Chương 3

QUÁ TRÌNH KHUẾCH TÁN TRONG

VẬT LIỆU

(10 tiết)
 KHUẾCH TÁN TRONG VẬT LIỆU

Nội dung

3.1. Giới thiệu

3.2. Phân loại

3.3. Cơ chế

3.4. Năng lượng hoạt hóa

3.5. Hệ số KT

3.6. Các yếu tố ảnh hưởng

2
 3.1.KHÁI NIỆM VÀ ỨNG DỤNG

Khái niệm

là sự chuyển chất
nhằm cân bằng thế.
Ở đây ta chỉ xét
khuếch tán do
chênh lệch nồng độ

3
 3.1.KHÁI NIỆM VÀ ỨNG DỤNG

Các ứng dụng quá trình khuếch tán

 Tạo lớp thấm bề mặt kim loại:

Tạo lớp phủ khuếch tán trong
quá trình gia công gia bề mặt
kim loại

Carbon, Silic, Nhôm thường

được khuếch tán vào thép làm
thay đổi tính chất của bề mặt
vật liệu, làm sản phẩm tăng
độ cứng, độ chống ăn mòn…

4
 3.1.KHÁI NIỆM VÀ ỨNG DỤNG

Các ứng dụng quá trình khuếch tán

 Tạo hợp chất trung gian

trên bề mặt các lớp bán
dẫn: Công nghệ tạo hợp
chất bán dẫn đặc biệt
trong công nghiệp bán dẫn

5
 3.1.KHÁI NIỆM VÀ ỨNG DỤNG

Các ứng dụng quá trình khuếch tán

 Hợp chất ceramics dẫn
điện (ion, electrons,…):
chiếm một phần quan
trọng công nghệ vật liệu
màng dẫn (màng ITO
trong solar cell), hoặc
trong công nghệ pin nhiên
liệu (LiCoO2 – pin lithium),
màn hình cảm ứng..

6
 3.1.KHÁI NIỆM VÀ ỨNG DỤNG

Các ứng dụng quá trình khuếch tán

 Ngăn chặn quá trình

khuếch tán: công
nghệ quan trọng
của một số ngành.
Ví dụ màng bán
thấm trong y học

7
 3.1.KHÁI NIỆM VÀ ỨNG DỤNG

Các ứng dụng quá trình khuếch tán

 Công nghệ chống ăn

mòn bằng màng oxi
hóa: tạo màng nhôm
oxit (không màu,
không nhận diện bằng
mắt thường) để bảo vệ
vật liệu

8
 3.2. PHÂN LOẠI KHUẾCH TÁN

Khuếch tán lỗ trống (vacancy diffusion)

 Phần tử nhận năng lượng nhảy vào ô trống bên cạnh tạo
ra ô trống vị trí nơi nó vừa rời đi. Như vậy, ô trống đã
dịch chuyển từ phải qua trái một đơn vị ô mạng

9
 3.2. PHÂN LOẠI KHUẾCH TÁN

Khuếch tán xen kẽ (interstitial diffusion)

 Phần tử nhỏ đang nằm

xen kẽ có năng lượng
đủ lớn khuếch tán vào
vị trí xen kẽ khác

10
 3.2. PHÂN LOẠI KHUẾCH TÁN

Khuếch tán Frenkel (frenkel defects)

 Phần tử trong nút

mạng nhảy về vị trí xen
kẽ, làm xuất hiện ô
trống tại nút mạng

11
 3.2. PHÂN LOẠI KHUẾCH TÁN

Khuếch tán trao đổi (direct exchange mechanism)

 Các phần tử trong nút mạng dao động, đổi vị trí cho
nhau

12
 3.3. CƠ CHẾ CỦA SỰ KHUẾCH TÁN

Điều kiện có khuếch tán

 Tồn tại vị trí trống

bên cạnh
 Năng lượng đủ lớn

13
 3.3. CƠ CHẾ CỦA SỰ KHUẾCH TÁN

Cơ chế khuếch tán (diffusion mechanisms)

 Khuếch tán chất khí và chất

lỏng: chuyển động ngẫu
nhiên (chuyển động Brown)
 Khuếch tán chất rắn:
khuếch tán qua lỗ trống
hoặc khuếch tán qua khe hở

14
 3.3. CƠ CHẾ CỦA SỰ KHUẾCH TÁN

Khuếch tán lỗ trống (vacancy diffusion)

 Phần tử từ nút mạng sẽ di
chuyển đến nút trống lân cận
theo cơ chế khuếch tán nút trống
 Mức độ khuếch tán theo cơ chế
nút trống là một hàm của số nút
trống có mặt trong mạng

 Nút trống và nguyên tử khuếch tán ngược chiều nhau

 khuếch tán Frenkel và khuếch tán trao đổi cùng theo cơ
chế này

15
 3.3. CƠ CHẾ CỦA SỰ KHUẾCH TÁN

Khuếch tán xen kẽ (interstitial diffusion)

 Nguyên tử từ vị trí xen kẽ này sẽ di chuyển đến vị trí

xen kẽ lân cận khác còn trống
 Thường gặp: các tạp chất như H, C, N và oxy có kích
thước đủ nhỏ để nằm trong các vị trí xen kẽ

16
 3.4. NĂNG LƯỢNG HOẠT HÓA

Năng lượng hoạt hóa khuếch tán

 Là năng lượng cần thiết

để một phần tử tách ra
khỏi vị trí bền của nó
 Khuếch tán xen kẽ
thường bao giờ cũng
xảy ra nhiều hơn
khuếch tán qua các lỗ
do nhỏ hơn, năng
lượng KT nhỏ hơn

17
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Khái niệm

 Tốc độ dòng khếch tán j

(diffusion flux): Là khối
lượng vật chất chuyển
qua một đơn vị diện tích
trong một đơn vị thời
gian. (mol/cm2.s)

 Nếu dòng khuếch tán không thay đổi theo thời gian thì gọi
là khuếch tán ở trạng thái ổn định (steady-state diffusion)

18
19
20
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Tốc độ dòng khuếch tán

J= = . (g/cm2.s)
.

Trong đó m : Khối lượng

S: Diện tích

t: thời gian

21
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Định luật Fick I

=− (g/cm2.s)

Trong đó:
Ji – mật độ dòng khuếch tán
Di – hệ số khuếch tán của cấu tử i
Ci – nồng độ cấu tử I
– khoảng cách khuếch tán

22
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Khuyếch tán ổn định  Nếu dòng khuếch tán Ji không

thay đổi theo thời gian
 Hệ số khuếch tán Di không
phụ thuộc vào nồng độ Ci
 Nồng độ (áp suất) của tạp
chất khuếch tán ở 2 phía của
∆ bản mỏng giữ không đổi
= =
∆
∆ −
=− =− =−
∆ −

23
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Khuyếch tán ổn định Ví dụ 1:

Một miếng sắt đặt ở nhiệt độ 700°C (1300°F) trong môi trường có
một phía giàu carbon và phía kia nghèo carbon. Trong điều kiện
trạng thái ổn định, hãy tính dòng khuếch tán carbon đi qua miếng sắt
biết nồng độ carbon ở vị trí 5 mm và 10 mm bên dưới bề mặt được
carbua hóa lần lượt là 1,2 và 0,8 kg/m3, hệ số khuếch tán ở nhiệt độ
này là 3×10-11m2/s.

24
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Khuyếch tán ổn định

3
g/m
1.2k 3
= g /m
C1
0.8 k
=
Carbon C2 Steady State =
rich straight line! C2  C 1 kg
gas J  D  2.4  10  9
Carbon
deficient
x2  x 1 m 2s
gas
D=3x10-11m2/s
0 x 1 x2
10
5m

m
m

25
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Khuyếch tán ổn định Ví dụ 2:

Methylene chloride là hoạt chất phụ gia trong chất tẩy sơn. Chất này
gây nên ngứa và có khả năng thấm qua da. Người sử dụng phải mang
bao tay. Nếu sử dụng bao tay cao su có bề dày 0.04 cm. Xác định
dòng khuếch tán qua bao tay này.
Hệ số khuếch tán của cao su:
D = 110 x10-8 cm2/s
Nồng độ bề mặt: C1 = 0,44 g/cm3 C2 = 0,02 g/cm3

3 3
( 0 . 02 g/cm  0 . 44 g/cm ) g
J   (110 x 10 - 8 cm2 /s)  1.16 x 10 -5
(0.04 cm) cm2s

26
27
28
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Định luật Fick II

 Nồng độ thay đổi theo thời
gian
 Là trường hợp của đa số các
quá trình khuếch tán trong
thực tế
 Dòng khuếch tán J và
Profile nồng độ của khuếch gradient nồng độ ở những
tán trạng thái động ở 3 thời điểm khác nhau trong chất
điểm khác nhau rắn thay đổi theo thời gian

29
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Định luật Fick II  Mô tả chênh lệch nồng độ ở

khoảng cách x khuếch tán một
chiều ổn định theo thời gian t
=
bằng phương trình C= f(x,t)
 Đây là phương trình vi phân,
trong đó nồng độ cấu tử i là hàm
=
số, biến số là khoảng cách x và

thời gian .
 Trong thực tế có thể giải bằng
phương pháp số, …

30
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Giải quyết bài toán

Một số giả thiết được đặt ra:

 Trước khi khuếch tán các nguyên tử chất tan trong chất
rắn được phân bố đều với nồng độ C0.
 Giá trị x ở bề mặt bằng 0 và tăng theo khoảng cách từ bề
mặt vào trong chất rắn.
 Thời gian được tính bằng 0 ở thời điểm bắt đầu quá trình
khuếch tán.

31
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Giải quyết bài toán

, −
= 1 − erf = 1 − er f
− 2.
Chiều khuếch tán
Trong đó:
C(x,t) = Nồng độ tại x và thời gian t
Cx C0
Cs
Cs : nồng độ ở bề mặt tại x = 0
C0 : Nồng độ tại thời điểm ban đầu x

có trong thép

32
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Giải quyết bài toán

C x , t   C o  x 
 1  erf  
Cs  Co  2 Dt 

Trong đó:
C(x,t) = Nồng độ tại x và thời gian t
Chiều khuếch tán
Cs : nồng độ ở bề mặt tại x = 0
C0 : Nồng độ tại thời điểm ban đầu
Cx C0
Cs
có trong thép
x

33
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Giá trị erf(z) (có hàm erf trong excel từ 2007)

34
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Ví dụ 1:
Một thanh thép chứa 0,25% cacbon (phân bố đồng đều) được
nung nóng trong môi trường giàu khí hydrocarbon (CH4) ở
950°C (1750°F). Nếu nồng độ carbon trên bề mặt được nâng
lên và duy trì ở mức 1,20% thì cần bao lâu để đạt được nồng
độ carbon 0,80% ở độ sâu 0,5 mm tính từ bề mặt. Biết hệ số
khuếch tán của carbon vào sắt ở nhiệt độ này là 1,6×10-
11m2/s và giả thiết rằng thanh thép là bán vô hạn.

Giải , −
=1− =1−
− 2.

35
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Giải:

Ta có: Cs=1,2% C0=0,8% C0=0,25%

C0 = 0,25%; Cs = 1,2%
0,5 mm
Cx = 0,8 % ;
x = 0,5 mm = 5.10-4m
D = 1,6.10-11 m2/s
0,8 − 0,25 5. 10
=1−
1,2 − 0,25
2. 1,6. 10 .

62,5
0,4210 =

36
 3.5. HỆ SỐ KHUYẾCH TÁN

Giải:
62,5
0,4210 = erf =
Theo bảng, ta chỉ có

Vậy ta phải dùng phương pháp nội suy

37
 3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

3.6.1. Thành phần khuếch tán

Chất khuếch tán (diffusing species)

và Vật liệu nền (host material) đều
ảnh hưởng đến hệ số khuếch tán
 Kích thước nguyên tử
 Độ mở của mạng tinh thể
 Điện tích ion

38
 3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

3.6.1. Thành phần khuếch tán

39
 3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

3.6.1. Thành phần khuếch tán

40
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

3.6.2. Nhiệt độ

= . −

D0 – Hệ số khuếch tán trong nền [m2/s]

Qd - Năng lượng hoạt hóa khuếch tán [J/mol or eV/atom]
R - Hằng sốkhí [8.314 J/mol.K, 8.62x10-5 eV/atom.K)]
T - Nhiệt độ tuyệt đối [K]

41
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

3.6.2. Nhiệt độ

1
= −

Từ sơ đồ : Hệ số khuếch tán C in
α-Fe, C in γ-Fe (khuếch tán xen
kẽ) lớn hơn so với Fe in α-Fe, Fe in
γ-Fe (khuếch tán thay thế).
42
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

Ví dụ 1:
Sử dụng số liệu trong bảng, tính hệ số khuếch tán của Mg
trong nền Al tại 550ºC?

43
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

Ví dụ 1:
Sử dụng số liệu trong bảng, tính hệ số khuếch tán của Mg
trong nền Al tại 550ºC?
Giải:
Tra từ bảng ta có các thông số khuếch tán của Mg trong
nền Al là: D0 = 1,2.10-4m2/s và Qd = 130kJ/mol

130000
= . − = 1,2. 10 . exp −
8,314. 273 + 550
= 6,7.10-13 m2/s

44
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

Ví dụ 2:
Tại 300ºC hệ số khuếch tán và năng lượng hoạt hóa
khuếch tán cho Cu trong Si:
D(300ºC) = 7.8 x 10-11 m2/s; Qd = 41.5 kJ/mol
Tính hệ số khuếch tán của Cu tại 350ºC?

45
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

Ví dụ 2:
Tại 300ºC hệ số khuếch tán và năng lượng hoạt hóa
khuếch tán cho Cu trong Si:
D(300ºC) = 7.8 x 10-11 m2/s; Qd = 41.5 kJ/mol
Tính hệ số khuếch tán của Cu tại 350ºC?

Giải:
D Q 1 1  Qd  1 1 
lnD2  lnD1  ln 2   d    D 2  D1 exp      
D1 R  T2 T1   R  T2 T1  

  41,500 J/mol  1 1 
D2  ( 7 .8 x 10 11 m 2 /s) exp    
 8 .314 J/mol - K  623 K 573 K  
D2 = 15.7 x 10-11 m2/s

46
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

Ví dụ 3:
Hợp kim FCC sắt-cacbon ban đầu chứa 0.20% C được
cacbua hóa tại nhiệt độ, áp suất đã định với nồng độ
cacbon tại bề mặt đạt 1.0%. Nếu sau 49.5 h, nồng độ
cacbon là 0.35% tại vị trí 4.0 mm dưới bề mặt. Xác định
nhiệt độ tại đó quá trình được tiến hành. Biết các thông số
khuếch tán của C trong Fe FCC là D0= 2.3 x 10-5 m2/s, Qd
= 148,000 J/mol

47
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

Ví dụ 3:
C0 = 0,2 % Cs = 1,0 Cx = 0,35%
X = 4.10-3 m t = 49,5 h
D0 = 2,3.10-5 m2/s Qd = 148.000 j/mol
0,35 − 0,20
Ta có: C x ,t   Co  1  erf  x  = 1 − er f(
Cs  Co 1,00 − 0,20
 2 Dt 
erf(z) = 0.8125

Tìm giá trị của z tương ứng với erf(z) là 0.8125

thông qua nội suy từ bảng số liệu của erf(z) đã cho
z  0 . 90 0 . 8125  0 . 7970
 z = 0.93
0 . 95  0 . 90 0 . 8209  0 . 7970

48
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

x
Ví dụ 3: z
2 Dt

 x2  ( 4 x 10 3
m) 2
1h
D    2 . 6 x 10  11 m 2 /s
 4 z 2t  ( 4 )( 0 . 93 ) 2 ( 49 . 5 h) 3600 s
 

1
= −

Qd 148,000 J/mol
T  
R (lnDo  lnD ) (8.314 J/mol - K)(ln 2.3x10 5 m 2 /s  ln 2.6 x10 11 m 2 /s)

T = 1300K ~ 1027oC

49
Trong đó:

3.6. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG

3.6.3. Cấu trúc vật liệu

khả năng tăng tốc độ khuếch tán

 Cấu trúc tinh thể mở
 Vật liệu có tỷ trọng thấp
 Vật liệu có nhiệt độ nóng chảy
thấp
 Vật liệu liên kết yếu (Thứ cấp)
 Vật liệu đa tinh thể

50
Thanks for your
the attention

51