Professional Documents
Culture Documents
BƠM KHUẾCH TÁN
BƠM KHUẾCH TÁN
A.Theo wiki:
1. Khái niệm:
Bơm khuếch tán là thiết bị dùng để tạo chân không cao ở mức độ trung bình
tới cận siêu cao (từ 10−3 - 10−8 Torr) hoạt động dựa trên nguyên lý khuếch tán
các phân tử khí nhờ sự hấp thụ của các phân tử dầu bị bay hơi.
Bơm khuếch tán chỉ có thể làm việc khi môi trường đạt độ chân không sơ
cấp cần thiết (từ 10−3 đến 10−4 Torr). Để đạt được chân không đó, ban đầu
người ta dùng một bơm sơ cấp là bơm chân không cơ học để tạo ra chân
không sơ cấp ban đầu. Cấu tạo chính của bơm khuếch tán là một buồng đốt
nhiều tầng. Người ta sử dụng buồng đốt để đun sôi một loại dầu (gọi là dầu
chân không) có nhiêt độ hóa hơi thấp. Các dòng hơi dầu khi bay hơi lên
sẽ hấp phụ các phân tử khí khuếch tán từ môi trường cần tạo chân không
cao. Sau khi hấp phụ, dầu được làm lạnh và bị rơi xuống, nhả các phân tử
khí theo một đường khác (nhờ hệ bơm cơ học đi kèm) và quay trở lại buồng
đốt.
Điểm kém của bơm khuếch tán là giới hạn làm việc, nó không thể tạo ra
các chân không quá lớn (chỉ không quá 10−7 Torr, đạt tới 10−8 Torr, và đôi
khi có thể tới mức 10−9 Torr) và nó đòi hỏi lượng nước làm lạnh rất lớn.
Hoàn toàn không có tiếng ồn và rất hữu ích cho các hệ chân không cần
yên tĩnh (ví dụ trong các kính hiển vi điện tử, nơi các nhiễu cơ học cần
được loại bỏ.