa vào máy siêu âm để tạo các rung động
với tần số lớn để làm cho các phần tử bám trên bề mặt thấu kính bị nở ra.
Sau đó lấy ra đưa sang bình nước cất là lau khô bằng vải bông dệt kim
sạch.
 Bước 7: Sấy khô chi tiết ở nhiệt độ khoảng 120 ~ 150°C trong buồng sấy
có độ chân không 10−1 Torr .
 Bước 8: Chi tiết sau khi được sấy khô được rửa lại bặng dung dịch dễ bay
hơi như axeton hoặc cồn.
4.1.2 Giai đoạn làm sạch bên trong bồng chân không.
Sau khi đã làm sạch bên ngoài buòng chân không, chúng ta cần tiếp tục làm sạch
thấu kính ở bên trong buồng chân không. Nguyên nhân bởi vì trên bề mặt chi tiết
còn một ít các chất bẩn còn bám lại và các chất làm sạch còn đọng lại.
Nguyên lý làm sạch trong buồng chân không thường được sử dụng phương pháp
phóng điện trong khí kém và được diễn ra trong môi trường chân không
10 10 Torr .
−1 −2

4.2 Quy trình tạo màng mỏng trong buồng chân không.
Quy trình tạo màng mỏng trong buồng chân không là một loại các thao tác đối
với hệ chân không được thực hiện lần lượt như sau.

24
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

4.2.1 Chuẩn bị máy.

Chuẩn bị hệ chân không, kiểm tra các van, bơm, đường ống; Kiểm tra xem buồng
chân không có bị rò gỉ hay không theo các phương pháp đã được học để đảm bảo
hệ chân không hoạt động bình thường trong quá trình chế tạo lớp phủ.
4.2.2 Gá các thấu kính vào trong buồng chân không.
Sử dụng đồ gá đã chuẩn bị sẵn để gá các thấu kính một cách cẩn thận vào bên
trong buồng chân không.
4.2.3 Làm sạch trong buồng chân không.
Làm sạch các thấu kính trong buồng chân không theo nguyên lý như đã nói ở
mực 5.1.1.2 ở trên.
4.2.4 Sấy chi tiết trong buồng chân không.
Sau khi làm sạch các thấu kính trong buồng chân không, chúng ta cần sấy lại một
lần nữa.
4.2.5 Tạo lớp phủ MgF2 và ZnS.
Các lớp phủ được được phủ lần lượt theo thứ tự:
- Lớp thứ nhất: MgF2.
- Lớp thứ 2: ZnS.
- Lớp thứ 3: MgF2.
Đầu tiên, ta phủ lớp thứ nhất MgF2 theo các bước:
 Bước 1: Gia nhiệt cho vật liệu phủ.
Vật liệu phủ được gia nhiệt thông qua thiết bị nung và điều khiển nhiệt độ đế.
Thông qua đồng hồ đo nhiệt ta xác định được khi nào chi tiết đạt đến nhiệt độ
cần thiết để tiến hành các bước tiếp theo.
 Bước 2: Phủ bằng công nghệ nhiệt điện trở.
Vật liệu bay hơi sẽ ngưng đọng lên các đế được gắn vào giá phía trên. Chiều dày
của màng thường được xác định trực tiếp trong quá trình chế tạo bằng biến tử
thạch anh. Khi màng bay hơi sẽ bám lên biến tử đặt cạnh đế, biến thiên tần số
dao động của biến tử sẽ tỉ lệ với chiều dày của màng bám vào biến tử.
 Bước 3: Làm sạch buồng chân không.
Sau khi phủ xong lớp thứ nhất, ta cần làm sạch buồng chân không để phục vụ
cho công đoạn phu các lớp sau đó. Ở quy trình này, chúng ta sử dụng phương
pháp làm sạch bằng nhiệt.

25
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

Công đoạn phủ các lớp thứ 2 và thứ 3 được thực hiện bằng cách lặp lại các
bauơcs trên.
4.2.6 Làm nguội buồng chân không, xả khí và lấy chi tiết ra.
Sau khi tạo các màng mỏng quang học xong, chúng ta cần làm nguội chi tiết và
buồng chân không, sau đó mới xả khí ra hết và tháo dỡ chi tiết.
4.2.7 Tạo lớp phủ SiO2 cho 2 mặt tiếp xúc với môi trường bên ngoài của
thấu kính số 1 và 7.
- Bước 1: Thực hiện các thao tác chuẩn bị máy, đặt thuyền đựng SiO2 vào
buồng chân không.
- Bước 2: Gá thấu kính 1 và 7 vào buồng chân khong bằng đồ gá.
- Bước 3: Thục hiện lặp lại các bước như ở mục 4.2.5 và 4.2.6 để hoàn
thành lớp phủ.
4.2.8 Kiểm tra chất lượng.
- Kiểm tra độ dày của lớp phủ.
- Kiểm tra độ bám dính của màng và đế chi tiết và giữa các lớp phủ.
- Kiểm tra sự đồng nhất của lớp phủ.
- Kiểm tra sự đồng đều của lớp phủ tại vị trí biên và tâm đế.
- Kiểm tra độ phản quang của thấu kính sau khi phủ.
- Kiểm trả độ chống xước, chống bám vân tay của thấu kính 1 và 7.

26
 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT

TÀI LIỆU THAM KHẢO

[1].Nguyễn Thị Phương Mai – Kỹ thuật chân không và công nghệ bề mặt – Nhà
xuất bản khoa học kỹ thuật.
https://rick_oleson.tripod.com/index-166.html
https://en.wikipedia.org/wiki/Refractive_index
https://en.wikipedia.org/wiki/Optical_coating
http://www.vnphoto.net/forums/showthread.php?t=74001
http://mientayvn.com/OCW/MIT/Vat_li.html
http://mientayvn.com/OCW/YALE/Ki_thuat_y_sinh.html

27