基于复合腔光纤Fabry Pérot干涉仪传感特性研究及解调软件开发

硕士学位论文
基于复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪传感特性

研究及解调软件开发
RESEARCH ON SENSING
CHARACTERISTICS OF FABRY-PÉROT
INTERFEROMETER BASED ON
COMPOSITE CAVITY FIBER AND
DEMODULATION SOFTWARE
DEVELOPMENT
张磊
哈尔滨工业大学
2019 年 6 月
国内图书分类号: O436.1 学校代码：10213
国际图书分类号: 535 密级：公开
工程硕士学位论文
基于复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪传感特性

研究及解调软件开发
硕士研究生：张磊
导师：掌蕴东教授
申请学位：工程硕士
学科：光学工程
所在单位：航天学院
答辩日期： 2019 年 6 月
授予学位单位：哈尔滨工业大学
Lassified Index: O436.1
U.D.C: 535
Dissertation for the Master Degree in Engineering
RESEARCH ON SENSING
CHARACTERISTICS OF FABRY-PÉROT
INTERFEROMETER BASED ON
COMPOSITE CAVITY FIBER AND
DEMODULATION SOFTWARE
DEVELOPMENT
Candidate： Zhang Lei

Supervisor： Prof. Zhang Yundong
Academic Degree Applied for： Master of Engineering
Speciality： Optical Engineering
Affiliation： School of Astronautics
Date of Defence： June, 2019
Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology
哈尔滨工业大学工程硕士学位论文
摘要
随着光纤技术的不断发展，光纤传感技术也得到了极大的发展。光纤传感技术
因光纤材料的抗干扰能力强，结构灵活多样，可测物理量多等优势广泛应用于建筑
结构、航空航天、地质勘探、石油开采、工程维护等方面。光纤传感器是通过将信
号调制到传输光束的波长、相位、强度、偏振等参数上实现传感的，对传感器信号
的解调也是其应用于测量的重要组成部分，解调系统的构建与传感器结构的制作
都影响着传感器对物理量的测量。本文提出了一种复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪
传感器，完成了对该传感器的温度传感特性的研究，并构建了传感器的解调系统，
完成了解调软件的编写。本文的研究内容如下：
首先，阐述了光纤传感器的发展、分类及应用，介绍了复合腔光纤 Fabry-Pérot
干涉仪的国内外研究现状，阐述并对比了目前光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的几种制作
方式，分析了目前解调技术的发展，并阐述了复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的基
本原理及其温度传感原理。
其次，构建了光纤传感器的解调系统。利用可调谐半导体扫描激光器作为信号
源构建解调系统，完成了单片机与上位机的串口通信，用 Labview 将上传的数据采
集后绘制出光强随波长变化的图像，完成了模拟仿真、寻峰算法、温度显示的程序
的编写，完善了人机交互界面。
最后，提出了一种复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作方法。制作了三种不
同尺寸的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪，用频域变换的方式分析了干涉谱线，测
试了该传感探头的温度传感特性，分析了干涉谱线与传感器尺寸的关系，对比了三
种不同尺寸的传感探头的温度灵敏度，100℃-600℃温度范围内得到的最高温度灵
敏度为 14.6pm/℃。
关键词：光纤传感器，Fabry-Pérot 干涉仪，温度，解调，寻峰算法
I
Abstract
With the continuous development of optical fiber technology, optical fiber sensing
technology has also seen great advancement. Optical fiber sensing technology is widely
used in structure building, aerospace, geological exploration, petroleum exploitation,
engineering maintenance and so on thanks to its strong anti-interference ability, flexible
and diverse structures and feasibility to measure many physical quantities. Because the
optical fiber sensor modulates the signal to the parameters such as the wavelength, phase,
intensity and polarization of the transmitted beam, the demodulation of the signal is very
important. The construction of the demodulation system and the fabrication of the sensor
structure also affect the measurement of the physical quantity of the sensor. In this paper,
a kind of Composite Cavity Fiber Fabry-Pérot Interferometer Sensor is proposed. The
temperature sensing characteristics of the sensor are studied, the demodulation system of
the sensor is constructed, and the demodulation software is compiled. The research
contents of this paper are as follows:
Firstly, the development, classification and application of optical fiber sensors are
described. This paper introduces the research status of Fabry-Pérot Interferometer with
composite cavity at home and abroad ,describes and compares several fabrication
methods of optical fiber Fabry-Pérot Interferometer, and analyzes the development of
demodulation technology at present, and expounds the Fabry-Pérot Interferometer with
composite cavity theoretically regarding the basic principles of the Fabry-Pérot
Interferometer and its temperature sensing principle.
Secondly, the demodulation system of demodulation sensor is constructed. The
demodulation system is constructed by using tunable semiconductor scanning laser as
signal source. This thesis also completes the serial communication between single chip
computer and host computer. After the uploaded data is collected by Labview, the image
of light intensity varying with wavelength is drawn. The program of simulation, peak
seeking algorithm and temperature display is completed as well.
Finally, a fabrication method of Fabry-Pérot Interferometer with composite cavity is
proposed. This paper fabricates three kinds of composite cavity optical fiber Fabry-Pérot
Interferometers with different sizes, analyzes the interferometric spectral lines in
frequency domain, and experimentally tests the temperature sensing characteristics of the
probe. Besides, this paper also analyzes the relationship between the interferometric
spectral lines and the size of the sensor and compares the temperature sensitivity of three
different-sized sensors. The maximum temperature sensitivity was 14.6pm/℃ in the
range from 100℃ to 600℃
Key words: optical fiber sensor, Fabry-Pérot interferometer, temperature, demodulation,

peak-seeking algorithm
II
目录
摘要 ............................................................................................................................... I
Abstract ............................................................................................................................. II
目录 ............................................................................................................................ III
第 1 章绪论 .................................................................................................................... 1
1.1 课题研究的背景及意义 .................................................................................... 1
1.2 光纤传感器概述 ................................................................................................ 2
1.2.1 光纤传感器的分类 ................................................................................... 2
1.2.2 光纤干涉仪的分类 ................................................................................... 2
1.3 光纤 Fabry-Pérot 干涉仪国内外研究现状 ........................................................ 5
1.4 光纤传感器解调系统的研究现状 .................................................................. 11
1.5 课题研究的目的及主要研究内容 .................................................................. 12
第 2 章光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的理论分析 ............................................................. 14
2.1 引言 .................................................................................................................. 14
2.2 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理 ....................................................................... 14
2.2.1 光学 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理 .................................................... 14
2.2.2 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理 ........................................ 15
2.2.3 温度传感原理 .......................................................................................... 20
2.3 本章小结 ........................................................................................................... 22
第 3 章解调系统软件的编写 ...................................................................................... 23
3.1 引言 .................................................................................................................. 23
3.2 解调系统的组成 .............................................................................................. 23
3.3 硬件电路程序的编写 ...................................................................................... 24
3.4 基于 Labview 的上位机软件的编写 .............................................................. 26
3.4.1 Labview 语言简介 ................................................................................... 26
3.4.2 Labview 软件系统结构的设计 ............................................................... 29
4.4.3 数据采集程序的编写 .............................................................................. 29
3.4.4 数据模拟程序的编写 .............................................................................. 30
3.4.5 图表显示程序的编写 .............................................................................. 31
3.4.6 寻峰与解调程序的编写 .......................................................................... 32
3.5 本章小结 .......................................................................................................... 35
第 4 章复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作及温度传感特性研究 ..................... 36
4.1 引言 .................................................................................................................. 36
4.2 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作 ......................................................... 36
4.3 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的温度传感特性研究 ................................. 38
4.3.1 温度传感实验 ......................................................................................... 38
4.3.2 干涉仪干涉图谱的空间频率谱线分析 .................................................. 41
4.3.3 干涉仪的温度传感特性 .......................................................................... 43
4.4 本章小结 ........................................................................................................... 47
III
结论 ............................................................................................................................ 48
参考文献 ........................................................................................................................ 49
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限 .................................................... 53
致谢 ............................................................................................................................ 54
IV
第 1 章绪论
1.1 课题研究的背景及意义
随着科学技术的高速发展和生产工具的变革，在 20 世纪末，人类社会进入信
息时代。物理量的高精度测量，应用传感技术获取信号源中的信息数据，信号的处
理与应用，也是信息时代必不可少的一部分。20 世纪 60 年代，光导纤维的横空出
世为传感器技术开拓了新的渠道。由于温度、外界环境折射率、压力、磁场等参数
变化引起的光纤物理性质的变化，使得在光纤中传导的光束物理特征发生变化，通
过检测光纤中传导光束的变化量来实现对外界信息的感知，光纤因其抗电磁干扰
能力强、耐腐蚀、灵敏度高、体积小、可测量对象广、可远程监控、对被测介质影
响小[1]等优点，广泛应用于航空航天、地质勘探、生物医疗精密元器件、石油开采、
建筑结构、工程维护等方面。
温度是由于物体分子热运动的剧烈程度而引起的物体冷热程度的不同的物理
量，该物理量不能直接测量得到，只能由物体由于温度变化而产生的某些温度的特
性变化来测量。对于高温的测量的研究，因其对材料的要求，对高温环境的要求，
以及其高标定难度等成为温度测量领域的重点与难点。然而对高温的测量是航空
航天，地质探测，工程设备等领域必不可少的一部分，随着工业发展，技术指标要
求得提高，测温应用环境恶劣（强磁干扰、易燃易爆等），对高温测量的研究变得
越来越重要。光纤微结构以其优质的材料特性，结构体积小，抗电磁干扰能力强等
优点可以在高温测量中发挥重要作用。使用光纤传感器实现高温的高灵敏度测量
是本文研究的重点。
光纤传感主要通过外部信号源的物理量的变化产生对光纤中传输的光束的相
位，强度，波长，偏振等参量的调制完成对物理量的测量，因此，光纤微结构性能
与光纤传感器的解调都是影响测量精度的重要因素。目前对光纤光栅的解调技术
研究较为广泛，对光纤干涉仪传感器的解调技术的研究相对较少，解调技术大致可
以分为以下几类：光纤光栅波长解调技术、光纤光栅频率解调技术、光纤光栅相位
解调技术、光纤光栅强度解调技术等[2]。光纤光栅波长解调技术是应用最多最广泛
的解调技术。美国对解调技术的研究相对较早，而国内学者对解调技术的研究是从
上世纪 90 年代开始的，因此国内对解调技术的研究还存在很多技术上的难题，如
设备稳定性问题，解调精度温度，寻峰算法的问题等，而且主要是针对光纤光栅的
解调技术，对于光纤干涉仪传感器的解调技术的研究比较少，本文旨在研究光纤
-1-
Fabry-Pérot 干涉仪的波长解调系统，工作重点放在解调系统软件的编写。
1.2 光纤传感器概述
1.2.1 光纤传感器的分类
光纤技术的快速发展使得光纤传感技术也蓬勃发展，光纤传感器的种类与功
能多种多样。根据光纤材料自身是否为传感单元，光纤传感器分为以下两种：功能
性光纤传感器和非功能性光纤传感器。功能性光纤传感器就是光纤自身作为传感
单元，用于感知外界的信号变化，所以又被称为传感型光纤传感器；非功能性光纤
传感器自身不作为传感单元，只作为光束传输的载体，所以又被称为传光型光纤传
感器。本课题研究的传感器属于传感型光纤传感器。
根据光纤传输的光束被外界信号调制的参数不同可以分为：相位调制型光纤
传感器[3]、波长调制型光纤传感器[4]、强度调制型光纤传感器[5]、偏振调制型光纤
传感器[6]等。相位调制型光纤传感器应用较为广泛，通过外界的环境变化，将信号
调制到传输光束的相位上，然后通过检测光束变化，解调出外部环境的物理量变化
信息，从而完成对外界环境的测量。
由于光纤的自身材料优势，光纤可测的物理量是多种多样的。如用于测温度的
光纤传感器称为光纤温度传感器，测应变的光纤传感器为光纤应变传感器，测折射
率的光纤传感器称为光纤折射率传感器等等。这种分类方法是根据测量的物理量
不同，应用于不同的领域而分类的，也有同时可以测试两个量的光纤传感器，但其
传感原理有些是相同的。
本课题主要研究的是相位调制型光纤传感器的一种——光纤 Fabry-Pérot 干涉
仪传感器。相位调制型光纤传感器是靠两束光的干涉或多束光干涉而形成的干涉
谱线，因为外界环境变化而导致传输光束图谱的相位发生变化，通过检测其干涉图
谱的相位变化信息来探测外界信号。常见的相位调制型光纤干涉仪包括光纤 Fabry-
Pérot 干涉仪[7-15]、光纤 Mach-Zenhnder 干涉仪[16-18]、光纤 Michelson 干涉仪[19-21]、
光纤 Sagnac 干涉仪[22-24]等。
1.2.2 光纤干涉仪的分类
(1) 光纤 Fabry-Pérot 干涉仪

光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的结构如图 1-1 所示所示。光纤中传输的光经过两个
反射面反射，反射面大多为空气与二氧化硅的分界面，反射回来的光束符合干涉条
件时发生干涉。由于两个反射面的或多个反射面的光程差在外部环境不变的情况
-2-
下恒定，因此在外部环境能量场变化后，Fabry-Pérot 引起的光程差的会变化，导致
干涉条纹的移动。光纤 Fabry-Pérot 腔也多种多样，制作方式多，可测参量多，应
用极其广泛。
图 1-1 光纤 Fabry-Pérot 腔结构示意图
(2) 光纤 Mach-Zehnder 干涉仪

光纤 Mach-Zehnder 干涉仪结构原理图如图 1-2 所示。由光源发出的光先耦合
进入光纤，再经过光纤 3dB 耦合器进行分束。一束光应用于信息的调制被称为传
感臂，另一束用作对比，被称为参考臂，参考臂不受信号调制，传感臂用于感知外
界信号，从传感臂与参考臂传输过来的两束光经过耦合器耦合成一束，然后用光电
探测器探测，实现对应物理量的测量。Mach-Zehnder 干涉仪原理属于两束透射光
发生干涉，因为不会有光反射回来影响光束的传输，所以相对反射式更加稳定，实
现传感时参考臂不能受到外界环境的影响。
图 1-2 光纤 Mach-Zehnder 干涉仪结构原理图
(3) 光纤 Michelson 干涉仪

图 1-3 为 Michelson 干涉仪的原理图，该结构为光源出来的光经过耦合器后，
分束为两束，一束作为参考光束，一束作为传感光束，然后都经过光纤反射面返回，
再传导回耦合器中用光电探测器探测，反射回来的两束光形成干涉条纹。传感臂感
知外部变化后，造成传输的光与参考臂传输的光的相位不同，使得干涉条纹发生改
变，通过检测干涉条纹的变化来测外界环境的物理量的变化。由于双光路干涉系统
-3-
容易受到外界环境影响，所以会导致测量系统的不稳定。一种新一体化的 Michelson
干涉仪代替了之前的设计，将双光路干涉汇聚在一条光纤中传输，光源经过耦合器
后一部分光进入包层，另一部分进入纤芯，两部分光再传导过程光程差恒定，经过
反射面反射之后，再经过耦合器，包层中的光耦合回纤芯，与纤芯中的光发生干涉。
这种新型的 Michelson 干涉仪被称为全光纤型 Michelson 干涉仪，如图 1-4 所示，
并且应用于测温度，折射率，应变等多个领域。
图 1-3 光纤 Michelson 干涉仪的结构原理图
图 1-4 一体化光纤 Michelson 干涉仪结构原理图
(4) 光纤 Sagnac 干涉仪

光纤 Sagnac 干涉仪的结构原理示意图如图 1-5 所示。光源发出的光束经过光
纤耦合器之后分成两束，从相反的方向进入光纤环，在没有外界的影响下，两束光
的相位相同，当外界环境变化时，影响着光纤环，使得光纤环旋转，导致光纤环中
的两束光的光程差变化，影响其干涉谱线的变化。光纤 Sagnac 干涉仪常用于对旋
转角速度、位移、温度、电流、磁场的测量。
图 1-5 光纤 Sagnac 干涉仪结构原理图
-4-
1.3 光纤 Fabry-Pérot 干涉仪国内外研究现状

Fabry-Pérot 腔是形成干涉光束光程差的主要结构，光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的
主要制作难度就在于光纤中 Fabry-Pérot 腔的形成。目前各种结构的 Fabry-Pérot 腔
被提出，有聚合物腔，空气腔，二氧化硅腔，混合结构腔等，应用于不同领域不
同物理量的测量。根据光纤 Fabry-Pérot 腔是否与外界可以进行物质（主要为气体）
交换可将 Fabry-Pérot 腔分为闭腔式光纤 Fabry-Pérot 干涉仪和开腔式光纤 Fabry-
Pérot 干涉仪。开腔可以应用于测量外界气体折射率，压力等；闭腔式主要应用于
测量温度，应变等。光纤 Fabry-Pérot 干涉仪以其轻巧的结构，高灵敏度，制作方
式多样等优点而备受研究人员的关注。
在光纤内部进行多光束干涉的想法是由 Cielo 等人在 1979 年首次提出的[25]，
两年后，Petuchowski 等人根据这个想法制作了第一个没有使用耦合器的光纤内部
的 Fabry-Pérot 腔干涉仪[26]，最早的 Fabry-Pérot 腔干涉仪是用两根单模光纤插入
玻璃微管中，如图 1-6 所示，这样使得两根单模光纤之间有一定的距离，这就形成
了光纤 Fabry-Pérot 腔。经过数十年的发展，光纤 Fabry-Pérot 干涉仪提出了很多制
作方法，应用于不同的测量领域。
图 1-6 早期的 Fabry-Pérot 腔结构图
2008 年，朝鲜大学的 Hae Young Choi 等人提出了一种适用于高温传感的微型

Fabry-Pérot 光纤干涉仪传感器[27]，该传感器是由光子晶体光纤与空芯硅管和单模
光纤串联形成，形成了两个 Fabry-Pérot 腔，该传感器头由两个 Fabry-Pérot 腔组成，
Fabry-Pérot 腔由熔接光纤微管形成空芯光纤与单模光纤在光子晶体光纤上串联。
通过检测反射光谱，在不同温度下，实现了对所制成的传感器的温度测量。实验表
明，相对于腔体材料的热膨胀来说，腔体材料的热光效应对整个传感器灵敏度的影
响更大。温度测量到 1000°C 时，可作为高温传感器使用。
-5-
图 1-7 Hae Young Choi 等人制作的用于高温测量的 Fabry-Pérot 干涉仪[27]
2008 年密苏里科技大学 Tao Wei 提出了一种用于折射率测量的高灵敏度微纳

光纤 Fabry-Pérot 腔干涉仪(FPI) [28]。如图 1-8 所示，该结构通过飞秒激光器光束的
高能量的特点将单模光纤加工出一个凹槽，形成了开腔式空气腔光纤 Fabry-Pérot
干涉仪，该结构用于测量异丙醇、丙酮、甲醇等多种液体在室温下的折射率，以及
去离子水在 3 ~ 90°C 时随温度变化的折射率。在 1550 nm 波长下，测量得到该结
构折射率变化的灵敏度为 994 nm/RIU。
图 1-8 Wei T 等人制作的空气腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪[28]
2011 年电子科大 De-Wen Duan 等人[29]，将单模光纤用光纤熔接机和光纤管熔

接起来，形成光纤 Fabry-Pérot 腔，并引入一小段的横向偏移量的方法使得光路形
成干涉所需的光程差值，如图 1-9 所示。该传感器通过在高温炉中将温度从-20°C
增加到 120°C，步长为 10°C，FPI 的温度响应几何腔长为 2.26 mm。这种传感器制
作简单、结构紧凑，可以实现气体折射率与温度的测量，但是光纤管价格较为昂贵，
使得结构制作成本高。
图 1-9 De-Wen Duan 等人用错位熔接制作的 Fabry-Pérot 干涉仪[29]
2014 年，深圳大学 Shen Liu 等人，提出了一种应用于测量应变的基于光纤

Fabry-Pérot 干涉仪的高灵敏度传感器[30]，如图 1-10 所示，腔体单模光纤的两端用
熔接机熔接而成，通过改变熔接机的电弧强度放电改变腔的大小进而调整灵敏度
-6-
大小，最高应变灵敏度可以达到 6 pm/με，而且该传感器对温度不灵敏，温度灵敏
度为 1.1 pm/°C，降低了环境温度变化的影响对实用时测量应变的干扰。
图 1-10 Shen Liu 等人改变电弧放电测试制作的 Fabry-Pérot 腔干涉仪[30]
2014 年吉林大学 Xuan Yu Zhang 等人提出了一种基于聚合物的光纤 Fabry-

Pérot 干涉仪[31]。该干涉仪可以应用于折射率和温度的同时测量，交叉灵敏度极低。
制作方法如图 1-11 所示，是在光纤端面制作一个聚二甲基硅氧烷(PDMS)盖的结构
与单模光纤串联形成光纤 Fabry-Pérot 干涉仪，干涉仪在 25°C-60°C 温度范围内温
度灵敏度为 385.46 pm/°C。该干涉仪不仅具有灵敏度高、结构紧密等特点，而且
PDMS 具有良好的生物相容性，可作为细胞培养或细菌生长检测探头使用。
图 1-11 显微镜下使用 PDMS 制作的不同腔长干涉仪实物图[31]
2015 年深圳大学 Bing Sun 等人同样使用聚合物的方法制作了光纤 Fabry-Pérot

干涉仪[32]，图 1-12 是该干涉仪的结构示意图。该研究表明，利用普通的电弧光纤
熔接机，调整熔接机参数可以很容易地控制 Fabry-Pérot 腔长度的变化。这种传感
-7-
器的温度灵敏度最高可以达到 249 pm/°C，对压力进行测量后得到压力灵敏度为

1130 pm/MPa。
图 1-12 使用 NOA65 制作的干涉仪结构示意图[32]
2015 年布巴内斯瓦尔理工大学 J N Dash 等人[33]提出一种稳定度高、应变不敏

感的光纤 Fabry-Pérot 干涉仪用于测高温与液体折射率，该传感器由单模光纤与光
子晶体光纤和空心硅管拼接而成，如图 1-13，制作了不同尺寸的传感器探头，每个
探头的有不同长度的熔接塌陷区域。这种传感器的温度响应在一定范围内线性度
很好，对应变不敏感，温度灵敏度为 12 pm/°C。
图 1-13 J N Dash 等人制作的光纤干涉仪制作方式与 Fabry-Pérot 腔图[33]
2016 年中国计量大学 Ye Liu 等人[34]应用氢氟酸腐蚀的方法制作了不同材料不

同形状的光纤 Fabry-Pérot 腔干涉仪，图 1-14 为实验装置示意图与光纤 Fabry-Pérot
腔干涉仪的结构示意图，应用单模光纤与多模光纤，用腐蚀的方法分别制成了月牙
形 Fabry-Pérot 腔，D 字形 Fabry-Pérot 腔，与椭圆形 Fabry-Pérot 腔，结构的腔长从
9 μm 到 58 μm 不等，应用图 1-14 的实验装置对不同的形状和不同腔长的光纤 Fabry-
Pérot 干涉仪腔进行了应变实验，在 0-3000 με 测试范围内进行应变的测试，应变灵
敏度最高达到 9.67 pm/με。
-8-
图 1-14 Ye Liu 等人用腐蚀法制作的光纤传感器探头[34]
2017 年哈尔滨工业大学 Yong Feng Wu 等人[35]基于大横向偏移拼接制成混合

结构 Fabry-Pérot 干涉仪，图 1-15 是不同尺寸的该结构显微镜图像与相对应的干涉
谱线图，这种传感器同时实现了同时测量应变和温度，并且较高灵敏度高，空气腔
具有高应变灵敏度为 28.95 pm/με，低温度的灵敏度是 0.54 pm/°C，二氧化硅腔具
有低应变的灵敏度为 1.59 pm/με，高温度的灵敏度是 12.71 pm/°C，这种传感器的
制作成本较低，很好的实现了双参数的同时测量。
图 1-15 Wu 等人制作的不同腔长的 Fabry-Pérot 干涉仪和对应的干涉谱线[35]
2017 年西北大学 Zhangwen Liu 等人提出了一种用于测高温的全光纤 Fabry-

Pérot 干涉仪[36]，如图 1-16，Fabry-Pérot 腔由微气泡和锥头探针组成直径不超过 2
μm，首先将单模光纤一段腐蚀，然后与另一端腐蚀好的单模光纤熔接在一起后，
在另一个端面用光纤熔接机放电形成锥形致端面断裂，形成 Fabry-Pérot 腔，在波
长 1550 nm 处的温度灵敏度为 14.68 pm/°C。该传感器体积小可以在超小的空间和
大的温度变化范围内进行温度测量。
-9-
图 1-16 ZhangwenLiu 等人制作的全光纤 Fabry-Pérot 干涉仪[36]
2018 年华中科技大学 Peng Cheng 等人[37]提出并制作了一种用于高温测量的

光纤 Fabry-Pérot 干涉仪传感器，制作工艺如图 1-17 所示，该传感器是利用飞秒激
光在标准单模光纤(SMF)端附近的光纤芯中引入折射率渐变点(RIMD)制成的。实
验证明了使用飞秒激光器加工单模光纤可以实现高温测量，经过测量得到，该传感
器在 100-500°C 范围内的温度灵敏度为 13.9 pm/°C，在 500-1000°C 的温度灵敏度
是 18.6 pm/°C。
a) 实验系统示意图 b) 显微镜俯视角实物图 c) 显微镜侧视角实物图

图 1-17 飞秒激光加工光纤小孔腔 Fabry-Pérot 干涉仪[37]
上文阐述了国内外的多种典型光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作方式，根据上述

调研可知，光纤 Fabry-Pérot 腔干涉仪有以下几种制作方法。
(1) 光纤串联熔接法。如光子晶体光纤(Photonic Crystal Optical Fiber，PCF)、细
心光纤(Thin Core Fiber，TCF)、空心石英光纤 (Hollow Core Fiber，HCF)、保偏光
纤(Polarization Maintaining Fiber，PMF)，这些特殊材料的光纤价格昂贵，不适合于
- 10 -
实际应用测量。
(2) 端面聚合物成腔法。用聚合物制作形成盖状然后与光纤串联形成 Fabry-
Pérot 干涉仪，这种聚合物腔的体积小，很难精细操作，并且成本较高。
(3) 错位或空气泡成腔法。大错位制作的 Fabry-Pérot 腔或空气泡制成的 Fabry-
Pérot 腔，对于温度的测量灵敏度较低，所以这种方法普遍用于对横向压力或气压
等的测量。
(4) 使用飞秒激光器加工法。飞秒激光器本身仪器较为昂贵，用于加工需要调
精准的光路，操作难度较高，制作难度大。
(5) 使用氢氟酸腐蚀的方法制作光纤 Fabry-Pérot 腔。氢氟酸腐蚀法制作光纤
Fabry-Pérot 腔制作方式简单，当只使用单模光纤时，成本极低。
综上所述，制作光纤 Fabry-Pérot 腔的大部分方法都需要昂贵的仪器或特殊的光
导纤维，这使得制作光纤 Fabry-Pérot 腔的成本高，难度大。相比之下化学腐蚀法，
体现出它的优势，Ye Liu 等人应用化学腐蚀熔接的方法对不同形状的空腔进行了
应变的测量[34]，由于内部空气腔面积小，对应变敏感，然而空气的热光系数较低，
空气腔对温度几乎不敏感，所以无法完成高灵敏度的高温测量，而空气腔两侧的长
光纤截面也使得无法应用该结构进行温度的测量。应用激光器刻蚀的方法得到光
纤布拉格光栅用于高温传感的性能良好[38-41]，然而制造设备十分昂贵。
本课题研制了一种由空气腔与二氧化硅腔串联形成的复合腔光纤 Fabry-Pérot
干涉仪（Composite Cavity Fiber Fabry-Pérot Interferometer CCFFI），该 Fabry-Pérot
干涉仪采用化学腐蚀-熔接-切割的方法制成，腐蚀熔接形成空气腔，空气腔是嵌在
单模光纤内部的椭圆形空腔，切割形成二氧化硅腔，二氧化硅腔串联在空气腔后面。
由于二氧化硅腔的高热光系数，可以得到更高的温度灵敏度，所以二氧化硅腔为主
要的传感元件。该结构不仅可以应用于常温的测量，还可以应用于高温测量。该
Fabry-Pérot 干涉仪传感器可以制作成非常小的尺寸，可用于点测量，制作工艺简
单，而且成本极低，可以实现高温的测量。
1.4 光纤传感器解调系统的研究现状
对于光纤光栅传感器进行解调的研究是近年来得热点，针对于光纤光栅中心
波长的解调，目前有非平衡 M-Z 干涉仪法[42]、边缘滤波法、匹配光栅滤波法[43]等。
非平衡 M-Z 干涉仪解调法是由 A.D.Kersey 等人在 1992 年提出的，这种解调方法
的分辨率高，但是重复性差，很受外界环境影响[42]。使用边缘滤波的原理进行解调
的方式是由 M.A.Davis 等人在 1994 年提出的，这种方法系统结构较为简单，但是
没有很好的分辨率，测量范围较小，只适合于低精度的测量，系统灵活性差。匹配
- 11 -
光栅滤波法是在 1997 年由 Ferrira 等人提出的，这种解调方式结构简单，分辨率较

高，但是构建解调结构价格昂贵，而且不适应于动态监测[43]。近年来，国内越来越
关注对光纤传感器的解调的研究。上海紫珊光电有限公司研发了两种解调仪，减震
式光栅解调仪与光电动态解调仪。太原理工大学的张俊等人在 2016 年研发出了一
种准分布式光纤传感器解调系统[44]，这种系统基于混沌激光的弱反射原理。浙江
大学崔巍等人研制了一种基于可调谐激光器的复用光纤光栅解调系统[45]。光纤传
感器解调系统多种多样，并有其各自的优缺点，可调谐半导体激光器用于解调系统
解调波长范围宽，解调精度、分辨率、稳定性都比较高。本课题研制的解调系统是
基于可调谐激光器的解调系统，应用于光纤干涉仪传感器，主要工作为解调系统软
件的编写。
1.5 课题研究的目的及主要研究内容
光纤技术的发展推动着整个信息技术与工业技术的发展，光纤传感技术随之
蓬勃发展，不断的有新的光纤传感结构被研制出来，可测得物理量也越丰富，已经
有各种光纤 Fabry-Pérot 干涉仪用于温度、折射率、应变和压力的测量。光纤 Fabry-
Pérot 的制作方式也越来越多，目前已经发展的几种制备 Fabry-Pérot 腔的工艺：飞
秒激光微加工法、错位或空气泡成腔法、化学腐蚀法、端面聚合物成腔法以及采用
硅毛细管、光子晶体光纤等特殊光纤。但制作光纤 Fabry-Pérot 腔的大部分方法都
需要昂贵的仪器或特殊的光导纤维，这使得制作光纤 Fabry-Pérot 腔的成本高，化
学腐蚀方式因其成本低廉脱颖而出。高温一直是光纤传感技术的测量重点，光纤结
构以其优质的材料特性，结构体积小，抗电磁干扰能力强等优点可以在高温测量中
发挥重要作用，但并不是所有结构都可以完成高温的测量，比如大错位制作的
Fabry-Pérot 腔或空气泡制成的 Fabry-Pérot 腔温度灵敏度很低，只适用于横向压力
和气体压力的测量。
本课题提出了一种应用化学腐蚀-熔接-切割的方式制成的复合腔光纤 Fabry-
Pérot 干涉仪，应用于高温的测量。该结构由空气腔与二氧化硅腔级联形成复合腔。
将单模光纤用氢氟酸腐蚀出尺寸合适的光纤微孔之后，再放到熔接机中熔接，形成
空气腔，然后切割掉一端的单模光纤以形成二氧化硅腔，该结构制作简单，成本低，
由于二氧化硅的高热膨胀系数及其材料特质可以实现高温的高灵敏度测量。本文
的主要研究内容如下：
第 1 章：简要叙述本课题的研究背景及意义，介绍了光纤传感技术近年来得
发展，分析了研究高温测量的重要意义，分析了解调技术对光纤传感技术的影响。
阐述了光纤传感器的分类，详细介绍了四种常见的光纤干涉仪的分类及其应用领
- 12 -
域。详述了近年来国内外光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的发展，分析了光纤 Fabry-Pérot

干涉仪的不同制作方法的优劣。简要介绍了近年来光纤传感解调技术的发展。
第 2 章：介绍了光纤 Fabry-Pérot 腔传感器的理论基础，分析了复合腔 Fabry-
Pérot 干涉仪的干涉谱线，通过傅里叶变换的方式得到干涉谱线的空间频谱图，分
析其频谱成分提取出空气腔与二氧化硅腔的相位项，分别分析空气腔与二氧化硅
腔的温度传感原理，得到影响空气腔与二氧化硅腔的温度灵敏度表达式。
第 3 章：构建了光纤传感器的解调系统，介绍了解调系统使用的仪器设备，阐
述了使用的单片机 STM32 的开发过程与串口通信原理，编写了串口程序，分析了
Labview 编程语言的优越性与软件系统程序开发过程，用 Labview 编写了上位机软
件系统，完善了用户界面。
第 4 章：提出了一种复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作方法，制作了三种
不同尺寸的光纤 Fabry-Pérot 干涉仪，设计了复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的温度
传感实验，得到了复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的干涉图谱，频谱分析之后分离
出干涉图谱的空气腔相位项与二氧化硅腔的相位项，分别测出应用于高温测量时
的空气腔的温度传感灵敏度与二氧化硅腔的温度传感灵敏度。
- 13 -
第 2 章光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的理论分析
2.1 引言
由传统的 Fabry-Pérot 干涉仪演化而来光纤 Fabry-Pérot 腔干涉仪传感器，是目

前应用广泛的四种光纤干涉仪之一。本章主要介绍光纤 Fabry-Pérot 腔干涉仪光束
传输原理与复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理，并根据传感原理做出干涉
图样的仿真，干涉图谱的频谱分析与滤波，复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪传感器
的温度传感原理，复合腔光纤 Fabry-Pérot 传感器应用于温度传感的优势，以及介
绍了影响光纤 Fabry-Pérot 干涉仪传感性能的两个参数。
2.2 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理
2.2.1 光学 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理
光学 Fabry-Pérot 干涉仪是由法布里和珀罗在 1897 年首次提出的一种多光束

干涉仪器，也是因此而命名为 Fabry-Pérot 干涉仪。现在光学 Fabry-Pérot 干涉仪经
过了多年的不断发展与改进，已经被广泛应用于激光、长度测绘、光束整形、精密
光谱测量等多个领域，在现在的光学实验室里是最为常用仪器之一。最初的 Fabry-
Pérot 干涉仪结构如图 2-1 所示，是将两块镀上高反射膜的玻璃板平行放置，一束
平行光入射到一块平行玻璃中，一部分光反射到空气中，另一部分光透过玻璃板进
入两块玻璃板中间的空气中，从上层玻璃反射回来的光与从下层玻璃反射回来的
光形成干涉，下面是光学干涉仪的原理分析。
图 2-1 典型的光学 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理
从上玻璃板反射回来的光与从下玻璃板反射回来的光相差的光程差恒定，满
足光束干涉条件，可以形成干涉条纹，在不考虑半波损失的情况下，它们之间的光
程差可以表示为：
- 14 -
L=2n2d cos (2-1)

式中 n2——腔内介质的折射率；
d——两个平行平板之间的距离；
θ——两个反射面间的光纤的入射角。
根据光程差与相位的关系式可以得到两束光的相位差:
4
= n2d cos  (2-2)

式中 λ——入射光的波长。
根据 Fabry-Pérot 腔干涉原理，当 n1=n3，两个反射面反射率一样同为 R 时，可
得到反射光束与透射光束的公式为：
2 R(1  cos  )
Ir  I0 (2-3)
1  R 2  2 R cos 
(1  R)2
It  I0 (2-4)
1  R 2  2 R cos 
式中 R——两个反射面的反射率；
I0——入射光强。
当 R 较小时，反射光束可以化简为：
I r  2R(1  cos  ) I 0 (2-5)
2.2.2 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理
光纤 Fabry-Pérot 干涉仪与传统的 Fabry-Pérot 干涉仪的不同之处在于，入射到

光纤的光基本都被看做是垂直入射，非垂直光的反射率狠低，因此在光纤 Fabry-
Pérot 干涉仪结构，大多数干涉仪是近似为双光束干涉，而忽略多光束干涉的，这
样的近似对于研究来说更为简单。
图 2-2 为光纤 Fabry-Pérot 腔干涉仪的示意图，在光纤内部有一个长为 L 的空
气腔形成 Fabry-Pérot 腔干涉仪，光束由第一个反射面 M1 与第二个反射面 M2 反射
回来的光干涉形成双光束干涉图谱。空气腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的干涉谱线强
度 I 可以表示为：
4 n1L
I  I1  I 2  2 I1I 2 cos( ) (2-6)

其中 I1——M1 反射的光强；
I2——M2 反射的光强；
L——空气腔的长度；
- 15 -
λ——入射光的波长。
图 2-2 光纤 Fabry-Pérot 干涉仪结构图
复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪与空气腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪原理类似，只

是将双光束干涉，变成了三光束干涉。本课题研究的复合腔 Fabry-Pérot 光纤干涉
仪，其主要原理是双 Fabry-Pérot 腔前后三个平行反射面形成的三光束干涉，结构
图如图 2-3 所示，该结构由一个空气腔和一个二氧化硅腔串联构成，三束反射光分
别是由三个光纤与空气的界面产生的菲涅尔反射形成的，反射光强由相应的反射
面的反射率决定。复合腔 Fabry-Pérot 光纤干涉仪反射光的干涉强度 I 可以表示为：
I  I1  I 2  I3  2 I1I 2 cos air   2 I 2 I3 cos silica   2 I1I3 cos air-silica  (2-7)
图 2-3 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理示意图
式中 I1——入射光在 M1 的反射光强；
I2——入射光在 M2 的反射光强；
I3——入射光在 M3 的反射光强；
ϕair——空气腔的相位变化量；
ϕsilica——二氧化硅腔的相为变化量；
ϕair-silica——复合腔的相位变化。
空气腔的相移、二氧化硅腔的相移以及复合腔的相移分别为：
4 n1 L1
air  (2-8)

4 n2 L2
silica  (2-9)

- 16 -
air-silica  air  silica (2-10)

式中 n1——空气腔的折射率；
n2——二氧化硅的折射率；
L1——空气腔的腔长；
L2——二氧化硅腔的腔长。
根据公式（2-7）可知，空气腔与二氧化硅腔的复合腔 Fabry-Pérot 光纤干涉仪
的反射光干涉谱相当于三个余弦函数（三束反射光的相位差引起的）和一个整数
（三束光强度的叠加）相加而成。用 NI 公司的 Labview 软件画出的复合腔 Fabry-
Pérot 光纤干涉仪的反射谱线模拟图如图 2-4 所示，模拟参数：n1=1，n2=1.4682，
L1=56.1 μm，L2=168.4 μm，I1=0.036I0，I2=0.0347I0，I3=0.0335I0，将入射光的能量
设为 I0，反射光的能量根据菲涅尔反射原理求得界面反射率之后得到，将光强相对
值求 10 倍的 log 得到，以上模拟不考虑反射光耦合回光纤包层的损耗。
图 2-4 复合腔 Fabry-Pérot 光纤干涉仪反射谱线
当复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪应用于传感时，外界环境因素将同时调制空

气腔产生的相位项与二氧化硅腔产生的相位项，因此如果将光纤复合腔 Fabry-Pérot
干涉仪的干涉图谱的空气腔产生的相位项和二氧化硅腔产生的相位项提取出来，
可以更好的分析干涉仪的传感特性，这就需要对得到的谱线进行频谱分析，用
Labview 中的 MathScipt 编辑器将得到的反射谱线进行傅里叶变换，用 plot 函数绘
制出空间频谱，如下图 2-5，图中的三个峰分别为空气腔相位引起的，二氧化硅腔
相位引起的和复合腔相位引起的频谱峰，空气腔空间频谱对应的峰值为 0.049/nm、
- 17 -
二氧化硅腔空间频率对应的峰值为 0.199/nm、复合腔频谱对应的峰值为 0.249/nm，

正好是空气腔与二氧化硅腔频率对应的峰值之和，与公式 2-7 刚好吻合。根据傅里
叶变换公式可知，直流分量反射光总光强对应的空间频率为 0，而其他分量所对应
的空间频率分别为：
空气腔的相位对应的空间频率值：
2n1L1
f1  (2-11)
12
二氧化硅腔的相位对应的空间频率值：
2n2 L2
f2  (2-12)
34
复合腔的相位对应的空间频率值：
f 3 =f1 +f 2 (2-13)
式中 λ1——空气腔的干涉波谷的波长；
λ2——与 λ1 相邻的空气腔的干涉波谷的波长;
λ3——二氧化硅腔的干涉波谷的波长；
λ4——与 λ3 相邻的二氧化硅腔的干涉波谷的波长。
根据公式(2-11)可知空气腔空间频率与其腔长和折射率的关系，将 λ1 和 λ2 都
近似取为 1550 nm，计算得到的峰 1 为 0.047/nm，与空间频谱中的得到峰 1 的值
0.049/nm 比较近似，同理计算得二氧化硅腔对应的空间频率值为 0.205/nm，与图
中显示的 0.199/nm 近似，计算得到的复合腔的空间频率值为 0.252/nm 与复合腔的
空间频域 0.249/nm 计算值都与谱线中的近似。
图 2-5 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的空间频率谱线
- 18 -
根据以上空间频谱的分析，从三光束干涉谱中分离出空气腔与二氧化硅腔的
干涉谱线就没那么困难了。通过带通滤波的方式，滤除掉其他信号，将需要的信号
保留，就可以将空气腔和二氧化硅腔的信号提取出来，这样就可以分别研究两个腔
各自的传感特性了，一般使用线性相位有限脉冲响应滤波来完成。
复合腔的干涉谱线由四部分构成，直流强度叠加分量，空气腔相位分量，二氧
化硅腔相位分量与复合腔相位分量，也就是对于空间频谱的四个峰值。而空气腔与
二氧化硅腔的传感信息都在其相位项中，因此只要提取出其相位项就可以。根据空
间频谱图，设计对应峰值的中心波长的带通滤波器，便可将其相位项提取出来。
使用海明窗（Hamming Windows）设计带通滤波器，选用空气腔的空间频率 f1
与二氧化硅腔的空间频率 f2 作为带通滤波器的中心空间频率，使用设计好的海明
窗带通滤波器，然后再用 MathScript 中的滤波函数就可以把相应的空气腔和二氧
化硅腔的干涉谱线提取出来，然后分析其信号的变化之后，再提取响应的波长信息，
进而解调出温度等物理量的信息。
图 2-6 为干涉图谱通过带通滤波之后空气腔的谱线，图 2-7 为干涉图谱通过滤
波之后二氧化硅腔的谱线，可以看出，通过滤波之后很好的保留了正弦波的信号，
说明滤波没有给空气腔与二氧化硅腔的谱线带来太多的失真。
图 2-6 滤波后的空气腔的谱线
- 19 -
图 2-7 滤波后的二氧化硅腔的谱线
2.2.3 温度传感原理
光纤 Fabry-Pérot 腔干涉仪是一种典型的相位调制型传感器。通过外界环境能
量场的信息改变，使得 Fabry-Pérot 腔的腔长或者光纤的折射率发生改变，从而改
变传感器中光传输的相位差，相位变化引起干涉谱线的变化，也就是说将外界环境
的信号调制到干涉谱线的相位上，因此被称作相位调制型传感器。空气腔的干涉谱
线的相位要满足 2π 的整数倍时，为空气腔波谷，即：
4 n1 L1
=2m (2-14)

式中 m——干涉级次，为正整数；
L1——空气腔的腔长；
n1——空气的折射率。
空气腔的干涉波谷波长可以表示为：
2n1L1
 (2-15)
m
将式(2-15)两边对温度进行微分，可得到，空气腔对温度的灵敏度，由于空气
的折射率几乎不受温度影响，其空气腔的大小主要由二氧化硅的热膨胀所影响，所
以灵敏度表示为下式：
  L1 n1  L1
       (2-16)
T  T  L1 T  n1  T  L1
式中  ——二氧化硅的热膨胀系数；
- 20 -
Δλ——波谷波长的变化值；
Δn1——折射率的变化值；
ΔL1——空气腔长度的变化值；
ΔT——温度的变化值。
从公式(2-16)可知，空气腔的温度灵敏度与该材料（二氧化硅）的热膨胀系数
和光束的波段有关，而空气腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的腔长不会影响其温度灵敏
度。
同理，二氧化硅腔的干涉谱线的相位满足 2π 的整数倍时，二氧化硅腔干涉谱
线的波谷，表示为下式：
4 n2 L2
=2m (2-17)

式中 m——干涉级次，为正整数；
L2——二氧化硅腔的腔长；
n2——二氧化硅的折射率。
二氧化硅的干涉波谷波长可以表示为：
2n2 L2
 (2-18)
m
将式(2-18)两边对温度进行微分，可得到，二氧化硅腔对温度的灵敏度：
  L2 n2 
          (2-19)
T  T  L2 T  n2 
式中 L2——二氧化硅腔的长度；
 ——二氧化硅的热光系数；
n2——二氧化硅腔的折射率；
Δn2——二氧化硅的折射率的变化量。
根据二氧化硅腔的温度灵敏度公式(2-19)可知，二氧化硅腔的温度灵敏度与二
氧化硅的热膨胀系数，热光系数，与干涉波段有关，二氧化硅的热光系数比热膨胀
系数大两个数量级，相对于只有材料的热膨胀系数和干涉波段有关的空气腔的温
度灵敏度来说，二氧化硅腔的温度灵敏度远大于空气腔。光纤的传输波段一般在
C+L 波段（C 波段：1530~1565nm，L 波段：1565~1610nm），光纤传感器的传输波
段多数也是在 C+L 波段，在此波段中，光纤干涉仪的传感灵敏度可以近似看成是
线性的。对于光纤材料，即二氧化硅材料的热膨胀系数为  =5.5×10-7，热光系数为
 =1.0×10-5。在波长为 1550 nm 处时，根据公式(2-16)与公式(2-19)计算得到空气
腔的温度灵敏度为 0.85 pm/°C，二氧化硅腔的温度灵敏度为 16.45 pm/°C，因此一
- 21 -
般二氧化硅腔的温度灵敏度是空气腔的温度灵敏度 20 倍。
消光比与自由光谱范围是评价一个光纤干涉仪的性能好坏的两个参数，干涉
极大值与干涉极小值之间相差的能量就是一个干涉条纹的消光比，当制作好的一
个光纤干涉仪得到一组干涉条纹之后，很容易就可以测量得到干涉条纹的消光比，
通过观察干涉谱线也可以看出消光比的优劣。自由光谱范围是指干涉谱线的相邻
两个波峰或者相邻两个波谷之间的间距，可以表示为：
k k 1
FSR  (2-20)
2nL
其中 λk——干涉谱中第 k 个波谷对应的波长；
λk+1——干涉谱中第 k+1 个波谷对应的波长；
n——相应形成干涉谱线的腔的折射率。
由公式(2-20)可知，干涉腔长越小，在相同条件下自由光谱范围越大，干涉仪
性能越好。
2.3 本章小结
首先介绍了 Fabry-Pérot 干涉仪的原理，光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的理论基础，
分析了复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的干涉谱线的组成，根据公式仿真了复合腔
光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的干涉谱线，用傅里叶变换分析其频谱成分，通过海明窗
设计的带通滤波器进行滤波，分离出空气腔的相位项与二氧化硅腔的相位项。根据
温度传感原理，分别对空气腔的谱线与二氧化硅腔的谱线进行温度传感分析，得出
影响空气腔温度灵敏度的因素与影响二氧化硅腔的温度灵敏度的因素，根据二氧
化硅的热光系数与热膨胀系数计算得到空气腔的温度灵敏度与二氧化硅腔的温度
灵敏度。最后介绍了消光比与自由光谱范围两个与光纤 Fabry-Pérot 干涉仪性能有
关的参数。
- 22 -
第 3 章解调系统软件的编写
3.1 引言
为了实现光纤传感器的实际测量，光纤传感器解调系统是光纤传感器应用于
物理量测量的必不可少的一部分，基于可调谐半导体激光器的解调系统因其解调
波长范围宽，解调精度、分辨率、稳定性高得到了广泛的应用，解调软件是影响解
调系统精度的重要因素。本章首先构建了基于可调谐激光器的传感器解调系统，介
绍了解调系统需要用的仪器，用单片机完成了串口通信程序，分析了上位机软件系
统的系统结构，用 Labview 进行了上位机软件的编写，完善了人机交互界面。
3.2 解调系统的组成
光纤干涉仪传感器是相位调制型传感器，由于光敏探测器无法响应激光的高
频率，待测场所产生的相位调制不可能直接被探测到[46]，本课题通过检测光纤中
传输的干涉光谱的峰值移动来实现对物理量变化的测量的，实时解调出干涉光谱
的光谱信息是光纤传感器实际应用的不可分割的一部分，光纤传感器的解调也是
图 3-1 解调系统结构图
影响测量精度的重要因素。本课题采用半导体可调谐激光器做解调系统的光源(自
带波长调节)，采用 InGaAs 光电探测器，硬件电路由 STM32 探索者 F4 来控制，
上位机软件用 NI 公司的 Labview 编写。图 3-1 为解调系统结构图，图中的 CCFFI
- 23 -
为本课题制作的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪(Composite Cavity Fiber Fabry-Pérot

Interferometer)。光纤干涉仪解调原理如下：
（1）控制可调谐激光器在特定波段，按一定的波长间隔，波长从低到高，进
行光束的输出，并保证每个输出光的功率一致。
（2）光电探测器采集经过耦合器从 CCFFI 反射回来的光强，用单片机将采集
到的模拟信号转化为数字信号，将数字信号储存在数组之后，通过单片机的串口通
信传输给上位机。
（3）上位机接收到光强信息之后，再根据激光器的扫描范围得到离散的激光
器输出光与反射光光强的对应关系，将离散的数据点绘制到波形图中。
（4）对得到的曲线进行寻峰，找到对应峰值的横坐标和当前温度做为标定。
改变环境温度后，再根据 CCFFI 的灵敏度曲线，重新检测波长，便可得到当前的
温度。
可调谐激光器选用美国 Lumentum 公司的窄线宽可调谐激光器 6205-u ITLA，
该激光器模块是当今敏捷传输模块中的关键部件，主要被用来设计用来支持基于
下一代互联网协议的语音、数据和视频服务的快速部署。6205-u 是专门为需要先
进的模块，需要快速波长调谐和降低能耗的窄线宽可调谐激光器模块。频率调谐范
围为 191.3 THz 到 196.05 THz，线宽 500 kHz。14 个引脚用于给激光器供电、调谐、
复位、RS232 收发控制等，可以应用于本课题的传感器解调系统。本课题主要完成
的工作为单片机与上位机的串口通信与上位机软件的编写。
3.3 硬件电路程序的编写
本课题采用 STM32 单片机进行硬件串口通信程序的编写。STM32 系列是专为
嵌入式应用设计的微处理器(Advanced RISC Machine，ARM)的内核，运算速度快，
存储量大。本课题使用的探索者 STM32F4 开发版，资源十分丰富，具备大量适合
用户使用的库函数，设计人性化，很适合本课题的使用。在使用开发板前首先了解
开发板内部资源，然后安装 MDK5 用于可适应 STM32 的代码的编写，然后再安装
JlinkV8，用于仿真调试和代码的下载。STM32 基本结构与 8051 单片机类似，由中
央处理器（Central Processing Unit，CPU）、内部外部时钟外部中断、总线系统、存
储器、定时器与计数器通用型输入输出接口（General-purpose input/output ，GPIO）
组成。
串口通信就是一种将 CPU 的并行数据字符转换为连续的串行数据流按位发送
到其他设备上的通信方式，串行通信占用的引脚资源较少，可以实现全双工通信，
串口通信最重要到的参数就是波特率、数据位、停止位、奇偶校验位。对于通信双
- 24 -
方，这些参数必须匹配。
图 3-2 串口通信数据接收与发送过程
图 3-2 为串口通信的数据接收与发送过程，外部设备通过串口将数据输入到串
行输入移位寄存器中，然后将移位寄存器中的数据传输到输入数据缓冲器中，单片
机也就是微控制单元(Microcontroller Unit，MCU) 从输入数据缓冲器中提取数据，
输出过程为：MCU 将数据发送到输出数据缓冲器中，然后输出数据缓冲器传输到
串行输出移位寄存器中，将串行输出移位寄存器里的数据转化为以位为单位之后
通过串口输出到外部设备。探索者 STM32F4 开发板板载了 RS232 转 USB 的串
口，将 AD 转换之后的数据通过 USB 传输到 PC 端，PC 端进行数据的处理，绘制
谱线，解调等。
使用 MDK5 进行串口程序的编写，由于串口是复用功能 IO，所以使用时需要
先使能 GPIO 时钟，然后使能相应的外设时钟，同时要把 GPIO 模式设置为复用，
接下来进行串口参数的初始化设置，包括波特率，停止位等等参数，做完这些准备
工作就可以进行函数的调用传输数据了。
图 3-3 异步串行通信（USART1）硬件电路图
串口设置的一般步骤可以总结为如下几个步骤：
(1) 串口时钟使能，GPIO 时钟使能。
- 25 -
(2) 设置引脚复用器映射。
(3) GPIO 初始化设置。
(4) 串口参数初始化。
(5) 使能串口。
图 3-3 为 GPIO 口的硬件电路，GPIO9 与 GPIO10 与异步串行通信接口连接，
因此需要配置 GPIO 口的复用模式，程序通过主函数中调用编写好的函数进行串口
的配置，并且使能了 Led，使用 while 循环等待上位机消息，收到上位机发出的开
始传输信息之后，Led 开始点亮以表示开始传输，数据调用存于字符串数组中的
AD 转换后的数据，使用 printf 函数将数据由串口传输到上位机，进行数据处理。
下面介绍串口参数初始化的配置函数。首先使能串口与 GPIO 口时钟代码如
下：
RCC_AHB1PeriphClockCmd(RCC_AHB1Periph_GPIOA,ENABLE);// 使能
GPIOA 时钟
RCC_APB2PeriphClockCmd(RCC_APB2Periph_USART1,ENABLE);// 使能
USART1 时钟
设置引脚复用模式，GPIO9 与 GPIO10 设置为串口对应的复用模式：
GPIO_PinAFConfig(GPIOA，GPIO_PinSource9,GPIO_AF_USART1); //GPIOA
复用为 USART1
GPIO_PinAFConfig(GPIOA，GPIO_PinSource10,GPIO_AF_USART1); //GPIOA
10 复用为 USART1
配置 GPIO 模式之后进行串口的初始化设置，用函数形参 bound 表示波特率的大
小，字长为 8 位数据格式，一个停止位无奇偶校验位无硬件控制流:
USART_InitStructure.USART_BaudRate = bound;//波特率设置
USART_InitStructure.USART_WordLength = USART_WordLength_8b;//字长为
8 位数据格式
USART_InitStructure.USART_StopBits = USART_StopBits_1;//一个停止位
USART_InitStructure.USART_Parity = USART_Parity_No;//无奇偶校验位
USART_InitStructure.USART_HardwareFlowControl=USART_HardwareFlowCo
ntrol_None;//无硬件控制流
3.4 基于 Labview 的上位机软件的编写
3.4.1 Labview 语言简介
Labview（Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench），是一款应用于

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仪器控制、模拟仿真、测试测量、工业自动化、快速开发、等领域的系统化的设计
平台。是由美国 NI（National Instruments）公司开发的一种适用于可视化编程语言
的开发环境，也是现在世界上仅有的一款可适用于图形化编译的软件开发平台。
Labview 与传统语言不同的地方在于，它使用的语言是一种基于图形化的编程语言。
其图形化语言相对于文本语言更加对用户友好，学习和应用比其他语言更加容易，
并且在功能的完整性和应用的灵活性并不输于其他的计算机高级语言，并有各种
系统的开发版本，让工程师可以在不同的系统环境下进行编程。虽然 Labview 是一
种图形化编程语言，但它也没有完全摒弃传统的文本式编程语言，近几年 Labview
还加强了其与文本式编程语言的结合，让 Labview 不断的发展与完善。在 Labview
中，设计人机交互界面也很方便，由于 Labview 针对行业特点提供了大量的控件，
因此 Labview 具有极其强大的图像数据显示能力。
Labview 本质上是一种基于数据流模式的编程语言，也就是说在 Labview 程序
执行到每个节点都需要在执行前提供该节点所需的所有输入端口的数据，程序的
执行顺序由连接各个框图的数据流连线控制。Labview 编写的程序被称为虚拟仪器
程序，也就是 vi。常规的编程语言，如 VC、VB 的 IDE 开发环境，都是从新建一
个新的项目开始的，每个函数必须在项目中被调用。而 Labview 中的 vi 不仅可以
是一个完整的项目，也可以作为类似于其他语言的函数一样，运用于其他项目中，
还可以独立于项目进行调试，这样的 vi 称为子 vi，方便用户使用。一个 vi 是由三
个部分组成：程序前面板、框图程序、图标/连接器。程序前面板显示的控件为程
序的输入输出空间，输入的控件作为控制控件，输出的控件作为显示控件，前面板
的每一个控件都对应程序框图窗口的一段程序，控制与显示控件以不同类型分类
应用于前面板中，这些控件通过模拟为现实中的真实仪器来使用户更加容易理解
和编程，所以 NI 公司称这项技术为虚拟仪器技术。前面板程序框图面板用于图形
化的语言编程，相当于利用传统语言所写的源代码。端口、图标、连接线在前面板
构成完整的可视化程序源码，端口是用来控制前面板的输入输出控件，图标对程序
各个部分起控制作用，连接线代表着程序的数据流，不同颜色，不同粗细的线代表
着不同的数据类型。子 vi 的输入相当于传统编程语言的形参，输出相当于函数的
返回值，每一个 vi 都可以被用户定义为子 vi。
在 Labview 平台上进行软件的开发，和传统的软件开发一样需要遵循软件开
发的基本规律和方法，再结合图形化编程的特点，进行软件开发。软件工程学中，
对软件开发的相应阶段是用生命周期模型来描述的[47]。参照最经典的开发模型，
在平台上进行软件开发可以划分为六个阶段[48]:
（1）系统定义阶段
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也就是在系统设计之前，程序的设计者需要根据需求，确定系统的总目标，得
出系统的可能性分析与项目开发所以的资源与成本。
（2）结构设计阶段
用结构化的程序思想开发 Labview 软件，要按照软件工程的三个目标：重用
性、扩展性和灵活性，将图形化界面分层，然后再分为不同的编程模块。
（3）细节设计阶段
这一部分是将任务细化，细化为要解决的一个一个的任务，规划出设计思路，
找到细节编程的方法，为具体编程打基础。
（4）编写代码阶段
将详细设计的方案，转化成图形化的语言进行编程，然后将底层细节的编程结
构连接起来整合到一起完成程序的编写。
（5）程序测试
程序测试是编程过程的重要组成部分，当初步完成程序的编写之后，需要有计
划的进行严格的，程序测试，在程序测试的过程中不断的修改完善代码，以实现程
序的实用性。
（6）系统维护阶段
系统维护阶段是为了使软件满足用户长期使用的需求，而做的延续系统寿命
的工作，系统维护分为改进性维护、适应性维护、完善性维护和预防性维护这四类。
图 4-4 软件系统结构图
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3.4.2 Labview 软件系统结构的设计
本课题应用 Labview 的图形化的编程语言编写了一套基于光纤干涉仪温度传

感器的应用程序，用于对数据的采集、分析、寻峰、温度解调等过程，实现了用户
友好化的人机交互显示界面。软件开发之初，遵循软件的开发原则进行了系统性的
分析，将整个程序分成四个部分，分析了开发难度和编写过程中可能遇到的困难，
将编写过程细化，最终完成了整个程序的编写和维护。
如图 3-4，整体的软件设计分为以下几个模块：
软件系统结构分为数据采集、数据模拟、图表显示、寻峰与解调四大类。
数据采集是将单片机的数据传输给上位机的上位机的编程，Labview 需要与单
片机的串口初始化一致才能完成数据的传输，因此要对串口的初始化进行严格的
定义，当发送采集命令时，单片机由等待状态进入数据传输状态，然后完成数据的
接收。
数据模拟分为算法的编程，窗口显示数据输入与子 vi 的生成，算法是根据复
合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的光强函数即第二章公式（2-7）进行模拟仿真的，应
用窗口显示输入的方式进行仿真模拟参数的输入，然后生成子 vi，与整个系统函数
进行连接，系统可以选择应用数据采集的数据或者仿真的数据进行数据的分析和
寻峰，数据模拟部分是为了可以测试整个系统的数据分析准确度和用户更加了解
这个软件系统而设计的。
图表显示部分包括了波形的显示，游标的添加，图形的放缩三个部分，波形显
示使用波形图表的方式进行显示，游标的填加与图形的放缩，为了使用户更好的进
行数据的分析寻找每个点的坐标位置和更好的观察波形。
寻峰与解调分为寻峰算法的编写，温度的标定与解调和数据的保存，还根据仿
真数据进行了寻峰算法准确度的对比，然后进行的数据的保存，使得软件运行的结
果得以存储到文档中，进行更好的数据分析。
3.4.3 数据采集程序的编写
NI 公司开发的 Labview 是一套标准的数据采集和仪器控制软件，而且其配套

的数据采集硬件也有很高的业界认可度。Labview 针对数据采集提供了许多节点
（函数）对底层协议进行了高度的封装，用户只需直接调用，便可完成程序的编写，
这很大程度上提高了编程的效率，并且 Labview 的帮助功能可以很快的了解和学
习 Labview，让用户更好更快的完成程序的编写。本课题针对应用需求，使用
VISA(Virtual Instruments Software Architecture)即虚拟仪器软件体系结构完成数据
的采集。VISA 是 Labview 中仪器 IO 的仪器编程标准输入输出应用程序接口，是
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一套通用的仪器驱动器标准 API（Application Programming Interface，即应用程序

编程接口）
，采用面向对象编程，具有很好的兼容性、独立性和拓展性，制成多平
台多接口的数据采集，控制程序的制作，是一个多类型的函数库。Labview 中为用
户提供了 8 个节点供用户使用，分别为 VISA 串口配置、VISA 写入、VISA 读取、
VISA 关闭，VISA 串口字节数，VISA 串口中断，VISA 设置 I/O 缓冲区大小，VISA
清空 I/O 缓冲区域。本课题应用 VISA 串口配置进行串口的配置，如图 3-5，将串
口设置的波特率、数据位等参数捆绑成簇进行数据的输入，VISA 函数名为电脑设
备管理器的 COM 口选择，右面的 Instr 是 VISA 的串口字节数作为串口的属性节
点对读取和写入终止操作的规范设置。图 3-6 为数据的读取，读取的数据类型为字
符型，转换为浮点型之后输入到数组中，进行后续的数据处理。图中的字符串连接
函数是将每个数字的字符串添加一个空格，然后再合并起来，用于调试时对接收到
的字符串进行观测。
图 3-5 VISA 函数设置串口参数图 3-6 数据的读取
3.4.4 数据模拟程序的编写
Labview 提供了完备的数学函数与公式节点供用户进行数学计算与仿真。本课
题根据第二章复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪公式(2-13)进行了数据模拟，使用公式
节点的方式进行了 Fabry-Pérot 腔的相位的运算，采用简单的数学函数空间以数据
流的形式连接，做了这个函数的模拟，如图 3-7，将 n1，L1，n2，L2，I1，I2，I3 作
为输入，将波形的相对强度值作为结果一输出，将单位转化为 dB 后的结果作为结
果二输出，然后将模拟函数封装为子 vi 如图所示，制作的子 vi 可知直接在整体程
序中调用。
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图 3-7 数据模拟程序的编写与子 vi 的生成
将然后绘制曲线图波长强度曲线，利用编程-结构-while 循环将波长这个输入
的通道转化为索引，便可以将每次循环的波长与长度结果转化为数组，将两个数组
捆绑成簇，用 XY 图进行曲线的绘制。如图 3-8，用编程-对话框应用界面-提示用
户输入界面进行仿真模拟的参数输入。
图 3-8 模拟数据输入与数组循环
3.4.5 图表显示程序的编写
波形图、波形图表、XY 图等是 Labview 的高级控件，主要用于数据的显示，

数据显示控件的使用方法是否得当直接关系到采集和控制程序的成败。本课题采
用 XY 图进行数据的显示，XY 图可以显示一条或者多条曲线，可以接受多种类型
的数据输入方式，将采集到的数据匹配波长数组或者仿真的得到的两个数组进行
捆绑成簇的方式输入到 XY 图的输入端，采用图形工具选版设置游标、图形、图形
放缩、图形的挪动等功能，将游标作为属性节点使用游标位置进行寻峰等程序的数
据操作。图 3-9 为根据 CCFFI1 得到的腔长的数据进行的仿真用 XY 图显示的结
果，图表左下角第一个按钮为游标的滑动，第二个按钮为放缩，第三个按钮为图像
- 31 -
相对于坐标轴的移动。将一个 XY 图同时作为数据采集与数据模拟的图表显示，需
要使用 XY 图作为输入的属性节点，用控制按钮进行控制何时输入数据采集信号，
何时输入数据模拟信号。
图 3-9 图表数据显示与放缩
3.4.6 寻峰与解调程序的编写
本课题制作的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪是一种相位调制型的光纤传感

器，相位调制型光纤传感器通过待测能量场对通过复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪
的相干光进行相位调制，相位的变化反应出待测场的大小。而由于探测器很难探测
到相位的变化，而由第三章可知，制作的 CCFFI 的峰值波长漂移对温度呈线性变
化，因此可以用寻峰的方式来探测外界温度的变化。寻峰程序是整个系统的核心，
影响着整个系统的测温精度，目前常用的寻峰算法有高斯拟合法、二阶多项式拟合
法、质心法、线性插值微分法和二次差值数值微分法等。线性插值微分法与二阶多
项式拟合因为算法简单方便，使用比较广泛。本课题采用了插值之后再进行二阶多
项式拟合的方式进行寻峰。Labview 强大的功能让它可以与文本式编程语言的结合，
寻峰算法使用图形语言与 MathScipt 联合进行编写，利用 MathScipt 节点，可以在
vi 中嵌入 MathScript 脚本，MathScipt 内部进行文本语言的编辑，寻峰算法的输入
项为图像显示的 x 轴数据与 y 轴数据和用户移动的两个游标的范围。两个游标的
横坐标作为截取的整个图形的范围，用范围里的数据进行二阶多项式拟合寻峰，用
plot 函数绘制出拟合的二阶多项式拟合图像，求出二阶多项式的峰值如图 3-10。然
后将寻峰程序得到的峰值数据与标定的峰值和标定的温度进行对比，利用实验得
- 32 -
到的温度灵敏度，给模拟数据的腔长加上一个随机数，进行当前温度的模拟数值的
测量。
图 3-10 模拟数据寻峰
数据存储与读取的程序是将采集来得数组显示成波形之后，利用波形图的属
性节点，将数据转化为簇之后写入到二进制文件中。广泛使用的编程语言支持操作
的文件类型包括文本文件与二进制文件两类。本质上说文本文件也是特殊形式的
二进制文件，本程序采用二进制文件的读写，是由于 Labview 中二进制文件的读写
多态性使其支持多种数据类型的读写，但是在二进制文件的读取时必须同时输入
其读取数据的数据类型，Labview 中提供的文件 IO 中的诸多函数，使得编程更加
方便，图 3-11 为二进制文件写入，3-12 为二进制文件读取的部分程序，程序完成
了用户自动输入文件名，将 XY 图的数据写入到二进制文件中，使用对话框进行文
件路径的查找，二进制文件的读取，读取后载入到 XY 图中进行波形的显示。
图 3-11 二进制文件写入图 3-12 二进制文件读取
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应用状态机结构将四部分程序整合到一起，用 while 循环等待用户发送指令，

布尔型确定按钮连接条件结构进行控制选择程序的运行，如图 3-13，解调软件的，
布尔型确定按钮分别为图左侧的模拟数据、开始采集、寻峰、温度解调、峰值标定、
数据存储、数据读取。左下配置串口初始化设置，图表显示当前谱线，两个游标曲
线之间为二项式拟合范围。将制作好的 Labview 程序转化为.exe 程序方便用户的
使用。
图 3-13 解调软件的测试
编写的上位机解调程序初步完成了以下功能：
（1）通过 STM32 进行数据采集，手动配置串口波特率，奇偶校验位，停止位
等，发送开始采集命令控制 STM32 进行数据传输。
（2）模拟干涉谱线信号，提示用户输入模拟初始数据，如起止波长，步进，
空气腔以及二氧化硅腔腔长等，将模拟信号传输给 XY 图。
（3）图表显示波长-强度图，将采集到的数据匹配波长数据或模拟得到的数据
进行捆绑成簇后进行 XY 图的绘制，XY 图提供游标的滑动，图形的放缩与图形的
移动供用户更好的观察曲线波形。
（4）完成了曲线的寻峰，标定峰值与对应温度，根据当前寻峰结果与传感器
的温度灵敏度进行温度的计算，得到当前温度，并可以将采集到的数据保存，将保
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存的数据读取到 XY 图中。
3.5 本章小结
本章首先构建了光纤传感器解调系统，介绍了解调系统的组成部分，介绍了应
用的可调谐激光器，然后详细介绍了 STM32 单片机的使用方法，配套软件等，应
用 STM32 完成串口通信的程序的编写。介绍了上位机软件 Labview 的编程特点与
应用领域，从软件工程的角度介绍了 Labview 进行软件开发的编程过程，分析了解
调系统软件结构，从数据采集、数据模拟、图表显示、寻峰与解调四部分进行了上
位机软件的编写，从控件的角度叙述了部分编程过程，完善了人机交互界面的编写，
完成了整个上位机软件的编写。
- 35 -
第 4 章复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作及温度

传感特性研究
4.1 引言
温度的测量一直是研究人员研究的重点课题，而其中高温的测量，因其对材料
的要求，对高温环境的要求，以及其高标定难度等成为温度测量领域的重点与难点。
光纤微结构以其优质的材料特性，结构体积小，抗电磁干扰能力强等优点可以在高
温测量中发挥重要的作用。本章首先提出了一种复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的
制作方法，该 Fabry-Pérot 干涉仪传感器可以制作成非常小的尺寸，制作工艺简单，
而且成本极低，不仅可以应用于普通温度的测量，还可以应用于高温的测量。然后
设计并制作了该复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪，设计了合理的实验方案，实验完
成了对复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的温度传感特性的研究，对比了不同腔长对
传感特性的影响。
4.2 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作

本课题提出了一种基于复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作方案，采用化学
腐蚀-熔接-光纤切割的方法制作。采用氢氟酸来腐蚀光纤，由于单模光纤包层与纤
芯的材质不同，造成在同样的腐蚀条件下，单模光纤的纤芯腐蚀的比包层快，利用
这个特点，单模光纤腐蚀之后可以形成一个月牙形的微孔，然后将两根腐蚀之后的
单模光纤通过熔接机放电熔接在一起，就形成了一个嵌在单模光纤内部的空气腔，
然后利用光纤切割技术在熔接好的单模光纤的一端切割以形成二氧化硅腔。根据
第二章原理部分可知，光在两个腔，三个反射面传播反射之后，由于三束反射光的
相位不同，形成干涉条纹，外界环境改变之后使其相位发生改变，影响干涉光谱的
变化，通过检测干涉光谱的变化来实现传感。
制作该光纤传感器的实验仪器设备及材料有：普通标准单模光纤 SMF-28(外
径 125 μm，内径 8.3 μm，Corning)，光纤熔接机(FSM-45PM)，氢氟酸（浓度约 40%），
光学显微镜、光纤钳、光纤切割刀(Fujikura CT-30)、无水乙醇、洁净布等。制作了
不同尺寸的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪(Composite Cavity Fiber Fabry-Pérot
Interferometer ，CCFFI)，制作过程如图 4-1 所示。
- 36 -
(a) (b)
(c) (d)
图 4-1 CCFFI 制作过程示意图
(a)将单模光纤（SMF）用光纤钳除去涂覆层，用浸湿了乙醇的洁净布擦拭以去
掉光纤上残留的涂覆层碎屑，然后将除去涂覆层的单模光纤的端面用光纤切割刀
切割使 SMF 的端面平整，将切割后的 SMF 垂直浸入到浓度约为 40％的氢氟酸中，
如图(a)所示，控制好单模光纤浸入氢氟酸的时间，取出单模光纤，由于纤芯与包层
的材料不同，在 SMF 的端面中心形成更快的腐蚀速率，深度为几十微米的凹坑，
SMF 的直径也变小了。
(b)取出腐蚀之后的单模光纤，用水冲洗以去除沾在单模光纤上的氢氟酸，然
后将两个在其端面上带有蚀刻孔的 SMF 放置在光纤熔接机（Fujikura FSM-45PM）
中，用熔接机自带的夹具夹好，如图(b)所示。
(c)调节熔接机熔接模式与熔接参数，放电时间和功率分别为 300 ms 和 10 bit，
重叠距离为 7 μm。两段蚀刻的 SMF 通过电弧放电熔接在一起，形成嵌入光纤中
的椭圆形气腔，如图(c)所示。
(d)在光学显微镜下，用光纤切割刀，将空气腔一侧的 SMF 切割，以形成二氧
化硅腔，如图 4-1 中（d）所示，复合腔是由空气腔和二氧化硅腔串联形成的。该
结构有三个反射表面，分别标记为“M1”，
“M2”和“M3”。 M1 和 M2 形成气腔，
M2 和 M3 形成二氧化硅腔，M1 和 M3 形成复合腔。L1 和 L2 分别是气腔和二氧化
硅腔长，因此 L1 + L2 是复合腔腔长。图(d)中的插图显示了 CCFFI 的显微镜图像。
氢氟酸是一种强腐蚀性液体，存放于塑料瓶内，而且具有很强的挥发性，所以
不要长时间吸入口鼻，因此实验过程中需要带口罩和橡胶手套以避免 HF 酸对人
- 37 -
体的影响。
根据上述步骤，根据腐蚀时间不同（腐蚀孔深不同），熔接机参数不同，制成
了三种不同尺寸的 CCFFI。并探究了在室温下腐蚀时间与腐蚀孔深的关系，下图
分别显微镜下腐蚀不同时间的单模光纤镜像图。
(a)10min (b)15min (c) 20min (d)25min (e)35min

图 4-2 不同腐蚀时间的单模光纤镜像图
由图 4-2 可知，腐蚀时间越久腐蚀的孔越明显，通过与显微镜下的已知的单
模光纤的尺寸对比，可以测得腐蚀后的微孔的深度，将相同时间的五个不同的单模
光纤在光学显微镜下测其腐蚀孔深，取平均，腐蚀时间与 SMF 腐蚀孔深的图表如
图 4-1 所示：
表 4-1 腐蚀时间与 SMF 孔深

腐蚀时间(min) 10 15 20 25 35
SMF 孔深(μm) 12.4 21.5 27.5 30.1 33.2
由表 4-1 可知，氢氟酸腐蚀光纤的坑深与腐蚀时间呈正相关，后期腐蚀速度
变慢可能是由于氢氟酸挥发性导致溶液浓度降低影响腐蚀速率。根据腐蚀时间不
同，调整熔接机参数，制成了不同尺寸的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪。
4.3 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的温度传感特性研究
4.3.1 温度传感实验
制作了三种不同尺寸的 CCFFI，分别进行了温度传感特性的探究。温度传感
实验装置图如下图 4-3 所示，根据复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理，设
计了如下实验装置，实验仪器设备有：ASE 宽带激光光源(C+L Light Source，1520-
1610 nm)、高温炉（上海索域试验设备有限公司，SX2-2.5-10A 型）、光谱分析仪
(Anritsu CMA5000，分辨率 5 pm)、热电偶、3dB 耦合器、陶瓷管。
- 38 -
3dB 耦合器有三个接口，将一束光分成相同强度的两束光，首先将宽带光源
BBS 连接到分束为 50%的一个端口，50%的另一个端口连接光谱分析仪，最后一
个端口连接制作好的 CCFFI，将制作好的 CCFFI 插入到陶瓷管中，打开高温炉，
将插入了 CCFFI 的陶瓷管与热电偶的一端粘在一起，另一端和热电偶一起放入高
温炉中，打开光源与光谱分析仪，观察 CCFFI 的反射谱有明显的干涉现象，打开
高温炉，将预设制温度调至 600°C 以上，温度随着时间不断上升，热电偶测出的数
据显示高温炉中的当前温度，每 20°C 记一次光谱仪数据，观察光谱仪显示的波形
变化。由宽带光源发出的光通过耦合器后传输到制作好的 CCFFI 中，CCFFI 有三
个反射面，反射回来的光通过耦合器传输到另一个端口，由光谱仪接收，光谱仪将
测到的数据显示成波形，即 CCFFI 的反射谱线。陶瓷管对光纤结构起到一个保护
的作用，随着温度的升高，CCFFI 的双腔的折射率与长度发生变化，导致干涉光
谱的变化，因此随着温度的升高来检测光谱仪的数据以探究 CCFFI 的温度传感特
性。
图 4-3 实验装置示意图
制作了三种不同腔长的 CCFFI，通过光学显微镜测量制作好的 CCFFI 的空气

腔与二氧化硅腔的腔长，制作好的 CCFFI 的空气腔与二氧化硅腔的尺寸如表 4-2
所示。
表 4-2 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的结构参数

编号空气腔长度(μm) 二氧化硅腔长度(μm)
CCFFI1 56.1 168.4
CCFFI2 38.9 269.2
CCFFI3 41.2 388.0
- 39 -
通过光谱仪得到三种不同尺寸的 CCFFI 的反射谱线，图 4-4-图 4-6 别三种不

同尺寸的 CCFFI 常温下的干涉谱线。
图 4-4 CCFFI1 显微镜图像与干涉谱线
由图 4-4-图 4-6 知，CCFFI 的反射谱呈明显的干涉谱样，干涉图谱由几个大包

络和很多细小的峰组成，图中的失真可能是由于光源信号不稳定和光谱仪的噪声
引起的，根据公式(2-7)可知，干涉图谱的大包络是由空气腔产生的，干涉图谱的细
小的峰是由二氧化硅腔产生的，相邻两峰之间的距离就是相应腔的自由光谱范围
FSR，对比三幅图可明显看出，CCFFI1 的干涉图谱的大包络比 CCFFI2 与 CCFFI3
的小。CCFFI2 与 CCFFI3 的大包络相近，但是细小的峰的 FSR，CCFFI2 要明显大
于 CCFFI3，根据公式(2-20)可知，腔长越长，干涉谱线的 FSR 越小，CCFFI1 的空
气腔大于其他两个结构，在图中也表现为 CCFFI1 的 FSR 小于其他两个结构，而
CCFFI2 与 CCFFI3 的空气腔腔长相近，但 CCFFI2 的二氧化硅腔小于 CCFFI3，在
- 40 -
图中表现为二氧化硅腔的 FSR 明显大于 CCFFI3 的二氧化硅腔的 FSR，并观察第

二章的模拟谱线，可以看出实验与曲线理论变化趋势相符。
4.3.2 干涉仪干涉图谱的空间频率谱线分析
将复合腔干涉图谱的强度单位 dB 转换成能量比值之后，再将得到的谱线进行
傅里叶变换，就得到了复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的频谱图。图 4-7 为三种不
同尺寸的 CCFFI 的频谱图。
(a) (b)
(c)
图 4-7 三种尺寸的 CCFFI 的频谱图
图(a)、图(b)、图(c)分别对应 CCFFI1、CCFFI2、CCFFI3 的干涉谱线，由上述

谱线可知，CCFFI 的干涉谱线的空间频率谱是一条连续的曲线，并且由四个峰组
成，peak0 是直流分量形成的峰，peak1 为空气腔的频率成分，peak2 为二氧化硅腔
的频率成分，peak3 为复合腔的频率成分，根据式子(2-11)、(2-12)、(2-13)可以推算
出 CCFFI 各个腔的腔长，计算得到 CCFFI1 的空气腔为 55.8 μm，二氧化硅腔为
181.7 μm，与实验测得的 CCFFI1 的空气腔腔长 56.1 μm，二氧化硅腔腔长 168.4
μm 比较近似，计算得到 CCFFI2 的空气腔为 41.9 μm，二氧化硅腔为 286.9 μm，
- 41 -
与实验测得的 CCFFI2 的空气腔腔长 38.9 μm，二氧化硅腔腔长 269.2 μm 比较近

似，计算得到 CCFFI3 的空气腔为 41.9 μm，二氧化硅腔为 382.6 μm，与实验测得
的 CCFFI3 的空气腔腔长 41.2 μm，二氧化硅腔腔长 388 μm 比较近似。实验值和
理论值得误差是由于光学显微镜下的测量误差引起的。
(a) CCFFI1 滤波后的空气腔谱线 (b) CCFFI1 滤波后的二氧化硅腔谱线
(c) CCFFI2 滤波后的空气腔谱线 (d) CCFFI2 滤波后的二氧化硅腔谱线
(e) CCFFI1 滤波后的空气腔谱线 (f) CCFFI1 滤波后的二氧化硅腔谱线

图 4-8 滤波后的谱线
通过对不同尺寸的 CCFFI 的频谱分析，设计了以空气腔为中心频率与以二氧
- 42 -
化硅腔为中心频率的带通海明窗滤波窗口，利用滤波器分别提取出空气腔和二氧
化硅腔的干涉谱线。在进行滤波之前，先将单位为 dB 的反射谱线转换为能量的比
值，然后再进行滤波。滤波后的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的空气腔和二氧化
硅腔的干涉谱线如图 4-8 所示。可以看出，滤波后的空气腔谱线与滤波后的二氧化
硅腔谱线呈明显的正弦，对比三个 CCFFI 的滤波后的曲线可以看出二氧化硅腔与
空气腔的 FSR 的大小，与其腔长相对应，从 CCFFI1 到 CCFFI3 的二氧化硅腔大小
越来越大对应图中二氧化硅腔谱线越来越密，滤波后二氧化硅腔谱线能量幅度在
1560 nm 后有些失真，这是由于二氧化硅腔的空间频率与复合腔的空间频率非常接
近，所以滤波时引起了一定的强度失真，而制作的光纤干涉仪是通过检测谱峰值的
移动来监测信号的变化，强度失真对于传感特性的影响很小，滤波后的曲线可以用
于对温度传感特性的研究。
4.3.3 干涉仪的温度传感特性
用图 4-3 的实验装置对于三种不同的传感器进行了温度传感特性的研究，首
先对 CCFFI1 进行温度传感特性的研究，记录了 CCFFI1 从 40°C 到 140°C 的反射
谱线。
图 4-9 CCFFI1 不同温度反射图谱
从图 4-9 可以看出干涉谱线随着温度的升高有明显的红移（波形向波长长的
方向移动）。用 Matlab 对得到的数据进行处理，频谱分析，根据峰值 1 的频率进行
滤波之后追踪一个波谷的谱线，得到图 4-10。图 4-11 为不同温度下空气腔的单波
谷放大图，谱线随着温度变化有明显的红移，但温度变化引起的空气腔的波长移动
- 43 -
非常小，根据第二章的理论研究可知，空气腔谱线随温度变化谱线移动小是由于空
气腔的温度灵敏度只受二氧化硅的热膨胀系数的影响，因此灵敏度很低。图 4-12
为 CCFFI1 从 40°C 到 140°C 的温度灵敏度曲线，横轴为温度，纵轴为空气腔干涉
谱线的波长漂移量，是在 1569 nm 附近追踪波谷得出的，拟合后得到灵敏度为 0.8
pm/°C，与第二章理论值 0.85 pm/°C 比较接近，误差可能是由于空气腔自身的热膨
胀系数影响。
图 4-10 不同温度下空气腔的单波谷图图 4-11 不同温度下空气腔的单波谷放大图
图 4-12 CCFFI1 空气腔温度灵敏度曲线
图 4-13 CCFFI 不同温度下二氧化硅腔的单波谷图图 4-14 CCFFI1 二氧化硅腔温度灵敏度曲线
- 44 -
图 4-13 为 CCFFI1 不同温度下二氧化硅腔的单波谷图，可以看出明显的红移

现象，由于滤波产生的失真，造成温度越高波谷的强度越大，但由于光纤干涉仪是
通过检测谱峰值的移动来监测信号的变化，强度失真对于传感特性的影响很小，所
以失真不影响对温度灵敏度的研究，图 4-14 为 CCFFI1 二氧化硅腔温度灵敏度曲
线，二氧化硅腔的温度灵敏度为 16 pm/°C，是空气腔灵敏度的 20 倍，与理论值
16.45 pm/°C 非常近似。
对 CCFFI1 进行了高温的温度特性的研究，从 100°C 到 600°C，用 Matlab 对
不同温度的干涉谱数据进行频谱分析、滤波、寻峰之后得到空气腔和二氧化硅腔的
温度灵敏度曲线如图 4-15 与图 4-16。
图 4-15 CCFFI1 不同温度下的空气腔单波谷干涉光谱和温度灵敏度曲线
图 4-16 CCFFI1 不同温度下的二氧化硅腔单波谷干涉光谱和温度灵敏度曲线
在 100°C 到 600°C 的高温下，CCFFI 的波长与温度呈良好的线性关系，只有

空气腔的灵敏度曲线在 500°C 处略有偏差，可能是由于噪声和滤波产生的误差造
成的。二氧化硅腔的温度灵敏度为 14.6pm/°C，比理论值稍低，波长偏移量与温度
呈良好的线性关系。
- 45 -
图 4-17 与图 4-18 分别为 CCFFI2 与 CCFFI3 不同温度下的二氧化硅腔单波谷

干涉光谱和温度灵敏度曲线，两个结构的二氧化硅腔的灵敏度曲线均呈良好的线
性，均可以应用于高温的测量。
图 4-19 不同尺寸的 CCFFI 的温度灵敏度曲线
- 46 -
图 4-19 为三种 CCFFI 的二氧化硅腔在 100°C-600°C 范围内的波长随温度的变

化情况，三种不同尺寸 CCFFI 在波长 1575 nm 附近的波谷偏移量附近呈明显的线
性，CCFFI1，CCFFI2，CCFFI3 的温度灵敏度分别为 14.6 pm/°C，13.8 pm/°C，12.6
pm/°C，二氧化硅腔的腔长越短，FSR 越大，谱线的波谷越容易检测。该结构利用
了二氧化硅的高热光系数进行传感，结构简单，成本极低，用于高温的测量具有良
好的应用前景。
4.4 本章小结
本章提出了一种新的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作方法，制作了三种
不同尺寸的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪，设计了温度灵敏度实验，得到了三种
不同尺寸的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪在不同温度下的干涉谱线，分析对比了
不同尺寸的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的干涉谱线，通过空间频谱分析的方法
分析了干涉谱线的频率成分，用海明窗带通滤波器滤波分离出空气腔和二氧化硅
腔的干涉谱线，在特定波长范围进行寻峰之后，得到了空气腔和二氧化硅腔的干涉
谱线的温度灵敏度曲线，得到的空气腔的温度灵敏度为 0.8 pm/℃与理论值 0.85 pm/℃
非常接近，应用于 200 °C 温度范围内的测量灵敏度可以达到 16.0 pm/°C 与理论值
16.45 pm/℃非常接近，将干涉仪应用于高温的测量，得到了最高为 14.6pm/°C 的温
度灵敏度。
- 47 -
结论
本文提出了一种基于复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作方法，制作并进行
了复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪温度传感特性的研究。当温度变化时，由于二氧
化硅的热光系数，干涉谱线可以产生很大的漂移，得到了很高的温度灵敏度，并且
可以用于对高温的测量，除此之外，该结构相比普遍的 Fabry-Pérot 腔干涉仪结构，
结构紧凑，制作方法简单，成本极低。本文的主要研究成果如下：
(1) 建立了复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的理论模型，完成了空气腔腔长 56.1
μm，二氧化硅腔腔长 168.4 μm 理论模型的传输光束的仿真，使用傅里叶变换对其
干涉光束进行频谱分析，分离出空气腔和二氧化硅腔的相位项，根据温度传感原理，
计算得到在波长 1550 nm 处，空气腔和二氧化硅腔的温度灵敏度分别为 0.85 pm/°C
与 16.45 pm/°C。
(2) 构建了基于可调谐激光器的光纤传感器解调系统，使用 STM32 单片机进
行数据采集，编写了基于 C 语言的单片机与上位机通讯的串口通信程序，进行了
上位机软件的编程系统分析，使用 Labview 从数据采集、数据模拟、图表显示、寻
峰与解调四部分进行了上位机软件的编写，完成了人机交互页面的设计与优化。
(3) 设计温度传感特性实验，对制作的三种不同腔长的复合腔光纤 Fabry-Pérot
干涉仪进行了温度传感特性研究。常温下得到复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的空
气腔灵敏度为 0.8 pm/°C，二氧化硅腔灵敏度为 16.0 pm/°C，与理论值比较相符。
高温下得到复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的灵敏度分别为 14.6 pm/°C，13.8 pm/°C，
12.6 pm/°C，拟合线性度好。
在整个过程中，也发现了很多问题需要进一步探究：
第一，对于寻峰算法没有进行系统的分析其算法的精度。第二，温度传感实验
中没有对氢氟酸腐蚀之后的单模光纤的热膨胀系数是否随温度变化的研究。
- 48 -
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哈尔滨工业大学硕士学位论文
 


哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限


学位论文原创性声明


本人郑重声明此处所提交的学位论文基于复合腔光纤Ｆａｂｒｙ干涉仪



－
：《ＰＳｒｏｔ
传感特性研宄及解调软件开发》，

是本人在导师指导下，
在哈尔滨工业大学攻读学


位期间独立进行研究工作所取得的成果，
且学位论文中除已标注引用文献的部分


外不包含他人完成或己发表的研宄成果。对本学位论文的研宄工作做出重要贡献


的个人和集体，均己在文中以明确方式注明 

。
作者签名 日期：
叫 

曰
学位论文使用权限


学位论文是研究生在哈尔滨工业大学攻读学位期间完成的成果，
知识产权归


属哈尔滨工业大学。学位论文的使用权限如下 

：
（１）学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存研究生上交的学位论文，


并
向国家图书馆报送学位论文；
（２）学校可以将学位论文部分或全部内容编入有关


数据库进行检索和提供相应阅览服务；
（３）研究生毕业后发表与此学位论文研究


成果相关的学术论文和其他成果时应征得导师同意且第署名单位为哈尔滨工


一
，
，
业大学 

。
保密论文在保密期内遵守有关保密规定，
解密后适用于此使用权限规定 

。
本人知悉学位论文的使用权限，并将遵守有关规定 

。
作者签名 曰期：
：年（月＞／


曰
５３
－ 

－
致谢
光阴似箭，时光匆匆，转眼间两年的硕士生活即将结束。在这里要特别感谢我
的导师掌蕴东教授在这两年时间里对我的关心和指导。掌老师平易近人的性格、严
谨的教学态度、力求创新的科研追求和渊博的知识对我产生了巨大的影响。在本论
文完成的过程中，掌老师给了我许多的指导和建议。在生活中掌老师也给了我许多
的关心和帮助。每次与掌老师的交流都会让我觉得受益匪浅。在此，诚挚地感谢掌
老师对我的指导和关怀。感谢夏元钦老师，曲彦臣老师，李晓晖老师在硕士期间对
我的指导与帮助，感谢袁萍老师在我攻读硕士学位期间对我的关心和帮助。
感谢实验室里的同学在学习和生活中对我的帮助。感谢博士研究生赵莉师姐，
进入课题组后，赵师姐带我熟悉课题组的工作环境，指导我学习实验仪器的使用方
法和注意事项和对我毕设的指导。感谢博士研究生苏怀银、郭莹师姐，在我完成课
题设计的过程中，给了我很多的帮助和鼓励。感谢博士研究生吴泳锋师兄、姜卫国
师兄、马锴师兄、齐凯悦师姐、朱富星师兄、章媛师姐、谢迅师兄对我在专业知识
的学习和课题设计完成过程中的帮助，同时也要感谢硕士研究生李壮壮对我的帮
助与鼓励与我共同进步，还有硕士生陈雅明、张雅彤对我在完成课题组工作中的帮
助。
感谢我的好朋友朱小猛、黄云云、严彪、安哲、王庆正、王俊辉、金舵、张晓
晓、闫青、刘文等人在日常生活中给予的帮助和鼓励，是你们让我在这两年的求学
生活中体会到了无限的快乐和温暖。
感谢我的家人对我的支持和帮助，是你们给我的温暖幸福的家庭让我健康快
乐的生活，没有你们的关心与鼓励，我无法顺利完成硕士学位期间的学习。如今你
们的儿子长大了，我定会更加努力，不负你们的期望。
曾经的我无法扼住命运的喉咙，如今完成了自己的学术生涯，也算给家人一
个交代，给自己的努力画上一个圆满的句号。未来的我要掌握自己的人生，正确合
理地对待自己的个人的意识，控制自己的行为，与这个世界好好相处，多做多看，
不盲从，不混沌，勇敢，勤思，做自己。
- 54 -

基于复合腔光纤Fabry Pérot干涉仪传感特性研究及解调软件开发

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基于复合腔光纤Fabry Pérot干涉仪传感特性研究及解调软件开发

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硕士学位论文

基于复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪传感特性

基于复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪传感特性

Dissertation for the Master Degree in Engineering

Candidate： Zhang Lei

Key words: optical fiber sensor, Fabry-Pérot interferometer, temperature, demodulation,

(1) 光纤 Fabry-Pérot 干涉仪

图 1-1 光纤 Fabry-Pérot 腔结构示意图

(2) 光纤 Mach-Zehnder 干涉仪

图 1-2 光纤 Mach-Zehnder 干涉仪结构原理图

(3) 光纤 Michelson 干涉仪

图 1-3 光纤 Michelson 干涉仪的结构原理图

图 1-4 一体化光纤 Michelson 干涉仪结构原理图

(4) 光纤 Sagnac 干涉仪

图 1-5 光纤 Sagnac 干涉仪结构原理图

1.3 光纤 Fabry-Pérot 干涉仪国内外研究现状

图 1-6 早期的 Fabry-Pérot 腔结构图

2008 年，朝鲜大学的 Hae Young Choi 等人提出了一种适用于高温传感的微型

图 1-7 Hae Young Choi 等人制作的用于高温测量的 Fabry-Pérot 干涉仪[27]

2008 年密苏里科技大学 Tao Wei 提出了一种用于折射率测量的高灵敏度微纳

图 1-8 Wei T 等人制作的空气腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪[28]

2011 年电子科大 De-Wen Duan 等人[29]，将单模光纤用光纤熔接机和光纤管熔

图 1-9 De-Wen Duan 等人用错位熔接制作的 Fabry-Pérot 干涉仪[29]

2014 年，深圳大学 Shen Liu 等人，提出了一种应用于测量应变的基于光纤

图 1-10 Shen Liu 等人改变电弧放电测试制作的 Fabry-Pérot 腔干涉仪[30]

2014 年吉林大学 Xuan Yu Zhang 等人提出了一种基于聚合物的光纤 Fabry-

图 1-11 显微镜下使用 PDMS 制作的不同腔长干涉仪实物图[31]

2015 年深圳大学 Bing Sun 等人同样使用聚合物的方法制作了光纤 Fabry-Pérot

器的温度灵敏度最高可以达到 249 pm/°C，对压力进行测量后得到压力灵敏度为

图 1-12 使用 NOA65 制作的干涉仪结构示意图[32]

2015 年布巴内斯瓦尔理工大学 J N Dash 等人[33]提出一种稳定度高、应变不敏

图 1-13 J N Dash 等人制作的光纤干涉仪制作方式与 Fabry-Pérot 腔图[33]

2016 年中国计量大学 Ye Liu 等人[34]应用氢氟酸腐蚀的方法制作了不同材料不

图 1-14 Ye Liu 等人用腐蚀法制作的光纤传感器探头[34]

2017 年哈尔滨工业大学 Yong Feng Wu 等人[35]基于大横向偏移拼接制成混合

图 1-15 Wu 等人制作的不同腔长的 Fabry-Pérot 干涉仪和对应的干涉谱线[35]

2017 年西北大学 Zhangwen Liu 等人提出了一种用于测高温的全光纤 Fabry-

图 1-16 ZhangwenLiu 等人制作的全光纤 Fabry-Pérot 干涉仪[36]

2018 年华中科技大学 Peng Cheng 等人[37]提出并制作了一种用于高温测量的

a) 实验系统示意图 b) 显微镜俯视角实物图 c) 显微镜侧视角实物图

上文阐述了国内外的多种典型光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作方式，根据上述

光栅滤波法是在 1997 年由 Ferrira 等人提出的，这种解调方式结构简单，分辨率较

域。详述了近年来国内外光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的发展，分析了光纤 Fabry-Pérot

由传统的 Fabry-Pérot 干涉仪演化而来光纤 Fabry-Pérot 腔干涉仪传感器，是目

2.2 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理

2.2.1 光学 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理

光学 Fabry-Pérot 干涉仪是由法布里和珀罗在 1897 年首次提出的一种多光束

图 2-1 典型的光学 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理

L=2n2d cos (2-1)

2.2.2 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理

光纤 Fabry-Pérot 干涉仪与传统的 Fabry-Pérot 干涉仪的不同之处在于，入射到

图 2-2 光纤 Fabry-Pérot 干涉仪结构图

复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪与空气腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪原理类似，只

图 2-3 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的工作原理示意图

air-silica  air  silica (2-10)

图 2-4 复合腔 Fabry-Pérot 光纤干涉仪反射谱线

当复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪应用于传感时，外界环境因素将同时调制空

二氧化硅腔空间频率对应的峰值为 0.199/nm、复合腔频谱对应的峰值为 0.249/nm，

图 2-5 复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的空间频率谱线

为本课题制作的复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪(Composite Cavity Fiber Fabry-Pérot

3.4 基于 Labview 的上位机软件的编写

3.4.1 Labview 语言简介

Labview（Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench），是一款应用于

图 3-5 VISA 函数设置串口参数图 3-6 数据的读取

图 3-11 二进制文件写入图 3-12 二进制文件读取

第 4 章复合腔光纤 Fabry-Pérot 干涉仪的制作及温度

图 4-10 不同温度下空气腔的单波谷图图 4-11 不同温度下空气腔的单波谷放大图

图 4-13 CCFFI 不同温度下二氧化硅腔的单波谷图图 4-14 CCFFI1 二氧化硅腔温度灵敏度曲线

本人郑重声明此处所提交的学位论文基于复合腔光纤Ｆａｂｒｙ干涉仪

传感特性研宄及解调软件开发》，